CN1032111A - 多重平行填料柱式汽化器 - Google Patents

Abstract

一种用于汽化具有较低分解温度化学物质的多 重平行填料柱式汽化器，它包括：①外壳；②多根平行 地垂直置放在外壳中的汽化柱，每根汽化柱具有内壁 和上下开口端；③分配装置，用于将化学物质大致均 匀地分配到汽化柱的上部开口端；④一个流体热交换 器，用于对汽化柱加热以提供其内化学物质汽化所需 的热量；以及⑤一个气体供应管，用于将气体供给汽 化柱的下端，以使化学物质汽化和掺入到气体中，并 被向上携带出汽化器。

Description

本发明一般是涉及一种汽（气）化器（Vaporizer），特别是有关一种能使化学组合物，特别是涂料化合物汽化，并使之夹带在气流中的汽化器。其用途是借助于热解的化学蒸汽沉积（下称CVD）在基底上沉积一层无机薄膜。

在诸如平面玻璃，玻璃瓶之类的基底上施加一层均匀的涂敷层以便改变玻璃的机械性能、热性能，光学性能，抗化学腐蚀性能和/或电性能，这是人们长期以来的需要。这种涂敷剂通常是由涂敷化学物质，例如有机锡化合物之类的金属化合物制成。这些涂敷剂可以采用热解的CVD方法进行沉积。举例来说，在对平面玻璃基底进行涂敷时，当刚刚制成的玻璃板从平面玻璃制作工段进入退火工段的过程中，也就是说在它还是处于热的状态时，一种金属的或金属氧化物的涂敷剂经由至少一个喷嘴使之沉积到平面玻璃的一个表面上，这种喷嘴使含有此类涂敷化合物的气流射向玻璃板的外露面。被反射回来的部份和未被使用的涂敷化合物由一排气管排出。在涂敷玻璃瓶时，可使玻璃瓶通过一个涂敷罩，并在其中被气流中汽化了的涂敷化合物涂敷。

通常用于涂敷平面玻璃基底的系统已在美国专利号为4，359，493;4，387，134;4，524，718;4，584，206和4，600，654的美国专利中加以揭示。此外，通常用于对玻璃瓶施加一种涂敷化合物的系统也已在美国专利号为3，516，811;3，684，469;3，819，404;3，876，410;3，933，457和4，389，234的美国专利中加以揭示。

在上述这类系统中，必须首先将涂敷化合物汽化并将其掺入气流中，该气流将汽化了的涂敷化合物携带到欲被涂敷的玻璃表面。上述过程可参看专利号为3，876，410;4，387，134和4，600，654的美国专利，所有这些参考文献都在一般意义上对汽化器或蒸发器进行了揭示。

通过专利号为3，850，679;3，888，649;3，942，469;3，970，037和4，359，493的美国专利可以了解到下面这样一种汽化器，附带说明，所有这些专利都已转让给PPG工业公司。正如在这些专利中所揭示的，这种汽化器包括一个水平置放的，大圆筒形腔室（即汽化室）。一个加热器被安装在汽化室的内部，从而将腔室划分成上下两部分，所有来料进入上部，而蒸气则从下部排出。加热器的结构是这样的：蒸气可以从入口部位经过加热器到排出部分。这种加热器的一个最佳实施方案是翅片管热交换器，管内流过可进行热控制的热交换流体。载气和欲被汽化的涂敷化合物在汽化室上部经由一个喷嘴引入。在与热交换器接触之后，这种涂敷化合物被汽化并被掺入到气流中，弥漫在腔室的下部。

最佳的方式是采用化学蒸汽沉积（CVD）技术来涂敷玻璃表面，这样由于玻璃的温降较小，所以在均匀和沉积速率上具有优越性。采用这种技术，诸如单丁基锡三氧化物（monobutyltin trichloride）之类的有机锡化合物将适合于沉积出Sn O₂薄膜。这些化学物质一般来说具有比较低的分解温度。挥发性远大于单丁基锡三氯化物的有机锡往往是较毒的，因此在工作场所存在防护问题。出于这样一种附加的考虑，最好采用单丁基锡三氯化物作为涂敷化合物。当需要一种Sn O₂导电薄膜时，可以将用作掺杂剂先质的，诸如有机氟化物之类的化合物添加到有机锡上。

实验室试验已经表明，在涂敷时，一般来说期望在蒸气流中含有高浓度的有机锡化合物，例如浓度约为2-15摩尔%。在小规模操作时，通过同时送入预热的气体和液态涂敷化合物到大致呈管状的汽化器中去，可达到高的蒸气浓度，据此使气态和液态涂敷化合物单向流动，与此同时液体使汽化器的四壁部份地或全部地变湿。热量是来自外部的热源，例如电阻加热器或循环式流体载热剂，并通过汽化器壁的传导而提供的，这些都已在上述PPG的专利中进行了讨论。

然而，在这种结构的放样试验中出现了困难。对此解释如下：对于某一长度的汽化器，热量和物质的交换面积是与汽化器的直径成比例的增加。但是，液流量（即可被提供的涂敷化合物的容量）大致与汽化器的横截面积成比例，或者是与直径的平方成比例。所以，为了在放样试验中维持足够大的热量和物质交换面积，就要求增加与容量的增加大致成正比例的汽化器的长度，这就导致了建造和操作这种汽化器的成本。

因此，为了防止汽化器变得过长，即使在实验室规模中，也必需使这种汽化器在壁温超过分解温度的条件下运行，这就是说在这种温度时，涂敷化合物的分解变成显而易见的，与此同时应在气流中提供高浓度的涂敷化合物。所以，已知的汽化器对于汽化低分解温度的有机锡化合物是无效的。

进一步而言，汽化温度应低于沉积温度，这就是说，要低于汽化了的涂敷化合物在基底上分解和形成固体的温庋;否则的话，汽化表面将变成泥浆状，从而使汽化器堵塞。然而，问题在于，在高的蒸气浓度时，汽化温度接近于分解温度。

因此，这就有必要在获得高的蒸气浓度的同时提供一种高效率的汽化器，值得注意的是，高浓度可以在低的表面温度上达到，并能使其接近于达到平衡状态。

所以，本发明的目的是提供一种多重平行填料柱式汽化器，以用于对化学组合物，特别是具有较低分解温度的有机锡化合物进行汽化。

本发明的另一个目的是提供一种具有大容量的多重平行填料柱式汽化器，它可适合于大规模的应用。

本发明的又一个目的是提供一种多重平行填料柱式汽化器，这种汽化器可以提供足够高的热量和物质的交换程度，以便使蒸气流中含有高浓度的涂敷化合物，而又不至于达到沉积温度。

本发明的再一个目的是提供一种多重平行填料柱式汽化器，这种汽化器具有大的传热和物质交换面积，并具有高的热交换速率，较低的表面温度和少量的分解。

就本发明的一个方面而言，是提供一种用于汽化具有较低的分解温度的化合物或（由几种化合物所组成的）混合物（例如涂敷化合物）的设备，以便产生一种由夹带在气体中的高浓度汽化了的涂敷化合物所形成的涂敷混合物，该汽化器包括：①外壳;②多根基本上是垂直置放的填料汽化柱，汽化柱具有壁，上部开口端和下部开口端;③用于将涂敷化合物均匀地分布到汽化柱上部开口端的分配装置;④用于加热汽化柱以提供其内的涂敷化合物汽化所需热量的加热装置;以及⑤用于向汽化柱的下端提供气体以产生涂敷混合物的气体供应装置。

本发明的上述及其他目的，特征和优点通过下述结合附图的详细描述将变得更为易于理解。

图1是本发明的一个实施例中的汽化器的正视图;

图2是图1中汽化器的液体供料部份的纵剖面图;

图3是图2中液体供料部份的“3-3”横剖面图;

图4是图1中汽化器的埴料支撑部份的纵剖面;

图5是图1中汽化器的“5-5”横剖面图;

图6是本发明另一个实施例中的汽化器的纵剖面图;

图7是图6中汽化器的供料分配器的平面图;

图8是表示在图7中的供料分配器与图6中汽化器的连接和校平装置的横剖面图;

图9是表示图6中汽化器的溢流堰管固定在图7中供料分配器上的连结结构的横剖面图;

图10是图6中汽化器的“10-10”横剖面图;

图11是图6中汽化器的支撑板的平面图;

图12是图11中支撑板的“12-12”横剖面图，系表示固定在其上面的丝网锥形体。

现在，从图1至图5开始，参看图的细节，根据本发明的第一个实施例，一个多重平行埴料柱式汽化器[10]包括一个细长的空心圆筒形壳体[12]，正如在图2和图4中所示，该圆筒形壳体的上端[14]和下端[16]开口。一个上壳体法兰[18]围绕并固定在上部开口端[14]处，同样，下壳体法兰[20]围绕并连结在壳体[12]的下部开口端[16]上。壳体法兰[18]的周围具有多个相互间隔的小孔[22]，同样，下壳体法兰[20]的周围亦有许多间隔的小孔[24]，这样做的目的将在下文中加以更为详细的介绍。此外，垂直的支撑板[26]和水平的支撑板[28]被固定在壳体[12]的外表面上，介于上壳体法兰[18]和下壳体法兰[20]之间的部位，越鱗10]固定在一个支撑结构上（图中未示出）。正如在下文中将被更可加详细地描述那样，汽化器[10]的功能是作为一个热交换器，从而可传送来自于诸如热油之类的热的液体的热量，所说热的液体经过汽化器[10]的壳体[12]，以便使送入汽化器的涂敷化合物汽化。在这方面，壳体[12]的下端装有热油入口接管[30]，以将热油送入壳体[12]内，在其壳体上端装有热油出口接管[32]以将热油从中排出。

在壳体[12]中设置了多根管状的汽化柱[34]，它们互相隔开，且平行和垂直地安放着。汽化柱[34]内装埴了诸如1/4英寸的鞍形镍填料，以便为汽化过程提供物质交换区。这种填料还起到将热从柱的内壁传导到柱的内部的作用。任何在化学性能上比较不活泼的填料都可以采用。最好是采用具有较高导热率的填料。

在本发明的第一个实施例中，装有十个汽化柱[34]，当然汽化柱的数目在本发明的范围内是可以改变的。这些汽化柱[34]通过多个挡板[36]保持上面所说的互相隔开，平行和垂直放置的状态，图5中画出了一个这样的挡板。如图所示，挡板[36]与壳体[12]的内壁之间留有间隙[38]，同时，每个挡板[36]亦在部位[40]处被切去一块，形成一个较大的间隙[42]。间隙[38]和[42]可使送入热油入口接管[30]的热油经过壳体[12]向上流到热油出口接管[32]，在此期间并与经过汽化柱[34]的涂敷化合物进行了热交换。在相继排列的挡板[36]中，间隙[42]的方位是交错的，以确保对汽化柱[34]的均匀加热。此外，多根挡板支承条[44]经过挡板[36]中的小孔[46]伸出，以支撑挡板[36]和使所有的挡板[36]相互对齐。同时，汽化柱[34]的上端焊接在位于紧靠上壳体法兰[18]上的一个上管板[50]中的孔[48]内。上管板[50]起到密封作用以防止热油从壳体[12]中漏出。密封垫圈[53]设置在法兰[18]和上管板[50]之间，它同样起到防止热油从壳体[12]上端漏出的作用。从而，热油只能通过热油出口接管[32]排出。

正如在图4中所示的那样，汽化柱[34]的下端以同样的方式固定在位于紧靠下壳体法兰盘[20]下面的一个下管板[60]中的孔[58]内，并加以密封，同时对直。下管板[60]包括多个互相隔开的孔[64]，并与下壳体法兰[20]中的孔[24]对齐。

密封垫圈[63]安装在法兰[20]和下管板[60]之间，以防止油从壳体[12]的下部漏出。

如图1和图2所示，上壳套[68]具有一个带有上壳套法兰[72]的套壁[70]，该法兰[72]以围绕的方式固接在上壳套[68]的下端，并紧靠上管板[50]之上，且带有置放在管板[50]和法兰[72]之间的密封垫圈[73]。法兰[72]的四周亦有多个间隔的孔[74]，与孔[22]和[54]互相对齐，如图2所示，一些螺母和螺栓连接件[76]将上壳体法兰[18]、上管板[50]和上壳套法兰[72]固定在一起。

多根涂敷化合物供料管[78]穿过壳套壁[70]，被安置在汽化柱[34]的上面，并伸入基上端内，以向汽化柱提供涂敷化合物。正如图2和图3中所给予的最佳描绘所示，将最好是由丝网布制成的填料压块[80]安置在汽化柱[34]之上，填料压紧板[82]被安置在填料压块[80]之上并通过螺栓[84]固定在上管板[50]上。填料压紧板[82]包括若干个孔[86]，并与汽化柱[34]的上部开口端重合。因此，供料管[78]通过孔[86]和填料压块[80]延伸到汽化柱[34]的上端。

从供料管[78]向上，一个蒸气温度传感器[88]穿过壳套壁[70]，以对存在于汽化器[10]中汽化了的涂敷化合物的温度进行探测。

可以安装一个去雾器[90]，它也可以是一种51/4英寸×4英寸的丝网去雾器，置放在温度传感器[88]之上，用于收集在排出的汽化了的涂敷化合物和气体中所含的雾气，也就是说，防止夹带的液滴排出汽化器中。去雾器[90]由一具有多个开口区[94]的去雾器支承板[92]支撑，汽化了的涂敷化合物可以穿过开口区[94]到去雾器[90]。去雾器支承板[92]通过三个螺栓[96]固定在壳套壁[70]上。此外，去雾器压紧板[98]固接在紧靠去雾器[90]之上的壳套壁[70]上，以使去雾器夹在板[92]和[98]之间。

上壳套[68]还包括外套壁[100]，它以四周环绕的方式置放在壳套壁[70]上，以在它们之间形成一个环形的间隙[102]。外套壁[100]的下端通过板[104]固接在壳套壁[70]上，以将间隙[102]的下端密封。热油入口[106]设置在外套壁[100]的下端以便对间隙[102]提供热油，从而使汽化了的涂敷化合物流经去雾器[90]，并从汽化器[10]的上端流出时，能维持在所需的温度上，以防止其凝结。

上壳套的外套罩[108]被固定在上部外套壁[100]的上端，同样，上壳套罩[109]被固定在上壳套壁[70]上。热油出口管[110]被固定在上壳套的外套罩[108]的上端，以便将热油从间隙[102]排出。此外，一个蒸气出口接管[112]穿过上壳套的外套罩[108]和与其形成密封关系的上壳套罩[109]，以将气体中所携带的汽化了的涂敷化合物从汽化器[10]中移出。蒸气出口接管[112]也就构成了汽化器[10]工艺流程的出口。

参看图1和图4，以下将对汽化器[10]的入口部分加以描述。

正如和引出部分一样，通过螺栓[116]，将填料支承板[114]固定在紧靠汽化柱[34]下端之下的下管板[60]上，从而使填料支承板[114]中的孔[118]与汽化柱[34]开口的下端对准。填料支承[120]最好制成丝网布锥形体的形式，它固接在填料支承板[114]的上表面，并与孔[118]形成环绕关系，以便能延伸到汽化柱[34]的下端内。填料支承[120]可使载气经过汽化柱[34]的下部开口端进入。

下壳套[122]具有一个下壳套壁[124]，并带有一个下壳套法兰[126]，后者围绕着紧靠下管板[60]之下的下壳套壁[124]的上端，并予以固定。沿着法兰[126]的周围设有一些互相间隔的孔[128]，并与孔[24]和[64]对齐。从而，螺母和螺栓连接件[130]穿过孔[24]，[64]和[128]，以将下壳体法兰[20]，下管板[60]和下壳套法兰[126]固定在一起。密封垫圈[127]安装在下管板[60]和下壳套法兰[126]之间，以对汽化柱[34]的下端加以密封，气体供料管[132]穿过下壳套壁[124]，以向其供给载气。这种载气向上穿过孔[118]和填料支承[120]，而到达汽化柱[34]，从而使涂敷化合物汽化和掺到气体中，并被向上带出汽化器[10]。

就象上壳套[68]一样，下壳套[122]包括一个环绕在壳套壁[124]周围并与其隔开的外套壁[134]，从而在它们之间形成了一个环形间隙[136]。下壳套的外套罩[138]被固接在下部外套壁[134]的下端，下部壳套罩[139]被固定在壳套壁[124]的下端，以保持间隙[136]。在下壳套的外套罩[138]的下端装有一个热油入口管[140]，以便向间隙[132]提供热油，该热油从下壳套的外套[122]上端的热油出口管[142]排出。因此，气体的温度在进入汽化柱[34]之前得以保持，也就是说，防止在供气中失去过多的热量。此外，在下部壳套罩[139]的下端装有排放管[144]，以便泄放任何未被汽化，并落到汽柱[34]的下部开口端的涂敷化合物。

在操作过程中，液态涂敷化合物可以先被预热后再引入各个汽化柱[34]的顶部，并成滴流状向下流动，将填料表面浇温。最好是被预热的气体进入供气管[132]，并作为一种连续相向上流动通过各个汽化柱[34]的底部。由于与热油之间的热交换，涂敷化合物被汽化并被载气夹带而向上输送。就此而言，汽化柱[34]必须具有足够的高度，以便能使化合物基本上完全汽化。通过安装许多较小直径的汽化柱[34]，可使填料径向的温度梯度小，从而使填料整个被浸湿的表面区域上发生有效的汽化。由于传热和传质的表面积大，因此汽化所需的表面温度被降低了，并且减小了有机锡涂敷化合物的热分解。

每个汽化柱[34]的容量是基于化合物的蒸气压力和热稳定性，汽化柱的装载特性和其将热量从柱壁转移到柱的内部的能力，当运行是处于有限的柱负载时，容量大致与汽化柱[34]的直径平方成正比，而传质面积也与直径的平方成正比。然而，当柱的直径增加时，填料的径向温度梯度也增加了，使填料的效率向柱的径向中心递减。

因此，通过提供多根互相平行的汽化柱，汽化器的总容量则增加至超过尽实际可能最大直径的单根柱的容量，尽管必须提供些手段，以将所供应的气流和液流分配给这些平行的汽化柱，但是，正如上面所描述的那样，这已被本发明非常方便地实施了。

参看图6至图12，这些图描绘了本发明的另一个实施例。具体地说，在图1至图5中的外部供料的实施例中，装有多根供料管[78]，以便分别对每根单独的汽化柱[34]提供涂敷化合物。图6至图12所示的实施例是一种内部供料分配的实施例，安装了单根的供料管。

因而，参看图6至图12，用同样的参考号数表示与图1至图5实施例中零部件相对应的同样零部件，为便于本文过于繁琐，此处也省略了对这些零部件的详细解释。

如图6所示，安装了单根供料管[150]来代替多根供料管[78]，并使其穿过上壳套[68]的上壳套壁[70]。此外，上管板[50]被直接固接在壳体[12]的上端，因而仅仅上管板[50]和法兰[72]连接在一起。

供料分配系统包括多根分配管[152]，它们在正好位于汽化柱[34]上部开口端之上的位置处伸入上管板[50]中。如图6和图9所示，各分配管[15]的上端设有一个V型槽部分[154]。供料分配板[156]被固定在上管板[50]之上，并与其平行，而分配管[152]的V型槽部分[154]穿过其中的孔隙[158]并被焊接在孔[158]上。具体地说，供料分配器[156]被置放在基本上相当于V型槽部分[154]的V型部位的最低处的位置。此外，分配板[156]设有竖壁[160]，以便能在其内形成含有液体的区域。正如图8所示，通过螺母和螺栓连接件[162]，可将供料分配板以相隔一定距离的方式固定在上管板[50]上。螺母和螺栓连接件[162]还起到了对分配板[56]的水平调整作用，据此，保证对每根汽化柱[34]分配大体上相等数量的涂敷化合物。这样，借助于图6至图12中内部供料装置的实施例，液态涂敷化合物是经由供料管[150]送入的，因而液体蓄积在供料分配板[156]上。随着液面上升，它经过V型槽部分[154]渗入到汽化柱[34]的内部，由此提供等量的分配。无论从哪一点来看，图6至图12中的内部供料装置的实施例与图1至图4中的外部供料装置的实施例是基本上相同的。

然后，图6至图12中内部供料的实施例中汽化柱[34]的数目估计是二十四个。之所以采用内部布料分式，是因为考虑到对如此多数量的汽化柱[34]分别提供供料管也许在实际上是不可能的。

下面将参考具体例子来对本发明作进一步的说明。

例一

采用一种可变行程的计量泵，以一可控的速率将单丁基锡三氯化物（MBTC）供到本文所描述的带有油夹套的填料柱式汽化器中。该柱包括单独一根外径是1英寸，壁厚是0.049英寸，高是60英寸的由镍200制成的汽化柱，它被同轴式地安放在一个1    1/2英寸管壁厚度的Sch40碳钢壳体中。该壳体装有1英寸凸缘的热油入口和出口接管，入口和出口接管相隔的垂直距离为48英寸，相对汽化器的主轴而言，以互相成180°的角度置放。油通过在汽化柱和壳体之间的环形空间循环，其流动速率被限制在不能使油的入口和出口之间的温差超过1°F的范围内。环形油腔室的总高度是53.5英寸。汽化柱略伸出壳体，并与壳体密封，据此防止油从环形空间漏出。一个由8目的316不锈钢丝网布制成的埴料支承被放置在汽化柱的底部，以支承由1/4英寸的多孔镍200鞍形物构成的深度是54英寸的床。填充床中上部50    3/4英寸的部分被环形油腔加热。底部的壳套与汽化柱的底部系非固定（fluidly）连接，以便提供一个气体入口，预热的空气以一可控的流速，经过该气体引入口进入壳套，一带有视镜的泄放管被安装在其中。上部壳套与汽化柱的顶部成非固定连接，它装有一个蒸气热电偶、蒸气排出口和一个1/4英寸的供液管，后者将MBTC引入汽化器主轴上的填充床的顶部。

上面所描述的设备代表了本发明多重平行填料柱式汽化器中的一根汽化柱，将若干根这样的单根汽化柱安装在单独一个壳体中，即可组装成上述平行填料柱式汽化器。

在运行过程中，在一个固定的供气速率下，MBTC的供料速率逐步增加，直至在下壳体的视镜中观察到积液，或发生溢流为止。进入的空气被预热到390-400°F，MBTC在室温下进入汽化柱。在每个汽化柱供气速率不超过0.25立方英尺（标准）/分（SCFM）的条件下，最大的MBTC供料速度正比于空气流量，所产生的蒸气含有33摩尔%的MBTC，并以373°F的温度离开汽化器。

例二

在例二中，除了使用循环的热油流预热MBTC之外，均与例一中的部分相同。但例二可以得到改进了的结果。

除了在本文中所用的涂敷化合物之外，在该技术领域内已知的其他可汽化的化合物也可以使用。

以上已结合附图对本发明较佳的具体实施例作了描述，应当明白，本发明并不仅限于这些明确的实施例。本技术领域中的普通熟练人员可对此进行各种改变和变换，但仍在所附权利要求所限定的精神实质和范围内。

Claims (12)

1、一种用于汽化具有较低分解温度化学组合物的设备，以产生出由高浓度汽化了的化学组合物掺入气体中而形成的混合物，庵制靼ǎ?

1)一个壳体；

2)多根汽化柱，大体上垂直地置放在上述壳体中，所述汽化柱具有内壁和上部及下部的开口端；

3)用于将上述化学组合物大致均匀地分配到所述的汽化柱上部开口端的分配装置；

4)用于加热上述汽化柱，以使柱内的上述化学组合物汽化的装置；以及

5)用于将上述气体供给上述汽化柱的所说下端处，以产生所说混合物的供气装置。

2、根据权利要求1所述的设备，其特征在于所说的汽化柱充有填料。

3、根据权利要求1所述的设备，其特征在于所说的分配装置包括多根用于分别向上述汽化柱的所说上部开口端提供所说化学组合物的供料管。

4、根据权利要求1所述的设备，其特征在于所说的分配装置包括多根安置在各汽化柱的开口端之上的分配管;一个固接在上述分配管的上端，用于向其提供化学组合物的供料分配板，以及用于向上述供料分配板提供上述化学组合物的供料装置。

5、根据权利要求4所述的设备，其特征在于所说的每一根分配管具有一个上V型槽部分，该V型槽部分的下端大体上与所述的供料分配板在同一平面上。

6、根据权利要求1所述的设备，其特征在于所说的壳体以密封的方式围绕着上述一些汽化柱，所述的加热装置包括一个用于向上述壳体提供热流体的流体入口管和用于从上述壳体排出所说流体的流体出口管，其中所述的热流体在上述汽化柱中以热交换的方式使上述化学组合物汽化。

7、根据权利要求1所述的设备，其特征在于所说的壳体以密封的方式围绕上述汽化柱;上述供气装置包括一个固接在所说壳休下端，用于向上述汽化柱的所说下端提供上述气体的下壳套（bonnet）。

8、根据权利要求7所述的设备，其特征在于它还包括一个固接在上述壳体的上端，用于从所说设备排放出上述混合物的上壳套。

9、根据权利要求8所述的设备，其特征在于所说的壳套包括一个用于防止所说的汽化了的化学组合物离开该设备时发生凝结的热交换器。

10、根据权利要求8所述的设备，其特征在于它还包括一个置放在所说的上壳套内的用于探测所说混合物温度的温度探测器，以对上述加热装置进行调节。

11、根据权利要求8所述的设备，其特征在于它还包括一个设置在所说的上壳套中，用于防止被携带的液滴逸出上述设备的去雾器。

12、根据权利要求7所述的设备，其特征在于所说的下壳套包括一个用于防止被送入上述设备中的所说气体热量损失过多的热交换器。

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