CN103076716A - 树脂组合物、感光性树脂组合物、衬垫以及显示装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供能够抑制使不饱和羧酸(a1)与含环氧基的不饱和化合物(a2)进行聚合而成的共聚物(A1)的分子量的增大的树脂组合物、含有该树脂组合物的感光性树脂组合物、由该感光性树脂组合物形成的衬垫、以及具备该衬垫的显示装置。在包含至少使不饱和羧酸(a1)和含环氧基的不饱和化合物(a2)进行聚合而成的共聚物(A1)的碱可溶性树脂(A)、含有丙二醇单甲基醚乙酸酯的溶剂(S)的树脂组合物中,配合下述式(1)评价的化合物。
Description
技术领域
本发明涉及树脂组合物、含有该树脂组合物的感光性树脂组合物、使用该树脂组合物形成的衬垫(スペ一サ)以及具备该衬垫的显示装置。
背景技术
至少使碱可溶性树脂、光聚合性单体和光聚合引发剂在溶剂中溶解而成的感光性树脂组合物,在各种用途中使用。对于该感光性树脂组合物,由于碱可溶性树脂良好地溶解,容易得到能够形成期望厚度的涂膜的感光性树脂组合物,蒸发性优良,对人体的毒性少等,因此,丙二醇单甲基醚乙酸酯(以下,也记载为“PGMEA”)作为溶剂广泛使用。作为该感光性树脂组合物的用途的具体例,例如,可以列举显示装置中的衬垫形成用途。
显示装置中,由于各种目的,利用在二片基板之间用于形成规定的高度的空间的衬垫。例如,液晶面板中,由于采用将液晶材料用二片玻璃基板等透明的基板夹住的结构,因此,为了能够填充液晶材料,需要在二片基板之间形成衬垫。
以往,为了形成衬垫,采用在基板的整个面上散布形成衬垫的微珠粒子的方法。但是,难以通过该方法以高位置精度形成衬垫,在像素显示部分中也附着微珠,因此,具有图像的对比度和显示画质降低的问题。
另一方面,通过感光性树脂组合物形成衬垫的方法为如下方法:在基板上涂布感光性树脂组合物,隔着规定的掩模进行曝光后,进行显影,形成点状等的衬垫。因此,根据该方法,能够仅仅在像素显示部分以外的规定的部分形成衬垫,可以制造能够形成对比度和画质优良的图像的显示装置。
作为该方法中可以适当使用的感光性树脂组合物,提出了如下感光性树脂组合物,使用至少将选自烯属不饱和羧酸以及烯属不饱和羧酸酐中的至少一种与含环氧基的烯属不饱和化合物进行共聚而成的共聚物作为碱可溶性树脂(参照专利文献1)。
专利文献1:日本特开2006-184841号公报
发明内容
但是,感光性树脂组合物中,作为碱可溶性树脂,使用至少将选自烯属不饱和羧酸以及烯属不饱和羧酸酐中的至少一种与含环氧基的烯属不饱和化合物进行共聚而成的共聚物,作为溶剂,使用含有PGMEA的溶剂,在该情况下,通过碱可溶性树脂的自身反应,碱可溶性树脂的分子量容易增大,随之,具有感光性树脂组合物的显影性降低的问题。
本发明是鉴于这样的以往的情况而进行的,其目的在于,提供即使使用含有PGMEA的溶剂、也可以抑制使不饱和羧酸(a1)与含环氧基的不饱和化合物(a2)进行聚合而成的共聚物(A1)的分子量的增大的树脂组合物、含有该树脂组合物的感光性树脂组合物、由该感光性树脂组合物形成的衬垫以及具备该衬垫的显示装置。
本发明人为了解决上述课题,反复进行了深入的研究。结果发现,通过在包含含有至少使不饱和羧酸(a1)与含环氧基的不饱和化合物(a2)进行聚合而成的共聚物(A1)的碱可溶性树脂(A)、和含有PGMEA的溶剂(S)的树脂组合物中配合特定的结构的化合物,得到能够抑制碱可溶性树脂的分子量的增大的树脂组合物,使用该树脂组合物制备感光性树脂组合物,由此,能够解决上述课题,从而完成了本发明。具体而言,本发明提供如下。
本发明的第一方式为一种树脂组合物,其中,含有碱可溶性树脂(A)、下述式(1)表示的化合物以及溶剂(S),
上述碱可溶性树脂(A)含有:至少使不饱和羧酸(a1)和含环氧基的不饱和化合物(a2)进行聚合而成的共聚物(A1),
上述溶剂(S)含有丙二醇单甲基醚乙酸酯,
(式中,R1以及R2分别独立地表示氢原子或有机基团。但是,R1以及R2的至少一个表示有机基团。R1以及R2可以键合形成环状结构,R1以及R2也可以包含杂原子的键。R3表示单键或有机基团。R4以及R5分别独立地表示氢原子、卤原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸基或有机基团。R6、R7、R8以及R9分别独立地表示氢原子、卤原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸基、氨基、铵基或有机基团。但是,R6以及R7不是羟基。R6、R7、R8以及R9中的二个以上可以键合形成环状结构,R6、R7、R8以及R9也可以包含杂原子的键。R10表示氢原子或有机基团)。
本发明的第二方式为一种感光性树脂组合物,其中,含有第一方式的树脂组合物、光聚合性单体(B)和光聚合引发剂(C)。
本发明的第三方式为由第二方式的感光性树脂组合物形成的衬垫。
本发明的第四方式为具备第三方式的衬垫的显示装置。
发明效果
根据本发明,能够提供即使使用含有PGMEA的溶剂,也可以抑制使不饱和羧酸(a1)与含环氧基的不饱和化合物(a2)进行聚合而成的共聚物(A1)的分子量的增大的树脂组合物、含有该树脂组合物的感光性树脂组合物、由该感光性树脂组合物形成的衬垫以及具备该衬垫的显示装置。
具体实施方式
树脂组合物
本发明的树脂组合物,至少含有碱可溶性树脂(A)、上述式(1)表示的化合物以及溶剂(S),碱可溶性树脂(A)含有至少使不饱和羧酸(a1)与含环氧基的不饱和化合物(a2)进行聚合而成的共聚物(A1),溶剂(S)含有丙二醇单甲基醚乙酸酯(PGMEA)。本发明的树脂组合物,由于抑制保管时的碱可溶性树脂(A)的分子量的增大,因此,优选用于后述感光性树脂组合物的制备。以下,对于本发明的树脂组合物中含有的各成分进行说明。
<碱可溶性树脂(A)>
碱可溶性树脂是指如下树脂,通过树脂浓度20质量%的树脂溶液(溶剂:丙二醇单甲基醚乙酸酯),在基板上形成膜厚1μm的树脂膜,23℃下在2.38质量%的四甲基氢氧化铵(TMAH)水溶液中浸渍1分钟时,膜厚0.01μm以上进行溶解。
作为碱可溶性树脂(A),是一直以来用于感光性树脂组合物的树脂,只要是含有至少使不饱和羧酸(a1)与含环氧基的不饱和化合物(a2)进行聚合而成的共聚物(A1)的树脂,则没有特别限定。该碱可溶性树脂(A)中包含的共聚物(A1),在形成PGMEA溶液的情况下,通过自身反应分子量容易增大。但是,本发明的树脂组合物包含后述式(1)表示的化合物,因此,抑制共聚物(A1)的分子量的增大。另外,通过含有该共聚物A1,容易得到破坏强度和对基板的密合性优良的衬垫。
作为不饱和羧酸(a1),可以列举:(甲基)丙烯酸、巴豆酸等单羧酸;马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣康酸等二羧酸;这些二羧酸的酸酐等。这些中,从共聚反应性、所得到的树脂的碱溶解性、获得的容易性等观点出发,优选为(甲基)丙烯酸以及马来酸酐。这些不饱和羧酸(a1)可以单独使用或者也可以组合使用两种以上。
来自不饱和羧酸(a1)的构成单元在共聚物(A1)中所占的比例,优选为20质量%以上,更优选为20~30质量%。共聚物(A1),在该范围内含有来自不饱和羧酸(a1)的构成单元的情况下,使用树脂组合物,容易制备显影性优良的感光性树脂组合物。
作为含环氧基的不饱和化合物(a2)优选的化合物,可以列举:含脂环式环氧基的不饱和化合物以及不具有脂环式基团的含环氧基的不饱和化合物,更优选为含脂环式环氧基的不饱和化合物。
以下,对于优选的含环氧基的不饱和化合物(a2)、即含脂环式环氧基的不饱和化合物进行说明。作为含脂环式环氧基的不饱和化合物,只要是具有脂环式环氧基的不饱和化合物,则没有特别限定。构成脂环式环氧基的脂环式基团可以为单环,也可以为多环。作为单环的脂环式基团,可以列举:环戊基、环己基等。另外,作为多环的脂环式基团,可以列举:降冰片基、异冰片基、三环壬基、三环癸基、四环十二烷基等。这些含脂环式环氧基的不饱和化合物可以单独使用或者也可以组合使用两种以上。
具体而言,作为含脂环式环氧基的不饱和化合物,例如可以列举:下述式(a2-1)~(a2-16)表示的化合物。这些中,为了使使用树脂组合物制备的感光性树脂组合物的显影性适度,优选为下述式(a2-1)~(a2-6)表示的化合物,更优选为下述式(a2-1)~(a2-4)表示的化合物。
上述式中,R11表示氢原子或甲基,R12表示碳原子数1~6的2价的脂肪族饱和烃基,R13表示碳原子数1~10的2价的烃基,n表示0~10的整数。作为R12,优选为直链状或支链状的亚烷基、例如亚甲基、亚乙基、亚丙基、亚丁基、乙基亚乙基、亚戊基、亚己基。作为R13,例如优选为亚甲基、亚乙基、亚丙基、亚丁基、乙基亚乙基、亚戊基、亚己基、亚苯基、环亚己基、-CH2-Ph-CH2-(Ph表示亚苯基)。
接着,对于不具有脂环式基团的含环氧基的不饱和化合物进行说明。作为不具有脂环式基团的含环氧基的不饱和化合物,可以列举:缩水甘油基(甲基)丙烯酸酯、2-甲基缩水甘油基(甲基)丙烯酸酯、3,4-环氧基丁基(甲基)丙烯酸酯、6,7-环氧基庚基(甲基)丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸环氧基烷基酯类;α-乙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丁基丙烯酸缩水甘油酯、α-乙基丙烯酸6,7-环氧基庚酯等α-烷基丙烯酸环氧基烷基酯类等。这些中,从共聚反应性、固化后的树脂的强度等观点出发,优选为缩水甘油基(甲基)丙烯酸酯、2-甲基缩水甘油基(甲基)丙烯酸酯以及6,7-环氧基庚基(甲基)丙烯酸酯。这些不具有脂环式基团的含环氧基的不饱和化合物可以单独使用或者也可以组合使用两种以上。
另外,来自含环氧基的不饱和化合物(a2)的构成单元在共聚物(A1)中所占的比例,优选为30质量%以上,更优选为35质量%以上,特别优选为35~80质量%。共聚物(A1)在该范围内含有来自含环氧基的不饱和化合物(a2)的构成单元的情况下,使用树脂组合物,容易制备能够形成破坏强度和与基板的密合性优良的衬垫的感光性树脂组合物。另外,在含环氧基的不饱和化合物(a2)中的、含脂环式环氧基的不饱和化合物的比率,优选为50质量%以上,更优选为80质量%以上,特别优选为100质量%。
共聚物(A1)可以是与上述不饱和羧酸(a1)以及上述含环氧基的不饱和化合物(a2)一起使不具有环氧基的含脂环式基团的不饱和化合物(a3)进行聚合而成。
作为含脂环式基团的不饱和化合物(a3),只要是具有脂环式基团的不饱和化合物,则没有特别限定。脂环式基团可以为单环,也可以为多环。作为单环的脂环式基团,可以列举环戊基、环己基等。另外,作为多环的脂环式基团,可以列举:金刚烷基、降冰片基、异冰片基、三环壬基、三环癸基、四环十二烷基等。这些含脂环式基团的不饱和化合物(a3)可以单独使用或者也可以组合使用两种以上。
具体而言,作为含脂环式基团的不饱和化合物(a3),例如可以列举下述式(a3-1)~(a3-7)表示的化合物。这些中,为了使使用树脂组合物制备的感光性树脂组合物的显影性适度,优选为下述式(a3-3)~(a3-8)表示的化合物,更优选为下述式(a3-3),(a3-4)表示的化合物。
上述式中,R21表示氢原子或甲基,R22表示单键或碳原子数1~6的2价的脂肪族饱和烃基,R23表示氢原子或碳原子数1~5的烷基。作为R22,优选为单键、直链状或支链状的亚烷基、例如亚甲基、亚乙基、亚丙基、亚丁基、乙基亚乙基、亚戊基、亚己基。作为R23,例如优选为甲基、乙基。
来自上述含脂环式基团的不饱和化合物(a3)的构成单元在共聚物(A1)中所占的比例,优选为1~50质量%,更优选为10~50质量%,特别优选为15~45质量%。
另外,共聚物(A1)也可以是使上述以外的其他化合物进一步聚合而成的共聚物。作为这样的其他化合物,可以列举(甲基)丙烯酸酯类、(甲基)丙烯酰胺类、烯丙基化合物、乙烯基醚类、乙烯基酯类、苯乙烯类等。这些化合物可以单独使用或者也可以组合使用两种以上。
作为(甲基)丙烯酸酯类,可以列举:甲基(甲基)丙烯酸酯、乙基(甲基)丙烯酸酯、丙基(甲基)丙烯酸酯、戊基(甲基)丙烯酸酯、叔辛基(甲基)丙烯酸酯等直链状或支链状的烷基(甲基)丙烯酸酯;氯乙基(甲基)丙烯酸酯、2,2-二甲基羟基丙基(甲基)丙烯酸酯、2-羟基乙基(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷单(甲基)丙烯酸酯、苄基(甲基)丙烯酸酯、糠基(甲基)丙烯酸酯等。
作为(甲基)丙烯酰胺类,可以列举:(甲基)丙烯酰胺、N-烷基(甲基)丙烯酰胺、N-芳基(甲基)丙烯酰胺、N,N-二烷基(甲基)丙烯酰胺、N,N-芳基(甲基)丙烯酰胺、N-甲基-N-苯基(甲基)丙烯酰胺、N-羟基乙基-N-甲基(甲基)丙烯酰胺等。
作为烯丙基化合物,可以列举乙酸烯丙酯、己酸烯丙酯、辛酸烯丙酯、十二烷酸烯丙酯、十六烷酸烯丙酯、硬脂酸烯丙酯、苯甲酸烯丙酯、乙酰基乙酸烯丙酯、乳酸烯丙酯等烯丙酯类;烯丙氧基乙醇等。
作为乙烯基醚类,可以列举:己基乙烯基醚、辛基乙烯基醚、癸基乙烯基醚、乙基己基乙烯基醚、甲氧基乙基乙烯基醚、乙氧基乙基乙烯基醚、氯乙基乙烯基醚、1-甲基-2,2-二甲基丙基乙烯基醚、2-乙基丁基乙烯基醚、羟基乙基乙烯基醚、二乙二醇乙烯基醚、二甲基氨基乙基乙烯基醚、二乙基氨基乙基乙烯基醚、丁基氨基乙基乙烯基醚、苄基乙烯基醚、四氢糠基乙烯基醚等烷基乙烯基醚;乙烯基苯基醚、乙烯基甲苯基醚、乙烯基氯苯基醚、乙烯基-2,4-二氯苯基醚、乙烯基萘基醚、乙烯基蒽基醚等乙烯基芳基醚等。
作为乙烯基酯类,可以列举:乙烯基丁酸酯、乙烯基异丁酸酯、乙烯基三甲基乙酸酯、乙烯基二乙基乙酸酯、乙烯基戊酸酯、乙烯基己酸酯、乙烯基氯乙酸酯、乙烯基二氯乙酸酯、乙烯基甲氧基乙酸酯、乙烯基丁氧基乙酸酯、乙烯基苯基乙酸酯、乙烯基乙酰基乙酸酯、乙烯基乳酸酯、乙烯基-β-苯基丁酸酯、苯甲酸乙烯酯、水杨酸乙烯酯、氯苯甲酸乙烯酯、四氯苯甲酸乙烯酯、萘甲酸乙烯酯等。
作为苯乙烯类,可以列举:苯乙烯;甲基苯乙烯、二甲基苯乙烯、三甲基苯乙烯、乙基苯乙烯、二乙基苯乙烯、异丙基苯乙烯、丁基苯乙烯、己基苯乙烯、环己基苯乙烯、癸基苯乙烯、苄基苯乙烯、氯甲基苯乙烯、三氟甲基苯乙烯、乙氧基甲基苯乙烯、乙酰氧基甲基苯乙烯等烷基苯乙烯;甲氧基苯乙烯、4-甲氧基-3-甲基苯乙烯、二甲氧基苯乙烯等烷氧基苯乙烯;氯苯乙烯、二氯苯乙烯、三氯苯乙烯、四氯苯乙烯、五氯苯乙烯、溴苯乙烯、二溴苯乙烯、碘苯乙烯、氟苯乙烯、三氟苯乙烯、2-溴-4-三氟甲基苯乙烯、4-氟-3-三氟甲基苯乙烯等卤代苯乙烯等。
共聚物(A1)的重均分子量(Mw:通过凝胶渗透色谱法(GPC)的苯乙烯换算的测定值。本说明书中相同),优选为2000~200000,更优选为5000~30000。通过设定为上述范围,具有容易获得使用树脂组合物制备的感光性树脂组合物的膜形成能、曝光后的显影性的平衡的倾向。
另外,作为碱可溶性树脂(A),也可以优选使用含有如下共聚物的树脂,其中,所述共聚物为:共聚物(A2),其至少具有:来自于上述不饱和羧酸(a1)的构成单元、和具有与后述光聚合性单体(B)能够聚合的部位的构成单元;或共聚物(A3),其至少具有:来自于上述不饱和羧酸(a1)的构成单元、来自于上述含环氧基的不饱和化合物(a2)的构成单元、和具有与后述光聚合性单体(B)能够聚合的部位的构成单元。碱可溶性树脂(A)含有共聚物(A2)、或(A3)的情况下,能够提高感光性树脂组合物的对基板的密合性、感光性树脂组合物的固化后的破坏强度。
共聚物(A2)以及共聚物(A3),可以是通过使关于共聚物(A1)作为其他化合物记载的(甲基)丙烯酸酯类、(甲基)丙烯酰胺类、烯丙基化合物、乙烯基醚类、乙烯基酯类、苯乙烯类等进一步共聚而成的共聚物。
具有与光聚合性单体(B)能够聚合的部位的构成单元,优选为作为与光聚合性单体(B)能够聚合的部位包含具有烯属不饱和基的部位的构成单元。具有这样的构成单元的共聚物,关于共聚物(A2),可以通过使上述不饱和羧酸(a1)的均聚物中包含的羧基的一部分与上述含环氧基的不饱和化合物中包含的环氧基进行反应来制备。另外,共聚物(A3)可以通过使具有来自于上述不饱和羧酸(a1)的构成单元和来自于上述含环氧基的不饱和化合物(a2)的构成单元的共聚物中的环氧基的一部分、与不饱和羧酸(a1)进行反应来制备。
共聚物(A2)以及共聚物(A3)的重均分子量,优选为2000~50000,更优选为5000~30000。通过设定为上述范围,具有容易获得使用树脂组合物制备的感光性树脂组合物的膜形成能、曝光后的显影性的平衡的倾向。
需要说明的是,作为碱可溶性树脂(A),除了选自共聚物(A1)以及(A3)的树脂以外,还可以包含以往公知的其他碱可溶性树脂。但是,选自共聚物(A1)以及(A3)的树脂在碱可溶性树脂(A)中所占的比例优选为80质量%以上,更优选为90质量%以上,最优选为100质量%。
另外,树脂组合物中的碱可溶性树脂(A)的含量没有特别限定。典型地,树脂组合物中的碱可溶性树脂(A)的含量,优选为5~60质量%,更优选为10~30质量%。此时,容易制备粘度低、容易处理的树脂组合物。
<式(1)表示的化合物>
本发明的树脂组合物含有下述式(1)表示的化合物。通过使包含上述碱可溶性树脂(A)和含有PGMEA的溶剂(C)的树脂组合物中含有该化合物,能够抑制碱可溶性树脂(A)的高分子量化。
上述式(1)中,R1以及R2分别独立地表示氢原子或有机基团,但R1以及R2的至少一个表示有机基团。
作为R1以及R2中的有机基团,可以列举:烷基、烯基、环烷基、环烯基、芳基、芳烷基等。该有机基团,也可以在该有机基团中包含杂原子等烃基以外的键或取代基。另外,该有机基团可以为直链状、支链状、环状中的任意一种。该有机基团通常为1价,但在形成环状结构的情况等下,能够得到2价以上的有机基团。
R1以及R2可以键合形成环状结构,还可以进一步包含杂原子的键合。作为环状结构,可以列举杂环烷基、杂芳基等,也可以为稠环。
作为R1以及R2的有机基团中的烃基以外的键,只要不损害本发明的效果,则没有特别限定,可以列举:含有氧原子、氮原子、硅原子等杂原子的键。作为具体例,可以列举:醚键、硫醚键、羰基键、硫羰基键、酯键、酰胺键、氨基甲酸酯键、亚氨键(-N=C(-R)-、-C(=NR)-:R表示氢原子或有机基团)、碳酸酯键、磺酰键、亚磺酰键、偶氮键等。
从耐热性的观点出发,作为R1以及R2的有机基团中的烃基以外的键,优选为醚键、硫醚键、羰基键、硫羰基键、酯键、酰胺键、氨基甲酸酯键、亚氨键(-N=C(-R)-、-C(=NR)-:R表示氢原子或1价的有机基团)、碳酸酯键、磺酰键、亚磺酰键。
作为R1以及R2的有机基团中的烃基以外的取代基,只要不损害本发明的效果,则没有特别限定,可以列举:卤原子、羟基、巯基、硫醚基、氰基、异氰基、氰酸酯基、异氰酸酯基、硫代氰酸酯基、异硫代氰酸酯基、甲硅烷基、硅烷醇基、烷氧基、烷氧基羰基、氨甲酰基、硫代氨甲酰基、硝基、亚硝基、羧基、羧酸酯基、酰基、酰氧基、亚磺基、磺基、磺酸基、膦基、氧膦基(ホスフイニル基)、膦酰基(ホスホノ基)、膦酸基(ホスホナト基)、羟基亚氨基、烷基醚基、烯基醚基、烷基硫醚基、烯基硫醚基、芳基醚基、芳基硫醚基、氨基(-NH2、-NHR、-NRR’:R以及R’分别独立地表示烃基)等。上述取代基中包含的氢原子,可以被烃基取代。另外,上述取代基中包含的烃基可以为直链状、支链状以及环状中的任意一种。
作为R1以及R2的有机基团中的烃基以外的取代基,优选为卤原子、羟基、巯基、硫醚基、氰基、异氰基、氰酸酯基、异氰酸酯基、硫氰酸酯基、异硫氰酸酯基、甲硅烷基、硅烷醇基、烷氧基、烷氧基羰基、氨甲酰基、硫氨甲酰基、硝基、亚硝基、羧基、羧酸酯基、酰基、酰氧基、亚磺基、磺基、磺酸基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸基、羟基亚氨基、烷基醚基、烯基醚基、烷基硫醚基、烯基硫醚基、芳基醚基、芳基硫醚基。
以上,作为R1以及R2,优选至少一个为碳原子数1~12的烷基或碳原子数1~12的芳基、或者彼此键合而形成碳原子数2~20的杂环烷基或杂芳基。作为杂环烷基,可以列举哌啶基、吗啉基等,作为杂芳基,可以列举咪唑基、吡唑基等。
上述式(1)中,R3表示单键或有机基团。
作为R3中的有机基团,可以列举从烷基、烯基、环烷基、环烯基、芳基、芳烷基等中除去1个氢原子后的基团。该有机基团,在该有机基团中也可以包含取代基。作为取代基,可以列举R1以及R2中例示的取代基。另外,该有机基团可以为直链状、支链状中的任意一种。
以上,作为R3,优选为从单键、或碳原子数1~12的烷基或碳原子数1~12的芳基中除去1个氢原子后的基团。
上述式(1)中,R4以及R5分别独立地表示氢原子、卤原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸基、或有机基团。
作为R4以及R5中的有机基团,可以列举R1以及R2中例示的基团。该有机基团,与R1以及R2的情况同样,也可以包含该有机基团中杂原子等烃基以外的键和取代基。另外,该有机基团可以为直链状、支链状、环状中的任意一种。
以上,作为R4以及R5,分别独立地优选为氢原子、碳原子数1~10的烷基、碳原子数4~13的环烷基、碳原子数4~13的环烯基、碳原子数7~16的芳氧烷基、碳原子数7~20的芳烷基、具有氰基的碳原子数2~11的烷基、具有羟基的碳原子数1~10的烷基、碳原子数1~10的烷氧基、碳原子数2~11的酰胺基、碳原子数1~10的烷硫基、碳原子数1~10的酰基、碳原子数2~11的酯基(-COOR、-OCOR:R表示烃基)、碳原子数6~20的芳基、供电子性基团和/或吸电子性基团取代的碳原子数6~20的芳基、供电子性基团和/或吸电子性基团取代的苄基、氰基、甲基硫基。更优选R4以及R5二者为氢原子、或R4为甲基,R5为氢原子。
上述式(1)中,R6、R7、R8以及R9分别独立地表示氢原子、卤原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸基、氨基、铵基、或有机基团。
作为R6、R7、R8以及R9中的有机基团,可以列举R1以及R2中例示的有机基团。该有机基团与R1以及R2的情况同样,也可以在该有机基团中包含杂原子等烃基以外的键和取代基。另外,该有机基团可以为直链状、支链状、环状中的任意一种。
需要说明的是,上述式(1)中,R6以及R7不是羟基。
R6、R7、R8以及R9的二个以上可以键合形成环状结构,也可以包含杂原子的键。作为环状结构,可以列举杂环烷基、杂芳基等,也可以为稠环。例如,对R6、R7、R8以及R9而言,它们中的二个以上键合而可以形成将键合有R6、R7、R8以及R9的苯环的原子共有的萘、蒽、菲、茚等稠环。
以上,作为R6、R7、R8以及R9,分别独立地优选为氢原子、碳原子数1~10的烷基、碳原子数4~13的环烷基、碳原子数4~13的环烯基、碳原子数7~16的芳氧烷基、碳原子数7~20的芳烷基、具有氰基的碳原子数2~11的烷基、具有羟基的碳原子数1~10的烷基、碳原子数1~10的烷氧基、碳原子数2~11的酰胺基、碳原子数1~10的烷硫基、碳原子数1~10的酰基、碳原子数2~11的酯基、碳原子数6~20的芳基、供电子性基团和/或吸电子性基团取代的碳原子数6~20的芳基、供电子性基团和/或吸电子性基团取代的苄基、氰基、甲基硫基、硝基。
另外,对于R6、R7、R8以及R9而言,它们中的二个以上键合,从而可以形成将键合有R6、R7、R8以及R9的苯环的原子共有的萘、蒽、菲、茚等的稠环。
更优选R6、R7、R8以及R9全部为氢原子,或R6、R7、R8以及R9的任意一个为硝基,其余三个为氢原子。
上述式(1)中,R10表示氢原子或有机基团。
作为R10中的有机基团,可以列举R1以及R2中例示的有机基团。该有机基团与R1以及R2的情况同样,也可以在该有机基团中包含杂原子等烃基以外的键和取代基。另外,该有机基团可以为直链状、支链状、环状中的任意一种。
上述式(1)表示的化合物,由于在苯环的对位具有-OR10基,因此,在溶剂中的溶解性良好。
以上,作为R10,优选为氢原子、或碳原子数1~12的烷基,更优选为甲基。
上述式(1)表示的化合物中,作为特别优选的具体例,可以列举下述式表示的化合物。
上述式(1)表示的化合物的合成方法没有特别限定,可以根据后述实施例中记载的方法合成。
树脂组合物中的上述式(1)表示的化合物的含量,在不阻碍本发明的目的的范围内没有特别限定。上述式(1)表示的化合物的含量,典型地相对于碱可溶性树脂(A)100质量份,优选为0.01~10质量份,更优选为0.01~5质量份。
<溶剂(S)>
树脂组合物,含有作为溶剂(S)的含有丙二醇单甲基醚乙酸酯(PGMEA)的溶剂。
溶剂(S)中的PGMEA的含量,在不阻碍本发明的目的的范围内没有特别限定,优选为50质量%以上,更优选为70质量%以上,特别优选为100质量%。溶剂(S)中的PGMEA的含量为50质量%以上的情况下,容易引起碱可溶性树脂(A)的分子量的增大,因此,本发明的效果显著。
溶剂(S)含有PGMEA以外的其他有机溶剂的的情况下,其他有机溶剂,在不阻碍本发明的目的的范围内没有特别限定。作为PGMEA以外的其他有机溶剂,具体而言,可以列举乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单正丙基醚、乙二醇单正丁基醚、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、二乙二醇单正丙基醚、二乙二醇单正丁基醚、三乙二醇单甲基醚、三乙二醇单乙基醚、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、丙二醇单正丙基醚、丙二醇单正丁基醚、二丙二醇单甲基醚、二丙二醇单乙基醚、二丙二醇单正丙基醚、二丙二醇单正丁基醚、三丙二醇单甲基醚、三丙二醇单乙基醚等(聚)烷撑二醇单烷基醚类;乙二醇单甲基醚乙酸酯、乙二醇单乙基醚乙酸酯、二乙二醇单甲基醚乙酸酯、二乙二醇单乙基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯等(聚)烷撑二醇单烷基醚乙酸酯类;甲基乙基酮、环己酮、2-庚酮、3-庚酮等酮类;2-羟基丙酸甲酯、2-羟基丙酸乙酯等乳酸烷基酯类;2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、羟基乙酸乙酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸异丙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、蟻酸正戊酯、乙酸异戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙酰基乙酸甲酯、乙酰基乙酸乙酯、2-氧基丁酸乙酯等其他酯类;甲苯、二甲苯等芳香族烃类;N-甲基吡咯烷酮、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰基酰胺等酰胺类等。这些中,优选为烷撑二醇单烷基醚类、烷撑二醇单烷基醚乙酸酯类、乳酸烷基酯类,更优选为烷撑二醇单烷基醚乙酸酯类。这些的溶剂可以单独使用或者也可以组合使用两种以上。
树脂组合物中的溶剂(S)的含量没有特别限制,考虑使用树脂组合物制备的感光性树脂组合物的组成适当确定。
<树脂组合物的制造方法>
本发明的树脂组合物,可以通过将上述各成分用三联辊磨机、球磨机、砂磨机等搅拌机进行混合(分散、混炼)、根据需要用5μm膜滤器等过滤器进行过滤来制备。
《感光性树脂组合物》
感光性树脂组合物,除了上述树脂组合物之外,还含有光聚合性单体(B)以及光聚合引发剂(C)。以下,对于感光性树脂组合物中包含的各成分进行说明。
<碱可溶性树脂(A)>
作为碱可溶性树脂(A)能够使用的树脂,关于树脂组合物,如上所述。
碱可溶性树脂(A)在感光性树脂组合物中的的含量,相对于感光性树脂组合物的固体成分,优选为40~85质量%,更优选为45~75质量%。通过设定为上述范围,具有容易取得显影性的平衡的倾向。
<式(1)表示的化合物>
上述式(1)表示的化合物,关于树脂组合物如上所述。感光性树脂组合物中的上述式(1)表示的化合物的含量,与树脂组合物中的含量同样。上述式(1)表示的化合物的含量,典型地相对于碱可溶性树脂(A)100质量份,优选为0.01~10质量份,更优选为0.01~5质量份。上述式(1)表示的化合物,在使用上述树脂组合物制备感光性树脂组合物时,可以追加。
<光聚合性单体(B)>
作为本发明的感光性树脂组合物中含有的光聚合性单体(B)(以下,也称为“(B)成分”),可以优选使用具有烯属不饱和基的单体。具有该烯属不饱和基的单体中具有单官能单体和多官能单体。
作为单官能单体,可以列举:(甲基)丙烯酰胺、羟甲基(甲基)丙烯酰胺、甲氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、乙氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、丁氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、丁氧基甲氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、N-羟甲基(甲基)丙烯酰胺、N-羟基甲基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸、富马酸、马来酸、马来酸酐、衣康酸、衣康酸酐、柠康酸、柠康酸酐、巴豆酸、2-丙烯酰胺-2-甲基丙烷磺酸、叔丁基丙烯酰胺磺酸、甲基(甲基)丙烯酸酯、乙基(甲基)丙烯酸酯、丁基(甲基)丙烯酸酯、2-乙基己基(甲基)丙烯酸酯、环己基(甲基)丙烯酸酯、2-羟基乙基(甲基)丙烯酸酯、2-羟基丙基(甲基)丙烯酸酯、2-羟基丁基(甲基)丙烯酸酯、2-苯氧基-2-羟基丙基(甲基)丙烯酸酯、2-(甲基)丙烯酰氧基-2-羟基丙基邻苯二甲酸酯、甘油单(甲基)丙烯酸酯、四氢糠基(甲基)丙烯酸酯、二甲基氨基(甲基)丙烯酸酯、缩水甘油基(甲基)丙烯酸酯、2,2,2-三氟乙基(甲基)丙烯酸酯、2,2,3,3-四氟丙基(甲基)丙烯酸酯、邻苯二甲酸衍生物的半(甲基)丙烯酸酯等。这些单官能单体可以单独使用或者也可以组合使用两种以上。
另一方面,作为多官能单体,可以列举:乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、甘油二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、2,2-双(4-(甲基)丙烯酰氧基二乙氧基苯基)丙烷、2,2-双(4-(甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基苯基)丙烷、2-羟基-3-(甲基)丙烯酰氧基丙基(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二缩水甘油基醚二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二缩水甘油基醚二(甲基)丙烯酸酯、邻苯二甲酸二缩水甘油基酯二(甲基)丙烯酸酯、甘油三丙烯酸酯、甘油聚缩水甘油基醚聚(甲基)丙烯酸酯、氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(即,甲苯二异氰酸酯)、三甲基亚己基二异氰酸酯与亚己基二异氰酸酯等与2-羟基乙基(甲基)丙烯酸酯的反应物、亚甲基双(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酰胺亚甲基醚、多元醇与N-羟甲基(甲基)丙烯酰胺的缩合物等多官能单体、三丙烯甲醛等。这些多官能单体可以单独使用或者也可以组合使用两种以上。
在这些具有烯属不饱和基的单体中,从提高感光性树脂组合物的对基板的密合性、感光性树脂组合物的固化后的破坏强度的观点出发,优选为3官能以上的多官能单体,更优选为6官能以上的多官能单体。
(B)成分的含量,相对于感光性树脂组合物的固体成分,优选为5~50质量%,更优选为10~40质量%。通过设定为上述范围,具有容易获得感光度、显影性、分辨力的平衡的倾向。
<光聚合引发剂(C)>
作为本发明的感光性树脂组合物中含有的光聚合引发剂(C)(以下,也称为“(C)成分”),没有特别限定,可以使用以往公知的光聚合引发剂。
作为光聚合引发剂,具体而言,可以列举:1-羟基环己基苯基酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-[4-(2-羟基乙氧基)苯基]-2-羟基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、1-(4-异丙基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、1-(4-十二烷基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮、双(4-二甲基氨基苯基)酮、2-甲基-1-[4-(甲基硫)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁烷-1-酮、乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基],1-(O-乙酰基肟)、1,2-辛烷二酮,1-[4-(苯基硫)-,2-(O-苯甲酰基肟)]、2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦、4-苯甲酰基-4’-甲基二甲基硫醚、4-二甲基氨基苯甲酸、4-二甲基氨基苯甲酸甲酯、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸丁酯、4-二甲基氨基-2-乙基己基苯甲酸、4-二甲基氨基-2-异戊基苯甲酸、苄基-β-甲氧基乙基缩醛、苄基二甲基缩酮、1-苯基-1,2-丙烷二酮-2-(O-乙氧基羰基)肟、o-苯甲酰基苯甲酸甲酯、2,4-二乙基噻吨酮、2-氯噻吨酮、2,4-二甲基噻吨酮、1-氯-4-丁氧基噻吨酮、噻吨、2-氯噻吨、2,4-二乙基噻吨、2-甲基噻吨、2-异丙基噻吨、2-乙基蒽醌、八甲基蒽醌、1,2-苯并蒽醌、2,3-二苯基蒽醌、偶氮二异丁腈、苯甲酰基过氧化物、异丙基苯过氧化物、2-巯基苯并咪唑、2-巯基苯并恶唑、2-巯基苯并噻唑、2-(邻氯苯基)-4,5-二(间甲氧基苯基)-咪唑二聚物、二苯甲酮、2-氯二苯甲酮、p,p’-双二甲基氨基二苯甲酮、4,4’-双二乙基氨基二苯甲酮、4,4’-二氯二苯甲酮、3,3-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮、苄基、苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻异丙基醚、苯偶姻正丁基醚、苯偶姻异丁基醚、苯偶姻丁基醚、苯乙酮、2,2-二乙氧基苯乙酮、对二甲基苯乙酮、对二甲基氨基丙酮、二氯苯乙酮、三氯苯乙酮、对叔丁基苯乙酮、对二甲基氨基苯乙酮、对叔丁基三氯苯乙酮、对叔丁基二氯苯乙酮、α,α-一氯-4-苯氧基苯乙酮、噻吨酮、2-甲基噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、二苯并环庚酮、戊基-4-二甲基氨基苯甲酸酯、9-苯基吖啶、1,7-双-(9-吖啶基)庚烷、1,5-双-(9-吖啶基)戊烷、1,3-双-(9-吖啶基)丙烷、对甲氧基三嗪、2,4,6-三(三氯甲基)-s-三嗪、2-甲基-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(呋喃-2-基)乙烯基(エテニル)]-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-乙氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-正丁氧基苯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2,4-双-三氯甲基-6-(3-溴-4-甲氧基)苯基-s-三嗪、2,4-双-三氯甲基-6-(2-溴-4-甲氧基)苯基-s-三嗪、2,4-双-三氯甲基-6-(3-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-s-三嗪、2,4-双-三氯甲基-6-(2-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-s-三嗪等。这些中,在感光度方面,特别优选使用肟系的光聚合引发剂。这些光聚合引发剂可以单独使用或者也可以组合使用两种以上。
(C)成分的含量,相对于感光性树脂组合物的固体成分,优选为0.5~30质量%,更优选为1~20质量%。通过设定为上述范围,能够得到充分的耐热性、耐化学品性,另外,使涂膜形成能提高,从而能够抑制固化不良。
另外,可以在该(C)成分中组合光引发助剂。作为光引发助剂,可以列举:三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三异丙醇胺、4-二甲基氨基苯甲酸甲酯、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸异戊酯、4-二甲基氨基苯甲酸2-乙基己酯、苯甲酸2-二甲基氨基乙酯、N,N-二甲基对甲苯胺、4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、9,10-二甲氧基蒽、2-乙基-9,10-二甲氧基蒽、9,10-二乙氧基蒽、2-乙基-9,10-二乙氧基蒽等。这些光引发助剂可以单独使用或者也可以组合使用两种以上。
<着色剂(D)>
本发明的感光性树脂组合物,根据需要,可以包含着色剂(D)。特别是在感光性树脂组合物含有遮光剂作为着色剂的情况下,优选用于黑色衬垫的形成用。通过黑色衬垫,能够抑制从显示装置中的衬垫部分的漏光(光抜け),从而可以制造能够显示对比度高的优选的图像的显示装置。
作为本发明的感光性树脂组合物中含有的着色剂(D),没有特别限定,例如,在颜色索引(C.I.;The Society of Dyers and Colourists公司发行)中分类成颜料(Pigment)的化合物,具体而言,优选使用带如下所述的颜色索引(C.I.)编号的化合物。
作为能够适当地使用的黄色颜料的例子,可以列举:C.I.颜料黄1(以下,“C.I.颜料黄”同样,仅记载编号)、3、11、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、55、60、61、65、71、73,74、81、83、86、93、95、97、98、99、100、101、104、106、108、109、110、113、114、116、117、119、120、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、166、167、168、175、180以及185。
作为能够适当地使用的橙色颜料的例子,可以列举:C.I.颜料橙1(以下,“C.I.颜料橙”同样,仅记载编号)、5、13、14、16、17、24、34、36、38、40、43、46、49、51、55、59、61、63、64、71以及73。
作为能够适当地使用的紫色颜料的例子,可以列举:C.I.颜料紫1(以下,“C.I.颜料紫”同样,仅记载编号)、19、23、29、30、32、36、37、38、39、40以及50。
作为能够适当地使用的红色颜料的例子,可以列举:C.I.颜料红1(以下,“C.I.颜料红”同样,仅记载编号)2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、14、15、16、17、18、19、21、22、23、30、31、32、37、38、40、41、42、48:1、48:2、48:3、48:4、49:1、49:2、50:1、52:1、53:1、57、57:1、57:2、58:2、58:4、60:1、63:1、63:2、64:1、81:1、83、88、90:1、97、101、102、104、105、106、108、112、113、114、122、123、144、146、149、150、151、155、166、168、170、171、172、174、175、176、177、178、179、180、185、187、188、190、192、193、194、202、206、207、208、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、242、243、245、254、255、264以及265。
能够适当地使用的蓝色颜料的例子作为,可以列举:C.I.颜料蓝1(以下,“C.I.颜料蓝”同样,仅记载编号)、2、15、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64以及66。
作为能够适当地使用、上述之外的色相的颜料的例子,可以列举:C.I.颜料绿7、C.I.颜料绿36、C.I.颜料绿37等绿色颜料、C.I.颜料棕23、C.I.颜料棕25、C.I.颜料棕26、C.I.颜料棕28等茶色颜料、C.I.颜料黑1、C.I.颜料黑7等黑色颜料。
另外,在将着色剂作为遮光剂的情况下,作为遮光剂,优选使用黑色颜料。作为黑色颜料,可以列举:碳黑、钛黑、铜、铁、锰、钴、铬、镍、锌、钙、银等的金属氧化物、复合氧化物、金属硫化物、金属硫酸盐或金属碳酸盐等、不论有机物、无机物各种颜料。这些中,优选使用具有高遮光性的碳黑。
作为碳黑,可以使用槽法碳黑、炉黑、热裂法碳黑、灯黑等公知的碳黑,优选使用遮光性优良的槽法碳黑。另外,也可以使用树脂包覆碳黑。
另外,为了调节碳黑的色调,作为辅助颜料,可以适当添加上述有机颜料。
为了使上述着色剂在感光性树脂组合物中均匀地分散,也可以使用进一步分散剂。作为这样的分散剂,优选使用聚乙烯亚胺类、氨基甲酸酯树脂类、丙烯酸树脂类的高分子分散剂。特别是作为着色剂,在使用碳黑色情况下,作为分散剂优选使用丙烯酸树脂类的分散剂。
另外,无机颜料和有机颜料可以各自单独使用或两种以上并用,并用的情况下,相对于无机颜料与有机颜料的总量100质量份,优选在10~80质量份的范围内使用有机颜料,更优选在20~40质量份的范围内使用。
感光性树脂组合物中的着色剂的使用量,可以在不阻碍本发明的目的的范围内适当选择,典型地,相对于感光性树脂组合物的固体成分的合计100质量份,优选为5~70质量份,更优选为25~60质量份。通过设定为上述范围,容易形成期望的形状的衬垫。
特别是使用感光性树脂组合物形成黑色衬垫的情况下,优选以黑色衬垫的被膜每1μm的OD值达到0.5以上的方式调节感光性树脂组合物中的遮光剂的量。黑色衬垫中的被膜每1μm的OD值如果为0.5以上,则容易良好地抑制从显示装置的衬垫部分的漏光,从而能够得到充分的显示对比度。
优选着色剂使用分散剂形成以适当的浓度分散而成的分散液后,添加到感光性树脂组合物中。
<溶剂(S)>
作为感光性树脂组合物含有的溶剂(S),可以使用与能够用于上述树脂组合物的溶剂(S)同种的有机溶剂。制备感光性树脂组合物时,为了使感光性树脂组合物达到期望的固体成分浓度,可以追加溶剂(S)、或者浓缩树脂组合物。浓缩树脂组合物的情况下,优选在减压下尽量在低温下蒸馏除去溶剂(S)。树脂组合物作为感光性树脂组合物包含充分量的溶剂(S)的情况下,相对于树脂组合物,无需新追加溶剂(S)。
感光性树脂组合物中的(S)成分的含量,没有特别限定,以能够在基板等上涂布的浓度、根据涂布膜厚适当设定。感光性树脂组合物的粘度优选为5~500cp,更优选为10~50cp,进一步优选为20~30cp。另外,固体成分浓度优选为5~100质量%,更优选为20~50质量%。
<其他成分>
在感光性树脂组合物中,根据需要,可以含有光吸收剂、表面活性剂、密合性提高剂、热聚合禁止剂、消泡剂等添加剂。所有添加剂均可以使用以往公知的添加剂。作为光吸收剂,可以列举1,5-二羟基萘、α-萘酚等,作为表面活性剂,可以列举阴离子类、阳离子类、非离子类等的化合物,作为密合性提高剂,可以列举以往公知的硅烷偶联剂,作为热聚合禁止剂,可以列举氢醌、氢醌单乙基醚等,作为消泡剂,可以列举有机硅类、氟类化合物等。
<感光性树脂组合物的制备方法>
感光性树脂组合物,可以将上述各成分用三联辊磨机、球磨机、砂磨机等搅拌机进行混合(分散、混炼),根据需要用5μm膜滤器(少ソブランフイルタ)等的过滤器进行过滤来制备。
需要说明的是,从能够使碱可溶性树脂(A)的分子量在较低状态下保持的方面出发,感光性树脂组合物,优选通过在上述树脂组合物中添加光聚合性单体(B)、光聚合引发剂(C)、和根据需要的其他成分后,将溶剂(S)调节至期望的量来制备。
另一方面,感光性树脂组合物,也可以通过将碱可溶性树脂(A)、上述式(1)表示的化合物、光聚合性单体(B)、光聚合引发剂(C)、和根据需要的其他成分进行混合后,利用溶剂(S)将感光性树脂组合物的固体成分浓度调节至期望的范围来制备。此时,碱可溶性树脂(A)的分子量,在制备感光性树脂组合物前也可能略微增加,但从在配合上述式(1)表示的化合物等制备感光性树脂组合物后能够抑制碱可溶性树脂(A)的分子量的增大的方面考虑,是优选的。
《衬垫以及显示装置》
本发明的衬垫除了使用上述感光性树脂组合物之外,与使用感光性树脂组合物形成的以往的衬垫同样。另外,本发明的显示装置除了具备通过上述感光性树脂组合物形成的衬垫之外,与以往的显示装置同样。作为显示装置的具体例子,可以列举液晶显示装置、有机EL方式的显示装置等。以下,仅对于衬垫的形成方法进行说明。
使用上述感光性树脂组合物形成衬垫的方法没有特别限制,可以从一直以来采用的显示装置用的衬垫的形成方法中适当选择。作为优选的衬垫的形成方法,可以列举如下方法,其中,包括:涂布工序,将上述感光性树脂组合物在基板上涂布,形成感光性树脂层;曝光工序,将感光性树脂层根据规定的衬垫的图形进行曝光;和显影工序,将曝光后的感光性树脂层进行显影,形成衬垫的图形。
首先,涂布工序中,在应该形成衬垫的基板上,使用辊涂机、反转涂布机、刮棒涂布机等接触转印型涂布装置和纺纱机(旋转式涂布装置)、帘式淋涂机等非接触型涂布装置,涂布本发明的感光性树脂组合物,根据需要,通过干燥除去溶剂,形成感光性树脂层。
接着,将表面上形成感光性树脂层的基板用于曝光工序。曝光工序中,隔着负型的掩模,对感光性树脂层照射紫外线、准分子激光等活性能量射线,将感光性树脂层根据规定的衬垫的图形部分地进行曝光。曝光中可以使用高压水银灯、超高压水银灯、氙灯、碳弧灯等发出紫外线的光源。曝光量根据感光性树脂组合物的组成而不同,例如优选为约50~600mJ/cm2
显影工序中,将曝光后的感光性树脂层用显影液进行显影,由此,形成衬垫。显影方法没有特别限定,可以使用浸渍法、喷雾法等。作为显影液的具体例子,可以列举单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺等有机类的显影液、或氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、氨、季铵盐等的水溶液。本发明的感光性树脂组合物,由于抑制了碱可溶性树脂的分子量的增大而显示出适度的显影性,因此,能够适当的显影。
另外,根据需要,对显影后的衬垫实施后焙烧,进行加热固化。后焙烧的温度优选为150~250℃。
实施例
以下,通过实施例对本发明更加详细地进行说明,但本发明并不限定于这些的实施例。
实施例以及比较例中,作为上述式(1)表示的化合物,使用下述化合物1~7,作为相对于上述式(1)表示的化合物的比较化合物,使用下述比较化合物1~6。以下示出化合物1~7的合成方法。需要说明的是,实施例以及比较例中,将上述式(1)表示的化合物以及比较化合物也称为“添加化合物”。
[化合物1的合成法]
将3-(4-甲氧基苯基)丙烯酰氯5.90g(30mmol)在50ml的干燥的醚中溶解,加入三乙基胺4.59ml(当量比1.1)、二乙基胺2.41ml(当量比1.1),室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml以及1N盐酸洗净后,用硫酸镁干燥,在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂,以硅胶作为支撑载体,通过柱色谱法进行精制,得到对应的化合物1(4.65g,20mmol)。丙烯酰氯基准的收率为67%。
[化合物2的合成法]
将3-(2-硝基-4-甲氧基苯基)丙烯酰氯7.25g(30mmol)在50ml的干燥的醚中溶解,加入三乙基胺4.59ml(当量比1.1)、咪唑2.25ml(当量比1.1),室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml以及1N盐酸洗净后,用硫酸镁干燥,在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂,以硅胶作为支撑载体,通过柱色谱法进行精制,得到对应的化合物2(4.08g,15mmol)。丙烯酰氯基准的收率为50%。
[化合物3的合成法]
将3-(3-硝基-4-甲氧基苯基)丙烯酰氯7.25g(30mmol)在50ml的干燥的醚中溶解,加入三乙基胺4.59ml(当量比1.1)、咪唑2.25ml(当量比1.1),室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml以及1N盐酸洗净后,用硫酸镁干燥,在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂,以硅胶作为支撑载体,通过柱色谱法进行精制,得到对应的化合物3(4.08g,15mmol)。丙烯酰氯基准的收率为50%。
[化合物4的合成法]
将2-甲基-3-(2-硝基-4-甲氧基苯基)丙烯酰氯7.67g(30mmol)在50ml的干燥的醚中溶解,加入三乙基胺4.59ml(当量比1.1)、咪唑2.25ml(当量比1.1),室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml以及1N盐酸洗净后,用硫酸镁干燥,在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂,以硅胶作为支撑载体,通过柱色谱法进行精制,得到对应的化合物4(4.29g,15mmol)。丙烯酰氯基准的收率为50%。
[化合物5的合成法]
将3-(4-甲氧基苯基)丙烯酰氯5.90g(30mmol)在50ml的干燥的醚中溶解,加入三乙基胺4.59ml(当量比1.1)、咪唑2.25ml(当量比1.1),室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml以及1N盐酸洗净后,用硫酸镁干燥,在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂,以硅胶作为支撑载体,通过柱色谱法进行精制,得到对应的化合物5(3.41g,15mmol)。丙烯酰氯基准的收率为50%。
[化合物6的合成法]
将3-(2-硝基-4-甲氧基苯基)丙烯酰氯7.25g(30mmol)在50ml的干燥的醚中溶解,加入三乙基胺4.59ml(当量比1.1)、二乙基胺2.41ml(当量比1.1),室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml以及1N盐酸洗净后,用硫酸镁干燥,在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂,以硅胶作为支撑载体,通过柱色谱法进行精制,得到对应的化合物6(5.55g,20mmol)。丙烯酰氯基准的收率为67%。
[化合物7的合成法]
将3-(3-硝基-4-甲氧基苯基)丙烯酰氯7.25g(30mmol)在50ml的干燥的醚中溶解,加入三乙基胺4.59ml(当量比1.1)、二乙基胺2.41ml(当量比1.1),室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml以及1N盐酸洗净后,用硫酸镁干燥,在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂,以硅胶作为支撑载体,通过柱色谱法进行精制,得到对应的化合物7(5.55g,20mmol)。丙烯酰氯基准的收率为67%。
[实施例1~14以及比较例1~6]
使表1中记载的种类以及量的碱可溶性树脂(A)、和添加化合物在PGMEA中溶解,制备树脂浓度30质量%的树脂组合物。使用所得到的树脂组合物,根据下述方法,进行分子量增加的评价。
需要说明的是,表1中,各简略符号分别表示如下,括号内的数值为配合量(质量份)。
(碱可溶性树脂(A))
作为碱可溶性树脂,使用以下述质量比包含来自于下述单体的单元的树脂。
A-1:甲基丙烯酸∶三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯∶3,4-环氧基环己烷-1-基甲基甲基丙烯酸酯=30∶45∶35
A-2:甲基丙烯酸∶三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯∶3,4-环氧基环己烷-1-基甲基甲基丙烯酸酯=30∶25∶55
A-3:甲基丙烯酸∶三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯∶3,4-环氧基环己烷-1-基甲基甲基丙烯酸酯∶环氧基化二环戊烯基丙烯酸酯=30∶45∶35∶35
A-4:甲基丙烯酸∶三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯∶3,4-环氧基环己烷-1-基甲基甲基丙烯酸酯∶环氧基化二环戊烯基丙烯酸酯=30∶25∶55∶55
A-5:甲基丙烯酸∶三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯∶3,4-环氧基环己烷-1-基甲基甲基丙烯酸酯∶2-(3,4-环氧基环己烷-1-基)-6-甲基丙烯酰氧基庚烷酸=30∶45∶35∶35
A-6:甲基丙烯酸∶三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯∶3,4-环氧基环己烷-1-基甲基甲基丙烯酸酯∶2-(3,4-环氧基环己烷-1-基)-6-甲基丙烯酰氧基庚烷酸=30∶25∶55∶55
A-7:甲基丙烯酸∶三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯∶3,4-环氧基环己烷-1-基甲基甲基丙烯酸酯∶缩水甘油基甲基丙烯酸酯=30∶45∶35∶35
A-8:甲基丙烯酸∶三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯∶3,4-环氧基环己烷-1-基甲基甲基丙烯酸酯∶缩水甘油基甲基丙烯酸酯=30∶25∶55∶55
[分子量增加的评价]
对刚制备后的实施例1~14以及比较例1~6的树脂组合物,通过凝胶渗透色谱法测定各树脂组合物中包含的碱可溶性树脂的重均分子量(Mw1)。接着,将实施例1~14以及比较例1~6的树脂组合物在恒温槽中、25℃下静置168小时(1周)后,通过凝胶渗透色谱法测定各树脂组合物中包含的碱可溶性树脂的重均分子量(Mw2)。使用Mw1和Mw2,通过下式计算出分子量增加率。将各树脂组合物的分子量增加率示于表1。
<分子量增加率算出式>
分子量增加率(%)=Mw2/Mw1×100
基于计算出的分子量增加率,根据下述基准,对分子量增加的程度进行判定。将判定结果示于表1。
○:分子量增加率为120%以下。
×:分子量增加率超过120%。
表1
根据表1可知,含有上述式(1)表示的化合物的实施例1~14的树脂组合物中,分子量增加率均控制在120%以下。另一方面,含有与上述式(1)表示的化合物类似的结构的比较化合物的比较例1~6的树脂组合物中,分子量增加率均达到125%以上。由这些结果可知,通过在树脂组合物中没有添加上述式(1)表示的化合物,则容易进行树脂组合物中包含的、至少使不饱和羧酸和含环氧基的不饱和化合物进行聚合而成的共聚物即碱可溶性树脂的分子量的增大。
[实施例15~28以及比较例7~12]
使用通过实施例1~14以及比较例1~6得到的刚制备后的树脂组合物、和25℃下保存168小时后的树脂组合物,制备实施例15~28以及比较例7~12的感光性树脂组合物。具体而言,在含有表2中记载的量的碱可溶性树脂(A)和添加化合物的表2中记载的种类的树脂组合物中,加入表2中记载的种类以及量的光聚合性单体(B)和光聚合引发剂(C)后,通过PGMEA调节固体成分浓度,制备固体成分浓度15质量%的感光性树脂组合物。使用所得到的感光性树脂组合物,根据下述方法,进行感光性树脂组合物的显影性的评价。
需要说明的是,表2中,各简略符号分别表示如下,括号内的数值为配合量(质量份)。
(光聚合性单体(B))
DPHA:二季戊四醇六丙烯酸酯(日本化药株式会社制)
(光聚合引发剂(C))
OXE01:1,2-辛烷二酮,1-[4-(苯基硫)-,2-(O-苯甲酰基肟)](BASF公司制“IRGACURE OXE01”)
[显影性评价]
在玻璃基板(コ一ニング公司制、Eagle-XG)上,用旋涂机涂布上述各实施例以及比较例中制备的感光性树脂组合物后,在80℃下干燥5分钟,得到3.0~5.0μm的膜厚的感光性树脂层。接着,对于该感光性树脂层,隔着形成有5~10μm的点图形的掩模照射紫外线。接着,通过在加热至23℃的浓度0.04质量%的氢氧化钾水溶液中进行喷雾显影,形成点状的图形。另外,通过计测直到未曝光部完全溶解的时间(BP:断裂点),评价显影性。显影性的评价,对使用刚制备后的树脂组合物得到的感光性树脂组合物、和使用25℃下保存168小时后的树脂组合物得到的感光性树脂组合物进行。将结果示于表2。
表2
根据表2可知,在含有上述式(1)表示的化合物的实施例1~14的树脂组合物中加入光聚合性单体(B)和光聚合引发剂(C)后的、实施例15~28的感光性树脂组合物,关于使用刚制备后的树脂组合物得到的感光性树脂组合物、和使用保存168小时后的树脂组合物得到的感光性树脂组合物,BP之差为0~5秒,二者显影时间几乎不存在差异。
另一方面可知,在加入与上述式(1)表示的化合物类似的结构的比较化合物的比较例1~6的树脂组合物中添加光聚合性单体(B)和光聚合引发剂(C)而得到的比较例7~12的感光性树脂组合物,关于使用刚制备后的树脂组合物得到的感光性树脂组合物、和使用保存168小时后的树脂组合物得到的感光性树脂组合物,BP之差为10秒以上,如果没有使用刚制备后的树脂组合物制备感光性树脂组合物,则显影时间大幅延迟。
Claims (6)
1.一种树脂组合物,其特征在于,含有碱可溶性树脂(A)、下述式(1)表示的化合物以及溶剂(S),
所述碱可溶性树脂(A)含有:至少使不饱和羧酸(a1)和含环氧基的不饱和化合物(a2)进行聚合而成的共聚物(A1),
所述溶剂(S)含有丙二醇单甲基醚乙酸酯,
式中,R1以及R2分别独立地表示氢原子或有机基团,但是,R1以及R2的至少一个表示有机基团,R1以及R2可以键合形成环状结构,也可以包含杂原子的键;R3表示单键或有机基团;R4以及R5分别独立地表示氢原子、卤原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸基或有机基团;R6、R7、R8以及R9分别独立地表示氢原子、卤原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸基、氨基、铵基或有机基团,但是,R6以及R7不是羟基,R6、R7、R8以及R9中的二个以上可以键合形成环状结构,也可以包含杂原子的键;R10表示氢原子或有机基团。
2.根据权利要求1所述的树脂组合物,其中,所述碱可溶性树脂(A)中的来自于所述含环氧基的不饱和化合物(a2)的单元的比例为30质量%。
3.根据权利要求1或2所述的树脂组合物,其中,所述碱可溶性树脂(A)中的来自于所述不饱和羧酸(a1)的单元的比例为20质量%以上。
4.一种感光性树脂组合物,其中,含有权利要求1所述的树脂组合物、光聚合性单体(B)和光聚合引发剂(C)。
5.一种衬垫,其是由权利要求4所述的感光性树脂组合物形成的。
6.一种显示装置,其具备权利要求5所述的衬垫。
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