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WO2023223432A1 - モードフィールド変換光回路 - Google Patents

モードフィールド変換光回路 Download PDF

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WO2023223432A1
WO2023223432A1 PCT/JP2022/020570 JP2022020570W WO2023223432A1 WO 2023223432 A1 WO2023223432 A1 WO 2023223432A1 JP 2022020570 W JP2022020570 W JP 2022020570W WO 2023223432 A1 WO2023223432 A1 WO 2023223432A1
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WO
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mode field
waveguide
optical circuit
conversion optical
optical
Prior art date
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PCT/JP2022/020570
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
志栞 小仁所
隼志 阪本
俊和 橋本
Original Assignee
日本電信電話株式会社
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Filing date
Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths

Definitions

  • the present invention relates to an optical circuit that reduces radiation loss that occurs when converting a mode field in an optical waveguide.
  • An optical waveguide consists of a core and a cladding formed on a substrate and having a difference in refractive index, and light propagates through the core formed in a desired pattern.
  • the mode field of propagating light can be converted.
  • a spot size converter SSC
  • SSC spot size converter
  • a mode filter that adiabatically converts the width and height of the core to make the optical waveguide thinner and cut higher-order modes.
  • An object of the present invention is to provide a mode field conversion optical circuit that can suppress loss that occurs when converting a mode field.
  • the present invention provides a mode field conversion optical circuit that converts the mode field of light propagating through an optical waveguide, the circuit being connected to the core of the optical waveguide and connected to the core of the optical waveguide.
  • the present invention is characterized by comprising a mode field converter that converts a mode field of light, and reflective structures installed at intervals along the optical axis direction of the mode field converter.
  • FIG. 1 is a diagram showing a mode field conversion optical circuit according to a first embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a diagram showing the coupling rate with an optical fiber when the mode field conversion optical circuit of the first embodiment is applied
  • FIG. 3 is a diagram showing a mode filter according to a second embodiment of the present invention
  • FIG. 4 is a diagram showing a tapered waveguide according to a third embodiment of the present invention.
  • a planar lightwave circuit (PLC) is used as the mode field conversion optical circuit.
  • PLC planar lightwave circuit
  • a quartz-based PLC is a waveguide device with low loss and high reliability, and is widely used as a platform for realizing integrated circuits such as optical multiplexers, optical switches, and optical splitters as optical communication devices. .
  • the mode field conversion optical circuit of the present invention is not limited to any particular material, and is not limited to quartz-based waveguides, but also silicon (Si) waveguides, indium phosphide (InP)-based waveguides, and polymer-based waveguides. Waveguides of other material systems, such as waveguides, can be applied.
  • FIG. 1 shows a mode field conversion optical circuit according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 1(a) is a perspective view of the PLC 10 viewed from above
  • FIG. 1(b) is a diagram showing a cross section perpendicular to the optical axis of the waveguide.
  • SSC spot size converter
  • the optical waveguide of the PLC 10 is provided with a segment waveguide type SSC 15 connected to the core 13 at the connection end with the optical fiber.
  • reflection structures 14a and 14b having the same shape as a straight waveguide are installed at intervals in the PLC 10 on both sides along the optical axis direction of the SSC 15.
  • the SSC 15 is not limited to the segment waveguide type, and a structure that converts the mode field of light can be applied.
  • Other mode field converters can be used, for example structures with tapered cores.
  • the purpose of installing the reflection structures 14a and 14b is to reflect the light emitted from the side surface of the SSC 15 and recombine the reflected light to the waveguide.
  • the reflective structures 14a and 14b are made of the same material as the core 13 and have a higher refractive index than the cladding 12, as will be described later. Therefore, the interface between the reflective structures 14a, 14b and the cladding 12 acts as a reflective surface.
  • the interface between the reflective structures 14a, 14b on the SSC 15 side is used as a reflective surface, and the distance between the reflective structures 14a, 14b and the SSC 15 is determined according to the wavelength of the signal light propagating through the core 13 and the mode field of the optical fiber to be connected. Set the interval G between.
  • the boundary surface on the opposite side to the SSC 15 side is used as a reflective surface, and the width W of the reflective structures 14a and 14b is set in the same manner. If the reflective structure is not linear, it may be set for each minute section in the longitudinal direction of the reflective structure. Further, in either case, the interval G and width W may be determined using a wavefront matching method.
  • the length L of the reflective structures 14a, 14b is equal to the length of the SSC 15, that is, the starting point S/ending point E of the reflecting structures 14a, 14b is made to coincide with the starting point S/ending point E of the SSC 15. This is because light is emitted from the starting point to the ending point of the SSC 15. Note that, strictly speaking, the radiation from the SSC 15 is emitted not only in a component perpendicular to the optical axis but also in a spread manner. Therefore, if there is sufficient space on the PLC 10, it is desirable that the reflection structures 14a and 14b extend beyond the end point E and be longer than the length of the SSC 15.
  • the reflective structures 14a and 14b are provided symmetrically, that is, at equal intervals (distance G) on both sides, with the SSC 15 as the center.
  • distance G intervals
  • the reflective structure may be provided only on one side, although the effect of reducing radiation loss is halved.
  • the reflection structures 14a and 14b do not have to be limited to straight waveguides, but may have a structure that matches the shape of the mode field converter and that matches the direction of light emission from the mode field converter. You can also do it.
  • the mode field conversion optical circuit can be manufactured by applying a well-known PLC manufacturing method, and will be briefly described here.
  • an underclad layer made of silica-based glass (SiO 2 ) and a core layer made of silica-based glass whose refractive index is increased by doping with germanium (Ge) are sequentially deposited.
  • the core layer is processed using general photolithography and dry etching techniques to form the core 13 of the optical waveguide in a desired pattern.
  • a desired pattern of straight waveguides that will become the reflection structures 14a and 14b is also formed.
  • an overcladding layer made of silica glass is deposited on the core 13 to form a buried waveguide consisting of the core 13 and the cladding 12.
  • FIG. 2 shows the coupling rate with the optical fiber when the mode field conversion optical circuit of the first embodiment is applied. This is the result of simulating the coupling rate when a PLC optical waveguide and an optical fiber are butt-connected at the connection end surfaces.
  • the optical fiber used is a single mode optical fiber (S405-XP), and the wavelength used is assumed to be 450 to 700 nm.
  • Commercially available optical fibers may have different mode fields depending on the manufacturing slot, but in this case, we measured the mode field of the purchased optical fiber and used the measured value as the target mode field.
  • the width of the core 13 of the PLC 10 is 2.3 ⁇ m, and the width W of the reflection structures 14a and 14b is 1.
  • the length L was 1 ⁇ m, the length L was 600 ⁇ m, and the distance G between the reflective structures 14a and 14b and the SSC 15 was 6.0 ⁇ m.
  • the mode field conversion optical circuit of this embodiment and the case of only a segmented waveguide type SSC were simulated for comparison.
  • the horizontal axis is the wavelength
  • the vertical axis is the coupling rate.
  • the case of only the segment waveguide type SSC is shown by a solid line
  • the mode field conversion optical circuit of this embodiment is shown by a broken line.
  • the mode field conversion optical circuit improves the coupling rate between the optical fiber and the optical waveguide over the entire target wavelength band. The coupling rate is greatly improved on the longer wavelength side where light is more easily radiated, and the wavelength difference in the coupling rate is also reduced.
  • the mode field conversion optical circuit of this embodiment can suppress the loss that occurs in existing mode field converters.
  • the SSC installed on the connection end face with an optical fiber was used as an example, but in the second embodiment, an example of application to a mode filter installed in an optical circuit as a mode field converter is given.
  • the segment waveguide operates as a mode filter because the zero-order mode light propagates easily, but the higher the mode, the more difficult it is to propagate.
  • the fill factor is small, the radiation loss of the zero-order mode also becomes large.
  • FIG. 3 shows a mode filter according to a second embodiment of the present invention.
  • a segment waveguide type mode filter 25 installed in the optical circuit of the PLC 20 and connected to the core 23 is shown.
  • the PLC 20 includes reflection structures 24a and 24b having the same shape as a linear waveguide on both sides of the mode filter 25 along the optical axis direction.
  • the starting point S/ending point E of the reflecting structures 24a, 24b is made to coincide with the starting point S/ending point E of the mode filter 25, and the width of the reflecting structures 24a, 24b and the reflecting structure 24a are adjusted according to the wavelength of the signal light propagating through the core 23. , 24b and the mode filter 25. Note that, if there is sufficient space on the PLC 20, it is desirable that the lengths of the reflection structures 24a and 24b be longer than the length of the mode filter 25, exceeding the starting point S/ending point E.
  • the method for configuring and manufacturing the reflective structures 24a and 24b is the same as in the first embodiment.
  • radiation loss can be reduced by reflecting the light emitted from the mode filter 25 and recombining it to the mode filter 25.
  • a segment waveguide was used as an example, but in a third embodiment, an example of application to a tapered waveguide installed in an optical circuit as a mode field converter will be described.
  • the tapered waveguide needs to have a sufficient length and the waveguide width needs to be changed in a tapered manner so that no loss occurs.
  • due to restrictions on the PLC chip size, etc. it may not be possible to obtain a sufficient length, resulting in loss.
  • FIG. 4 shows a tapered waveguide according to a third embodiment of the present invention.
  • a tapered waveguide 35 installed in the optical circuit of the PLC 30 and inserted into the core 33 is shown.
  • the PLC 30 includes reflective structures 34a and 34b having the same shape as the straight waveguide on both sides of the tapered waveguide 35 along the optical axis direction.
  • the starting point S/ending point E of the reflecting structures 34a, 34b is made to coincide with the starting point S/ending point E of the tapered waveguide 35, and the width of the reflecting structure 34a, 34b and the reflecting structure are adjusted according to the wavelength of the signal light propagating through the core 33.
  • the distance between 34a, 34b and the tapered waveguide 35 is set. Note that if there is sufficient space on the PLC 30, it is desirable that the lengths of the reflection structures 34a and 34b be longer than the length of the tapered waveguide 35, exceeding the starting point S/ending point E.
  • the method for configuring and manufacturing the reflective structures 34a and 34b is the same as in the first embodiment.
  • the light emitted from the tapered waveguide 35 is reflected and recombined into the tapered waveguide 35, thereby reducing radiation loss.

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Abstract

モードフィールドを変換する際に生じる損失を抑える。光導波路を伝搬する光のモードフィールドを変換するモードフィールド変換光回路であって、前記光導波路のコアに接続され、前記光のモードフィールドを変換するモードフィールド変換器と、前記モードフィールド変換器の光軸方向に沿って、間隔をおいて設置された反射構造とを備えた。

Description

モードフィールド変換光回路
　本発明は、光導波路において、モードフィールドを変換する際に生じる放射損失を低減する光回路に関する。
　光導波路は、基板上に形成された、屈折率差を有するコアとクラッドからなり、所望のパターンに形成されたコアを光が伝搬する。コアの幅、高さなどを断熱的に変化させることにより、伝搬する光のモードフィールドを変換することができる。例えば、基板上に形成された光回路の入出力端では、光導波路のモードフィールドと光ファイバのモードフィールドを合わせるためのスポットサイズ変換器（ＳＳＣ）が設けられる。光導波路と光ファイバのモードフィールドを近づけることによって、両者の接続損失を低減することができる。ＳＳＣを設置することにより、光ファイバとＳＳＣを設けていない導波路とを接続する場合に比べ、結合率が改善されることが報告されている（例えば、非特許文献１参照）。
　また、コアの幅、高さを断熱的に変換し、光導波路を細くして、高次モードをカットするモードフィルタが知られている。
　ＳＳＣ、モードフィルタにおいては、モードフィールドを変換する際に、コアの幅や高さなどを断熱的に変化させることにより、損失なくフィールドサイズの変換を行う。しかしながら、光回路の小型化の要求により、変換できるフィールドサイズの限界によって断熱的な変換を行うことができず、損失が発生するという課題があった。
M. Itoh, et al., "LOW-LOSS 1.5% Δ ARRAYED WAVEGUIDE GRATING WITH SPOT-SIZE CONVERTERS," Proc. 27th Eur. Conf. on Opt. Comm., Mo.F.2.4, pp. 8-9, 2001.
　本発明の目的は、モードフィールドを変換する際に生じる損失を抑えることができるモードフィールド変換光回路を提供することである。
　本発明は、このような目的を達成するために、一実施態様は、光導波路を伝搬する光のモードフィールドを変換するモードフィールド変換光回路であって、前記光導波路のコアに接続され、前記光のモードフィールドを変換するモードフィールド変換器と、前記モードフィールド変換器の光軸方向に沿って、間隔をおいて設置された反射構造とを備えたことを特徴とする。
図１は、本発明の第１の実施形態にかかるモードフィールド変換光回路を示す図、 図２は、第１の実施形態のモードフィールド変換光回路を適用した場合の光ファイバとの結合率を示す図、 図３は、本発明の第２の実施形態にかかるモードフィルタを示す図、 図４は、本発明の第３の実施形態にかかるテーパー導波路を示す図である。
　以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳細に説明する。本実施形態では、モードフィールド変換光回路として、平面光波回路（Planar Lightwave Circuit：ＰＬＣ）を用いた例を示す。石英系のＰＬＣは、低損失で高信頼性を有する導波路デバイスであり、通信用光デバイスとして、光合分波器、光スイッチ、光スプリッタ等の集積回路を実現するプラットフォームとして広く利用されている。
　なお、本発明のモードフィールド変換光回路は、特に材料が限定されるわけではなく、石英系導波路に限らず、シリコン（Ｓｉ）導波路、インジウムリン（ＩｎＰ）系導波路、高分子系導波路など他の材料系の導波路を適用することができる。
　　［第１の実施形態］
　図１に、本発明の第１の実施形態にかかるモードフィールド変換光回路を示す。図１（ａ）はＰＬＣ１０を上面から見た透視図であり、図１（ｂ）は導波路の光軸と垂直な断面を示す図である。ＰＬＣ１０の光導波路のモードフィールドと、光ファイバのモードフィールドとを合わせるためのスポットサイズ変換器（ＳＳＣ）に適用した例である。ＰＬＣ１０の光導波路は、光ファイバとの接続端において、コア１３に接続されたセグメント導波路型のＳＳＣ１５が設けられている。さらに、ＰＬＣ１０には、ＳＳＣ１５の光軸方向に沿って両側に、直線の導波路と同じ形状の反射構造１４ａ，１４ｂが、間隔をおいて設置されている。ＳＳＣ１５は、セグメント導波路型に限ることはなく、光のモードフィールドを変換する構造を適用することができる。例えば、テーパー状のコアを有する構造など、他のモードフィールド変換器を用いることができる。
　反射構造１４ａ，１４ｂを設置する目的は、ＳＳＣ１５の側面から放射された光を反射して、反射された光を導波路に再結合させることにある。反射構造１４ａ，１４ｂは、後述するように、コア１３と同じ材料からなり、クラッド１２よりも屈折率の高い領域である。従って、反射構造１４ａ，１４ｂとクラッド１２との境界面が、反射面として作用する。最初に、反射構造１４ａ，１４ｂにおけるＳＳＣ１５側の境界面を反射面とし、コア１３を伝搬する信号光の波長、接続する光ファイバのモードフィールドに応じて、反射構造１４ａ，１４ｂとＳＳＣ１５との間の間隔Ｇを設定する。次に、ＳＳＣ１５側とは反対側の境界面を反射面とし、同様にして、反射構造１４ａ，１４ｂの幅Ｗを設定する。反射構造を直線形状としない場合は、反射構造の長手方向の微小区間ごとに設定すればよい。また、いずれの場合も波面整合法を用いて、間隔Ｇと幅Ｗとを求めてもよい。
　反射構造１４ａ，１４ｂの長さＬは、ＳＳＣ１５の長さと等しく、すなわち反射構造１４ａ，１４ｂの始点Ｓ／終点Ｅは、ＳＳＣ１５の始点Ｓ／終点Ｅと一致させる。これは、ＳＳＣ１５の始点から終点において光が放射しているためである。なお、厳密には、ＳＳＣ１５からの放射は、光軸に対して垂直の成分のみではなく、拡がりをもって放射される。従って、ＰＬＣ１０上のスペースに余裕があれば、反射構造１４ａ，１４ｂは、終点Ｅを超えて、ＳＳＣ１５の長さよりも長くすることが望ましい。
　光の放射は、光の進行方向に対して対称であることから、ＳＳＣ１５を中心として、対称に、すなわち両側に等間隔（間隔Ｇ）で反射構造１４ａ，１４ｂを設ける。図１では、両側に１本ずつ設けているが、それぞれ複数本の反射構造を設けてもよい。反射面が増えることから、反射率を高めることができる。一方、放射損失の軽減効果が半減されるが、片側のみ反射構造を設けてもよい。複数本の反射構造を設ける場合に、両側に設置する本数が異なっていてもよい。また、反射構造１４ａ，１４ｂを、直線の導波路に限る必要はなく、モードフィールド変換器の形状に合わせた構造として、モードフィールド変換器からの光の放射方向に合わせた形状の構造とすることもできる。
　このような反射構造１４ａ，１４ｂを設けることにより、ＳＳＣ１５から放射した光を反射し、ＳＳＣ１５に再結合させることにより、放射損失を軽減することができる。
　モードフィールド変換光回路の作製は、周知のＰＬＣの作製方法を適用することができ、ここでは、簡単に述べておく。Ｓｉ基板１１上に、石英系ガラス（ＳｉＯ２）で構成されたアンダークラッド層と、ゲルマニウム（Ｇｅ）をドープすることにより屈折率を高めた石英系ガラスで構成されたコア層とを順に堆積する。一般的なフォトリソグラフィおよびドライエッチング技術により、コア層を加工し、所望のパターンの光導波路のコア１３を形成する。同時に、反射構造１４ａ，１４ｂとなる所望のパターンの直線導波路も形成しておく。その後、石英系ガラスで構成されたオーバークラッド層をコア１３上に堆積し、コア１３とクラッド１２とからなる埋め込み型導波路を形成する。
　図２に、第１の実施形態のモードフィールド変換光回路を適用した場合の光ファイバとの結合率を示す。ＰＬＣの光導波路と光ファイバとを、接続端面において突合せ接続したときの結合率をシミュレーションした結果である。使用する光ファイバは、シングルモードの光ファイバ（Ｓ４０５－ＸＰ）、使用する波長は４５０～７００ｎｍを想定している。市販の光ファイバは、作製スロット毎にモードフィールドが異なる場合があるが、今回は、購入した光ファイバのモードフィールドを測定し、その測定値を目標とするモードフィールドとした。
　図１に示したモードフィールド変換光回路（セグメント導波路型ＳＳＣ＋直線導波路からなる２本反射構造）において、ＰＬＣ１０のコア１３の幅＝２．３μｍ、反射構造１４ａ，１４ｂの幅Ｗ＝１．１μｍ、長さＬ＝６００μｍ、反射構造１４ａ，１４ｂとＳＳＣ１５との間の間隔Ｇ＝６．０μｍとした。
　本実施形態のモードフィールド変換光回路と、比較のためセグメント導波路型ＳＳＣのみの場合とをシミュレートした。横軸は波長、縦軸は結合率で、セグメント導波路型ＳＳＣのみの場合を実線で示し、本実施形態のモードフィールド変換光回路を破線で示す。モードフィールド変換光回路によって、光ファイバと光導波路との結合率は、対象とする全波長帯域で向上している。光が放射しやすい長波長側ほど結合率は大きく向上しており、結合率の波長差も軽減されている。
　以上述べたように、本実施形態のモードフィールド変換光回路によって、既存のモードフィールド変換器において生じる損失を抑えることができることが確かめられた。
　　［第２の実施形態］
　第１の実施形態では、光ファイバとの接続端面に設置されたＳＳＣを例としたが、第２の実施形態では、モードフィールド変換器として、光回路内に設置されるモードフィルタへの適用例を説明する。例えば、セグメント導波路は、０次モードの光は伝搬しやすいが、高次になるほど伝搬しにくいため、モードフィルタとして動作する。このとき、高次のモードを抑制するフィルタリング効果を高めるには、セグメントのフィルファクタである、セグメントのピッチに対するコアの割合を小さくする必要がある。しかしながら、フィルファクタが小さいと０次モードの放射損失も大きくなってしまう。
　図３に、本発明の第２の実施形態にかかるモードフィルタを示す。ＰＬＣ２０の光回路内に設置され、コア２３に接続されたセグメント導波路型のモードフィルタ２５を示している。第１の実施形態と同様に、ＰＬＣ２０は、モードフィルタ２５の光軸方向に沿って両側に、直線の導波路と同じ形状の反射構造２４ａ，２４ｂを備えている。反射構造２４ａ，２４ｂの始点Ｓ／終点Ｅを、モードフィルタ２５の始点Ｓ／終点Ｅと一致させ、コア２３を伝搬する信号光の波長に応じて、反射構造２４ａ，２４ｂの幅、反射構造２４ａ，２４ｂとモードフィルタ２５との間の間隔を設定する。なお、ＰＬＣ２０上のスペースに余裕があれば、反射構造２４ａ，２４ｂの長さは、始点Ｓ／終点Ｅを超えて、モードフィルタ２５の長さよりも長くすることが望ましい。
　反射構造２４ａ，２４ｂの構成法、作製法は、第１の実施形態と同じである。このような反射構造２４ａ，２４ｂを設けることにより、モードフィルタ２５から放射した光を反射し、モードフィルタ２５に再結合させることにより、放射損失を軽減することができる。
　　［第３の実施形態］
　第１，２の実施形態では、セグメント導波路を例としたが、第３の実施形態では、モードフィールド変換器として、光回路内に設置されるテーパー導波路への適用例を説明する。テーパー導波路は、損失が生じないように、十分な長さを取って、導波路幅をテーパー状に変化させる必要がある。しかしながら、ＰＬＣのチップサイズの制約などにより、十分な長さが取れない場合があり、損失が生じてしまう。
　図４に、本発明の第３の実施形態にかかるテーパー導波路を示す。ＰＬＣ３０の光回路内に設置され、コア３３に挿入されたテーパー導波路３５を示している。第１，２の実施形態と同様に、ＰＬＣ３０は、テーパー導波路３５の光軸方向に沿って両側に、直線の導波路と同じ形状の反射構造３４ａ，３４ｂを備えている。反射構造３４ａ，３４ｂの始点Ｓ／終点Ｅを、テーパー導波路３５の始点Ｓ／終点Ｅと一致させ、コア３３を伝搬する信号光の波長に応じて、反射構造３４ａ，３４ｂの幅、反射構造３４ａ，３４ｂとテーパー導波路３５との間の間隔を設定する。なお、ＰＬＣ３０上のスペースに余裕があれば、反射構造３４ａ，３４ｂの長さは、始点Ｓ／終点Ｅを超えて、テーパー導波路３５の長さよりも長くすることが望ましい。
　反射構造３４ａ，３４ｂの構成法、作製法は、第１の実施形態と同じである。このような反射構造３４ａ，３４ｂを設けることにより、テーパー導波路３５から放射した光を反射し、テーパー導波路３５に再結合させることにより、放射損失を軽減することができる。

Claims (6)

  1. 　光導波路を伝搬する光のモードフィールドを変換するモードフィールド変換光回路であって、
    　前記光導波路のコアに接続され、前記光のモードフィールドを変換するモードフィールド変換器と、
    　前記モードフィールド変換器の光軸方向に沿って、間隔をおいて設置された反射構造と
    　を備えたことを特徴とするモードフィールド変換光回路。
  2. 　前記反射構造は、前記コアと同じ材料からなり、クラッドよりも屈折率が高いことを特徴とする請求項１に記載のモードフィールド変換光回路。
  3. 　前記反射構造は、直線導波路で構成されていることを特徴とする請求項１に記載のモードフィールド変換光回路。
  4. 　前記モードフィールド変換器は、セグメント導波路であることを特徴とする請求項１、２または３に記載のモードフィールド変換光回路。
  5. 　前記モードフィールド変換器は、テーパー導波路であることを特徴とする請求項１、２または３に記載のモードフィールド変換光回路。
  6. 　前記モードフィールド変換器は、光ファイバとの接続端面に設置されたスポットサイズ変換器であることを特徴とする請求項１、２または３に記載のモードフィールド変換光回路。
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