WO2024142689A1

WO2024142689A1 - 流体制御装置

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Publication number: WO2024142689A1
Application number: PCT/JP2023/042034
Authority: WO
Inventors: 伸拓田中
Original assignee: 株式会社村田製作所
Priority date: 2022-12-26
Filing date: 2023-11-22
Publication date: 2024-07-04
Also published as: CN120344770A

Abstract

流体制御装置（１０）は、ポンプ本体（２０）、筐体、および、接着剤（６０）を備える。ポンプ本体（２０）は、第１外部接続導体（２３２）、および、第２外部接続導体（２４２）を備える。筐体は、側壁（３１２）を備え、ポンプ本体（２０）が内部に収容され、側壁（３１２）を貫通する第１開口（３４１）および第２開口（３４２）を有する。接着剤（６０）は、筐体、および、ポンプ本体（２０）の一部を固定し、筐体の内部を外部から封止する。第１外部接続導体（２３２）は、第１開口（３４１）を通じて筐体の外部に突出し、第２外部接続導体（２４２）は、第２開口（３４２）を通じて筐体の外部に突出する。流体制御装置（１０）は、接着剤（６０）と異なる補助部材（２３９）を備える。補助部材（２３９）は、第２開口（３４２）内において、側壁（３１２）の高さ方向に平行な第１方向に視て第２外部接続導体（２４２）に重なる位置で、第１外部接続導体（２３２）側に配置される。

Description

流体制御装置

　本発明は、流体を制御するポンプ本体と、このポンプ本体が装着される筐体とを備える流体制御装置に関する。

　特許文献１には、流体制御装置が記載されている。特許文献１の流体制御装置は、ポンプ本体、上側ケース部材、および、下側ケース部材を備える。下側ケース部材は、凹部を有している。ポンプ本体は、下側ケース部材の凹部に収容される。この状態では、上側ケース部材は、下側ケース部材の凹部の上側（ポンプ本体の上側）を塞ぐように配置される。

　下側ケース部材は、側壁に２個の開口を有する。ポンプ本体は、２個の外部接続導体を備える。ポンプ本体の２個の外部接続導体は、それぞれに２個の開口を通じて外部に引き出される。

　上側ケース部材、ポンプ本体、および、下側ケース部材は、接着剤によって固定される。この際、接着剤は、２個の開口を塞ぐように形成される。これにより、上側ケース部材と下側ケース部材とからなる筐体の内部の密閉性を高めている。

国際公開第２０２２／１４９３８６号

　しかしながら、特許文献１に記載の構成のように、２個の外部接続導体が高さ方向の異なる位置から引き出されることがある。この場合、高さ方向の下側の外部接続導体と上側ケース部材との間隔（隙間）は、広くなる。このため、この隙間を接着剤で確実に封止することは、難しくなってしまう。

　したがって、本発明の目的は、筐体の外部に外部接続導体を突出させる開口をより確実に封止する流体制御装置を提供することにある。

　この発明の一実施形態に係る流体制御装置は、ポンプ本体、筐体、および、接着剤を備える。ポンプ本体は、圧電素子、圧電素子が配置された振動板、圧電素子への駆動信号を印加する第１給電導体および第２給電導体、第１給電導体に接続する第１外部接続導体、第２給電導体に接続する第２外部接続導体、および、補助部材を備える。筐体は、側壁を備え、ポンプ本体が内部に収容され、側壁を貫通する第１開口および第２開口を有する。接着剤は、筐体、および、ポンプ本体の一部を固定し、筐体の内部を外部から封止する。第１外部接続導体は、第１開口を通じて筐体の外部に突出し、第２外部接続導体は、第２開口を通じて筐体の外部に突出する。

　第１外部接続導体と第２外部接続導体は、側壁の高さ方向に平行な第１方向において異なる位置に配置される。補助部材と第２外部接続導体とは第１方向に視て重なる位置に配置される。第１方向において、第１外部接続導体と補助部材は、第２外部接続導体に対して同じ側に配置される。

　この構成では、補助部材が第２外部接続導体と筐体との間に配置されることで、第２外部接続導体と筐体との間における接着剤を充填する隙間が狭くなる。これにより、接着剤が第２開口に、より確実に充填される。

　この発明によれば、筐体の外部に外部接続導体を突出させる開口をより確実に封止できる。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る流体制御装置の分解斜視図である。図２は、本発明の第１の実施形態に係る流体制御装置のポンプ本体の分解斜視図である。図３（Ａ）は、第１の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した斜視図である。図３（Ｂ）は、図３（Ａ）における蓋を取り除いた図である。図４（Ａ）は、第１の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した平面図であり、図４（Ｂ）は、端子載置部の箇所を端子載置部の外端（先端）側から視た図であり、図４（Ｃ）は、図４（Ａ）に示すＡ－Ａ断面を示す図である。図５は、本発明の第２の実施形態に係る流体制御装置の分解斜視図である。図６（Ａ）は、第２の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した斜視図である。図６（Ｂ）は、図６（Ａ）における蓋を取り除いた図である。図７は、本発明の第３の実施形態に係る流体制御装置の分解斜視図である。図８（Ａ）は、第３の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した斜視図である。図８（Ｂ）は、図８（Ａ）における蓋を取り除いた図である。図９（Ａ）は、第３の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した平面図であり、図９（Ｂ）は、端子載置部の箇所を端子載置部の外端（先端）側から視た図である。図１０は、本発明の第４の実施形態に係る流体制御装置の分解斜視図である。図１１（Ａ）は、第４の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した斜視図である。図１１（Ｂ）は、図１１（Ａ）における蓋を取り除いた図である。図１２（Ａ）は、第４の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した平面図であり、図１２（Ｂ）は、図１２（Ａ）に示すＢ－Ｂ断面を示す図である。図１３は、本発明の実施形態に係る流体制御装置の第１平板の製造方法の一例を説明するための図である。図１４（Ａ）－図１４（Ｆ）は、補助部材の各種の派生例を示す図である。

　［第１の実施形態］
　本発明の第１の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係る流体制御装置の分解斜視図である。なお、本実施形態を含む各実施形態に示す各図は、流体制御装置の構成を分かり易くするため、それぞれの構成要素の形状を部分的または全体として誇張して記載することがある。

　図１に示すように、流体制御装置１０は、ポンプ本体２０、主筐体３０、および、蓋４０を備える。主筐体３０と蓋４０とによって、本発明の「筐体」が構成される。

　（筐体の構成）
　主筐体３０は、主部材３１、ノズル３２１、および、ノズル３２２を備える。主部材３１、ノズル３２１、および、ノズル３２２は、例えば、絶縁性の樹脂材料によって一体成型される。

　主部材３１は、底壁３１１と側壁３１２とを備える。側壁３１２は、底壁３１１の主面に直交する方向に立設しており、この形状によって、主部材３１は、天面側から凹む凹部３３を備える。この側壁３１２が立設する方向、すなわち、側壁３１２の高さ方向、主部材３１の高さ方向、ひいては、主筐体３０の高さ方向に平行な方向（図１のＺ軸方向）が、本発明の「第１方向」に対応する。

　凹部３３は、三段階の深さを有しており、凹部３３１、凹部３３２、凹部３３３からなる。凹部３３２は、凹部３３１よりも深く、凹部３３３は、凹部３３２よりも深い。主部材３１を平面視して（底壁３１１に直交する方向（図１のＺ軸方向）に視て）、凹部３３３が、中央に配置される。凹部３３２が凹部３３３の外周に沿って配置される。凹部３３１が凹部３３２の外周に沿って配置される。

　主部材３１は、側壁３１２から外方に突出する端子載置部３５を備える。端子載置部３５の表面は、段差を有し、第１表面３５１と第２表面３５２とを備える。第２表面３５２は、第１表面３５１よりも低い位置に配置される。

　主部材３１の側壁３１２における端子載置部３５が突出する箇所には、第１開口３４１および第２開口３４２が形成されている。第１開口３４１および第２開口３４２は、側壁３１２を貫通する形状であり、さらに、凹部３３２まで達する形状である。

　ノズル３２１およびノズル３２２は、主部材３１の側壁３１２における端子載置部３５が配置される位置と異なる位置に取り付けられている。ノズル３２１の貫通孔は、側壁３１２を厚み方向に貫通する貫通孔（図示を省略）を通じて、凹部３３３に連通する。ノズル３２２の貫通孔は、側壁３１２を厚み方向に貫通する貫通孔（図示を省略）を通じて、凹部３３２に連通する。

　蓋４０は、平板であり、例えば、絶縁性の樹脂材料からなる。蓋４０の外形形状は、主筐体３０の側壁３１２の内側の形状、すなわち、凹部３３１の外形形状と略同じである。

　蓋４０が主筐体３０の凹部３３１に嵌め込まれることによって、筐体が形成される。このように、主筐体３０の凹部３３２および凹部３３３の開口が蓋４０によって覆われることによって、筐体の内部空間が実現される。

　（ポンプ本体２０の構成）
　図２は、本発明の第１の実施形態に係る流体制御装置のポンプ本体の分解斜視図である。図２に示すように、ポンプ本体２０は、振動板２１、圧電素子２２、第１平板２３、第２平板２４、および、絶縁層２５を備える。

　振動板２１は、導電体からなる。振動板２１は、中央平板２１１、枠体２１２、および、複数の連結部材２１３を備える。中央平板２１１は、平面視した形状（厚み方向に視た形状）が円形の平板である。枠体２１２は、平板であり、中央平板２１１の外縁よりも外側に配置されている。枠体２１２は、中央に円形の開口を有する。中央平板２１１は、この開口内に配置される。

　複数の連結部材２１３は、梁形状である。複数の連結部材２１３は、中央平板２１１と枠体２１２との間に配置されている。複数の連結部材２１３は、振動板２１の外縁と枠体２１２の内縁とに接続する。複数の空隙２１４は、振動板２１を厚み方向に貫通する。複数の空隙２１４は、中央平板２１１と枠体２１２との間に配置されている。複数の空隙２１４は、中央平板２１１と枠体２１２との間の領域において、中央平板２１１と枠体２１２と複数の連結部材２１３に囲まれた部分である。

　圧電素子２２は、円板状の圧電体と駆動用電極とを備える。駆動用電極は、圧電体の両主面にそれぞれ形成されている。

　第１平板２３は、主体２３１、第１外部接続導体２３２、第１給電導体２３３、および、補助部材２３９を備える。主体２３１、第１外部接続導体２３２、第１給電導体２３３、および、補助部材２３９は、一枚の平板導体によって一体成型されている。

　主体２３１は、環状であり、開口２３０を有する。主体２３１は、振動板２１の枠体２１２と略同じ形状である。第１外部接続導体２３２は、所定幅を有する直線形状である。第１外部接続導体２３２は、主体２３１の外周端から外方に突出する。第１給電導体２３３は、所定幅を有する直線形状である。第１給電導体２３３は、主体２３１の内周端から、主体２３１の開口２３０内に突出する。

　補助部材２３９は、所定幅を有する直線形状である。補助部材２３９は、主体２３１の外周端から外方に、長さＬ（図４（Ａ）参照）で突出する。補助部材２３９は、開口２３９１を有する。開口２３９１の開口形状は、例えば、図に示すように円形である。開口２３９１が、本発明の「第１貫通孔」に対応する。

　第２平板２４は、主体２４１および第２外部接続導体２４２を備える。主体２４１および第２外部接続導体２４２は、一枚の平板導体によって一体成型されている。

　主体２４１は、環状であり、開口２４０を有する。主体２４１は、振動板２１の枠体２１２と略同じ形状である。主体２４１が本発明の第２給電導体に対応する。第２外部接続導体２４２は、所定幅を有する直線形状である。第２外部接続導体２４２は、主体２４１の外周端から外方に突出する。

　絶縁層２５は、環状であり、開口２５０を有する。絶縁層２５は、振動板２１の枠体２１２と略同じ形状である。

　振動板２１の上側には、圧電素子２２、絶縁層２５、および、第１平板２３が配置される。振動板２１の下側には、第２平板２４が配置される。

　より具体的に、圧電素子２２は、振動板２１の中央平板２１１の上面に設置される。圧電素子２２は、中央平板２１１に物理的に固定されるとともに、圧電素子２２の下側の駆動電極は、中央平板２１１に電気的に接続される。

　絶縁層２５は、振動板２１の枠体２１２の上面に配置される。第１平板２３は、主体２３１が絶縁層２５の上面と重なるように配置される。第１平板２３の第１給電導体２３３は、圧電素子２２の上側の駆動電極に電気的に接続される。第２平板２４は、主体２４１が振動板２１の枠体２１２の下面と重なるように配置される。第２平板２４の主体２４１は、振動板２１の枠体２１２に物理的に固定されるとともに、電気的に接続される。

　（ポンプ本体２０の筐体への固定態様）
　ポンプ本体２０は、凹部３３２に嵌め込まれる。したがって、ポンプ本体２０は、筐体の内部に収容される。この際、ポンプ本体２０は、第２平板２４が底壁３１１側になり、第１平板２３が蓋４０側になる。凹部３３３によってポンプ本体２０の下側にできる空間は、ノズル３２１の貫通孔に連通する。凹部３３２によってポンプ本体２０の上側にできる空間は、ノズル３２２の貫通孔に連通する。

　この状態において、主筐体３０とポンプ本体２０とは、凹部３３２の底面に塗布された接着剤によって固定される。さらに、主筐体３０の凹部３３１の表面および側壁３１２の内壁面と蓋４０とは、接着剤（図示を省略）によって接着される。

　これにより、ポンプ本体２０は、主筐体３０と蓋４０とによって囲まれた空間（筐体の内部の空間）に固定される。さらに、詳細は後述するが、第１開口３４１および第２開口３４２が接着剤を用いて封止されることで、ポンプ本体２０が収容された筐体の内部は、ノズル３２１およびノズル３２２の貫通孔を除いて外部に対して封止される。

　（流体制御装置１０の流体制御動作の概要）
　流体制御装置１０は、第１外部接続導体２３２および第２外部接続導体２４２を通じて外部から駆動信号の供給を受ける。駆動信号は、第１平板２３の第１給電導体２３３と第２平板２４の主体２４１（第２給電導体）を通じて、圧電素子に供給される。

　ポンプ本体２０の圧電素子２２は、この駆動信号によって歪む。振動板２１の中央平板２１１は、圧電素子２２の歪みによって振動する。この振動によって、流体（例えば、空気等の気体）は、ノズル３２１の貫通孔から筐体内に吸入され、ノズル３２２の貫通孔から送出される。

　この際、筐体の内部が外部に対して封止（密閉）されていることで、流体制御装置１０は、流体を高効率で吸入して、送出できる。

　（第１外部接続導体２３２、第２外部接続導体２４２、第１開口３４１、および、第２開口３４２の部分の構造）
　図３（Ａ）は、第１の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した斜視図である。図３（Ｂ）は、図３（Ａ）における蓋を取り除いた図である。なお、図３（Ａ）、図３（Ｂ）では、接着剤の図示を省略している。図４（Ａ）は、第１の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した平面図であり、図４（Ｂ）は、端子載置部の箇所を端子載置部の外端（先端）側から視た図であり、図４（Ｃ）は、図４（Ａ）に示すＡ－Ａ断面を示す図である。

　（第１開口３４１）
　第１外部接続導体２３２は、第１開口３４１を通じて、主筐体３０の外部（側壁３１２よりも外側）に突出し、端子載置部３５の第１表面３５１まで延びる。これにより、第１開口３４１では、蓋４０と主筐体３０との間に、第１外部接続導体２３２が配置される。

　第１開口３４１には、絶縁性の接着剤６０が充填される。端子載置部３５の第１表面３５１は、第２表面３５２と比較して高い位置にあり、蓋４０から近い。このため、蓋４０と第１外部接続導体２３２との間隔（隙間）は、短い。したがって、第１開口３４１では、接着剤６０を容易に充填できる。これにより、第１開口３４１は、接着剤６０によって容易に、且つ、より確実に封止できる。

　（第２開口３４２）
　第２外部接続導体２４２は、第２開口３４２を通じて、主筐体３０の外部（側壁３１２よりも外側）に突出し、端子載置部３５の第２表面３５２まで延びる。

　補助部材２３９は、第２外部接続導体２４２における上側（流体制御装置１０の筐体の高さ方向における第１外部接続導体２３２側）に配置される。補助部材２３９の幅は、第２外部接続導体２４２の幅と略同じである。補助部材２３９は、第２外部接続導体２４２に対向する位置に配置される。補助部材２３９は、第２外部接続導体２４２における主体２４１に接続する付け根側の部分で蓋４０に重なる部分に対向する位置に配置される。

　これにより、第２開口３４２では、蓋４０と主筐体３０との間に、補助部材２３９、第２外部接続導体２４２が配置される。

　第２開口３４２には、絶縁性の接着剤６０が充填される。端子載置部３５の第２表面３５２は、第１表面３５１と比較して低い位置にあり、蓋４０から遠い。このため、蓋４０と第２外部接続導体２４２との間隔（隙間）は、長い。

　しかしながら、この構成では、蓋４０と第２外部接続導体２４２との間に、補助部材２３９が配置される。これにより、接着剤６０は、蓋４０と補助部材２３９との間、および、補助部材２３９と第２外部接続導体２４２との間に充填される。蓋４０と補助部材２３９との間隔、および、補助部材２３９と第２外部接続導体２４２と間隔は、蓋４０と第２外部接続導体２４２との間隔よりも短い。

　したがって、第２開口３４２では、第２外部接続導体２４２が蓋４０から離れていても、補助部材２３９が存在することで、接着剤６０を容易に充填できる。よって、第２開口３４２は、接着剤６０によって容易に、且つ、より確実に封止できる。

　さらに、補助部材２３９は、開口２３９１を有する。開口２３９１は、補助部材２３９の上面から下面に貫通する穴である。この補助部材２３９における開口２３９１が形成されている部分は、補助部材２３９の他の部分と比較して導体が残っている部分が少ないので、本発明の「狭幅部」に対応する。この構成により、補助部材２３９の上面側に接着剤６０を塗布した場合に、この接着剤６０は、補助部材２３９と第２外部接続導体２４２との間に入り込み易い。これにより、補助部材２３９と第２外部接続導体２４２との間に接着剤６０が充填し易い。したがって、第２開口３４２は、接着剤６０によって、より容易に、且つ、より確実に封止できる。

　この際、補助部材２３９の長さＬは、補助部材２３９と第２外部接続導体２４２との間隔ＧＡＰの２倍以上であることが好ましい。この構成により、補助部材２３９と第２外部接続導体２４２との間に入り込んだ接着剤６０は、これらの間から流れ出し難い。これにより、接着剤６０が補助部材２３９と第２外部接続導体２４２との間に充填された状態は、より確実に維持される。

　また、補助部材２３９の幅（例えば図９（Ｂ）の幅Ｗ２３９参照）は、補助部材２３９と第２外部接続導体２４２との間隔ＧＡＰの２倍以上であることが好ましい。この構成により、補助部材２３９と第２外部接続導体２４２との間に入り込んだ接着剤６０は、これらの間から流れ出し難い。これにより、接着剤６０が補助部材２３９と第２外部接続導体２４２との間に充填された状態は、より確実に維持される。

　なお、補助部材２３９は、第１平板２３に一体成型されていなくてもよい。しかしながら、補助部材２３９が第１平板２３に一体成型されていることで、第１外部接続導体２３２が第１開口３４１を通る場合に、補助部材２３９が第２開口３４２を通る位置関係となるように、補助部材２３９の位置を容易に且つ確実に実現できる。

　また、第１表面３５１には、溝５１が形成されており、第２表面３５２には、溝５２が形成されている。しかしながら、溝５１、溝５２は、省略することができる。ただし、溝５１、溝５２を備えることで、次の効果が得られる。

　第１外部接続導体２３２は、接着剤６０によって第１表面３５１に固定される。この際、第１表面３５１が溝５１を備えることによって、例えば過剰に塗布された接着剤６０は、溝５１に収容される。これにより、接着剤６０は、第１外部接続導体２３２の底面および側面について、過不足無く配置される。よって、第１外部接続導体２３２は、より確実に端子載置部３５に固定され、外部へのより確実な電気接続を実現できる。同様に、第２表面３５２が溝５２を備えることによって、接着剤６０は、第２外部接続導体２４２の底面および側面について、過不足無く配置される。よって第２外部接続導体２４２は、より確実に端子載置部３５に固定され、外部へのより確実な電気接続を実現できる。

　また、第１外部接続導体２３２を第１表面３５１に固定する接着剤６０は、第１開口３４１を封止する接着剤６０に繋がる。第２外部接続導体２４２を第２表面３５２に固定する接着剤６０は、第２開口３４２を封止する接着剤６０に繋がる。これにより、流体制御装置１０は、接着剤６０を用いて、第１開口３４１および第２開口３４２の封止状態と、第１外部接続導体２３２および第２外部接続導体２４２の固定状態とを同時に維持できる。そして、流体制御装置１０は、これら封止状態と固定状態を安定的に維持できる。

　［第２の実施形態］
　本発明の第２の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図５は、本発明の第２の実施形態に係る流体制御装置の分解斜視図である。図６（Ａ）は、第２の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した斜視図である。図６（Ｂ）は、図６（Ａ）における蓋を取り除いた図である。なお、図６（Ａ）、図６（Ｂ）では、接着剤の図示を省略している。

　図５、図６（Ａ）、図６（Ｂ）に示すように、第２の実施形態に係る流体制御装置１０Ａは、第１の実施形態に係る流体制御装置１０に対して、ポンプ本体２０Ａの補助部材２３９Ａの形状において異なる。流体制御装置１０Ａの他の構成は、第１の実施形態に係る流体制御装置１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

　補助部材２３９Ａは、溝２３９２を備える。溝２３９２は、補助部材２３９Ａの両側端から幅方向の中央に向かって凹む形状である。補助部材２３９Ａにおける溝２３９２が形成されている部分は、他の部分よりも導体の部分が狭くなり、狭幅部となる。

　このような構成によって、補助部材２３９Ａの蓋４０側から供給された接着剤６０は、溝２３９２を通じて、補助部材２３９Ａと第２外部接続導体２４２との間に流れ込み易くなる。これにより、流体制御装置１０Ａは、流体制御装置１０と同様の作用効果を奏する。

　［第３の実施形態］
　本発明の第３の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図７は、本発明の第３の実施形態に係る流体制御装置の分解斜視図である。図８（Ａ）は、第３の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した斜視図である。図８（Ｂ）は、図８（Ａ）における蓋を取り除いた図である。なお、図８（Ａ）、図８（Ｂ）では、接着剤の図示を省略している。図９（Ａ）は、第３の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した平面図であり、図９（Ｂ）は、端子載置部の箇所を端子載置部の外端（先端）側から視た図である。

　図７、図８（Ａ）、図８（Ｂ）、図９（Ａ）、図９（Ｂ）に示すように、第３の実施形態に係る流体制御装置１０Ｂは、第１の実施形態に係る流体制御装置１０に対して、ポンプ本体２０Ｂの補助部材２３９Ｂの形状において異なる。流体制御装置１０Ｂの他の構成は、第１の実施形態に係る流体制御装置１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

　補助部材２３９Ｂは、開口や溝を備えていない。補助部材２３９Ｂの幅Ｗ２３９は、第２外部接続導体２４２の幅Ｗ２４２よりも狭い。すなわち、補助部材２３９Ｂは、全体が狭幅部である。

　補助部材２３９Ｂは、第２外部接続導体２４２の両側端が蓋４０側に露出する位置に配置される。すなわち、補助部材２３９Ｂの側面と側壁３１２の第２開口３４２の側端面３１２２との距離ＷＧ２３９は、第２外部接続導体２４２の側面と側壁３１２の第２開口３４２の側端面３１２２との距離ＷＧ２４２よりも長い。

　このような構成によって、補助部材２３９Ｂの蓋４０側から供給された接着剤６０は、補助部材２３９Ｂと第２外部接続導体２４２との間に流れ込み易くなる。これにより、流体制御装置１０Ｂは、流体制御装置１０と同様の作用効果を奏する。

　なお、補助部材２３９Ｂの幅Ｗ２３９は、第２外部接続導体２４２の幅Ｗ２４２と略同じか同じであってもよいが、上述の流れ込み易さを得難い。したがって、補助部材２３９Ｂの幅Ｗ２３９は、第２外部接続導体２４２の幅Ｗ２４２よりも狭いことが好ましい。

　ただし、補助部材２３９Ｂの幅Ｗ２３９は、第２外部接続導体２４２の幅Ｗ２４２の半分以上であることが好ましい。これにより、接着剤６０を補助部材２３９Ｂと第２外部接続導体２４２との間に充填し易い。さらに、補助部材２３９Ｂの幅Ｗ２３９が第２外部接続導体２４２の幅Ｗ２４２の半分程度であれば、補助部材２３９Ｂと第２外部接続導体２４２との間への接着剤６０の充填し易さと、補助部材２３９Ｂを用いて第２開口３４２を封止する作用効果とをバランスよく実現できる。なお、この概念は、第３の実施形態の補助部材２３９Ｂの幅Ｗ２３９に限ることなく、第１の実施形態の開口２３９１の直径φ、第２実施形態の溝２３９２の深さにも適用できる。

　［第４の実施形態］
　本発明の第４の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図１０は、本発明の第４の実施形態に係る流体制御装置の分解斜視図である。図１１（Ａ）は、第４の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した斜視図である。図１１（Ｂ）は、図１１（Ａ）における蓋を取り除いた図である。なお、図１１（Ａ）、図１１（Ｂ）では、接着剤の図示を省略している。図１２（Ａ）は、第４の実施形態に係る流体制御装置の端子載置部の箇所を拡大した平面図であり、図１２（Ｂ）は、図１２（Ａ）に示すＢ－Ｂ断面を示す図である。

　図１０、図１１（Ａ）、図１１（Ｂ）、図１２（Ａ）、図１２（Ｂ）に示すように、第４の実施形態に係る流体制御装置１０Ｃは、第１の実施形態に係る流体制御装置１０に対して、ポンプ本体２０Ｃの第２外部接続導体２４２Ｃの形状において異なる。流体制御装置１０Ｃの他の構成は、第１の実施形態に係る流体制御装置１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

　第２外部接続導体２４２Ｃは、貫通孔２４２１を有する。貫通孔２４２１は、補助部材２３９の開口２３９１と重なる位置に形成される。貫通孔２４２１が、本発明の第２貫通孔に対応する。

　このような構成により、補助部材２３９と第２外部接続導体２４２Ｃとの間には、第２外部接続導体２４２Ｃの下側の接着剤６０も流れ込む。すなわち、第２外部接続導体２４２Ｃを第２表面３５２に固定するための接着剤６０も、補助部材２３９と第２外部接続導体２４２Ｃとの間に流れ込む。したがって、接着剤６０が補助部材２３９と第２外部接続導体２４２Ｃとの間に流れ込み易くなる。これにより、流体制御装置１０Ｃは、流体制御装置１０と同様の作用効果を奏する。

　なお、貫通孔２４２１と開口２３９１は、重なっていなくてもよい。ただし、貫通孔２４２１と開口２３９１とが重なっていることで、補助部材２３９の導体部分と第２外部接続導体２４２Ｃの導体部分とが対向する面積を稼ぐことができる。これにより、補助部材２３９と第２外部接続導体２４２Ｃの固着強度を高くできる。

　（第１平板の製造方法の一例）
　図１３は、本発明の実施形態に係る流体制御装置の第１平板の製造方法の一例を説明するための図である。図１３に示すように、第１平板２３は、両側に配置されたフレームＦＭ２３によって支持されている。そして、この構造は、第１平板２３を複数個配列して形成できる大きさの平板を金型によって打ち抜き加工することで得られる。

　このような打ち抜き加工を行う場合、第１平板２３の主体２３１と一方のフレームＦＭ２３との間は、第１外部接続導体２３２を形成可能な距離で離間する必要がある。したがって、この主体２３１とのフレームＦＭ２３との間において、打ち抜かれる部分に、補助部材２３９を配置する。これにより、第１外部接続導体２３２を含む主体２３１と別体で補助部材２３９を形成せずとも、元々打ち抜きで捨てられる部分を生かして、補助部材２３９を形成できる。さらには、補助部材２３９と第１外部接続導体２３２とを水平方向に容易に並べることができ、第１外部接続導体２３２に対する補助部材２３９の位置を容易に且つ正確に実現できる。

　（補助部材の形状の派生例）
　図１４（Ａ）－図１４（Ｆ）は、補助部材の各種の派生例を示す図である。

　図１４（Ａ）では、補助部材２３９Ｅは、複数の貫通孔２３９３を有する。図１４（Ｂ）では、補助部材２３９Ｆは、開口形状が矩形の貫通孔２３９４を有する。図１４（Ｃ）では、補助部材２３９Ｇは、先細り形状である。

　図１４（Ｄ）では、補助部材２３９Ｈは、先端から主体２３１側に凹む凹部２３９５を有する。図１４（Ｅ）では、補助部材２３９Ｉは、両側端から凹む複数の溝２３９６を有する。図１４（Ｆ）では、補助部材２３９Ｊは、平面視して、半楕円形である。

　これらの補助部材の共通点としては、狭幅部を有することである。このように、補助部材は、狭幅部を有することで、上述のように、補助部材と第２外部接続導体との間に接着剤を流れ込み易くできる。

　また、上述の各実施形態では、補助部材が第１平板２３の主体２３１に接続され、一体成型される例を示した。しかしながら、補助部材は、主体２３１から分離されたものであってもよい。また、補助部材は、導電性材料に限るものではなく、絶縁性材料であってもよい。

　なお、上述の各実施形態、製造例、派生例は、適宜組み合わせることが可能であり、それぞれの組み合わせに応じた作用効果を奏することができる。

　（１）　圧電素子、前記圧電素子が配置された振動板、前記圧電素子への駆動信号を印加する第１給電導体および第２給電導体、前記第１給電導体に接続する第１外部接続導体、前記第２給電導体に接続する第２外部接続導体、および、補助部材を備えるポンプ本体と、
　側壁を備え、前記ポンプ本体が内部に収容され、前記側壁を貫通する第１開口および第２開口を有する筐体と、
　前記筐体、および、前記ポンプ本体の一部を固定し、前記筐体の内部を外部から封止する接着剤と、を備え、
　前記第１外部接続導体は、前記第１開口を通じて前記筐体の外部に突出し、
　前記第２外部接続導体は、前記第２開口を通じて前記筐体の外部に突出し、
　前記第１外部接続導体と前記第２外部接続導体は、前記側壁の高さ方向に平行な第１方向において異なる位置に配置され、
　前記補助部材と前記第２外部接続導体とは前記第１方向に視て重なる位置に配置され、
　前記第１方向において、前記第１外部接続導体と前記補助部材は、前記第２外部接続導体に対して同じ側に配置される、流体制御装置。

　（２）　前記補助部材は、前記第２外部接続導体よりも幅方向に狭い狭幅部を備える、（１）に記載の流体制御装置。

　（３）　前記補助部材は、第１貫通孔または溝を有することで前記狭幅部を備える、（２）の流体制御装置。

　（４）　前記第２外部接続導体が突出する方向に平行な方向の前記補助部材の両端間の長さは、前記補助部材と前記第２外部接続導体の間隔の２倍以上である、（１）乃至（３）のいずれかの流体制御装置。

　（５）　前記第２外部接続導体が突出する方向および前記第２外部接続導体と前記補助導体とが並ぶ方向に直交する方向の前記補助部材の両端間の幅は、前記補助部材と前記第２外部接続導体の間隔の２倍以上である、（１）乃至（４）のいずれかの流体制御装置。

　（６）　前記補助部材と前記第２開口の側壁面との距離は、前記第２外部接続導体と前記第２開口の側壁面との距離よりも長い、（１）乃至（５）のいずれかの流体制御装置。

　（７）　前記第２外部接続導体は、前記補助部材と対向する部分に、第２貫通孔を有する、（１）乃至（６）のいずれかの流体制御装置。

　（８）　前記筐体は、
　前記側壁を有し、前記ポンプ本体が収容される凹部を有する主筐体と、
　前記主筐体の前記凹部を塞ぐ蓋と、
　を備え、
　前記主筐体と前記蓋とによって囲まれる空間により、前記筐体の内部を形成する、（１）乃至（７）のいずれかの流体制御装置。

　（９）　前記補助部材は、前記第１外部接続導体と一体成型されている、（１）乃至（８）のいずれかの流体制御装置。

　（１０）　それぞれが導電性を有する第１平板と第２平板とを備え、
　前記第１平板と前記第２平板とは、前記第１方向において前記圧電素子および前記振動板を間に挟んで配置され、
　前記第１給電導体と前記第１外部接続導体と前記補助部材は、前記第１平板で形成されており、
　前記第２給電導体と前記第２外部接続導体とは、前記第２平板で形成されている、（１）乃至（９）のいずれかの流体制御装置。

１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ：流体制御装置
２０、２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ：ポンプ本体
２１：振動板
２２：圧電素子
２３：第１平板
２４：第２平板
２５：絶縁層
３０：主筐体
３１：主部材
３３：凹部
３５：端子載置部
４０：蓋
５１、５２：溝
６０：接着剤
２１１：中央平板
２１２：枠体
２１３：連結部材
２１４：空隙
２３０：開口
２３１：主体
２３２：第１外部接続導体
２３３：第１給電導体
２３９、２３９Ａ、２３９Ｂ、２３９Ｅ、２３９Ｆ、２３９Ｇ、２３９Ｈ、２３９Ｉ、２３９Ｊ：補助部材
２４０：開口
２４１：主体
２４２、２４２Ｃ：第２外部接続導体
２５０：開口
３１１：底壁
３１２：側壁
３２１、３２２：ノズル
３３１、３３２、３３３：凹部
３４１：第１開口
３４２：第２開口
３５１：第１表面
３５２：第２表面
２３９１：開口
２３９２：溝
２３９３、２３９４：貫通孔
２３９５：凹部
２３９６：溝
２４２１：貫通孔
３１２２：側端面
ＦＭ２３：フレーム

Claims

　圧電素子、前記圧電素子が配置された振動板、前記圧電素子への駆動信号を印加する第１給電導体および第２給電導体、前記第１給電導体に接続する第１外部接続導体、前記第２給電導体に接続する第２外部接続導体、および、補助部材を備えるポンプ本体と、
　側壁を備え、前記ポンプ本体が内部に収容され、前記側壁を貫通する第１開口および第２開口を有する筐体と、
　前記筐体、および、前記ポンプ本体の一部を固定し、前記筐体の内部を外部から封止する接着剤と、
　を備え、
　前記第１外部接続導体は、前記第１開口を通じて前記筐体の外部に突出し、
　前記第２外部接続導体は、前記第２開口を通じて前記筐体の外部に突出し、
　前記第１外部接続導体と前記第２外部接続導体は、前記側壁の高さ方向に平行な第１方向において異なる位置に配置され、
　前記補助部材と前記第２外部接続導体とは前記第１方向に視て重なる位置に配置され、
　前記第１方向において、前記第１外部接続導体と前記補助部材は、前記第２外部接続導体に対して同じ側に配置される、
　流体制御装置。
　前記補助部材は、前記第２外部接続導体よりも幅方向に狭い狭幅部を備える、
　請求項１に記載の流体制御装置。
　前記補助部材は、第１貫通孔または溝を有することで前記狭幅部を備える、
　請求項２に記載の流体制御装置。
　前記第２外部接続導体が突出する方向に平行な方向の前記補助部材の両端間の長さは、前記補助部材と前記第２外部接続導体の間隔の２倍以上である、
　請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の流体制御装置。
　前記第２外部接続導体が突出する方向および前記第２外部接続導体と前記補助部材とが並ぶ方向に直交する方向の前記補助部材の両端間の幅は、前記補助部材と前記第２外部接続導体との間隔の２倍以上である、
　請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の流体制御装置。
　前記補助部材と前記第２開口の側端面との距離は、前記第２外部接続導体と前記第２開口の側壁面との距離よりも長い、
　請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の流体制御装置。
　前記第２外部接続導体は、前記補助部材と対向する部分に、第２貫通孔を有する、
　請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の流体制御装置。
　前記筐体は、
　前記側壁を有し、前記ポンプ本体が収容される凹部を有する主筐体と、
　前記主筐体の前記凹部を塞ぐ蓋と、
　を備え、
　前記主筐体と前記蓋とによって囲まれる空間により、前記筐体の内部を形成する、
　請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の流体制御装置。
　前記補助部材は、前記第１外部接続導体と一体成型されている、
　請求項１乃至請求項８のいずれかに記載の流体制御装置。
　それぞれが導電性を有する第１平板と第２平板とを備え、
　前記第１平板と前記第２平板とは、前記第１方向において前記圧電素子および前記振動板を間に挟んで配置され、
　前記第１給電導体と前記第１外部接続導体と前記補助部材は、前記第１平板で形成されており、
　前記第２給電導体と前記第２外部接続導体とは、前記第２平板で形成されている、
　請求項１乃至請求項９のいずれかに記載の流体制御装置。