CN103149623A - 具有光转向微结构的光导面板、其制造方法和显示装置 - Google Patents

Abstract

本发明是具有光转向微结构的光导面板、其制造方法和显示装置。一种照明装置包含光导，所述光导具有用于接收光的第一端且经配置以支持光沿着所述光导的长度传播。转向微结构安置于所述光导的第一侧上，所述转向微结构经配置以使入射于所述第一侧上的光转向且引导所述光离开所述光导的第二相对侧，其中所述转向微结构包含多个压痕。盖物理上耦合到所述光导且安置于所述转向微结构上。夹层处于所述盖与所述光导之间，其中所述夹层将所述盖物理上耦合到所述光导。在一些实施例中，省略所述夹层，且所述盖与所述光导直接接触。多个开放区域处于所述夹层或所述盖与所述多个压痕之间。各种实施例包括在具有或没有夹层的情况下将所述盖耦合到所述光导同时保留所述盖与多个压痕之间的开放区域的方法。

Description

具有光转向微结构的光导面板、其制造方法和显示装置

本申请是申请日为2009年5月26日，优先权日为2008年5月28日，发明名称为“具有光转向微结构的光导面板、其制造方法和显示装置”，申请号为200980119525.4的发明专利申请的分案申请。

相关申请案的参考

本申请案主张2008年5月28日申请的第61/056,601号美国临时申请案的优先权。

技术领域

本发明涉及微机电系统(MEMS)。

背景技术

微机电系统(MEMS)包含微机械元件、激活器和电子元件。可使用沉积、蚀刻和/或其它蚀刻掉衬底和/或已沉积材料层的部分或者添加层以形成电装置和机电装置的微加工工艺来产生微机械元件。一种类型的MEMS装置称为干涉式调制器。如本文所使用，术语干涉式调制器或干涉式光调制器指的是一种使用光学干涉原理选择性地吸收且/或反射光的装置。在某些实施例中，干涉式调制器可包括一对导电板，其中之一或两者可能整体或部分透明且/或具有反射性，且能够在施加适当电信号时进行相对运动。在特定实施例中，一个板可包括沉积在衬底上的固定层，且另一个板可包括通过气隙与固定层分离的金属薄膜。如本文更详细描述，一个板相对于另一个板的位置可改变入射在干涉式调制器上的光的光学干涉。这些装置具有广范围的应用，且在此项技术中，利用且/或修改这些类型装置的特性使得其特征可被发掘用于改进现有产品和创建尚未开发的新产品，将是有益的。

发明内容

在一个实施例中，一种照明装置包含光导，所述光导具有用于接收光的第一端且经配置以支持光沿着光导的长度传播。转向微结构安置于光导的第一侧上，所述转向微结构经配置以使入射于所述第一侧上的光转向且引导光离开光导的第二相对侧，其中所述转向微结构包含多个压痕。盖物理上耦合到所述光导且安置于转向微结构上。夹层处于盖与光导之间，其中所述夹层将所述盖物理上耦合到所述光导。多个开放区域处于所述夹层与所述多个压痕之间，其中光导具有第一折射率且夹层具有第二折射率，且所述第二折射率低于所述第一折射率。

在另一实施例中，一种照明装置包含光导，所述光导具有用于接收光的第一端且经配置以支持光沿着光导的长度传播。转向微结构安置于光导的第一侧上，所述转向微结构经配置以使入射于所述第一侧上的光转向且引导光离开光导的第二相对侧，其中所述转向微结构包含多个压痕。盖物理上耦合到所述光导且安置于所述转向微结构上。夹层处于所述盖与所述光导之间，其中所述夹层将所述盖物理上耦合到所述光导。多个区域处于所述夹层与所述多个压痕之间，所述多个区域至少部分地包含不同于所述夹层的材料。

在另一实施例中，一种照明装置包含光导，所述光导具有用于接收光的第一端且经配置以支持光沿着光导的长度传播。转向微结构安置于光导的第一侧上，所述转向微结构经配置以使入射于所述第一侧上的光转向且引导光离开光导的第二相对侧，其中所述转向微结构包含多个压痕。盖物理上耦合到所述光导且安置于所述转向微结构上。多个开放区域处于所述盖与所述多个压痕之间，其中所述光导具有第一折射率且所述盖具有第二折射率，且所述第二折射率低于所述第一折射率。

在另一实施例中，一种制造照明装置的方法包含提供光导，所述光导具有用于接收光的第一端且经配置以支持光沿着光导的长度传播，所述光导具有安置于其第一侧上的转向微结构，所述转向微结构经配置以使入射于所述第一侧上的光转向且引导光离开光导的第二相对侧，其中所述转向微结构包含多个压痕。所述方法还包含提供安置于所述转向微结构上的盖。所述方法还包含通过夹层将所述盖物理上耦合到所述光导以使得多个开放区域处于所述夹层与所述多个压痕之间，其中所述光导具有第一折射率且所述夹层具有第二折射率，且所述第二折射率低于所述第一折射率。

在另一实施例中，一种制造照明装置的方法包含提供光导，所述光导具有用于接收光的第一端且经配置以支持光沿着光导的长度传播，所述光导具有安置于其第一侧上的转向微结构，所述转向微结构经配置以使入射于所述第一侧上的光转向且引导光离开光导的第二相对侧，其中所述转向微结构包含多个压痕。所述方法还包含提供安置于所述转向微结构上的盖。所述方法还包含通过夹层将所述盖物理上耦合到所述光导以使得所述夹层与所述多个压痕之间的多个区域至少部分地包含不同于所述夹层的材料。

在另一实施例中，一种制造照明装置的方法包含提供光导，所述光导具有用于接收光的第一端且经配置以支持光沿着光导的长度传播，所述光导具有安置于其第一侧上的转向微结构，所述转向微结构经配置以使入射于所述第一侧上的光转向且引导光离开光导的第二相对侧，其中所述转向微结构包含多个压痕。所述方法还包含将所述盖物理上耦合到所述光导，其中所述盖安置于所述转向微结构上，且其中所述光导具有第一折射率且所述盖具有第二折射率，且所述第二折射率低于所述第一折射率。

在另一实施例中，一种照明装置包含用于使光转向的装置，其具有用于接收光的第一端且经配置以支持光沿着光导引装置的长度传播。用于使光转向的装置安置于光导引装置的第一侧上，所述用于使光转向的装置经配置以使入射于所述第一侧上的光转向且引导光离开光导引装置的第二相对侧，其中所述转向装置包含多个用于反射光的装置。用于覆盖的装置物理上耦合到所述光导引装置且安置于所述转向装置上。所述装置包含用于将所述覆盖装置物理上耦合到所述光导引装置的装置。多个开放区域处于所述覆盖装置与所述多个反射装置之间，其中所述光导引装置具有第一折射率且所述耦合装置具有第二折射率，且所述第二折射率低于所述第一折射率。

在另一实施例中，一种照明装置包含用于使光转向的装置，其具有用于接收光的第一端且经配置以支持光沿着光导引装置的长度传播。用于使光转向的装置安置于所述光导引装置的第一侧上，所述用于使光转向的装置经配置以使入射于所述第一侧上的光转向且引导光离开光导引装置的第二相对侧，其中所述转向装置包含多个用于反射光的装置。用于覆盖的装置物理上耦合到所述光导引装置且安置于所述转向装置上。所述装置包含用于将所述覆盖装置物理上耦合到所述光导引装置的装置。多个区域处于所述覆盖装置与所述多个反射装置之间，所述多个区域至少部分地包含不同于耦合装置的材料。

在另一实施例中，一种照明装置包含用于使光转向的装置，其具有用于接收光的第一端且经配置以支持光沿着光导引装置的长度传播。用于使光转向的装置安置于所述光导引装置的第一侧上，所述用于使光转向的装置经配置以使入射于所述第一侧上的光转向且引导光离开光导引装置的第二相对侧，其中所述转向装置包含多个用于反射光的装置。用于覆盖的装置物理上耦合到所述光导引装置且安置于所述转向装置上。多个开放区域处于所述覆盖装置与所述多个反射装置之间，其中所述光导引装置具有第一折射率且所述覆盖装置具有第二折射率，且所述第二折射率低于所述第一折射率。

附图说明

图1是描绘干涉式调制器显示器的一个实施例的一部分的等角视图，其中第一干涉式调制器的可移动反射层处于松弛位置，且第二干涉式调制器的可移动反射层处于激活位置。

图2是说明并入有3×3干涉式调制器显示器的电子装置的一个实施例的系统框图。

图3是图1的干涉式调制器的一个示范性实施例的可移动镜位置对所施加电压的图。

图4是可用于驱动干涉式调制器显示器的一组行和列电压的说明。

图5A说明图2的3×3干涉式调制器显示器中的显示器数据的一个示范性帧。

图5B说明可用于写入图5A的帧的行和列信号的一个示范性时序图。

图6A和图6B是说明包括多个干涉式调制器的视觉显示装置的实施例的系统框图。

图7A是图1的装置的横截面。

图7B是干涉式调制器的替代实施例的横截面。

图7C是干涉式调制器的另一替代实施例的横截面。

图7D是干涉式调制器的又一替代实施例的横截面。

图7E是干涉式调制器的额外替代实施例的横截面。

图8A是包含棱镜转向微结构、光导面板和显示面板的显示装置的一实施例的横截面。

图8B是包含衍射转向微结构、光导面板和显示面板的显示装置的另一实施例的一部分的横截面。

图9A是包含覆盖层、转向微结构、光导面板和显示面板的显示装置的一实施例的横截面。

图9B是包含覆盖层、粘合层、转向微结构、光导面板和显示面板的显示装置的另一实施例的横截面。

图9C是包含覆盖层、粘合层、转向微结构、多个衍射区域、光导面板和显示面板的显示装置的另一实施例的横截面。

图10A是包含覆盖层、粘合层、转向微结构、多个填充区域、光导面板和显示面板的显示装置的一实施例的横截面。

图10B是包含覆盖层、粘合层、转向微结构、多个开放区域、光导面板和显示面板的显示装置的另一实施例的横截面。

图10C是包含覆盖层、粘合层、转向微结构、多个开放区域、光导面板和显示面板的显示装置的另一实施例的横截面。

图11是形成根据各种实施例的显示装置的转向微结构的方法的横截面图的示意图。

具体实施方式

以下详细描述针对本发明的某些特定实施例。然而，本发明可以许多不同方式体现。在本描述内容中参看了附图，附图中所有相同部分用相同标号表示。如从以下描述中将了解，所述实施例可实施在经配置以显示不论运动(例如，视频)还是固定(例如，静止图像)的且不论文字还是图画的图像的任何装置中。更明确地说，预期所述实施例可实施在多种电子装置中或与多种电子装置关联，所述多种电子装置例如(但不限于)移动电话、无线装置、个人数据助理(PDA)、手持式或便携式计算机、GPS接收器/导航器、相机、MP3播放器、摄像机、游戏控制台、手表、时钟、计算器、电视监视器、平板显示器、计算机监视器、汽车显示器(例如，里程表显示器等)、座舱控制器和/或显示器、相机视图的显示器(例如，车辆中后视相机的显示器)、电子相片、电子广告牌或指示牌、投影仪、建筑结构、包装和美学结构(例如，一件珠宝上的图像显示器)。具有与本文中描述的装置类似的结构的MEMS装置也可用于例如电子切换装置的非显示器应用中。

本文中所包括的某些实施例包含用于显示器的照明设备。照明装置可包含光导，所述光导具有用于接收光的第一端且经配置以支持光沿着光导的长度传播。转向微结构安置于光导的第一侧上，所述转向微结构经配置以使入射于所述第一侧上的光转向且引导光离开光导的第二相对侧，其中所述转向微结构包含多个压痕。盖物理上耦合到所述光导且安置于所述转向微结构上。多个开放区域处于所述盖与所述多个压痕之间。各种实施例包括将盖结合到光导同时并不填充盖与多个压痕之间的开放区域的方法(例如，用粘合剂)。

图1中说明包括干涉式MEMS显示元件的一个干涉式调制器显示器的实施例。在这些装置中，像素处于明亮状态或黑暗状态。在明亮(“接通”或“开启”)状态下，显示元件将入射可见光的大部分反射到用户。当在黑暗(“断开”或“关闭”)状态下时，显示元件将极少的入射可见光反射到用户。依据实施例而定，可颠倒“接通”和“断开”状态的光反射性质。MEMS像素可经配置以主要在所选颜色下反射，从而除了黑色和白色以外还允许彩色显示器。

图1是描述视觉显示器的一系列像素中的两个相邻像素的等角视图，其中每一像素包括MEMS干涉式调制器。在一些实施例中，干涉式调制器显示器包括这些干涉式调制器的一行/列阵列。每一干涉式调制器包含一对反射层，其定位成彼此相距可变且可控制的距离以形成具有至少一个可变尺寸的谐振光学间隙。在一个实施例中，可在两个位置之间移动所述反射层之一。在第一位置(本文中称为松弛位置)中，可移动反射层定位成距固定部分反射层相对较大的距离。在第二位置(本文中称为激活位置)中，可移动反射层定位成更紧密邻近所述部分反射层。视可移动反射层的位置而定，从所述两个层反射的入射光相长地或相消地进行干涉，从而针对每一像素产生全反射状态或非反射状态。

图1中像素阵列的所描绘部分包含两个相邻干涉式调制器12a和12b。在左侧干涉式调制器12a中，说明可移动反射层14a处于距包含部分反射层的光学堆叠16a预定距离处的松弛位置中。在右侧干涉式调制器12b中，说明可移动反射层14b处于邻近于光学堆叠16b的激活位置中。

如本文所引用的光学堆叠16a和16b(统称为光学堆叠16)通常包括若干熔合层(fused layer)，所述熔合层可包含例如氧化铟锡(ITO)的电极层、例如铬的部分反射层和透明电介质。因此，光学堆叠16是导电的、部分透明且部分反射的，且可通过(例如)将上述层的一者或一者以上沉积到透明衬底20上来制造。部分反射层可由为部分反射的多种材料(例如，各种金属、半导体及电介质)形成。部分反射层可由一个或一个以上材料层形成，且层中的每一者可由单一材料或材料的组合形成。

在一些实施例中，光学堆叠16的层经图案化成为多个平行条带，且如下文中进一步描述，可在显示装置中形成行电极。可移动反射层14a、14b可形成为沉积金属层(一层或多层)的一系列平行条带(与行电极16a、16b垂直)，其沉积在柱18和沉积于柱18之间的介入牺牲材料的顶部上。当蚀刻去除牺牲材料时，可移动反射层14a、14b通过所界定的间隙19而与光学堆叠16a、16b分离。例如铝的高度导电且反射的材料可用于反射层14，且这些条带可在显示装置中形成列电极。

在不施加电压的情况下，间隙19保留在可移动反射层14a与光学堆叠16a之间，其中可移动反射层14a处于机械松弛状态，如图1中像素12a所说明。然而，当将电位差施加到选定的行和列时，形成在相应像素处的行电极与列电极的交叉处的电容器变得带电，且静电力将所述电极拉在一起。如果电压足够高，那么可移动反射层14变形且被迫抵靠光学堆叠16。光学堆叠16内的介电层(在此图中未图示)可防止短路并控制层14与16之间的分离距离，如图1中右侧的像素12b所说明。不管所施加的电位差的极性如何，表现均相同。以此方式，可控制反射对非反射像素状态的行/列激活在许多方面类似于常规LCD和其它显示技术中所用的方法。

图2到图5B说明在显示器应用中使用干涉式调制器阵列的一个示范性工艺和系统。

图2是说明可并入有本发明各方面的电子装置的一个实施例的系统框图。在示范性实施例中，所述电子装置包含处理器21，其可为任何通用单芯片或多芯片微处理器(例如ARM、

8051、

)，或任何专用微处理器(例如数字信号处理器、微控制器或可编程门阵列)。如此项技术中常规的做法，处理器21可经配置以执行一个或一个以上软件模块。除了执行操作系统外，所述处理器可经配置以执行一个或一个以上软件应用程序，包含网络浏览器、电话应用程序、电子邮件程序或任何其它软件应用程序。

在一个实施例中，处理器21还经配置以与阵列驱动器22通信。在一个实施例中，所述阵列驱动器22包含将信号提供到显示器阵列或面板30的行驱动器电路24和列驱动器电路26。在图2中以线1-1展示图1中说明的阵列的横截面。对于MEMS干涉式调制器来说，行/列激活协议可利用图3中说明的这些装置的滞后性质。其可能需要(例如)10伏的电位差来促使可移动层从松弛状态变形为激活状态。然而，当电压从所述值减小时，可移动层在电压降回10伏以下时维持其状态。在图3的示范性实施例中，可移动层直到电压降到2伏以下时才完全松弛。因此，在图3中所说明的实例中，存在约3到7V的所施加电压窗口，在所述窗口内，装置在松弛状态或激活状态中均是稳定的。此窗口在本文中称为“滞后窗口”或“稳定窗口”。对于具有图3的滞后特性的显示器阵列来说，可设计行/列激活协议使得在行选通期间，已选通行中待激活的像素暴露于约10伏的电压差，且待松弛的像素暴露于接近零伏的电压差。在选通之后，所述像素暴露于约5伏的稳态电压差使得其维持在行选通使其所处的任何状态中。在此实例中，每一像素在被写入之后经历3-7伏的“稳定窗口”内的电位差。此特征使图1中说明的像素设计在相同的施加电压条件下在激活或松弛预存在状态下均是稳定的。因为干涉式调制器的每一像素(不论处于激活还是松弛状态)本质上是由固定反射层和移动反射层形成的电容器，所以可在滞后窗口内的一电压下维持此稳定状态而几乎无功率消耗。本质上，如果所施加的电压是固定的，那么没有电流流入像素中。

在典型应用中，可通过根据第一行中所需组的激活像素断言所述组列电极来产生显示帧。接着将行脉冲施加到行1电极，从而激活对应于经断言列线的像素。经断言的所述组列电极接着经改变以对应于第二行中所需组的激活像素。接着将脉冲施加到行2电极，从而根据经断言的列电极而激活行2中的适当像素。行1像素不受行2脉冲影响，且维持在其在行1脉冲期间被设定的状态中。可以连续方式对整个系列的行重复此过程以产生帧。通常，通过以每秒某一所需数目的帧的速度连续地重复此过程来用新的显示数据刷新且/或更新所述帧。用于驱动像素阵列的行和列电极以产生显示帧的广泛种类的协议也是众所周知的且可结合本发明使用。

图4、图5A和图5B说明用于在图2的3×3阵列上形成显示帧的一个可能的激活协议。图4说明可用于使像素展示出图3的滞后曲线的一组可能的列和行电压电平。在图4实施例中，激活像素涉及将适当列设定为-V_bias，且将适当行设定为+ΔV，其分别可对应于-5伏和+5伏。松弛像素是通过将适当列设定为+V_bias，且将适当行设定为相同的+ΔV，从而在像素上产生零伏电位差而实现的。在行电压维持在零伏的那些行中，不管列处于+V_bias还是-V_bias，像素在任何其最初所处的状态中均是稳定的。同样如图4中所说明，将了解，可使用具有与上述电压的极性相反的极性的电压，例如，激活像素可涉及将适当列设定为+V_bias，且将适当行设定为-ΔV。在此实施例中，释放像素是通过将适当列设定为-V_bias，且将适当行设定为相同的-ΔV，从而在像素上产生零伏电位差而实现的。

图5B是展示施加到图2的3×3阵列的一系列行和列信号的时序图，所述系列的行和列信号将产生图5A中说明的显示器布置，其中被激活像素为非反射的。在对图5A中说明的帧进行写入之前，像素可处于任何状态，且在本实例中所有行均处于0伏，且所有列均处于+5伏。在这些所施加的电压的情况下，所有像素在其既有的激活或松弛状态中均是稳定的。

在图5A的帧中，像素(1，1)、(1，2)、(2，2)、(3，2)和(3，3)被激活。为了实现此目的，在行1的“线时间(line time)”期间，将列1和2设定为-5伏，且将列3设定为+5伏。因为所有像素均保留在3-7伏的稳定窗口中，所以这并不改变任何像素的状态。接着用从0升到5伏且返回零的脉冲选通行1。这激活了(1，1)和(1，2)像素且松弛了(1，3)像素。阵列中其它像素均不受影响。为了视需要设定行2，将列2设定为-5伏，且将列1和3设定为+5伏。施加到行2的相同选通接着将激活像素(2，2)且松弛像素(2，1)和(2，3)。同样，阵列中其它像素均不受影响。通过将列2和3设定为-5伏且将列1设定为+5伏来类似地设定行3。行3选通设定行3像素，如图5A中所示。在对帧进行写入之后，行电位为零，且列电位可维持在+5或-5伏，且接着显示器在图5A的布置中是稳定的。将了解，可将相同程序用于数十或数百个行和列的阵列。将了解，用于执行行和列激活的电压的时序、序列和电平可在上文所概述的一般原理内广泛变化，且上文的实例仅为示范性的，且任何激活电压方法均可与本文描述的系统和方法一起使用。

图6A和图6B是说明显示装置40的实施例的系统框图。显示装置40可为(例如)蜂窝式电话或移动电话。然而，显示装置40的相同组件或其稍微变化形式也说明例如电视和便携式媒体播放器的各种类型的显示装置。

显示装置40包含外壳41、显示器30、天线43、扬声器45、输入装置48和麦克风46。外壳41通常由如所属领域的技术人员众所周知的多种制造工艺的任一者形成，所述工艺包含注射模制和真空成形。另外，外壳41可由多种材料的任一者制成，所述材料包含(但不限于)塑料、金属、玻璃、橡胶和陶瓷，或其组合。在一个实施例中，外壳41包含可去除部分(未图示)，所述可去除部分可与其它具有不同颜色或含有不同标记、图画或符号的可去除部分互换。

如本文中所描述，示范性显示装置40的显示器30可为包含双稳态显示器(bi-stabledisplay)在内的多种显示器的任一者。在其它实施例中，显示器30包含例如如上所述的等离子、EL、OLED、STN LCD或TFT LCD的平板显示器，或例如CRT或其它电子管装置的非平板显示器，如所属领域的技术人员众所周知。然而，出于描述本实施例的目的，如本文中所描述，显示器30包含干涉式调制器显示器。

图6B中示意说明示范性显示装置40的一个实施例的组件。所说明的示范性显示装置40包含外壳41且可包含至少部分封围在所述外壳41中的额外组件。举例来说，在一个实施例中，示范性显示装置40包含网络接口27，所述网络接口27包含耦合到收发器47的天线43。收发器47连接到处理器21，处理器21连接到调节硬件52。调节硬件52可经配置以调节信号(例如，对信号进行滤波)。调节硬件52连接到扬声器45和麦克风46。处理器21也连接到输入装置48和驱动器控制器29。驱动器控制器29耦合到帧缓冲器28且耦合到阵列驱动器22，所述阵列驱动器22进而耦合到显示器阵列30。根据特定示范性显示装置40设计的要求，电源50将功率提供到所有组件。

网络接口27包含天线43和收发器47使得示范性显示装置40可经由网络与一个或一个以上装置通信。在一个实施例中，网络接口27也可具有某些处理能力以减轻对处理器21的要求。天线43是用于发射和接收信号的所属领域的技术人员已知的任何天线。在一个实施例中，所述天线根据IEEE802.11标准(包含IEEE802.11(a)、(b)或(g))来发射和接收RF信号。在另一实施例中，所述天线根据蓝牙(BLUETOOTH)标准来发射和接收RF信号。在蜂窝式电话的情况下，所述天线经设计以接收CDMA、GSM、AMPS或其它用于在无线手机网络内通信的已知信号。收发器47预处理从天线43接收到的信号，使得处理器21可接收所述信号并进一步对所述信号进行处理。收发器47还处理从处理器21接收到的信号使得可经由天线43从示范性显示装置40发射所述信号。

在一替代实施例中，收发器47可由接收器代替。在又一替代实施例中，网络接口27可由可存储或产生待发送到处理器21的图像数据的图像源代替。举例来说，所述图像源可为数字视频光盘(DVD)或含有图像数据的硬盘驱动器，或产生图像数据的软件模块。

处理器21大致上控制示范性显示装置40的全部操作。处理器21接收例如来自网络接口27或图像源的压缩图像数据的数据，并将所述数据处理成原始图像数据或处理成易被处理成原始图像数据的格式。处理器21接着将已处理的数据发送到驱动器控制器29或发送到帧缓冲器28以供存储。原始数据通常是指识别图像内每一位置处的图像特性的信息。举例来说，这些图像特性可包含颜色、饱和度和灰度级。

在一个实施例中，处理器21包含微控制器、CPU或逻辑单元以控制示范性显示装置40的操作。调节硬件52通常包含放大器和滤波器，以用于将信号发射到扬声器45，且用于从麦克风46接收信号。调节硬件52可为示范性显示装置40内的离散组件，或可并入在处理器21或其它组件内。

驱动器控制器29直接从处理器21或从帧缓冲器28取得由处理器21产生的原始图像数据，并适当地重新格式化所述原始图像数据以供高速发射到阵列驱动器22。具体来说，驱动器控制器29将原始图像数据重新格式化为具有类似光栅的格式的数据流，使得其具有适于在显示器阵列30上进行扫描的时间次序。接着，驱动器控制器29将已格式化的信息发送到阵列驱动器22。尽管驱动器控制器29(例如LCD控制器)通常与系统处理器21关联而作为独立的集成电路(IC)，但可以许多方式实施这些控制器。其可作为硬件嵌入处理器21中，作为软件嵌入处理器21中，或与阵列驱动器22完全集成在硬件中。

通常，阵列驱动器22从驱动器控制器29接收已格式化的信息且将视频数据重新格式化为一组平行波形，所述波形以每秒多次的速度被施加到来自显示器的x-y像素矩阵的数百且有时数千个引线。

在一个实施例中，驱动器控制器29、阵列驱动器22和显示器阵列30适用于本文描述的任意类型的显示器。举例来说，在一个实施例中，驱动器控制器29是常规显示器控制器或双稳态显示器控制器(例如，干涉式调制器控制器)。在另一实施例中，阵列驱动器22是常规驱动器或双稳态显示器驱动器(例如，干涉式调制器显示器)。在一个实施例中，驱动器控制器29与阵列驱动器22集成。此实施例在例如蜂窝式电话、手表和其它小面积显示器的高度集成系统中是普遍的。在又一实施例中，显示器阵列30是典型的显示器阵列或双稳态显示器阵列(例如，包含干涉式调制器阵列的显示器)。

输入装置48允许用户控制示范性显示装置40的操作。在一个实施例中，输入装置48包含例如QWERTY键盘或电话键区的键区、按钮、开关、触敏屏幕或压敏或热敏薄膜。在一个实施例中，麦克风46是用于示范性显示装置40的输入装置。当使用麦克风46将数据输入到所述装置时，用户可提供声音命令以便控制示范性显示装置40的操作。

电源50可包含此项技术中众所周知的多种能量存储装置。举例来说，在一个实施例中，电源50是例如镍镉电池或锂离子电池的可再充电电池。在另一实施例中，电源50是可再生能源、电容器或太阳能电池，包含塑料太阳能电池和太阳能电池涂料。在另一实施例中，电源50经配置以从壁式插座接收功率。

在某些实施例中，如上文中所描述，控制可编程性驻存在驱动器控制器中，所述驱动器控制器可位于电子显示器系统中的若干位置中。在某些实施例中，控制可编程性驻存在阵列驱动器22中。所属领域的技术人员将认识到，上述优化可实施在任何数目的硬件和/或软件组件中且可以各种配置实施。

根据上文陈述的原理而操作的干涉式调制器的结构的细节可广泛变化。举例来说，图7A-7E说明可移动反射层14及其支撑结构的五个不同实施例。图7A是图1的实施例的横截面，其中金属材料条带14沉积在垂直延伸的支撑件18上。在图7B中，可移动反射层14在系链(tether)32上仅在隅角处附接到支撑件。在图7C中，可移动反射层14从可包括柔性金属的可变形层34悬置下来。所述可变形层34直接或间接地连接到围绕可变形层34的周边的衬底20。这些连接在本文中称为支柱。图7D中说明的实施例具有支柱插塞42，可变形层34搁置在所述支柱插塞42上。如图7A-7C所示，可移动反射层14保持悬置在间隙上方，但可变形层34并不通过填充可变形层34与光学堆叠16之间的孔而形成所述支柱。而是，支柱由平坦化材料形成，其用于形成支柱插塞42。图7E中说明的实施例是基于图7D中展示的实施例，但也可适于与图7A-7C中说明的实施例以及未图示的额外实施例的任一者一起发挥作用。在图7E中所示的实施例中，已使用金属或其它导电材料的额外层来形成总线结构44。这允许信号沿着干涉式调制器的背面进行路由，从而消除许多原本可能必须形成在衬底20上的电极。

在例如图7中所示的那些实施例的实施例中，干涉式调制器充当直接观看装置，其中从透明衬底20的前侧观看图像，所述侧与上面布置有调制器的一侧相对。在这些实施例中，反射层14以光学方式遮蔽在反射层的与衬底20相对侧的干涉式调制器的部分，其包含可变形层34。这允许对遮蔽区域进行配置和操作而不会消极地影响图像质量。此遮蔽允许图7E中的总线结构44，其提供使调制器的光学性质与调制器的机电性质分离的能力，例如，寻址或由所述寻址引起的移动。这种可分离的调制器结构允许选择用于调制器的机电方面和光学方面的结构设计和材料且使其彼此独立而发挥作用。此外，图7C-7E中所示的实施例具有源自反射层14的光学性质与其机械性质脱离的额外益处，所述益处由可变形层34执行。这允许用于反射层14的结构设计和材料在光学性质方面得以优化，且用于可变形层34的结构设计和材料在所需的机械性质方面得以优化。

如上文所描述，入射于干涉式调制器上的光经由根据反射表面中的一者的激活状态的相长或相消干涉而被反射或吸收。照明设备可为包含干涉式调制器或其阵列的显示装置提供人工照射。

在一些实施例中，照明系统包含光源、光注入系统，和包括光“转向”膜的光导面板。光注入系统将来自点光源(例如，发光二极管(LED))的光转换成线光源。具有转向特征的光棒(light bar)可用于此目的。注入到光棒中的光沿着棒的长度传播且越过棒的长度而从棒射出。此光接着跨越广泛区域散布且经引导到显示元件阵列上。上面也具有转向特征的光导面板可用于此目的。从光棒射出的光耦合到光导面板的边缘且在光导面板内传播。转向特征使光越过对应的所述多个显示元件的区域而从面板射出。

图8A是包含相对于显示器81而安置的光导面板80的显示装置的横截面图。显示器81可包含多个显示元件(例如，干涉式调制器)。光导80可包括第一侧80a上的转向微结构82，如图8A中所展示。转向微结构82经配置以使入射于光导80的第一侧80a上的光的一部分转向且引导光的所述部分离开光导80(例如，离开第二侧80b)进入所述多个显示元件81中。根据一些实施例，转向微结构82的一些或所有特征可形成于形成光导80的一部分的转向膜中。此转向膜可安置于也形成光导80的一部分的衬底上。在这些实施例中，转向膜可具有与衬底相同的折射率。或者，光导80可通过直接用转向特征模制或蚀刻衬底的表面而形成。

光导80的转向微结构82包含经配置以引导光离开光导80的第二侧80b的具有刻面或倾斜表面的多个转向特征或压痕82a。在某些实施例中，转向特征可包含多个表面特征或体积特征。在一些实施例中，转向微结构82a包含衍射光学元件。所述衍射光学元件可包含跨越转向微结构82的长度延伸的体积特征或表面特征。在某些实施例中，转向微结构82包含全息图且转向特征包含全息特征。全息图可包含跨越转向微结构82的长度延伸的全息体积特征或全息表面特征。转向特征的大小、形状和分离可变化。广泛多种其它类型的转向特征(衍射的、全息的、棱镜的，或其它的)是可能的。因此，可使用不同的大小、形状、配置和布置。

图8A中所展示的特征82a为示意性的且特征82a的大小及其间的间隔被夸示。光可(例如)由来自平行于光导80的长度的光导80的一部分82b的全内反射而反射到倾斜表面82a中的一者。倾斜表面82a使光转向以使其朝着光导80的第二侧80b且朝着显示器81重定向，且使得经转向的光的传播方向与显示元件的表面的法线形成小于45度的角。因此，在由转向特征转向之后，光100在大体上垂直于光导80和显示器81的方向上穿过光导80的厚度而重定向，且可能以正入射(normal incidence)或大体上接近正入射而透射到干涉式调制器。在干涉式调制器处，光可经调制且朝着安置于显示装置前方的检视器穿过光导引部分80反射回以在显示装置上提供图像。

在图8A中所说明的实施例中，转向微结构82包含多个凹槽，具体来说，具有大体上三角形横截面的多个三角形凹槽。图8A中所说明的凹槽具有拥有等腰三角形的形状的横截面，但具有其它角度和其它形状的凹槽也是可能的。特定实例包括具有由2个以上侧面组成的横截面轮廓(例如，对称或不对称梯形形状)的凹槽。侧面82a的定向和形状可(例如)影响退出光导80的侧面80b和进入显示器81中的光的分布。

图8B说明具有转向微结构83的另一实施例，其中转向特征包含衍射特征83a而非棱镜特征(例如图8A中所展示)。在各种优选实施例中，衍射特征83a经配置以使入射于其上的光以一角度重定向，光经由所述角度而在光导80内传播离开光导80的第二侧80b且进入显示器81中。光可(例如)经由全内反射而以(例如)约40°或40°以上(如从光导80的侧壁的法线所测量)的掠射角沿着光导80的长度传播。在一些实施例中，此角度可为或可高于通过斯涅耳定律(Snell′s law)建立的临界角。经衍射的射线100接近垂直于光导80的长度而重定向。衍射特征83a可包含表面衍射特征或体积衍射特征。衍射特征83a可包括于光导80的第一侧80a上的衍射转向膜上。衍射特征可包含全息特征，且同样，在一些实施例中包含全息图或全息膜。另外，衍射特征可沿着光导80的长度连续地延伸。

包含(例如)一个或一个以上发光二极管(LED)的光源84相对于光导80而安置以将光注入其中。在图8A中所展示的实施例中，例如，来自光源84的光被注入到光导80的边缘中。在一些实施例中，光注入系统将来自点光源发射器(例如，发光二极管)的光转换成线光源。此光注入系统可(例如)包含光棒。还可使用其它类型的光源。

转向微结构82和/或光导区域80通常包含一材料，例如玻璃、聚碳酸酯、丙烯酸系物(例如，聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA))、丙烯酸酯共聚物(例如，聚(苯乙烯-甲基丙烯酸甲酯)聚合物(PS-PMMA，以名称Zylar出售))、UV可固化树脂或其它光学透明材料。对于可见光谱中的波长，聚碳酸酯的折射率为约1.59且Zylar的折射率为约1.54。根据一些实施例，光导80可为单层(例如，塑料或玻璃)，其顶面上形成有刻面。刻面可(例如)通过直接压印或蚀刻到塑料或玻璃衬底上而形成。根据其它实施例，光导80可包括玻璃或塑料(例如，聚碳酸酯、PET等)衬底上的多个层。在这些实施例中，转向微结构可形成于衬底上的转向膜(例如，UV压印树脂，或蚀刻成各种形状的无机涂层)上。可将转向膜选择为具有与衬底相同的折射率以形成用于光导80的一个光学本体。

在其它实施例中，可将一个或一个以上额外光学层(例如，光学隔离层)安置于显示面板81的衬底上或安置于显示元件或干涉式调制器上，以另外改进显示器的光学性能。举例来说，可将光学隔离层85提供于显示器的光导引部分80与干涉式调制器81之间以防止干涉式调制器吸收穿过光导引部分传播的光。

举例来说，干涉式调制器通常为对于以45-90度(从显示元件的法线测量)的角度导引的光线的吸收结构。因此，穿过光导80传播且以斜角入射于干涉式调制器81上的一些光可在足够数目次反射之后大体上由干涉式调制器81吸收。为了减小、最小化或防止此归因于吸收的光损失，可将光学隔离层85安置于光导区域80与干涉式调制器之间。根据一些实施例，光学隔离层85有利地具有大体上低于光导区域80的折射率，以使得穿过光导80行进且以(例如)大于临界角(例如，大于50°或60°)的斜角或掠射角照射光学隔离膜界面的光将被全内反射回到光导引区域80中。在各种实施例中，光学隔离层85包含二氧化硅，或氟化二氧化硅。同样可使用其它材料。如本文中所描述，可选择转向微结构82和衬底上的额外光学膜相对于干涉式调制器的几何布置以增强显示器的光导引部分的效率，以进一步增强总体显示器的光学性能，或提供其它优点。

可使用所属领域的技术人员已知的用于将本文中所描述的光学层中的一者或一者以上粘附于支撑显示元件阵列的玻璃或塑料衬底上的多种制造工艺中的任一者来形成所述多个显示元件81。玻璃或塑料衬底包含支撑层，例如干涉式调制器阵列等显示元件制造于所述支撑层上。如本文中所揭示，衬底可进一步用于支撑显示装置的一个或一个以上光学层。

在某些实施例中，光导80可包含一个以上层。对于此类实施例，包含光导引部分80的多个光学层的折射率在一些实施例中可有利地接近以使得光可透射穿过多个光学层而大体上不被反射或折射。光导80可(例如)具有为1.52的折射率。如上文所描述，在某些实施例中，光导80可包含玻璃或聚合材料。

图9A是如图8A中所展示的显示装置的横截面图，但覆盖层90安置于光导80上且附接到光导80，以使得转向微结构82在覆盖层90的下方。覆盖层90包含光学透射材料且粘附到光导80以使得多个区域91保留于盖与来自转向特征82a的多个压痕之间。根据图9A中所展示的实施例，区域91为开放区域，或大体上以空气填充。覆盖层90保护转向微结构82免受周围环境影响且通过减少磨损而增加装置的寿命。在某些实施例中，覆盖层90可包含包括其它功能性的膜堆叠，例如用于防眩光、防反射、防擦伤、防污点、漫射、彩色滤光或用于引入对环境光的表面反射(例如，菲涅耳反射(Fresnelreflection))以减小显示对比度的额外层。覆盖层90还使得有可能容易地沉积所述额外层，因为用于层压上述层的常规粘合剂通常污染转向微结构82从而损害光学性能。

覆盖层90的材料促进光在光导区域80内经由全内反射的导引。特定来说，在各种实施例中，覆盖层90的紧邻于光导80的部分具有小于光导80的折射率的折射率。因为光导80的折射率大于覆盖层90的折射率，所以以大于临界角的角度入射于光导80与覆盖层90的界面上的光将被反射回到光导引区域80中且将继续沿着光导引区域80传播。因此，归因于光导80与覆盖层90之间的折射率的差异，注入到光导80的边缘中的光至少部分经由全内反射而沿着光导80的长度传播。

在各种实施例中，将覆盖层90粘附到光导80以使得转向微结构82处于覆盖层90与光导80之间。可以多种方式将覆盖层90粘附、层压、按压、熔合等到光导80或覆盖层90与光导80之间的另一层上。在本发明的某些实施例中，将覆盖层90粘附到光导80以便保留所述多个开放区域91。根据一些实施例，开放区域91大体上以空气填充且提供与光导80的折射率差以使得入射于转向特征82a上的大量光被转向且朝着所述多个显示元件85重定向。光导材料与空气之间的界面为以大于临界角的角度入射于所述界面上的光提供全内反射。

在一些实施例中，覆盖层90可与光导80直接接触，且在特定实施例中，覆盖层90可在光导80的第一侧80a的表面积的约90％或90％以上的面积上(例如，在刻面82a之间的光导80的隆起表面82b上)接触。在其它实施例中，覆盖层90不直接接触光导80，而通过介入粘合层附接。

在其中覆盖层90直接接触光导80的一些实施例中，可通过覆盖层90的表面与光导80的隆起表面82b之间的超声波结合或热结合来执行粘附。在涉及使用热将两个表面结合在一起的热结合的状况下，光导80的表面和/或转向微结构82可包含交联聚合物且最初可用UV光来固化。转向微结构82可首先通过UV压印来形成，UV压印通常涉及在衬底上从模制UV可固化环氧树脂复制。在将覆盖膜90粘附到微结构82的隆起表面82b之前UV压印转向微结构82的此工艺可防止或减小光导80的表面和/或转向微结构82在热结合期间熔融的可能性，且可因此有助于维持其形状和光转向光学功能。

根据另一实施例，可通过一制备工艺将覆盖层90直接粘附到光导80，所述制备工艺包括用等离子活化覆盖膜90的表面或光导80的表面(例如，转向微结构82)或其两者以改进粘附，以及随后的UV辐射。举例来说，氧等离子可用于通过首先移除具有最低分子量的弱表面层同时氧化聚合物的最上原子层而制备聚合物表面。可应用UV辐射以促成氧自由基的形成，氧自由基的形成可有助于使键断裂且促成表面分子的交联。聚合物的随后氧化引起极性基的增加，此增强实际结合步骤期间的两个聚合物表面的粘附性质。

图9B展示包括覆盖层90的显示装置的一实施例，覆盖层90通过粘合剂或覆盖层90与转向微结构82之间的夹层94而附接到光导80。根据一些实施例，夹层94具有小于光导80的折射率的折射率且因此可提供光在光导80内的全内反射。因此，此种夹层94的使用可通过消除关于覆盖层90的折射率的限制而有利地增加材料选择。因此，可灵活地选择直接在夹层94上的层以获得所需的功能性(例如，用于防眩光、防反射、彩色滤光等)，而不管其折射率如何。在一些实施例中，夹层非常薄，例如小于转向微结构82的特征或压痕的深度的大小的1/10。这些范围之外的值也是可能的。图9C展示包括通过夹层94而附接到光导80的覆盖层90的显示装置的一实施例，只是转向微结构83包含二元式光栅(binary grating)92。二元式光栅92通常覆盖大面积以使得其可使经导引的光衍射到光导80的外部。在一些实施例中，二元式光栅提供开放区域。

根据某些实施例，夹层94具有非常低的表面能。举例来说，夹层94可为自湿式粘合剂。根据一些实施例，夹层94可具有小于35达因/cm的表面张力。根据其它实施例，夹层94可具有小于25达因/cm的表面张力。可将自湿式夹层94涂布或涂覆于覆盖层90的表面上，且可将覆盖层90与自湿式夹层94放置于光导80和转向微结构82上。可在覆盖层90上施加简单压力以使夹层94的表面与光导80的表面结合(归因于夹层的低表面能)。在一些状况下，放置于覆盖层90和光导80上的支撑框架可用于提供用于发生自湿的压力。

根据某些实施例，夹层94为可弹性地变形的具有低玻璃转变点(T_g)的聚合物材料，例如橡胶或弹性体凝胶状材料。弹性体性质可通过在移除引起初始变形的外力时提供进入转向微结构82的凹槽82a中的任何材料的颠倒而保留所述凹槽82a内的区域。换句话说，夹层94可足够弹性地变形以便避免塑料在(例如)来自装置操作期间的意外冲击的外部压力下流入凹槽82a中，此将防止全内反射。可增加交联的量以在需要时强化或硬化聚合物，且使其对温度改变较不敏感。根据某些实施例，聚合物材料包含弹性体材料，例如硅酮、聚丙烯或聚-异丁烯。根据某些实施例，夹层包含硅氧烷主链，包括(但不限于)聚双甲基硅氧烷、聚二乙基硅氧烷、聚甲基苯硅氧烷等。根据一些实施例，夹层包含硅酮弹性体。根据一些实施例，夹层包含含氟聚合物、聚丙烯和其它非晶形烃聚合物，其具有低表面能以提供与光导的光学结合且具有低于光导的其余部分的折射率的折射率。

根据某些实施例，夹层可包含具有低于大多数操作温度的T_g且在大多数环境条件下维持其粘合或弹性体性质的聚合物材料。举例来说，低T_g材料可具有低于25℃、0℃、-20℃、-40℃等的T_g。根据某些实施例，聚合物材料具有低于约300℃的玻璃转变温度。根据其它实施例，聚合物材料具有低于约200℃的玻璃转变温度。根据其它实施例，聚合物材料具有低于约0℃的玻璃转变温度。

根据一些实施例，夹层具有足够低于光导的折射率的折射率以提供全内反射。根据一些实施例，夹层具有足够低的表面能以将盖物理上耦合到凹槽之间的转向微结构的区域。根据一些实施例，夹层具有足够弹性体性质以保留转向微结构中的开放区域且保留全内反射。在一些实施例中，夹层不填充跨越光导而安置的凹槽、压痕或转向微结构的至少50％、60％、70％、80％或90％。另外，根据一些实施例，夹层不填充转向微结构的凹槽内的大体上所有区域。举例来说，根据一些实施例，平均起来，夹层不填充凹槽或转向微结构内的区域的至少50％、60％、70％、80％或90％。根据一些实施例，夹层具有足够低于光导的折射率的折射率以提供全内反射，具有足够低的表面能以将盖物理上耦合到凹槽之间的转向微结构的区域，且具有足够弹性体性质以保留转向微结构中的开放区域且保留全内反射。

根据某些实施例，夹层94的厚度小于转向微结构的压痕的高度。根据某些实施例，夹层94的厚度小于压痕的高度的1/2、1/4、1/8、1/10等。举例来说，如果转向微结构的压痕为约2微米高，那么夹层厚度可为约200nm厚。根据一些实施例，夹层94的厚度可为10微米或10微米以上、20微米或20微米以上、50微米或50微米以上，或100微米或100微米以上。

此种粘合层可通过常规湿式涂覆工艺(例如，旋涂、喷涂、浸涂、滚涂、喷墨涂覆等)来形成，常规湿式涂覆工艺通常可通过使用涂覆材料的稀溶液而形成非常薄的膜。在覆盖层90上形成非常薄的粘合层之后，可将覆盖层90与薄粘合剂放置于光导80上，施加压力和温度以提供与转向微结构82的表面82b的接触。接着用UV光或热使薄粘合剂固化以使覆盖层90的表面与转向微结构82的表面结合。

在各种实施例中，使膜非常薄以减小或最小化在覆盖层90上层压粘合材料之后过多粘合材料填充转向微结构82的凹槽的风险。减小或最小化粘合材料的厚度将保持凹槽或压痕82a内的区域91开放，且显示装置的光学性能优化。如果具有1.0的折射率的空气在压痕内，那么较广泛范围的角度的光发生全内反射。此外，即使发生一些粘合材料在转向微结构82的凹槽82a中的填充，凹槽的大小和粘合材料的量也可经配置以使得落入凹槽82a中的粘合材料的量可减小开放区域91的大小，而不完全填充所述区域。凹槽82a的部分填充可降低凹槽可为检视者所看见的可能性和/或可成为设计照明系统的考虑因素(例如，在凹槽宽度的选择中)。

对于非常薄的粘合膜的实施例，粘合材料展示足够机械顺从性(mechanicalcompliance)以便可增加或最大化光学接触可能是有利的。根据一些实施例，粘合材料包含具有低玻璃转变点且因此为凝胶状且可变形但还具有高粘度或高度交联的网络的聚合物材料。优选地，粘合材料包含可容易地符合另一表面(特定来说，已经UV固化且具较小顺从性的表面)的软聚合物材料，且因此在各种实施例中粘合材料具有低分子量。实例包括具有高粘度的丙烯酸系预聚合物混合物，包括(例如)聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和聚(苯乙烯-甲基丙烯酸甲酯)(PS-PMMA)，和其它丙烯酸系聚合物。其它实例包括通常用作压敏粘合剂的聚合物调配物。

根据一些实施例，直接上覆于转向微结构83上的粘合层94的折射率比光导80的折射率低，以使得可在光导80内发生全内反射。

根据较厚粘合剂的某些实施例，厚度可等于或大于转向微结构82中的特征82a的大小，且可(例如)在从约0.5微米到约50微米的厚度范围内。因为在此状况下存在足以填充转向微结构的凹槽的足够粘合材料，所以可使粘合材料固化以使得其在将盖90附接到光导80时不流动或塑性地变形，以便避免在层压期间凹槽82a被粘合材料填充。形成较厚粘合剂的工艺与如上文所阐述的形成薄粘合剂的工艺类似。然而，可另外使较厚粘合剂的实施例中的粘合剂混合物固化，以进一步减小或最小化厚粘合材料的流动性。根据一些实施例，首先将厚粘合材料(例如，聚合物材料)涂覆或沉积于覆盖层90上。可使厚粘合材料预先固化以部分地交联聚合物链，且挡止粘合剂的流动。可接着将具有厚粘合剂的覆盖层放置于光导面板80上，施加压力和温度以提供光学接触。可接着在第二时间用UV光或热使厚粘合剂固化以完成部分交联且密封覆盖层90的表面与光导80的表面。预先固化步骤有助于避免转向微结构82的凹槽82a被厚粘合材料填充或部分填充。

根据一些实施例，粘合材料包含具有低玻璃转变点、高度交联的网络材料或凝胶状结构的聚合物材料。根据一些实施例，粘合材料包含硅酮(例如，聚双甲基硅氧烷、聚二乙基硅氧烷、聚甲基苯硅氧烷)，或具有烃侧链的丙烯酸酯(例如，第三丁基丙烯酸酯)，或聚酯材料(例如，聚四亚甲基醚乙二醇)。一些实施例提供(例如)通过包括额外交联密度而进一步交联和加强粘合剂的机会。如上文所论述，在一些实施例中，较厚粘合层的折射率低于光导80的折射率。此外，较厚粘合剂可提供额外功能性，例如光学漫射、彩色滤光、机械冲击吸收等。

根据另一实施例，可用溶剂熔接覆盖层90，其包括将覆盖层90的表面暴露于化学可溶解覆盖层90的表面和光导80的表面的溶剂。可将覆盖层90与施加于表面上的溶剂放置于光导80上。在一些实施例中，压力和温度的施加可增加光学接触且提供覆盖层90的表面与凹槽之间的区域82b中的表面之间的互相扩散。在某些实施例中，光导80可包含经交联和UV固化以使得溶剂不溶解转向微结构82的特征82a的材料。

根据各种实施例，溶剂包含液体溶剂。根据某些实施例，溶剂包含可聚合混合物。除非单体本身可自动引发，否则可聚合混合物可包含单体和引发剂。根据一些实施例，溶剂可进一步包含分子耦合剂(包括三官能胺基硅烷(例如，胺基丙基三-乙氧基硅烷))，其活化表面以用于在覆盖层90的层压期间结合到光导80且改进表面之间的密封。将分子耦合剂(例如，某些胺基硅烷)添加到施加到覆盖层90的溶剂的一优点在于：分子耦合剂的胺基(例如，NH₂基团)可更容易地与光导80的材料反应。举例来说，硅烷基耦合剂可容易地与光导80的表面羟基结合，且使光导80的表面对于与覆盖层90的结合更具活性。因此，可使用如此项技术中已知的其它耦合剂(包括各种硅酸盐和钛酸盐)来增加盖与光导80的表面之间的界面结合。

根据某些实施例，开放区域82a可以空气填充。然而，根据如图10A中所展示的其它实施例，区域82a可以一材料填充以形成填充区域95。在一些实施例中，所述材料可包含大体上多孔材料，或可包含具有大体上接近于空气的折射率的折射率以使得光将类似地通过全内反射引导的材料。根据另一实施例，所述材料可包含充当镜面反射器且减小或最小化截留光导80与覆盖层90之间的气袋的需要的金属材料。用于金属材料的合适的沉积方法包括直接真空涂覆，之后是使用微制造领域中已知的技术进行图案化(例如，光刻，之后是过多金属层的蚀刻，或剥离技术)，或(例如)通过喷墨印刷的局部沉积。尽管喷墨印刷提供实现小到约15微米的线宽的优点，但可使用其它印刷或沉积技术。

根据一些实施例，如图10B中所展示，凹槽82a未以材料填充，且粘合层94经涂覆(例如，通过喷墨印刷)以产生特定的所需空间布置，使得在将覆盖层90与光导80结合之后，粘合剂94将不会流入到凹槽中且因此保留开放区域91。根据图10C中所展示的另一实施例，突出结构98可为紧邻于凹槽82a且分离凹槽82a的UV压印区域，以防止粘合材料在层压工艺期间进入凹槽中且有助于保留开放区域91。根据如图10B和图10C中所展示的某些实施例，开放区域91从凹槽82a延伸到覆盖层90的下表面。

根据另一实施例(未图示)，转向微结构可包含如图9C中所展示的二元式光栅，但其也被填充。通过在衍射区域中喷墨印刷低折射率材料(例如，氟塑料、气凝胶、溶胶-凝胶等)且通过维持光导与低折射率涂覆材料之间的折射率差恒定，可增加或优化衍射效率。

可通过图11中所展示的工艺来形成根据一些实施例的转向微结构。首先，可在光导80的第一侧上形成可溶层97(例如，光致抗蚀剂)。可接着形成穿过可溶层97且进入光导80的第一侧中的多个凹槽或压痕82a。可接着在可溶层97和光导80上形成反射材料99，以使得所述材料填充压痕82a且位于凹槽82a之间的区域82b中的可溶层97上。根据一些实施例，反射材料99可为铝层、银层或其它金属层。根据一些实施例，反射材料99的厚度为至少50nm。根据其它实施例，反射材料99的厚度为至少100nm。接下来，移除可溶层97以便还剥离凹槽82a之间的区域82b中的上覆金属。根据一些实施例，凹槽82a可用反射材料99加衬或仅部分以反射材料99填充。即，反射材料99不需要完全填充凹槽82a以提供反射。因此，上覆粘合材料不需要为弹性体或可弹性变形材料。如图11的最后框中所展示，反射材料99的衬料上的凹槽内的空间可以来自上覆夹层94的材料填充。根据所说明的实施例，反射材料99上方的空间不需要保持开放，因为将保留来自凹槽的反射材料衬料的反射。由于此原因，凹槽内的空间还可根据其它实施例而以反射材料99完全填充。根据其它实施例，可首先用反射材料99加衬或部分以反射材料99填充凹槽82a，且可随后进行额外平坦化步骤以形成微结构，使得凹槽82a以反射材料99完全填充(未图示)。

广泛多种变化是可能的。可添加、移除或重新布置膜、层、组件和/或元件。另外，可添加、移除或重新排序处理步骤。并且，尽管本文中已使用术语“膜”和“层”，但如本文中所使用的此类术语可包括膜堆叠和多层。可使用粘合剂将此类膜堆叠和多层粘附到其它结构，或可使用沉积或以其它方式将此类膜堆叠和多层形成于其它结构上。

此外，尽管已在某些优选实施例和实例的情况下揭示了本发明，但所属领域的技术人员应理解，本发明可超越特定所揭示的实施例而扩展到其它替代实施例和/或扩展到对本发明及其明显修改和等效物的使用。另外，尽管已展示和详细描述本发明的若干变化，但所属领域的技术人员将基于本揭示内容而容易了解在本发明的范围内的其它修改。还预期可进行实施例的特定特征和方面的各种组合或子组合且其仍落在本发明的范围内。应理解，可将所揭示的实施例的各种特征和方面彼此组合或彼此取代，以便形成所揭示的本发明的变化模式。因此，希望本文中所揭示的本发明的范围不应受上文所描述的特定揭示的实施例限制，而应仅由所附权利要求书的合理解释来确定。

Claims (37)

1.一种照明装置，其包含：

光导，其具有用于接收光的第一端且经配置以支持光沿着所述光导的长度传播；

转向微结构，其安置于所述光导的第一侧上，所述转向微结构经配置以使入射于所述第一侧上的光转向且引导所述光离开所述光导的第二相对侧，其中所述转向微结构包含多个压痕；

盖，其物理上耦合到所述光导且安置于所述转向微结构上；

所述盖与所述光导之间的夹层，其中所述夹层将所述盖物理上耦合到所述光导；以及

所述夹层与所述多个压痕之间的多个区域，所述多个区域至少部分地包含不同于所述夹层的材料。

2.根据权利要求1所述的照明装置，其中所述光导具有第一折射率且所述夹层具有第二折射率，且所述第二折射率低于所述第一折射率。

3.根据权利要求1所述的照明装置，其中所述多个区域包含对所述多个压痕的表面加衬的反射材料。

4.根据权利要求3所述的照明装置，其中所述反射材料是金属。

5.根据权利要求3所述的照明装置，其中所述反射材料包含至少约50nm的厚度。

6.根据权利要求3所述的照明装置，其中所述反射材料包含至少约100nm的厚度。

7.根据权利要求3所述的照明装置，其中所述夹层接触所述多个压痕内的所述反射材料。

8.根据权利要求3所述的照明装置，其中所述反射材料填充所述多个区域。

9.根据权利要求1所述的照明装置，其中所述多个区域包含具有实质上接近于空气的折射率的材料。

10.根据权利要求1所述的照明装置，其中所述多个区域进一步包含实质上多孔材料。

11.根据权利要求1所述的照明装置，其中所述夹层不在所述多个区域上延伸，且所述区域的所述材料接触所述盖。

12.根据权利要求1所述的照明装置，其进一步包含自所述夹层分离所述多个区域的多个障壁。

13.一种照明装置，其包含：

光导，其具有用于接收光的第一端且经配置以支持光沿着所述光导的长度传播；

转向微结构，其安置于所述光导的第一侧上，所述转向微结构经配置以使入射于所述第一侧上的光转向且引导所述光离开所述光导的第二相对侧，其中所述转向微结构包含多个压痕；

盖，物理上耦合到所述光导且安置于所述转向微结构上；以及

所述盖与所述多个压痕之间的多个开放区域，

其中所述光导具有第一折射率且所述盖具有第二折射率，且所述第二折射率低于所述第一折射率。

14.根据权利要求13所述的照明装置，其中所述多个压痕包含多个V形凹槽，且所述开放区域包含大体上三角形横截面。

15.根据权利要求13所述的照明装置，其中所述多个压痕包含多个凹槽且所述开放区域包含大体上梯形横截面。

16.根据权利要求13所述的照明装置，其中所述转向微结构包含衍射光栅。

17.根据权利要求13所述的照明装置，其中所述盖直接接触所述光导的第一侧的约90％以上的表面积。

18.一种制造照明装置的方法，其包含：

提供光导，所述光导具有用于接收光的第一端且经配置以支持光沿着所述光导的长度传播，所述光导具有安置于其第一侧上的转向微结构，所述转向微结构经配置以使入射于所述第一侧上的光转向且引导所述光离开所述光导的第二相对侧，其中所述转向微结构包含多个压痕；

提供安置于所述转向微结构上的盖；以及

通过夹层将所述盖物理上耦合到所述光导，使得多个区域是位于所述夹层与所述多个压痕之间；

其中所述光导具有第一折射率且所述夹层具有第二折射率，且所述第二折射率低于所述第一折射率。

19.一种制造照明装置的方法，其包含：

提供光导，所述光导具有用于接收光的第一端且经配置以支持光沿着所述光导的长度传播，所述光导具有安置于其第一侧上的转向微结构，所述转向微结构经配置以使入射于所述第一侧上的光转向且引导所述光离开所述光导的第二相对侧，其中所述转向微结构包含多个压痕；

提供安置于所述转向微结构上的盖；以及

通过夹层将所述盖物理上耦合到所述光导，使得所述夹层与所述多个压痕之间的多个区域至少部分地包含不同于所述夹层的材料。

20.根据权利要求19所述的方法，其中所述转向微结构由一方法形成，该方法包含：

在所述光导的所述第一侧上形成可溶层，

形成穿过所述可溶层和所述光导的所述多个压痕，

将材料沉积于所述光导上以使得所述材料至少部分地填充所述多个压痕，以及

移除所述可溶层。

21.根据权利要求20所述的方法，其中所述可溶层包含光致抗蚀剂。

22.根据权利要求19所述的方法，其中所述光导具有第一折射率且所述夹层具有第二折射率，且所述第二折射率低于所述第一折射率。

23.根据权利要求19所述的方法，其中所述材料包含金属材料。

24.根据权利要求19所述的方法，其进一步包含以氟塑料材料填充所述区域。

25.根据权利要求19所述的方法，其进一步包含以气凝胶前驱体材料填充所述区域。

26.根据权利要求19所述的方法，其进一步包含以溶胶-凝胶材料填充所述区域。

27.一种制造照明装置的方法，其包含：

提供光导，所述光导具有用于接收光的第一端且经配置以支持光沿着所述光导的长度传播，所述光导具有安置于其第一侧上的转向微结构，所述转向微结构经配置以使入射于所述第一侧上的光转向且引导所述光离开所述光导的第二相对侧，其中所述转向微结构包含多个压痕；以及

将盖物理上耦合到所述光导，其中所述盖安置于所述转向微结构上，

其中所述光导具有第一折射率且所述盖具有第二折射率，且所述第二折射率低于所述第一折射率。

28.根据权利要求27所述的方法，其中所述转向微结构形成于包含交联聚合物的光导上，所述盖包含聚合材料，且提供物理上耦合到所述光导的盖包含使所述盖的部分在压痕之间的区域中扩散到所述光导。

29.根据权利要求27所述的方法，其中将盖物理上耦合到所述光导包含：

以溶剂涂覆所述盖的面向所述光导的表面，其中所述盖和所述光导可溶于所述溶剂中；以及

将具有所述溶剂的所述盖放置于所述光导上。

30.根据权利要求27所述的方法，其进一步包含向所述盖施加压力和热以获得所述多个压痕之间的区域中所述盖与所述光导之间的相互扩散。

31.根据权利要求27所述的方法，其中提供物理上耦合到所述光导的盖包含使所述盖的面向所述光导的表面氧化。

32.一种照明装置，其包含：

光导，其具有用于接收光的第一端且经配置以支持光沿着所述光导的长度传播；

转向微结构，其安置于所述光导的第一侧上，所述转向微结构经配置以使入射于所述第一侧上的光转向且引导所述光离开所述光导的第二相对侧，其中所述转向微结构包含多个压痕；

盖，其物理上耦合到所述光导且安置于所述转向微结构上；

耦合装置，用于所述盖与所述光导之间的物理耦合，其中所述耦合装置将所述盖物理上耦合到所述光导；以及

所述耦合装置与所述多个压痕之间的多个区域，所述多个区域至少部分地包含反射装置。

33.根据权利要求32所述的照明装置，其中所述耦合装置包含夹层。

34.根据权利要求32所述的照明装置，其中所述反射装置包含不同于所述耦合装置的材料。

35.根据权利要求34所述的照明装置，其中所述反射装置是金属。

36.一种照明装置，其包含：

光导引装置，用于导引光，其具有用于接收光的第一端且经配置以支持光沿着所述光导引装置的长度传播；

转向装置，用于使光转向，其安置于所述光导引装置的第一侧上，所述转向装置经配置以使入射于所述第一侧上的光转向且引导所述光离开所述光导引装置的第二相对侧，其中所述转向装置包含多个用于反射光的反射装置；

用于覆盖的覆盖装置，其物理上耦合到所述光导且安置于所述转向装置上；以及

所述覆盖装置与所述多个反射装置之间的多个开放区域，

其中所述光导引装置具有第一折射率且所述覆盖装置具有第二折射率，且所述第二折射率低于所述第一折射率。

37.根据权利要求36所述的照明装置，其中所述光导引装置包含光导，或所述转向装置包含转向微结构，或所述覆盖装置包含盖，或所述反射装置包含压痕。

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