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CH388636A - Einrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterstäben - Google Patents

Einrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterstäben

Info

Publication number
CH388636A
CH388636A CH665960A CH665960A CH388636A CH 388636 A CH388636 A CH 388636A CH 665960 A CH665960 A CH 665960A CH 665960 A CH665960 A CH 665960A CH 388636 A CH388636 A CH 388636A
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
crucible
free zone
zone melting
semiconductor rods
rods
Prior art date
Application number
CH665960A
Other languages
English (en)
Inventor
Wolfgang Dr Keller
Original Assignee
Siemens Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Ag filed Critical Siemens Ag
Publication of CH388636A publication Critical patent/CH388636A/de

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B13/00Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
    • C30B13/16Heating of the molten zone
    • C30B13/20Heating of the molten zone by induction, e.g. hot wire technique

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
  • Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
CH665960A 1959-05-14 1960-06-10 Einrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterstäben CH388636A (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DES62993A DE1226984B (de) 1959-05-14 1959-05-14 Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterstaeben
DES0063624 1959-06-25

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH388636A true CH388636A (de) 1965-02-28

Family

ID=25995694

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH502160A CH378546A (de) 1959-05-14 1960-05-02 Einrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterstäben, insbesondere Siliziumstäben
CH665960A CH388636A (de) 1959-05-14 1960-06-10 Einrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterstäben

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH502160A CH378546A (de) 1959-05-14 1960-05-02 Einrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterstäben, insbesondere Siliziumstäben

Country Status (4)

Country Link
US (1) US3053918A (de)
CH (2) CH378546A (de)
DE (1) DE1226984B (de)
GB (2) GB869461A (de)

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Also Published As

Publication number Publication date
DE1408558B2 (de) 1972-07-06
US3053918A (en) 1962-09-11
GB876467A (en) 1961-09-06
DE1408558A1 (de) 1969-12-11
CH378546A (de) 1964-06-15
DE1226984B (de) 1966-10-20
GB869461A (en) 1961-05-31

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