CN103430133A - 触摸面板用垫板的制造方法及通过该制造方法制造的触摸面板用垫板 - Google Patents

Abstract

本发明涉及触摸面板用垫板的制造方法及通过该制造方法制造的触摸面板用垫板，根据本发明的制造方法制造的触摸面板用垫板，可以抑制起因于金属层的蚀刻不良等的残渣现象，并且能够进行用于提高透明导电层特性的退火处理。

Description

触摸面板用垫板的制造方法及通过该制造方法制造的触摸面板用垫板

技术领域

本发明涉及触摸面板用垫板的制造方法及通过该制造方法制造的触摸面板用垫板。特别是，涉及可以抑制起因于金属层的蚀刻不良等的残渣现象，并且能够进行用于提高触摸面板用垫板的透明导电层特性的退火处理的触摸面板用垫板的制造方法及触摸面板用垫板。

背景技术

作为影像显示装置等输入装置而广泛利用的触摸面板是利用在玻璃或绝缘树脂等绝缘层上涂敷有ITO等透明导电层的叠层垫板来制造。

以往的触摸面板用垫板上涂布有用于与外部电连接的银浆。但是，像这样利用银浆形成配线电极的情况下，难以使配线电极的厚度和宽度变小，从而具有在面板表面产生段差或不能提高元件的集成度的问题。

为了改善上述的问题，使用在上述垫板的透明导电层上涂敷金属层来代替银浆而形成配线电极的方法。

图1显示作为配线电极而形成有金属层的触摸面板用垫板的制作工序的一个例子。

如图1所示，首先在绝缘层110上形成透明导电层120，在其上部形成金属层130。

然后，根据光刻（photolithography）等工序，形成由透明导电层120形成的透明电极图案121和由金属层130形成的配线电极图案131。此时，利用第一个掩模140同时去除不相当于透明电极图案121和配线电极图案131部分的金属层130和透明导电层120（1次蚀刻），然后利用第二个掩模141，在金属层130去除除了配线电极图案131的部分（2次蚀刻）。通过这样的工序来制造绝缘层110上形成有透明电极案121和配线电极图案131的触摸面板用垫板。

由上述的方法来形成垫板的情况下，由于金属层130不透明，因此在制造工序中通过肉眼检查容易确认透明电极图案121的不良（短路或者断路）。但是1次蚀刻后，掩模140的剥离过程中残留有机污染物质等的情况下，在2次蚀刻中在蚀刻速度上产生差异，从而金属层130的一部份不会被蚀刻而残留，由此可以引起制品外观不良。特别是，1次蚀刻后为了防止金属的氧化而进行抗氧化剂处理，若抗氧化剂在2次蚀刻中不会被去除或者去除得慢时，容易产生金属层130的残渣现象。

这样的残渣现象使在触摸面板的窗口区域（要显示画面的透明的部分）残留不是透明材料的金属，从而导致触摸面板的不良。

改善上述图1制作工序中问题的另外不同的制作工序的一个例子显示在图2中。

图2显示的方法不同于图1显示的方法，在1次蚀刻中仅去除相当于面板的窗口区域的部分的金属层130，然后在2次蚀刻中只留下金属层130的配线电极图案131和透明导电层120的透明电极图案121部分，而各自去除金属层130和透明导电层120。通过这样的工序，制作在绝缘层110上形成有透明电极图案121和配线电极图案131的垫板。

在图2显示的触摸面板用垫板的制造方法中，首先蚀刻相当于面板的窗口区域的金属层130，从而不产生如同图1显示的制造方法的由抗氧化剂或有机物引起的残渣问题，因此可以实施均匀的蚀刻。即使在蚀刻金属层130和透明导电层120的2次蚀刻中产生由抗氧化剂或残留有机物引起的问题，由于与触摸面板的窗口区域没有关联，因此不成大的问题。

但是就上述图1和图2中显示的以往制造方法而言几乎必须使用抗氧化剂，因此不能完全解决由抗氧化剂引起的残渣问题。

并且，为了提高垫板的透明导电层的特性而进行退火处理的情况下，由于金属层的热氧化，有可能增加金属层的表面电阻值或者产生图案断开的现象。因此，由上述以往制造方法形成的垫板存在不能进行退火处理的问题。

并且，上述以往制造方法中由溅射（sputtering）方式形成金属层的情况下，由于作为透明导电层的ITO是金属氧化物，因此即使在溅射之前进行表面活性化处理也有产生针孔（pin hole）的问题。

发明内容

技术问题

为了解决这样的问题，本发明将提供抑制起因于金属层的蚀刻不良等的残渣现象的触摸面板用垫板的制造方法作为其目的。

并且，将提供能够进行用于提高触摸面板用垫板的透明导电层的特性的退火处理的触摸面板用垫板的制造方法作为其目的。

解决问题的方案

为了达到上述目的，根据本发明的触摸面板用垫板的制造方法，包含如下步骤：在透明绝缘体上形成金属层的步骤；在上述金属层中仅选择性地去除相当于触摸面板的窗口区域（要显示画面的透明的部分）的部分的步骤；在上述金属层的上面和选择性地去除上述金属层后的上述透明绝缘体的上面形成透明导电层的步骤；以及选择性地去除上述金属层和上述透明导电层，从而形成由上述金属层而成的配线电极图案和由上述透明导电层而成的透明电极图案。

根据本发明的触摸面板用垫板的制造方法，包含如下步骤：在透明绝缘体上形成金属层的步骤；在上述金属层中仅选择性地去除相当于触摸面板的窗口区域（要显示画面的透明的部分）部分的步骤；在选择性地去除上述金属层后的上述透明绝缘体的上面形成透明导电层的步骤；以及选择性地去除上述金属层和上述透明导电层，从而形成由上述金属层而成的配线电极图案和由上述透明导电层而成的透明电极图案。

根据本发明的触摸面板用垫板，包含：透明绝缘层；在上述透明绝缘层上在相当于触摸面板的窗口区域的部分由透明导电层形成的透明电极图案；在上述透明绝缘层上的除了上述触摸面板的窗口区域的边缘区域由金属层形成的配线电极图案；以及在上述配线电极图案上形成的透明导电层。

根据本发明的触摸面板用垫板，包含，透明绝缘层；在上述透明绝缘层上在相当于触摸面板的窗口区域的部分由透明导电层形成的透明电极图案；以及在上述透明绝缘层上的除了上述触摸面板的窗口区域的边缘区域由金属层形成的配线电极图案。

并且，根据本发明的触摸面板用垫板的制造方法可以进一步包含在形成上述透明导电层之前，在上述透明绝缘层和上述金属层涂敷底漆（primer）的步骤。上述底漆，优选为具有导电性的金属物质。

并且，在选择性地去除上述金属层和透明导电层而形成上述配线电极图案和上述透明电极图案的步骤中，优选用一种蚀刻液同时蚀刻上述金属层和上述透明导电层。

优选，上述透明绝缘层为PET（聚对苯二甲酸乙二醇酯），上述金属层为铜或者铝，上述透明导电层为ITO膜。

发明效果

本发明的触摸面板用垫板的制造方法及通过其制造的触摸面板用垫板显示出如下有益效果。

本发明中透明导电层被涂布于金属层上而起金属层的抗氧化剂的作用，从而有优异的抗氧化效果。

并且，金属层形成在作为透明导电层的ITO膜上的以往的制造方法中，由于金属的热氧化问题而不能进行退火处理，但根据本发明的制造方法，通过金属层上形成的ITO膜可以防止在沉积工序中由于高温而金属被氧化的情况，从而可以进行退火处理。并且通过退火处理，有垫板的ITO膜的特性，即电阻值减小的特性以及可以提高透过性的效果。

并且在形成透明导电层之前，通过使用与金属层和透明绝缘层的附着力优异的金属作为底漆，可以防止在溅射工序中产生针孔。从而，具有可以减少由于针孔而在触摸面板产生诸如配线短路等不良情况的效果。

并且，在形成由金属层而成的配线电极图案和由透明导电层而成的透明电极图案的工序（后面叙述的“2次蚀刻”）中可以用一种蚀刻液同时蚀刻金属层和透明导电层，从而具有可以简化工序和试剂的效果。

附图说明

图1是按步骤显示以往的触摸面板用垫板的制造方法的一个例子的截面图。

图2是按步骤显示以往的触摸面板用垫板的制造方法的另一个例子的截面图。

图3是按步骤显示根据本发明的实施例的触摸面板用垫板的制造方法的截面图。

图4至图7是按步骤显示根据本发明的实施例的触摸面板用垫板的制造方法的平面图。

*对附图主要部分的附图标记的说明*

110、310：透明绝缘层

120、330：透明导电层

130、320：金属层

121、331：透明电极图案

131、321：配线电极图案

140、141：掩模

具体实施方式

下面参考附图详细说明本发明的实施例，以使本发明所属的技术领域的技术人员容易地实施。但是，本发明可以体现为各种不同的形态，并且不限于在这里所说明的实施例。还有，图中为了明确说明本发明而省略了与说明不相关的部分，并且通过说明书全体对类似的部分赋予类似的附图标记。

整个说明书中，当记载某个部分“包含”某个技术特征时，在没有特别相反的记载的情况下，这并不是意味着排除其他技术特征，而是意味着还可以进一步包含其他技术特征。

图3是按步骤显示根据本发明的实施例的触摸面板用垫板的制造方法的截面图，图4至图7是按步骤显示根据本发明的实施例的触摸面板用垫板的制造方法的平面图。

如图3的（a）和图4显示，为了制造本发明的触摸面板用垫板，首先在透明绝缘层310上形成金属层320（步骤1）。

透明绝缘层310是由透明材质的有机绝缘体或者无机绝缘体来形成，上述有机绝缘体优选包含聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）或者聚碳酸酯（PC），或是由聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）或者聚碳酸酯（PC）形成的透明有机绝缘体，上述无机绝缘体优选由玻璃形成。并且，上述金属层320可以使用公知的多种多样的金属，而考虑到制造的容易性和导电率，优选铜或者铝。

在透明绝缘层310上形成金属层320的方法可以使用诸如层叠或气相沉积的公知的方法。

并且本发明中可以利用在透明绝缘层310上已经形成有金属层320来销售的物品。

然后，如图3的（b）和图5显示，在上述金属层320中选择性地仅去除相当于触摸面板的窗口区域的部分（步骤2）。

这样的选择性的去除可以适用公知的方法是理所当然的，作为一个例子可以使用光刻工序等来实行。即，通过PR涂布、曝光、显影、蚀刻、剥离等工序，可以选择性地去除上述金属层320（以下，称作“1次蚀刻”）。

然后，如图3的（c）和图6显示，根据步骤2在金属层320的上面和被选择性地去除金属层320的透明绝缘层310的上面形成透明导电层330（步骤3）。

作为另一个实施例，也可以并不是在金属层320的上面形成透明导电层330，而是在选择性地去除金属层320的透明绝缘层310的上面形成透明导电层330。

透明导电层330由诸如TCO的透明材质的导电性物质来形成，具体的，优选包含ITO或者IZO，或是由ITO或者IZO来形成的透明导电性物质来形成。

透明导电层330的形成可以适用公知的方法，作为具体的一个例子可以通过溅射（sputtering）来形成。此时，溅射上述透明导电层330之前，可以在上述透明绝缘层310及金属层320上涂敷底漆（primer）（没有图示）。作为底漆可以使用与透明绝缘层310和金属层320的附着力优异并且具有导电性的金属物质。作为具体的例子上述底漆可以是镍、铬或者氧化铝。通过使用这样的底漆，可以抑制溅射工序中产生针孔的现象。并且，通过这样的工序透明导电层330被涂布于金属层320上而起金属层320的抗氧化剂的作用，从而也可以获得优异的抗氧化效果。

然后，如图3的（d）和图7显示，使用光刻工序选择性地去除金属层320和透明导电层330（以下，称作“2次蚀刻”），从而形成由金属层320而成的配线电极图案321和由透明导电层330而成的透明电极图案331（步骤4）。

如图3的（d）和图7图示，配线电极图案321上形成有透明导电层330。

如同前述的另一个实施例，未在金属层320的上面形成透明导电层330，而是在选择性地去除金属层320的透明绝缘层310的上面形成透明导电层330的情况下，配线电极图案321上不形成透明导电层330。

在2次蚀刻中可以用一种蚀刻液来同时蚀刻上述金属层320和透明导电层330，作为具体的一个例子可以使用氯化铁（FeCl₃）水溶液等作为蚀刻液。

根据如上所述的步骤1至4的工序，制造图3（d）和图7中显示的触摸面板用垫板。

即，根据本发明的实施例的触摸面板用垫板如下构成：

透明绝缘层310，在透明绝缘层310上在相当于触摸面板的窗口区域的部分由透明导电层330形成的透明电极图案331，在透明绝缘层310上在除了触摸面板的窗口区域的边缘区域上由金属层320形成的配线电极图案321，以及在配线电极图案321上形成的透明导电层330。

根据上述的本发明的实施例的触摸面板用垫板可以被使用于触摸屏或用于触摸垫板的触摸面板的制造。例如，可以适当组装根据本发明的实施例的垫板，制造电阻膜式触摸面板或电容式触摸面板。

本发明是通过参考上述的优选的实施例和附图来说明，但在本发明的概念及范围内也可以构成不同的实施例。由此本发明的范围由附加的权利要求而定，并且被解释为不限定于由本说明书中记载的特定实施例。

工业上利用可能性

本发明的触摸面板用垫板的制造方法及通过其制造的触摸面板用垫板显示如下的有益效果。

本发明中，透明导电层被涂布在金属层上而起金属层的抗氧化剂的作用，从而具有优异的抗氧化效果。

并且，在作为透明导电层的ITO膜上形成金属层的以往的制造方法中，由于金属的热氧化问题而不能进行退火处理，但根据本发明的制造方法，通过形成于金属层上的ITO膜可以防止在沉积工序中由于高温而金属被氧化的现象，从而可以进行退火处理。并且通过退火处理，具有垫板的ITO膜的特性，即电阻值减小的特性以及可以提高透过性的效果。

并且在形成透明导电层之前，使用与金属层和透明绝缘层的附着力优异的金属作为底漆，从而可以在溅射工序中防止针孔的产生。并且，具有可以减少由于针孔而在触摸面板产生诸如配线短路等不良情况的效果。

并且，在形成由金属层而成的配线电极图案和由透明导电层而成的透明电极图案的工序（后面叙述的“2次蚀刻”）中可以用一种蚀刻液同时蚀刻金属层和透明导电层，从而具有可以简化工序和试剂的效果。

Claims (9)

1.一种触摸面板用垫板的制造方法，其特征在于，包含：

在透明绝缘层上形成金属层的步骤；

在所述金属层中仅选择性地去除相当于触摸面板的窗口区域（要显示画面的透明的部分）的部分的步骤；

在所述金属层的上面和选择性地去除所述金属层后的所述透明绝缘层的上面形成透明导电层的步骤；以及

选择性地去除所述金属层和所述透明导电层，从而形成由所述金属层而成的配线电极图案和由所述透明导电层而成的透明电极图案的步骤。

2.一种触摸面板用垫板的制造方法，其特征在于，包含：

在透明绝缘层上形成金属层的步骤；

在所述金属层中仅选择性地去除相当于触摸面板的窗口区域（要显示画面的透明的部分）的部分的步骤；

在选择性地去除所述金属层后的所述透明绝缘层的上面形成透明导电层的步骤；以及

选择性地去除所述金属层和所述透明导电层，从而形成由所述金属层而成的配线电极图案和由所述透明导电层而成的透明电极图案的步骤。

3.根据权利要求1或2所述的触摸面板用垫板的制造方法，其特征在于，在形成所述透明导电层之前，进一步包含在所述透明绝缘层和所述金属层上涂敷底漆的步骤。

4.根据权利要求3所述的触摸面板用垫板的制造方法，其特征在于，所述底漆为具有导电性的金属物质。

5.根据权利要求1或2所述的触摸面板用垫板的制造方法，其特征在于，在选择性地去除所述金属层和所述透明导电层而形成所述配线电极图案和所述透明电极图案的步骤中，用一种蚀刻液来同时蚀刻所述金属层和所述透明导电层。

6.根据权利要求1或2所述的触摸面板用垫板的制造方法，其特征在于，所述透明绝缘层是PET（聚对苯二甲酸乙二醇酯），所述金属层是铜或者铝，所述透明导电层是ITO膜。

7.根据权利要求1所述的触摸面板用垫板的制造方法，其特征在于，在所述配线电极图案上形成透明导电层。

8.一种触摸面板用垫板，其特征在于，包含：

透明绝缘层；

在所述透明绝缘层上的相当于触摸面板的窗口区域的部分由透明导电层形成的透明电极图案；

在所述透明绝缘层上的除了所述触摸面板的窗口区域的边缘区域由金属层形成的配线电极图案；以及

在所述配线电极图案上形成的透明导电层。

9.一种触摸面板用垫板，其特征在于，包含：

透明绝缘层；

在所述透明绝缘层上的相当于触摸面板的窗口区域的部分由透明导电层形成的透明电极图案；以及

在所述透明绝缘层上的除了所述触摸面板的窗口区域的边缘区域由金属层形成的配线电极图案。

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