CN101412463B - 带保管库搬运系统 - Google Patents

Abstract

一种暂时保管货物的保管库、保管库组及带保管库搬运系统，能以简单的构成而效率很好地把货物出入库或效率很好地对其进行保管库内搬运，其中，该货物收纳例如半导体元件制造用的各种基板。与搬运车(2)之间进行货物(3)的出入库的保管库(10)具备：可从搬运车或向搬运车移载货物的端口；可收纳或载置货物的多个货架部分(15)；可在多个货架部分和端口间以及多个货架部分的互相间移动货物的驱动单元(19)；以及按以下方式控制驱动单元的控制单元(20)，即，在使货物从多个货架部分向端口移动的场合，先使其向作为多个货架部分之一的预出库用货架部分移动，将其在该预出库用货架部分暂时收纳或载置之后，使货物从预出库用货架部分向端口移动。

Description

带保管库搬运系统

技术领域

本发明涉及在轨道上搬运例如收纳半导体元件制造用的各种基板的FOUP(Front Open Unified Pod)等货物的搬运系统中，在与轨道邻接的位置暂时保管货物的储料器(或堆积机)等保管库、组合多个这样的保管库而构成的保管库组和具备上述保管库而构成的带保管库搬运系统的技术领域。 

背景技术

这种保管库例如是与车辆等搬运车行走的轨道邻接而敷设的，在保管库内，按保管许多由搬运车搬运的货物的方式设有许多货架部分。并且，设有用于进行在这样的保管库内和搬运车之间的货物的交接或出入(即，出入库)的＂端口＂和用于进行在指定的货架部分之间的货物的搬运(即，保管库内搬运)的称为储料器机器人、储料器吊车等的保管库内搬运装置。在特别是利用储料器机器人等可进行包含纵横无限扩展的许多货架部分的保管库内的搬运，例如可进行数十个至数百个的许多货物的出入库及保管，数吨至十数吨级重的大型保管库也已经实用化(参照专利文献1及2)。 

另一方面，在这种保管库中，也有在可沿着在垂直方向按多层排列的货架部分的侧下方而升降的升降台上直接从顶棚吊下型的搬运车移载货物的较小型的保管库。该保管库在出库时从升降台上直接向搬运车移载货物(参照专利文献3)。 

专利文献1：特开2006—049454号公报 

专利文献2：特开2003—182815号公报 

专利文献3：特开2004—238191号公报

发明内容

发明打算解决的课题 

然而，根据上述专利文献1及2记载的保管库，空载的搬运车到达端口之后，从保管着应该出库货物的货架部分向端口进行保管库内搬运，特别是由于货架部分的位置不同，保管库内搬运很费时间。而在把应该出库货物预先载置于端口的场合，到达的搬运车只要是空载就有搬运货物的可能性。于是，把应该出库货物放置在端口，避免从搬运车向端口移载货物时的麻烦。假定为了避开这样的问题而对于搬运车对货物的移载在理论上可编制详细的时间表，进行整体控制，但在错综复杂的轨道上高速行走的许多搬运车、许多货物、轨道、端口或储料器机器人的使用状态(特别是混乱状态、堵塞)等作为参数大有关系，因而实际上的控制极其困难，这是存在的技术课题。 

另一方面，根据上述专利文献3记载的保管库，升降台本身成为出入库用的端口，在入库时从搬运车下降到升降台上一边定位一边卸下货物或在出库时由搬运车从升降台上吊上来，因而很费时间。特别是如果升降台处于上方的交接位置，则使升降台移动到该位置很费时间，而由处于下方的升降台进行交接也很困难。并且特别是在这样费时间的出入库作业中升降台被垄断使用，因而不能使用升降台对其他货物进行保管库内搬运，这是存在的技术课题。 

本发明是鉴于例如上述问题点而提出的，其课题在于提供一种可利用简单的构成而效率很好地把货物出入库或效率很好地对其进行保管库内搬运的保管库、组合多个这样的保管库而构成的保管库组和具备上述保管库的带保管库搬运系统。 

解决课题的方案 

为了解决上述课题，本发明的保管库，用于与搬运车之间进行货物的出入库，其特征在于，具备：可从上述搬运车或向上述搬运车移 载上述货物的端口；可收纳或载置上述货物的多个货架部分；可在上述多个货架部分和上述端口间以及上述多个货架部分的互相间移动上述货物的驱动单元；以及按以下方式控制上述驱动单元的控制单元，即，在使上述货物从上述多个货架部分向上述端口移动的场合，先使其向作为上述多个货架部分之一的预出库用货架部分移动，将其在该预出库用货架部分暂时收纳或载置之后，使上述货物从上述预出库用货架部分向上述端口移动。 

根据本发明的保管库，在入库时，例如由在轨道上行走的搬运车把货物搬运到端口。在那里，从停止了的搬运车向保管库的端口移载货物。于是，例如由具备垂直驱动部及水平驱动部的驱动单元把货物从端口向希望的货架部分移动。即，进行保管库内搬运。 

在出库时，由驱动单元把应该出库货物从多个或许多货架部分中的希望的货架部分进行保管库内搬运。 

此处根据传统储料器，由储料器机器人等把货物从货架到端口进行保管库内搬运之后，调入空载的搬运车，对于被调入的空载的搬运车，把货物移载到端口。或者，让到达端口的空载的搬运车预先等候，通过保管库内搬运把货物直接移载到端口。在前一场合，若在端口放置货物之后，打算向该端口移载货物的搬运车来到，则只得变更搬运计划。在后一场合，在保管库内搬运的时间中，搬运车要在端口等候，特别是大型的储料器、保管库内搬运的距离长的场合，移载到搬运车的时间显著变长。另一方面，在进行保管库内搬运的升降台直接作为端口的简易构成的储料器的场合，在移载期间中不可能进行保管库内搬运。 

而根据本发明，在从货架部分向端口对货物进行保管库内搬运的场合，先在控制单元的控制下，由驱动单元把该货物移动到作为多个货架部分之一的预出库用货架部分，暂时收纳或载置在预出库用货架 部分。因此，在该时点，移动到预出库用货架部分的货物不会占有端口。即，在该时点，端口是空的，处于可入库的状态的可能性也高。接着，典型的是在空载的搬运车到达了空的端口的场合，或者通过进行从搬运车向端口的移载及驱动单元下的该保管库内搬运而使端口成为空的并且通过移载而成为空载的搬运车在端口待命的场合，由驱动单元使预出库用货架部分中暂时收纳或保管的货物从预出库用货架部分向端口移动。然后，在端口进行货物的从该保管库向搬运车的移载。 

这样，由于端口和预出库用货架部分是不同的东西，因而端口处的移载作业和驱动单元下的向预出库用货架部分的保管库内搬运作业可并行地执行，所以移载作业和保管库内搬运作业的综合作业效率显著地提高。当然，与例如利用升降台作为端口的情况不同，在本发明中，端口和驱动单元都是不同的东西，因而在端口处的移载作业中，可执行与驱动单元下的预出库用货架部分无关的保管库内搬运作业(例如，在移载作业中，保管库内的任意货架部分间的保管库内搬运等)。 

另外，这样的端口处的向搬运车的移载之前的向预出库用货架部分的保管库内搬运可针对所有货物或所有状况执行。在该场合，向端口的搬运及向预出库用货架部分的保管库内搬运的控制很简单。或者，向预出库用货架部分的保管库内搬运也可以针对一部分货物(例如，在保管库内离端口相对远的货架部分)或者有条件(例如，预计端口没有用于其他货物的入库这样的条件等)地执行。在该场合，控制变得复杂了些，但是可进一步提高移载作业及保管库内搬运作业的综合效率。 

如上所述，根据本发明的保管库，可利用简单的构成而效率很好地把货物出入库或效率很好地对其进行保管库内搬运。 

在本发明的保管库的一方式中，按使上述货物移动到上述多个货架部分中的上述端口的时间成为相对短时间的方式设定上述预出库用货架部分。

根据该方式，能缩短从预出库用货架部分向端口的保管库内搬运所花费的时间，能进一步提高移载作业及保管库内搬运作业的整体效率。此处「相对短时间」是指至少与成为在向端口的保管库内搬运之前进行向该预出库用货架部分的保管库内搬运的对象的货架部分相比是短时间。理想的是，把货物移动到端口所花费的时间为最短时间，不过，其主旨是接近这样的最短时间也可以。只要与所有货架部分所涉及的向预出库用货架部分的移动所花费的平均时间相比是短时间，就能获得本发明的相应效果。 

在本发明的保管库的另一方式中，上述控制单元按以下方式控制上述驱动单元，即在上述搬运车以不搬运上述货物的状态到达了或到达上述端口的场合或者上述搬运车以不搬运上述货物的状态在上述端口待命的场合，使上述货物从上述预出库用货架部分移动到上述端口。 

根据该方式，在控制单元的控制下，由驱动单元使预出库用货架部分中暂时收纳或保管的货物，在搬运车以不搬运货物的状态到达了或到达上述端口的场合，移动到端口。此处「到达了」是指检测到到达之后，「到达」是指事前预测、推定或计划到达。或者，使预出库用货架部分中暂时收纳或保管的货物，在搬运车以不搬运货物的状态在端口待命的场合，移动到端口。此处「搬运车以不搬运货物的状态」是指除了空载情况下到达了的状态以外，还包括把货物移载到端口而成为空载的状态。这样，如果从预出库用货架部分把货物搬运到端口，就能即刻在可向搬运车移载的定时，执行从预出库用货架部分向端口的保管库内搬运。因而，能极力抑制从预出库用货架部分搬运到保管库的货物占有端口的时间或时间比率。 

在本发明的保管库或另一保管库的另一方式中，上述驱动单元具备：具有可从其底侧支持上述货物的第1载置面的载置部；可在水平一方向往复移动上述载置部的水平驱动部；以及可在垂直方向往复移 动上述载置部的垂直驱动部，上述多个货架部分在上述垂直方向分为多层，在每层上在由上述水平驱动部可到达的水平位置按一个或多个来设置，并且均具有可与上述第1载置面之间互相移载上述货物地构成的第2载置面，上述多个货架部分中的至少一个作为上述端口起作用，上述预出库用货架部分是与上述端口处于相同层的货架部分。 

根据该方式，货架是把货架部分在垂直方向分为多层，在每层上在水平一方向具有一个或多个，驱动单元可与这样的货架对应而把货物在水平一方向往复移动，并且在垂直方向往复移动。因此，可通过垂直方向及水平一方向的二轴运动，从出入库用的端口(或其他货架部分)向存在多个的货架部分中的希望的货架部分，对货物进行保管库内搬运。或者，通过垂直方向及水平一方向的二轴运动，从存在多个的货架部分中的希望的货架部分向出入库用的端口(或其他货架部分)，对货物进行保管库内搬运。 

对于各个保管库而言，例如，货架以在垂直方向为m(此处，m为2以上的自然数)层，在水平一方向为n(此处，n为1以上的自然数)列，且在与其垂直的其余水平一方向(以下，简称「厚度方向」)仅为1列的情形，按薄的平板形状，构成整体的框架。 

入库时，例如，从搬运车向作为出入库用的端口起作用的第2载置面上移载货物。然后，把移载到作为端口起作用的第2载置面上的货物载置到可在2轴方向移动的载置部的第1载置面上。例如，第1及第2载置面按支持货物底面上的不同部分(典型的是中央附近部分和周边附近部分)的方式构成，哪一方都可支持货物。载置部移动到作为端口起作用的第2载置面所存在的垂直位置和水平位置时，由第1载置面代替作为端口起作用的第2载置面来支持，从而进行从第2载置面向第1载置面的移载。典型的是，由垂直驱动部把第1载置面移动到比第2载置面高的地方，从而由第1载置面来支持货物。由此开始进行入库时的保管库内搬运。此处，通过垂直驱动部及水平驱动部下 的简单的2轴动作，货架上的哪个第2载置面都能迅速进行保管库内搬运。 

然后，载置部移动到保管中打算使用的第2载置面所存在的垂直位置和水平位置时，由第2载置面代替第1载置面来支持，从而进行从第1载置面向第2载置面的移载。典型的是，由垂直驱动部把第1载置面移动到比第2载置面低的地方，从而由第2载置面来支持货物。由此结束入库时的保管库内搬运，开始进行货架上的保管。 

以上的入库时的动作在从端口向包括预出库用货架部分的所有货架部分的保管库内搬运的场合，也同样能执行。 

另一方面，出库时，载置部移动到载置着打算出库的货物的第2载置面所存在的垂直位置和水平位置，由第1载置面代替第2载置面来支持，从而进行从第2载置面向第1载置面的移载。典型的是，由垂直驱动部把第1载置面移动到比第2载置面高的地方，从而由第1载置面来支持货物。由此开始进行出库时的保管库内搬运。然后，载置部移动到作为端口起作用的第2载置面所存在的垂直位置和水平位置。此处，通过垂直驱动部及水平驱动部下的简单的2轴动作，从哪个第2载置面都能迅速进行保管库内搬运。 

然后，由作为端口起作用的第2载置面代替第1载置面来支持，从而进行从第1载置面向作为端口起作用的第2载置面的移载。典型的是，由垂直驱动部把第1载置面移动到比第2载置面低的地方，从而由第2载置面来支持货物。由此结束出库时的保管库内搬运，成为可从端口向搬运车移载的状态。 

以上的出库时的动作，在从预出库用货架部分向端口的保管库内搬运的场合、不是从预出库用货架部分而是从普通货架部分向端口的保管库内搬运的场合、不是从预出库用货架部分而是从普通货架部分 向预出库用货架部分的保管库内搬运的场合，也同样能执行。 

此后，由已经在位于面对出入库用的端口的轨道上待命的或其次到达该位置的搬运车，进行从该端口向搬运车的移载。 

此处特别是因为预出库用货架部分是与端口处于相同层的货架部分，所以从预出库用货架部分向端口的货物的移动可通过水平驱动部下的水平一方向的移动而简单且迅速地执行。因此，借助于在2轴方向移动的载置部，预出库的作业可极为有效地进行。 

根据以上结果，在借助于驱动单元而在2轴方向移动的载置部这种比较简单的构成及简单的控制下，从预出库用货架部分向端口的保管库内搬运(即，预出库或预出库作业)及从端口向所有货架部分的保管库内搬运可极为有效地进行。而且，在搬运车及端口间进行移载的过程中，也可进行驱动单元下的保管库内搬运，因而保管库内的搬运效率也大幅度提高。 

另外，典型的是，相同层上存在的二个货架部分中的一方为端口，另一方为预出库用货架部分。或者也可以是，相同层上存在的三个货架部分中的一个为端口，其余二个为预出库用货架部分。于是，通过水平驱动部的简单且迅速的水平一方向的移动，就能进行预出库用货架部分和端口之间的移动。 

为了解决上述课题，本发明的保管库组，由上述本发明所涉及的保管库或其他保管库(此处，包括其各种方式)以多个组合而成，上述多个保管库按上述端口排成一列的方式来排列。 

根据本发明的保管库组，具有上述本发明所涉及的保管库或其他保管库(此处，包括其各种方式)，因而能利用简单的构成而效率很好地把货物出入库或效率很好地对其进行保管库内搬运。

而且，可以按与在工厂内敷设的轨道的方向的各种装置等间的间隙对应的数来组合保管库，实用上极为方便。换句话说，不论沿着轨道敷设的装置等间的间隙设计得大还是设计得小，只要利用本发明的保管库组，都能充分地获得容许范围。而且，各个保管库内的保管库内搬运，通过相对于如上所述在厚度方向很薄地扩展，即分为多层且各层上有多个货架部分的货架的二轴方向的运动，可极为有效地进行。 

为了解决上述课题，本发明的带保管库搬运系统，具备：上述本发明所涉及的保管库或其他保管库(此处，包括其各种方式)；上述搬运车；以及上述搬运车行走的轨道。 

根据本发明的带保管库搬运系统，具有上述本发明所涉及的保管库，因而能利用简单的构成而效率很好地把货物出入库或效率很好地对其进行保管库内搬运。 

本发明的作用及其他优点根据其次说明的用于实施的最佳方式会更加明确。 

附图说明

图1是表示第1实施方式所涉及的具备保管库的搬运系统的外观的立体图。 

图2是表示第1实施方式所涉及的保管库的内部构造的断面图。 

图3是表示第1实施方式所涉及的第1及第2载置面的接合状态的断面图。 

图4是表示实施方式所涉及的载置部在水平一方向的动作状态的平面图。 

图5是表示第2实施方式所涉及的保管库内搬运时的货架的设定的断面图。 

图6是表示第2实施方式所涉及的保管库内搬运的动作处理的流 程图。 

图7是表示第1实施方式所涉及的保管库的实用上的配置状态的平面图。 

符号说明 

1…轨道，2…搬运车(顶棚行走车)，3…FOUP(货物)，10…储料器(保管库)，11…载置部(支持部)，13…水平驱动部，14…垂直驱动部，15…货架，100…搬运系统 

具体实施方式

以下参照图来说明本发明的实施方式。 

<第1实施方式> 

首先，参照图1至图3来说明第1实施方式所涉及的保管库的构成。此处图1是表示具备第1实施方式所涉及的保管库的搬运系统的外观的立体图，图2是示意地表示图1的保管库的内部构造的断面图，图3是表示第1实施方式所涉及的第1及第2载置面与货物的接合状态的断面图。 

在图1中，搬运系统100具备轨道1、搬运车2、储料器10和控制器20。搬运系统100驱动搬运车2，在轨道1上进行FOUP3的搬运。轨道1作为本发明所涉及的「轨道」的一个例子，具有供搬运车2行走的轨道的作用。 

搬运车2例如是由线性马达驱动的OHT(Overhead HoistTransport)(顶棚行走车)，向储料器10、未图示的制造装置、OHT缓冲器、大型储料器等搬运FOUP3。搬运车2在内部具有在垂直方向移动的起重机2a。 

起重机2a在搬运时例如由夹持机构保持被搬运的FOUP3的凸缘 4。起重机2a借助于搬运车2的本体上具备的例如卷取皮带及卷出皮带等升降机构在轨道1的下方在垂直方向可升降。起重机2a在跟储料器10之间进行FOUP3的出库或入库时，移动到储料器10的出入库用的端口上方位置，再下降到端口的位置，保持或松开凸缘4。在该下降了的位置，FOUP3的底面与后述的第2载置面(即端口的床面)接触。 

如图1及图2所示，FOUP3作为本发明所涉及的「货物」的一个例子，在储料器10内，为了相对于搬运车2的出入库及保管位置的调整等而被搬运(即保管库内搬运)。 

如图3所示，FOUP3在底面上具有凹部5及凹部6。凹部5按与后述的货架15上设置的凸部16对应的尺寸形成。另一方面，凹部6按与后述的载置部11上设置的凸部12对应的尺寸形成。 

还有，在图1中，控制器20例如按照半导体元件制造的工序时间表，对搬运车2及储料器10指示FOUP3的搬运及出入库(包括保管库内搬运)。响应该指示，驱动搬运车2及储料器10，对搬运车2所搬运的FOUP3实施各种处理，制造半导体元件。 

(保管库单体) 

储料器10作为本发明所涉及的「保管库」的一个例子，是与轨道1邻接而敷设的，保管多个FOUP3。 

在图2中，储料器10具备由载置部11、水平驱动部13及垂直驱动部14构成的保管库内搬运装置和多个货架15。保管库内搬运装置在多个货架15间移载FOUP3。通过该移载把FOUP3载置到多个货架15中的特定货架(即，保管用货架)上，从而在储料器10内保管FOUP3。或者，如后边详述的，将其移载到作为出入库用的端口起作用的货架15上。

载置部11作为本发明所涉及的「驱动单元」的一个例子，为了在多个货架15间移载FOUP3，借助于水平驱动部13而在水平一方向，且借助于垂直驱动部14而在垂直方向移动。载置部11在上面上具有第1载置面11a。第1载置面11a在移载时与FOUP3的底面接触，从其底侧支持FOUP3。在第1载置面11a上，作为支持部件而形成了凸部12。如图3(b)所示，凸部12按与FOUP3的凹部6对应的尺寸形成，移载时与该凹部6接合。 

还有，在图2中，水平驱动部13作为本发明所涉及的「驱动单元」的一个例子，例如由未图示的马达在延伸于水平一方向的水平导件17上驱动。水平驱动部13与载置部11连接，使载置部11沿着水平导件17在水平一方向D1往复移动。 

垂直驱动部14作为本发明所涉及的「驱动单元」的一个例子，例如由未图示的马达在延伸于垂直方向的垂直导件18上驱动。水平导件17的中央部固定在垂直驱动部14上。垂直驱动部14使该水平导件17沿着垂直导件18在垂直方向D2往复移动。在该往复移动时，载置部11位于水平导件17的中央部。这样，载置部11借助于水平驱动部13及垂直驱动部14而在垂直方向及水平一方向的2轴方向移动。 

多个货架15在垂直方向为7层，在水平一方向为2列，且在厚度方向为1列，由共计14个货架构成，载置部11移动于这14个货架15间，从而进行FOUP3的移载。各货架15在上面上具有第2载置面15a，在该第2载置面15a上载置FOUP3。在第2载置面15a上，作为支持部件而形成了凸部16。如图3(a)所示，凸部16按与FOUP3的凹部5对应的尺寸形成，在载置(保管)时与该凹部5接合。 

还有，在图2中，14个货架15中的1个货架(换句话说，其具有的第2载置面15a)作为用于跟搬运车2之间交接FOUP3的出入库用的端口起作用。在端口设定的货架15是处于最上层的2个货架中的一方 货架(图2中位于以两点点划线表示的区域P1的货架)，位于其上方及侧方的储料器本体10a按FOUP3可出入库的方式开放。 

另外，不仅可以使在端口设定的货架15，而且也可以使该货架15加上移动到区域P1的载置部11作为端口起作用，也可以只使该载置部11作为端口起作用。在该场合，若在区域P1不设置货架15，把未载置FOUP3的载置部11配置在区域P1，则可把FOUP3从搬运车2直接入库。或者，若把载置着FOUP3的载置部11配置在区域P1，则可把FOUP3向搬运车2直接出库。 

关于储料器10的配置是把在端口设定的货架15配置在轨道1下方。具体是载置部11移动的水平一方向的方位与轨道1的方位以直角相交。 

其次，参照图4(a)来说明本实施方式所涉及的第1及第2载置面的形体。此处图4(a)是表示本实施方式所涉及的载置部在水平一方向的动作状态的平面图。图4(a)具体与图2中的A1—A1断面相当，表示在储料器10的最上层设置的2列货架15(第2载置面15a)。 

如图4(a)所示，从储料器10的上面侧看去，第2载置面15a如马蹄一样按U字形形成，第1载置面11a如埋住该U字形的中央的岛一样按四边形形成。因此，第1及第2载置面11a、15a具有彼此互补的平面形状。在这样的第1及第2载置面11a、15a之间进行FOUP3的移载。 

另外，在图3及图4(a)所示的例子中，俯视看去，第1载置面11a一方位于第2载置面15a的内侧，外径小。不过也可以反过来，按第1载置面11a位于第2载置面15a的外侧，外径变大的方式构成两者。在该场合，作为图4(a)所示的第1及第2载置面的形体的变形例，如图4(b)所示，例如从储料器30的上面侧看去，第1载置面31a如马蹄一 样按U字形形成，第2载置面35a如埋住该U字形的中央的岛一样按四边形形成。这样就加大了在上下左右移动的第1载置面31a，使得载置部31载置FOUP3的保管库内搬运时的稳定性增加，有利于防止FOUP3落下、晃动。 

(保管库内搬运动作) 

其次，继续参照图2至图4来说明本实施方式所涉及的保管库内的货物的移载，即保管库内搬运的动作。 

在图2及图4中，把借助于搬运车2而入库，载置在区域P1的第2载置面15a上的FOUP3移载到相同层的另一个第2载置面15a(图2及图4中以区域P2表示)上。在该场合，首先，把结束了向区域P3的第2载置面15a移载FOUP3的载置部11(图2中以虚线表示)移动到区域P1的第2载置面15a正下方。这时，载置部11借助于水平驱动部13移动到水平导件17的大致中央之后，借助于垂直驱动部14沿着垂直导件18移动到给定的垂直位置。该给定的垂直位置比区域P1的第2载置面15a靠下方。之后，处于给定的垂直位置的载置部11借助于水平驱动部13沿着水平导件17移动到给定的水平位置(图2中以实线表示)。如图3(a)所示，该给定的水平位置是在FOUP3的凹部6的垂直下方，载置部11的凸部12存在的位置。 

移动到给定的垂直位置及水平位置的载置部11借助于垂直驱动部14而上升。该上升使得第1载置面11a通过第2载置部15a中央，如图3(b)所示，变得高于第2载置面15a。此时，区域P1上的凹部5及凸部16的接合脱开，由第1载置面11a代替第2载置面15a来支持FOUP3，并且载置部11的凸部12及FOUP3的凹部6互相接合，从而把FOUP3从第2载置面15a移载到第1载置面11a。 

FOUP3移载到的载置部11被移动到区域P2的第2载置面15a的正上方。这时，载置部11借助于水平驱动部13移动到水平一方向的 给定的水平位置。该给定的水平位置是在区域P2的第2载置面15a的凸部16的垂直上方，FOUP3的凹部5存在的位置。移动到给定的水平位置的载置部11借助于垂直驱动部14而下降。该下降使得第1载置面11a通过区域P2的第2载置部15a的中央，如图3(a)所示，变得低于第2载置面15a。此时，在区域P2上的凸部12及凹部6的接合脱开，由第2载置面15a代替第1载置面11a来支持FOUP3，并且FOUP3的凹部5及第2载置面15a的凸部16互相接合，从而把FOUP3从第1载置面11a移载到区域P2的第2载置面15a上。这样，从在端口设定的区域P1向区域P2的FOUP3的移载动作即告完成。另外，如果以相反顺序进行该移载工序，则成为从区域P2向区域P1的移载动作。因此，经上述端口的移载动作也是在搬运车2及储料器10间的FOUP3的出入库动作。 

这样，根据本实施方式的储料器10，可在垂直方向及水平一方向扩展，在厚度方向在一个FOUP3的量的厚度中包含水平驱动部13及垂直驱动部14所需的空间而极薄地构成。因此，也可配置在沿着轨道1的较小的间隙中。还有，在2轴方向移动的载置部11在端口及搬运车2间的出入库时是不需要的，不会妨碍该出入库作业，因而可利用简单的构成而效率很好地把FOUP3出入库或效率很好地对其进行保管库内搬运。 

另外，在本实施方式中，对于多个货架15，把最上层的1个货架15设定为出入库用的端口，不过，也可以在除此以外的多个货架15中的任意一个上，设定用于保管出库前的FOUP3的预出库用的端口等。 

<第2实施方式> 

其次，作为本发明的第2实施方式，参照图5来说明控制第1实施方式所涉及的驱动单元的控制单元。此处图5是表示第2实施方式所涉及的保管库内搬运时的货架的设定的与图2同宗旨的断面图，具体是除第1实施方式中设定的出入库用的端口(以下称为「出入库端口」) 以外，还表示预出库用的端口(以下称为「预出库端口」)的设定。另外，在图5所示的保管库中，对于与图2所示的保管库同等构成的要素，赋予同一号码，省略其说明。 

在图5中，与第1实施方式同样，把多个货架15中的位于区域P1的货架15设定为出入库端口。在本实施方式中特别是把除设定为该出入库端口的货架15以外的多个货架15中的1个货架15设定为预出库端口。 

预出库端口具有在把预定出库的FOUP3移载到出入库端口(区域P1)之前进行暂时保管(收纳)的作用。把与出入库端口相同的最上层的另一方货架15(图5中位于区域P2的货架)设定为预出库端口。从位于区域P2的预出库端口到位于区域P1的出入库端口的移载是由载置部11只在水平一方向移动FOUP3。因此，其移载时间与从位于区域P2以外的货架15到区域P1的出入库端口的移载时间相比，是最短时间。 

水平驱动部13及垂直驱动部14，与第1实施方式同样，由控制器20控制。控制器20按照出库或入库的状况，选择多个货架15中的应该移载的货架15，进行向选择到的货架15的移载。控制器20在出库时，按把除出入库端口及预出库端口以外的多个货架15(以后称为「保管用货架」)中的任意一个货架15中正式保管(正式收纳)的FOUP3移载到预出库端口的货架15(即，＂区域P2＂)的方式，借助于水平驱动部13及垂直驱动部14使载置部11移动。之后，在出入库端口，在出库用的搬运车2到达了的场合，按从预出库端口的货架15向出入库端口移载的方式，使载置部11移动。 

(使用预出库用的端口的保管库内搬运动作) 

其次，参照图6来说明第2实施方式所涉及的保管库内搬运的动作处理中的使用预出库用的端口进行出库时的处理。图6是表示该处理的流程图。

在图6中，首先，判断控制器20是否对储料器10有出库要求(步骤S21)。在该判断结果是没有出库要求的场合(步骤S21：否)，不进行把预定出库的FOUP3移载到预出库端口的货架15上的准备。另一方面，在有出库要求的场合(步骤S21：是)，把保管用货架15上载置的FOUP3通过载置部11的移动而移载到第1载置面11a上(步骤S22)。再把载置了FOUP3的载置部11移动到区域P2，把FOUP3移载(收纳)到预出库端口的货架15(即＂区域P2＂)(步骤S23)。 

之后，判断到达出入库端口的搬运车2是入库用还是出库用的搬运车2(步骤S24)。在该判断结果是在到达了的时刻为空载的出库用的搬运车2的场合(步骤S24：出库用搬运车)，把预出库端口的货架15(即＂区域P2＂)上收纳的FOUP3通过载置部11的移动而移载到第1载置面11a(步骤S27b)。再把载置了FOUP3的载置部11移动到区域P1，把FOUP3移载到出入库端口(即＂正式端口＂)(步骤S28b)。区域P1上载置的FOUP3由出库用的搬运车2来出库(步骤S29b)。 

另一方面，在步骤S24中的判断结果是在到达了的时点为装有货物的入库用的搬运车2的场合(步骤S24：入库用搬运车)，由入库用的搬运车2把FOUP3入库，载置到出入库端口(即＂正式端口＂)(步骤S25)。此后，把出入库端口上载置的FOUP3通过载置部11向区域P5的移动而移载到保管用货架15(即＂区域P5＂)(步骤S26)。之后，对成为空载的搬运车2进行与步骤S27b至S29b同样的移载、移动及移载动作(步骤S27a，S28a，S29a)。由此把应该出库的FOUP3移载到搬运车2。 

另外，在步骤S25中的入库之后，成为空载的搬运车2也可以不移载处于预出库端口的FOUP3，而是在空载的情况下在轨道1上向其他地方行走。在该场合，等待其他空载的搬运车2到达或等待到达了的其他搬运车2成为空载即可。

这样，根据本实施方式的储料器10，除出入库端口以外，还设定预出库端口，因而出入库端口处的出入库作业及驱动单元下的预出库端口所涉及的保管库内搬运作业可并行地执行。因此，出入库作业和保管库内搬运作业的综合作业效率显著地提高。 

另外，在本实施方式中，在位于最上层的2个区域P1及P2中，区域P1为出入库端口，区域P2为预出库端口，不过，也可以是区域P1为出库用的端口，区域P2为入库用的端口，最上层以外的区域为预出库端口。此外，在本实施方式中，储料器10是按载置部11移动的水平一方向的方位与轨道1的方位以直角相交的方式配置的，不过，也可以按水平一方向的方位与轨道1的方位平行的方式配置。 

其次，参照图7来说明保管库的配置。此处图7是表示第1实施方式所涉及的保管库的实用上的配置状态的平面图。 

如图7所示，保管库例如是在半导体元件制造工厂等工厂内，配置在沿着轨道设置的制造装置等装置间的间隙中。储料器10的厚度方向的尺寸是按与制造装置9间的间隙对应的方式来设计。在制造装置9间设有维护用的空间S1。在该空间S1中插入储料器10，从而除维护时以外，可有效利用称为多余空间的空间S1。多个制造装置9和配置在这些制造装置9间的储料器10是按轨道1与载置部移动的水平一方向以直角相交的方式配置。 

本发明不限于上述实施方式，可以在不违犯从权利要求及说明书整体领会到的发明要旨或思想的范围内适当地变更，与这样的变更伴随的保管库、组合多个这样的保管库而构成的保管库组及具备上述保管库而构成的带保管库搬运系统也包含在本发明的技术范围中。例如在上述实施方式中，举例说明了移载时从底侧支持FOUP的构成，不过，也可以采用对该保管库支持或保持设置在FOUP的顶部的凸缘的构成。

Claims (3)

1.一种带保管库搬运系统，具备：

用于与保管库之间进行货物的出入库的搬运车；

上述搬运车行走的轨道；以及

由多个上述保管库组合而成的保管库组，

上述保管库分别具备：

可从上述搬运车或向上述搬运车移载上述货物的端口；

可收纳或载置上述货物的多个货架部分；

可在上述多个货架部分和上述端口间以及上述多个货架部分的互相间移动上述货物的驱动单元；以及

按以下方式控制上述驱动单元的控制单元，即，在使上述货物从上述多个货架部分向上述端口移动的场合，先使其向作为上述多个货架部分之一的预出库用货架部分移动，将其在该预出库用货架部分暂时收纳或载置之后，使上述货物从上述预出库用货架部分向上述端口移动，

上述多个保管库，以上述端口排成一列并且所述驱动单元移动的水平一方向的方位相对于上述轨道的方位以直角相交的方式来排列，

上述多个货架部分在与上述水平一方向垂直的其余水平一方向仅配置一列，

上述端口配置在上述轨道的下方，

上述多个货架部分中位于与上述端口相同高度的至少一个货架部分作为上述预出库用货架部分起作用。

2.根据权利要求1所述的带保管库搬运系统，其特征在于，上述控制单元按以下方式控制上述驱动单元，即，在上述搬运车以不搬运上述货物的状态到达了或到达上述端口的场合或者上述搬运车以不搬运上述货物的状态在上述端口待命的场合，使上述货物从上述预出库用货架部分移动到上述端口。

3.根据权利要求1或2所述的带保管库搬运系统，其特征在于，

上述驱动单元具备：

具有可从其底侧支持上述货物的第1载置面的载置部；

可在水平一方向往复移动上述载置部的水平驱动部；以及

可在垂直方向往复移动上述载置部的垂直驱动部，

上述多个货架部分在上述垂直方向分为多层，在每层上在由上述水平驱动部可到达的水平位置按一个或多个来设置，并且均具有可与上述第1载置面之间互相移载上述货物地构成的第2载置面，

上述多个货架部分中位于上述多层的最上层的至少一个作为上述端口起作用。

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