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CN108290687B - 保管装置以及输送系统 - Google Patents

保管装置以及输送系统 Download PDF

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CN108290687B CN201680068103.9A CN201680068103A CN108290687B CN 108290687 B CN108290687 B CN 108290687B CN 201680068103 A CN201680068103 A CN 201680068103A CN 108290687 B CN108290687 B CN 108290687B
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Abstract

本发明的一个方式涉及一种保管装置，具备：一对收纳部，在前后方向上对置地配置，并具有载放前后宽度小于左右宽度的FOUP的多个货架；以及移载装置，收纳于收纳部之间，在收纳部的货架彼此之间移载FOUP。在收纳部的各个中，配置于相同高度位置的多个货架在左右方向上排列。移载装置以FOUP的前面朝向左右方向的状态在多个货架的各个上载放FOUP。

Description

保管装置以及输送系统
技术领域
本发明涉及保管容器的保管装置以及输送系统。
背景技术
以往，在半导体输送系统中，设置有用于暂时保管收容半导体晶片等且前后宽度小于左右宽度的容器(FOUP：Front Opening Unified Pod；前开式晶片传送盒)的保管装置(储料器)。作为保管装置，已知具备分别具有上下左右地排列的多个货架的前后一对收纳部的构造(参照下述专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2003-171003号公报
发明内容
发明要解决的课题
上述那样的保管装置一般在发货目的地(利用该保管装置的半导体制造工厂等)进行组装，但在发货目的地实施组装作业的情况下，与在发货方(该保管装置的制造工厂等)实施组装作业的情况相比，存在作业成本变高的倾向。因此，期望能够将在发货方组装后的保管装置直接或者作为尽量少的数量的组装单元向发货目的地搬入。但是，为了能够对在发货方组装后的保管装置进行发货，需要使保管装置小型化。
因此，本发明的一个方式的目的在于，提供能够通过提高容器的收纳密度来实现小型化的保管装置以及包括该保管装置的输送系统。
用于解决课题的手段
本发明的一个方式所涉及的保管装置具备：一对收纳部，在第1方向上对置地配置，具有载放前后宽度小于左右宽度的容器的多个货架；以及移载装置，设置于一对收纳部之间，在一对收纳部的货架彼此之间移载容器，在一对收纳部的各个中，配置于相同高度位置的多个货架在与第1方向正交的第2方向上排列，移载装置在多个货架的各个上以容器的前面朝向第2方向的状态载放容器。
在本发明的一个方式所涉及的保管装置中，在一对收纳部的各个中，以容器的前面朝向货架的排列方向(第2方向、即收纳部的长度方向)的方式载放容器。此处，容器的前后宽度小于容器的左右宽度。因而，根据上述保管装置，与容器以容器的侧面朝向货架的排列方向的方式载放于货架的构成相比，能够提高各收纳部的长度方向上的容器的收纳密度。其结果，能够缩短保管装置的长度方向上的全长而实现保管装置的小型化。
在上述保管装置中也可以为，移载装置使从一对收纳部中的一方的收纳部的货架接受到的容器水平回转180度，并将该容器朝一对收纳部中的另一方的收纳部的货架交接。根据该构成，能够使在上下方向上邻接的货架所载放的容器彼此的间隔变得比较小，因此能够提高各收纳部的高度方向上的容器的收纳密度。其结果，能够缩短保管装置的高度方向上的全长而实现保管装置的小型化。
在上述保管装置中也可以为，一对收纳部分别具有沿着第1方向输送容器的桥式输送车能够访问的装载口，一方的收纳部的装载口具有使载放于该装载口的容器水平回转180度的回转机构。在移载装置使容器水平回转180度而从一方的收纳部的货架朝另一方的收纳部的货架移载容器的情况下，一方的收纳部的货架所载放的容器的朝向与另一方的收纳部的货架所载放的容器的朝向彼此相反。另一方面，能够由桥式输送车输送的容器的朝向(相对于桥式输送车的行走方向的容器的朝向)预先确定。根据上述构成，通过在一方的收纳部的装载口设置回转机构的简单构成，能够使载放于各收纳部的装载口的容器的朝向(即，入库紧后的容器的朝向以及出库紧前的容器的朝向)与能够由桥式输送车输送的朝向一致。其结果，沿着第1方向行走的桥式输送车在任一个收纳部的装载口都能够利用于入库或者出库。由此，能够提高桥式输送车对容器的入库出库作业的效率。
在上述保管装置中也可以为，一对收纳部中的一方的收纳部的装载口是入库用的装载口，一对收纳部中的另一方的收纳部的装载口是出库用的装载口。根据该构成，能够将一对收纳部分为入库专用的收纳部与出库专用的收纳部。其结果，能够顺畅地进行桥式输送车对容器的入库出库，能够抑制桥式输送车产生堵塞。
在上述保管装置中也可以为，一对收纳部中的至少一方的收纳部具有：第1装载口，输送容器的桥式输送车在规定的停止位置使容器沿着上下方向移动，由此进行容器的入库或者出库；以及第2装载口，桥式输送车在上述规定的位置使容器沿着水平方向以及上下方向移动，由此进行容器的入库或者出库。根据该构成，能够将停止在规定的停止位置的桥式输送车所进行的入库出库作业(即，向第1装载口以及第2装载口的访问)作为一次连续的移载动作加以执行。例如，桥式输送车能够在向第1装载口以及第2装载口的一方入库了容器之后，从第1装载口以及第2装载口的另一方出库容器。其结果，能够顺畅地进行桥式输送车对容器的入库出库，能够抑制桥式输送车产生堵塞。
本发明的一个方式所涉及的输送系统包括：上述保管装置；以及桥式输送车，能够访问一对收纳部中的至少一方的收纳部，在容器的前面朝向第2方向的状态下沿着第1方向输送该容器。在上述输送系统中，基于上述的理由，能够缩短保管装置的长度方向上的全长而实现保管装置的小型化。此外，在上述输送系统中，由桥式输送车输送的容器与载放于收纳部的容器都成为容器的前面朝向第2方向的状态。由此，无需桥式输送车的行走方向与一对收纳部彼此对置的方向正交的情况下所需要的机构等(例如使载放于收纳部的容器水平回转90度的机构等)。因而，根据如上述那样配置桥式输送车与保管装置的输送系统，能够简化保管装置的构造。
发明的效果
根据本发明的一个方式，能够提供能够通过提高容器的收纳密度来实现小型化的保管装置以及包括该保管装置的输送系统。
附图说明
图1是第1实施方式的保管装置的平面剖视图。
图2是沿着图1的II-II线的剖视图。
图3是沿着图1的III-III线的局部剖视图。
图4是沿着图1的IV-IV线的局部剖视图。
图5是图1的保管装置的侧视图。
图6是第2实施方式的保管装置的局部剖视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。在附图的说明中，对相同或者等同的要素标注相同的符号，并省略重复的说明。另外，在以后的说明中，将图1的纸面中的右方设为前方、左方设为后方、上方设为右方、下方设为左方。此外，将朝向图1的纸面近前侧的方向设为上方、朝向纸面里侧的方向设为下方。
[第1实施方式]
如图1～图5所示，第1实施方式的保管装置1能够收纳多个FOUP90，该FOUP90作为收容多个半导体晶片的容器。FOUP90是在SEMI标准中规定的、在微环境方式的半导体制造工厂中使用且以300mm半导体晶片的输送以及保管等为目的的装载体。在本实施方式中，作为一例，FOUP90具备主体部91、门92、凸缘部93以及一对把手部94、94。主体部91是收容半导体晶片的箱状的框体。在主体部91的前面侧设置有用于取出放入半导体晶片的开口，主体部91的背面侧在俯视时呈带有圆弧的弯曲形状(参照图1)。门92是堵塞主体部91的开口的部件，相对于主体部91拆装自如。凸缘部93设置于主体部91的上表面。凸缘部93是由后述的桥式输送车10的把持机构11把持的部分。把手部94、94设置于主体部91的两侧面。作业者例如从主体部91的背面侧抱住FOUP90，用双手抓住把手部94而将FOUP90抬起，由此能够容易地搬运FOUP90。此外，FOUP90的前后宽度w1小于FOUP90的左右宽度w2。
保管装置1在大致长方体状的框体2内具备一对收纳部3A、3B、以及设置于收纳部3A与收纳部3B之间的移载装置4。如图1以及图2所示，框体2具备在前后方向(第1方向)上对置的侧壁部21、21、在左右方向(第2方向)上对置的侧壁部22、22、以及堵塞侧壁部21、21和侧壁部22、22的上表面的顶板部23。此外，沿着侧壁部21在左右方向上以规定间隔立设有支柱24。框体2通过侧壁部21、21、侧壁部22、22以及顶板部23设置成大致长方体状。但是，框体2成为装载口32A、32B朝外部开放的形状，以便能够在后述的装载口32A、32B与桥式输送车10之间进行FOUP90的移载(参照图3以及图4)。在本实施方式中，作为一例，在框体2上设置有使装载口32A、32B的至少上方开放的开口S，以使桥式输送车10能够从上方访问装载口32A、32B。
如图1以及图2所示，收纳部3A、3B沿着各侧壁部21、21在前后方向上对置地配置。收纳部3A沿着前方侧的侧壁部21配置，收纳部3B沿着后方侧的侧壁部21配置。各收纳部3A、3B具有供FOUP90载放的多个货架31。在各收纳部3A、3B中，多个货架31在上下方向以及左右方向上排列。即，多个货架31在上下方向上设置为多层。此外，配置于相同高度位置的多个货架31在左右方向上排列。
在各货架31上，以FOUP90的前面(即，对于主体部91设置有门92的一侧的面)朝向左右方向的状态载放FOUP90。如图1所示，在本实施方式中，作为一例，在收纳部3A的货架31上，以FOUP90的前面朝向右方的状态载放FOUP90。此外，在收纳部3B的货架31上，以FOUP90的前面朝向左方的状态载放FOUP90。如上所述，FOUP90的前后宽度w1小于FOUP90的左右宽度w2。因而，通过如上述那样将FOUP90载放于货架31，由此与以FOUP90的侧面朝向货架31的排列方向(即左右方向)的方式将FOUP90载放于货架31的情况相比，能够提高各收纳部3A、3B的左右方向上的FOUP90的收纳密度。其结果，能够缩短保管装置1的左右方向上的全长而实现保管装置1的小型化。
在本实施方式中，作为一例，各货架31由对FOUP90的底面的前面侧的一部分进行支承的第1货架部件31a、以及对FOUP90的底面的背面侧的一部分进行支承的第2货架部件31b构成。第1货架部件31a以及第2货架部件31b分别安装于支柱24。
具体而言，如图1所示，构成收纳部3A的货架31的第1货架部件31a以及第2货架部件31b分别安装于支柱24的左侧面以及右侧面。即，通过安装于一个支柱24的第1货架部件31a、与安装于处于该支柱24左侧的一个支柱24的第2货架部件31b的组，构成收纳部3A的一个货架31。另一方面，构成收纳部3B的货架31的第1货架部件31a以及第2货架部件31b分别安装于支柱24的右侧面以及左侧面。通过安装于一个支柱24的第1货架部件31a、与安装于处于该支柱24右侧的一个支柱24的第2货架部件31b的组，构成收纳部3B的一个货架31。在构成一个货架31的第1货架部件31a与第2货架部件31b之间设置有规定的间隔，以便后述的移载装置4的叉子45a能够进入而进行FOUP90的移载(抓货或者卸货)。
移载装置4是在收纳部3A、3B的货架31彼此之间移载FOUP90的装置。移载装置4通过以下所述的机构在多个货架31上分别以FOUP90的前面朝向左右方向的状态载放FOUP90。如图1以及图2所示，移载装置4具备：沿着左右方向铺设于收纳部3A、3B之间的一对轨道40、40；能够沿着该轨道40、40在左右方向上移动的台车41；设置在台车41上的旋转台42；立设在旋转台42上的桅杆43；相对于桅杆43安装成能够升降驱动的升降台44；以及安装在升降台44上的移载机构45。另外，在图2中，对于移载对象的FOUP90以外的FOUP90省略图示。
在台车41上设置有行走车轮41a、41a。行走车轮41a、41a支承在轨道40、40上，由此台车41能够沿着轨道40、40行走。移载装置4通过未图示的驱动机构使台车41行走，由此能够决定移载机构45的左右方向上的位置。具体而言，移载装置4通过台车41的行走控制，能够使移载机构45移动至与进行FOUP90的移载的对象的货架31对应的左右方向上的位置。
移载装置4通过未图示的驱动机构使升降台44在上下方向上升降，由此能够决定移载机构45的上下方向上的位置。具体而言，移载装置4通过升降台44的升降控制，能够使移载机构45移动至与进行FOUP90的移载的对象的货架31对应的上下方向上的位置。
移载装置4通过未图示的驱动机构使旋转台42旋转，由此能够使桅杆43以及升降台44与旋转台42一起水平地旋转，并决定移载机构45所对置的方向(即，移载机构45能够访问的方向)。例如，如图1以及图2所示，在进行载放于收纳部3B的货架31的FOUP90的抓货或者FOUP90向收纳部3B的货架31的卸货的情况下，移载装置4通过旋转台42的旋转控制使旋转台42旋转，以使移载机构45与收纳部3B对置。
移载机构45例如是伸缩自如的机器人手，在其前端部设置有叉子45a。叉子45a能够从下方抓起并支承载放于货架31的FOUP90。例如，在叉子45a的上表面设置有朝上方突出的突起(未图示)，并且在FOUP90的底面上设置有能够供该突起插入的孔部(未图示)。即，叉子45a的上表面的突起插入到FOUP90的底面的孔部中，由此FOUP90被定位于规定的位置以免FOUP90从叉子45a滑落。
移载装置4构成为，通过上述的机构使从一方的收纳部(例如收纳部3A)的货架31接受到的FOUP90水平旋转180度而向另一方的收纳部(例如收纳部3B)的货架31交接。以下，以移载装置4将从收纳部3B的货架31接受到的FOUP90向收纳部3A的货架31交接的情况为例，对移载装置4的移载动作的一例进行说明。
首先，移载装置4通过台车41的行走控制、升降台44的升降控制以及旋转台42的旋转控制，使移载机构45移动至与载放有抓货对象的FOUP90的收纳部3B的货架31对应的抓货位置。接着，移载装置4使移载机构45伸长，使叉子45a进入到抓货对象的FOUP90的下方。接着，移载装置4使升降台44上升，以使叉子45a通过第1货架部件31a与第2货架部件31b之间而将抓货对象的FOUP90抓起。之后，移载装置4使移载机构45收缩，由此取入FOUP90。
接着，移载装置4使旋转台42水平旋转180度，以使移载机构45与收纳部3A对置。由此，叉子45a上的FOUP90被水平旋转180度。即，在被叉子45a抓起之前的状态(载放于收纳部3B的货架31的状态)下前面朝向左方的FOUP90变化为前面朝向右方的状态。接着，移载装置4通过台车41的行走控制以及升降台44的升降控制，使移载机构45移动至与FOUP90的移载目的地的收纳部3A的货架31对应的卸货位置。接着，移载装置4使移载机构45伸长，使叉子45a上的FOUP90进入到移载目的地的货架31的上方。接着，移载装置4使升降台44下降，以使叉子45a通过构成该货架31的第1货架部件31a与第2货架部件31b之间。由此，FOUP90从叉子45a交接到移载目的地的货架31。
另外，在移载装置4在相同的收纳部(收纳部3A或者收纳部3B)内从一个货架31向其他货架31移载FOUP90的情况下，不进行基于旋转台42的180度的水平回转，因此在移载的前后FOUP90的朝向不变化。
根据上述的旋转式的移载装置4，能够使叉子45a的厚度比较小，其结果，能够使载放于在上下方向上邻接的货架31的FOUP90彼此的间隔比较小。即，能够使在上下方向上邻接的货架31彼此的间隔比较小。由此，能够提高各收纳部3A、3B的高度方向上的FOUP90的收纳密度。其结果，能够缩短保管装置1的高度方向上的全长而实现保管装置1的小型化。
如图3以及图4所示，在包括保管装置1以及桥式输送车10的输送系统100中，作为一例，桥式输送车用的轨道50以通过在各收纳部3A、3B中在左右方向上排列的货架31的列(在本实施方式中，作为一例为5列)中的最左侧的列的上方的方式，沿着前后方向铺设。轨道50例如铺设于设置有保管装置1的半导体制造工厂的顶棚附近。桥式输送车10例如是OHT(Overhead Hoist Transfer：高架提升输送机)，在悬吊于轨道50的状态下沿着轨道50朝一个方向(在本实施方式中，作为一例为从前侧朝向后侧的方向)行走。即，在本实施方式中，收纳部3A配置于桥式输送车10的行走方向上游侧，收纳部3B配置于桥式输送车10的行走方向下游侧。
桥式输送车10能够访问一对收纳部3A、3B中的至少一方的收纳部(在本实施方式中，作为一例为双方的收纳部3A、3B)(详细情况将后述)。此外，桥式输送车10以FOUP90的前面朝向左右方向(第2方向)的状态沿着前后方向(第1方向)输送FOUP90。在本实施方式中，作为一例，桥式输送车10以FOUP90的前面朝向右侧的状态沿着从前侧朝向后侧的方向输送FOUP90。
桥式输送车10具备：把持机构11，能够把持FOUP90的凸缘部93；升降机构13，通过与把持机构11连接的带12的送出、卷取而使把持机构11能够升降；以及水平移动机构14，能够使升降机构13在与桥式输送车10的行走方向(在本实施方式中为“前后方向”)正交的方向(在本实施方式中为“左右方向”)上水平移动。
如图1以及图3所示，在收纳部3A的最左侧的列的最上层(比其他列的最上层低一层的层)设置有装载口32A，该装载口32A的上方开放以便桥式输送车10能够访问。具体而言，桥式输送车10在装载口32A的上方停止，通过升降机构13使把持机构11升降，由此能够在与装载口32A之间进行FOUP90的移载(卸货或者抓货)。另外，在本实施方式中，作为一例，装载口32A与收纳部3A的其他货架31相同，由第1货架部件31a以及第2货架部件31b构成。
如图1以及图4所示，在收纳部3B的最左侧的列的最上层(比其他列的最上层低一层的层)设置有装载口32B，该装载口32B的上方开放以便桥式输送车10能够访问。具体而言，桥式输送车10在装载口32B的上方停止，通过升降机构13使把持机构11升降，由此能够在与装载口32B之间进行FOUP90的移载(卸货或者抓货)。装载口32B具有使载放在该装载口32B上的FOUP90水平回转180度的回转机构。
在本实施方式中，作为一例，装载口32B由能够水平回转180度的转台(回转机构)33、以及安装在转台33上的一对支承部34、34构成。支承部34、34是彼此隔开规定间隔设置的长方体状的部件。支承部34、34在通常状态(能够进行FOUP90的移载的状态)下沿着前后方向延伸。由此，FOUP90的底面的前面侧的一部分以及背面侧的一部分由支承部34、34支承。此外，支承部34、34的间隔成为能够供移载装置4的叉子45a进入而进行FOUP90的移载(抓货或者卸货)的大小。转台33在支承部34、34上载放有FOUP90的状态下回转，由此使FOUP90的朝向旋转180度。
通过在装载口32B设置转台33，由此能够将入库到装载口32A的FOUP90从装载口32B出库，或者将入库到装载口32B的FOUP90从装载口32A出库。以下，对该情况进行具体说明。此外，在本实施方式中，作为一例，桥式输送车10相对于行走方向(从前侧朝向后侧的方向)使FOUP90的前面朝向右侧而输送FOUP90。
首先，对将入库到装载口32A的FOUP90从装载口32B出库的情况进行说明。在该情况下，从停止在装载口32A的上方的桥式输送车10向装载口32A交接FOUP90，由此进行FOUP90向装载口32A的入库。在入库紧后，载放于装载口32A的FOUP90成为该FOUP90的前面朝向右方的状态(参照图1以及图3)。
入库到装载口32A的FOUP90，在基于移载装置4向收纳部3B的移载过程中，通过移载装置4的水平回转(旋转台42的旋转动作)而成为FOUP90的前面朝向左方的状态(参照图1的从收纳部3B的左侧起第2～4列的FOUP90)。即，入库到装载口32A的FOUP90为，在为了最终出库而移载至装载口32B时，成为朝向与能够由桥式输送车10输送的朝向相反侧的状态(即，FOUP90的前面朝向左方的状态)。因此，当通过移载装置4向装载口32B移载FOUP90时，转台33水平回转180度。由此，能够使装载口32B上的FOUP90的朝向与能够由桥式输送车10输送的朝向(即，FOUP90的前面朝向右方的状态)一致(参照图1以及图4)。其结果，桥式输送车10能够对载放于装载口32B的FOUP90进行出库。
接着，对将入库到装载口32B的FOUP90从装载口32A出库的情况进行说明。在该情况下，从停止在装载口32B的上方的桥式输送车10向装载口32B交接FOUP90，由此进行FOUP90向装载口32B的入库。在入库紧后，载放于装载口32B的FOUP90成为该FOUP90的前面朝向右方的状态(参照图1以及图4)。
此处，在不使入库到装载口32B的FOUP90水平回转180度的情况下，该FOUP90在基于移载装置4向收纳部3A的移载过程中，通过移载装置4的水平回转(旋转台42的旋转动作)而成为FOUP90的前面朝向左方的状态。即，入库到装载口32B的FOUP90为，在为了最终出库而移载至装载口32A时，成为朝向与能够由桥式输送车10输送的朝向相反侧的状态(即，FOUP90的前面朝向左方的状态)。
因此，转台33使入库到装载口32B的FOUP90水平回转180度。由此，该FOUP90成为FOUP90的前面朝向左方的状态。其结果，该FOUP90在基于移载装置4向收纳部3A移载的过程中，成为FOUP90的前面朝向右方的状态。即，入库到装载口32B的FOUP90，在为了最终出库而移载至装载口32A时，成为能够由桥式输送车10输送的朝向。其结果，桥式输送车10能够对载放于装载口32A的FOUP90进行出库。
如上所述，通过一方的收纳部(在本实施方式中，作为一例为收纳部3B)的装载口32B具备转台33的简单构成，能够使载放于各收纳部3A、3B的装载口32A、32B的FOUP90的朝向(即，入库紧后的FOUP90的朝向以及出库紧前的FOUP90的朝向)与能够由桥式输送车10输送的朝向一致。其结果，桥式输送车10能够将任一个收纳部3A、3B的装载口32A、32B利用于入库或者出库。由此，能够提高桥式输送车10所进行的FOUP90的入库出库作业的效率。
此处，也可以将装载口32A、32B中的一方的装载口设为入库用的装载口，将另一方的装载口设为出库用的装载口。根据该构成，能够将收纳部3A、3B分为入库专用的收纳部与出库专用的收纳部。其结果，能够顺畅地进行桥式输送车10对FOUP90的入库出库，能够抑制桥式输送车10产生堵塞。例如，也可以将桥式输送车10的行走方向上游侧的收纳部(在本实施方式中为收纳部3A)的装载口32A设为入库用的装载口，将桥式输送车10的行走方向下游侧的收纳部(在本实施方式中为收纳部3B)的装载口32B设为出库用的装载口。在该情况下，1台桥式输送车10能够通过一次连续的行走动作来进行FOUP90的入库以及出库的双方。具体而言，1台桥式输送车10能够在将FOUP90卸货(入库)到上游侧的装载口32A之后，从下游侧的装载口32B对FOUP90进行抓货(出库)。其结果，能够提高桥式输送车10的运用效率。
如图5所示，在本实施方式中，作为一例，在左侧的侧壁部22中的、与收纳部3A的最左侧的列的处于规定高度位置的特定货架31A上的空间邻接的部分设置有开口部22a，并设置有堵塞该开口部22a的闸门22b。此处，载放于货架31A的FOUP90成为前面朝向右方的状态。因此，作业者通过打开闸门22b(在本实施方式中，作为一例为朝后方滑动)，由此能够访问载放于货架31A的FOUP90。作业者从背面侧抱住该FOUP90，并用双手抓住一对把手部94，由此能够容易地取出该FOUP90。此外，作业者在将FOUP90向货架31A收纳的情况下，通过与取出FOUP90时的动作相反的动作，能够容易地将FOUP90收纳到货架31A上。如此，在保管装置1中，使FOUP90的前面朝向左右方向地载放于货架31，因此通过在侧壁部22设置开口部22a的简单构成，就能够构成作业者能够容易地取出放入FOUP90的手动装载口。具体而言，无需在保管装置1内部设置变更FOUP90的朝向的机构等，就能够构成能够从保管装置1的端部侧取出放入FOUP90的手动装载口。
在以上所述的保管装置1中，在收纳部3A、3B中分别以FOUP90的前面朝向货架31的排列方向(即，收纳部3A、3B的长度方向)的方式载放FOUP90。此处，FOUP90的前后宽度w1小于FOUP90的左右宽度w2。因而，根据保管装置，与以FOUP90的侧面朝向货架31的排列方向的方式将FOUP90载放于货架31的构成相比，能够提高各收纳部3A、3B的长度方向上的FOUP90的收纳密度。其结果，能够缩短保管装置1的长度方向上的全长而实现保管装置1的小型化。
此外，移载装置4使从收纳部3A、3B中的一方的收纳部的货架31接受到的FOUP90水平回转180度而向另一方的收纳部的货架31交接。如上所述，通过使移载装置4成为这样的构造，能够使载放于在上下方向上邻接的货架31的FOUP90彼此的间隔比较小。由此，能够提高各收纳部3A、3B的高度方向上的FOUP90的收纳密度。其结果，能够缩短保管装置1的高度方向上的全长而实现保管装置1的小型化。
此外，收纳部3A、3B分别具有装载口32A、32B，沿着从前侧朝向后侧的方向(第1方向)行走而输送FOUP90的桥式输送车10能够访问该装载口32A、32B。收纳部3A、3B中的一方的收纳部的装载口(在本实施方式中，作为一例为收纳部3B的装载口32B)具有使载放于该装载口32B的FOUP90水平回转180度的转台33。移载装置4在从收纳部3A的货架31朝收纳部3B的货架31移载FOUP90时，使FOUP90水平回转180度，因此载放于收纳部3A的货架31的FOUP90的朝向与载放于收纳部3B的货架31的FOUP90的朝向彼此相反。在移载装置4从收纳部3B的货架31朝收纳部3A的货架31移载FOUP90的情况下也是相同的。另一方面，预先确定能够由桥式输送车10输送的FOUP90的朝向(FOUP90相对于桥式输送车10的行走方向的朝向)。根据上述构成，通过在收纳部3B的装载口32B设置转台33的简单构成，就能够使载放于各收纳部3A、3B的装载口32A、32B的FOUP90的朝向(即，入库紧后的FOUP90的朝向以及出库紧前的FOUP90的朝向)与能够由桥式输送车10输送的朝向一致。其结果，桥式输送车10能够将任一个收纳部3A、3B的装载口32A、32B利用于入库或者出库。由此，能够提高桥式输送车10对FOUP90的入库出库作业的效率。
此外，输送系统100包括保管装置1以及桥式输送车10，该桥式输送车10能够访问一对收纳部3A、3B中的至少一方的收纳部(在本实施方式中，作为一例为双方的收纳部3A、3B)，并以FOUP90的前面朝向左右方向的状态沿着前后方向输送该FOUP90。在输送系统100中，基于上述的理由，能够缩短保管装置1的长度方向以及上下方向的各个方向上的全长而实现保管装置1的小型化。此外，在输送系统100中，由桥式输送车10输送的FOUP90与载放于收纳部3A、3B的FOUP90都成为FOUP90的前面朝向左右方向的状态。由此，无需在桥式输送车10的行走方向与收纳部3A、3B彼此对置的方向正交的情况下所需要的机构等(例如，使载放于收纳部3A、3B的FOUP90水平回转90度的机构等)。因而，根据如上述那样配置保管装置1与桥式输送车10的输送系统100，能够简化保管装置1的构造。
[第2实施方式]
使用图6对第2实施方式的保管装置1A进行说明。保管装置1A与保管装置1的不同点主要在于，构成为能够将收纳部3A的从左侧起第2列的最上层的货架利用为用于FOUP90的入库或者出库的装载口32C。在保管装置1A中，收纳部3A具有两个装载口32A、32C。装载口32A与装载口32C被设置为高度位置(上下方向上的位置)以及水平位置(左右方向上的位置)的双方都互不相同。具体而言，装载口32C位于比装载口32A靠上一层的靠右侧一列。
作为一例，在保管装置1A中，框体2形成为，载放于收纳部3A的从左侧起第2列的最上层的货架(装载口32C)的FOUP90的上方以及左侧方开放。具体而言，顶板部23以及支柱24的一部分被切除。由此，停止在装载口32A的上方的桥式输送车10能够通过所谓的横向移载而访问装载口32C。具体而言，如图6所示，停止在装载口32A的上方的桥式输送车10通过水平移动机构14使升降机构13朝右方移动，并通过升降机构13使把持机构11升降，由此能够在与装载口32C之间进行FOUP90的移载。
如此，收纳部3A具有如下的装载口(第1装载口)32A：桥式输送车10在装载口32A上方的位置(规定的停止位置)使FOUP90沿着上下方向移动，由此进行FOUP90的入库或者出库。此外，收纳部3A具有如下的装载口(第2装载口)32C：桥式输送车10在装载口32A上方的位置使FOUP90沿着水平方向以及上下方向移动，由此进行FOUP90的入库或者出库。根据该构成，能够将停止在规定的停止位置的桥式输送车10所进行的入库出库作业(即，向装载口32A以及装载口32C的访问)作为一次连续的移载动作来执行。例如，桥式输送车10能够在朝装载口32A以及装载口32C的一方入库了FOUP90之后，从装载口32A以及装载口32C的另一方出库FOUP90。其结果，能够顺畅地进行桥式输送车10对FOUP90的入库出库，能够抑制桥式输送车10产生堵塞。此外，在包括保管装置1A与桥式输送车10的输送系统100A中，也能够发挥与上述的输送系统100相同的效果。
以上，对本发明的一个方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式。例如，可以考虑到如下情况：在设置于一方的收纳部的一个以上的装载口进行FOUP90的入库以及出库的双方，在另一方的收纳部中不进行FOUP90的入库以及出库的情况(例如，如第2实施方式那样成为在一方的收纳部(在上述例子中为收纳部3A)设置两个装载口32A、32C的构成的情况等)。在这样的情况下，不会产生使入库到一方的收纳部的装载口的FOUP90从另一方的收纳部的装载口出库的状况(或者使入库到另一方的收纳部的装载口的FOUP90从一方的收纳部的装载口出库的状况)，因此也可以不像第1实施方式那样在一个装载口设置转台(回转机构)。
此外，也可以采用将上述的第1实施方式以及第2实施方式的构成组合的构成。在该情况下构成为，在一方的收纳部(在上述例子中为收纳部3A)侧设置两个装载口32A、32C，在另一方的收纳部(在上述例子中为收纳部3B)侧设置一个装载口32B。
此外，本发明的一个方式所涉及的输送系统所输送的容器并不限定于收容有多个半导体晶片的FOUP90，也可以是收纳有玻璃晶片、中间掩模等的其他容器。此外，本发明的一个方式所涉及的输送系统并不限定于半导体制造工厂，也可以应用于其他设施。
符号的说明
1、1A：保管装置，2：框体，3A、3B：收纳部，4：移载装置，10：桥式输送车，31、31A：货架，32A、32B、32C：装载口，33：转台(回转机构)，90：FOUP(容器)，100、100A：输送系统。

Claims (6)

1.一种保管装置，具备：
一对收纳部，在作为水平方向的第1方向上对置地配置，具有载放前后宽度小于左右宽度的容器的多个货架；以及
移载装置，设置于上述一对收纳部之间，在上述一对收纳部的上述货架彼此之间移载上述容器，
在上述一对收纳部的各个中，配置于相同高度位置的上述多个货架在与上述第1方向正交的作为水平方向的第2方向上排列，
上述移载装置在上述多个货架的各个上以上述容器的前面朝向上述第2方向的状态载放上述容器，
上述一对收纳部分别具有沿着上述第1方向行走而输送上述容器的桥式输送车能够访问的装载口。
2.如权利要求1所述的保管装置，其中，
上述移载装置使从上述一对收纳部中的一方的收纳部的上述货架接受到的上述容器水平回转180度，并将该容器朝上述一对收纳部中的另一方的收纳部的上述货架交接。
3.如权利要求2所述的保管装置，其中，
一方的上述收纳部的上述装载口具有使载放于该装载口的上述容器水平回转180度的回转机构。
4.如权利要求3所述的保管装置，其中，
上述一对收纳部中的一方的收纳部的上述装载口是入库用的装载口，
上述一对收纳部中的另一方的收纳部的上述装载口是出库用的装载口。
5.如权利要求1或2所述的保管装置，其中，
上述一对收纳部中的至少一方的上述收纳部具有：
第1装载口，输送上述容器的桥式输送车在规定的停止位置使上述容器沿着上下方向移动，由此进行上述容器的入库或者出库；以及
第2装载口，上述桥式输送车在上述规定的停止位置使上述容器沿着水平方向以及上下方向移动，由此进行上述容器的入库或者出库。
6.一种输送系统，包括：
权利要求1所述的保管装置；以及
上述桥式输送车，
上述桥式输送车以上述容器的前面朝向上述第2方向的状态输送该容器。
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