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CN108255017A - 负型感光性树脂组合物 - Google Patents

负型感光性树脂组合物 Download PDF

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CN108255017A CN201711460405.3A CN201711460405A CN108255017A CN 108255017 A CN108255017 A CN 108255017A CN 201711460405 A CN201711460405 A CN 201711460405A CN 108255017 A CN108255017 A CN 108255017A
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Abstract

本发明公开一种负型感光性树脂组合物，其灵敏度、平坦化、分辨率、残膜率等特性优秀，尤其在RGBW结构中同时进行白色子像素及层间绝缘膜形成工序，从而不仅可简化图案形成方法，而且有效地使用于高亮度及耗电量低的显示器。上述负型感光性树脂组合物包含：丙烯酸系共聚物；由以下化学式1表示的多官能氨基甲酸酯系甲基丙烯酸酯化合物；自由基光引发剂；以及溶剂。在下述化学式1中，D为碳原子数1至20的烃基，n及m各自独立地为0至2的整数。化学式1

Description

负型感光性树脂组合物
技术领域
本发明涉及一种负型感光性树脂组合物，更详细地涉及如下的负型感光性 树脂组合物，其灵敏度、平坦化、分辨率、残膜率等特性优秀，尤其在RGBW 结构中同时进行白色子像素及层间绝缘膜形成工序来代替填充柱状隔垫物的 以往的工序，从而不仅可简化图案形成方法，而且有效地使用于高亮度及耗电 量低的显示器。
背景技术
一般来说，随着现代社会变成信息社会化，信息显示装置之一的液晶显示 装置组件的重要性逐渐增加。通常使用的液晶装置虽然具有小型化、轻量化、 薄型化、低电量等优点，但存在价格方面上昂贵的缺点。
并且，最近显示器领域的大趋势是实现大型化且具有高分辨率的显示器。 以往使用的显示器成为将排列有薄膜晶体管的阵列基板和形成有红色、绿色、 蓝色滤光层的彩色滤光片基板，隔着液晶相互贴合而成的结构，这种情况下， 由于由红色、绿色、蓝色滤光层构成的3个子像素具有一个单位像素结构，因 此存在每单位像素的透光率低，亮度低的缺点，对于高分辨率模式时，各个子 像素的大小会变小，这种情况下，存在因亮度低而无法实现高分辨率的缺点。 尤其是，通过RGBW结构的开发，目前处于对于43英寸至65英寸的超高清 (UHD，ultra-HD)面板的市场需要持续增加的趋势，这种RGBW结构的面 板具有高分辨率、高亮度、低耗电量，并且在成本竞争力上具有相当大的优势， 为此，需要一种无需柱状隔垫物(column spacer，CS)工序，通过层间绝缘膜 工序，可有效填充白色(White)子像素的空间的平坦化特性。
这种情况下，需要在组合物内增加多官能丙烯酸低聚物及乙烯性不饱和多 官能单体的含量，若增加上述低聚物及单体的含量，则存在因半调(Half Tone) 区域的高光固化度而可能引起孔边距(hole margin)减少的问题。因此，需要 开发一种既具有高平坦化特性，又具有高分辨率的优秀的孔边距特性的层间绝 缘膜。
发明内容
所要解决的课题
因此，本发明的目的在于，提供一种负型感光性树脂组合物，其通过包含 特定结构的多官能氨基甲酸酯系甲基丙烯酸酯，从而显著提高灵敏度、平坦化、 分辨率、残膜率等特性，并且通过导入甲基丙烯酸酯的甲基，从而诱导组合物 内的单体的立体位阻(Sterichindrance)，调节基于光的初期反应(交联度)， 控制半调(Half Tone)区域的光固化度，孔边距优秀。
解决课题的方法
为了实现上述目的，本发明提供一种负型感光性树脂组合物，其包含：丙 烯酸系共聚物；由以下化学式1表示的多官能氨基甲酸酯系甲基丙烯酸酯化合 物；自由基光引发剂；以及溶剂。
化学式1
在上述化学式1中，D为碳原子数1至20的烃基，n及m各自独立地为 0至2的整数。
发明效果
本发明的负型感光性树脂组合物，灵敏度、平坦化、分辨率、残膜率等特 性优秀，尤其是无需柱状隔垫物(CS)工序，通过层间绝缘膜工序，可一次 性填满RGBW结构的白色(White)子像素的空闲空间，适合使用于对高亮度、 低耗电量有利的RGBW结构的液晶显示装置用显示器。
具体实施方式
下面，更详细说明本发明。
本发明的负型感光性树脂组合物包含：(a)丙烯酸系共聚物；(b)多官能 氨基甲酸酯系甲基丙烯酸酯化合物；(c)自由基光引发剂；以及(d)溶剂。
上述丙烯酸系共聚物(相当于(a))进行显影时，起到容易形成不发生浮 渣(scum)的规定图案的作用，可使用通常使用于负型感光性树脂组合物的 公知的高分子，例如可以使用如下的丙烯酸系共聚物，该丙烯酸系共聚物是将 (ⅰ)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐及它们的混合物等，(ⅱ)烯烃系不饱和化 合物作为单体，在溶剂及聚合引发剂的存在之下进行自由基反应而合成之后， 通过沉淀及过滤、真空干燥(Vacuum Drying)工序，去除未反应单体而获得 的。上述丙烯酸系共聚物的重均分子量(Mw)为3000至30000，具体为3500 至25000，更具体为4000至20000。当上述重均分子量(Mw)小于3000时， 可降低显影性、残膜率等，或者可降低图案显影、耐热性等，当大于30000 时，可降低图案显影。其中，上述重均分子量为将聚苯乙烯作为标准物质而计 算的换算重均分子量(Mw)(以下，相同)。
作为上述不饱和羧酸、不饱和羧酸酐及它们的混合物，可单独使用或两种 以上混合使用丙烯酸、甲基丙烯酸等不饱和一元羧酸；马来酸、富马酸、柠康 酸、中康酸、衣康酸等不饱和二羧酸；或者它们的不饱和二羧酸酐等，具体地， 使用丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸酐及它们的混合物等时，在共聚反应性和对 于作为显影液的碱性水溶液的溶解性方面更有效。
作为上述烯烃系不饱和化合物，可使用甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、 甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸甲酯、丙 烯酸异丙酯、甲基丙烯酸环己酯、2-甲基环己基甲基丙烯酸酯、丙烯酸二环戊 烯酯、丙烯酸二环戊酯、甲基丙烯酸二环戊烯酯、甲基丙烯酸二环戊酯、1- 金刚烷基丙烯酸酯、1-金刚烷基甲基丙烯酸酯、二环戊氧基乙基甲基丙烯酸酯、 甲基丙烯酸异冰片酯、丙烯酸环己酯、2-甲基环己基丙烯酸酯、二环戊氧基乙 基丙烯酸酯、丙烯酸异冰片酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸苄酯、 甲基丙烯酸2-羟基乙酯、苯乙烯、邻甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、对甲基苯乙 烯、乙烯基甲苯、对甲氧基苯乙烯、1,3-丁二烯、异戊二烯、或者2,3-二甲基 1,3-丁二烯、丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、α-乙基丙烯酸缩水 甘油酯、α-正丙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丁基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸 -β-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸-β-甲基缩水甘油酯、丙烯酸-β-乙基缩水甘 油酯、甲基丙烯酸-β-乙基缩水甘油酯、丙烯酸-3,4-环氧丁酯、甲基丙烯酸-3,4- 环氧丁酯、丙烯酸-6,7-环氧庚酯、甲基丙烯酸-6,7-环氧庚酯、α-乙基丙烯酸-6,7- 环氧庚酯、邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚、或对乙烯基 苄基缩水甘油醚、甲基丙烯酸3,4-环氧环已酯等，可单独使用或者两种以上混 合使用上述化合物。
相对于全部单体100重量份，相当于上述(ⅰ)的单体的含量为5至40 重量份，具体为10至30重量份。当相当于上述(ⅰ)的单体的含量小于5 重量份时，存在难以溶解于碱性水溶液的问题，当大于40重量份时，存在针 对碱性水溶液的溶解性过大的问题。并且，相对于全部单体100重量份，相当 于上述(ⅱ)的单体的含量为60至95重量份，具体为65至90重量份。当相 当于上述(ⅱ)的单体的含量小于60重量份时，存在分辨率、耐热性降低的 问题，当大于95重量份时，存在丙烯酸系共聚物难以溶解于作为显影液的碱 性水溶液的问题。
在RGBW结构中，上述多官能氨基甲酸酯系甲基丙烯酸酯不饱和化合物 (相当于(b))起到控制光固化度，改善形成于基板上的红色、绿色、蓝色子 像素和白色子像素的高低差的作用，由以下化学式1表示。
化学式1
在上述化学式1中，D为碳原子数1至20的烃基，具体为碳原子数6至 13的亚烷基、亚芳基或亚萘基，n及m各自独立地为0至2的整数。且，当 n+m>0时，可增加丙烯酸系共聚物的固化度，当同时考虑固化度及分辨率时， n+m＝2时，存在固化度及分辨率均优秀的优点。
并且，上述多官能氨基甲酸酯系甲基丙烯酸酯化合物的重均分子量为100 至10000，具体为500至8000。若上述重均分子量过小，则不与上述丙烯酸共 聚物结合，效率有可能不好，若过大，则不与丙烯酸共聚物充分的结合，硬度 等物性有可能不好。
上述多官能氨基甲酸酯系甲基丙烯酸酯化合物(不饱和化合物)可将通常 使用的二异氰酸酯化合物与包含甲基丙烯酸酯的二醇化合物进行反应而制造， 所述二异氰酸酯化合物例如为甲苯二异氰酸酯、二苯基甲烷二异氰酸酯、萘二 异氰酸酯、苯二亚甲基二异氰酸酯、四甲基二甲苯二异氰酸酯、异佛尔酮二异 氰酸酯、六亚甲基二异氰酸酯、亚甲基双环己基异氰酸酯等。
相对于上述丙烯酸系共聚物100重量份，上述多官能氨基甲酸酯系甲基丙 烯酸酯化合物的含量为10至100重量份，具体为30至60重量份。当上述多 官能氨基甲酸酯系甲基丙烯酸酯的含量小于10重量份时，难以期待改善 RGBW结构的高低差，其含量大于100重量份时，反而存在分辨率及残膜率 降低的问题。
上述多官能氨基甲酸酯系甲基丙烯酸酯化合物为可以通过后述的光引发 剂的作用与上述丙烯酸共聚物聚合的单体，其包含双键，可与由光引发剂生成 的自由基进行反应，与其他光聚合单体或丙烯酸共聚物结合，形成交联结合。
上述多官能氨基甲酸酯系甲基丙烯酸酯由于具有甲基丙烯酸酯结构，而不 是丙烯酸酯结构，因此与交联结合的丙烯酸共聚物结合之后，因甲基丙烯酸酯 的甲基，可调节初期光结合速度，其结果可提高平坦化、分辨率等物性。并且， 由于在中间形成氨基甲酸酯键，因此更坚固地形成结合，硬度优秀，当从外部 施加力时，可具有恢复为原形态的复原力，尤其能够使与基板的粘接性更优秀。
本发明中使用的上述光引发剂(相当于(c))可使用负型感光性树脂组合 物中使用的公知的光引发剂，具体地，可使用肟酯系化合物。相对于上述丙烯 酸系共聚物100重量份，上述光引发剂的含量为0.1至30重量份，具体为0.5 至20重量份。当上述光引发剂的含量小于0.1重量份时，因低的灵敏度，存 在残膜率及粘接力降低的问题，其含量大于30重量份时，存在溶解性及分辨 率降低的问题。
本发明中使用的上述溶剂(相当于(d))起到实现层间绝缘膜的平坦性和 防止产生涂布斑纹而形成均匀的图案轮廓的作用，可使用通常可使用于负型感 光性树脂组合物的公知的溶剂，例如，可使用丙二醇单乙醚丙酸酯、丙二醇甲 醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯、丙二醇丁醚丙酸酯等丙二 醇烷基醚乙酸酯类；甲醇、乙醇等醇类；四氢呋喃等醚类；乙二醇单甲醚、乙 二醇单乙醚等甘醇醚类；甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯等乙二醇烷基 醚乙酸酯类；二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇二甲醚等二乙二醇 类；丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、丙二醇丙醚、丙二醇丁醚等丙二醇单烷基醚类；丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯、丙二醇丙醚乙酸酯、丙二醇丁醚乙酸 酯等丙二醇烷基醚乙酸酯类；甲苯、二甲苯等芳香族烃类；甲基乙基酮、环己 酮、4-羟基4-甲基2-戊酮等酮类；或者乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸 丁酯、2-羟基丙酸乙酯、2-羟基2-甲基丙酸甲酯、2-羟基2-甲基丙酸乙酯、羟 基乙酸甲酯、羟基乙酸乙酯、羟基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、 乳酸丁酯、3-羟基丙酸甲酯、3-羟基丙酸乙酯、3-羟基丙酸丙酯、3-羟基丙酸 丁酯、2-羟基3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙 酸丙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙 酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、 丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧 基乙酸丁酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2- 甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、 2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙 酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙 酸丙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧 基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3- 丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯、 3-丁氧基丙酸丁酯等酯类等，具体地，可使用实现溶解性、与各成分的反应性 及容易形成涂布膜的丙二醇单乙醚丙酸酯、丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙 酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯、丙二醇丁醚丙酸酯等丙二醇烷基醚丙酸酯类，根据 需要，可单独使用或者混合两种以上使用。
相对于丙烯酸系共聚物100重量份，上述溶剂的含量为10至500重量份， 具体为30至400重量份。
本发明的负型感光性树脂组合物的固体成分含量为10至50重量％，具体 为15至40重量％。若上述固体成分的含量超出上述范围，则流动性太大或者 太小，有可能无法充分的涂布在后述的基板上。
本发明的负型感光性树脂组合物，根据需要，还可包含多官能丙烯酸酯低 聚物和/或具有乙烯性不饱和键的多官能单体。上述多官能丙烯酸酯低聚物具 有2至20个的官能团，可使用脂肪族氨基甲酸酯丙烯酸酯低聚物、芳香族氨 基甲酸酯丙烯酸酯低聚物、环氧丙烯酸酯低聚物、环氧甲基丙烯酸酯低聚物、 聚酯丙烯酸酯低聚物、硅酮丙烯酸酯低聚物、三聚氰胺丙烯酸酯低聚物、树枝 状丙烯酸酯低聚物等，它们可单独使用或者两种以上混合使用。
相对于丙烯酸系共聚物100重量份，上述多官能丙烯酸酯低聚物的含量为 1至50重量份，具体为5至30重量份。当上述多官能丙烯酸酯低聚物的含量 小于1重量份时，存在因低的灵敏度而残膜率不佳的问题，当大于50重量份 时，存在显影性降低，分辨率降低的问题。
本发明的负型感光性树脂组合物通过同时导入具有不同结构(及大小)且 起到交联剂的作用的上述多官能氨基甲酸酯系甲基丙烯酸酯不饱和化合物(相 当于(b))及多官能丙烯酸酯低聚物，在规定体积内可密集更多的丙烯酸共聚 物，可形成具有更坚固的强度及密集度的绝缘膜。
作为具有上述乙烯性不饱和键的多官能单体的具体例，可使用选自由二季 戊四醇六丙烯酸酯、季戊四醇二丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四 丙烯酸酯、邻苯二甲酸二丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸 酯、三环癸烷二甲醇二丙烯酸酯、三甘油二丙烯酸酯、三丙烯酰氧乙基异氰脲 酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯衍生物及它们的甲基丙烯酸酯类组成的组中的 一种或两种以上混合而成的混合物。
本发明的负型感光性树脂组合物，根据需要，为了提高特定物性，还可包 含使用于多种负型感光性树脂组合物的常规的添加剂，例如硅烷偶联剂、表面 活性剂等，相对于上述丙烯酸系共聚物100重量份，上述添加剂的含量可使用 为0.01至5重量份。
并且，本发明的负型感光性树脂组合物涂布于显示器件上，形成层间绝缘 膜，例如，关于上述层间绝缘膜，可以通过在基板上涂布本发明的负型感光性 树脂组合物并进行热处理，显影之后，固化(curing)的步骤，在显示器件上 形成层间绝缘膜。上述热处理可在通常执行的温度下执行。
上述层间绝缘膜的厚度及各条件等不受特别限制，可设定为通常的器件制 造中使用的范围。因此，除了上述负型感光性树脂组合物之外的其余事项，可 由本发明所属技术人员适当利用公知的方法来选择适用。
具体地，上述层间绝缘膜可如下形成。首先，将本发明的负型感光性树脂 组合物通过喷雾法、辊涂法、旋涂法等涂布于基板表面，通过预烘去除溶剂， 形成涂布膜。此时，上述热处理可在80至130℃的温度下实施1至5分钟。
接着，根据预先准备的图案，将可见光、紫外线、远紫外线、电子束、X 射线等照射在上述形成的涂布膜，用显影液进行显影，去除不需要的部分，形 成规定的图案。
上述显影液，使用碱性水溶液更有效，例如，可使用氢氧化钠、氢氧化钾、 碳酸钠等无机碱类；正丙胺等伯胺类；二乙胺、正丙胺等仲胺类；三甲胺、甲 基二乙胺、二甲基乙胺、三乙胺等叔胺类；二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、三 乙醇胺等醇胺类；或者四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵等季铵盐的水溶液等。 此时，上述显影液是将碱性化合物以0.1至10重量％的浓度溶解后使用，还可 适量添加甲醇、乙醇等之类的水溶性有机溶剂及表面活性剂。
并且，可以利用上述显影液进行显影之后，用超纯水洗涤50至180秒钟， 去除不必要的部分之后，干燥，形成图案，向上述形成的图案选择性地照射紫 外线等光，利用烘箱等加热装置，在150至250℃的温度下，对所形成的图案 进行固化30至90分钟，最终获得层间绝缘膜。
并且，本发明可以提供如上所述将本发明的负型感光性树脂组合物涂布于 基板上，进行热处理及固化而形成层间绝缘膜的显示器件。
上述层间绝缘膜可用作为多种显示器的层间绝缘膜，尤其是可有效地使用 于RGBW结构的液晶显示装置用显示器。
以下，通过实施例，更详细地说明本发明，但本发明不局限于以下实施例。
[实施例1]负型感光性树脂组合物的制造
混合重均分子量(Mw)为5000的丙烯酸系共聚物溶液100重量份、六 官能氨基甲酸酯系甲基丙烯酸酯(化学式1的n及m各自为1时)40重量份、 作为自由基光引发剂的肟酯系光引发剂10重量份、硅烷偶联剂3重量份、表 面活性剂1重量份。以上述混合物的固体成分含量为25重量份的方式加入丙 二醇单乙醚乙酸酯进行溶解之后，用0.2μm的微孔滤器进行过滤，制造负型感 光性树脂组合物涂布溶液。
[实施例2]负型感光性树脂组合物的制造
使用10重量份的多官能氨基甲酸酯系甲基丙烯酸酯的含量来代替40重量 份，除此之外，通过与上述实施例1相同的方法，制造感光性树脂组合物涂布 溶液。
[实施例3]负型感光性树脂组合物的制造
使用100重量份的多官能氨基甲酸酯系甲基丙烯酸酯的含量来代替40重 量份，除此之外，通过与上述实施例1相同的方法，制造感光性树脂组合物涂 布溶液。
[实施例4]负型感光性树脂组合物的制造
作为乙烯性不饱和多官能单体，还使用15重量份的二季戊四醇六丙烯酸 酯，除此之外，通过与上述实施例1相同的方法，制造感光性树脂组合物涂布 液。
[实施例5]负型感光性树脂组合物的制造
作为乙烯性不饱和多官能单体，还使用30重量份的二季戊四醇六丙烯酸 酯，除此之外，通过与上述实施例1相同的方法，制造感光性树脂组合物涂布 液。
[实施例6]负型感光性树脂组合物的制造
使用十官能氨基甲酸酯系甲基丙烯酸酯(化学式1的n及m各自为2时)， 除此之外，通过与上述实施例1相同的方法，制造感光性树脂组合物涂布液。
[比较例1]负型感光性树脂组合物的制造
使用作为乙烯性不饱和多官能单体的二季戊四醇六丙烯酸酯40重量份来 代替由化学式1表示的多官能氨基甲酸酯系甲基丙烯酸酯，除此之外，通过与 上述实施例1相同的方法，制造感光性树脂组合物涂布液。
[比较例2]负型感光性树脂组合物的制造
使用作为氨基甲酸酯系不饱和多官能单体的脂肪族氨基甲酸酯六丙烯酸 酯40重量份来代替由化学式1表示的多官能氨基甲酸酯系甲基丙烯酸酯，除 此之外，通过与上述实施例1相同的方法，制造感光性树脂组合物涂布液。
[比较例3]负型感光性树脂组合物的制造
使用由化学式1表示的多官能氨基甲酸酯系甲基丙烯酸酯的含量110重量 份，除此之外，通过与上述实施例1相同的方法，制造感光性树脂组合物涂布 液。
形成了层间绝缘膜的RGBW基板的制造
a.RGBW基板的制造
首先，在洗净的玻璃上涂布红色(Red Color)抗蚀剂，在具有90℃的温 度的热板进行预烘100秒钟。接着，利用光掩模，以100mJ/sq.cm的曝光量进 行曝光之后，利用0.04％KOH显影液进行显影60秒钟，在具有230℃的温度 的对流式烘箱(Convection Oven)中，追加执行固化(curing)30分钟。
通过如上所述的方法，涂布绿色(Green)、蓝色(Blue)抗蚀剂之后，分 别执行固化(curing)。在此，白色图案在红色(Red Color)抗蚀剂曝光工序 中，由光掩模的暗黑图案形成，固化后的RGB颜色的厚度形成为2.5μm。
b.层间绝缘膜工序
在如上所述制造的RGBW基板上，涂布上述实施例1至6、比较例1至3 中制造的负型感光性树脂组合物，在具有105℃的温度的热板中执行预烘100 秒钟。接着，利用光掩模，以5至70mJ/sq.cm的曝光量进行曝光之后，利用 2.38％TMAH显影液进行显影100秒钟，在具有240℃的温度的对流式烘箱 (Convection Oven)中，追加执行固化(curing)23分钟，制造形成了层间绝 缘膜的RGBW基板。
[实验例1]负型感光性树脂组合物的特性评价
通过如下的方法，对由上述实施例1至6、比较例1至3的树脂组合物制 造的形成了层间绝缘膜的RGBW基板进行物性评价，将其结果示于以下表1。
(1)高低差的测定
通过接触式厚度测定设备科天(Tencor)，测定了白(White)色区域和 RGB颜色区域中的高低差(※绿色(Green Color)上有机膜厚度-白色(White) 空闲空间内填满的有机膜厚度)，若高低差为以下，则由○表示，若超 过6000且为以下，则由△表示，若超过8000且为以下，则由X表示。
(2)灵敏度
通过与上述高低差测定方法相同的工序，按不同曝光量进行层间绝缘膜工 序之后，在RGB颜色中，将层间绝缘膜的厚度饱和的时间点(厚度变动在于 以内)表示为最佳灵敏度。
(3)分辨率
通过与上述高度差测定方法相同的工序，在白(White)色区域，利用光 学显微镜，测定所形成的最佳灵敏度部位形成的图案(Pattern)膜的接触孔大 小(Contact HoleSize)，若层间绝缘膜的分辨率达到(Open)6至8μm，则由 ○表示，若达到超过8至11μm，则由△表示，若达到超过11至14μm，则由 X表示。
(4)残膜率
通过接触式厚度测定设备科天(Tencor)，借助与上述高度差测定方法相 同的工序，在最佳灵敏度部位，对于层间绝缘膜的残膜进行测定，若残膜率为 80％以上，则由○表示，若小于80且大于75％，则由△表示，若为75％以下， 则由X表示。其中，残膜率意味着“(显影后厚度)/初期厚度)*100”。
表1
如上述表1所示，确认了使用本发明的实施例1至6的负型感光性组合物 形成的RGBW基板的高低差、灵敏度、分辨率及残膜率等特别优秀，尤其是 使用比较例1至3的负型感光性组合物形成的RGBW基板的分辨率非常不好。 由此，利用本发明的负型感光性组合物时，高低差、灵敏度、分辨率及残膜率 优秀，尤其是通过使用多官能氨基甲酸酯甲基丙烯酸酯而能够控制光固化度， 由此能够确认其为可实现高平坦性、高分辨率的负型感光性树脂组合物。
[实验例2]负型感光性树脂组合物的机械特性评价
就由上述实施例1至6的树脂组合物制造的形成了层间绝缘膜的RGBW 基板而言，利用纳米压痕仪(nanoindenter)装备和玻氏压针(Berkovich Tip)， 对层间绝缘膜的机械特性进行评价，将分析结果示于以下表2。
表2
实施例1 实施例2 实施例3 实施例4 实施例5 实施例6
强度(Gpa) 0.31 0.29 0.32 0.35 0.36 0.32
如上述表2所示，使用本发明的实施例1至6的负型感光性组合物形成的 层间绝缘膜的强度显示为约0.29Gpa以上，尤其是，就以往还包含DPHA的 实施例4及5而言，可确认具有相对来说硬度更提高的效果。

Claims (9)

1.一种负型感光性树脂组合物，其特征在于，包含：
丙烯酸系共聚物；
由以下化学式1表示的多官能氨基甲酸酯系甲基丙烯酸酯化合物；
自由基光引发剂；以及
溶剂，
化学式1
在所述化学式1中，D为碳原子数1至20的烃基，n及m各自独立地为0至2的整数。
2.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其特征在于，相对于所述丙烯酸系共聚物100重量份，所述多官能氨基甲酸酯系甲基丙烯酸酯化合物、自由基光引发剂及溶剂的含量分别为1至100重量份、0.1至30重量份以及10至500重量份。
3.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其特征在于，所述D为碳原子数6至13的亚烷基、亚芳基或亚萘基。
4.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其特征在于，所述多官能氨基甲酸酯系甲基丙烯酸酯化合物的重均分子量为100至10000。
5.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其特征在于，固体成分的含量为10至50重量％。
6.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其特征在于，还包含多官能丙烯酸酯低聚物和/或具有乙烯性不饱和键的多官能单体。
7.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其特征在于，还包含选自由硅烷偶联剂、表面活性剂及它们的混合物组成的组中的添加剂，
相对于所述丙烯酸系共聚物100重量份，所述添加剂的含量为0.01至5重量份。
8.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其特征在于，所述化学式1的n及m满足n+m>0。
9.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其特征在于，所述化学式1的n及m满足n+m＝2。
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