CH464153A - Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleitermaterial - Google Patents
Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von HalbleitermaterialInfo
- Publication number
- CH464153A CH464153A CH1308265A CH1308265A CH464153A CH 464153 A CH464153 A CH 464153A CH 1308265 A CH1308265 A CH 1308265A CH 1308265 A CH1308265 A CH 1308265A CH 464153 A CH464153 A CH 464153A
- Authority
- CH
- Switzerland
- Prior art keywords
- crucible
- semiconductor material
- free zone
- zone melting
- melting
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
- C30B13/32—Mechanisms for moving either the charge or the heater
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
- H05B6/02—Induction heating
- H05B6/22—Furnaces without an endless core
- H05B6/30—Arrangements for remelting or zone melting
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Thermotherapy And Cooling Therapy Devices (AREA)
- General Induction Heating (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CZ574964 | 1964-10-17 | ||
CZ228165 | 1965-04-07 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CH464153A true CH464153A (de) | 1968-10-31 |
Family
ID=25746904
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CH1308265A CH464153A (de) | 1964-10-17 | 1965-09-22 | Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleitermaterial |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3410945A (de) |
CH (1) | CH464153A (de) |
GB (1) | GB1078706A (de) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3639718A (en) * | 1970-06-15 | 1972-02-01 | Little Inc A | Pressure- and temperature-controlled crystal growing apparatus |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2972525A (en) * | 1953-02-26 | 1961-02-21 | Siemens Ag | Crucible-free zone melting method and apparatus for producing and processing a rod-shaped body of crystalline substance, particularly semiconductor substance |
NL260305A (de) * | 1960-01-20 |
-
1965
- 1965-09-15 GB GB39358/65A patent/GB1078706A/en not_active Expired
- 1965-09-22 CH CH1308265A patent/CH464153A/de unknown
- 1965-10-08 US US494025A patent/US3410945A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB1078706A (en) | 1967-08-09 |
US3410945A (en) | 1968-11-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CH444091A (de) | Vorrichtung zum Schneiden von biegsamen Material | |
CH506187A (de) | Vorrichtung zum epitaktischen Abscheiden von Halbleitermaterial | |
AT259354B (de) | Vorrichtung zum Verbinden von Materialbahnen | |
CH365362A (de) | Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenziehen von stabförmigem Halbleitermaterial | |
CH380384A (de) | Einrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von lotrecht stehenden Stäben aus Halbleitermaterial | |
AT249116B (de) | Verfahren zum Ziehen von einkristallinem Halbleitermaterial | |
CH416558A (de) | Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleitermaterial | |
CH375527A (de) | Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen | |
CH456798A (de) | Vorrichtung zum elektrolytischen Abtragen von Material | |
DE1913881A1 (de) | Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen | |
CH464152A (de) | Verfahren zur Wärmebehandlung von Halbleitereinkristallen | |
CH433191A (de) | Verfahren zum Herstellen von einkristallinem Halbleitermaterial | |
CH440225A (de) | Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen | |
CH421902A (de) | Verfahren zum tiegelfreien Zonenschmelzen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
CH430656A (de) | Verfahren zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleitermaterial, insbesondere von Silizium | |
CH435207A (de) | Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen | |
CH407062A (de) | Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleitermaterial | |
CH464153A (de) | Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleitermaterial | |
CH540716A (de) | Vorrichtung zum induktiven tiegellosen Zonenschmelzen von Stäben | |
CH420069A (de) | Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleitermaterial | |
CH388636A (de) | Einrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterstäben | |
CH407959A (de) | Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen | |
CH438229A (de) | Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen | |
CH432475A (de) | Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen | |
CH438219A (de) | Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen |