TWD225034S - 基板處理裝置用遮蔽具 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title abstract 3
Abstract
【物品用途】;本設計的物品是基板處理裝置用遮蔽具，係設置在基板處理裝置的爐口部，用於遮蔽在處理室內產生的氣體或熱流動的遮蔽具。;【設計說明】;(無)
Applications Claiming Priority (2)
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Patent Citations (1)
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| TWD203479S (zh) | 2018-12-06 | 2020-03-21 | 日商國際電氣股份有限公司 | 基板處理裝置用入口蓋 |
Also Published As
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| USD982537S1 (en) | 2023-04-04 |
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