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WO2026003969A1 - Surface treatment method for container, and surface structure of container treated by said method - Google Patents

Surface treatment method for container, and surface structure of container treated by said method

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Publication number
WO2026003969A1
WO2026003969A1 PCT/JP2024/023054 JP2024023054W WO2026003969A1 WO 2026003969 A1 WO2026003969 A1 WO 2026003969A1 JP 2024023054 W JP2024023054 W JP 2024023054W WO 2026003969 A1 WO2026003969 A1 WO 2026003969A1
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WO
WIPO (PCT)
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film
glass container
container
self
glass
Prior art date
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Pending
Application number
PCT/JP2024/023054
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French (fr)
Japanese (ja)
Inventor
憲一 宮本
基裕 山原
弥奈 富川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
DAIWA SPECIAL GLASS Co Ltd
SAKIGAKE-SEMICONDUCTOR Co Ltd
Original Assignee
DAIWA SPECIAL GLASS Co Ltd
SAKIGAKE-SEMICONDUCTOR Co Ltd
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Publication date
Application filed by DAIWA SPECIAL GLASS Co Ltd, SAKIGAKE-SEMICONDUCTOR Co Ltd filed Critical DAIWA SPECIAL GLASS Co Ltd
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Priority to PCT/JP2024/023054 priority patent/WO2026003969A1/en
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Pending legal-status Critical Current
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Abstract

Provided is a glass container having extremely excellent chemical durability. According to the present invention, a cleaning step for cleaning an inner surface of a glass container with a cleaning liquid composed of water, an acid aqueous solution, a surfactant aqueous solution, or an acid aqueous solution to which a surfactant is added, and a distortion removing step for removing distortion by heating and raising the temperature of the glass container cleaned in the cleaning step and then cooling the same are performed. Subsequently, the glass container is disposed in a plasma treatment device, a film-forming surface of the glass container is modified and hydrophilized in a plasma atmosphere formed by a plasma generating part, in a state in which an evaporation source for imparting a hydrophilic group is supplied into a vacuum chamber having a predetermined degree of vacuum in the plasma treatment device, an evaporation source of a precursor material of a SAM film or a self-assembled multilayer film is supplied to the glass container having the hydrophilized film-forming surface, in a state in which an evaporation source for promoting a hydrolysis or nucleophilic reaction of the precursor material of the SAM film or the self-assembled multilayer film is supplied into the vacuum chamber having a predetermined degree of vacuum, a SAM film or a self-assembled multilayer film is formed on the hydrophilized film-forming surface, and finally, bonding in the film-forming surface and the SAM film or the self-assembled multilayer film in the vacuum chamber having a predetermined degree of vacuum is strengthened.

Description

容器の表面処理方法及び当該方法によって処理された容器の表面構造Container surface treatment method and surface structure of container treated by said method

 本発明は、例えばアンプル、管瓶などの医薬品用、理化学用の容器の表面処理方法及び当該方法によって処理された容器の表面構造に関する。 The present invention relates to a surface treatment method for pharmaceutical and laboratory containers, such as ampoules and tube bottles, and the surface structure of containers treated by this method.

 薬液、血液等を充填する医療容器には、異物の混入や薬剤配合による変化を確認するための透明性、滅菌処理等に耐えられる耐熱性、薬液の排出を容易にするための柔軟性、容器内への水蒸気や酸素の浸入による薬液等の品質の低下を抑制するためのガスバリア性、さらに容器表面からの微量物質の溶出の低減などが要求されている。また、これらの容器に内容物を充填した後には、加熱滅菌処理が行われることが一般的である。特に、直接血液中に投与される輸液製剤などは、無菌状態に保つことが厳しく求められるため、121℃での滅菌処理がグローバルスタンダードとなりつつある。 Medical containers filled with medicinal liquids, blood, etc. require transparency to allow for checking for contamination by foreign matter or changes due to drug compounding, heat resistance to withstand sterilization processes, flexibility to allow for easy discharge of medicinal liquids, gas barrier properties to prevent deterioration of the quality of medicinal liquids due to the infiltration of water vapor or oxygen into the container, and reduced elution of trace substances from the container surface. Furthermore, after filling these containers with the contents, heat sterilization is generally performed. In particular, infusion preparations that are administered directly into the bloodstream must be kept in a sterile state, and sterilization at 121°C is becoming the global standard.

 従来、このような医療容器としては、ガラス製容器が使用されているが、衝撃や落下による容器の破損等の問題があるため、耐衝撃性に優れているプラスチック容器も用いられるようになっている。 Traditionally, glass containers have been used as such medical containers, but due to issues such as container breakage due to impact or dropping, plastic containers, which have excellent impact resistance, are also now being used.

 ところで、アンプル、管瓶等のガラス容器はガラス管を加熱下に成形加工して製造される場合が多い。その典型的な成形加工法として、縦型成形方法がある。この方法は、一定の径を有し、両端が開放されたガラス管を垂直に立て、口部となる下端部を加熱して軟化させ所望の形状に加工して成形し、次いで、該ガラス管を所望の長さに切断後、ガラス容器の底部を形成して目的とするガラス容器を製造するものである。切断された残部のガラス管はガラス容器を1個製造した分だけ短くなり、前記作業を繰り返すことによって、ガラス容器を大量生産することができる。 Incidentally, glass containers such as ampoules and tube bottles are often manufactured by shaping glass tubes under heat. A typical shaping method is the vertical shaping method. In this method, a glass tube of a certain diameter with both ends open is placed vertically, and the lower end, which becomes the mouth, is heated to soften it and shape it into the desired shape. The glass tube is then cut to the desired length, after which the bottom of the glass container is formed, producing the desired glass container. The remaining glass tube after cutting is shortened by the length of one glass container, and by repeating this process, glass containers can be mass-produced.

 しかしながら、このようにして製造されるガラス容器に、例えば液状の医薬等を収納すると、ガラス容器の内側のガラス表面からガラスの構成成分が溶出して、医薬品等が汚染され、例えば、ガラス構成成分中のアルカリ金属がpH値を上昇させるなど、また場合によってはガラス表面から溶出したガラス構成成分が内容液と反応して沈殿物が発生することで、内容液の品質が損なわれるという問題があった。 However, when a glass container manufactured in this way is used to store, for example, liquid medicine, components of the glass leach out from the glass surface inside the glass container, contaminating the medicine. For example, alkali metals in the glass components can raise the pH value. In some cases, the glass components leach out from the glass surface and react with the liquid inside, causing precipitates, which can impair the quality of the liquid inside.

 これらの問題を解決するために、従来から行われている、ガラス表面にコーティング処理やサルファー処理を施す方法では、工程が煩雑化したり、ガラス容器の製造原価が高くなり、化学的耐久性に優れたガラス容器を得ることはできなかった。そこで、本発明者は、化学的耐久性に優れたガラス容器の製造方法について、先に出願した(特許文献1)。この特許文献1には、ガラス管を加熱下に成形加工してガラス容器を得るガラス容器の製造工程と、ガラス容器の製造工程で得たガラス容器の内面を洗浄液で洗浄する洗浄工程と、洗浄工程で洗浄したガラス容器を加熱昇温した後に冷却して除歪する除歪工程からなるガラス容器の製造方法が記載されている。しかし、特許文献1には、ガラスの表面特性を考慮した洗浄工程と、化学的耐久性に優れたガラス容器を得るうえで重要な工程である除歪工程について十分に記載されていない。
 また、特許文献2には、テトライソシアネートシランを原料ガスとして、プラズマCVD法により二酸化シリコン膜を堆積することを特徴とする二酸化シリコン膜の化学気相堆積方法が記載されている。しかし、特許文献2に記載された方法では、保管中に液との反応により表面からアルカリ成分等の溶離成分が溶出しないか、または極くわずかしか溶出しない容器を提供することはできない。
Conventional methods for solving these problems, such as coating or sulfurizing the glass surface, have complicated the process and increased the manufacturing cost of the glass container, making it impossible to obtain a glass container with excellent chemical durability. Therefore, the present inventors have previously filed a patent application for a method for manufacturing a glass container with excellent chemical durability (Patent Document 1). Patent Document 1 describes a method for manufacturing a glass container that includes a manufacturing process for a glass container in which a glass tube is molded under heat to obtain a glass container, a cleaning process for cleaning the inner surface of the glass container obtained in the manufacturing process with a cleaning solution, and a strain relief process for heating and then cooling the glass container cleaned in the cleaning process to remove strain. However, Patent Document 1 does not fully describe the cleaning process, which takes into account the surface characteristics of the glass, or the strain relief process, which is an important process for obtaining a glass container with excellent chemical durability.
Furthermore, Patent Document 2 describes a chemical vapor deposition method for silicon dioxide films, characterized in that a silicon dioxide film is deposited by a plasma CVD method using tetraisocyanate silane as a raw material gas. However, the method described in Patent Document 2 does not provide a container from which no or only a very small amount of eluted components such as alkaline components are eluted from the surface due to reaction with liquid during storage.

特許第6159304号明細書Patent No. 6159304 specification 特許第3305826号明細書Patent No. 3305826 specification

 医薬品用や理化学用の容器においては、製造された容器に、例えば、薬液等を充填した後の加熱滅菌工程や、保管中に液との反応により表面からアルカリ成分等の溶離成分が溶出しないか、または極くわずかしか溶出しない容器の提供が望まれる。 In the case of pharmaceutical and physicochemical containers, it is desirable to provide containers that do not leach alkaline or other soluble components from the surface, or that leach only a small amount, during the heat sterilization process after filling the manufactured container with a medicinal solution, or during storage due to reactions with the liquid.

 本発明は、このような従来の技術の有する問題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、化学的耐久性に極めて優れた容器を提供することにある。 The present invention was made in consideration of these problems with conventional technology, and its purpose is to provide a container with extremely excellent chemical durability.

 本発明者等は、上記の課題を解決するために鋭意検討を重ねた。その結果、垂直に立てたガラス管の下端を例えばガスバーナー等で加熱して軟化させ、所望の形状に成形加工するときに加熱によってガラス質が変質し、加熱されたガラスからガラスの揮発成分(例えば、NaO、KO)が発生し、ガラス管の開放された下端と上端の間の空間部を煙突効果によって上昇する際に、これらの揮発成分がガラス管内面に付着することでアルカリ成分を形成し、この付着したアルカリ成分がガラス容器製造後にガラス表面から溶出するとの知見を得た。 The present inventors have conducted extensive research to solve the above-mentioned problems, and as a result have found that when the lower end of a vertically standing glass tube is heated with, for example, a gas burner to soften it and then formed into a desired shape, the glass quality is altered by the heating, and volatile components of the glass (e.g., Na 2 O, K 2 O) are generated from the heated glass, and as the volatile components rise in the space between the open lower and upper ends of the glass tube due to the chimney effect, they adhere to the inner surface of the glass tube to form alkali components, and these adhered alkali components are eluted from the glass surface after the glass container is manufactured.

 さらに本発明者等は、上記縦型成形方法によりガラス管からガラス容器を得た後、熱履歴による歪みを除去するための除歪操作を行う前に、ガラス容器の内面を洗浄液で洗浄したところ、内面のガラス表面からのアルカリ成分の溶出が極めて少ないガラス容器を製造しうることを見出した。 Furthermore, the inventors discovered that by obtaining a glass container from a glass tube using the above-mentioned vertical molding method and then washing the inner surface of the glass container with a cleaning solution before performing a strain relief operation to remove distortion caused by thermal history, it is possible to produce a glass container with extremely little elution of alkaline components from the inner glass surface.

 しかし、ガラス容器の内面を洗浄するといっても、洗浄手段は多岐にわたり、ガラスの表面特性を考慮した洗浄プロセスでなければ、十分な洗浄効果を挙げることはできない。ガラスの種類は多く、700以上あるが、この中で、硼珪酸低アルカリガラスは膨張係数が3×10-6/Kで小さく、モース硬さは約7で比較的硬く、耐食性が大きいため、理化学器具用、医学器具用、薬品容器用などに好適である。本発明のガラス容器の素材としては、硼珪酸ガラスが好ましい。 However, when it comes to cleaning the inner surface of a glass container, there are a wide variety of cleaning methods, and unless the cleaning process takes into account the surface characteristics of the glass, sufficient cleaning effects cannot be achieved. There are many types of glass, more than 700 of which borosilicate low-alkali glass has a small expansion coefficient of 3×10 −6 /K, a relatively hard Mohs hardness of about 7, and high corrosion resistance, making it suitable for use in laboratory instruments, medical instruments, and pharmaceutical containers. Borosilicate glass is preferred as the material for the glass container of the present invention.

 ところで、ガラスの表面は本来親水性であって、化学的活性に富み、また水素結合などの分子間吸引力によって水分や汚れを吸着する力が強い。また、電気的不良導体であり、汚れを吸着する力が強い。例えば、ガラスを大気中に放置するとガラスの表面が外部雰囲気と反応し、表面層の組成変化を伴う変質が生じる。従って、ガラスの素地に悪影響を与えないで所望の清浄度のガラス容器を洗浄によって得ることは容易でないと言える。 By the way, glass surfaces are inherently hydrophilic, highly chemically active, and have a strong ability to adsorb moisture and dirt due to intermolecular attractive forces such as hydrogen bonds. They are also poor electrical conductors, and have a strong ability to adsorb dirt. For example, if glass is left in the air, the glass surface will react with the external atmosphere, causing deterioration accompanied by a change in the composition of the surface layer. Therefore, it can be said that it is not easy to achieve the desired level of cleanliness by cleaning glass containers without adversely affecting the glass base material.

 このようなガラス容器の洗浄液としては、代表的には、酸又はアルカリを用いることができる。以下の表1は、ソーダ石灰ガラスと硼珪酸ガラスと石英ガラスの酸とアルカリによる重量減少(95℃、24時間(mg/cm))を示す。
Typically, an acid or alkali can be used as a cleaning liquid for such glass containers. Table 1 below shows the weight loss (95°C, 24 hours (mg/ cm2 )) of soda-lime glass, borosilicate glass, and quartz glass due to acid and alkali.

 表1に示すように、5%水酸化ナトリウムに対する重量減少が最も多いのは、硼珪酸ガラスである。これは、主成分であるシリカが珪酸ナトリウムになって溶出するためである。一方、5%塩酸に溶出するのは、主にガラス中に含まれるアルカリ、アルカリ土類成分であり、シリカ成分はほとんど溶解しない。このため、水酸化ナトリウムへの溶出と違い、溶出量は少ない。酸への溶出速度は時間の平方根に比例し、アルカリへの溶出速度よりかなりゆるやかである。酸による浸食がアルカリのそれよりも遅いことは、表1から分かる。また、塩酸と有機酸を比べると、有機酸への溶出量が少ないことが知られている。従って、本発明においては、洗浄液として、ガラス成分の浸食が比較的ゆるやかな有機酸を用いるのが好ましい。 As shown in Table 1, borosilicate glass shows the greatest weight loss in response to 5% sodium hydroxide. This is because the main component, silica, dissolves as sodium silicate. On the other hand, what dissolves in 5% hydrochloric acid is mainly the alkali and alkaline earth components contained in the glass, with almost no silica components dissolving. Therefore, unlike dissolution in sodium hydroxide, the amount of dissolution is small. The rate of dissolution in acid is proportional to the square root of time and is significantly slower than the rate of dissolution in alkali. Table 1 shows that acid corrosion is slower than alkali corrosion. Furthermore, it is known that the amount of dissolution in organic acids is smaller than that in hydrochloric acid. Therefore, in the present invention, it is preferable to use organic acids, which corrode glass components relatively slowly, as the cleaning solution.

 また、一般に、ガラス表面には、シラノール基(SiOH)に代表される水酸基が存在し、この水酸基が物質の吸着基点として作用すると考えられる。従って、ガラス容器の内面を洗浄液で洗浄する洗浄工程の後、引き続く除歪工程までの時間が長いとガラスの表面特性が変化することがある。すなわち、洗浄工程と除歪工程のあいだの時間は、30分以内とするのが好ましい。さらに、洗浄効果を上げるために、洗浄液の噴霧圧は、0.05MPa以上とするのが好ましい。 In addition, hydroxyl groups, such as silanol groups (SiOH), are generally present on glass surfaces, and it is believed that these hydroxyl groups act as adsorption sites for substances. Therefore, if there is a long time between the cleaning process, in which the inner surface of a glass container is washed with a cleaning solution, and the subsequent distortion removal process, the surface characteristics of the glass may change. In other words, it is preferable to keep the time between the cleaning process and the distortion removal process to 30 minutes or less. Furthermore, to improve the cleaning effect, it is preferable to set the spray pressure of the cleaning solution to 0.05 MPa or higher.

 さらに、硼珪酸ガラスは、ガラス転移点以上の温度に長時間加熱すると、イオン結合が支配的な極性相(NaO、Bなど)と共有結合が支配的なシリカ相の2相に分かれることがある(分相)。2相構造に分相したガラスは化学的耐久性が低い。 Furthermore, when borosilicate glass is heated to a temperature above its glass transition point for a long period of time, it may separate into two phases (phase separation): a polar phase ( Na2O , B2O3 , etc. ) dominated by ionic bonds and a silica phase dominated by covalent bonds. Glass that has separated into two phases has low chemical durability.

 そこで、本発明者は、分相を生じにくくさせる条件について検討を重ねた。その結果、化学的耐久性に優れたガラス容器を得るためには、特許文献1に記載されたガラス容器の製造方法において、洗浄工程で洗浄したガラス容器を加熱昇温した後に冷却して除歪する除歪工程の加熱温度が極めて重要であることを知見した。本発明者は、上記知見に基づいて、除歪工程の加熱温度を適正に管理することによって、分相及びフリーラジカルを生じることなく、化学的に安定であるSiOを多量に含有する均質な被膜がガラス容器の内表面に形成されることを知見した。 Therefore, the present inventors have conducted extensive research into conditions that make phase separation less likely to occur. As a result, they have found that in order to obtain a glass container with excellent chemical durability, in the glass container manufacturing method described in Patent Document 1, the heating temperature in the strain relief step, in which a glass container washed in a washing step is heated to an elevated temperature and then cooled to remove the strain, is extremely important. Based on this finding, the present inventors have found that by appropriately controlling the heating temperature in the strain relief step, a homogeneous coating containing a large amount of chemically stable SiO2 can be formed on the inner surface of the glass container without causing phase separation or free radicals.

 さらに、医薬品用や理化学用の容器の中には、容器内液体への容器内壁構成物質の混入量を検出限界値(ppm以下)に抑制することが要求されるものもある。例えば、欧州薬局方の医薬品用ガラス容器の加水分解安定性は、容器内表面と水との接触条件下での水溶性無機物質の水中への放出に対する耐性で評価される。欧州薬局方は、ガラス容器を、非経口投与か否かに関わらず、殆どの製剤に適しているI型ガラス容器と、非経口投与か否かに関わらず、殆どの酸性及び中性の製剤に適しているII型ガラス容器と、一般に非経口で投与される非水性製剤、粉末(フリーズドライ製剤を除く)、及び経口製剤に適しているIII型ガラス容器に分類し、フレーム原子吸光法を用いた表面耐水性試験における限界値として、充填容量が500mL(ミリリットル)超のI型ガラス容器およびII型ガラス容器において、酸化ナトリウム(μg/mL)として表示した酸化物濃度の限界値は0.5とされている。 Furthermore, some pharmaceutical and laboratory containers require that the amount of contaminants contained in the container's inner wall be kept below the detection limit (ppm or less). For example, the hydrolytic stability of pharmaceutical glass containers in the European Pharmacopoeia is evaluated based on their resistance to the release of water-soluble inorganic substances into water when the container's inner surface comes into contact with water. The European Pharmacopoeia classifies glass containers into three categories: Type I glass containers, which are suitable for most preparations, regardless of whether they are administered parenterally; Type II glass containers, which are suitable for most acidic and neutral preparations, regardless of whether they are administered parenterally; and Type III glass containers, which are generally suitable for non-aqueous preparations administered parenterally, powders (excluding freeze-dried preparations), and oral preparations. The limit value for surface water resistance testing using flame atomic absorption spectrometry is set at 0.5 for the oxide concentration, expressed as sodium oxide (μg/mL), for Type I and II glass containers with a filled volume of more than 500 mL (milliliters).

 上記のような厳しい要求基準を満たすには、容器内表面に適切な処理を施して、耐水性に優れている薄膜を形成することが必要である。薄膜形成方法としては、真空にした容器の中で、金属や酸化物などの成膜材料を蒸発させて、対向した基板表面に凝着させて薄膜を形成する「真空蒸着法」、真空蒸着法とほぼ同じ原理であるが、蒸発した粒子をプラズマ中を通過させることでプラスの電荷を帯びさせ、成膜させる基板にマイナスの電荷を帯びさせることで、プラスに帯電した粒子がマイナスに帯電している基板に引き寄せられることで基板表面に密着性に優れた薄膜を形成する「イオンプレーティング法」、真空チャンバー内に薄膜としてつけたい金属をターゲットとして設置し、高電圧をかけてプラスイオン化させた希ガス(通常はアルゴン)や窒素をマイナス電荷をかけたターゲットに衝突させてターゲット表面の原子をはじき飛ばして基板表面に薄膜を形成する「スパッタリング法」、石英などでできた反応管内で加熱した基板上に、目的とする薄膜の成分を含む原料ガスを供給し、気相での化学反応により基板上に薄膜を形成する「化学気相成長法」などがある。 To meet these strict requirements, the inner surface of the chamber must be appropriately treated to form a water-resistant thin film. Thin-film formation methods include vacuum deposition, in which metal, oxide, or other film-forming materials are evaporated in a vacuum chamber and then deposited on the opposing substrate surface. Ion plating, which operates on a similar principle, involves passing evaporated particles through plasma, thereby positively charging the deposited material and negatively charging the substrate. The positively charged particles are then attracted to the negatively charged substrate, forming a highly adhesive thin film. In sputtering, the metal to be deposited as a thin film is placed as a target in a vacuum chamber. A high voltage is applied to cause positively ionized rare gas (usually argon) or nitrogen to collide with the negatively charged target, sputtering atoms from the target surface and forming a thin film on the substrate. Chemical vapor deposition, in which a source gas containing the desired thin-film components is supplied to a heated substrate in a quartz or other reaction tube, forming a thin film on the substrate through a gas-phase chemical reaction.

 上記の「真空蒸着法」、「イオンプレーティング法」および「スパッタリング法」は物理気相成長(以下、PVDとも称する)に属するものであり、このPVDは高真空中で行われる。これは、成膜前駆体が他の粒子と衝突する頻度が高いと、基板まで前駆体が到達しなくなるためである。物理気相成長が行われる高真空中では、前駆体はほぼ分子線に近い状態で基板に輸送される。また、前駆体が反応性の高い原子であることが多いので、それが基板表面に飛来すると、ほぼ100%の確率で付着する。
 一方、化学気相成長(以下、CVDとも称する)の原料はガス状の分子であり、堆積したい原子を含む分子を基板が置かれた容器に供給し、何らかのエネルギーを与えてその分子を解離(化学反応)させる。解離生成物のうち、堆積したい原子を含んだもの(前駆体)が付着性であれば、薄膜堆積が可能となる。CVDが行われる真空度はPVDのときほど高くなくてよい。すなわち、圧力が高い環境下で行われる。その理由は、その必要がないからである。圧力が高い方が原料密度が高くなるため、適度に圧力を高めることは、成膜速度が向上するという有利な点をもたらす。また、気相中での衝突によって原料分子の方向性がなくなるため、PVDでは無理であった凹部への原料分子の供給が可能となる。
The above-mentioned "vacuum deposition method,""ion plating method," and "sputtering method" belong to the category of physical vapor deposition (hereinafter also referred to as PVD), which is carried out in a high vacuum. This is because if the film-forming precursor frequently collides with other particles, the precursor will not reach the substrate. In the high vacuum in which physical vapor deposition is carried out, the precursor is transported to the substrate in a state almost similar to a molecular beam. Furthermore, since the precursor is often a highly reactive atom, when it flies onto the substrate surface, there is an almost 100% probability that it will adhere to the substrate.
On the other hand, chemical vapor deposition (hereinafter also referred to as CVD) uses gaseous molecules as raw materials. Molecules containing the atoms to be deposited are supplied to a vessel containing a substrate, and some energy is applied to dissociate the molecules (chemical reaction). If the dissociation products containing the atoms to be deposited (precursors) are adhesive, thin film deposition becomes possible. The degree of vacuum required for CVD does not need to be as high as that required for PVD. In other words, CVD is performed in a high-pressure environment. This is because it is not necessary. Higher pressure increases the raw material density, so increasing the pressure appropriately has the advantage of improving the film formation rate. Furthermore, collisions in the gas phase eliminate the directionality of the raw material molecules, making it possible to supply raw material molecules to recesses, which was not possible with PVD.

 また、PVDでは原料粒子の輸送中に化学反応が起こらないのに対し、CVDでは、原料の解離反応以外に多数の化学反応が同時進行する。そこで、適切な化学反応が起これば、原料分子がもつ機能基等も膜に含有させることが可能となり、PVDでは得られない高機能な膜を得ることが可能となる。このように、CVDは複雑な化学反応を伴うため、様々な機能を膜に付与することができる。 Furthermore, whereas in PVD no chemical reactions occur during the transport of raw material particles, in CVD many chemical reactions occur simultaneously in addition to the raw material dissociation reaction. Therefore, if the appropriate chemical reactions occur, it is possible to incorporate functional groups from the raw material molecules into the film, making it possible to obtain highly functional films that cannot be obtained with PVD. In this way, because CVD involves complex chemical reactions, it is possible to impart a variety of functions to the film.

 ところで、CVD法で用いる原料は安定な分子であるため、何等かの方法で解離する必要がある。基板を加熱し、その熱エネルギーによって原料分子を加熱する方法が熱CVD法である。これに対し、プラズマCVDでは、原料分子を含むプラズマ中の電子が分解の主な担い手となる。従って、原料分子の解離のために基板を加熱する必要がないため、プラズマCVD法は熱に弱い基板上への成膜が可能であるという特長を有する。また、熱(振動励起)がすべての反応の原動力となっている熱CVDでは、そこで起こる反応とその生成物は、すべて熱平衡状態のものとなるのに対し、電子励起を利用するプラズマCVDでは、熱平衡からずれた物質を創ることが可能である。 The raw materials used in CVD are stable molecules, so they need to be dissociated in some way. Thermal CVD involves heating the substrate and using the resulting thermal energy to heat the raw material molecules. In contrast, in plasma CVD, the electrons in the plasma containing the raw material molecules are the main drivers of decomposition. Therefore, because there is no need to heat the substrate to dissociate the raw material molecules, plasma CVD has the advantage of being able to form films on substrates that are sensitive to heat. Furthermore, in thermal CVD, where heat (vibrational excitation) is the driving force behind all reactions, the reactions that occur and their products are all in a state of thermal equilibrium, whereas plasma CVD, which uses electronic excitation, makes it possible to create materials that are out of thermal equilibrium.

 従って、本発明者は、プラズマCVD法を採用することにした。ところが、プラズマCVD法にも欠点がある。それは、プラズマ状態を維持するために必要なイオンが、堆積している膜にダメージを及ぼすことである。そこで、この欠点を解消すると同時に特許文献2に記載されているテトライソシアネートシランを原料とするCVD法とは異なる反応系が進行する改良プラズマCVD法を考案した。 The inventor therefore decided to adopt the plasma CVD method. However, plasma CVD also has a drawback. The ions required to maintain the plasma state damage the deposited film. Therefore, the inventor devised an improved plasma CVD method that overcomes this drawback while at the same time using a different reaction system than the CVD method described in Patent Document 2, which uses tetraisocyanate silane as a raw material.

 すなわち、本発明の容器の表面処理方法は、ガラス容器の内面を、水、酸の水溶液、界面活性剤水溶液または界面活性剤を添加した酸の水溶液からなる洗浄液で洗浄する洗浄工程、および洗浄工程で洗浄したガラス容器を加熱昇温した後に冷却して除歪する除歪工程、次いで、上記ガラス容器を真空チャンバー内に配置し、所定の圧力になるように水蒸気を上記チャンバー内に供給しながら、放電してプラズマを照射し、ガラス容器の表面を親水化した後、解離しないようにテトライソシアネートシランまたは1H、1H、2H、2H-ヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシランを上記チャンバー内に供給して所定温度で所定時間反応を進行させて上記ガラス容器に薄膜を形成し、最後に、ガラス容器表面と上記薄膜内における結合を強化するための処理を行い、テトライソシアネートシランを供給した場合は表面官能基をヒドロキシ基に置換することを特徴とする。このような方法によって処理された容器の表面構造は、テトライソシアネートシランを供給した場合、ウレタン結合、尿素結合及びビュレット結合を含有するケイ素系ポリマーから構成される。また、1H、1H、2H、2H-ヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシランを供給した場合、容器の表面構造は、シロキサン結合から構成される。 In other words, the container surface treatment method of the present invention includes a cleaning step in which the inner surface of a glass container is cleaned with a cleaning solution consisting of water, an acid aqueous solution, a surfactant aqueous solution, or an acid aqueous solution containing a surfactant; a distortion-removing step in which the glass container cleaned in the cleaning step is heated to a predetermined temperature and then cooled to remove distortion; the glass container is then placed in a vacuum chamber, and water vapor is supplied into the chamber to a predetermined pressure while an electric discharge is irradiated with plasma to hydrophilize the surface of the glass container. Tetraisocyanate silane or 1H,1H,2H,2H-heptadecafluorodecyltrimethoxysilane is then supplied into the chamber without dissociating, and the reaction is allowed to proceed at a predetermined temperature for a predetermined time to form a thin film on the glass container. Finally, a treatment is performed to strengthen the bond between the glass container surface and the thin film, and in the case of tetraisocyanate silane, surface functional groups are replaced with hydroxy groups. When tetraisocyanate silane is supplied, the surface structure of a container treated by this method is composed of a silicon-based polymer containing urethane bonds, urea bonds, and biuret bonds. Furthermore, when 1H,1H,2H,2H-heptadecafluorodecyltrimethoxysilane is supplied, the surface structure of the container is composed of siloxane bonds.

 また本発明の容器の表面処理方法は、樹脂製容器を真空チャンバー内に配置し、所定の圧力になるように水蒸気を上記チャンバー内に供給しながら、放電してプラズマを照射し、プラズマ照射終了後に、上記チャンバー内にテトライソシアネートシランまたは1H、1H、2H、2H-ヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシランを供給して所定温度で所定時間反応を進行させて上記樹脂製容器に薄膜を形成し、最後に、樹脂製容器表面と上記薄膜内における結合を強化するための処理を行い、テトライソシアネートシランを供給した場合、表面官能基をヒドロキシ基に置換することを特徴とする。 The container surface treatment method of the present invention also involves placing a resin container in a vacuum chamber, supplying water vapor into the chamber to a predetermined pressure, discharging and irradiating plasma, and after plasma irradiation is complete, supplying tetraisocyanate silane or 1H,1H,2H,2H-heptadecafluorodecyltrimethoxysilane into the chamber and allowing the reaction to proceed at a predetermined temperature for a predetermined time to form a thin film on the resin container. Finally, treatment is performed to strengthen the bond between the resin container surface and the thin film, and when tetraisocyanate silane is supplied, surface functional groups are replaced with hydroxy groups.

 本発明の容器の表面処理方法及び当該方法によって処理された容器の表面構造によれば、容器内表面からのアルカリ成分の溶出量が極めて少なく、内容物である薬剤等の変質が抑制されて、所定の品質を確実に保持することができる。 The container surface treatment method of the present invention and the surface structure of containers treated using this method result in extremely low amounts of alkaline components leaching from the inner surface of the container, suppressing deterioration of the contents, such as pharmaceuticals, and ensuring that the specified quality is maintained.

図1(a)はガラス容器の内面にアルカリ質の溶離性成分が付着した状態を示す模式図、図1(b)は内面に付着したアルカリ質の溶離性成分を除去した後のガラス容器を示す模式図、図1(c)は図1(b)に示す内面を有するガラス容器を加熱した後の状態を示す模式図である。FIG. 1(a) is a schematic diagram showing a state in which alkaline elutable components adhere to the inner surface of a glass container, FIG. 1(b) is a schematic diagram showing the glass container after the alkaline elutable components adhered to the inner surface have been removed, and FIG. 1(c) is a schematic diagram showing the state of a glass container having the inner surface shown in FIG. 1(b) after being heated. 図2は、本発明の硼珪酸ガラス容器を製造する方法の一例を小工程毎に示す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing each substep of an example of a method for producing a borosilicate glass container of the present invention. 図3は、本発明の硼珪酸ガラス容器を製造する方法に好適に用いられる製造装置の一例を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing an example of a manufacturing apparatus that can be suitably used in the method for manufacturing a borosilicate glass container of the present invention. 図4は、洗浄機でバイアルを洗浄する様子を示す概略構成図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing how vials are washed by a washer. 図5は、本発明の硼珪酸ガラス容器の一実施形態の概略断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of one embodiment of the borosilicate glass container of the present invention. 図6は、ガラス容器にプラズマ処理を施すための一実施形態のプラズマ処理装置の全体構成を示す模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram showing the overall configuration of a plasma processing apparatus according to one embodiment for performing plasma processing on a glass container. 図7は、図6に示すプラズマ処理装置の真空チャンバーの断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view of the vacuum chamber of the plasma processing apparatus shown in FIG. 図8はガラス容器の表面構造をフーリエ変換赤外分光光度計により測定した結果であり、横軸は波数(/cm)を示し、縦軸は吸光度を示す。FIG. 8 shows the results of measuring the surface structure of a glass container using a Fourier transform infrared spectrophotometer, with the horizontal axis representing wave number (/cm) and the vertical axis representing absorbance. 図9は図8を部分的に取り出したものであり、ガラス容器の表面構造をフーリエ変換赤外分光光度計により測定した結果であり、横軸は波数(/cm)を示し、縦軸は吸光度を示す。FIG. 9 is a partial extract of FIG. 8, and shows the results of measuring the surface structure of the glass container with a Fourier transform infrared spectrophotometer, with the horizontal axis representing wave number (/cm) and the vertical axis representing absorbance. 図10は図8を部分的に取り出したものであり、ガラス容器の表面構造をフーリエ変換赤外分光光度計により測定した結果であり、横軸は波数(/cm)を示し、縦軸は吸光度を示す。FIG. 10 is a partial extract of FIG. 8 and shows the results of measuring the surface structure of the glass container with a Fourier transform infrared spectrophotometer, with the horizontal axis representing wave number (/cm) and the vertical axis representing absorbance. 図11は図8を部分的に取り出したものであり、ガラス容器の表面構造をフーリエ変換赤外分光光度計により測定した結果であり、横軸は波数(/cm)を示し、縦軸は吸光度を示す。FIG. 11 is a partial extract of FIG. 8 and shows the results of measuring the surface structure of the glass container with a Fourier transform infrared spectrophotometer, with the horizontal axis representing wave number (/cm) and the vertical axis representing absorbance. 図12は、ガラス容器表面の化学反応を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing chemical reactions on the surface of a glass container. 図13は、ガラス容器表面の化学反応を示す別の図である。FIG. 13 is another diagram showing chemical reactions on the surface of a glass container.

 本発明のガラス容器の材料として使用されるガラス管は、特に制限はないが、例えば硼珪酸ガラスからなるガラス管が好ましい。ガラス管の断面は、通常真円状であるが、楕円形状等その他の形状でもよい。ガラス管の直径は特に制限はないが、通常は10~100mm程度である。ガラス管の長さも特に制限はないが、通常1~5m程度でよい。ガラス管は無色透明でもよいし、例えば褐色等に着色されていてもよい。 There are no particular restrictions on the glass tube used as the material for the glass container of the present invention, but a glass tube made of borosilicate glass is preferred. The cross section of the glass tube is usually circular, but may be elliptical or other shapes. There are no particular restrictions on the diameter of the glass tube, but it is usually about 10 to 100 mm. There are also no particular restrictions on the length of the glass tube, but it is usually about 1 to 5 m. The glass tube may be colorless and transparent, or it may be colored, for example, brown.

 このようなガラス管を用いてガラス容器を製造する方法は従来充分に確立されているので、本発明のガラス容器もそれに従って製造することができる。
 例えば、一定の直径を有し両端が開放されたガラス管を垂直に立て、通常は加熱手段を備えた縦型成型機に下端部を挿入し、例えば、温度約1500~1800℃のガスバーナーで加熱して、所望の管瓶の形状に成形し、次いで成形物と残部の上方に延びているガラス管とを加熱下に切り離すと共にガラス瓶と底部を形成する。次いで、切り離されたガラス管の下端を断面がもとの真円となるように成形加工する。成形加工後のガラス容器の温度は通常約300~400℃となる。
Since the method for producing a glass container using such a glass tube has been well established, the glass container of the present invention can be produced in accordance with the method.
For example, a glass tube with a certain diameter and open ends is set up vertically, and the lower end is inserted into a vertical molding machine usually equipped with a heating means. It is heated, for example, with a gas burner at a temperature of about 1500 to 1800°C to form the desired shape of a tube bottle. The formed product and the remaining glass tube extending above are then separated under heat, forming a glass bottle and a bottom. The lower end of the separated glass tube is then reshaped so that its cross section returns to its original perfect circle. The temperature of the glass container after shaping is usually about 300 to 400°C.

 この操作を繰り返すことによって、ガラス容器を量産できる。この際、通常、上記したように、加熱によってガラス質が変質してガラスの揮発成分(例えばNaO、KO)が、ガラス管の開放された下端と上端の間の空間部を煙突効果によって上昇してガラス管内面に付着し、アルカリ質の溶離性成分を形成すると考えられる。 By repeating this process, glass containers can be mass-produced. During this process, as described above, it is generally believed that the glass quality is altered by heating, and volatile components of the glass (e.g., Na2O , K2O ) rise through the space between the open upper and lower ends of the glass tube due to the chimney effect, adhere to the inner surface of the glass tube, and form alkaline elutable components.

 本発明は、上記ガラス容器の製造工程の後、次に詳述するガラス容器の洗浄工程を経ることによって、ガラス管内面に付着したアルカリ質の溶離性成分を除去又は低減し、さらに、洗浄工程後のガラス容器を30分以内に除歪工程に付し、適切な加熱温度に制御した除歪処理をガラス容器に施すことによって、内表面に分相が生成せず、且つフリーラジカルが存在せず、フレークスやデラミネーションがなく、内表面に存在する珪素と酸素がシロキサン結合で結合されている硼珪酸ガラス容器を提供することができる。 In the present invention, after the above-mentioned glass container manufacturing process, the glass container undergoes a glass container cleaning process, as described in detail below, which removes or reduces alkaline soluble components adhering to the inner surface of the glass tube. Furthermore, by subjecting the glass container to a strain relief process within 30 minutes after the cleaning process and subjecting the glass container to a strain relief treatment controlled at an appropriate heating temperature, it is possible to provide a borosilicate glass container in which no phase separation occurs on the inner surface, no free radicals are present, no flakes or delamination are present, and the silicon and oxygen present on the inner surface are bonded by siloxane bonds.

 成形加工後の上記約300~400℃のガラス容器を、必要により、例えば大気温度下に放冷し、好ましくは150℃以下のガラス容器を洗浄液で洗浄する。ガラス容器の温度が高い程、ガラス容器内面に付着した溶離性成分の除去又は低減効果は高いと考えられるが、高温のガラス容器に洗浄液を接触させるとガラス容器が破損するおそれがある。また、洗浄時のガラス容器の下限温度は、洗浄効率を考慮して、好ましくは30℃以上とされる。また、洗浄時間は、10秒未満では洗浄が不十分であり、15秒を超えると生産性が低下するので、約10~15秒が好ましい。 If necessary, the glass container, which has a temperature of approximately 300-400°C after molding, is allowed to cool, for example to ambient temperature, and is then washed with a cleaning solution, preferably at 150°C or below. The higher the temperature of the glass container, the greater the effect of removing or reducing elutable components adhering to the inner surface of the glass container; however, contacting a hot glass container with a cleaning solution may damage the glass container. Furthermore, taking into consideration cleaning efficiency, the lower limit temperature of the glass container during washing is preferably 30°C or higher. Furthermore, a washing time of less than 10 seconds results in insufficient cleaning, while a time of more than 15 seconds reduces productivity, so a washing time of approximately 10-15 seconds is preferred.

 洗浄工程における洗浄液の温度は限定されないが、約30~100℃の洗浄液を用いることが好ましく、約40~70℃の洗浄液を用いることがより好ましい。この範囲内であれば、本発明の目的とする化学的耐久性に極めて優れたガラス容器を得ることができる。 There are no restrictions on the temperature of the cleaning solution used in the cleaning process, but it is preferable to use a cleaning solution at approximately 30 to 100°C, and more preferably a cleaning solution at approximately 40 to 70°C. Within this range, it is possible to obtain glass containers with the extremely excellent chemical durability that is the objective of this invention.

 洗浄液としては、水、酸の水溶液、界面活性剤を含有する水溶液または界面活性剤を添加した酸の水溶液が好ましく用いられ、ガラス容器内表面に付着したアルカリ質の溶離性成分の溶解性が高い点で、酸の水溶液または界面活性剤を添加した酸の水溶液がより好ましい。 Preferred cleaning solutions are water, an aqueous acid solution, an aqueous solution containing a surfactant, or an aqueous acid solution with added surfactant, with an aqueous acid solution or an aqueous acid solution with added surfactant being more preferred due to their high solubility of alkaline elutable components adhering to the inner surface of the glass container.

 酸の水溶液に用いられる酸は有機酸と無機酸に大別される。有機酸の例としては、蟻酸、酢酸、シュウ酸、フタル酸およびクエン酸等を挙げることができ、また、無機酸の例としては、塩酸、硫酸および硝酸等を挙げることができる。これらの酸は、1種または2種以上を併用してもよい。上記した理由により有機酸が好ましく、洗浄効果および取扱い性の面からクエン酸、シュウ酸が好ましく用いられる。 Acids used in aqueous acid solutions are broadly divided into organic acids and inorganic acids. Examples of organic acids include formic acid, acetic acid, oxalic acid, phthalic acid, and citric acid, while examples of inorganic acids include hydrochloric acid, sulfuric acid, and nitric acid. These acids may be used alone or in combination. For the reasons mentioned above, organic acids are preferred, and citric acid and oxalic acid are preferred in terms of cleaning effectiveness and ease of handling.

 酸の濃度が高いほど、アルカリ成分の溶解性が高い傾向にあるが、廃液の処理を含めた取扱い性の点から、通常、酸の濃度は約0.005~1.0モル/L、好ましくは約0.01~0.1モル/Lとされる。 The higher the acid concentration, the greater the solubility of the alkaline component tends to be, but from the perspective of ease of handling, including waste liquid treatment, the acid concentration is usually set to approximately 0.005 to 1.0 mol/L, preferably approximately 0.01 to 0.1 mol/L.

 上記洗浄液の中で界面活性剤を含有する水溶液または界面活性剤を添加した酸の水溶液に用いられる界面活性剤は、特に限定されるものではないが、好ましい界面活性剤としては、ノニオン系界面活性剤が挙げられる。界面活性剤の濃度は本発明の目的と効果を妨げない範囲で適宜選択すればよい。 The surfactant used in the surfactant-containing aqueous solution or surfactant-added acid aqueous solution in the above-mentioned cleaning solution is not particularly limited, but preferred surfactants include nonionic surfactants. The concentration of the surfactant may be selected appropriately within a range that does not interfere with the objectives and effects of the present invention.

 上記洗浄液を用いてガラス容器の内面を洗浄液で洗浄するには、通常、ガラス容器を適宜の治具に挿入又は吊り下げなどした状態で、ガラス容器の口部から底部に向けて、例えばノズルから洗浄液を、通常、圧力をかけて吹き上げ噴霧することにより行う。ノズルの洗浄液噴霧口を、例えば、洗浄液と同時に圧搾空気を吐出し得るようにして、洗浄液の噴霧圧を高めるのが好ましい(ジェット噴霧洗浄とも称される)。具体的には、洗浄液の噴霧圧は、0.05MPa以上であるのが好ましい。噴霧圧が高すぎても洗浄効果が飽和するので、噴霧圧の上限は0.5MPa程度である。 To clean the inner surface of a glass container with the above-mentioned cleaning solution, the glass container is typically inserted into or suspended from a suitable jig, and the cleaning solution is sprayed upward, typically under pressure, from a nozzle, from the mouth of the glass container toward the bottom. It is preferable to increase the spray pressure of the cleaning solution by, for example, configuring the nozzle's cleaning solution spray outlet so that compressed air can be ejected simultaneously with the cleaning solution (this is also known as jet spray cleaning). Specifically, the spray pressure of the cleaning solution is preferably 0.05 MPa or higher. If the spray pressure is too high, the cleaning effect will saturate, so the upper limit of the spray pressure is around 0.5 MPa.

 洗浄液として水以外の洗浄液を用いる場合は、洗浄液による洗浄後、清浄な水によるすすぎの工程、及び、例えば空気の吹き込みによる十分な水切りの工程を経て、洗浄工程が終了する。 If a cleaning liquid other than water is used, after cleaning with the cleaning liquid, the cleaning process is completed by rinsing with clean water and then thoroughly draining the water, for example by blowing in air.

 なお、上記洗浄液によるガラス容器の内面の洗浄は、超音波洗浄で行ってもよい。超音波洗浄の場合、通常、上記の洗浄液を用いて、内面だけでなくガラス容器全体を洗浄し、すすぎ洗浄を行う。超音波洗浄を採用するか否かは、後述する縦型成型機、洗浄機および除歪炉などの生産ライン全体のレイアウトを考慮して決定される。 In addition, cleaning the inner surface of the glass container with the above cleaning solution may also be performed by ultrasonic cleaning. When using ultrasonic cleaning, the above cleaning solution is usually used to clean not only the inner surface but the entire glass container, followed by rinsing. Whether or not to use ultrasonic cleaning is determined by taking into account the layout of the entire production line, including the vertical molding machine, cleaning machine, and distortion removal furnace, which will be described later.

 本発明におけるガラス容器の除歪工程は、洗浄工程で洗浄したガラス容器を、目標最高雰囲気温度が685~700℃となるように制御されている除歪炉に送給して、ガラス容器の実際の温度が685℃から710℃である時間を1分間確保するように加熱昇温した後に冷却することにより行われる。洗浄後の約30~80℃のガラス容器を除歪炉内で加熱昇温した後に約300℃まで冷却することからなる除歪処理の全時間、すなわち、除歪炉内での在炉時間(除歪時間)は、3分~40分とされる。このような除歪処理により、ガラス管からガラス容器に成形加工した際の熱履歴に基づくガラス容器に残存する歪みが除去されると同時に、ガラス内表面に分相が生成せず、且つフリーラジカルが存在することなく、化学的に安定であるSiOを多量に含有する均質な被膜を内表面に形成し、フレークスやデラミネーションがなく、内表面に存在する珪素と酸素がシロキサン結合で結合されているガラス容器が得られる。 The strain relief process for glass containers in the present invention involves feeding the glass containers cleaned in the cleaning process into a strain relief furnace controlled to a target maximum atmospheric temperature of 685 to 700°C, heating the glass container to a temperature of 685 to 710°C for one minute, and then cooling the glass container. The total time for the strain relief process, which involves heating the cleaned glass container to a temperature of approximately 30 to 80°C in the strain relief furnace and then cooling it to approximately 300°C, i.e., the time spent in the strain relief furnace (strain relief time), is 3 to 40 minutes. This strain relief process removes residual strain in the glass container due to the thermal history during the molding process of the glass tube into a glass container, and simultaneously forms a homogeneous coating on the inner surface of the glass that does not produce phase separation or contain free radicals and contains a large amount of chemically stable SiO2 , resulting in a glass container that is free of flakes and delamination and in which silicon and oxygen present on the inner surface are bonded by siloxane bonds.

 本発明のガラス容器を得るためのプロセスを分かりやすく説明すれば、次のとおりである。 The process for obtaining the glass container of the present invention can be easily explained as follows:

(1)ガラス管内面へのアルカリ質の溶離性成分の付着
 上記のように、ガラス管を温度約1500~1800℃のガスバーナーで加熱して、所望の管瓶の形状に成形するときに、加熱によってガラス質が変質してガラスの揮発成分(例えばNaO、KO)が、ガラス管の開放された下端と上端の間の空間部を煙突効果によって上昇してガラス管内面に付着し、アルカリ質の溶離性成分を形成する。図1(a)は、ガラス管1の内面2にアルカリ質の溶離性成分3が付着した状態を示す模式図である。
(1) Adhesion of alkaline elutable components to the inner surface of the glass tube As described above, when a glass tube is heated with a gas burner at a temperature of approximately 1500 to 1800°C and formed into the desired shape of a tube bottle, the glass is altered by the heating, and volatile components of the glass (e.g., Na 2 O, K 2 O) rise through the space between the open lower and upper ends of the glass tube due to the chimney effect and adhere to the inner surface of the glass tube, forming alkaline elutable components. Figure 1(a) is a schematic diagram showing a state in which alkaline elutable components 3 have adhered to the inner surface 2 of a glass tube 1.

(2)洗浄によるアルカリ質の溶離性成分の除去
 洗浄によってアルカリ質の溶離性成分を除去することはできるが、洗浄の結果、図1(b)に示すように、ガラス容器4の内面5は微視的に平坦でなくなる。
(2) Removal of alkaline elutable components by washing Although alkaline elutable components can be removed by washing, the washing results in the inner surface 5 of the glass container 4 becoming microscopically uneven, as shown in FIG. 1(b).

(3)成形加工時の熱履歴に基づく残存歪みの除去
 アルカリ質の溶離性成分を除去した後のガラス容器を加熱することによって残存歪みを除去することができる。また、原子の拡散によって、図1(c)に示すように、ガラス容器4の内面5の平坦度も改善される。
(3) Removal of residual strain due to thermal history during molding: Residual strain can be removed by heating the glass container after removing the alkaline eluting components. In addition, atomic diffusion improves the flatness of the inner surface 5 of the glass container 4, as shown in Figure 1(c).

(4)ガラス容器の内面の形成
 硼珪酸ガラスは、ガラス転移点以上の温度に長時間加熱すると、分相化することがある。また、加熱温度が高すぎると、ガラス容器に変形やシワが発生する。そこで、加熱条件の選択が極めて重要である。
(4) Formation of the inner surface of glass containers Borosilicate glass can undergo phase separation when heated to temperatures above its glass transition point for a long period of time. Furthermore, if the heating temperature is too high, deformation and wrinkles will occur in the glass container. Therefore, the selection of heating conditions is extremely important.

 そこで、685~700℃の目標最高雰囲気温度となるように制御されている除歪炉において、ガラス容器の実際の温度が685~710℃である時間を1分間確保するように制御することによって、本発明のガラス容器を製造することができる。685~710℃である時間が1分間であれば、内表面に分相が生成せず、且つフリーラジカルが存在せず、内表面に存在する珪素と酸素がシロキサン結合で結合されており、ガラス表面が変形したり、シワが発生することなく、熱履歴に基づく残存歪みが除去されて、内外表面がほぼ平滑なガラス容器を製造することができる。 Therefore, the glass container of the present invention can be manufactured by controlling a distortion-removing furnace, which is controlled to a target maximum atmospheric temperature of 685-700°C, so that the actual temperature of the glass container remains at 685-710°C for one minute. If the time at 685-710°C is one minute, no phase separation occurs on the inner surface, no free radicals are present, and the silicon and oxygen present on the inner surface are bonded by siloxane bonds, preventing deformation or wrinkles on the glass surface. Residual distortion due to thermal history is removed, and glass containers with nearly smooth inner and outer surfaces can be manufactured.

 ガラス容器自体の温度が長時間(10分以上)にわたって700℃を超えると、ガラス表面が変形したり、シワが発生することがある。一方、除歪炉の最高雰囲気温度が650℃未満で制御されると、ガラス容器自体の温度が600℃を下回りやすく、ガラス化が不十分となることがある。 If the temperature of the glass container itself exceeds 700°C for a long period of time (10 minutes or more), the glass surface may deform or wrinkles may form. On the other hand, if the maximum ambient temperature of the distortion removal furnace is controlled to less than 650°C, the temperature of the glass container itself is likely to fall below 600°C, which may result in insufficient vitrification.

(5)プラズマ処理
 有機分子が固体表面への特異な吸着現象を示し、吸着の過程で緻密に集合しかつ配向が揃った分子膜が形成されることがあり、吸着分子層が一層の場合、すなわち単分子膜が形成される場合、これは自己組織化単分子膜(以下、SAM膜という場合がある)と呼ばれる。また、吸着分子層が二層以上の場合、自己組織化多層膜と呼ばれる。そこで、上記のようにして製造されたガラス容器をプラズマ処理装置の真空チャンバー内に配置して、ガラス容器の表面にSAM膜または自己組織化多層膜を形成する。すなわち、プラズマ処理装置の所定の真空度の真空チャンバー内に親水性基を付与する蒸発源が供給された状態で、プラズマ発生部により形成されたプラズマ雰囲気により前記ガラス容器の膜形成面を改質して膜形成面を親水化する表面親水化モードを実行し、膜形成面が親水化されたガラス容器に対し、所定の真空度の真空チャンバー内にSAM膜または自己組織化多層膜の前駆体材料の加水分解や求核反応を促進する蒸発源が供給された状態で、SAM膜または自己組織化多層膜の前駆体材料の蒸発源を供給して、親水化された膜形成面上にSAM膜または自己組織化多層膜を形成する自己組織化モードを実行し、最後に、所定の真空度の真空チャンバー内でガラス容器の膜形成面とSAM膜または自己組織化多層膜内の結合を強化する最終処理モードを実行する。なお、ガラス容器に代えて樹脂製容器に対しても、プラズマ処理装置内で同様の処理を施すことにより、樹脂製容器にSAM膜または自己組織化多層膜を形成することができる。そのような樹脂としては、プロピロピレン(PP)、ポリエチレン(PE)、シクロオレフィン(COP、COC)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリ塩化ビニル(PVC)などを挙げることができる。
(5) Plasma Treatment Organic molecules exhibit a unique adsorption phenomenon to solid surfaces, and during the adsorption process, they may form a densely packed, uniformly oriented molecular film. When the adsorbed molecular layer is a single layer, i.e., a monolayer, this is called a self-assembled monolayer (hereinafter sometimes referred to as a SAM film). When the adsorbed molecular layer is two or more layers, it is called a self-assembled multilayer film. Therefore, the glass container manufactured as described above is placed in the vacuum chamber of a plasma processing device, and a SAM film or a self-assembled multilayer film is formed on the surface of the glass container. That is, in a state where an evaporation source that imparts hydrophilic groups is supplied into a vacuum chamber of a plasma processing apparatus having a predetermined vacuum level, a surface hydrophilization mode is executed in which the film formation surface of the glass container is modified to hydrophilize the film formation surface using a plasma atmosphere formed by a plasma generating unit; in a state where an evaporation source that promotes hydrolysis or nucleophilic reaction of a precursor material of a SAM film or a self-assembled multilayer film is supplied into a vacuum chamber of a predetermined vacuum level to the glass container whose film formation surface has been hydrophilized, an evaporation source of a precursor material of a SAM film or a self-assembled multilayer film is supplied to the hydrophilized film formation surface; and finally, in a vacuum chamber of a predetermined vacuum level, a final processing mode is executed in which the bond between the film formation surface of the glass container and the SAM film or the self-assembled multilayer film is strengthened. Note that a similar process can also be performed on a resin container instead of a glass container in the plasma processing apparatus to form a SAM film or a self-assembled multilayer film on the resin container. Examples of such resins include propylene (PP), polyethylene (PE), cycloolefin (COP, COC), polyethylene terephthalate (PET), and polyvinyl chloride (PVC).

 本発明によって、アルカリ成分等の溶出量が極めて少ない容器が提供される。 The present invention provides a container with extremely low elution of alkaline components and the like.

 以下に本発明の実施例を説明するが、本発明の技術的範囲を逸脱しない範囲において、様々な変更や修正が可能であることは言うまでもない。 The following describes an embodiment of the present invention, but it goes without saying that various changes and modifications are possible without departing from the technical scope of the present invention.

 外径16mm、長さ1m60cmで、以下の表2に示す組成(重量%)を有する硼珪酸ガラス製のガラス管を使用し、以下の方法により、容量2mLのバイアルを得た。まず、図2の(1)に示すようにガラス管11の端部を上にして管瓶の縦型成型機12に挿入し、下端部をガスバーナーで加熱してガラスを軟化させ、瓶の開口部分の形状となるように成形加工した。以下、より詳しく図2に基づいて工程順に説明する。 A 2 mL vial was obtained using a glass tube made of borosilicate glass with an outer diameter of 16 mm, a length of 1.6 m, and the composition (by weight) shown in Table 2 below, using the following method. First, as shown in Figure 2 (1), the glass tube 11 was inserted into a vertical tube bottle molding machine 12 with the end facing up, and the bottom end was heated with a gas burner to soften the glass, which was then molded into the shape of the bottle opening. The process is explained in more detail below, in order, based on Figure 2.

(1)ガラス管11の下端部を1200~2000℃のフィッシュテールバーナー13で加熱した。
(2)ローラー14とプランジャー15とを用いて肩部を成形した。
(3)1200~2000℃のポイントバーナー16で加熱した。
(4)ローラー14とプランジャー15とで口部を成形した。
(5)全高板17を用いて瓶高さを決定した。
(6)温度1200~2000℃のカットバーナー18を用いてカットした。
(7)ポイントバーナー16を用いて底部を均質化した。
(8)エアー19を吹き込み、1200~2000℃のポイントバーナー16を用いてバイアル20の底部成形を完成した。
(1) The lower end of the glass tube 11 was heated to 1200 to 2000° C. by a fishtail burner 13.
(2) A shoulder was formed using a roller 14 and a plunger 15.
(3) The material was heated with a point burner 16 at 1200 to 2000°C.
(4) The mouth was formed using a roller 14 and a plunger 15.
(5) The bottle height was determined using the total height plate 17.
(6) Cutting was performed using a cut burner 18 at a temperature of 1200 to 2000°C.
(7) The bottom was homogenized using point burner 16.
(8) Air 19 was blown in and the bottom of the vial 20 was formed using a point burner 16 at 1200 to 2000°C.

 このようにして得られたバイアル20を、ネットコンベアー21上に載置された治具に挿入した状態(図3)で洗浄機22に搬送し、大気温下に放冷し(図2における(9)冷却工程)、約30℃のバイアルの内表面をシリンジを使用して10mLの25℃の洗浄液(クエン酸)で10秒間吹き上げ洗浄(クエン酸の噴霧圧0.2MPa)を行い(図2における(10)洗浄工程)、さらに、精製水で10秒間吹き上げ洗浄(0.2MPa)を行った後、エアー19を吹き込んで十分に水を切った(図2における(11)水切り工程)。尚、図3では細部を省略しているが、バイアル20は、ネットコンベアー21によって洗浄機22および除歪炉24に搬送可能とされている。 The vials 20 obtained in this manner are inserted into a jig placed on a net conveyor 21 (Figure 3), transported to the washer 22, and left to cool at ambient temperature (cooling step (9) in Figure 2). The inner surfaces of the vials, which are approximately 30°C, are then spray-cleaned with 10 mL of a 25°C cleaning solution (citric acid) using a syringe for 10 seconds (citric acid spray pressure: 0.2 MPa) (cleaning step (10) in Figure 2). They are then further spray-cleaned with purified water for 10 seconds (0.2 MPa), after which air 19 is blown in to thoroughly drain the water (draining step (11) in Figure 2). Although details are omitted in Figure 3, the vials 20 can be transported to the washer 22 and strain relief furnace 24 by the net conveyor 21.

 図4は、洗浄機22でバイアル20を洗浄する様子を示す概略構成図である。図4において、31はマニホールド、32はノズル、33はニードルバルブ、34は流量計、35は圧力計、36はポンプ、37は洗浄液の貯槽である。ニードルバルブ33の開度を調整することにより、洗浄液の噴霧圧を調節することができる。 Figure 4 is a schematic diagram showing how vials 20 are washed by washer 22. In Figure 4, 31 is a manifold, 32 is a nozzle, 33 is a needle valve, 34 is a flow meter, 35 is a pressure gauge, 36 is a pump, and 37 is a storage tank for the washing liquid. The spray pressure of the washing liquid can be adjusted by adjusting the opening of needle valve 33.

 クエン酸と精製水による洗浄及び水切りが終了した約25℃のバイアル20を、30分以内にバーナーヒーター23を備えた加熱炉有効長5mの除歪炉24に搬送し(図2における(12)除歪工程)、除歪炉内の目標最高雰囲気温度が670℃となるように制御して25分間除歪処理(雰囲気温度が670℃以上である時間は108秒で、ガラス容器の実際の温度は670~700℃で、ガラス容器の実際の温度が690~700℃である時間が1分間)を行った硼珪酸ガラス製のガラス容器を得、このガラス容器を常温まで放冷した。図5は、このようにして得た硼珪酸ガラス容器40の概略断面を示す図である。なお、除歪炉24は、入口側と出口側が開放されているので、除歪炉内に設けた熱電対で感知される除歪炉内の雰囲気温度を、例えば670~700℃としても、入口側や出口側はこの温度よりも低くなる。また、除歪炉内の雰囲気温度は3箇所に設置した熱電対で測定し、そのうちの1つの熱電対で測定した温度が目標温度となるように、バーナーヒーター23をオン・オフ制御した。さらに、ガラス容器の実際の温度はガラス容器に融着させた熱電対により測定した。 After washing with citric acid and purified water and draining, the vials 20, which were approximately 25°C, were transported within 30 minutes to a 5-m effective length dewarping furnace 24 equipped with a burner heater 23 (dewarping process (12) in Figure 2). The target maximum ambient temperature in the dewarping furnace was controlled to 670°C, and the dewarping process was carried out for 25 minutes (the ambient temperature remained above 670°C for 108 seconds, the actual temperature of the glass container was 670-700°C, and the actual temperature of the glass container remained at 690-700°C for 1 minute). A borosilicate glass container was obtained, and this glass container was allowed to cool to room temperature. Figure 5 shows a schematic cross-section of the borosilicate glass container 40 obtained in this manner. Note that because the inlet and outlet sides of the dewarping furnace 24 are open, even if the ambient temperature inside the dewarping furnace, as sensed by a thermocouple installed inside the dewarping furnace, is, for example, 670-700°C, the temperatures at the inlet and outlet sides will be lower than this temperature. The ambient temperature inside the distortion removal furnace was measured using thermocouples installed in three locations, and the burner heater 23 was turned on and off so that the temperature measured by one of the thermocouples reached the target temperature. Furthermore, the actual temperature of the glass container was measured using a thermocouple fused to the glass container.

 図6は、このようにして得たガラス容器にプラズマ処理を施して、SAM膜または自己組織化多層膜を形成するための一実施形態のプラズマ処理装置の全体構成を示す模式図、図7は図6に示すプラズマ処理装置の真空チャンバーの断面図である。 Figure 6 is a schematic diagram showing the overall configuration of one embodiment of a plasma processing apparatus for performing plasma processing on the glass container obtained in this manner to form a SAM film or a self-assembled multilayer film, and Figure 7 is a cross-sectional view of the vacuum chamber of the plasma processing apparatus shown in Figure 6.

 図6に示すように、プラズマ処理装置51は、SAM膜または自己組織化多層膜が形成されるガラス容器Vを収容する真空チャンバー52と、真空チャンバー52内にガラス容器Vを配置するステージを兼ねる下部電極53と、下部電極53に対向する上部電極54を有し、下部電極53には、プラズマ生成用電源57が接続されている。図6は、下部電極53がガラス容器Vを支持する構造であるが、上部電極54がガラス容器Vを支持するような構造でも良いし、下部電極53と上部電極54の両方がガラス容器Vを支持する構造であっても良い。また、プラズマ生成用電源57は、低周波電源を用いても良いし、高周波電源を用いても良い。さらに、真空チャンバー52内の圧力を監視する圧力ゲージ55と、アース56と、真空ポンプ59とが真空チャンバー52に接続されている。また、プラズマ処理に使用するガス導入口60と、プラズマ処理やSAM膜または自己組織化多層膜の成膜に必要な反応体物質のバブラー65と、SAM膜または自己組織化多層膜の原料チャンバー68とが配管で接続されて真空チャンバー52に導入される構造を有する。 As shown in Figure 6, the plasma processing apparatus 51 has a vacuum chamber 52 that houses a glass container V on which a SAM film or self-assembled multilayer film is to be formed, a lower electrode 53 that also serves as a stage for placing the glass container V in the vacuum chamber 52, and an upper electrode 54 that faces the lower electrode 53, with a plasma generation power supply 57 connected to the lower electrode 53. While Figure 6 shows a structure in which the lower electrode 53 supports the glass container V, a structure in which the upper electrode 54 supports the glass container V is also possible, or a structure in which both the lower electrode 53 and the upper electrode 54 support the glass container V is also possible. Furthermore, the plasma generation power supply 57 may be a low-frequency power supply or a high-frequency power supply. Furthermore, a pressure gauge 55 that monitors the pressure within the vacuum chamber 52, an earth 56, and a vacuum pump 59 are connected to the vacuum chamber 52. The system also has a structure in which a gas inlet 60 used for plasma processing, a bubbler 65 for reactant materials required for plasma processing and for forming a SAM film or self-assembled multilayer film, and a raw material chamber 68 for the SAM film or self-assembled multilayer film are connected by piping and introduced into the vacuum chamber 52.

 さらに、図7に示すように、本実施形態における真空チャンバー52は、上部チャンバー77と、下部チャンバー78とを有し、下部チャンバー78にO-リング80を有する。本実施形態において、上部チャンバー77と下部チャンバー78は、電気的に接地された電気伝導体で構成されており、真空チャンバー52の内壁面全体は、電位が接地となっている接地電位面となっている。上部チャンバー77と下部チャンバー78を構成する電気導電体は、例えば、銅、ニッケル、チタン等の遷移金属、これらの合金、ステンレス鋼、モリブデン、タングステン等の高融点金属等で構成される金属材料である。本実施形態では、上部チャンバー77の上部にガス導入部71を有し、プラズマ処理に使用するガス導入口60と、プラズマ処理やSAM膜または自己組織化多層膜の成膜工程に必要な反応体物質のバブラー65と、SAM膜または自己組織化多層膜の原料チャンバー68とから接続された配管がガス導入部71に接続される。 Furthermore, as shown in FIG. 7, the vacuum chamber 52 in this embodiment has an upper chamber 77 and a lower chamber 78, with an O-ring 80 in the lower chamber 78. In this embodiment, the upper chamber 77 and the lower chamber 78 are composed of electrically grounded electrical conductors, and the entire inner wall surface of the vacuum chamber 52 forms a ground potential surface. The electrical conductors that make up the upper chamber 77 and the lower chamber 78 are metallic materials such as transition metals such as copper, nickel, and titanium, alloys of these metals, and refractory metals such as stainless steel, molybdenum, and tungsten. In this embodiment, a gas inlet 71 is provided at the top of the upper chamber 77, and piping connected to the gas inlet 60 used for plasma processing, the bubbler 65 for reactant materials required for plasma processing and the SAM film or self-assembled multilayer film deposition process, and the raw material chamber 68 for the SAM film or self-assembled multilayer film are connected to the gas inlet 71.

 本実施形態では、下部電極53は、電流導入端子72と電極ステージ73から構成されており、電流導入端子72の周囲と電極ステージ73の下部に絶縁部材76を配置している。また、電流導入端子72はプラズマ生成用電源57と接続されている。下部電極53に対向している上部電極54はガスシャワー板74を兼ねている構造を有している。本実施形態では、下部チャンバー78には、電極ステージ73を囲む形態でアースリング75が設けられている構造を有する。電極ステージ73とアースリング75の高さの差は略0mmとなることが好ましいが、電極ステージ73よりアースリング75の方が少し高くてもよい。アースリング75は電極ステージ73との間隔が1mm以上5mm以下となるように形成されている。このような間隔を形成することにより、ガスの流れを制御し、プラズマの均一な領域を可能な限り広げることが可能となる。アースリング75と電極ステージ73との間隔が1mm未満の場合、真空ポンプでガスを引く時に間隔が狭すぎて充分にガスを引くことができず、その上、異常放電が起こることにより、所望のプラズマを発生させることができない。また、アースリング75と電極ステージ73との間隔が5mmより大きくなると、電極ステージ73とアースリング75との間で異常放電が起こり、所望の均一なプラズマを発生させることができない。 In this embodiment, the lower electrode 53 is composed of a current introduction terminal 72 and an electrode stage 73, and insulating members 76 are arranged around the current introduction terminal 72 and below the electrode stage 73. The current introduction terminal 72 is also connected to a plasma generation power supply 57. The upper electrode 54, facing the lower electrode 53, is structured to also function as a gas shower plate 74. In this embodiment, the lower chamber 78 is structured such that an earth ring 75 is provided surrounding the electrode stage 73. Preferably, the difference in height between the electrode stage 73 and the earth ring 75 is approximately 0 mm, but the earth ring 75 may be slightly higher than the electrode stage 73. The earth ring 75 is formed so that the distance between it and the electrode stage 73 is 1 mm or more and 5 mm or less. By forming such a distance, it is possible to control the gas flow and maximize the uniform plasma area. If the distance between the earth ring 75 and the electrode stage 73 is less than 1 mm, the distance will be too narrow to adequately draw gas when using a vacuum pump. Furthermore, abnormal discharge will occur, preventing the desired plasma from being generated. Furthermore, if the distance between the earth ring 75 and the electrode stage 73 is greater than 5 mm, abnormal discharge occurs between the electrode stage 73 and the earth ring 75, making it impossible to generate the desired uniform plasma.

 また、下部チャンバー78には、電流導入端子72とアースリング75との間に、真空ポンプ59と接続されている真空排気口79を有し、排気流量調整バルブ58で真空チャンバー52内の真空度を調整することができる。したがって、本実施形態の装置を用いることにより、SAM膜または自己組織化多層膜を形成する前処理工程においてプラズマ処理による親水化処理を良好に行うことが可能となる。 Furthermore, the lower chamber 78 has a vacuum exhaust port 79 connected to a vacuum pump 59 between the current input terminal 72 and the earth ring 75, and the degree of vacuum inside the vacuum chamber 52 can be adjusted using an exhaust flow rate adjustment valve 58. Therefore, by using the device of this embodiment, it is possible to effectively perform hydrophilization treatment using plasma treatment in the pretreatment process for forming a SAM film or self-assembled multilayer film.

 本実施形態では、プラズマ処理に使用するガスを導入するガス導入口60からの系統と、プラズマ処理やSAM膜または自己組織化多層膜の成膜工程に必要な反応体物質のバブラー65からの系統と、SAM膜または自己組織化多層膜の原料チャンバー68からの系統からなる3系統のガス導入管と、真空チャンバー52とが接続されている。ガス導入管の配管には、ガスが液化しない様に、断熱材又はヒーター(図示せず)で囲まれた構造の配管が使用される。 In this embodiment, three gas introduction pipes are connected to the vacuum chamber 52: one from the gas inlet 60, which introduces the gas used in plasma processing; one from the bubbler 65 for the reactant materials required for plasma processing and the SAM film or self-assembled multilayer film deposition process; and one from the raw material chamber 68 for the SAM film or self-assembled multilayer film. The gas introduction pipes are surrounded by heat insulating material or a heater (not shown) to prevent the gas from liquefying.

 本実施形態においては、ガス導入口60から導入するプラズマ処理に使用するガスはガスボンベ(図示せず)から供給され、流量調整バルブ/マスフローコントローラ61を介して真空チャンバー52に導入される。プラズマ処理に使用されるガスとしては、ガラス容器Vの表面に水酸基(OH基)を付与するガス、又はOH基を付与する工程の前処理用のガスが選択される。例えば、水蒸気(HO)、酸素(O)やアルゴン(Ar)等が挙げられる。表面にOH基を付与するガス、又はOHを付与する工程の前処理に使用することが可能なガスであれば、何ら限定するものではない。 In this embodiment, the gas used in the plasma treatment introduced from the gas inlet 60 is supplied from a gas cylinder (not shown) and introduced into the vacuum chamber 52 via a flow rate adjustment valve/mass flow controller 61. The gas used in the plasma treatment is selected from a gas that imparts hydroxyl groups (OH groups) to the surface of the glass container V, or a pre-treatment gas for the step of imparting OH groups. Examples include water vapor (H 2 O), oxygen (O 2 ), and argon (Ar). There are no limitations on the gas used as long as it is a gas that imparts OH groups to the surface, or a gas that can be used for pre-treatment for the step of imparting OH groups.

 プラズマ処理に使用されるガスが真空チャンバー52に供給される時は、真空チャンバー52の真空度を排気流量調節バルブ58と真空ポンプ59により制御し、下部電極53と上部電極54で放電することにより、上記ガスがプラズマ生成ガスとして機能し、ガラス容器Vにプラズマ親水化処理を施す。 When the gas used for plasma treatment is supplied to the vacuum chamber 52, the degree of vacuum in the vacuum chamber 52 is controlled by the exhaust flow control valve 58 and vacuum pump 59, and by discharging between the lower electrode 53 and the upper electrode 54, the gas functions as a plasma generating gas, and plasma hydrophilization treatment is performed on the glass container V.

 本実施形態においては、プラズマ処理やSAM膜または自己組織化多層膜の成膜に必要な反応体物質である蒸気源67が注入されているバブラー65は、マントルヒーター66を備えており、加熱することによりプラズマ処理やSAM膜または自己組織化多層膜の成膜に必要な反応体物質である蒸気源67の蒸気を発生させて、真空チャンバー52に供給する。バブラー65は、蒸気源67の蒸気をキャリアするためのキャリアガスの導入口62から流量調整バルブ/マスフローコントローラ63を介してキャリアガスが供給される配管と結合されており、バブラー65を通過することなく、バブラー65からの蒸気と混合することが可能なキャリアガスが通るバイパス弁64を有する配管が構成されている。キャリアガスが不要な場合は、キャリアガスを流さなくても構わない。 In this embodiment, bubbler 65, into which vapor source 67, a reactant material necessary for plasma processing and for forming a SAM film or a self-assembled multilayer film, is injected, is equipped with a mantle heater 66, and when heated, generates vapor of vapor source 67, a reactant material necessary for plasma processing and for forming a SAM film or a self-assembled multilayer film, which is then supplied to vacuum chamber 52. Bubbler 65 is connected to a pipe through which carrier gas is supplied from carrier gas inlet 62, which carries the vapor from vapor source 67, via a flow control valve/mass flow controller 63, and is configured with a pipe having a bypass valve 64 through which carrier gas passes that can be mixed with the vapor from bubbler 65 without passing through bubbler 65. If carrier gas is not required, it is not necessary to flow carrier gas.

 プラズマ処理やSAM膜または自己組織化多層膜の成膜に必要な反応体物質である蒸気源67として、ガラス容器Vの表面にOH基を付与する蒸発源、又はSAM膜もしくは自己組織化多層膜の前駆体の加水分解または求核反応を促進する蒸発源が選択される。例えば、水(HO)が例示される。 The vapor source 67, which is a reactant material necessary for plasma treatment and for forming the SAM film or self-assembled multilayer film, is selected from an evaporation source that imparts OH groups to the surface of the glass container V or an evaporation source that promotes hydrolysis or nucleophilic reaction of the precursor of the SAM film or self-assembled multilayer film, such as water (H 2 O).

 プラズマ処理やSAM膜または自己組織化多層膜の成膜に必要な反応体物質である蒸気源67の蒸気が真空チャンバー52に供給される時は、下部電極53と上部電極54で放電することにより、上記HOガス(水蒸気)がプラズマ生成ガスとして機能し、ガラス容器Vの表面にOH基を付与する工程となり、直後のSAM膜または自己組織化多層膜形成工程では、放電時のプラズマの残留成分(水蒸気)がSAM膜または自己組織化多層膜前駆体材料と加水分解または求核反応を促進する。真空チャンバー52の真空度を排気流量調節バルブ58と真空ポンプ59で制御することにより、引き続くSAM膜または自己組織化多層膜前駆体の加水分解または求核反応は、SAM膜または自己組織化多層膜前駆体が分解、解離しないようにすれば、放電中でも放電停止後でも構わない。 When vapor from vapor source 67, which is a reactant material necessary for plasma processing and for forming a SAM film or a self-assembled multilayer film, is supplied to vacuum chamber 52, discharge occurs between lower electrode 53 and upper electrode 54, causing the H2O gas (water vapor) to function as a plasma generating gas and impart OH groups to the surface of glass container V. In the SAM film or self-assembled multilayer film formation process immediately after this, residual components (water vapor) of the plasma generated during discharge promote hydrolysis or nucleophilic reaction with the SAM film or self-assembled multilayer film precursor material. By controlling the degree of vacuum in vacuum chamber 52 with exhaust flow control valve 58 and vacuum pump 59, the subsequent hydrolysis or nucleophilic reaction of the SAM film or self-assembled multilayer film precursor can occur during or after discharge has stopped, as long as the SAM film or self-assembled multilayer film precursor is not decomposed or dissociated.

 本実施形態においては、SAM膜または自己組織化多層膜前駆体材料の蒸気源70が注入されているSAM膜または自己組織化多層膜の原料チャンバー68はマントルヒーター69を備えており、マントルヒーター69で加熱することによりSAM膜または自己組織化多層膜の原料チャンバー68の蒸気を発生させて、真空チャンバー52に供給する。SAM膜または自己組織化多層膜前駆体材料の蒸気源70として、SAM膜または自己組織化多層膜の前駆体材料が加水分解されてできたOH基とガラス容器Vの表面に形成されたOH基の間で脱水縮合する蒸発源、またはSAM膜または自己組織化多層膜前駆体材料の蒸発源の材料分子自体がガラス容器Vの表面に形成されたOH基の間で脱水縮合する蒸発源が選択される。例えば、1H,1H,2H,2H-パーフルオロデシルジメチルクロロシラン、テトラヒドロオクチルメチルジクロロシラン(FOMDS)、ジクロロジメチルシラン(DDMS)、1H,1H,2H,2H-パーフルオロデシルトリクロロシラン(FDTS)、オクタデシルトリクロロシラン(OTS)、テトラヒドロオクチルトリクロロシラン(FOTS)等のクロロシラン系、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、イソブチルメチルジメトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、ヘキシルトリエトキシシラン、ドデシルトリエトキシシラン、1H,1H,2H,2H-パーフルオロデシルトリメトキシシラン、1H,1H,2H,2H-トリデカフルオロオクチルトリメトキシシラン、n-オクタデシルトリメトキシシラン、テトラエトキシシラン(TEOS)等のアルコキシシラン系、オクタデシルホスホン酸、1H,1H,2H,2H-パーフルオロオクチルホスホン酸等のホスホン酸系材料や、テトライソシアネートシラン等のイソシアネート系、トリエトキシ(3-イソシアナトプロピル)シラン等のアルコキシシラン系且つイソシアネート系である材料や、ヘキサメチルジシラザン(HMDS)等のジシラザン系が挙げられ、SAM膜または自己組織化多層膜を形成することができる、クロロシラン系材料や、アルコキシシラン系材料や、イソシアネート系材料や、ホスホン酸系材料や、ジシラザン系材料であれば限定されるものではない。 In this embodiment, the SAM film or self-assembled multilayer film raw material chamber 68, into which a vapor source 70 of the SAM film or self-assembled multilayer film precursor material is injected, is equipped with a mantle heater 69, and by heating with the mantle heater 69, vapor is generated from the SAM film or self-assembled multilayer film raw material chamber 68 and supplied to the vacuum chamber 52. As the vapor source 70 of the SAM film or self-assembled multilayer film precursor material, an evaporation source that undergoes dehydration condensation between OH groups formed by hydrolysis of the SAM film or self-assembled multilayer film precursor material and OH groups formed on the surface of the glass container V, or an evaporation source that undergoes dehydration condensation between the material molecules of the evaporation source of the SAM film or self-assembled multilayer film precursor material themselves and OH groups formed on the surface of the glass container V, is selected. For example, chlorosilanes such as 1H,1H,2H,2H-perfluorodecyldimethylchlorosilane, tetrahydrooctylmethyldichlorosilane (FOMDS), dichlorodimethylsilane (DDMS), 1H,1H,2H,2H-perfluorodecyltrichlorosilane (FDTS), octadecyltrichlorosilane (OTS), and tetrahydrooctyltrichlorosilane (FOTS); dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, isobutylmethyldimethoxysilane, hexyltrimethoxysilane, hexyltriethoxysilane, dodecyltriethoxysilane, 1H,1H,2H,2H-perfluorodecyltrimethoxysilane, 1H,1H,2H,2H-tridecafluorooctyl Examples of materials that can form a SAM film or a self-assembled multilayer film include alkoxysilane-based materials such as n-octadecyltrimethoxysilane, n-octadecyltrimethoxysilane, and tetraethoxysilane (TEOS); phosphonic acid-based materials such as octadecylphosphonic acid and 1H,1H,2H,2H-perfluorooctylphosphonic acid; isocyanate-based materials such as tetraisocyanatesilane; alkoxysilane-based and isocyanate-based materials such as triethoxy(3-isocyanatopropyl)silane; and disilazanes such as hexamethyldisilazane (HMDS). These materials are not limited to chlorosilane-based materials, alkoxysilane-based materials, isocyanate-based materials, phosphonic acid-based materials, and disilazanes, as long as they are capable of forming a SAM film or a self-assembled multilayer film.

 SAM膜または自己組織化多層膜前駆体材料の蒸気源70が真空チャンバー52に供給される時は、下部電極53と上部電極54で放電しないことが好ましい。SAM膜または自己組織化多層膜形成工程では、SAM膜または自己組織化多層膜前駆体材料の蒸気源70がテトライソシアネートシランの場合は、放電時のプラズマの残留成分やHOが自己組織化多層膜前駆体材料と求核反応しつつ、4つのイソシアネート基のうち未反応のイソシアネート基がガラス容器表面または樹脂製容器表面に付与されたOH基と反応しウレタン結合が形成され、自己組織化多層膜の一層目が形成される。SAM膜または自己組織化多層膜前駆体材料の蒸気源70が、1H,1H,2H,2H-パーフルオロデシルトリメトキシシランの場合は、放電時のプラズマの残留成分やHOがSAM膜前駆体材料と加水分解反応した後、ガラス容器表面または樹脂製容器表面に付与されたOH基およびSAM膜前駆体材料のOH基とが水素結合で自己組織化された後、脱水縮合反応が進み、SAM膜が形成される。 When the vapor source 70 of the SAM film or self-assembled multilayer film precursor material is supplied to the vacuum chamber 52, it is preferable that no discharge occurs between the lower electrode 53 and the upper electrode 54. In the SAM film or self-assembled multilayer film formation step, if the vapor source 70 of the SAM film or self-assembled multilayer film precursor material is tetraisocyanate silane, residual components of the plasma during the discharge and H 2 O undergo a nucleophilic reaction with the self-assembled multilayer film precursor material, while unreacted isocyanate groups among the four isocyanate groups react with OH groups attached to the surface of the glass container or resin container to form urethane bonds, thereby forming the first layer of the self-assembled multilayer film. When the vapor source 70 of the SAM film or self-assembled multilayer film precursor material is 1H,1H,2H,2H-perfluorodecyltrimethoxysilane, the residual components of the plasma during discharge and H 2 O undergo a hydrolysis reaction with the SAM film precursor material, and then the OH groups on the surface of the glass container or resin container and the OH groups of the SAM film precursor material self-assemble through hydrogen bonding, and then a dehydration condensation reaction proceeds to form a SAM film.

 以上、説明したように、本実施形態におけるプラズマ処理装置は、真空チャンバー内にプラズマ雰囲気を形成するプラズマ発生部を備え、以下の3つの処理をそれぞれ実行するモードを有する。
(1)真空チャンバー内に、親水性基を付与する蒸発源が供給された状態で、プラズマ発生部により形成されたプラズマ雰囲気によりガラス容器または樹脂製容器の膜形成面を改質し、膜形成面を親水化する表面親水化モード
(2)膜形成面が親水化されたガラス容器または樹脂容器に対し、所定の真空度の真空チャンバー内にSAM膜または自己組織化多層膜の前駆体材料の加水分解または求核反応を促進する蒸発源が供給された状態で、SAM膜または自己組織化多層膜の前駆体材料の蒸発源を供給して、親水化された膜形成面上にSAM膜または自己組織化多層膜を形成する自己組織化モード。
(3)所定の真空度の真空チャンバー内で膜形成面とSAM膜または自己組織化多層膜内における結合を強化するための加熱処理、および自己組織化多層膜前駆体材料がテトライソシアネートシランの場合は、最表面のシラノール化処理からなる最終処理モード
As described above, the plasma processing apparatus of this embodiment includes a plasma generating unit that forms a plasma atmosphere in a vacuum chamber, and has modes for performing the following three processes.
(1) A surface hydrophilization mode in which an evaporation source that imparts hydrophilic groups is supplied into a vacuum chamber, and the film-forming surface of a glass container or a resin container is modified by a plasma atmosphere formed by a plasma generating unit to hydrophilize the film-forming surface. (2) A self-assembly mode in which an evaporation source that promotes the hydrolysis or nucleophilic reaction of a precursor material for a SAM film or a self-assembled multilayer film is supplied into a vacuum chamber of a predetermined vacuum degree to a glass container or a resin container whose film-forming surface has been hydrophilized, and an evaporation source for a precursor material for a SAM film or a self-assembled multilayer film is supplied to form a SAM film or a self-assembled multilayer film on the hydrophilized film-forming surface.
(3) A final treatment mode consisting of a heat treatment in a vacuum chamber of a predetermined vacuum level to strengthen the bond between the film formation surface and the SAM film or self-assembled multilayer film, and a silanol treatment of the outermost surface when the self-assembled multilayer film precursor material is tetraisocyanate silane.

 本実施形態において、表面親水化モードと自己組織化モードと最終処理モードは、共通の真空チャンバー内で実行されることが好ましい。これにより、表面親水化モードから自己組織化モード、自己組織化モードから最終処理モードへの移行を、真空チャンバーを大気に解放することなく行うことができる。なお、表面親水化モードと自己組織化モードと最終処理モードとを、別の真空チャンバー内で実行する場合は、真空状態を維持したまま容器を搬送できるロードロック式の真空チャンバーであることが好ましい。 In this embodiment, the surface hydrophilization mode, self-assembly mode, and final processing mode are preferably performed within a common vacuum chamber. This allows the transition from the surface hydrophilization mode to the self-assembly mode, and from the self-assembly mode to the final processing mode, to be performed without opening the vacuum chamber to the atmosphere. Note that if the surface hydrophilization mode, self-assembly mode, and final processing mode are performed within separate vacuum chambers, it is preferable that the vacuum chamber be a load-lock type that allows containers to be transported while maintaining a vacuum state.

 本実施形態において、容器の表面に水酸基を付与する蒸発源、及び自己組織化単分子膜の前駆体材料の加水分解を促進する蒸発源は、共に水蒸気であることが好ましい。なお、自己組織化モードにおける水蒸気は、表面親水化モードで残存した水蒸気であってもよい。 In this embodiment, it is preferable that the evaporation source that imparts hydroxyl groups to the surface of the container and the evaporation source that promotes hydrolysis of the precursor material of the self-assembled monolayer are both water vapor. Note that the water vapor in the self-assembly mode may be water vapor remaining in the surface hydrophilization mode.

 本実施形態によれば、容器上にSAM膜または自己組織化多層膜を形成する直前の基板表面に対して、真空プラズマ処理を施すことにより、水酸基等の親水性基を高密度に付与することが可能となると共に、真空チャンバーを大気に解放することなく、容器に付与された親水性基による親水性の経時変化が生じる前に、容器表面に高密度なSAM膜を形成することが可能となる。 According to this embodiment, by performing vacuum plasma treatment on the substrate surface immediately before forming a SAM film or self-assembled multilayer film on the container, it is possible to impart hydrophilic groups such as hydroxyl groups at a high density, and it is possible to form a high-density SAM film on the container surface without opening the vacuum chamber to the atmosphere and before the hydrophilic properties of the hydrophilic groups imparted to the container change over time.

 また、本実施形態におけるSAM膜または自己組織化多層膜の形成方法は、真空チャンバー内にガラス容器を配置する工程(A)と、真空チャンバー内に、ガラス容器表面に親水性基を付与する蒸発源を供給し、真空チャンバー内をプラズマ化することにより、蒸発源のプラズマを発生させて、ガラス容器表面を親水化する工程(B)と、工程(B)の後、真空チャンバー内に、SAM膜または自己組織化多層膜の前駆体材料の加水分解または求核反応を促進する蒸発源を供給した状態で、SAM膜または自己組織化多層膜の前駆体材料の蒸発源を供給して、ガラス容器表面にSAM膜または自己組織化多層膜を形成する工程(C)と、ガラス容器表面とSAM膜または自己組織化多層膜内における結合を強化および自己組織化多層膜前駆体材料がテトライソシアネートシランやオルトケイ酸テトラエチル等の4官能アルコキシシランの場合は、最表面のシラノール化処理をする工程(D)とを含み、少なくとも工程(B)および工程(C)は、真空チャンバーを大気に解放することなく実行される。工程(D)は、一連のプロセスで真空チャンバー内で大気開放せずに実行してもよいし、一旦、大気開放した後に実行してもよい。 In addition, the method for forming a SAM film or self-assembled multilayer film in this embodiment includes the steps of: (A) placing a glass container in a vacuum chamber; (B) supplying an evaporation source into the vacuum chamber that imparts hydrophilic groups to the surface of the glass container, and generating plasma from the evaporation source by turning the vacuum chamber into a plasma, thereby hydrophilizing the surface of the glass container; (C) after step (B), supplying an evaporation source of the precursor material of the SAM film or self-assembled multilayer film into the vacuum chamber while the evaporation source that promotes hydrolysis or nucleophilic reaction of the precursor material of the SAM film or self-assembled multilayer film is being supplied, thereby forming a SAM film or self-assembled multilayer film on the surface of the glass container; and (D) strengthening the bond between the glass container surface and the SAM film or self-assembled multilayer film, and silanolizing the outermost surface if the precursor material of the self-assembled multilayer film is a tetrafunctional alkoxysilane such as tetraisocyanate silane or tetraethyl orthosilicate; and at least steps (B) and (C) are performed without opening the vacuum chamber to the atmosphere. Step (D) may be performed in a vacuum chamber as a series of processes without opening to the atmosphere, or may be performed after opening to the atmosphere once.

 そして、段落0053から0058に記載したようにして得た硼珪酸ガラス製のガラス容器Vを図6に示すプラズマ処理装置内に配置して、そのガラス容器Vの表面に以下に説明するような処理を施して自己組織化多層膜を形成した。 Then, the borosilicate glass container V obtained as described in paragraphs 0053 to 0058 was placed in the plasma processing apparatus shown in Figure 6, and the surface of the glass container V was subjected to the treatment described below to form a self-assembled multilayer film.

 真空チャンバー52内の雰囲気圧力を5~10Paに減圧した。その後、プラズマ処理やSAM膜の形成に必要な反応体物質である蒸気源67として水が注入されたバブラー65をマントルヒーター66によって70℃まで加熱し、水蒸気を真空チャンバー52に導入し、真空チャンバー52内の雰囲気圧力を100Paに維持した。プラズマ生成電源57には13.56MHzの高周波電源を用いて、200Wの電力で3分間の水蒸気プラズマ照射を実施した。 The atmospheric pressure inside the vacuum chamber 52 was reduced to 5-10 Pa. Then, a bubbler 65, into which water had been injected as a vapor source 67, a reactant substance necessary for plasma processing and SAM film formation, was heated to 70°C using a mantle heater 66, and water vapor was introduced into the vacuum chamber 52, maintaining the atmospheric pressure inside the vacuum chamber 52 at 100 Pa. A 13.56 MHz high-frequency power supply was used as the plasma generation power supply 57, and water vapor plasma irradiation was carried out for 3 minutes at a power of 200 W.

 SAM膜または自己組織化多層膜前駆体材料の蒸気源70として、テトライソシアネートシランを5cc注入したSAM膜または自己組織化多層膜の原料チャンバー68は、マントルヒーター69によって50℃に加熱した。プラズマ照射終了後、バブラー65のバルブを閉めた後、真空チャンバー52を大気開放することなく、SAM膜または自己組織化多層膜の原料チャンバー68のバルブを開放することによりテトライソシアネートシランを真空チャンバー52内に導入し、20分間、ガラス容器Vをテトライソシアネートシランの蒸気にさらすことにより、ガラス容器Vに自己組織化多層膜を形成した。 The SAM film or self-assembled multilayer film raw material chamber 68, into which 5 cc of tetraisocyanate silane was injected as the vapor source 70 of the SAM film or self-assembled multilayer film precursor material, was heated to 50°C by a mantle heater 69. After plasma irradiation was completed, the valve of the bubbler 65 was closed, and then, without opening the vacuum chamber 52 to the atmosphere, the valve of the SAM film or self-assembled multilayer film raw material chamber 68 was opened to introduce tetraisocyanate silane into the vacuum chamber 52. The glass container V was exposed to the tetraisocyanate silane vapor for 20 minutes, thereby forming a self-assembled multilayer film on the glass container V.

 さらに、自己組織化多層膜を形成したガラス容器を100~120℃に加熱することにより、ガラス容器表面と自己組織化多層膜内の結合を強化した。その後に、再度水蒸気プラズマを照射することにより、最表面にシラノール基を形成することにより親水化表面を実現している。 Furthermore, the glass container on which the self-assembled multilayer film was formed was heated to 100-120°C, strengthening the bond between the glass container surface and the self-assembled multilayer film. After that, water vapor plasma was irradiated again, forming silanol groups on the outermost surface, resulting in a hydrophilic surface.

 次に、SAM膜または自己組織化多層膜前駆体材料の蒸気源70として、テトライソシアネートシランに代えて、1H,1H,2H,2H-パーフルオロデシルトリメトキシシランを用いた以外は、上記と同じ処理を、段落0053から0058および段落0078から0079に記載したようにして得た硼珪酸ガラス製のガラス容器Vに施した。その後、1H,1H,2H,2H-パーフルオロデシルトリメトキシシランのSAM膜を形成したガラス容器Vを100~120℃に加熱することにより、ガラス容器表面とSAM膜の結合を強化した。 Next, the same treatment as above was performed on a glass container V made of borosilicate glass obtained as described in paragraphs 0053 to 0058 and paragraphs 0078 to 0079, except that 1H,1H,2H,2H-perfluorodecyltrimethoxysilane was used instead of tetraisocyanatesilane as the vapor source 70 of the SAM film or self-assembled multilayer film precursor material. Glass container V, on which a SAM film of 1H,1H,2H,2H-perfluorodecyltrimethoxysilane had been formed, was then heated to 100 to 120°C to strengthen the bond between the glass container surface and the SAM film.

 そして、フーリエ変換赤外分光光度計を用いて、上記テトライソシアネートシランを自己組織化多層膜の原料とした処理を施されたガラス容器Vの表面に形成された分子を特定した。赤外光は分子結合の振動や回転運動のエネルギーとして吸収されるため、分子の構造や官能基の情報をスペクトルから得ることができる。図8はガラス容器の表面構造をフーリエ変換赤外分光光度計により測定した結果であり、横軸は波数(/cm)を示し、縦軸は吸光度を示す。図9、図10および図11は図8を部分的に取り出したものである。 Then, using a Fourier transform infrared spectrophotometer, we identified the molecules formed on the surface of glass container V, which had been treated using the above-mentioned tetraisocyanate silane as a raw material for the self-assembled multilayer film. Because infrared light is absorbed as energy from the vibration and rotational motion of molecular bonds, information on the molecular structure and functional groups can be obtained from the spectrum. Figure 8 shows the results of measuring the surface structure of the glass container using a Fourier transform infrared spectrophotometer, with the horizontal axis representing wavenumber (/cm) and the vertical axis representing absorbance. Figures 9, 10, and 11 are partial excerpts from Figure 8.

 本発明の方法に従ってガラス容器Vの表面にプラズマ処理を施すことにより、図12に示すように、ガラス容器の表面にウレタン結合(化1)が形成され、図13に示すように、ガラス容器の表面に尿素結合(化2)とビュレット結合(化3)が形成されることが分かる。 By subjecting the surface of glass container V to plasma treatment according to the method of the present invention, urethane bonds (chemical formula 1) are formed on the surface of the glass container, as shown in Figure 12, and urea bonds (chemical formula 2) and biuret bonds (chemical formula 3) are formed on the surface of the glass container, as shown in Figure 13.

 また、プラズマによる表面処理を行わなかった以外は、段落0053から0058に記載した内容と同じ工程を経て比較例1の硼珪酸ガラス製のガラス容器を得、プラズマによる表面処理を行わず、且つクエン酸と精製水による洗浄を行わなかった以外は、段落0053から0058に記載した内容と同じ工程を経て比較例2の硼珪酸ガラス製のガラス容器を得た。 Furthermore, a glass container made of borosilicate glass of Comparative Example 1 was obtained through the same steps as those described in paragraphs 0053 to 0058, except that no plasma surface treatment was performed. Furthermore, a glass container made of borosilicate glass of Comparative Example 2 was obtained through the same steps as those described in paragraphs 0053 to 0058, except that no plasma surface treatment was performed and no washing with citric acid and purified water was performed.

 その後、プラズマ処理装置を使用してテトライソシアネートシランによる表面処理を行った硼珪酸ガラス製のガラス容器(実施例1)と、プラズマ処理装置を使用してパーフルオロカーボンによる表面処理を行った硼珪酸ガラス製のガラス容器(実施例2)と、比較例1の硼珪酸ガラス製のガラス容器と、比較例2の硼珪酸ガラス製のガラス容器に対して、図5に示すように、各ガラス容器40に0.7mLの精製水40aを注入した後、121℃で2時間または4時間、オートクレーブ処理を行った。41はゴム栓である。そして、これらのガラス容器内の精製水について、精製水注入後1時間経過時点において、原子吸光分光光度計を用いて溶出Na量(ppm)を測定し、誘導結合プラズマ発光分光分析計を用いて、溶出B量(ppm)と溶出Al量(ppm)と溶出Si量(ppm)と溶出Ca量(ppm)と溶出Ba量(ppm)を測定した。その結果、以下の表3~表8に示すような測定結果を得た。精製水をガラス容器に注入するのは、例えば、ガラス容器に医薬品(例えば、液剤、凍結乾燥製剤、粉剤)を収納したときに、ガラス容器内面がどの程度の期間で劣化するかを見積もるための加速試験の意味を有しており、精製水注入後1時間経過時点は1.6年に相当する。 Then, as shown in Figure 5, 0.7 mL of purified water 40a was poured into each glass container 40 of a borosilicate glass container (Example 1) that had been surface-treated with tetraisocyanate silane using a plasma treatment device, a borosilicate glass container (Example 2) that had been surface-treated with perfluorocarbon using a plasma treatment device, a borosilicate glass container of Comparative Example 1, and a borosilicate glass container of Comparative Example 2. Then, autoclaving was performed for 2 or 4 hours at 121°C. 41 denotes a rubber stopper. Then, for the purified water in these glass containers, the amount of eluted Na (ppm) was measured using an atomic absorption spectrophotometer, and the amount of eluted B (ppm), eluted Al (ppm), eluted Si (ppm), eluted Ca (ppm), and eluted Ba (ppm) were measured using an inductively coupled plasma optical emission spectrometer. The measurement results, shown in Tables 3 to 8 below, were obtained. Pouring purified water into a glass container serves as an accelerated test to estimate how long it will take for the inner surface of a glass container to deteriorate when a pharmaceutical product (e.g., liquid, freeze-dried, or powder) is stored in the glass container; one hour after pouring the purified water corresponds to 1.6 years.

 表3~8に示すように、実施例1と2の硼珪酸ガラス容器は、6元素すべての溶出量が極めて少なく、化学的耐久性に極めて優れていることが分かる。一方、比較例1の硼珪酸ガラス容器は、Na以外の溶出量は実施例1および2の硼珪酸ガラス容器と同程度であるが、Naの溶出量は実施例1および2の硼珪酸ガラス容器より多い。
 また、表面処理を施されていない比較例2の硼珪酸ガラス容器は、6元素すべての溶出量が多い。
As shown in Tables 3 to 8, the borosilicate glass containers of Examples 1 and 2 had extremely low elution amounts of all six elements, demonstrating excellent chemical durability. On the other hand, the borosilicate glass container of Comparative Example 1 had approximately the same elution amounts of elements other than Na as the borosilicate glass containers of Examples 1 and 2, but the elution amount of Na was greater than that of the borosilicate glass containers of Examples 1 and 2.
Furthermore, the borosilicate glass container of Comparative Example 2, which was not subjected to a surface treatment, had a large amount of elution of all six elements.

 さらに、実施例2のガラス容器と、比較例2のガラス容器と、ポリプロピレン製の容器(PP製容器)と、シクロオレフィン製の容器(COP製容器)について、静止液体の自由表面が固体壁に接する場所で液面と固体面とのなす角度である、いわゆる接触角を測定した。この接触角は液体分子間の凝集力と、液体と固体壁間の付着力の大小関係によってきまり、接触角θとし、液体の表面張力をσとし、σ固体の表面張力をσとし、固体と液体の界面張力をσSLとすれば、次式で表される。
 COSθ=(σ-σSL)/σ
 上記PP製容器とCOP製容器は、実施例1、2および比較例1、2のガラス容器の外観形状と同じ外観形状を有するように、射出成形により得た。
Furthermore, the so-called contact angle, which is the angle between the liquid surface and the solid surface where the free surface of the stationary liquid comes into contact with the solid wall, was measured for the glass container of Example 2, the glass container of Comparative Example 2, the polypropylene container (PP container), and the cycloolefin container (COP container). This contact angle is determined by the magnitude relationship between the cohesive force between liquid molecules and the adhesive force between the liquid and the solid wall, and is expressed by the following equation, where θ is the contact angle, σ L is the surface tension of the liquid, σ S is the surface tension of the solid, and σ SL is the interfacial tension between the solid and the liquid.
COSθ=(σ S −σ SL )/σ L
 The PP containers and COP containers were obtained by injection molding so as to have the same external shapes as the glass containers of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2.

 そして、「液滴輪郭曲線の座標を実測し、液滴輪郭形状が、Young-Laplace理論曲線で表されると仮定し、輪郭形状の座標から曲線のパラメータを算出し、曲線を表す関数を具体的に決め、関数を端点座標で微分して、接線を求め、接線の勾配から、接触角を求める」液滴法により、上記4種類の容器について、接触角(度)を測定した。使用した液体は、水、85%エタノール、アセトン、サラダ油の4種類である。接触角(度)の測定結果を以下の表9~表12に示す。 Then, using the sessile drop method, which involves "measuring the coordinates of the droplet contour curve, assuming that the droplet contour shape can be represented by a Young-Laplace theoretical curve, calculating the curve parameters from the contour shape coordinates, determining a specific function that represents the curve, differentiating the function with respect to the endpoint coordinates to find the tangent, and then determining the contact angle from the gradient of the tangent," the contact angles (in degrees) were measured for the four types of containers mentioned above. The liquids used were water, 85% ethanol, acetone, and salad oil. The contact angle (in degrees) measurement results are shown in Tables 9 to 12 below.

 表9に示すように、実施例2のガラス容器の接触角は、液体が水である場合に90°を超えており、PP製容器やCOP製容器と同じように撥水性を備えていることが分かる。しかし、比較例2のガラス容器の接触角は、液体が水である場合に90°未満であるから、親水性であることが分かる。 As shown in Table 9, the contact angle of the glass container of Example 2 exceeds 90° when the liquid is water, indicating that it has the same water-repellent properties as PP and COP containers. However, the contact angle of the glass container of Comparative Example 2 is less than 90° when the liquid is water, indicating that it is hydrophilic.

 液体が85%エタノールやアセトンやサラダ油である場合、表10~表12に示すように、比較例2のガラス容器は測定不能であり、PP製容器やCOP製容器もほぼ測定不能であったが、実施例2のガラス容器は、一定の接触角を有しており、親油性であるとは言えない。 When the liquid was 85% ethanol, acetone, or salad oil, as shown in Tables 10 to 12, the glass container of Comparative Example 2 was impossible to measure, and the PP and COP containers were also almost impossible to measure. However, the glass container of Example 2 had a certain contact angle and could not be said to be lipophilic.

 本発明によれば、医薬品、理化学用の容器として好適な容器を提供することができる。 The present invention provides containers suitable for use in pharmaceuticals and physicochemical applications.

   51 プラズマ処理装置
   52 真空チャンバー
   53 下部電極
   54 上部電極
   55 圧力ゲージ
   56 アース
   57 プラズマ生成用電源
   58 排気流量調整バルブ
   59 真空ポンプ
   60 ガス導入口
   62 キャリアガスの導入口
   65 反応体物質のバブラー
   66、69 マントルヒーター
   67 反応体物質である蒸気源
   68 SAM膜または自己組織化多層膜の原料チャンバー
   70 SAM膜または自己組織化多層膜前駆体材料の蒸気源
   71 ガス導入部
   72 電流導入端子
   73 電極ステージ
   74 ガスシャワー板
   75 アースリング
   76 絶縁部材
   77 上部チャンバー
   78 下部チャンバー
   79 真空排気口
   80 O-リング
51 Plasma processing apparatus 52 Vacuum chamber 53 Lower electrode 54 Upper electrode 55 Pressure gauge 56 Earth 57 Plasma generation power supply 58 Exhaust flow rate adjustment valve 59 Vacuum pump 60 Gas inlet 62 Carrier gas inlet 65 Bubbler for reactant material 66, 69 Mantle heater 67 Vapor source of reactant material 68 Raw material chamber for SAM film or self-assembled multilayer film 70 Vapor source of SAM film or self-assembled multilayer film precursor material 71 Gas inlet 72 Current input terminal 73 Electrode stage 74 Gas shower plate 75 Earth ring 76 Insulating member 77 Upper chamber 78 Lower chamber 79 Vacuum exhaust port 80 O-ring

Claims (5)

 ガラス容器の内面を、水、酸の水溶液、界面活性剤水溶液または界面活性剤を添加した酸の水溶液からなる洗浄液で洗浄する洗浄工程、および洗浄工程で洗浄したガラス容器を加熱昇温した後に冷却して除歪する除歪工程、次いで、上記ガラス容器をプラズマ処理装置内に配置して、プラズマ処理装置の所定の真空度の真空チャンバー内に親水性基を付与する蒸発源が供給された状態で、プラズマ発生部により形成されたプラズマ雰囲気により前記ガラス容器の膜形成面を改質して膜形成面を親水化し、膜形成面が親水化されたガラス容器に対し、所定の真空度の真空チャンバー内にSAM膜または自己組織化多層膜の前駆体材料の加水分解または求核反応を促進する蒸発源が供給された状態で、SAM膜または自己組織化多層膜の前駆体材料の蒸発源を供給して、親水化された膜形成面上にSAM膜または自己組織化多層膜を形成し、最後に、所定の真空度の真空チャンバー内で膜形成面とSAM膜または自己組織化多層膜内における結合を強化することを特徴とする容器の表面処理方法。 A container surface treatment method characterized by: a cleaning process in which the inner surface of a glass container is cleaned with a cleaning solution consisting of water, an acid aqueous solution, a surfactant aqueous solution, or an acid aqueous solution containing a surfactant; a distortion removal process in which the glass container cleaned in the cleaning process is heated to a desired temperature and then cooled to remove distortion; subsequently, the glass container is placed in a plasma processing device; an evaporation source that imparts hydrophilic groups is supplied to a vacuum chamber of the plasma processing device with a predetermined vacuum level, and the film-forming surface of the glass container is modified to hydrophilize using a plasma atmosphere formed by a plasma generator; the glass container with the hydrophilized film-forming surface is supplied with an evaporation source that promotes the hydrolysis or nucleophilic reaction of the precursor material of the SAM film or self-assembled multilayer film in a vacuum chamber of the predetermined vacuum level, and a SAM film or self-assembled multilayer film is formed on the hydrophilized film-forming surface; and finally, the bonding between the film-forming surface and the SAM film or self-assembled multilayer film is strengthened in the vacuum chamber of the predetermined vacuum level.  樹脂製容器をプラズマ処理装置内に配置して、プラズマ処理装置の所定の真空度の真空チャンバー内に親水性基を付与する蒸発源が供給された状態で、プラズマ発生部により形成されたプラズマ雰囲気により前記樹脂製容器の膜形成面を改質して膜形成面を親水化し、膜形成面が親水化された樹脂製容器に対し、所定の真空度の真空チャンバー内にSAM膜または自己組織化多層膜の前駆体材料の加水分解または求核反応を促進する蒸発源が供給された状態で、SAM膜または自己組織化多層膜の前駆体材料の蒸発源を供給して、親水化された膜形成面上にSAM膜または自己組織化多層膜を形成し、最後に、所定の真空度の真空チャンバー内で膜形成面とSAM膜または自己組織化多層膜内における結合を強化することを特徴とする容器の表面処理方法。 A method for treating the surface of a container, comprising: placing a resin container in a plasma processing device; supplying an evaporation source that imparts hydrophilic groups into a vacuum chamber of the plasma processing device; modifying the film-forming surface of the resin container using a plasma atmosphere formed by a plasma generator to make the film-forming surface hydrophilic; supplying an evaporation source that promotes the hydrolysis or nucleophilic reaction of a precursor material for a SAM film or self-assembled multilayer film into the vacuum chamber of the predetermined vacuum level; and supplying an evaporation source of a precursor material for a SAM film or self-assembled multilayer film to the resin container with the hydrophilic film-forming surface to form a SAM film or self-assembled multilayer film on the hydrophilic film-forming surface; and finally strengthening the bond between the film-forming surface and the SAM film or self-assembled multilayer film within the vacuum chamber of the predetermined vacuum level.  請求項1に記載の方法によって処理されることによって得られる、ウレタン結合。尿素結合およびビュレット結合を含有するケイ素系ポリマーから構成される容器の表面構造。 A surface structure of a container composed of a silicon-based polymer containing urethane bonds, urea bonds, and biuret bonds, obtained by processing using the method of claim 1.  容器表面からのNa、B、Al、Si、CaまたはBaの溶出量が1ppm未満である請求項1または2記載の方法によって処理された容器。 A container treated by the method of claim 1 or 2, in which the amount of Na, B, Al, Si, Ca, or Ba eluted from the container surface is less than 1 ppm.  接触角が90°を超える請求項2記載の方法によって処理された容器。 A container treated by the method of claim 2, in which the contact angle exceeds 90°.
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