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CN101512748B - 基板运送装置以及基板运送方法 - Google Patents

基板运送装置以及基板运送方法 Download PDF

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CN101512748B CN200780033198.1A CN200780033198A CN101512748B CN 101512748 B CN101512748 B CN 101512748B CN 200780033198 A CN200780033198 A CN 200780033198A CN 101512748 B CN101512748 B CN 101512748B
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Abstract

一种基板运送装置，具有：主输送器，单张运送基板；分支输送器，从上述主输送器水平地分支；基板交接部，一边使上述基板水平地转动以维持上述基板的相对于行进方向的朝向，一边将上述基板从上述主输送器交接至上述分支输送器或者从上述分支输送器交接至上述主输送器。

Description

基板运送装置以及基板运送方法
技术领域
本发明涉及一种用于单张运送例如半导体晶片及平板显示器用玻璃板等的基板的基板运送装置以及基板运送方法。
本发明对于2006年9月11日提出申请的特愿2006-245829号主张优先权，并在此引用其内容。
背景技术
在设置在制造半导体装置的工厂及制造液晶装置、PDP、EL装置等的平板显示器的工厂等的基板运送装置中，运送半导体晶片及玻璃板等的基板且使用装载器及机械手臂等在薄膜形成装置、蚀刻装置、试验装置等的各种处理装置和运送经路之间进行基板的交接。在这样的基板运送装置中，基板一般是在收纳在能够收纳多张基板的盒中的状态下进行运送的(参照专利文献1)。
近年随着液晶电视等的平板显示器的大画面化而将基板大型化。因此，收纳基板的盒等也大型化/重量化，使运送速度降低，所以例如导致制品库存的增大等，难以进行高效率地运送。
因此，高速地一张张地运送基板的单张运送受到关注(参照专利文献1)。
专利文献1：特开平9-58844号公报
但是，在单张运送基板时，与借助盒运送时相比增加了运送的个体数。因此，为了实现和以往相同或比以往向上的处理速度而必须更高速地运送基板。
特别是在主输送器和与该主输送器水平地分支的分支输送器之间的基板的交接速度，在使基板的高速运送实现时变得非常重要。因此，使主输送器和分支输送器之间的基板的交接速度提升的技术受到期待。
此外，在单张运送玻璃板的基板运送装置中，在主输送器和分支输送器之间，有时需要不使相对于行进方向的朝向发生变化地交接基板。
在将基板收纳至盒中而进行运送的以往的基板运送装置中，例如，在不使相对于行进方向的朝向发生变化地将基板从主输送器交接到分支输送器时，暂时停止在主输送器上运送的盒的运送，在使盒转动后将其交接至分支输送器。
但是，在单张运送基板的基板运送装置中，若利用同样的方法进行基板的交接，则需要进行停止基板的运送的工序和将停止的基板交接至分支输送器的工序，所以在主输送器和分支输送器之间的基板的交接需要花费时间。
发明内容
本发明是鉴于上述的问题点而提出的，目的在于在主输送器和分支输送器之间不使基板的行进方向发生变化地交接基板时，使主输送器和分支输送器之间的基板的交接速度提升。
为了达成上述目的，本发明的基板运送装置具有：主输送器，单张运送基板；分支输送器，从上述主输送器水平地分支；基板交接部，使上述基板水平地转动以维持(不发生变化)上述基板的相对于行进方向的朝向，同时将上述基板从上述主输送器交接至上述分支输送器或者从上述分支输送器交接至上述主输送器。
根据该基板运送装置，从上述主输送器到上述分支输送器或者从上述分支输送器到上述主输送器的基板的交接时，借助基板交接部，使基板水平地转动以维持(不发生变化)基板的相对于行进方向的朝向，同时进行基板的交接。
此外，在本发明的基板运送装置中能够采用如下的构成：上述基板交接部具有：顶部，把持上述基板的外缘；驱动部，以既定的旋转轴为中心使该顶部水平地转动；臂部，一端与上述顶部连接且另一端部与上述驱动部连接。
此外，在本发明的基板运送装置中能够采用如下的构成：具有在由上述基板交接部进行的上述基板的交接期间从下方支承上述基板的支承部。
此外，在本发明的基板运送装置中能够采用如下的构成：上述支承部使用压缩空气使上述基板浮起且支承基板。
接着，本发明的基板运送方法为，借助主输送器单张运送基板，使上述主输送器上的上述基板水平地转动以维持上述基板的相对于行进方向的朝向，同时将其从上述主输送器给出到水平地分支的分支输送器上。
根据该基板运送方法，使基板水平地转动以维持基板的相对于行进方向的朝向，同时将其从主输送器交接至分支输送器上。
接着，本发明的基板运送方法为，借助从主输送器水平地分支的分支输送器运送基板，使上述分支输送器上的上述基板水平地转动以维持上述基板的相对于行进方向的朝向，同时将其交接到主输送器上。
根据该基板运送方法，水平地转动基板以使基板的相对于行进方向的朝向不变化，同时将其从分支输送器交接至主输送器上。
根据本发明，使上述基板水平地转动以维持(不发生变化)基板的相对于行进方向的朝向，同时将其从主输送器交接至分支输送器或者从分支输送器交接至主输送器。因此，在主输送器或分支输送器上不必使基板停止而能够高速地进行基板的交接。
因此，根据本发明，不使基板的行进方向发生变化地在主输送器和分支输送器之间交接基板时，能够使主输送器和分支输送器之间的基板的交接速度提升。
附图说明
图1是表示本发明的第一实施方式的基板运送装置的示意图。
图2是表示主输送器的详细构成的图。
图3是表示分支输送器的板交接部和分支部分的构成的图。
图4A是表示本发明的第一实施方式的基板运送装置的动作(将玻璃板从主输送器引入至分支输送器时)的图。
图4B是表示本发明的第一实施方式的基板运送装置的动作(将玻璃板从主输送器引入至分支输送器时)的图。
图4C是表示本发明的第一实施方式的基板运送装置的动作(将玻璃板从主输送器引入至分支输送器时)的图。
图4D是表示本发明的第一实施方式的基板运送装置的动作(将玻璃板从主输送器引入至分支输送器时)的图。
图5A是表示本发明的第一实施方式的基板运送装置的动作(将玻璃板从分支输送器交接至主输送器时)的图。
图5B是表示本发明的第一实施方式的基板运送装置1的动作(将玻璃板从分支输送器交接至主输送器时)的图。
图5C是表示本发明的第一实施方式的基板运送装置1的动作(将玻璃板从分支输送器交接至主输送器时)的图。
图5D是表示本发明的第一实施方式的基板运送装置1的动作(将玻璃板从分支输送器交接至主输送器时)的图。
图6是表示本发明的第二实施方式的基板运送装置中的分支输送器的板交接部和分支部分的构成的图。
附图标记说明
P   玻璃板(基板)
1   基板运送装置
10  主输送器
12  空气浮起单元
15  输送部
20  分支输送器
40  板交接部(基板交接部)
41  臂部
42  顶部
43  马达(驱动部)
200 自由辊单元(支承部)
具体实施方式
以下，参照附图说明本发明的基板运送装置以及基板运送方法的一实施方式。另外，以下的附图中，为了令各部件为能够识别的大小而将各部件的比例尺进行了适宜地变更。
(第一实施方式)
图1是表示本第1实施方法的基板运送装置1的示意图。
基板运送装置1是在制造液晶装置、PDP、EL装置等的平板显示器的工厂中一张张地单张运送玻璃板P的装置，具有：主输送器10、相对于主输送器10在水平面内分支的多个分支输送器20、在主输送器10和分支输送器20之间进行玻璃板P的交接的板交接部40、总括地控制这些的未图示的控制部等。
主输送器10是水平地载置玻璃板P且在一定的速度下将其向沿着其表面的方向运送的装置，包括利用空气使玻璃板P浮起而非接触地支承玻璃板的空气浮起单元12(支承部)和输送部15等(参照图2以及图3)。由此，在本实施方式中，本发明中的支承部的功能被组装入主输送器10的一部分中。
主输送器10被大致直线状地配置在工厂的清洁室内的地板面上。并且，在主输送器10的多个位置上相对于主输送器10大致垂直且水平地连结有分支输送器20的一端。
分支输送器20是与主输送器10相同地水平地载置玻璃板P且在一定的速度下将其向沿着其表面的方向运送的装置，包括空气浮起单元12(支承部)和输送部15等。由此，在本实施方式中，本发明中的支承部的功能也被组装入分支输送器20的一部分中。
在分支输送器20的另一端侧上配置/连结有薄膜形成装置5、蚀刻装置6、试验装置7等各种处理装置。在薄膜形成装置5、蚀刻装置6、试验装置7等各种处理装置上分别平行配置有两个分支输送器20。
例如，与薄膜形成装置5连结的分支输送器21、22(分支输送器20)中，分支输送器21是用于将玻璃板P运入至薄膜形成装置5中的输送器，分支输送器22是用于将玻璃板P从薄膜形成装置5中运出的输送器。
同样，分支输送器23、25(分支输送器20)是用于将玻璃板P运入至蚀刻装置6、试验装置7中的输送器，分支输送器24、26(分支输送器20)是用于将玻璃板P从蚀刻装置6、试验装置7中运出的输送器。
另外，将玻璃板P运入至各种处理装置中的分支输送器21、23、25相对于将玻璃板P从各种处理装置中运出的分支输送器22、24、26而被配置在主输送器10的上游侧。
板交接部40分别相对于将玻璃板P运入至各种处理装置中的分支输送器21、23、25而被配置在主输送器10的上游侧，以及相对于将玻璃板P从各种处理装置中运出的分支输送器22、24、26而被配置在主输送器10的下游侧。
这些板交接部40是使玻璃板P水平地转动以维持玻璃板P相对于行进方向的朝向、同时将玻璃板P从主输送器10交接至分支输送器20或将玻璃板P从分支输送器20交接至主输送器10的装置。
图2是表示主输送器10的详细构成的图。
主输送器10如上所述，是利用空气使玻璃板P浮起且将其向水平方向的一个方向运送的装置，包括空气浮起单元12和输送部15等。
空气浮起单元12是具有平面状的上表面的部件，在其上表面(载置面)上以大致均等的配置密度形成喷出压缩空气的多个流体喷出孔13。空气浮起单元12被形成为俯视矩形状，且以其长度方向与玻璃板P的运送方向一致的方式设定。此外，空气浮起单元12的横向方向(宽度方向)形成为比玻璃板P的宽度方向(与运送方向垂直的方向)稍窄。
并且，压缩空气被从未图示的压缩空气供给装置供给至空气浮起单元12，从而使压缩空气从各流体喷出孔13喷出。从而，借助从各流体喷出孔13喷出的压缩空气使载置在空气浮起单元12上的玻璃板P浮起而能够非接触地支承玻璃板P。
输送部15具有多个辊16和安装在该多个辊16周围的带17。此外，在带17的表面上沿着带17的长度方向(主输送器10的运送方向)以均等的间隔设置有多个突起18。
输送部15沿着玻璃板P的运送方向被配置在空气浮起单元12的两侧。并且，一对的输送部15的配置间隔(距离)与玻璃板P的宽度方向大致相同。
输送部15的各辊16的上端以位于同一水平面上的方式配置，从而设置在带17的表面上的突起18配置为位于比空气浮起单元12的上表面稍稍靠上方的位置。并且，突起18与载置在空气浮起单元12上的玻璃板P的下表面的外缘(宽度方向的两端侧)抵接。
输送部15的各辊16借助未图示的马达等而以同一的旋转速度向同一方向旋转。从而能够借助空气浮起单元12非接触地支承玻璃板P且能够借助输送部15沿着空气浮起单元12运送玻璃板P。
此外，输送部15构成为能够借助未图示的升降装置向上下方向移动。
在借助升降装置使输送部15上升时，各突起18位于比空气浮起单元12的上表面稍稍靠上方的位置。此时，输送部15的突起18与玻璃板P的下表面抵接而能够运送玻璃板P。
另一方面，在使输送部15下降时，各突起18位于比空气浮起单元12的上表面靠下方的位置。此时，输送部15(各突起18)从玻璃板P分离，玻璃板P处于完全地被非接触支承在空气浮起单元12上的状态。因此，只要不在玻璃板P上施加外力，玻璃板P就能够在停止在空气浮起单元12上的状态下被保持。
并且，主输送器10构成为连结多个空气浮起单元12和输送部15。即，使各空气浮起单元12和各输送部15相互地接近且沿着水平方向并列配置。此时，各空气浮起单元12的上表面(载置面)调整为位于同一水平面。
此外，分支输送器20也包括主输送器10所具有的空气浮起单元12和输送部15。另外，如图1所示，在本实施方式中，分支输送器20包括单一的空气浮起单元12和隔着该空气浮起单元12配置的两个输送部15，但是也可以包括多个空气浮起单元12以及输送部15。
图3是表示主输送器10和分支输送器21的分支部分的构成的图。
如该图所示，在相对于分支输送器21的主输送器10的上游侧处设置有板交接部40。
板交接部40具有臂部41、顶部42、马达43(驱动部)。
臂部41一端与顶部42连接且另一端与马达43连接，并且被水平地配置。
顶部42构成为能够把持玻璃板P的外缘部分，更具体而言能够把持玻璃板P的宽度方向的一边附近。可以吸附保持玻璃板P的侧表面从而把持玻璃板P，也可以夹持玻璃板P的上表面和下表面从而把持玻璃板P。
马达43是以垂直的转动轴L为中心水平地转动顶部42的装置，经由臂部41向如图3所示的箭头方向(以及箭头相反方向)转动顶部42。
并且，借助具有这样的构成的板交接部40，转动主输送器10上的玻璃板P以使玻璃板P的相对于行进方向的朝向不发生变化，同时将其交接至分支输送器20上。
另外，设置在相对于分支输送器23、25的主输送器10的上游侧上的板交接部40也具有同样的构成，转动主输送器10上的玻璃板P以使玻璃板P的相对于行进方向的朝向不发生变化，同时将其交接至分支输送器20上。
此外，设置在相对于分支输送器22、24、26的主输送器10的下游侧上的板交接部40也具有与图3所示的板交接部40相同的构成，但是，转动分支输送器20上的玻璃板P以使玻璃板P的相对于行进方向的朝向不发生变化，同时将其交接至主输送器10上，这一点与图3所示的板交接部40不同。
接着，说明基板运送装置1的动作(基板运送方法)。
参照图4A～图4D说明将在主输送器10上运送的玻璃板P交接至分支输送器20上的情况(相对于分支输送器21、23、25被设置在主输送器10的上游侧的板交接部40的动作)。
首先，将压缩空气供给到主输送器10以及分支输送器20的各空气浮起单元12，使压缩空气从各流体喷出孔13喷出。此外，驱动输送部15，使各辊16以一定的旋转速度旋转。此时，借助未图示的升降装置使各输送部15上升。
并且，在主输送器10的上游侧，一张张地载置玻璃板P，从而玻璃板P被单张运送。
并且，如图4A所示，若主输送器10上的玻璃板P移动到板交接部40的顶部42所到达的位置，则板交接部40的顶部42移动到分支输送器20的一端，把持主输送器10上的玻璃板P的外缘。之后，主输送器10以及分支输送器20的输送部15借助未图示的升降装置下降。此时，玻璃板P被从各空气浮起单元12的各流体喷出孔13喷出的压缩空气浮起支承。
并且，如图4B以及图4C所示，把持玻璃板P的顶部42借助马达43而经由臂部41在水平面内被转动，从而玻璃板P被从主输送器10上运送至分支输送器20上。此时，玻璃板P的行进方向从主输送器10的行进方向变化为分支输送器21、23、25的行进方向，但是由于玻璃板P转动，所以玻璃板P的相对于行进方向的先头没有发生变化。
即，根据本实施方式的基板运送装置1，主输送器10上的玻璃板P被水平地转动以使玻璃板P的相对于行进方向的朝向不发生变化，同时被交接至分支输送器20上。
另外，在本实施方式中，顶部42构成为不能向与输送部15的旋转方向相同的方向移动，所以为了防止玻璃板P和输送部15发生摩擦，而优选在把持玻璃板P的外缘时停止输送部15的驱动。但是，在能够使玻璃板P和输送部15不发生摩擦的情况(例如，能够在顶部42把持玻璃板P的同时下降输送部15的情况、能够在下降输送部15之后顶部42把持玻璃板P的情况、顶部能够向与输送部15的旋转方向相同的方向移动的情况等)下，不一定需要在把持玻璃板P的外缘时停止输送部15的驱动。
并且，如图4D所示，若玻璃板P被运送至分支输送器20上，则主输送器10以及分支输送器20的输送部15借助未图示的升降装置再次上升。之后，基于板交接部40的顶部42的玻璃板P的把持被解除，玻璃板P被分支输送器20向从主输送器10分离的方向运送。
另外，在本实施方式中，在解除基于顶部42的玻璃板P的把持时，与上述的把持玻璃板P的外缘时相同，为了防止玻璃板P和输送部15发生摩擦而优选停止输送部15的驱动。
另外，玻璃板P被分支输送器20运送，且被交接至薄膜形成装置5、蚀刻装置6、试验装置7等各种处理装置中。
另外，被交接至各处理装置(薄膜形成装置5、蚀刻装置6、试验装置7等)中的玻璃板P，在各种处理装置中实施既定的处理之后被向各处理装置的外部运出。
接着，参照图5A～图5D说明将玻璃板P从分支输送器20交接至主输送器10的情况(相对于分支输送器22、24、26被设置在主输送器10的下游侧的板交接部40的动作)。
将玻璃板P从分支输送器20交接至主输送器10的动作是使将玻璃板P从主输送器10交接至分支输送器20的动作大致反转的动作。
首先，将压缩空气供给至主输送器10以及分支输送器20的各空气浮起单元12，使压缩空气从各流体喷出孔13喷出。此外，驱动输送部15，使各辊16在一定的旋转速度下旋转。此时，借助未图示的升降装置使输送部15上升。
接着，玻璃板P被从薄膜形成装置5、蚀刻装置6、试验装置7等的各种处理装置交接至分支输送器20上。玻璃板P被分支输送器20运送，移动到板交接部40的顶部42所到达的位置。并且，如图5A所示，板交接部40的顶部42把持分支输送器20上的玻璃板P的外缘。之后，主输送器10以及分支输送器20的输送部15借助未图示的升降装置下降。此时，玻璃板P被从各空气浮起单元12的各流体喷出孔13喷出的压缩空气浮起支承。
并且，如图5B、图5C以及图5D所示，把持玻璃板P的顶部42借助马达43而经由臂部41在水平面内转动，从而玻璃板P被从分支输送器20上运送至主输送器10上。此时，玻璃板P的行进方向从分支输送器22、24、26的行进方向变化为主输送器10的行进方向，但是由于玻璃板P被转动，所以玻璃板P的相对于行进方向的先头没有发生变化。
即，根据本实施方式的基板运送装置1，分支输送器20上的玻璃板P被水平地转动以使玻璃板P的相对于行进方向的朝向不发生变化，同时被交接至主输送器10上。
如以上说明那样，本实施方式的基板运送装置1具有：主输送器10，单张运送玻璃板P；分支输送器20，相对于主输送器10水平地分支；板交接部40，水平地转动玻璃板P以使玻璃板P的相对于行进方向的朝向不发生变化，同时将玻璃板P从主输送器10交接至分支输送器20或者从分支输送器20交接至主输送器10。
根据这样的本实施方式的基板运送装置1以及基板运送方法，水平地转动玻璃板P以使玻璃板P的相对于行进方向的朝向不发生变化，同时将玻璃板P从主输送器10交接至分支输送器20或者从分支输送器20交接至主输送器10。因此，无需为了使玻璃板P的相对于行进方向的朝向一致而在主输送器10或分支输送器20上使玻璃板P停止，能够高速地进行玻璃板P的交接。
因此，根据本实施方式的基板运送装置1以及基板运送方法，在主输送器10和分支输送器20之间不使玻璃板P的行进方向发生变化地交接玻璃板P时，能够使主输送器10和分支输送器20之间的玻璃板P的交接速度提升。
此外，在本实施方式的基板运送装置1中，使用喷出压缩空气的各空气浮起单元12而从下方支承在主输送器10和分支输送器20之间被交接的玻璃板P。
如此，在交接时从下方支承玻璃板P，从而能够抑制玻璃板P发生弯曲。
此外，使用压缩空气浮起支承玻璃板P，从而在等同于没有摩擦阻力的状态下，在主输送器10和分支输送器20之间交接玻璃板P。因此，即使在高速化了交接速度时也不会产生由于施加冲击而导致的玻璃板P的损伤。
(第二实施方式)
接着，说明本发明的第二实施方式。另外，在该第二实施方式的说明中，省略或者简略化有关与上述第一实施方式相同的部分的说明。
图6是表示本实施方式的基板运送装置中的主输送器10和分支输送器21的分支部分的构成的图。如该图所示，在本实施方式中，主输送器10以及分支输送器21构成为，替代上述第一实施方式中的空气浮起单元12而具有配列多个球状自由辊300(支承部)的自由辊单元200。
根据具有这样的构成的本实施方式的基板运送装置，在主输送器10和分支输送器20之间进行玻璃板P的交接时，玻璃板P被球状自由辊300从下方支承。
因此，根据本实施方式的基板运送装置，与上述第一实施方式的基板运送装置1相同，在主输送器10和分支输送器20之间进行玻璃板P的交接时能够抑制玻璃板P发生弯曲。
另外，上述实施方式所示的各构成部件的诸形状或组合或者动作顺序等是一例，在不脱离本发明的宗旨的范围内能够基于设计要求等进行种种变更。
例如，在上述实施方式中，说明了主输送器10和分支输送器20被配置为直角的构成。但是，本发明并不限定于此，也能够适用于主输送器10和分支输送器20以不同的角度被配置的构成。
此外，在上述实施方式中，输送部15构成为借助未图示的升降装置下降从而在主输送器10和分支输送器20之间交接玻璃板P时能够防止玻璃板P与输送部15接触。但是，本发明并不限定于此，也可以代替输送部15下降而借助空气浮起单元12上升来防止玻璃板P与输送部15发生接触。此时，交接侧的输送器的空气浮起单元12的上表面位于与上升之后的空气浮起单元12的上表面为同一面的位置。
在上述实施方式中，说明了单张运送玻璃板P的情况，但是并不限定于此。例如，也可以是半单体晶片等薄的板状部件。
在上述实施方式中，说明了在分支输送器20的另一端侧配置/连结薄膜形成装置5、蚀刻装置6、试验装置7等的各种处理装置的情况，但是并不限定于此。也可以是在分支输送器20的下游侧(另一端侧)还连结分支输送器20的情况。
此外，除了薄膜形成装置5、蚀刻装置6、试验装置7等的各种处理装置之外，也可以配置暂时地保存多个玻璃板P等的基板的储料器。
在上述的实施方式中，说明了在薄膜形成装置5、蚀刻装置6、试验装置7等的各种处理装置上配置运入玻璃板P的分支输送器21、23、25和运出玻璃板P的分支输送器22、24、26的情况，但是并不限定于此。也可以是一个分支输送器20进行玻璃板P的运入/运出的情况。
此外，在上述实施方式中，说明了使用压缩空气浮起支承玻璃板P的情况，但是并不限定于此。例如，也可以借助将在空间内传播的振动波施加在玻璃板P上而浮起支承玻璃板P。
产业上的利用可能性
基于本发明的基板运送装置以及基板运送方法，能够利用于在主输送器和分支输送器之间不使基板的行进方向发生变化地交接基板时，使主输送器和分支输送器之间的基板的交接速度提升。

Claims (6)

1.一种基板运送装置，具有：
主输送器，单张运送基板；
分支输送器，从上述主输送器水平地分支；
基板交接部，把持上述基板的外缘，并通过沿着包含上述运送时的基板的水平面的转动动作，使上述基板水平地转动以维持上述基板的相对于行进方向的朝向，一边变更基板的朝向以成为与基板的行进方向相同的朝向，一边将上述基板从上述主输送器交接至上述分支输送器或者从上述分支输送器交接至上述主输送器。
2.如权利要求1所述的基板运送装置，其特征在于，上述基板交接部具有：
顶部，把持上述基板的外缘；
驱动部，以既定的旋转轴为中心使该顶部水平地转动；
臂部，一端与上述顶部连接且另一端部与上述驱动部连接。
3.如权利要求1所述的基板运送装置，其特征在于，具有在由上述基板交接部进行的上述基板的交接期间从下方支承上述基板的支承部。
4.如权利要求3所述的基板运送装置，其特征在于，上述支承部使用压缩空气使上述基板浮起而支承上述基板。
5.一种基板运送方法，
借助主输送器单张运送基板，
基板交接部把持上述基板的外缘，
通过上述基板交接部的沿着包含上述运送时的基板的水平面的转动动作，使上述主输送器上的上述基板水平地转动以维持上述基板的相对于行进方向的朝向，一边变更基板的朝向以成为与基板的行进方向相同的朝向，一边将上述基板从上述主输送器交接到水平地分支的分支输送器上。
6.一种基板运送方法，
借助从主输送器水平地分支的分支输送器运送基板，
基板交接部把持上述基板的外缘，
通过上述基板交接部的沿着包含上述运送时的基板的水平面的转动动作，使上述分支输送器上的上述基板水平地转动以维持上述基板的相对于行进方向的朝向，一边变更基板的朝向以成为与基板的行进方向相同的朝向，一边将上述基板交接到上述主输送器上。
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