TWI802990B - 可滑動操作之燒機插座及燒機裝置 - Google Patents

Abstract

本發明揭露一種可滑動操作之燒機插座，包含：一基座，用於容置一待測裝置並暴露該待測裝置；及一蓋體，以可滑動的方式與該基座連接且具有一輸送管連接介面。該蓋體相對於該基座在一第一位置和一第二位置之間滑動。

Description

可滑動操作之燒機插座及燒機裝置

本發明關於一種燒機插座及燒機裝置，特別是一種提供有可滑動操作之燒機插座，及配有這種燒機插座的燒機裝置。

在半導體或者PCB的產業中，燒機（Burn-In）或稱預燒是測試晶圓或晶片的一項過程，複數個待測晶片（即DUT）會對應地安裝在燒機板的插座上進行各種項目的測試，如溫度、應力、頻率等，藉此決定晶片的良率。

燒機插座依據搭載的散熱機制可大致區分為空冷、液冷及混合型。隨著5G和AI時代的來臨，更高功率IC的需求提高，針對高功率IC的燒機測試也變得更加嚴苛。例如在燒機過程中，高功率IC晶片所產生的熱，像是大於1500瓦的熱源，空冷燒機插座可能無法滿足這類裝置的燒機測試。

相較於空冷機制，已知液冷機制有更多的優點，如減少風扇配置於發熱核心所占用的體積，以及增加散熱介面與發熱元件的接觸面積。第一圖例示一種混合型的燒機裝置，即搭載有空冷和液冷機制。該裝置包含一主機模組（1）及多個測試模組（2），其中該主機模組（1）包含一散熱排（10），該等測試模組（2）配置於一燒機載板（11）上，每一個測試模組（2）負責一待測裝置（DUT，未顯示）的測試。主機模組（1）連接於燒機載板（11）的短邊，以符合測試腔的空間配置。用於輸送冷卻液的多條管線連接於散熱排（10）和測試模組（2）之間，各管線的一端連接至測試模組（2）的一側。

每一個測試模組（2）包含一燒機插座。第二圖例示一種已知的掀蓋式燒機插座及其掀蓋過程。該燒機插座具有一基座（21）及一蓋體（22）。基座（21）用於容置所述待測裝置（DUT）且基座（21）底端具有電連接至燒機載板（11）的端子。蓋體（22）的一側以可樞轉的方式連接基座（21），且蓋體（22）包含一外框（23）、多個鰭片（24）及一水冷頭（25）。外框（23）壟罩鰭片（24）並可提供有風扇，外框（23）還以可樞轉的方式連接於水冷頭（25）的一側。鰭片（24）連接於水冷頭（25）的上方，用於吸收下方的熱。水冷頭（25）用於接觸待測裝置（DUT）的頂部並與至少一可撓性輸送管（26）連接，以接收冷卻水和排出熱水。

如圖所示，輸送管（26）通過外框（23）而連接於水冷頭（25），而當整個蓋體（22）相對於基座（21）樞轉而被掀開，輸送管（26）因其可撓的特性而被彎折，且被擠壓在蓋體（26）和電路板之間，特別是當蓋體（22）完全被掀開時，輸送管（26）的受彎折和扭轉程度最為劇烈。儘管輸送管（26）材質為可撓性，但重複掀開蓋體（22）仍會降低管體的使用壽命導致破損漏出冷卻液。或者，管體受彎折的程度會妨礙插座周邊的其他配置，導致不希望的碰撞和摩擦。此為這種掀蓋式插座和水冷機制整合在一起所面臨的問題之一。

此外，高功率測試晶片的燒機插座通常在蓋體（22）配置更多的散熱鰭片，使整個蓋體（22）的體積和重量顯著增加。儘管一般會在燒機插座的基座（21）和蓋體（22）的樞接處配置彈簧，使蓋體（22）從一鎖定位置切換至一釋放位置時，可受到彈簧的輔助而自基座（21）彈起，但高功率測試用途的插座蓋體部分已無法有效為所述彈簧支撐。因此，無論是由人或機械手臂掀開這種高功率測試需求的蓋體，皆需要確保蓋體完全且溫和地被打開，以執行待測裝置的放置和取出。否則，龐大且沉重的蓋體可能會損壞電氣結構。

因此，有必要發展一種適用於水冷機制的燒機插座以及降低龐大蓋體操作風險的燒機插座。

本發明目的在於提供一種可滑動操作之燒機插座，包含：一基座，用於容置一待測裝置並暴露該待測裝置的頂部；一蓋體，以可滑動的方式與該基座連接且具有一輸送管連接介面，使該蓋體相對於該基座在一第一位置和一第二位置之間滑動；及一操作部，以可樞轉的方式連接於該基座和該蓋體之間，使該操作部相對於該蓋體在一鎖定位置和一釋放位置之間移動，其中，當該操作部位於該鎖定位置，該蓋體定位於該基座上，其中，當該操作部位於該釋放位置，該蓋體於該第一位置和該第二位置之間自由移動。

在一具體實施例中，該基座具有一對滑軌，用於引導該蓋體相對於該基座在該第一位置和該第二位置之間滑動，且該蓋體的輸送管連接介面位於該對滑軌之間。

在一具體實施例中，該蓋體的輸送管連接介面包含將冷卻液提供至該蓋體中的一入口埠和自該蓋體排出冷卻液的一出口埠。

在一具體實施例中，該操作部為一把手，該把手具有連結於該對滑軌的兩個末端，各末端具有一凸輪機構，使位於該鎖定位置的把手藉由該凸輪機構將該蓋體壓制於該基座上，而位於該釋放位置的把手藉由該凸輪機構使該蓋體可沿著該對滑軌滑動。

在一具體實施例中，該基座具有連接至一遠端冷卻液源的一第一輸送管連接介面，連接該蓋體輸送管連接介面的一第二輸送管連接介面，其中該第一輸送管連接介面和該第二輸送管連接介面經由該基座內部連通。

在一具體實施例中，該基座的第二輸送管連接介面與該蓋體的輸送管連接介面藉由一或多個可撓性輸送管連接。

在一具體實施例中，所述可撓性輸送管具有一托鏈及該托鏈支撐的一管體，藉此，當該蓋體於該第一位置和該第二位置之間滑動時，可撓性輸送管根據該蓋體滑動的水平位移而撓曲。

在一具體實施例中，該蓋體具有用於接觸待測裝置的一水冷頭，該蓋體具有一彈性機構，當該操作部位於該鎖定位置而使該水冷頭朝該基座施以一壓制力時，該彈性機構對該水冷頭施以和壓制力相反的彈力。

在一具體實施例中，該蓋體具有一插銷，該基座具有對應該插銷的一定位孔，其中該當插銷與該定位孔對準並結合時，該操作部允許位於該鎖定位置，避免該蓋體相對於該基座滑動。

本發明另一目的在於提供一種可滑動操作之燒機插座，包含：一基座，用於容置一待測裝置並暴露該待測裝置的頂部；一蓋體，以可滑動的方式與該基座連接且具有一輸送管連接介面和一水冷頭，使該蓋體相對於該基座在一第一位置和一第二位置之間滑動；及一把手，以可樞轉的方式連接至該基座和該蓋體，使該把手相對於該蓋體在一鎖定位置和一釋放位置之間移動，其中，當該把手位於該鎖定位置，該蓋體的水冷頭位於一凸伸位置，其中，當該把手位於該釋放位置，該蓋體自由地於該第一位置和該第二位置之間自由移動，且該蓋體的水冷頭位於一縮回位置。

本發明更一目的在於提供一種燒機裝置，包含：一燒機載板，以可拆卸的方式安裝至一測試腔中；及多個所述之可滑動操作之燒機插座，其中，該燒機裝置的厚度至少為燒機插座的一高度（不含作為操作部的把手）和該燒機載板的一厚度總和，且當該燒機插座的蓋體於該第一位置和該第二位置之間移動時，該燒機裝置的厚度皆不改變。

在一具體實施例中，當該蓋體位於該第一位置時，該蓋體靠近該基座的一側使該基座暴露待測裝置，當蓋體位於該第二位置時，該蓋體遮蔽該基座的待測裝置。

在一具體實施例中，當該蓋體位於該第一位置時，該蓋體的水冷頭位於一縮回位置，當蓋體的水冷頭位於一凸伸位置。

在一具體實施例中，該基座和該蓋體經由一或多個可撓性輸送管連接，用於交換於該基座中和該水冷頭中流動的冷卻液，而當該燒機插座的蓋體於該第一位置和該第二位置之間移動時，可撓性輸送管未受到該蓋體和該燒機載板擠壓。

本發明尚一目的在於提供一種可滑動操作之燒機插座，包含：一基座，用於容置一待測裝置並暴露該待測裝置的頂部；一蓋體，以可滑動的方式與該基座連接，使該蓋體相對於該基座在一第一位置和一第二位置之間滑動；及一操作部，以可樞轉的方式連接於該蓋體，使該操作部相對於該蓋體在一鎖定位置和一釋放位置之間移動，其中，當該操作部位於該鎖定位置，該蓋體定位於該基座上，其中，當該操作部位於該釋放位置，該蓋體於該第一位置和該第二位置之間自由移動。

在一具體實施例中，該蓋體具有一外殼及一內部支撐，該內部支撐以可垂直移動的方式容置於該外殼中，該內部支撐具有用於容納一水冷頭的空間。

在一具體實施例中，該操作部具有樞轉連接至該外殼的一凸輪機構，該內部支撐具有對應該凸輪機構的一上表面，其中當該操作部位於該鎖定位置時該凸輪機構以一較大直徑處接觸該內部支撐的上表面，當該操作部位於該釋放位置時該凸輪機構以一較小直徑處接觸該內部支撐的上表面。

在一具體實施例中，該外殼的一內側面和該內部支撐的一底部之間提供有一彈性機構，使該內部支撐受到該凸輪機構和該彈簧機構的夾持。

在一具體實施例中，該內部支撐的底部具有至少一插銷，該基座的一上表面形成有至少一定位孔，當該操作部位於該鎖定位置時，該插銷結合於該定位孔。

底下將參考圖式更完整說明本發明，並且藉由例示顯示特定範例具體實施例。不過，本主張主題可具體實施於許多不同形式，因此所涵蓋或申請主張主題的建構並不受限於本說明書所揭示的任何範例具體實施例；範例具體實施例僅為例示。同樣，本發明在於提供合理寬闊的範疇給所申請或涵蓋之主張主題。

本說明書內使用的詞彙「在一實施例」並不必要參照相同具體實施例，且本說明書內使用的「在其他（一些/某些）實施例」並不必要參照不同的具體實施例。其目的在於例如主張的主題包括全部或部分範例具體實施例的組合。

第三A圖顯示本發明可滑動操作之燒機插座的第一實施例（鎖定狀態）。第三B圖顯示本發明可滑動操作之燒機插座的第一實施例（釋放狀態）。

燒機插座包含一基座（31）及一蓋體（32）。類似於第二圖的基座（21），基座（31）的底部具有連接於燒機載板的端子，且配置成收容一待測裝置（如晶片）並暴露待測裝置的頂部。基座（31）基本上具有一底板（311）以及一對滑軌（312）提供於底板（311）的相對兩側。各滑軌（312）具有一溝槽，沿著底板（311）的相對兩側延伸且位於底板（311）的上方，且使該對溝槽面對彼此。

底板（311）另外相對兩側分別提供有一第一輸送管連接介面（313）和一第二輸送管連接介面（314），其中第一輸送管連接介面（313）可連接至一遠端冷卻液源或一冷卻液迴路的其他部分，第二輸送管連接介面（314）則連接至蓋體（32）。儘管未顯示，底板（311）的內部可形成第一輸送管連接介面（313）和第二輸送管連接介面（314）的通道，用於輸送冷卻液。具體而言，第一輸送管連接介面（313）和第二輸送管連接介面（314）分別具有一入口埠和一出口埠。如圖中箭頭方向所示，第一輸送管連接介面（313）的入口埠自遠端接收冷卻液，第一輸送管連接介面的（313）的出口埠則將冷卻液送回迴路中。第二輸送管連接介面（314）的出口埠將冷卻液提供給蓋體（32），第二輸送管連接介面（314）的入口埠接收蓋體（32）的冷卻液。

應了解，所述通道應避開電子元件，以避免影響電訊號傳遞。此外，第二輸送管連接介面（314）的埠口是配置於底板（311）一側的缺口處，且第一輸送管連接介面（313）和第二輸送管連接介面（314）是配置於該對滑軌（312）之間。

蓋體（32）具有相對的兩側，且蓋體（32）的兩側以可滑動的方式連接或耦接至基座（31）兩側的滑軌（312），藉此蓋體（32）可相對於基座（31）並在該對滑軌（312）之間沿著溝槽在一第一位置和一第二位置之間前後移動。所述第一位置和第二位置可以是滑軌（312）溝槽的終止面。

蓋體（32）具有一水冷頭，其自蓋體（32）的底端向下凸伸用以接觸待測裝置的頂部。蓋體（32）也具有一輸送管連接介面（321），其配置於蓋體（32）的頂端，但本發明不以此為限制。輸送管連接介面（321）也具有對應的入口埠和出口埠，其中入口埠接收第二輸送管連接介面（314）提供的冷卻液，出口埠將帶走熱的冷卻液送回給第二輸送管連接介面（314），最後由經由第一輸送管連接介面（313）回到冷卻液迴路中。儘管未顯示，蓋體（32）內形成有熱交換通道，其供冷卻液通過並帶走累積在水冷頭的熱。

操作部（33）以可動的方式連接於基座（31）和蓋體（32），並可在一鎖定位置（如的三A圖）和一釋放位置（如第三B圖）之間移動。當操作部（33）位於鎖定位置，操作部（33）落下且產生機構阻礙於蓋體（32）和滑軌（312）之間，藉此使蓋體（32）無法相對於基座（31）滑動。當操作部（33）位於釋放位置時，操作部（33）翹起，所述機構阻礙移除，使蓋體（32）可自由地在第一位置和第二位置之間滑動。

第四A和的四B圖顯示操作部（33）可具體實施為一把手，其具有一橫桿和橫桿兩端向下延伸的臂，而臂的末端形成有凸輪機構（331）。如圖所示，凸輪機構（331）的周緣至軸孔的徑向距離不同，使其結構具有不同的直徑。返參第三A和三B圖，凸輪機構（331）連接於基座（31）的滑軌（312）和蓋體（32）之間，且凸輪機構（331）是容置於滑軌（312）的溝槽中。因此，當凸輪機構（331）以較大直徑接觸滑軌（312）時，產生機械阻礙無法使操作部（33）沿著滑軌（312）移動，即使蓋體（32）為鎖定狀態；當凸輪機構（331）以較小直徑接觸滑軌（312）時，則減少機械阻礙使操作部（33）可沿著滑軌（312）移動，即使蓋體（32）為釋放狀態。本文所述「較小直徑」及「較大直徑」是以樞軸至邊緣的直徑長度所比較而來。儘管未顯示，凸輪機構（331）是以可樞轉的方式與蓋體（32）的兩側連接，因此當操作部（33）移動時，蓋體（32）也會被操作部（33）的凸輪機構（331）牽引，但不會樞轉。

因此，實施為把手的操作部（33）可提供兩種用途，其一為經由樞轉來鎖定和釋放蓋體（32），其二為經由推托把手來滑動蓋體（32）。而且，這兩個用途可在單手的一次動作中完成。

可撓性輸送管線（34）連接於蓋體（32）的輸送管連接介面（321）和第二輸送管連接介面（314），用以交換冷卻液。從第三A和三B圖的變化中可見，可撓性輸送管線（34）是隨著蓋體（32）的水平位移而撓曲，或者可以說是根據蓋體（32）的輸送管連接介面（321）和第二輸送管連接介面（314）的相對位置而撓曲。更具體而言，第二輸送管連接介面（314）的位置為固定，只有蓋體（32）的輸送管連接介面（321）在一水平面上改變位置，意即可撓性輸送管線（34）的一端為固定，只有另一端可沿著水平面改變位置。這樣的配置解決了先前技術輸送管壽命的問題，因為輸送管線的一端沒有垂直方向的位移，管體不再受到蓋體（32）和下方電路板的擠壓，大幅降低了表面摩擦破損的機率。

第五A圖至第五D圖顯示本發明可滑動操作之燒機插座的第二實施例，其中第五A和五B圖顯示操作部（53）位於一釋放位置使蓋體（52）可相對於基座（51）自由移動，第五C和五D圖顯示操作部（53）位於一鎖定位置使蓋體（52）固定於基座（51）上。

與第一實施例比較，所示第二實施例的可撓性輸送管（54）更具有用於穩固輸送軟管的一支撐結構，即以一拖鏈（drag chain）結合如前述可撓性輸送管（34）。藉由拖鏈的機構特性，控制可撓性輸送管（54）的可撓曲形式，更可確保輸送管（54）兩端靠近時，即第五A和五B圖所示蓋體（52）往基座（51）的第二輸送管連接介面移動而暴露基座（51）的內側時，撓曲的管體不會橫向擴張。在可能的實施例中，拖鏈的兩端更以可轉動的機構分別連接至基座（51）的輸送管連接介面及蓋體（32）的輸送管連接介面，避免拖鏈緊繃，有助於延長使用壽命。

第六A圖至第六D圖顯示本發明可滑動操作之燒機插座的第三實施例，其中第六A圖顯示操作部（63）位於一鎖定位置使蓋體（62）固定於基座（61），第六B圖顯示操作部（63）位於一釋放位置使蓋體（62）的移動不受限制，第六C圖顯示蓋體（62）位移至一終端位置而暴露基座（61）內側，第六D圖顯示第六C圖的另一視角。

基座（61）基本上為一板體，其中央有形成容置待測裝置的凹槽，且在其兩對兩側提供有一對滑軌（611）。各滑軌（611）形成有一溝槽，且溝槽開口面向蓋體（62）。各滑軌（611）的至少一端提供有一止擋部（612）作為蓋體（62）可滑動的一終端位置。此外，基座（61）中凹槽的兩側還形成有一對定位孔（613），如第六C圖所示，其用於和蓋體（62）的對應部件配合而將蓋體（62）鎖定在基座（61）。

蓋體（62）以可滑動的方式連接於基座（61）的滑軌（611）。如第六C和六D圖所示，蓋體（62）的底部具有匹配滑軌（611）溝槽的軌道（621）。藉由滑軌（611）與軌道（621）結合，蓋體（62）可相對於基座（61）在一第一位置和一第二位置之間滑動。

鰭片組（622）被包含在蓋體（62）中且部分暴露於蓋體（62）的頂部。鰭片組（622）的底端連接一水冷頭（623），如底六D圖所示，該水冷頭（623）的底部經由蓋體（62）底部的一開口（624）而暴露，用於接觸基座（61）凹槽所容置的待測裝置。風散組（625）分別被提供在蓋體（62）的相對兩側，藉此可於蓋體（62）的相對兩側之間形成對流，有助於排除累積於鰭片組（622）的熱。

操作部（63）類似於前述操作部（33、53），其具有以可樞轉方式連接於蓋體（62）的兩個末端。同樣地，操作部（63）可在一鎖定位置（如第六A圖）和一釋放位置（如第六B圖）之間切換，使燒機插座對應地呈鎖定狀態和釋放狀態。在鎖定狀態中，操作部（63）迫使水冷頭（623）通過開口（624）至一凸伸位置，以接觸待測裝置的頂部。在釋放狀態中，操作部（63）可迫使水冷頭（623）通過開口（624）至一縮回位置，並釋放待測裝置。

第七A和七B圖顯示第三實施例的剖面結構。蓋體（62）除了前述鰭片組（622）、水冷頭（623）及風散組（625），還包含一外殼（626）和容置於外殼中的一內部支撐（627）。內部支撐（627）提供容納鰭片組（622）和水冷頭（623）的空間，且可相對於外殼（626）垂直移動。操作部（63）的兩末端分別位於至外殼（626）頂端的狹縫中且藉由一樞軸（631）與外殼（626）連接。水冷頭（623）的兩側分別具有一插銷（628），其具有比水冷頭（623）更為凸伸的末端，以利進入對應的定位孔（613）。

內部支撐（627）的對應兩側分別具有一上表面（629），其面對外殼（626）的一內側面且抵持連接在樞軸（631）上的凸輪結構。據此可了解，內部支撐（627）在外殼（626）中的移動是藉由控制凸輪機構的位置以控制上表面（629）與外殼（626）內側面之間的距離而達成。而內部支撐（627）的移動使鰭片組（622）和水冷頭（623）能在凸伸位置和縮回位置之間移動。

第八A和八B圖分別顯示水冷頭（623）和插銷（628）位於一縮回位置和一凸伸位置，其中第八A圖顯示在水冷頭（623）和外殼（626）的一內面之間還提供有至少一彈簧（S），用於提供一向上彈力支撐著水冷頭（623）。當操作部位於釋放位置，內部支撐（627）的上表面（629）抵持凸輪機構以較小直徑處，甚至抵持外殼（626）的內側面。此時，水冷頭（623）位於縮回位置而遠離基座（61）的凹槽，插銷（628）亦離開對應的定位孔（613）。當操作部位於鎖定位置，即前述把手落下的位置，內部支撐（627）的上表面（629）抵持凸輪機構以較大直徑處。此時，內部支撐（627）受凸輪機構向下擠壓，彈簧（S）同時施以反向的彈力，避免冷卻頭（623）過度壓制待測裝置。插銷（628）也部分插入定位孔（613），使蓋體無法在第一位置和第二位置之間滑動。

從第八A至八B圖，基座（61）頂多承受因凸輪機構推壓內部支撐（627）所帶來的力量。與現有的掀蓋操作之燒機插座相比，基座（61）不必額外承受多餘的重力加速度，因此這種滑蓋操作之燒機插座更適用於體積和重量較龐大的蓋體機型。

第九A和第九B圖例示一燒機裝置，其中多個本發明滑蓋操作之燒機插座安排於一燒機載板（9）上的配置。燒機載板（9）為一大型電路板，其上載有多個元件，像是控制單元、直流/直流轉換器、散熱元件及/或冷卻液輸送管等，且通常具有一長邊（L）和一短邊（W）。位於外側的一短邊（W）可配置有一把手，而位於內側的另一短邊可配置有資料匯流排，用於連接至一測試腔中的電路板，使燒機載板（9）接收電力訊號、控制訊號和測試訊號。把手可供操作人員安裝時掌握，以推或拉將整個燒機載板（9）插入測試腔或自測試腔拔除。

如圖所示，這些燒機插座的方位一致。當操作部往內側扳起並將蓋體往內側拉時，插座呈釋放狀態或開啟狀態，此時基座中的凹槽露出，可放置待測裝置或取出完成測試的裝置。當操作部往外側落下並將蓋體向外側拉時，插座呈鎖定狀態，此時基座中的凹槽已被蓋體遮蔽，且蓋體內的水冷頭（也可以是一般冷卻頭）位於一凸伸位置而接觸待測裝置。相較現有的掀蓋式操作，本發明所構成的燒機裝置由於不需要抬起蓋體來放置或取出待測裝置，故裝置的厚度或是高度不會因為操作而有所變化，有助於節省空間。然而，圖式不意味本發明滑蓋操作之燒機插座僅能按照此安排配置於燒機載板上。因應使用環境或氣流的方向，開蓋方向可和圖式相反或調整為對稱開蓋。

除了第九A圖所示範的安排，在可能的實施例中，基座上的滑軌可具有更長的距離，基座上容置待測裝置的凹槽可界於蓋體的兩個終端位置之間，允許蓋體可以選擇性地停留在其中一個終端位置使基座的待測裝置能夠暴露。言下之意，藉由修飾滑軌長度和把手凸輪機構，蓋體可不限於第九A圖的態樣，只能往單一方向執行開蓋的動作。

綜上，本發明前述實施例之滑蓋操作之燒機插座，藉由蓋體與基座的滑動機制，讓輸送冷卻液的可撓性管體不會被過度擠壓和扭轉，可增加使用壽命。再者，滑動機制的操作方式也可讓重量和體積皆龐大的蓋體機型減少重力加速度的操作，減少對整個燒機載板上的衝擊，亦可延長燒機裝置的使用壽命。

1 主機模組 2 測試模組 10 散熱排 11 燒機載板 21 基座 22 蓋體 23 外框 24 鰭片 25 水冷頭 26 輸送管 31 基座 311 底板 312 滑軌 313 第一輸送管連接介面 314 第二輸送管連接介面 32 蓋體 321 輸送管連接介面 33 操作部 331 凸輪機構 34 可撓性輸送管線 51 基座 52 蓋體 53 操作部 54 可撓性輸送管 61 基座 611 滑軌 612 止擋部 613 定位孔 62 蓋體 621 軌道 622 鰭片組 623 水冷頭 624 開口 625 風散組 626 外殼 627 內部支撐 628 插銷 629 上表面 63 操作部 631 樞軸 9 燒機載板 S 彈簧 W 短邊 L 長邊

參照下列圖式與說明，可更進一步理解本發明。非限制性與非窮舉性實例系參照下列圖式而描述。在圖式中的構件並非必須為實際尺寸；重點在於說明結構及原理。

第一圖例示空冷和液冷混合型的燒機裝置。

第二圖例示一種已知的掀蓋式燒機插座及其掀蓋過程。

第三A和三B圖顯示本發明可滑動操作之燒機插座的第一實施例。

第四A和四B圖顯示操作部的一實施例。

第五A至五D圖顯示本發明可滑動操作之燒機插座的第二實施例。

第六A至六D圖顯示本發明可滑動操作之燒機插座的第三實施例。

第七A和七B圖顯示第三實施例的剖面。

第八A和八B圖分別顯示第三實施例的水冷頭根據操作部的釋放位置和鎖定位置而處在一縮回位置和一凸伸位置。

第九A和九B圖例示本發明可滑動操作之燒機插座於燒機載板的配置及其開蓋方向。

61 基座 611 滑軌 612 止擋部 613 定位孔 62 蓋體 625 風散組 63 操作部

Claims (26)

1. 一種可滑動操作之燒機插座，包含： 一基座，用於容置一待測裝置並暴露該待測裝置的頂部； 一蓋體，以可滑動的方式與該基座連接且具有一輸送管連接介面，使該蓋體相對於該基座在一第一位置和一第二位置之間滑動；及 一操作部，以可樞轉的方式連接於該基座和該蓋體之間，使該操作部相對於該蓋體在一鎖定位置和一釋放位置之間移動， 其中，當該操作部位於該鎖定位置，該蓋體定位於該基座上， 其中，當該操作部位於該釋放位置，該蓋體於該第一位置和該第二位置之間自由移動。
2. 如請求項1所述之可滑動操作之燒機插座，其中該基座具有一對滑軌，用於引導該蓋體相對於該基座在該第一位置和該第二位置之間滑動，且該蓋體的輸送管連接介面位於該對滑軌之間。
3. 如請求項2所述之可滑動操作之燒機插座，其中該蓋體的輸送管連接介面包含將冷卻液提供至該蓋體中的一入口埠和自該蓋體排出冷卻液的一出口埠。
4. 如請求項2所述之可滑動操作之燒機插座，其中該操作部為一把手，該把手具有連結於該對滑軌的兩個末端，各末端具有一凸輪機構，使位於該鎖定位置的把手藉由該凸輪機構將該蓋體壓制於該基座上，而位於該釋放位置的把手藉由該凸輪機構使該蓋體可沿著該對滑軌滑動。
5. 如請求項2所述之可滑動操作之燒機插座，其中該基座具有連接至一遠端冷卻液源的一第一輸送管連接介面，連接該蓋體輸送管連接介面的一第二輸送管連接介面，其中該第一輸送管連接介面和該第二輸送管連接介面經由該基座內部連通。
6. 如請求項5所述之可滑動操作之燒機插座，其中該基座的第二輸送管連接介面與該蓋體的輸送管連接介面藉由一或多個可撓性輸送管連接。
7. 如請求項6所述之可滑動操作之燒機插座，其中所述可撓性輸送管具有一托鏈及該托鏈支撐的一管體，藉此，當該蓋體於該第一位置和該第二位置之間滑動時，可撓性輸送管根據該蓋體滑動的水平位移而撓曲。
8. 如請求項2所述之可滑動操作之燒機插座，其中該蓋體具有用於接觸待測裝置的一水冷頭，該蓋體具有一彈性機構，當該操作部位於該鎖定位置而使該水冷頭朝該基座施以一壓制力時，該彈性機構對該水冷頭施以和壓制力相反的彈力。
9. 如請求項2所述之可滑動操作之燒機插座，其中該蓋體具有一插銷，該基座具有對應該插銷的一定位孔，其中該當插銷與該定位孔對準並結合時，該操作部允許位於該鎖定位置，避免該蓋體相對於該基座滑動。
10. 一種可滑動操作之燒機插座，包含： 一基座，用於容置一待測裝置並暴露該待測裝置的頂部； 一蓋體，以可滑動的方式與該基座連接且具有一輸送管連接介面和一水冷頭，使該蓋體相對於該基座在一第一位置和一第二位置之間滑動；及 一把手，以可樞轉的方式連接至該基座和該蓋體，使該把手相對於該蓋體在一鎖定位置和一釋放位置之間移動， 其中，當該把手位於該鎖定位置，該蓋體的水冷頭位於一凸伸位置， 其中，當該把手位於該釋放位置，該蓋體自由地於該第一位置和該第二位置之間自由移動，且該蓋體的水冷頭位於一縮回位置。
11. 如請求項10所述之可滑動操作之燒機插座，其中該基座具有一對凹槽，用於引導該蓋體相對於該基座在該第一位置和該第二位置之間滑動，且該蓋體的輸送管連接介面位於該對凹槽之間的位置。
12. 如請求項11所述之可滑動操作之燒機插座，其中該蓋體的輸送管連接介面包含將冷卻液提供至該蓋體中的一入口埠和自該蓋體排出冷卻液的一出口埠，且該入口埠和該出口埠位於該蓋體的一頂端。
13. 如請求項11所述之可滑動操作之燒機插座，其中該把手具有連結於該蓋體的兩個末端，各末端具有一凸輪機構，使位於該鎖定位置的把手藉由該凸輪機構將該水冷頭移到凸伸位置，而位於該釋放位置的把手藉由該凸輪機構使該水冷頭移到縮回位置。
14. 如請求項11所述之可滑動操作之燒機插座，其中該基座具有連接至一遠端冷卻液源的一第一輸送管連接介面，以及連接該蓋體輸送管連接介面的一第二輸送管連接介面，其中該第一輸送管連接介面和該第二輸送管連接介面經由該基座內部連通，該第一輸送管連接介面具有自遠端接收冷卻液的一入口埠和將冷卻液排出的一出口埠，該第二輸送管連接介面和該蓋體的輸送管連接介面經由可撓性輸送管連接以交換該基座和該水冷頭中的冷卻液。
15. 如請求項11所述之可滑動操作之燒機插座，其中所述可撓性輸送管具有一托鏈及該托鏈支撐的一管體，藉此，當該蓋體於該第一位置和該第二位置之間滑動時，可撓性輸送管根據該蓋體滑動的水平位移而撓曲。
16. 如請求項11所述之可滑動操作之燒機插座，其中該蓋體具有一彈性機構，當該把手位於該鎖定位置時，該彈性機構於該水冷頭施和基座之間提供一緩衝。
17. 如請求項11所述之可滑動操作之燒機插座，其中該蓋體具有一插銷，該基座具有對應該插銷的一定位孔，其中該當把手位於該鎖定位置時迫使該插銷與結合，避免該蓋體相對於該基座滑動。
18. 一種燒機裝置，包含： 一燒機載板，以可拆卸的方式安裝至一測試腔中；及 多個如請求項10所述之可滑動操作之燒機插座， 其中，該燒機裝置的厚度至少為燒機插座的一高度和該燒機載板的一厚度總和，且當該燒機插座的蓋體於該第一位置和該第二位置之間移動時，該燒機裝置的厚度皆不改變。
19. 如請求項18所述之燒機裝置，其中當該蓋體位於該第一位置時，該蓋體靠近該基座的一側使該基座暴露待測裝置，當蓋體位於該第二位置時，該蓋體遮蔽該基座的待測裝置。
20. 如請求項18所述之燒機裝置，其中當該蓋體位於該第一位置時，該蓋體的水冷頭位於一縮回位置，當蓋體位於該第二位置時，該蓋體的水冷頭位於一凸伸位置。
21. 如請求項18所述之燒機裝置，其中該基座和該蓋體經由一或多個可撓性輸送管連接，用於交換於該基座中和該水冷頭中流動的冷卻液，而當該燒機插座的蓋體於該第一位置和該第二位置之間移動時，可撓性輸送管未受到該蓋體和該燒機載板擠壓。
22. 一種可滑動操作之燒機插座，包含： 一基座，用於容置一待測裝置並暴露該待測裝置的頂部； 一蓋體，以可滑動的方式與該基座連接，使該蓋體相對於該基座在一第一位置和一第二位置之間滑動；及 一操作部，以可樞轉的方式連接於該蓋體，使該操作部相對於該蓋體在一鎖定位置和一釋放位置之間移動， 其中，當該操作部位於該鎖定位置，該蓋體定位於該基座上， 其中，當該操作部位於該釋放位置，該蓋體於該第一位置和該第二位置之間自由移動。
23. 如請求項22所述之燒機裝置，其中該蓋體具有一外殼及一內部支撐，該內部支撐以可垂直移動的方式容置於該外殼中，該內部支撐具有用於容納一水冷頭的空間。
24. 如請求項23所述之燒機裝置，其中該操作部具有樞轉連接至該外殼的一凸輪機構，該內部支撐具有對應該凸輪機構的一上表面，其中當該操作部位於該鎖定位置時該凸輪機構以一較大直徑處接觸該內部支撐的上表面，當該操作部位於該釋放位置時該凸輪機構以一較小直徑處接觸該內部支撐的上表面。
25. 如請求項23所述之燒機裝置，其中該外殼的一內側面和該內部支撐的一底部之間提供有一彈性機構，使該內部支撐受到該凸輪機構和該彈簧機構的夾持。
26. 如請求項23所述之燒機裝置，其中該內部支撐的底部具有至少一插銷，該基座的一上表面形成有至少一定位孔，當該操作部位於該鎖定位置時，該插銷結合於該定位孔。

Images