CN104923534A - 面板配向膜清除设备 - Google Patents
面板配向膜清除设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104923534A CN104923534A CN201510266940.XA CN201510266940A CN104923534A CN 104923534 A CN104923534 A CN 104923534A CN 201510266940 A CN201510266940 A CN 201510266940A CN 104923534 A CN104923534 A CN 104923534A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- alignment film
- clamping
- equipment
- panel alignment
- panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B11/00—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B11/04—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto specially adapted for plate glass, e.g. prior to manufacture of windshields
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
- B08B3/024—Cleaning by means of spray elements moving over the surface to be cleaned
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
本发明涉及显示器领域,公开了一种面板配向膜清除设备,包括:箱体、夹持系统、喷淋系统和控制器,箱体设有敞口,敞口由密封门密封;箱体设有废液口和废气口;夹持系统设于箱体中,用于夹持面板;喷淋系统包括储液器、气泵和喷头,喷头设于箱体中,且位于夹持系统的上方,储液器为多个,分别用于存储多种清洗液,喷头通过管路分别与气泵的出口及储液器的出口连接,气泵的出口及多个储液器的出口设有控制电磁阀,控制器与控制电磁阀及气泵连接,用于控制控制电磁阀及气泵的开关。本发明结构简单、成本低,能够高效,省力的清洗拆屏后的面板以及去除面板的配向膜,不需要人工进行清洗,保证操作人员的身体健康。
Description
技术领域
本发明涉及显示器领域,特别是涉及一种面板配向膜清除设备。
背景技术
TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display),即薄膜场效应晶体管液晶显示器,广泛应用于我们生活的各个方面,从小尺寸的手机、摄像机、数码相机,中尺寸的笔记本电脑、台式机,大尺寸的家用电视到大型投影设备等,液晶显示器不仅轻、薄,而且在画质及响应速度方面也逐步媲美与传统的阴极射线管显示器(Cathode RayTube,CRT),LCD已经替代CRT成为主流,价格也已经下降了很多,并已充分的普及。
TFT-LCD工业化生产一般包括阵列工艺(Array),彩膜工艺(ColorFilter),成盒工艺(Cell)和模组工艺(Module)。工序较多,容易产生各种不良,各大厂商为了确保产品的良率,投入了大量的人力物力用于失效分析(Failure Analysis),以及时对应新产品开发及量产品生产过程中产生的各种不良,找出引发不良的原因,制定改善方案,以在竞争越来越激烈的TFT-LCD行业中处于不败地位。
当前失效分析拆屏后的玻璃清洗及配向膜的去除是由工程师手动完成,在清洗大尺寸的面板玻璃时易发生破损,药液损耗大,清洗过程中使用的一些有毒有害化学药品会影响工程师的身体健康,且会污染环境。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明的目的是提供一种结构简单、成本低,能够高效省力地清洗拆屏后的面板以及去除面板的配向膜的面板配向膜清除设备。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题,本发明提供一种面板配向膜清除设备,包括:箱体、夹持系统、喷淋系统和控制器,所述箱体设有敞口,所述敞口由密封门密封;所述箱体设有废液口和废气口;所述夹持系统设于所述箱体中,用于夹持面板;所述喷淋系统包括储液器、气泵和喷头,所述喷头设于所述箱体中,且位于所述夹持系统的上方,所述储液器为多个,分别用于存储多种清洗液,所述喷头通过管路分别与气泵的出口及储液器的出口连接,气泵的出口及多个储液器的出口设有控制电磁阀,所述控制器与所述控制电磁阀及气泵连接,用于控制所述控制电磁阀及气泵的开关。
其中,该面板配向膜清除设备还包括用于根据控制指令带动所述喷头移动的喷头移动装置。
其中,所述喷头移动装置包括第一直线导轨、与第一直线导轨平行布置的第一滚珠丝杠和用于与所述第一滚珠丝杠的螺杆连接且驱动螺杆转动的第一伺服电机,所述喷头设于所述第一直线导轨的滑块,且与第一滚珠丝杠的螺母连接;所述控制器与所述第一伺服电机连接,用于控制所述第一伺服电机转动。
其中,所述喷淋系统还设有水泵,所述控制器与所述水泵连接,所述水泵的进口分别与多个所述储液器的出口连接,所述水泵的出口与喷头连接。
其中,所述喷头为一个或者三个。
其中,所述夹持系统包括两个夹持架和至少一个夹持滑动装置,两个所述夹持架平行相对布置,且至少一个所述夹持架设于所述夹持滑动装置,在所述夹持滑动装置的驱动下移动,调整两个所述夹持架之间的距离。
其中,所述夹持滑动装置包括夹持直线导轨、与所述夹持直线导轨平行布置的夹持滚珠丝杠和用于与所述夹持滚珠丝杠的螺杆连接且带动螺杆转动的夹持伺服电机,所述夹持架通过滑块可滑动地设于所述夹持直线导轨,且与所述夹持滚珠丝杠的螺母连接,所述控制器与所述夹持伺服电机连接,用于控制所述夹持伺服电机转动。
其中,所述夹持滑动装置包括夹持直线导轨、气缸和气源,所述夹持架通过滑块可滑动地设于所述夹持直线导轨,所述气缸的活塞杆与所述夹持直线导轨相平行布置,所述气源通过管路与所述气缸的活塞腔连接,且所述管路设有电磁换向阀,所述控制器分别与所述电磁换向阀及气源连接。
其中,该面板配向膜清除设备还包括排液装置,所述排液装置包括排出泵,所述排出泵通过管路与所述废液口连接;所述控制器与所述排出泵连接,控制所述排出泵排出废液。
其中,该面板配向膜清除设备还包括排气装置,所述排气装置包括风机和洗涤池,所述风机的一端与所述废气口连接,所述风机的另一端连接所述洗涤池;所述控制器与所述风机连接,用于控制所述风机将废气排入洗涤池进行净化。
其中,所述排液装置连接一个回收系统,所述回收系统包括净化单元和多个回收罐,所述净化单元用于将废液净化提纯,并存储到相应的回收罐中。
其中,所述回收罐与储液器连接。
(三)有益效果
本发明提供的面板配向膜清除设备,结构简单、成本低,能够高效,省力的清洗拆屏后的面板以及去除面板的配向膜,不需要人工进行清洗,保证操作人员的身体健康;设有喷头移动装置,能够在面板的上方移动,较好地清洗面板,且节省清洗液用量;设有夹持滑动装置,适用于多种尺寸的面板的清洗。
附图说明
图1为本发明实施例1去掉密封门的立体示意图;
图2为本发明实施例1的喷头移动装置的结构示意图;
图3为本发明实施例1的夹持滑动装置的结构示意图;
图4为本发明实施例2的夹持滑动装置的结构示意图。
图中,1:箱体;11:敞口;12:废液口;13:废气口;2:夹持系统;21:夹持架;3:喷淋系统;31:储液器;32:水泵;33:喷头;34:气泵;35:喷头架;4:面板;5:喷头移动装置;51:第一直线导轨;52:第一滚珠丝杠;53:第一伺服电机;6:夹持滑动装置;61:夹持直线导轨;62:夹持滚珠丝杠;63:夹持伺服电机;64:气缸;65:气源;7:排液装置;71:排出泵;8:排气装置;81:风机;82:洗涤池;9:回收系统。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实例用于说明本发明,但不用来限制本发明的范围。
实施例1
如图1和2所示,本发明的面板配向膜清除设备,包括:箱体1、夹持系统2、喷淋系统3和控制器(图未示出),箱体1设有敞口11,敞口11由密封门(图未示出)密封。箱体1设有废液口12和废气口13。夹持系统2设于箱体1中,用于夹持面板4。喷淋系统3包括储液器31、气泵34和喷头33,喷头33设于箱体1中,且位于夹持系统2的上方,用于向面板4喷射清洗液和空气。储液器31为多个,分别用于存储多种清洗液,本实施例中,清洗液为3个,分别用于存储异丙醇、四甲基氢氧化铵和水。喷头33通过管路分别与气泵34的出口及储液器31的出口连接,气泵34的出口及多个储液器31的出口设有控制电磁阀,控制器与控制电磁阀及气泵34连接,用于控制控制电磁阀及气泵的开关。需要说明的是,储液器31不限于为3个,还可以为4个以上,可以根据实际需要进行选用。
使用本发明,将面板放置在夹持系统上,使用喷淋系统向面板喷射清洗液和空气,去除面板表面的取向膜,不需要人工进行清洗,保证操作人员的身体健康。
进一步的,喷淋系统3还设有水泵32,水泵32的进口分别与多个储液器31的出口连接,水泵32的出口与喷头33连接,控制器也与水泵32连接,控制器控制水泵32的开关。通过设置水泵32,使喷淋清洗液时,压办增强,更好地清洗面板。
进一步的,该面板配向膜清除设备还包括用于根据控制指令带动喷头33移动的喷头移动装置5。喷头移动装置5包括第一直线导轨51、与第一直线导轨51平行布置的第一滚珠丝杠52和用于与第一滚珠丝杠52的螺杆连接且驱动螺杆转动的第一伺服电机53,喷头33设于第一直线导轨51的滑块,且与第一滚珠丝杠52的螺母连接;控制器与第一伺服电机53连接,用于控制第一伺服电机53转动,带动第一滚珠丝杠52的螺杆转动,螺母沿直线移动带动喷头33移动。通过设置喷头移动装置5,更好地清洗面板,节约清洗液的用量,节约成本。
优选的,喷头为一个或者三个,参照图2所示,本实施例中,三个喷头33通过一个喷头架35设于第一直线滑轨51的滑块,且与第一滚珠丝杠52的螺母连接。每个喷头33分别设有电磁开关,可以根据需要面板的大小控制开启的喷头数量,节约清洗液的用量。
进一步的,夹持系统2包括两个夹持架21和至少一个夹持滑动装置6,两个夹持架21平行相对布置,且至少一个夹持架21设于夹持滑动装置6,在夹持滑动装置6的驱动下移动,调整两个夹持架21之间的距离。本实施例中,如图1和3所示,夹持滑动装置6为两个,两个夹持滑动装置6分别横向和纵向布置,分别用于夹持架21。每个夹持滑动装置6包括夹持直线导轨61、与夹持直线导轨61平行布置的夹持滚珠丝杠62和用于与夹持滚珠丝杠62的螺杆连接且带动螺杆转动的夹持伺服电机63。夹持架21通过滑块可滑动地设于夹持直线导轨61,且与夹持滚珠丝杠62的螺母连接,控制器与夹持伺服电机63连接,用于控制夹持伺服电机63转动。如图3所示,夹持直线导轨61为平行布置的两根,夹持滚珠丝杠62布置于两根夹持直线导轨61的中间,夹持架21的两端分别通过一个滑块可滑动地设于夹持直线导轨61,且与夹持滚珠丝杠62的螺母连接,当夹持伺服电机63转动时,带动螺母沿螺杆移动,从而使夹持架21沿夹持直线导轨61移动。通过调整两个夹持架之间的距离,能够夹持不同尺寸的面板4。需要说明的是,夹持滑动装置6也可以采用一个,将其中一个夹持架21安装于夹持滑动装置6上,同样能够调整夹持架21之间的距离,夹持不同尺寸的面板。
进一步的,该面板配向膜清除设备还包括排液装置7,排液装置包括排出泵71,排出泵71通过管路与废液口12连接;控制器与排出泵71连接,控制排出泵71工作排出废液。通过设置排液装置,能够顺利地排出在箱体中的废液,避免废液反溅污染面板。
进一步的,该面板配向膜清除设备还包括排气装置8,排气装置8包括风机81和洗涤池82,风机81的一端与废气口13连接,风机81的另一端连接洗涤池82。洗涤池82承放有化学液体,用于洗涤废气,将废气中的有害物质吸收掉。控制器与风机81连接,用于控制风机81将废气排入洗涤池82进行净化,废气不直接排到空气中,避免环境污染。
进一步的,排液装置7连接一个回收系统9,回收系统包括净化单元和多个回收罐,净化单元用于将废液净化提纯,并存储到相应的回收罐中。循环使用清洗液,提高清洗液的利用率,降低成本。优选的,回收罐与储液器31连接。
使用时,本实施例的面板配向膜清除设备具有三种模式,模式A:冲洗模式,即只去除玻璃表面残余液晶,对应的喷淋系统按照预设的喷淋顺序、喷淋时间进行,异丙醇(60s)→水(60s)→空气(120s)(排气装置同时打开);模式B:冲洗及去除配向膜模式,即先去除玻璃表面残余液晶,再去除配向膜,对应的喷淋系统按照预设的喷淋顺序、喷淋时间进行,异丙醇(60s)→水(60s)→空气(120s)→设备暂停→玻璃表面放置无尘布→设备复位→四甲基氢氧化铵(120s)→设备计时(10min)→报警→取出无尘布→异丙醇(60s)→水(60s)→空气(120s)(排气装置同时打开);模式C:仅去除配向膜模式,即用于经冲洗残余液晶后的玻璃,去除配向膜,对应的喷淋系统按照预设的喷淋顺序、喷淋时间进行,玻璃表面放置无尘布→设备启动→四甲基氢氧化铵(120s)→设备计时(10min)→报警→取出无尘布→异丙醇(60s)→水(60s)→空气(120s)(排气装置同时打开)。设备喷头开始喷淋(可根据玻璃大小选择喷头开启个数,中间一个或三个同时开启),抽气。
实施例2
本实施例与实施例1基本相同,所不同之处在于:夹持滑动装置的结构与实施例1不相同。如图4所示,本实施例中的,夹持滑动装置6包括夹持直线导轨61、气缸64和气源65,夹持架21通过滑块可滑动地设于夹持直线导轨61,气缸64的活塞杆与夹持直线导轨61相平行布置,气源65通过管路与气缸64的活塞腔连接,且管路设有电磁换向阀,控制器分别与电磁换向阀及气源65连接,控制气源65及电磁抑制阀工作,活塞杆伸缩移动,带动夹持架21移动。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (12)
1.一种面板配向膜清除设备,其特征在于,包括:箱体、夹持系统、喷淋系统和控制器,所述箱体设有敞口,所述敞口由密封门密封;所述箱体设有废液口和废气口;所述夹持系统设于所述箱体中,用于夹持面板;所述喷淋系统包括储液器、气泵和喷头,所述喷头设于所述箱体中,且位于所述夹持系统的上方,所述储液器为多个,分别用于存储多种清洗液,所述喷头通过管路分别与气泵的出口及储液器的出口连接,气泵的出口及多个储液器的出口设有控制电磁阀,所述控制器与所述控制电磁阀及气泵连接,用于控制所述控制电磁阀及气泵的开关。
2.如权利要求1所述的面板配向膜清除设备,其特征在于,该面板配向膜清除设备还包括用于根据控制指令带动所述喷头移动的喷头移动装置。
3.如权利要求2所述的面板配向膜清除设备,其特征在于,所述喷头移动装置包括第一直线导轨、与第一直线导轨平行布置的第一滚珠丝杠和用于与所述第一滚珠丝杠的螺杆连接且驱动螺杆转动的第一伺服电机,所述喷头设于所述第一直线导轨的滑块,且与第一滚珠丝杠的螺母连接;所述控制器与所述第一伺服电机连接,用于控制所述第一伺服电机转动。
4.如权利要求1所述的面板配向膜清除设备,其特征在于,所述喷淋系统还设有水泵,所述控制器与所述水泵连接,所述水泵的进口分别与多个所述储液器的出口连接,所述水泵的出口与喷头连接。
5.如权利要求1所述的面板配向膜清除设备,其特征在于,所述喷头为一个或者三个。
6.如权利要求1所述的面板配向膜清除设备,其特征在于,所述夹持系统包括两个夹持架和至少一个夹持滑动装置,两个所述夹持架平行相对布置,且至少一个所述夹持架设于所述夹持滑动装置,在所 述夹持滑动装置的驱动下移动,调整两个所述夹持架之间的距离。
7.如权利要求6所述的面板配向膜清除设备,其特征在于,所述夹持滑动装置包括夹持直线导轨、与所述夹持直线导轨平行布置的夹持滚珠丝杠和用于与所述夹持滚珠丝杠的螺杆连接且带动螺杆转动的夹持伺服电机,所述夹持架通过滑块可滑动地设于所述夹持直线导轨,且与所述夹持滚珠丝杠的螺母连接,所述控制器与所述夹持伺服电机连接,用于控制所述夹持伺服电机转动。
8.如权利要求6所述的面板配向膜清除设备,其特征在于,所述夹持滑动装置包括夹持直线导轨、气缸和气源,所述夹持架通过滑块可滑动地设于所述夹持直线导轨,所述气缸的活塞杆与所述夹持直线导轨相平行布置,所述气源通过管路与所述气缸的活塞腔连接,且所述管路设有电磁换向阀,所述控制器分别与所述电磁换向阀及气源连接。
9.如权利要求1所述的面板配向膜清除设备,其特征在于,该面板配向膜清除设备还包括排液装置,所述排液装置包括排出泵,所述排出泵通过管路与所述废液口连接;所述控制器与所述排出泵连接,控制所述排出泵排出废液。
10.如权利要求1所述的面板配向膜清除设备,其特征在于,该面板配向膜清除设备还包括排气装置,所述排气装置包括风机和洗涤池,所述风机的一端与所述废气口连接,所述风机的另一端连接所述洗涤池;所述控制器与所述风机连接,用于控制所述风机将废气排入洗涤池进行净化。
11.如权利要求10所述的面板配向膜清除设备,其特征在于,所述排液装置连接一个回收系统,所述回收系统包括净化单元和多个回收罐,所述净化单元用于将废液净化提纯,并存储到相应的回收罐中。
12.如权利要求11所述的面板配向膜清除设备,其特征在于,所述回收罐与储液器连接。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510266940.XA CN104923534B (zh) | 2015-05-22 | 2015-05-22 | 面板配向膜清除设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510266940.XA CN104923534B (zh) | 2015-05-22 | 2015-05-22 | 面板配向膜清除设备 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN104923534A true CN104923534A (zh) | 2015-09-23 |
CN104923534B CN104923534B (zh) | 2017-11-14 |
Family
ID=54111142
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201510266940.XA Expired - Fee Related CN104923534B (zh) | 2015-05-22 | 2015-05-22 | 面板配向膜清除设备 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN104923534B (zh) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105344644A (zh) * | 2015-12-15 | 2016-02-24 | 江西合力泰科技有限公司 | 触摸屏洗片台 |
CN105839132A (zh) * | 2016-06-03 | 2016-08-10 | 衢州乐创节能科技有限公司 | 一种氢氟酸电解槽拆解清洗装置 |
CN106473660A (zh) * | 2016-12-07 | 2017-03-08 | 深圳市广田方特幕墙科技有限公司 | 智能玻璃幕墙清洗机器人系统 |
CN108380618A (zh) * | 2018-01-16 | 2018-08-10 | 长安大学 | 一种沥青旋转薄膜烘箱盛样瓶清洗装置 |
CN109317440A (zh) * | 2017-07-31 | 2019-02-12 | 中国南方电网有限责任公司超高压输电公司昆明局 | 二次板卡自动清洗装置 |
CN109739035A (zh) * | 2019-03-20 | 2019-05-10 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 剥离检测系统及液晶面板的剥离检测方法 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07283185A (ja) * | 1994-04-08 | 1995-10-27 | Casio Comput Co Ltd | 基板洗浄装置 |
US5836809A (en) * | 1996-10-07 | 1998-11-17 | Eco-Snow Systems, Inc. | Apparatus and method for cleaning large glass plates using linear arrays of carbon dioxide (CO2) jet spray nozzles |
JP2001102283A (ja) * | 1999-09-28 | 2001-04-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2004056005A (ja) * | 2002-07-23 | 2004-02-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
CN1748878A (zh) * | 2004-09-14 | 2006-03-22 | 芝浦机械电子株式会社 | 基板的处理装置及处理方法 |
TW201028220A (en) * | 2009-01-17 | 2010-08-01 | Au Optronics Corp | Wet clean apparatus |
CN201615991U (zh) * | 2010-03-05 | 2010-10-27 | 中国科学院微电子研究所 | 一种采用超临界水去除光刻胶的系统 |
CN101884983A (zh) * | 2010-07-16 | 2010-11-17 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 半导体清洗装置和清洗半导体器件的方法 |
CN202076333U (zh) * | 2011-04-02 | 2011-12-14 | 东莞宏威数码机械有限公司 | Oled玻璃基片清洗系统 |
CN102489470A (zh) * | 2011-12-07 | 2012-06-13 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃基板的清洗装置及清洗方法 |
CN103212549A (zh) * | 2013-04-28 | 2013-07-24 | 瑞鼎机电科技(昆山)有限公司 | 全自动盲孔清理机 |
CN103815853A (zh) * | 2014-02-27 | 2014-05-28 | 傅宇宙 | 用于洗碗机的移动冲洗系统 |
CN104494922A (zh) * | 2014-11-13 | 2015-04-08 | 苏州经贸职业技术学院 | 一种对称式可调夹持装置 |
-
2015
- 2015-05-22 CN CN201510266940.XA patent/CN104923534B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07283185A (ja) * | 1994-04-08 | 1995-10-27 | Casio Comput Co Ltd | 基板洗浄装置 |
US5836809A (en) * | 1996-10-07 | 1998-11-17 | Eco-Snow Systems, Inc. | Apparatus and method for cleaning large glass plates using linear arrays of carbon dioxide (CO2) jet spray nozzles |
JP2001102283A (ja) * | 1999-09-28 | 2001-04-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2004056005A (ja) * | 2002-07-23 | 2004-02-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
CN1748878A (zh) * | 2004-09-14 | 2006-03-22 | 芝浦机械电子株式会社 | 基板的处理装置及处理方法 |
TW201028220A (en) * | 2009-01-17 | 2010-08-01 | Au Optronics Corp | Wet clean apparatus |
CN201615991U (zh) * | 2010-03-05 | 2010-10-27 | 中国科学院微电子研究所 | 一种采用超临界水去除光刻胶的系统 |
CN101884983A (zh) * | 2010-07-16 | 2010-11-17 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 半导体清洗装置和清洗半导体器件的方法 |
CN202076333U (zh) * | 2011-04-02 | 2011-12-14 | 东莞宏威数码机械有限公司 | Oled玻璃基片清洗系统 |
CN102489470A (zh) * | 2011-12-07 | 2012-06-13 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃基板的清洗装置及清洗方法 |
CN103212549A (zh) * | 2013-04-28 | 2013-07-24 | 瑞鼎机电科技(昆山)有限公司 | 全自动盲孔清理机 |
CN103815853A (zh) * | 2014-02-27 | 2014-05-28 | 傅宇宙 | 用于洗碗机的移动冲洗系统 |
CN104494922A (zh) * | 2014-11-13 | 2015-04-08 | 苏州经贸职业技术学院 | 一种对称式可调夹持装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105344644A (zh) * | 2015-12-15 | 2016-02-24 | 江西合力泰科技有限公司 | 触摸屏洗片台 |
CN105344644B (zh) * | 2015-12-15 | 2019-03-26 | 江西合力泰科技有限公司 | 触摸屏洗片台 |
CN105839132A (zh) * | 2016-06-03 | 2016-08-10 | 衢州乐创节能科技有限公司 | 一种氢氟酸电解槽拆解清洗装置 |
CN106473660A (zh) * | 2016-12-07 | 2017-03-08 | 深圳市广田方特幕墙科技有限公司 | 智能玻璃幕墙清洗机器人系统 |
CN109317440A (zh) * | 2017-07-31 | 2019-02-12 | 中国南方电网有限责任公司超高压输电公司昆明局 | 二次板卡自动清洗装置 |
CN108380618A (zh) * | 2018-01-16 | 2018-08-10 | 长安大学 | 一种沥青旋转薄膜烘箱盛样瓶清洗装置 |
CN109739035A (zh) * | 2019-03-20 | 2019-05-10 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 剥离检测系统及液晶面板的剥离检测方法 |
CN109739035B (zh) * | 2019-03-20 | 2020-12-25 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 剥离检测系统及液晶面板的剥离检测方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104923534B (zh) | 2017-11-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN104923534A (zh) | 面板配向膜清除设备 | |
US10569529B2 (en) | Screen printing system and cleaning method thereof | |
CN108906815B (zh) | 化学实验设备的环保型自动清洗装置 | |
KR101060674B1 (ko) | 전열판 세척장치 | |
CN205393140U (zh) | Lcd液晶玻璃表面清洁装置 | |
CN205762549U (zh) | 一种笔记本外壳自动擦拭机 | |
CN215466478U (zh) | 自动清洗机 | |
US11407077B2 (en) | Device for repairing appearance defects and repair method | |
CN208066644U (zh) | 一种自动涂胶系统 | |
CN202196244U (zh) | 聚酰亚胺膜涂布设备 | |
CN219805034U (zh) | 一种高压喷淋清洗机 | |
CN209365639U (zh) | 一种pi制程中网纹辊的清洗装置 | |
US20160158785A1 (en) | Spray system and use method thereof | |
CN207857225U (zh) | 一种带喷水机构的汽车部件加工用喷漆房 | |
CN203557276U (zh) | 一种具有液水自动分离装置的玻璃抛光机 | |
CN104391403A (zh) | 一种液晶泵及应用该液晶泵的滴下方法 | |
CN100560371C (zh) | 喷墨系统 | |
CN115613239A (zh) | 一种布料喷淋控制装置 | |
CN114653659A (zh) | 一种液晶显示屏生产用表面清洗装置 | |
CN202484599U (zh) | 助剂自动计量输送设备 | |
CN204342418U (zh) | 一种一对多自动对接系统 | |
CN113390781A (zh) | 一种折叠式盐雾箱均化板装置及其清理积盐的方法 | |
CN204058626U (zh) | 轮毂电泳系统 | |
CN203061485U (zh) | 毛刷清洗装置及基板清洗装置 | |
CN204298045U (zh) | 封闭式灌装机 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20171114 |