CN104909164A - 一种基板转移装置 - Google Patents
一种基板转移装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104909164A CN104909164A CN201510262964.8A CN201510262964A CN104909164A CN 104909164 A CN104909164 A CN 104909164A CN 201510262964 A CN201510262964 A CN 201510262964A CN 104909164 A CN104909164 A CN 104909164A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- support
- positioning
- substrate
- substrate transfer
- transfer apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 96
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 6
- 230000007306 turnover Effects 0.000 claims description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 9
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H15/00—Overturning articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H5/00—Feeding articles separated from piles; Feeding articles to machines
- B65H5/08—Feeding articles separated from piles; Feeding articles to machines by grippers, e.g. suction grippers
- B65H5/14—Details of grippers; Actuating-mechanisms therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/22—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
- B65G47/24—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors orientating the articles
- B65G47/244—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors orientating the articles by turning them about an axis substantially perpendicular to the conveying plane
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/22—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
- B65G47/24—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors orientating the articles
- B65G47/248—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors orientating the articles by turning over or inverting them
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2301/00—Handling processes for sheets or webs
- B65H2301/30—Orientation, displacement, position of the handled material
- B65H2301/33—Modifying, selecting, changing orientation
- B65H2301/332—Turning, overturning
- B65H2301/3321—Turning, overturning kinetic therefor
- B65H2301/33212—Turning, overturning kinetic therefor about an axis parallel to the direction of displacement of material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2301/00—Handling processes for sheets or webs
- B65H2301/30—Orientation, displacement, position of the handled material
- B65H2301/33—Modifying, selecting, changing orientation
- B65H2301/332—Turning, overturning
- B65H2301/3321—Turning, overturning kinetic therefor
- B65H2301/33216—Turning, overturning kinetic therefor about an axis perpendicular to the direction of displacement and to the surface of material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2801/00—Application field
- B65H2801/61—Display device manufacture, e.g. liquid crystal displays
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Robotics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本发明提供一种基板转移装置,用于解决现有技术的基板转移装置不能实现基板的倒角和翻转的问题。本发明提供一种基板转移装置,由于旋转架能相对于支撑梁作旋转运动,且支撑梁能相对于支撑本体作旋转运动;所以当旋转架上设有基板时能够带动基板进行旋转或翻转运动,实现基板的转移和倒角。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域,具体地,涉及一种基板转移装置。
背景技术
如图1所示,液晶面板制造工艺复杂,一张基板需要经过多条生产线上加工,此过程中因设备调试、基板检查、故障处理等原因需要将基板取出或转移。因基板大、薄、轻的特点,现有技术已有能够转移基板的装置。
图1为现有的基板转移装置结构图,主要包括支撑本体1和与支撑本体1连接的并能在支撑本体1的立面11上上下移动的移动支架2;立面11与底面12连接并获得支撑;移动支架2包括用于将移动支架2连接至立面11上的支撑轴14,并可以通过第一升降单元带动支撑轴14在立面11上上下移动,应当理解的,第一升降单元可以包括齿轮皮带、摇杆齿轮和带有齿面的平面板,摇杆齿轮带动齿轮皮带转动,齿轮皮带带动平面板上升或下降。
立面11上设有导轨13,导轨13与平面板相扣保证上下移动的稳定性,升降单元与支撑轴14连接,从而带动支撑轴14上升或下降。第一升降单元也可以采用其它形式。
基板转移装置还包括与移动支架2配合的取放支架3,取放支架3设置在与基板传输支撑架4对应处,当需要对位于传输支撑架4上的基板进行取放时,取放支架3有第二升降单元升起从传输支撑架4下方将基板托起,此时,移动支架2由支撑本体1带动进入取放支架2的下方的对应位置,然后,第一升降单元将移动支架2升起,移动支架2托起放置在取放支架3的基板,然后可以将支撑本体1移动,将基板采用上述类似的方法放置于其他设备上,应当理解的是,其它设备上也需要配置取放支架3和第二升降单元,理解的是,第二升降单元可以采用气缸或液压缸驱动,具体可以视情况选择。
移动支架2成叉子状,在取放支架3上只能进行单一方向的取放动作,即叉子长度方向上进行取放(宽度方向上不能)。然而在液晶面板制造生产线内,基板在各设备里加工时其相对位置(倒角)必须符合设定的要求,因此当需要把基板从一个设备取出放到另一个设备时,有时需要改变基板的倒角位置或者使基板进行翻转,上述的基板转移装置无法实现该功能,只能借助专门的辅助设备(翻转机)或人工手动旋转或翻转,这在品质和安全方面都是很大的隐患。借助于发明装置,以上问题即可迎刃而解。
发明内容
解决上述问题所采用的技术方案是一种基板转移装置,包括:包括支撑本体和与支撑本体连接的移动支架;
及用于与所述移动支架配合完成基板取放的取放支架;其特征在于,
所述移动支架包括与所述支撑本体可旋转连接的支撑梁;
所述移动支架还包括与所述支撑梁可旋转连接的旋转架;
所述旋转架用于带动基板在旋转架所在的平面旋转;
所述支撑梁带动位于所述旋转架上的基板作翻转运动。
优选的,所述支撑梁通过第一旋转轴与所述支撑本体连接。
优选的,所述旋转架通过第二旋转轴与所述支撑梁连接。
优选的,所述旋转架能沿所述支撑梁的长度方向移动用于调节所述旋转架与所述支撑本体之间的距离。
优选的,所述支撑梁的长度方向上设有滑槽;所述第二旋转轴的一端能与所述滑槽相配合并沿所述滑槽移动。
优选的,所述滑槽还包括位于支撑梁内部的宽度方向上的扩张部;所述第二旋转轴包括与上述扩张部相配合的膨胀部。
优选的,所述第一旋转轴在所述旋转架与所述支撑梁之间设有第一定位盘;所述第一定位盘包括沿其圆周方向设置的多个定位槽;在所述支撑梁长度方向上设有第一定位杆,所述第一定位杆通过伸缩进出所述定位槽中完成所述第一旋转轴角度的控制。
优选的,所述第二旋转轴在所述支撑本体与所述支撑梁之间设有第二定位盘;所述第二定位盘包括沿其圆周方向设置的多个定位槽;在所述支撑本体上设有第二定位杆,所述第二定位杆通过伸缩进出所述定位槽中完成所述第二旋转轴角度的控制。
优选的,所述第一定位杆和所述第二定位杆上设有弹性单元,用于将所述第一定位杆和所述第二定位杆朝向所述第一定位槽或第二定位槽方向施加作用力。
优选的,所述旋转架包括主支撑杆和与所述主支撑杆垂直设置的次支撑杆;所述旋转架以与所述第二旋转轴的连接点为中点对称设置。
优选的,所述次支撑杆上设有多个吸附部;所述吸附部用于吸附所述基板。
优选的,所述取放支架包括用于放置基板的顶面;和围绕所述顶面的周侧面;所述周侧面中的至少一个侧面与所述顶面的共同边设有缺口,所述缺口用于使所述支撑梁从所述取放支架中升起。
优选的,所述顶面的相对两侧边各包括一组间隔设置顶杆;两组顶杆之间设有间隙,所述间隙用于使所述主支撑杆从所述取放支架中升起;
所述每组顶杆包括多个平行间隔布置在所述的顶面内的顶杆;相邻所述顶杆之间设有间隔区用于使所述次支撑杆从所述取放支架中升起。
本发明提供的基板转移装置由于旋转架能相对于支撑梁作旋转运动,且支撑梁能相对于支撑本体作旋转运动;所以当旋转架上设有基板时能够带动基板进行旋转或翻转运动,实现基板的转移和倒角。
附图说明
图1为现有技术基板转移装置结构示意图;
图2为本发明实施例1中基板转移装置中旋转架与支撑梁平行时的结构示意图;
图3为本发明实施例1中基板转移装置中旋转架与支撑梁垂直时的结构示意图;
图4为本发明实施例1中基板转移装置中旋转架与支撑梁垂直,且旋转架翻转时的结构示意图;
图5为本发明实施例1中基板转移装置的滑槽和第二旋转轴配合的结构示意图;
图6为本发明实施例1中基板转移装置的定位杆和定位盘的配合结构示意图;
图7为本发明实施例1中基板转移装置的移动支架和取放支架的配合结构示意图(短边取放);
图8为本发明实施例1中基板转移装置的移动支架和取放支架的配合结构示意图(长边取放);
图9为本发明实施例1中基板转移装置的取放支架从传输支撑架中升起的结构示意图(长边取放);
图10为本发明实施例1中基板转移装置的移动支架和取放支架的配合结构俯视示意图(短边取放);
图11为本发明实施例1中基板转移装置的取放支架从传输支撑架中升起的结构俯视示意图(长边取放);
其中,
1.支撑本体;11.立面;12.底面;13.导轨;14.支撑轴;
2.移动支架;21.支撑梁;212.滑槽;2121.扩张部;
3.取放支架;31.顶面;311.顶杆;312.间隙;313.间隔区;
32.周侧面;321.缺口;
4.传输支撑架;
22.旋转架;221.主支撑杆;222.次支撑杆;2221.吸附部;
5.第一旋转轴;
6.第二旋转轴;61.膨胀部;
7.第一定位盘;8.第二定位盘;9.定位槽;
10.定位杆;101.定位端头;102.弹簧。
具体实施方式
为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案,下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细描述。
实施例1:
如图2-10所示,本实施例提供一种基板转移装置,包括:包括支撑本体1和与支撑本体1连接的移动支架2;
及用于与所述移动支架2配合完成基板取放的取放支架3;
所述移动支架2包括与所述支撑本体1可旋转连接的支撑梁21;
所述移动支架2还包括与所述支撑梁21可旋转连接的旋转架22;
所述旋转架22用于带动基板在旋转架22所在的平面旋转;
所述支撑梁21带动位于所述旋转架22上的基板作翻转运动。
本实施例提供的基板转移装置由于旋转架能相对于支撑梁作旋转运动,且支撑梁能相对于支撑本体作旋转运动;所以当旋转架上设有基板时能够带动基板进行旋转或翻转运动,实现基板的转移和倒角。
应当理解的是,如图2所示,支撑本体1还可以包括立面11,移动支架2与支撑本体1连接的并能立面11上上下移动;立面11与底面12连接并获得支撑;并可以通过第一升降单元带动支撑梁21在立面11上上下移动。与支撑梁连接的升降单元用于使支撑梁21带动旋转架22进行升起或降落运动,具体结构不再一一赘述。
立面11上设有导轨13,导轨13与平面板相扣保证上下移动的稳定性,升降单元与支撑梁21连接,从而带动支撑梁21上升或下降。
如图2和3给出旋转架与支撑梁在平行和垂直两种不同旋转角度下结构示意图;图4给出旋转架翻转时的结构示意图。
优选的,所述支撑梁21通过第一旋转轴5与所述支撑本体1连接。这样支撑梁21能够带动旋转架22作翻转运动。
优选的,所述旋转架22通过第二旋转轴6与所述支撑梁21连接。这样旋转架22能相对于支撑梁21作旋转运动。
优选的,所述旋转架22能沿所述支撑梁21的长度方向移动用于调节所述旋转架22与所述支撑本体1之间的距离。
这样根据旋转架22的长度可以调节旋转架22与支撑本体1之间的距离,从而使旋转架22的两端不致与支撑本体1相碰撞从而影响旋转架22的旋转。
优选的,所述支撑梁21的长度方向上设有滑槽212;所述第二旋转轴6的一端能与所述滑槽212相配合并沿所述滑槽212移动。
如图5所示,优选的,所述滑槽212还包括位于支撑梁21内部的宽度方向上的扩张部2121(图中虚线示出扩张部2121的外边界),第二旋转轴6包括与上述扩张部2121相配合的膨胀部61。这样当扩张部2121和膨胀部61相配合时能使旋转架22在支撑梁21的获得更加平稳的支撑不会使旋转架22发生晃动。
优选的,所述第一旋转轴5在所述旋转架22与所述支撑梁21之间设有第一定位盘7;所述第一定位盘7包括沿其圆周方向设置的多个定位槽9;在所述支撑梁21长度方向上设有第一定位杆(定位杆的具体结构见图6),所述第一定位杆通过伸缩进出所述定位槽9中完成所述第一旋转轴5角度的控制。
优选的,所述第二旋转轴6在所述支撑本体1与所述支撑梁21之间设有第二定位盘8;所述第二定位盘8包括沿其圆周方向设置的多个定位槽9;在所述支撑本体1上设有第二定位杆(定位杆的具体结构见图6),所述第二定位杆通过伸缩进出所述定位槽9中完成所述第二旋转轴6角度的控制。
具体地,与上述第一定位盘7和第二定位盘8相配合的定位杆10的具体结构如图6所示,所述定位杆10包括定位端头101,所述定位端头101用于与所述定位槽9相配合完成所述第一定位杆10进出所述定位槽9。从而实现对定位盘固定。
优选的,所述第一定位杆和所述第二定位杆上设有弹性单元,用于将所述第一定位杆和所述第二定位杆朝向所述第一定位槽9或第二定位槽9方向施加作用力。
如图6所示,弹性单元包括两个一端固定在支撑梁21或立面11的弹簧102,弹簧102的另一端与定位杆连接。这样在弹簧102的弹力作用下定位杆的位于定位槽9中,当需要旋转上述的第一旋转轴5或第二旋转轴6时,只需对定位杆施加脱离定位槽9的作用力,使第一旋转轴5或第二旋转轴6时旋转到适当的位置后松开定位杆即可完成第一旋转轴5或第二旋转轴6在旋转和定位之间的切换。
优选的,所述旋转架22包括主支撑杆221和与所述主支撑杆221垂直设置的次支撑杆222;所述旋转架22以与所述第二旋转轴6的连接点为中点对称设置。这样当旋转架22在旋转时能够更加稳定。
如图7-9所示,优选的,所述取放支架3包括用于放置基板的顶面31;和围绕所述顶面31的周侧面32;所述周侧面32中的至少一个侧面与所述顶面31的共同边设有缺口321,所述缺口321用于使所述支撑梁从所述取放支架3中升起。
这样使取放支架3升起是能用顶面31托起基板,当旋转架22从取放支架3的正下方升起时,支撑梁能从所述的缺口321穿过,取放支架3和旋转架22互不影响。
优选的,所述顶面31的相对两侧边各包括一组间隔设置顶杆311;两组顶杆311之间设有间隙312,所述间隙312用于使所述主支撑杆221从所述取放支架3中升起;
所述每组顶杆311包括多个平行间隔布置在所述的顶面31内的顶杆311;相邻所述顶杆311之间设有间隔区313用于使所述次支撑杆222从所述取放支架3中升起。
由于两组的顶杆311之间留有间隙312和组内相邻顶杆311之间留有间隔区313,使的旋转支架的主支撑杆221和次支撑杆222在升起时与取放支架3互不干扰。
如图9所示,基板位于传输支撑架4上,正常基板传输时,取放支架3位于传输支撑架4下方,当需要将基板转移到其它设备上时,取放支架3由升降单元(可以为气缸或液压驱动)举升,从而将基板托起,此时基板位于顶杆311上,将移动支架2移动至取放支架3的下方,然后采用升降单元将移动支架2升起后基板转移至移动支架2上,从而可以将基板移动至其他设备上。
如图10-11所示,优选的,所述次支撑杆222上设有多个吸附部2221;所述吸附部2221用于吸附所述基板。
应当理解的是,上述的吸附部2221可以在次支撑杆222上均匀布置,吸附部2221与真空发生器,例如,真空泵连接,并可以通过控制阀完成吸附部2221在抽真空和常压下进行切换。
下面介绍一下上述基板转移装置的工作过程:
基板位于传输支撑架4上,正常基板传输时,取放支架3位于传输支撑架4下方,当需要将基板转移到其它设备上时,取放支架3由升降单元(可以为气缸或液压驱动)举升,从而将基板托起,此时基板位于顶杆311上;
支撑本体1在驱动下移动至取放支架3的正下方,应当注意的是移动支架2和取放支架3是相互配合的,也就是分长边取放和短边取放两种取放方式。
将移动支架2移动至取放支架3的下方,然后采用升降单元将移动支架2升起后基板转移至移动支架2上,由于上述移动支架2和取放支架3是相互配合的,上述的举升两者并不相互干涉。
移动支架2的旋转架22上通过吸附部2221将基板吸附;通过第二旋转轴6的旋转进行基板的倒角,具体地,将定位杆10拉向远离第二旋转轴6的方向,使旋转架22发生旋转,当旋转至合适的角度(例如90°,180°等)时,松开定位杆10,定位杆10在弹簧102的作用下朝向第二旋转轴6运动,从而将定位端头101放置到定位槽9中完成第二旋转轴6的定位,也就完成了基板的倒角;
当需要将基板翻转或以支撑梁21为轴旋转时,可以将第一旋转轴5和相应的定位盘7旋转然后将定位杆将定位盘7固定,尤其是实现翻转(旋转180°)将第一旋转轴5固定;
当支撑本体1移动到其它设备上时或移动到废弃接收面时,使旋转架22降低将基板与其它设备上的支撑面或废弃接收面接触,将真空泵关闭从而将基板移动至其他设备上或废弃。
可以理解的是,以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式,然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言,在不脱离本发明的精神和实质的情况下,可以做出各种变型和改进,这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
Claims (13)
1.一种基板转移装置,包括:包括支撑本体和与支撑本体连接的移动支架;
及用于与所述移动支架配合完成基板取放的取放支架;其特征在于,
所述移动支架包括与所述支撑本体可旋转连接的支撑梁;
所述移动支架还包括与所述支撑梁可旋转连接的旋转架;
所述旋转架用于带动基板在旋转架所在的平面旋转;
所述支撑梁带动位于所述旋转架上的基板作翻转运动。
2.如权利要求1所述的基板转移装置,其特征在于,所述支撑梁通过第一旋转轴与所述支撑本体连接。
3.如权利要求1所述的基板转移装置,其特征在于,所述旋转架通过第二旋转轴与所述支撑梁连接。
4.如权利要求3所述的基板转移装置,其特征在于,所述旋转架能沿所述支撑梁的长度方向移动,用于调节所述旋转架与所述支撑本体之间的距离。
5.如权利要求4所述的基板转移装置,其特征在于,所述支撑梁的长度方向上设有滑槽;所述第二旋转轴的一端能与所述滑槽相配合并沿所述滑槽移动。
6.如权利要求5所述的基板转移装置,其特征在于,所述滑槽还包括位于支撑梁内部的宽度方向上的扩张部;所述第二旋转轴包括与上述扩张部相配合的膨胀部。
7.如权利要求2所述的基板转移装置,其特征在于,所述第一旋转轴在所述旋转架与所述支撑梁之间设有第一定位盘;所述第一定位盘包括沿其圆周方向设置的多个定位槽;在所述支撑梁长度方向上设有第一定位杆,所述第一定位杆通过伸缩进出所述定位槽中完成所述第一旋转轴角度的控制。
8.如权利要求3所述的基板转移装置,其特征在于,所述第二旋转轴在所述支撑本体与所述支撑梁之间设有第二定位盘;所述第二定位盘包括沿其圆周方向设置的多个定位槽;在所述支撑本体上设有第二定位杆,所述第二定位杆通过伸缩进出所述定位槽中完成所述第二旋转轴角度的控制。
9.如权利要求7或8所述的基板转移装置,其特征在于,所述第一定位杆和所述第二定位杆上设有弹性单元,用于将所述第一定位杆和所述第二定位杆朝向所述第一定位槽或第二定位槽方向施加作用力。
10.如权利要求3所述的基板转移装置,其特征在于,所述旋转架包括主支撑杆和与所述主支撑杆垂直设置的次支撑杆;所述旋转架以与所述第二旋转轴的连接点为中点对称设置。
11.如权利要求10所述的基板转移装置,其特征在于,所述次支撑杆上设有多个吸附部;所述吸附部用于吸附所述基板。
12.如权利要求1所述的基板转移装置,其特征在于,所述取放支架包括用于放置基板的顶面;和围绕所述顶面的周侧面;所述周侧面中的至少一个侧面与所述顶面的共同边设有缺口,所述缺口用于使所述支撑梁从所述取放支架中升起。
13.如权利要求12所述的基板转移装置,其特征在于,所述顶面的相对两侧边各包括一组间隔设置顶杆;两组顶杆之间设有间隙,所述间隙用于使所述主支撑杆从所述取放支架中升起;
所述每组顶杆包括多个平行间隔布置在所述的顶面内的顶杆;相邻所述顶杆之间设有间隔区用于使所述次支撑杆从所述取放支架中升起。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510262964.8A CN104909164A (zh) | 2015-05-21 | 2015-05-21 | 一种基板转移装置 |
US15/098,933 US20160340137A1 (en) | 2015-05-21 | 2016-04-14 | Transfer device for substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510262964.8A CN104909164A (zh) | 2015-05-21 | 2015-05-21 | 一种基板转移装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN104909164A true CN104909164A (zh) | 2015-09-16 |
Family
ID=54078690
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201510262964.8A Pending CN104909164A (zh) | 2015-05-21 | 2015-05-21 | 一种基板转移装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20160340137A1 (zh) |
CN (1) | CN104909164A (zh) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105197635A (zh) * | 2015-10-20 | 2015-12-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示面板加工平台 |
CN106044232A (zh) * | 2016-07-26 | 2016-10-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 取片装置 |
CN107472877A (zh) * | 2017-09-16 | 2017-12-15 | 贵州茂盛电气有限公司 | 一种火机加工通用装置 |
IT201700077609A1 (it) * | 2017-07-10 | 2019-01-10 | Simec S R L | Macchinario per il ribaltamento di lastre lapidee e ceramiche |
CN110498214A (zh) * | 2019-07-16 | 2019-11-26 | 苏州翌恒生物科技有限公司 | 一种卡合式的采血管输送装置及其选取方法 |
CN110526003A (zh) * | 2019-08-26 | 2019-12-03 | 许昌裕同印刷包装有限公司 | 一种高效稳定的纸板翻面设备及其使用方法 |
CN113682726A (zh) * | 2021-09-01 | 2021-11-23 | 杭州翔达交通工程有限公司 | 一种大型交通标牌翻转机构 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112520414A (zh) * | 2020-12-14 | 2021-03-19 | 上海新奥林汽车传感器有限公司 | 一种用于空气质量传感器中电路板组装的抓手、装置 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4194294B2 (ja) * | 2002-04-30 | 2008-12-10 | 住友精密工業株式会社 | 直角移載装置 |
CN101417422A (zh) * | 2008-12-05 | 2009-04-29 | 上海耀皮康桥汽车玻璃有限公司 | 汽车玻璃预处理生产线自动上片机械手 |
CN101669199A (zh) * | 2007-04-19 | 2010-03-10 | 株式会社爱发科 | 基板保持机构和具有该保持机构的基板组装装置 |
CN102126616A (zh) * | 2010-12-16 | 2011-07-20 | 尹青 | 一种行走吸盘上下片台 |
CN202107270U (zh) * | 2011-05-21 | 2012-01-11 | 佛山市南海区豪特玻璃机械有限公司 | 一种气动塔式助力玻璃工位机械臂 |
CN202952265U (zh) * | 2012-11-08 | 2013-05-29 | 周武 | 五轴智能机械手 |
CN203236479U (zh) * | 2013-04-15 | 2013-10-16 | 佛山市鼎峰机器人有限公司 | 一种智能控制机械手 |
CN203255732U (zh) * | 2013-01-18 | 2013-10-30 | 齐泰军 | 无轨玻璃上下片机 |
CN103395063A (zh) * | 2013-08-07 | 2013-11-20 | 湖州和晟玻璃机械有限公司 | 一种适用于玻璃器皿压制生产线的翻转式全自动机械手 |
CN203959325U (zh) * | 2014-07-28 | 2014-11-26 | 青岛力鼎自动化设备有限公司 | 一种客车玻璃移载机 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3888608B2 (ja) * | 2001-04-25 | 2007-03-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板両面処理装置 |
CA2426057C (en) * | 2002-04-22 | 2018-03-06 | Milos Misha Subotincic | End effector with multiple pick-up members |
US7256132B2 (en) * | 2002-07-31 | 2007-08-14 | Applied Materials, Inc. | Substrate centering apparatus and method |
AU2005231399B2 (en) * | 2004-03-30 | 2008-06-05 | Jlg Industries, Inc. | Attachment for a telescopic material handler for manipulating a load with five degrees of freedom |
EP1836116A4 (en) * | 2004-12-17 | 2009-12-16 | Ultrafab Inc | APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING ARTICLES MADE OF FILAMENTOUS MATERIAL |
CN104035220A (zh) * | 2014-05-30 | 2014-09-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种旋转设备 |
-
2015
- 2015-05-21 CN CN201510262964.8A patent/CN104909164A/zh active Pending
-
2016
- 2016-04-14 US US15/098,933 patent/US20160340137A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4194294B2 (ja) * | 2002-04-30 | 2008-12-10 | 住友精密工業株式会社 | 直角移載装置 |
CN101669199A (zh) * | 2007-04-19 | 2010-03-10 | 株式会社爱发科 | 基板保持机构和具有该保持机构的基板组装装置 |
CN101417422A (zh) * | 2008-12-05 | 2009-04-29 | 上海耀皮康桥汽车玻璃有限公司 | 汽车玻璃预处理生产线自动上片机械手 |
CN102126616A (zh) * | 2010-12-16 | 2011-07-20 | 尹青 | 一种行走吸盘上下片台 |
CN202107270U (zh) * | 2011-05-21 | 2012-01-11 | 佛山市南海区豪特玻璃机械有限公司 | 一种气动塔式助力玻璃工位机械臂 |
CN202952265U (zh) * | 2012-11-08 | 2013-05-29 | 周武 | 五轴智能机械手 |
CN203255732U (zh) * | 2013-01-18 | 2013-10-30 | 齐泰军 | 无轨玻璃上下片机 |
CN203236479U (zh) * | 2013-04-15 | 2013-10-16 | 佛山市鼎峰机器人有限公司 | 一种智能控制机械手 |
CN103395063A (zh) * | 2013-08-07 | 2013-11-20 | 湖州和晟玻璃机械有限公司 | 一种适用于玻璃器皿压制生产线的翻转式全自动机械手 |
CN203959325U (zh) * | 2014-07-28 | 2014-11-26 | 青岛力鼎自动化设备有限公司 | 一种客车玻璃移载机 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105197635A (zh) * | 2015-10-20 | 2015-12-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示面板加工平台 |
CN105197635B (zh) * | 2015-10-20 | 2017-03-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示面板加工平台 |
US10281750B2 (en) | 2015-10-20 | 2019-05-07 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Processing platform for display panel |
CN106044232A (zh) * | 2016-07-26 | 2016-10-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 取片装置 |
IT201700077609A1 (it) * | 2017-07-10 | 2019-01-10 | Simec S R L | Macchinario per il ribaltamento di lastre lapidee e ceramiche |
CN107472877A (zh) * | 2017-09-16 | 2017-12-15 | 贵州茂盛电气有限公司 | 一种火机加工通用装置 |
CN110498214A (zh) * | 2019-07-16 | 2019-11-26 | 苏州翌恒生物科技有限公司 | 一种卡合式的采血管输送装置及其选取方法 |
CN110498214B (zh) * | 2019-07-16 | 2021-01-26 | 苏州翌恒生物科技有限公司 | 一种卡合式的采血管输送装置及其选取方法 |
CN110526003A (zh) * | 2019-08-26 | 2019-12-03 | 许昌裕同印刷包装有限公司 | 一种高效稳定的纸板翻面设备及其使用方法 |
CN113682726A (zh) * | 2021-09-01 | 2021-11-23 | 杭州翔达交通工程有限公司 | 一种大型交通标牌翻转机构 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20160340137A1 (en) | 2016-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN104909164A (zh) | 一种基板转移装置 | |
KR102282554B1 (ko) | 유리 프레스 커팅 장치, 유리 프레스 커팅 방법 및 유리 커팅 시스템 | |
CN102161438B (zh) | 搬送装置 | |
WO2013005589A1 (ja) | ガラス基板の剥離方法及びガラス基板剥離装置 | |
CN102050567A (zh) | 用于翻转一板体的翻转装置以及其翻转方法 | |
KR100244688B1 (ko) | 웨이퍼 반송장치 | |
CN103303676A (zh) | 一种取放大尺寸液晶基板的自动化设备 | |
CN101512748B (zh) | 基板运送装置以及基板运送方法 | |
KR101968906B1 (ko) | 이차전지용 리드탭 모서리 가공장치 | |
KR102593614B1 (ko) | 기판 절단 장치 | |
KR102310157B1 (ko) | 스크라이빙 장치 | |
KR101459297B1 (ko) | 반전기 | |
KR102593615B1 (ko) | 기판 절단 장치 | |
KR20150124375A (ko) | 취성 재료 기판의 반전 장치 | |
KR20140100893A (ko) | 기판 가공 장치 | |
CN109824261B (zh) | 基板切割装置及基板切割方法 | |
CN109333844A (zh) | 一种硅片裂片装置及硅片划片加工系统 | |
KR102067981B1 (ko) | 기판 절단 장치 | |
KR102525334B1 (ko) | 스크라이빙 장치 | |
CN216738071U (zh) | 划片装置 | |
KR101567552B1 (ko) | 라미네이팅 장치 | |
CN108389819B (zh) | 一种花篮快速旋转装置 | |
JP2006327819A (ja) | ガラス板の移載装置および移載方法 | |
KR101289706B1 (ko) | 글라스용 면취 가공 시스템 | |
KR102067986B1 (ko) | 기판 절단 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20150916 |
|
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |