CH165549A - Einrichtung zum Abbilden von Gegenständen. - Google Patents

Description

      Einrielitung    zum Abbilden von Gegenständen.    Da Elektronenstrahlen im feldfreien  Raum ähnlich den Lichtstrahlen geradlinig  verlaufen, erhält man auf einem Leucht  schirm ein vergrössertes     Schattenbild,    wenn  man einen für die Strahlen undurchdring  lichen Gegenstand in ein divergentes Strah  lenbündel bringt.  



  Bei     gathodenstrahloszillographen    wen  det man häufig elektromagnetische Felder  an, die den Strahl konzentrisch umgeben und  eine     Striktion    des Strahls bewirken sollen.  Diese Felder wirken auf den Strahl ähnlich  ein wie eine optische Linse auf einen Licht  strahl; sie können das Strahlenbündel kon  vergent oder divergent machen. Infolge  dessen erhält man bei Anwendung derartiger       Striktionsfelder    auf dem Leuchtschirm unter  Umständen ebenfalls ein vergrössertes oder  auch ein verkleinertes Leuchtbild des Ka  thodenstrahls.  



  Diese Vergrösserung von     Schattenbildern          ist        bisher    nur als technisch weniger wich-         tige    Nebenerscheinung der Elektronenstrah  len betrachtet worden. Die Verkleinerung  hat man bisher nur dazu ausgenutzt, einen  scharfen Leuchtfleck (Brennpunkt) zu er  halten.  



  Nach der Erfindung wird die den Linsen  der Optik ähnliche Wirkung von Kraft  feldern, die einen     Elektrodenstrahl    konzen  trisch umgeben und radial beeinflussen, dazu  ausgenutzt, Gegenstände entsprechend dem  Zweck der optischen Lupen und Mikroskope  zu vergrössern. Dazu wird der zu ver  grössernde Gegenstand einem Elektronen  strahl     bezw.    einem Strahlenbündel ausgesetzt  und das Bündel entweder vor oder hinter  dem Gegenstand durch linsenähnlich wir  kende Felder konvergent oder divergent ge  macht.  



  Auf der Zeichnung ist in den     Fig.    1 bis  5 das Prinzip der Erfindung erläutert. In  den     Fig.    6 bis 11 sind verschiedene Ausfüh  rungsbeispiele dargestellt.           Fig.    1 zeigt eine magnetische     Striktions-          spule,    deren Breite klein ist gegenüber der  Bahnlänge des     Kathodenstrahlbündels.    Die  Strahlen werden durch das magnetische Feld  zu der mit der     Spulenachse    zusammenfallen  den Strahlenachse gedrängt, so dass die  Strahlen in einem     Brennfleck    oder in einer       Brennlinie,    bei homogenen Strahlen in einem  Brennpunkt zusammenlaufen.  



  Die gleiche     Wirkung    kann man aber auch  durch     statisch    aufgeladene Blenden erzielen,  die im wesentlichen     symmetrisch    um die  Strahlrichtung verlaufen. In     Fig.    2 ist eine  derartige Blende dargestellt. Das elektro  statische Feld ist durch seine Kraftlinien       wiedergegeben.    Die     Aufladung    der Blende a  ist     negativ    angenommen.

   Wenn die Elek  tronen eines     Kathodenstrahlbündels    durch  die Blende     strömen,    so werden sie von ihr       abgestossen.    Sie werden daher aus ihrer     ur-          _        sprünglichen    Bahn, die parallel verlaufend       angenommen    ist, nach     innen    abgelenkt und  zu einem konvergenten Bündel mit dem       Brennpunkt    o vereinigt, den sie divergent  wieder verlassen.

   Da die radiale Kompo  nente der Feldstärke der Blende in ihrer  Achse Null ist und nach aussen zunächst  linear zunimmt, so werden die Elektronen  strahlen     umso    stärker abgelenkt, je weiter  sie von der Strahlen- und     Blendenachse    ent  fernt sind.     Hierdurch        wird    bewirkt, dass  sich     sämtliche    Strahlen an der gleichen  Brennstelle vereinigen. Um diese Propor  tionalität der radialen Feldstärke vom  Achsenabstand mit ausreichender Genauig  keit zu verwirklichen, ist es zweckmässig, die       Blendenöffnung    erheblich grösser als die ur  sprüngliche Strahlenstarke zu machen oder  dem Feld durch eine bestimmte Elektroden  form die geeignete Gestalt zu geben.  



       Wenn    man die     Spannung    der Blende  nicht negativ, sondern positiv     wählt,    so wer  den die Elektronenstrahlen zur Blende hin  gezogen. Man erhält dann, wie     Fig.    $ zeigt,.  aus einem parallel verlaufenden     Strahlen-          bündel    ein divergentes Bündel. Während also  die     negative    Blende,     wie    eine     -Konvexlinse     der Optik     wirkt,    arbeitet. die     positive    Blende    wie eine Konkavlinse.

   Durch Zusammen  stellen     derartiger    Blenden kann man alle in  der Optik bekannten     Vorrichtungen,    die auf  konvergenten oder divergenten Strahlenbün  deln beruhen, für Elektronenstrahlen nach  bilden. Es ist beispielsweise möglich, auf  diese Weise ein Mikroskop oder Fernrohr  aufzubauen, das direkte oder     reflektierte     Elektronenstrahlen aufnimmt.  



  Auf diese Weise ausgebildete Lupen,     Mi-          Icroskope        und    Fernrohre ermöglichen Beob  achtungen, die der optischen Untersuchung       nicht    zugängig sind; sie lassen ferner eine  in der Grössenordnung beträchtlich stärkere  Vergrösserung zu als die optischen     Instru-          mente,    deren Auflösungsvermögen durch die  Wellenlänge des Lichtes     eingeschränkt    ist.  Diese Einschränkung fehlt bei Lupen, die  mit Elektronenstrahlen arbeiten, da deren  Wellenlänge um mehrere     Grössenordnungen     kleiner ist.  



  Da die Ablenkung der Elektronenstrah  len von ihrer     Geschwindigkeit    abhängt, so  erhält man nur dann einen scharfen Brenn  punkt, wenn man mit homogenen Kathoden  strahlen arbeitet. Es empfiehlt sich daher.  das Strahlenbündel homogen zu machen, be  vor man den zu vergrössernden Gegenstand  dem Strahl aussetzt. Die Homogenität des  Strahls     kann    man auf     bekannte    Weise er  zielen, zum Beispiel indem man den Strahl  durch mehrere auf gleichem Potential be  findliche Geschwindigkeitsblenden schickt.  Erfindungsgemäss lässt sich jedoch auch für  das Erzielen der Homogenität die Linsen  wirkung radial     wirkender        magnetischer    oder  elektrostatischer Felder ausnutzen.  



  Ein     Ausführungsbeispiel    dieser Art ist  in     Fig.4    dargestellt. Von der Kathode k  geht ein divergentes und     inhomogenes    Strah  lenbündel aus. Dieses Bündel wird durch  eine     elektrostatische    Blende     al    aufgefangen  und nahezu parallelgerichtet. Die geladene  Blende     a2    konzentriert das Strahlenbündel.

    An der Brennstelle     o"    die den Strahlen des  Bündels mit     gewünschter        Geschwindigkeit     entspricht; ist eine Lochblende c     angeordnet.          Die_Blende    c kann aufgeladen oder auf Null-      potential gehalten sein. Da das Strahlen  bündel auch Strahlen anderer Geschwindig  keit enthält, würde sich beim Fehlen der  Blende c kein scharfer Brennpunkt o aus  bilden; vielmehr würden die einzelnen, zu  den Strahlen verschiedener     Geschwindigkeit     gehörenden Brennpunkte längs einer grösseren  Strecke der Strahlenachse verteilt sein. Durch  die enge Lochblende c werden jedoch sämt  liche Strahlen abgefangen, deren Brennpunkt  an einer andern . Stelle als bei o liegt.

   In  folgedessen tritt durch die Blende c ein  divergentes Bündel, das nur oder vorwiegend  Strahlen einer bestimmten Geschwindigkeit  enthält.  



  Das die Blende c verlassende divergente  homogene Strahlenbündel     wird    durch eine  weitere Blende     a3    parallel gerichtet. Hinter  der Blende     a3    wird der zu vergrössernde  Gegenstand d in den Strahlengang gebracht  und durch eine vierte geladene Blende     a4    ge  mäss     Fig.    2 vergrössert.    Des besseren     Verständnisses    halber ist  bei dem in     Fig.4    dargestellten Beispiel für  jede Beeinflussung des Strahls je eine beson  dere Blende verwendet.     Man    kann jedoch  auch die Zahl der Blenden verringern oder  gegebenenfalls vergrössern.

   Ferner kann man  hinter der Blende a4 weitere Blenden an  ordnen, die zusammen mit der als Lupe wir  kenden Blende     a4    eine     mikroskop-    oder fern  rohrähnliche Vergrösserung ergeben. Ein  Beispiel dieser Art ist in     Fig.    5 dargestellt.  Der homogene, parallelgerichtete Elektronen  strahl fällt durch den zu beobachtenden Kör  per d. Er geht dann durch eine Reihe von       Divergenzblenden        b1,        b2,        b3,        b4    hindurch.

   Die  erste Blende     b1    vergrössert den     Strahlquer-          schnitt    auf einen     bestimmten    Wert, die  zweite Blende     b2        wirkt    auf einen kleinen  Teil des vergrösserten Strahlenquerschnittes  ein und vergrössert diesen wiederum usw.  Auf diese Weise erhält man eine     kaskaden-          artige    Vergrösserung.

   Nimmt man an, dass       alle    Blenden den gleichen     Vergrösserungs-          "J,kior    haben, so ist die durch n Blenden     er-          zielte    Vergrösserung gleich der     n-ten    Potenz       dm-Vergrösserungsfaktors.    Durch derartige         Kaskadenanordnungen    lassen sich starke Ver  grösserungen erzielen, ohne dass das Feld der  einzelnen Blenden eine unbequeme hohe  Feldstärke haben     muss.     



  Ähnliche Ergebnisse lassen sich auch mit       Konvergenzblenden    oder mit     Anordnunger     erzielen. die sowohl Konvergenz- oder     D1Ver-          genzblenden    enthalten.  



  Der zu vergrössernde Gegenstand d kann  zum Beispiel aus einer zu beobachtenden  dünnen Schicht bestehen, die den Elektroden  strahl mehr oder weniger geschwächt hin  durchlässt. Anordnungen nach der Erfindung  sind jedoch auch für Fälle anwendbar, in  denen der zu beobachtende Gegenstand selbst  Quelle von Elektronenstrahlen     entweder    di  rekt erzeugten oder auch reflektierten Strah  len oder     Sekundärstrahlen    ist. Es ist in die  sem Falle möglich,     mit        Hilfe    von geladenen  Blenden Bilder zu erzielen, die den reellen  oder virtuellen Bildern der Optik entspre  chen. Es lassen sich auch Mikroskope und  Fernrohre im Sinne der Erfindung ausfüh  ren, die auf derartigen Abbildungen beruhen.  



  Die Prinzipien der Optik lassen sich also  weitgehend auf Einrichtungen anwenden, die  eine Vergrösserung eines zu beobachtenden  Gegenstandes mit Hilfe von Elektronen  strahlen bewirken. Das gilt sowohl für die  in den Beispielen beschriebenen elektrosta  tisch     wirkenden        Anordnungen,    als auch für  solche mit magnetischen Konvergenz- oder       Divergenzfeldern.     



  Unter     'Umständen    empfiehlt es sich, das  Vakuum an den . verschiedenen Stellen des  Strahlenganges verschieden zu machen. Fer  ner kann es vorteilhaft     sein,    dem Elektro  nenstrahl an den verschiedenen Stellen des  Strahlenganges eine verschiedene Geschwin  digkeit zu geben zur Erzielung einer mög  lichst grossen Intensität des erzeugten Bildes  und einer weitgehenden Unabhängigkeit von  störenden     Einflüssen.    Zum Beispiel emp  fiehlt es sich, Strahlen hoher Geschwindig  keit zu benutzen. Das erschwert aber ander  seits in manchen Fällen die Anwendung der  Einrichtung zum Untersuchen lebender Sub  stanzen.

   In solchen Fällen können langsame      Elektronen und ein geringeres Vakuum vor  teilhafter sein, um Zerstörungen des zu un  tersuchenden Objektes zu vermeiden und  gute Kontraste     zu    erzielen.  



       Fig.    6 zeigt ein Ausführungsbeispiel der  Erfindung, bei dem diese Schwierigkeiten  vermieden werden können. 1 ist das Gehäuse  der Einrichtung, 2 die darin untergebrachte  Kathode, 3 das zu vergrössernde Objekt und  4 der Leuchtschirm. Mit 5 ist eine     Sammel-          spule    bezeichnet, die den von der Kathode 2  ausgehenden Elektronenstrahl parallel rich  tet oder konvergent macht. Die     zwischen    der  Kathode und der Blende 6 liegende Anoden  spannung ist bei dem dargestellten Beispiel  hoch angenommen, um eine möglichst grosse  Anzahl von Elektronen zu erzeugen.

   Die  Elektronen haben     infolgedessen    eine ziemlich  grosse     Geschwindigkeit.    Um zu verhindern,  dass die Strahlen mit dieser Geschwindigkeit  auf das zu vergrössernde Objekt 3 auftreffen  und es zerstören und um bessere Kontraste  zu erzielen, ist eine weitere Blende 7 vor  gesehen, die gegenüber der Blende 6 und  dem Elektronenstrahl negativ aufgeladen ist.  Zwischen den Blenden 6 und 7 besteht in  folgedessen ein in Längsrichtung des Strahls  wirkendes elektrostatisches Feld, das die       Strahlgeschwindigkeit    verzögert. Der Strahl  hat daher bei seinem     Durchtritt    durch das  Objekt 3 eine verhältnismässig geringe     Ge-          schwindigkeit.     



  Hinter dem Objekt sitzen zwei weitere  Blenden 8 und 9, von denen die Blende 8  negativ und die Blende 9     positiv    geladen ist.  Beide Blenden erzeugen zwischen sich ein  Längsfeld, das den Strahl wieder beschleu  nigt.     Hinter    der Blende 9 sind Blenden oder  Spulen 10 und 11 angeordnet, die zum Ver  grössern des erzeugten Abbildes dienen.  



  Das Vakuum kann in den verschiedenen  Abschnitten der     Einrichtung    verschieden  sein. Im Raum 12, der die Kathode 2 auf  nimmt und durch die Blende 6 gegen den  übrigen Teil des Entladungsgefässes begrenzt  ist,     wird    zum Beispiel ein für die Erzeugung  des Elektronenstrahls     günstiges    hohes Va  kuum aufrecht erhalten. In dem zwischen    den Blenden 6 und 7 liegenden Verzöge  rungsraum 13 herrscht ein     mittleres    Va  kuum.

   In dem Raum 14 zwischen den     BIen-          den-    7 und 8, worin sich das abzubildende  Objekt 3 befindet, wird ein möglichst niedri  ges Vakuum angewandt, im Beschleuni  gungsraum 15     zwischen    den Blenden 8 und 9  ein mittleres Vakuum und in den zwischen  der Blende 9 und dem Leuchtschirm 4 be  findlichen Raum 16 zur Aufnahme des     Ab-          bildungs-    und Vergrösserungssatzes ein hohes  Vakuum. Das Vakuum in den einzelnen       Raumabschnitten    kann dabei durch dauern  des Auspumpen hergestellt und konstant ge  halten werden.  



       Fig.    7 zeigt eine Anordnung, bei der sich  das zu untersuchende Objekt in Luft norma  len Druckes befindet und durch ein Fenster       (Lenard-Fenster)    beobachtet wird. Der zu  untersuchende Gegenstand wird durch eine  Glühkathode oder mit     Hilfe    einer radioakti  ven Substanz oder dergleichen bestrahlt. Das  Vakuumrohr 21     mit    dem Leuchtschirm. 22  ist durch ein     Lenard-Fenster    23 zum Objekt  24 hin abgeschlossen. Mit 25 und 26 sind  Magnetspulen bezeichnet, die auf den Elek  tronenstrahl einwirken. Mit 27 ist die Elek  tronenquelle bezeichnet.

   Das von ihr aus  gehende Strahlenbündel kann durch eine       Striktionsspule    28 oder dergleichen konver  gent gemacht oder parallel gerichtet werden.  



  Bei     Anwendung    eines     elektrisch    erzeug  ten Kathodenstrahls kann man den Strahl  ebenfalls durch ein Fenster aus dem Erzeu  gungsraum auf das zu vergrössernde Objekt  übertreten lassen.     Eine        derartige    Anordnung  ist durch     Fig.    8 wiedergegeben. In dem Va  kuumrohr 29 ist eine Glühkathode 80 ange  ordnet. Der von dort ausgehende Strahl wird  durch eine elektrostatische Blende 31 oder  dergleichen konvergent gemacht. Er fällt  durch das Fenster 32 auf das Objekt 24. Die  Beeinflussung des im Gehäuse 21 befind  lichen     Strahlenganges    erfolgt bei diesem  Beispiel durch     elektrostatische    Blenden 33  und 34.  



  Den Abstand zwischen dem Objekt und  den Ein- oder Austrittsfenstern     wird    man so           gering    wie möglich halten, um die Absorp  tion der Kathodenstrahlen in der Luft mög  lichst zu vermeiden. Man kann auch zur       Verminderung    der Absorption diese Teile  des Raumes in einem Gefäss mit so niedri  gem Vakuum anordnen wie es das Objekt  eben noch verträgt. Eine derartige Anord  nung ist in     Fig.    9 dargestellt. Der zwischen  den Vakuumgehäusen 29 und 21 liegende  Objektraum ist von einem Gehäuse 35 um  geben, in welchem ein niedriges Vakuum er  zeugt wird.  



  Wenn das Strahlenbündel für die Abbil  dung des Objektes sehr eng ist, kann man  unter Umständen auch ohne das     Lenardsche     Fenster auskommen, indem man die Elektro  nen lediglich durch ein feines Loch in den  Vakuumraum ein- oder austreten lässt. Man  ordnet dann nach     Fig.    10     unmittelbar    hinter.  dem Loch 36 eine kräftige Saugvorrichtung  an, um die durch das Loch in das Vakuum  ziehende Luft in einer oder mehreren Stufen  zu beseitigen. In     Fig.    10 sind zwei Stufen  mit je einem Saugrohr 37 und 38 angegeben.  



  Das Objekt, das man durch Elektronen  strahlen vergrössert abbilden will, wird man  beim Arbeiten mit durchfallenden Elektro  nen möglichst dünn ausführen. Damit es die  nötige Konsistenz und Haltbarkeit besitzt,  ordnet man es zweckmässig zwischen zwei  Folien an, deren Dicke nur sehr     geringe          Bruchteile    eines Millimeters beträgt und  deren Materialdichte möglichst gering sein  muss, um die Elektronenstrahlen nicht über  mässig zu bremsen. Zweckmässig     verwendet     man feinste Plättchen aus Metall     wie    Gold,  Silber oder Aluminium.  



  Wie bereits erwähnt, kann man mit Hilfe  von Einrichtungen nach der Erfindung Fein  heiten sichtbar machen, die weit jenseits des  durch die Wellenlänge des Lichtes bedingten  optischen Auflösungsvermögens liegen. We  gen der Unvollkommenheit der Linsenwir  kung der magnetischen     und    elektrischen Fel  der ist es jedoch häufig schwierig, die     Ver-          gisserung    über einen gewissen Betrag     ziz          weigern,    der bei niedrigen Zehnerpotenzen       liegt.        In    diesem Fall kann man die Vergrö-         sserung    in zwei Stufen vornehmen,

       indem     man ausser dem Elektronenmikroskop noch  ein optisches Mikroskop anwendet. In     Fig.11     ist eine     derartige        Anordnung    dargestellt.  Das Elektronenmikroskop ist     mit    40 und das  optische Mikroskop     mit    41 bezeichnet. Das  auf dem Lichtschirm des Elektronenmikro  skops erzeugte Bild besitzt     eine    Vergrösse  rung,     wie    sie durch     Elektronenstrahlen    be  quem erreichbar ist, zum Beispiel eine Ver  grösserung, die in der Grössenordnung des  100fachen liegt.  



  Um auf dem Leuchtschirm     ein    klares  Bild zu erzielen, muss das Korn des Leucht  schirmes möglichst fein sein. Vorteilhaft ver  wendet man eine geschliffene homogene  Platte aus     Einkristall,    die beim Auftreffen  des Strahlenbündels dessen     Bild    verzerrungs  frei darstellt.  



  Der elektrische und der optische Teil der       Einrichtung    kann zu einem einzigen Gerät  zusammengebaut sein.

Claims (1)

1. <B>PATENTANSPRUCH</B> Einrichtung zum Abbilden von Gegen ständen, dadurch gekennzeichnet, dass der abzubildende bezw. zu vergrössernde Gegen stand in den Weg eines Elektronenstrahls gebracht und der dadurch beeinflusste Strahl durch ein oder mehrere auf ihn einwirkende, elektrostatische oder elektromagnetische Fel der konvergent oder divergent gemacht oder parallel gerichtet wird.

   UNTERANTSPRüCHE 1. Einrichtung nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass der Katho denstrahl vor oder nach dem Auftreffen auf den zu vergrössernden Gegenstand durch magnetische oder elektrostatische Felder homogen gemacht wird. 2. Einrichtung nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass der Strahl vor seinem Auftreffen auf den zu ver grössernden Gegenstand parallelgerichtet wird.

   3. Einrichtung nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass mehrere das Strahlenbündel radial beeinflussende Felder zu einer die Vergrösserung nach Art eines Mikroskops oder Fernrohres steigernden Wirkung zusammengesetzt sind. 4. Einrichtung nach Unteranspruch 3, da durch -gekennzeichnet, dass mehrere Di vergenz oder Konvergenz erzeugende Felder hintereinander so angeordnet sind, dass sie eine kaskadenartige Steigerung der Vergrösserung ergeben. 5. Einrichtung nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass die die Ver grösserung bewirkenden Felder durch elektrostatisch geladene Blenden erzeugt werden, die den Strahl im wesentlichen symmetrisch umgeben. 6.

   Einrichtung nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass im Verlauf des Strahlenganges reelle oder virtuelle Bilder-im Sinne der-bei optischen Mikro skopen oder Fernrohren entstehenden er zeugt werden. 7. Einrichtung nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass die Stärke des Vakuums an verschiedenen Stellen des Strahlenganges verschieden ist. B.

   Einrichtung nach Unteranspruch 7, bei der die Geschwindigkeit des Strahls an verschiedenen Stellen des Strahlengan ges unter dem Einfluss elektrostatischer, in Längsrichtung des Strahls wirkender Felder verschieden ist, dadurch gekenn zeichnet, dass das Vakuum an den Stel len niedriger Elektronengeschwindigkeit niedriger ist als an den Stellen höherer Elektronengeschwindigkeit. 9. Einrichtung nach Unteranspruch 7, da durch gekennzeichnet, dass das Vakuum in der Umgebung des zu vergrössernden Gegenstandes niedriger ist als im übri gen Teil des Strahlenganges.

   10. Einrichtung nach Unteranspruch 7, da durch gekennzeichnet, dass in der Um ., - gebung des zu vergrössernden Gegen standes ein- niedriges Vakuum, an den Verzögerungs- oder Beschleunigungs strecken des Vakuums und ausserhalb dieser Stellen ei gewandt Vakuum an gewandt ist. 11:: Einrichtung nach Unteranspruch- 7, da -durch gekennzeichnet; :dass das Vakuum. - an den verschiedenen Raumabschnitten des Strahlenganges durch - dauerndes Auspumpen -aufrecht erhalten wird, 12.

   Einrichtung nach - Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass der- Elektro nenstrahl -durch -in seiner Längsrichtung wirkende elektrostatische Felder beein-- flusst ist, derart, dass er in den verschic denen Abschnitten des Strahlenganges eine andere, an der jeweiligen Stelle er wünschte Geschwindigkeit hat. 13.

   Einrichtung nach Unteranspruch 12.; da durch gekennzeichnet, dass der abzubil- dende Gegenstand- einem Elektronen strahl geringer Geschwindigkeit aus gesetzt und die Geschwindigkeit im wei teren Verlauf des Strahlenganges durch in Richtung des Strahls wirkende elek trostatische Beschleunigungsfelder ge= steigert wird. 14. Einrichtung nach Unteranspruch 12, da durch gekennzeichnet, dass der Elektro nenstrahl vor seinem Durchtritt durch den abzubildenden Gegenstand durch ein in Längsrichtung des Strahls -wirkendes Verzögerungsfeld verlangsamt wird. 1.5.

   Einrichtung nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass der Vakuum raum, der den die Vergrösserung bewir kenden Teil des Strahlenganges auf nimmt, zum ausserhalb liegenden Objekt hin durch ein vom Elektronenstrahl durchdrungenes Fenster abgeschlossen ist. 16. Einrichtung nach Unteranspruch 15, da durch gekennzeichnet, dass sich der zu vergrössernde Gegenstand in Luft nor malen Druckes befindet.

   17. Einrichtung nach Unteranspruch 15, da durch gekennzeichnet, dass ein die Elek tronenquelle, insbesondere eine - Glüh-- kathode enthaltender Vakuumraum. .durch ein Lenardfenster abgeschlossen - ist,- durch das die Elektronenstrahlen auf den zu vergrössernden Gegenstand fallen. 18. Einrichtung nach Unteranspruch 15, da durch gekennzeichnet, dass das Fenster aus einer freien Öffnung besteht, hinter der die durch die Öffnung in das Va kuum strömende Luft in einer oder meh reren Stufe abgesaugt wird. 19.

   Einrichtung nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass die Vergrö sserung in zwei Stufen erfolgt, und zwar ausser durch Elektronenstrahlen auch durch ein optisches Mikroskop. ?0. Einrichtung nach Unteranspruch 19, da durch gekennzeichnet, dass die durch Elektronenstrahlen erzielte lineare Ver- grösserung in der Grössenordnung des 100fachen liegt, und dass die weitere Vergrösserung des durch die Elektronen strahlen erzeugten reellen Bildes optisch erzielt wird. 21. Einrichtung nach Unteranspruch 20, da durch gekennzeichnet, dass der Leucht schirm, auf dem das optische, weiter zu vergrössernde Bild entsteht, aus einem homogenen, geschliffenen Einkristall be steht.