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TWD225035S - 基板處理裝置用晶舟之部分 - Google Patents

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TWD225035S
TWD225035S TW110304575F TW110304575F TWD225035S TW D225035 S TWD225035 S TW D225035S TW 110304575 F TW110304575 F TW 110304575F TW 110304575 F TW110304575 F TW 110304575F TW D225035 S TWD225035 S TW D225035S
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
substrate processing
wafer boat
design
case
processing equipment
Prior art date
Application number
TW110304575F
Other languages
English (en)
Chinese (zh)
Inventor
谷口大騎
Original Assignee
日商國際電氣股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商國際電氣股份有限公司 filed Critical 日商國際電氣股份有限公司
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