TW480513B - A metal electrode manufacturing method - Google Patents

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480513 A7 ______B7 五、發明說明（1 ) 發明背景 (1) 發明領域 本發明係有關應用在顯示裝置等之電漿顯示面板等中 之金屬電極的製作方法；尤其是有關可以有效的防止邊緣 捲曲或貝負上解消邊緣捲曲而不致受邊緣捲曲影響裎度之 金屬電極的製作方法。 (2) 以往技術 茲將電漿顯示面板（以下稱之為PDp)的過去例顯示在 第14圖，而該圖係AC型PDP之一部斷面的斜視圖。 如該圖中所示，AC型PDP係於透明的第一玻璃基板7〇( 絕緣基板）之上配置有多數對平行成對之條紋狀的掃描電 極71和維持電極72，並在其上經介電體層73及保護層積層 所形成的前面基板75和於第二玻璃基板8〇(絕緣基板）之上 配置與掃描電㈣及維持電極72正交而成之條紋狀多數個 數據電極81及在其上之介電體層82，並於當該介電體層μ 之上平行配列有形成包挾數據電極81之條紋狀的隔壁Μ， 更在隔壁83間沿側壁設置有各色的螢光體層料所形成之背 面基板85使其重合所構成者。 並於前面基板75和背面基板85之間所形成的間隙，封 入氦、氖、氬、氪 '氙之中至少一種以上的稀有氣體作為 放電氣體，並在該氣體封人空間之掃描電極7卜維持電極 72及數據電極81交差的空間部份形成發光线（亦稱為放 電空間）。 T---.----------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 前述掃福電極71及維持電極72，係分別由條㈣

〈\ 2〇 g g家缥！（CXS)/V]規格（2】〇 497 五、發明說明（ 電性透明電極7U、72a及於其上比所形成的透明電極幅窄 之條紋狀含銀(Ag)的槽電極71b ' 7几所構成。數據電極Η 係與前述槽電極相同含有銀者。 著垓AC型PDP的動作，係經過初期化、瞄準期 :!之驅動動作的維持期間，交替的將脈衝電壓外加在掃 描電極71和維持電極72之間，利用經由掃㈣極η上之介 電也層73的保邊層74表面和經由維持電極上之介電體層 73的保墁層74表面間產生的電場，使其在放電空間9〇内發 生、准持放包，由該維持放電的紫外線激發螢光體層料的螢 光恤而將該營光體層84發出的可視光應用在顯示發光者 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 每濟部瞀 Α)时受 6 3χ^^>:ΐ、η.ρν\

又針對有關第一玻璃基板上所形成的掃描電極7 J、 持電極72、介電體層73及保護層74的形成方法概略的說 明。盲先，於第一玻璃基板70上形成由氧化錫和氧化銦· 鈦（I丁〇)所構成之條紋狀的導電性透明電極71a、72a，並 在其上使用含銀的感光性塗漿利用光蝕法將堆焊而成之物 進行k成處理，用以形成含銀之條紋狀的槽電極71卜，72卜 。又，在其上印刷介電體玻璃漿，再經燒成處理形成介電 體層73。其後，又經氧化鎂（Mg〇)的蒸著處理而形成保護 層74。 接著，釺對有關第二玻璃基板上所形成的數據電極81 ”黾租層隔壁83及螢光體層84的形成方法概略的說 明。首先，於第二玻璃基板8〇上使用Ag感光性塗漿經光 蝕法及燒成處理形成含Ag之條紋狀的數據電漿8】。 -I裝--------訂---- 線. -I I I _

’ΞΞ孓標準（CXSM4規格 480513 Α7 Β7 五、發明說明（3 ) 又’在其上印刷介電體玻璃膏，經燒成處理形成介電 體層82。其後，又採用網式印刷法、光蝕法等方法形成隔 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 壁8 3後，再使用網式印刷法、噴墨法等的方法形成螢光體 層84 〇 接著’使封著用玻璃材料介入在前面基板Μ及背面基 板85相互的外周部之狀態下，經由該封著用玻璃的熔融冷 卻處理而使相互的基板密合（封著），之後再經實施排氣· 封入處理，以完成面板。 又’接著將上述之槽電極71b、72b，數據電極81如上 述般經採用Ag感光性塗漿之光蝕法製作的樣子使用圖面 更具體的加以說明。第15圖係顯示平面印刷光蝕法流程之 步驟圖。並舉前面基板為例進行說明。 首先’使ITO蒸著在第一玻璃基板7〇上，之後，經A泛 感光性塗漿印刷等之塗布處理形成Ag感光性塗漿層1〇〇( 第b(a)圖）。接著，為由該過程所形成的感光性塗漿層 1 〇〇中使〉谷劑消失而實施乾燥處理。 接著，經由紫外線1 〇 1通過光罩^ 〇2的照射處理，而在 感光性塗漿層上形成曝光部1〇3和未曝光部ι〇4(第i5(b) 圖）。而該曝光部103之後則形成槽電極的圖案。 接著’經頻像處理的進行使前述曝光部定著於第一玻 与基板70上（第丨:^^圖）。將該在顯像處理過程中所定著後 的部份稱之為電極燒成前體105。 接著’經燒成處理的進行之前述電極燒成前體丨〇5則 冓成措電極本身（第丨:^…圖）。就該處理之電極燒成前體1〇5 (c>sS)A4 規烙（2】0 χ 29:-- 480513 A7 B7 ♦ 五、發明說明（4 ) 由第15(c)圖和第15(d)圖之比較得知經燒成處理其尺寸縮 小（又，圖面中有若干的誇大）。 因而，經使用Ag感光性塗漿之光蝕法進行堆焊處理 的話，之後，必須實施為使塗漿中的樹脂成份燒失之燒成 處理，此時即造成過去以來所發生邊緣捲曲的問題。此現 象可設想主要係在加熱時之拉伸力作用所引起的現象。 第15(d)圖係將槽電極擴大後的擴大圖併記以顯示邊 緣捲曲的現象。邊緣捲曲，如該圖所示，係槽電極之電極 燒成前體105短邊方向的兩邊緣部份，在燒成後向第一玻 璃基板上方梹起的現象。當該邊緣捲曲發生時，在其上部 不易形成介電體層；或者，由於燒成後的邊緣部份角度尖 銳化，在其上所形成的介電體層容易招致絕緣破壞。因此 ，亦有將燒成後的槽電極、數據電極的邊緣部研磨處理以 進行消除邊緣捲曲現象者的情形。 又’於前面基板所設置的槽電極，係以上述般含Ag 的材料形成時，由於銀材料光的反射率較大，故入射進入 可面基板表面的外光因槽電極的反射，產生使顯示發光的 對比有顯著劣化的問題。因此，該設置在前面基板之槽電 極其位在第一玻璃基板70側，形成有由含黑色顏料之金屬 曰和含銀材料之金屬層所積層而成的複合層（以下稱為黑 白複合層）’更在其上形成有低電阻之Ag金屬層（以下稱為 白層）所謂黑白複合層和白層之光學2層構造體者並業經實 用化。 有關此類2層構造的槽電極，亦如上述般1層情形的製 (21〇χ 297 ) ^--------^---------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 480513

五、發明說明（5 ) 法同樣的採用第16(a)〜16(f)圖所示的印刷光蝕法所形成 〇 換言之，如第16(a)圖中所示，係經含有黑色顏料的 感光性塗漿塗布處理以形成印刷層110。接著，由將該過 程所形成的印刷層11 〇為使溶劑消失而實施乾燥處理。 接著，如第16(b)圖中所示，係將Ag感光性塗聚塗布 在前述印刷層110的表面以形成印刷層1 n。接著，由該過 程所形成的印刷層110及印刷層丨丨丨為使溶劑消失而實施乾 燥處理。 接著，如第16(c)圖中所示，經紫外線112通過光罩i 13 的照射處理，在印刷層11〇及印刷層1丨丨形成曝光部丨14各 未曝光部115。該曝光部114之後則形成前述黑白複合層的 圖案。 又，以上由第16(a)〜（c)圖為止的圖面，係為容易理 解而將獏厚等誇張的描述。 接著，經顯像處理的進行而使第一玻璃基板上之該 曝光部114定著處理（第16((1)圖）。

經濟部智n?財1¾¾工消費合作社.s K 接著，故燒成處理的進行而將黑色顏料層116a和Ag 層116b積層而成的層形成黑白複合層116(第16(勾圖）。 接著’如第16(f)圖中所示，經塗布（採用印刷光蝕法 和網式印刷法）’燒成以形成白層117，槽電極遂經完成。 其中在第16(e)圖的階段所製得之黑白複合層116，其 邊緣部經向上方拱起（邊緣捲曲），造成在其上部形成凹部 116c的斷面形成，故更在其凹部116(：選擇性的塗布八§感

Gfk〈 t IS 0 3 S 家鮮（〇；S)A4 規格（21G X 297 公望)'-- 9 480513 A7 五、發明說明（6 ) 光性塗漿（採用平版印刷法和網式印刷法等的方法），麫再 將其進行燒成處理，如第16⑴圖中所示，完成後的:電 極其電極上面部平坦化實質上則業經回避了黑白複合層之 邊緣捲曲的影響。 曰 但是’該方法雖如上述般實質上_避邊緣捲曲影響 的觀點而言十分妥適，但僅以】回燒成步驟的完成而欲^ 成製造步驟簡便化的要求尚不能滿足。 發明的概要 於是，本發明係有鑑於以上的問題點而完成者，其目 的在提供-種以構成PDP為始之顯示面板的槽電極及數據 電極等金屬電極’當使”刷絲法特堆焊處理時可 有效的抑制邊.緣捲曲的發生或者實質上可以解消邊緣捲 而不致受邊緣捲曲影響程度之金屬電極的製作方法。 邊緣捲曲係如上述所言在燒成對依存在電極 之拉伸力作用所產生的現象。換言之，短邊方向的 份雖伴隨熱收縮受所有方向拉伸力的作用，但當沿電極的 長邊方向向中心轴作用的拉伸力增大時，其邊緣部=因 拉伸力的作用引起拱起的結果。 換言之，由該邊緣捲曲發生的機制而言，電極燒成前 體的形狀若可以伴隨上述熱收縮之拉伸力處置而成易於獲 得平衡者，設想可以有效的防止邊緣捲曲。 、又 於是，發明者們根據諸如此類的卓見，將電極燒成 也的元狀經別出心裁的處理，而想出用以防止邊緣捲曲 本發明。 以 曲 訂 體 該 m 的 297公餐） 480513 A7 B7 五、發明說明（ 換言之，為達成上述目的，本發明係一種金屬電極的 製作方法’其特徵在於：包含有將金屬材料及感光性樹脂 以及溶劑混合而成之感光性材料呈層狀進行印刷處理的印 刷步驟，促使前述印刷層乾燥的乾燥步驟，乾燥後依既定 的圖案進行曝光處理之曝光步驟，曝光後將電極圖案使其 顯像化之顯像處理的顯像步驟及將前述顯像化後的電極圖 案經燒成處理而使金屬電極成形的燒成步驟；並在前述乾 燥步驟，將印刷層經加熱區域偏重方式的加熱處理而由未 乾燥部向乾燥部使溶劑產生流動者。 因此根據該金屬電極的製造方法，金屬電極燒成前體 的形狀由於可以伴隨上述熱收縮的拉伸力而處置成容易取 得平衡者，故可以有效的防止邊緣捲曲現象。 其中之感光性材料’係可以使用至少Ag、Cj·、、 A卜Pt、Ag-Pd之中含有至少一種的金屬材料及感光性樹 脂以及溶劑的混合物。 又，發明者們曾摸索一種就所謂黑白複合層及白層積 層而構成的光學2層構造之金屬電極，即使進行丨回的燒成 步驟，實質上亦可以消除在以往技術欄中所陳述的邊緣捲 曲之金屬電極製作方法。其結果，係採取反制邊緣捲曲產 生的現象，毋寧積極的利用該現象遂發現而成。 換言之，其特徵在於包含有··將第一的金屬材料及感 光性樹脂以及溶劑混合而成的第一感光性材料呈層狀印刷 4理的第一印刷步驟：將前述印刷層乾燥處理之第一乾燥 步驟：將前述乾燥後的印刷層經曝光範圍不平衡方式的 -J · --------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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奴面影印 五、發明說明（9 ) •'i ί £ A7 B7 率區域上的部份形成溶劑低含有率區域，而位置在前述溶 劑低吸收率區域上的部份則形成比前述溶劑低含有率區域 之溶劑含有率高的溶劑高含有率區域之第二印刷步驟；由 月述第一印刷步驟中所印刷之印刷層的前述溶劑高含有秦 區域及第一印刷步驟中所印刷之印刷層的前述溶劑高吸收 率區域使溶劑向前述第二印刷步驟中所印刷之印刷層的前 述溶劑低含有率區域產生流動之乾燥處理的第二乾燥步驟 ;將前述乾燥後之前述溶劑高吸收率區域及溶劑低含有率 相當部分殘留所進行之總括曝光處理的曝光步驟；當該曝 光後經總括顯像處理而使電極圖案顯像化之顯像步驟及將 前述顯像化處理後的電極圖案經燒成處理而使金屬電極成 形的燒成步驟。 因此依據該金屬電極的製作方法，經第一印刷步驟中 所形成的印刷層進行燒成而成之層的邊緣部由於向上方棋 起在其上部形成圓弧狀的凹部；而經第二印刷步驟中所形 成的印刷層，向下方膨脹成圓弧狀並在其上部形成平坦的 圓頂形狀‘，使燒成後之第二的印刷層形成嵌入前述凹部的 狀態。因此經該形狀的處理完成，位在燒成後第一印刷層 之拱起的邊緣，形成前述圓頂形狀曲面接觸的部份，並且 該電極全體之上面部由於略呈平坦的狀態，故拱起的邊緣 不致露出，實質上消除邊緣捲曲的現象，經一回的燒成處 理亦係有可能。 又，上述第一印刷步驟和第二印刷步驟中所使用的感 光性塗漿係含有同種的金屬者亦或含有異種的金屬者任何 乂政r S 國家標準（c>s’S)A4 規恪（21G X 297 ϋ •---------------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂- 480513 A7 B7 五、發明說明（10

一種皆無妨。茲取後述實施的形態為例，第一印刷步驟相 當於顯示在第5(b)圖中之印刷形成印刷層42的步驟；而第二印 刷步驟相當於顯示在第5(d)圖中之印刷形成印刷層46的步驟。 又，其中之第一感光性材料，係可以使用至少由RUO 黑色顏料、Ag、Cr、Cu、Al、Pt、Ag-Pd之中含有至少其 中1種金屬材料及感光性樹脂以及溶劑的混合物；而第二 感光性材料可以使用至少Ag、Cr、Cu、Al、Pt、Ag-Pd之 中含有至少一種的金屬材料及感光性樹脂以及溶劑的混合 物0 圖面的簡單說明 第1圖係顯示有關本發明之第一實施形態2AC型pDp 的構成斜視圖。 第2圖係顯示第i圖中之A_A，線的垂直斷面局部圖； 表示掃描電極及維持電極短邊方向的斷面形狀。 第3圖係顯示第1圖中之B_B，線的垂直斷面局部圖；表 示數據電極的短邊方向之斷面形狀。 第4圖係對沿第1圖中之掃描電極丨丨的延伸方向之方向 的C-C’線（包含涵蓋透明電極、槽電極雙方範圍的線分）垂 直斷面圖。 係顯不槽電極製作步驟的步驟圖。係依（a)、（b) I序進行處理。 第_顯示數據電極製作步驟的步驟圖。係依⑷、 (b)、（(：）"@嗅序進行處理。 第7圖⑷〜（c)係顯示電極燒成前體在燒成處理時拉伸 請 先 閲 面 之 注 意 事 項 再 填 寫 本 頁

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480513 五、發明説明¢1 ) 力的作用和邊緣部份棋起的樣子隨時間推移之圖案。 第8圖⑷〜⑷係顯示白層燒成前體彻的形狀形成圓 頂形狀之機制模式圖。 u 第9圖（a)〜（b)係顯示電極墙杰1 k成則體57的形狀形成圓頂 形狀之機制模式圖。 、 第10、11圖及第12圖焱航一 w aU)(b)係顯不槽電極及數據電極 的製作方法之變形例圖案。 第13圖係顯示曝光量和對顧禮 〒對顯像液之印刷層的溶解性間 關係性的特性圖。 第14圖係顯示過去例之PDp的構成斜視圖。 第15圖⑷〜⑷係顯示槽電極（單層構成者）及槽電極 之以往的製作方法步驟圖。 第16圖（a)〜⑴係顯示槽電極（光學2層構造者）之以往 的製作方法步驟圖。 較佳實施例的說明 〈第一的實施形態> [面板構造] 第1圖係顯示有關本發明之第一實施形態的AC型pDp 構成斜視圖。 如該圖中所示’ AC型PDP係於透明的第一玻璃基板1〇 之上平行的配置多數對成對之條紋狀的掃描電極1 1和維.持 電極12，並在其上經介電體層丨3及保護層14積層處理後的 前面基板1 5和於第二玻璃基板20之上配置有與掃描電極！ i 及維持電極R成直交狀態之條紋狀多數個數據電極2丨和在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐〉 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、可— 15 480513

五、發明說明（12 哩杳邛皆迖时查苟_11嗨f^;^i:p义

其上的介電體層22’並在當該介電趙層22之上平行配列形 成有包挾數據電極21狀態之條紋狀的隔壁23，更在隔壁23 間沿其側壁設置有各色的螢光體層24所形成的背面基板Μ 使其重合所構成者。又’本明細書中使用方向的表現，由 說明的方便’就前面基板係指第—玻璃基板侧的下方而言 ，而就背面基板則係第二玻璃基板側的下方而言。 位在前述基板15和背面基板25之間所形成的間隙，經 封入氦、氖、氬、氪、氙之中至少其中丨種以上的稀有氣 體作為放電氣體，在該氣體封入空間即掃描電極·丨丨，維持 電極12及數據電極21交差的空間部份形成發光穴3〇。 第2圖係顯示第1圖中八-八線之垂直斷面局部圖案，代 表掃描電極及維持電極之短邊方向的斷面形狀。 首先’前述掃描電極11及維持電極12係分別由條紋狀 的透明電極11a、12a和其上所形成之比透明電極lla、Ua 帽寬較窄的條紋狀黑色第一導電層丨lb、12b及其上所形成 之低電阻的第二導電層11c、丨2c(此類之第一導電層llb、 第二導電層llc以及第一導電層12b、第二導電層i2c分別 合為所謂黑向複合層lid、12d)，以及更在其上之第三導 電層lie、12e(以下將該者亦稱之為白層lie、i2e)所構成 者。因此金屬電極由吸收外光的機能面觀之（光學上的觀 點），形成黑白複合層和白層就所謂光學上的2層構造的觀 點而言則係與以往者相同。又，以下將黑白複合層lld及 白層lie以及黑色複合層12d及白層12e積層處理後的電極 構造體分別稱之為槽電極11 f及槽電極12f。 大纸張尺度適用中g國家標i|L(c>；S)A4規格（210x 297公t ) ^--------^---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 16

i、發明說明（13 ) 又，黑白複合層lid、12d之邊緣部lldl、12dl向上方 拱起，位在其上部形成圓弧狀之凹部n d2、丨2d2的形狀。 白層lie、12e之下部向下方膨脹成圓弧狀的膨脹部lui、 12el而在其上部則形成平坦部ne2、ne2之圓頂形狀。於 是，形成有上述般之特徵斷面形狀的白層lle、丨2e，其膨 脹部llel、12el係分別形成嵌入黑色複合層ud、12d凹部 Ud2、12d2的狀態。 第3圖係顯示第！圖中b_b線垂直斷面的局部圖案，表 示數據電極短邊方向的斷面形狀。 如該圖中所示之數據電極21為單層，而沿其短邊方向 的斷面形狀，位在中央部的膜厚最厚，隨著向短邊方向的 邊緣部份依曲率厚度逐漸減少而中央部向上方鼓起（隆起） 形成圓頂形狀。又，該類型的數據電極之此類形狀，可由 後述的電極製作方法反映而成之故。 接著，針對有關上述八€:型1>£)1>的面板端部的構成加 以說明。 第4圖係對第1圖中沿掃描電極丨丨延伸方向之方向的c· C線（包含透明電極、槽電極雙方分佈範圍的線份）垂直斷 面圖以顯不面板周緣部（未顯示在第丨圖中）的圖案。又， 由於維持電極12亦屬相同，故以下的說明不僅針對掃描電 極11對維持電極12亦相通。 如該圖中所示條紋狀第三導電層lle〇2e)延伸方向的 邊緣部Ile3(12e3)，由於接續外部電路（未圖示），而形成 延長至第一玻璃基板1〇之周緣部l〇a的狀態。又，圖中未 (CNS)A4 C21i) χ 297 ) ------- J i----------------^---------^ (請先閱讀背面之注音心事項再填寫本頁) 17 4^0513 但 成 溶 電 該

裝--------訂· ;線· -I ϋ ϋ I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} A7 五、發明說明（14 ) 顯示的數據電極2 1亦由於與外部電路相接續，其_端形成 延長至弟^一玻璃基板的周緣部之狀態。 [面板製作方法] 基本上而言，可以適用以往例之攔中所說明的方法等 眾所周知的步驟加以製作。以下針對本實施形態中持有的 各要素之形成方法進行說明。 A)槽電極Ilf、12f的製作方法·· 槽電極Ilf、12f依以下的過程製作而成。其步驟圖顯 示在第5圖中。 如第：>(a)圖中所示，係於形成有透明電極1U、12&之 第一玻璃基板ίο表面上，將感光性塗漿4〇a呈覆蓋透明 極1U、12a般進行膜狀（層狀）的印刷，形成印刷層4ι。 感光性塗聚40a，係由黑色顏料、光聚合性單體、聚合開 始劑、溶劑、玻璃成份等的混合物所組成；該黑色顏料可 以使用氧化釕或釕的複合氧化物等。又，其他之鐵、錄、 結等無機顏料與"混合而成者雖亦有黑色化的可能，· 使用之第-玻璃基板10係經一般所採用的浮式法製作而从 者情形時，此類玻璃其表面由於所注入錫的擴散，而銀材 料在之後的燒成步驟中經擴散在破璃内，導致玻璃產生普 :蝴題，故以使用上述的氧化訂等者為宜。該光聚合性 ^體並無特別限定種類’例如可以採用丙稀酸醋等。而 則可以使用二乙二醇等。 接著，使該印刷層乾燥並使溶劑消失後，如第5⑻圖 所不，將感光性塗裝幾形成覆蓋該印刷層4】以進行膜 18 A7 B7 ^濟部智慧財產局員工消費合泎吐印沒 五、發明說明（15 狀（層狀）的印刷處理’而形成印刷層42。該感光性塗装楊 係由低電阻且可以確保透明度之Ag、cr、cu等的金屬材 料“開始劑、光聚合性單體、溶劑、玻璃成份等的混 合物所組成。 _著使該P w層42乾燥並使溶劑消失後，如第5(c) 中所示’將依一定的圖案所開設之具有多數細窗43al的光 罩43a保持1〇〇心的間隙設置在前述印刷層42上面，並由 光罩43a上方將紫外線44進行曝光照射位置在經上述所曝 光照射後之位置上方的印刷層部份。因此，由紫外線所昭 射後的表面以至下方的厚度方向之光聚合性單體產生架橋 反應。經此過程針對印刷層41及印刷㈣實施曝光照射處 理後的膜’以下方便上稱之為印刷曝光照射層Μ。 接著如第）(d)圖中所示，將前述感光性塗聚働形 成覆蓋印刷曝光照射層45以進行膜狀（層狀）的印刷處理， 形成印刷層46。當該印刷層46之位在印刷曝光照射層㈣ 曝光後部份45a上的層部份46a，，如第5⑷圖中所示形成下 方(基板側)窪陷的狀態。又，槽電極最上層的白層，由於 使其延長至顯示範圍外側之面板的周緣部，因此感光性塗 裝4〇b係包含該部份所進行的塗布處理。 接著，將該印刷層46置於一定的溫度分佈使其乾燥而 使溶割消失（第5⑷圖）。該乾燥步驟中，乾燥後之前述印 刷步驟（第5(d)圖）後中央部份窪陷的部份46a，置於拱起或 圓頂狀的溫度分佈下在加熱爐内實施乾燥處理。具體而言 ，例如可以以10〜4(TC/min的昇溫速度使其昇溫至=。〇二 夂纸莰又Sii用中S S家標a (CN’S)A4規格（210 X 297公餐） J , --------t--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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tr k 20 480513 A7 —__B7_—___ 五、發明說明（Π) 形成縮小的狀態。 又，對印刷層41及印刷層42的曝光圖案之形成可以如 上述般總括進行，或分各層進行亦可。 Β)數據電極21的製作方法 數據電極21係經以下的過程製作而成。茲將其步驟圖 顯示在第6圖。 首先’如第6(a)圖中所示，係於第二玻璃基板20表面 上，將感光性塗漿50a印刷成膜狀（層狀），形成印刷層51 。該感光性塗漿50a係由低電阻並且可以確保透明度之Ag 、Cr等的金屬材料、聚合開始劑、光聚合體單體、溶劑、 玻璃成份等的混合物所組成；該感光性單體並無特別限定 種類’例如可以使用與上述同樣的丙烯酸酯；而溶劑可以 使用二乙二醇等。又，數據電極2 1由於使其延長至顯示範 圍外側面板的邊緣部’故感光性塗聚5 〇 a包含該部份進行 第二玻璃基板表面約略全面的塗布處理。 接著’如第6(b)圖中所示，於該印刷層5丨表面依一定 的圖案（與數據電極21相同的圖案）一面進行激光52的照射 一面掃描使形成有數據電極21的個所選擇性的乾燥。因此 ，經激光52的照射形成多數根激光照射乾燥條紋兄（圖中 僅記載1根的條紋，但實際上形成有相當根數的數據電極） 。違激光照射乾料紋53的巾央部份拱起形成圓頂形狀的 狀態。 接著，如第6(c)圖中所示，為使前述激光照射乾燥條 紋殘留而將紫外線54由開設有多數窄窗55a之光罩55的上 297 ) ---------------------訂·--------IAW. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 21 480513 A7 五、發明說明（ .^.濟^皆 u-?t圭〕习 |^、工^7绿^兮，^::7^ 方進行曝光照射處理。 接著’置於一定的溶液（例如Na2c〇yK溶液等）經由顯 像處理的實施，如第6(旬圖中所示，僅有上述斷面圓頂形 狀的條紋56定著在第二玻璃基板2〇表面上。又，將該顯像 後的條紋稱之為電極燒成前體57。 接著，經由既定溫度（例如6〇〇它）的燒成處理，由於 木橋反應而生成聚合物並使顯像中所使用的溶劑等消失。 因此，遂完成數據電極21的製作（第6(e)圖）。又，數據電 極」與電極燒成則體>7比較，其尺寸經燒成當然形成縮小 的狀態。 [作用•效果] 接著，針對採用上述方法所製作而取得之特有的作用 •效果加以說明。 A)基於槽電極製作方法之特有的作用·效果： t由上述過桎所形成的槽電極具有以下般的作用·效 首先’經上述步驟所製作作為電極中間體的電極燒成 」“8 #第）(g)中所不，係於外觀四角斷面形狀的黑白 沒。層k成刖體48a上經斷面圖頂形狀的白層燒成前體. 積層處理後而成者。 接著，將該電極燒成前體燒成處理時作用的拉伸力和 邊緣部份拱起的樣子隨時 - 丁 推移顯不在第7圖中。第7圖 的⑻、⑻、（c)係燒成進行的步驟。 首先’燒成開始當初係題+卢 員在弟7(a)圖中的形狀者， 仁fk燒成時間的進行如第7 一 (b)圖中所示漸漸的隆起，最後 χ 297公笺）

(請先閱讀背面之;i意事項再填寫本頁) --裝 • ϋ 1· I 1· a— - 訂： 線· 480513 A7 B7 五、發明說明（19 ) 則由第7(c)圖中所示，黑白複合層ild、i2d邊緣部向上方 拱起而在上部形成圓弧狀的凹部丨ld2、i2d2 ;白層1 le、12e 位在下部形成向下方膨脹成圓弧狀的膨脹部nel、12el， 而位在上部形成具有平坦部lle2、12e2的圓頂形狀；白層 lie、12e構成嵌入黑白複合層11(1、i2d的凹部nd2、12d2 的狀怨。經由此類形狀完成的處理，位在黑白複合層丨i d 、12d的拱起邊緣Udl、i2dl，形成膨脹部丨丨。、l2ei的 曲面部份接觸的部份，並且該電極全體的上面部由於係由 前述白層的平坦部lle2、l2e2所形成者，故拱起的邊緣丨丨⑴ 、12dl不致突出而露出。 燒成開始進行時，電極燒成前述48中的樹脂成份等開 始’肖失，（k之黑白複合層燒成前體48a向水平方向（沿基板 之膜展開方向）及厚度方向進行收縮。經收縮因而發生水 平方向及厚度方向的拉伸力pl、p2。利用該拉伸力的作用 ，而由邊緣部48“向黑白複合層燒成前體48a的中心線方 向產生促使黑白複合層燒成前體48a的邊緣部48“向上方 拱起的作用力p3。 …口果如第7(b)圖中所不，黑白複合層燒成前體他 的邊緣部伽漸漸的向上拱起。χ，同時促使黑色複合層 燒成前體48a拱起作用的力ρ3，形成促使其上所積層的白 層燒成前體杨向下方彎曲。其結果，白層燒成前體桃漸 ㈣向下方‘.弓曲’造成燒成前體向反對方向膨張，同時在 卞方向因縮小而形成上部平坦如上述般圓頂形狀的結果。 '、中4對為何可以將白層燒成前體楊的形狀構成圓 〈t 別由 s 因 rm^,CXS)A4im(210,297 ^ 線 經 濟 部 智 .¾ 財 i .¾ 合 ίί 社 23 五、發明說明（20 ) T形狀而進行詳細的考察。並將其機制模式的圖示在第8 圖中。 經濟部智^i P? 3、工消Φ合^社㈠‘以

首先，印刷曝光照射層45中經曝光照射處理後的部份 (以下稱為曝光部45a)，由於光聚合性單體的架橋反應 ，亚經聚合、高分子化的進行而形成疏密的狀態，其溶劑 的吸收性比未經曝光照射處理的部份（以下稱為未曝光部 4：>b)同。因此如第8(a)圖中所示，相當於曝光部的處所 形成溶劑的吸收率比較高之溶劑高吸收率區域45c，而位 在相當於未曝光部45b的處所則形成溶劑的吸收率比前述 溶劑高吸收率區域45c為低之溶劑低吸收率區域45d。 其結果，如第8(b)圖中所示，位在印刷曝光照射層45 上所印刷之印刷層46中，其位置在前述曝光部45a上部份 的溶劑部份經當該曝光部45a所吸收，而形成陷沒狀態。 因此，就印刷層46而言，位置在曝光部45a之上的部份形 成;谷刎的含有率比較低之溶劑低含有率區域46a ;而位置 在未曝光部4:>b之上的部份則形成溶劑的含有率比前述溶 劑低含有率區域46a為高之溶劑高含有率區域46b。該溶劑 低含有率區域46a和溶劑高含有率區域46a，係對應印刷曝 光照射層45的曝光圖案所形成。於是，對應之後金屬電極 的形成圖案成則構成互相而且平行成條紋狀所形成的狀態 之後，印刷層進入乾燥處理的階段，此時通常印刷層 中所含有的溶劑，在層内部不產生流動所謂處在靜的狀態 下逐漸消失。但是’依據本實施形態的方法，如第8(c)圖 闲口 gg 孓標iMCXS)A-i 規格（210x297 公坌） 24 480513 A7 B7 五、發明說明（21) 中所示產生印刷層46中溶劑水平方向的流動FI、F2及向 厚度方向之溶劑的流動F3。溶劑的流動F1、F2，係由於 隨著加熱而由溶劑高含有率區域46b與其間之溶劑低含有 率區域46a經其溶劑含有率的梯度所產生者；而溶劑的流 動F3 ’則係對位置在溶劑低含有率區域46a之下的印刷曝 光照射層46之溶劑高吸收率區域45c所吸收的溶劑欲向上 方脫出所產生的流動。 因此利用該F 1、F2由所謂2方向之溶劑的流動，金屬 材料亦一起流入溶劑低含有率區域46a。其結果，溶劑低 含有率區域46a的金屬材料密度，隨著乾燥步驟的進行而 昇高，同時經上述溶劑的流動F1、F2、F3之3股的流向而 使金屬材料位在溶劑低含有率區域中央部的上方產生堆積 的流動現象，故最終而言，如第8(c)圖中所示可料想其中 央部份形成隆起形狀的狀態。 又，由於如上述般在乾燥時使溶劑產生流動的現象， 故〉谷劑在常溫下以不易氣化而沸點比較高者為宜（該類溶 劑在以下數據電極的製作上亦可使用相同者）。 又，在上述說明中雖在最上層實施乾燥處理使其形成 圓頂狀，但若在中間層（印刷層42)實施乾燥處理而使其隆 I的^ ^/就其上所積層之最上層而言在印刷處理時對應 中間層隆起的部份形成自然拱起狀態之處置亦有可能。 B)基於數據電極製作方法之特有的作用效果 一電極燒成前體57之短邊方向斷面，如第6⑷圖中所示 ’經激光照射後處所之中央部份的獏厚最大並由該處漸向 -l·---.----------------訂---------線 (請先閱讀背面之沒意事項再填寫本頁) 25 480513 A7 B7 五、發明說明（22 經濟部智毯財工消费合作吐，2^ 邊緣部依f曲钱厚減少而中央料起形賴頂形狀。 由於。玄數據私極的電極燒成前體57的斷面形狀形成圓 頂形狀，故在其後的燒成步驟中，料想經熱收縮對電極燒 成前體作用的拉伸力取得平衡而可壓抑邊緣捲曲現象的發 生。 又，有關抑制邊緣捲曲現象發生的效果，亦受電極燒 成前體57的中央部份的膜厚u(參照以⑷圖）和邊緣部^ 的膜厚L2(參照第6⑷圖）間之差所影響。發明者們經檢討 後之乾圍中，L 1比L，篆，!/、右，，，^ vt . 至少有2“111之差時可以取得顯著的 效果。 又，針對為何形成圓頂形狀進行詳細的考察。並將其 機制模式的圖示在第9圖中。 首先，如第9⑷圖中所示，當將激光52照射在潮濕狀 態之印刷層51表面特定的處所時，由該照射部份主要 的溶劑漸形消失。同時，溶劏由潮濕狀態之激光未照射部 份5丨b向激光照射部份51a移動而產生溶劑的流動以、以 。此係由於經激光照射後的部份51a方面之溶劑消失程度 比激光未照射部份51!3其溶劑吸收性昇高所致（形成上述2 所謂溶劑含有率不同的2個範圍）。此時，不僅溶劑金屬 料亦隨著溶劑的流動而一起移動。 其結果，激光照射部份51a之金屬材料的密度，隨 乾燥步驟的進行而昇高，同時經上述溶劑的流動Η… 之2股流向位在激光照射部份51a中央部而產生使金屬材堆 積在上方的流動，故最終則如第9(b)圖中所示中央部份形 材 著 F5 ^--------^---------線 ί請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 闬 口 S a 1：揉a (C\S)A4 規格（2J0 X 297 公坌） 26 480513

經濟部智慧財查苟員工凊f 乂η··ΐ:£?η 成拱起的形狀。 又，若形成圓頂形狀不但可以抑制邊緣捲曲現象，同 時可以比較大的確保電極的斷面積，故以更能降低 電極本 身電阻的觀點而言較理想。又，由於可以經由上述般之簡 便的方法製作故實用性極高。 (變形例） 在上述内容之乾燥步驟中，係將印刷層46全體面進行 相同的加熱處理或將印刷層5丨經激光進行局部性的加熱處 理，實施此類的處理外，如第1〇及丨丨圖中所示，為不使溶 劑由不形成圓頂形狀的印刷層表面消失，而將其表面以溶 劑非透過性構件60覆蓋；或僅由欲形成為圓頂形狀之部份 的表面使溶劑消失的處置亦無妨。經此製程，由於使在印 刷層内部水平方向所產生的前述溶劑的流動F丨、F2、F4 、F)更有良好效率的發生，而更有效的形成圓頂形狀成 為可能所致。 將該乾燥步驟後構成白層的部份用以形成圓頂形狀的 方法並不限定於上述方法，接下來的製程亦可以形成相同 的圓頂形狀。茲將有關的不同點進行說明。 第12圖係顯示該步驟的圖案。如該圖中所示，在上述 說明中係將印刷層45進行曝光照射處理而設置成具有溶劑 吸收率差的2個區域；但此處係將印刷層4 5進行局部性的 乾燥處理而設置具有溶劑吸收率差的兩個區域。換言之， 如第12(a)圖中所示，係將作為印刷層42之電極的殘留部 份例如進行激光照射處理並將該部份經選擇性的乾燥處理 T -----------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 27 480513 L· L· Ί ί A7 B7 五、發明說明（24) ，而提高該部份的溶劑吸收性。 因此’位置在其上之印刷層46的溶劑與上述同樣的經 ’ 當該選擇性乾燥處理後的部份所吸收，形成第12(b)圖中 ， 所示的前述溶劑低含有率區域46a ;而位置在印刷層42未 實施乾燥處理部份之上的部份則形成前述溶劑高含有率區 域 46b 〇 _ 之後，經與上述方法大略相同的步驟而完成金屬電極 的製作。又’其中係將黑白複合層和白層構成的印刷層同 時進行曝光•顯像處理的狀態。 接著’兹將有關第二實施的形態加以說明。 <第二的實施形態> 本實施的形態中，係在上述第5(c)圖及第5(f)圖曝光 步驟中具有互相改變曝光量的不同點。 換言之，係將第一導電層lib、12b及第二導電層lie 、12c所形成的印刷層進行曝光處理時之曝光量設定為D! • ，而將第三導電層lie、12e(白層）進行曝光處理時的曝光 量設定成比前述曝光量D1低之D2。換言之，曝光量D1和 曝光量D2係滿足Dl > D2的關係性。 因此如上述將形成白層的印刷層曝光處理時的曝光量 經設定比形成黑白複合層的印刷層曝光處理時的曝光量為 低，而可以適當的控制白層的膜厚，甚至亦可以適當的控 制金屬電極全體的膜厚。 其理由，係由於曝光量和曝光照射層對顯像液的溶解 性間，具有以下所陳述的關係所致。換言之，將感光性塗 W’m適用由舀國家標iMCN，S)A4規格（210 X 297公釐） I I I I I I · I I I---I ^ -----I--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 28 480513 經濟部¾1.¾时4 A 3、工消费合:?社.？.7以 A7 B7 五、發明說明（25 ) 装乾燥後曝光處理時感光性成份經光照射而產生架橋反應 ’未經聚合、形成高分子化。經架橋所聚合的部份比未曝 光。卩對顯像/夜的〉谷解性一般而言較低。因此，經曝光量設 定的差；而有改變顯像後之膜厚的可能。 第13圖係顯示曝光量和對顯像液之印刷曝光照射層的 溶解性間之關係性特性圖。橫軸係代表曝光量（mJ/cni2)、 縱軸係表示溶解速度（V m/sec)。又，該圖的結果，係將 塗布感光性塗漿處理後的基板浸潰在顯像液中，經每單位 時間測定殘存膜厚所取得者。 如έ玄第13圖中所示，接近3〇〇(rnJ/cm2)附近曝光量众 增加，其溶解速度漸趨於遲緩。當超過300(mJ/cm2)時即 使曝光量增加，其溶解速度幾乎沒有改變。因此得知將曝 光量設定成2個數值，而可以改變顯像後的獏厚。具體而 各’就有關顯示在第13圖中的例而言，若以3〇〇(mj/em2) 為界設定成2個數值為宜。 經以上般將曝光量進行適當的變更，若能控制顯像後 的瞑厚’例如某條件下所製作的面板之特性品質參差不齊 的情形時，僅將曝光量進行改變的微調整，而可以容易的 實施將製品品質參差不齊的問題解決。 順便在下述表1中之記載使曝光量D1及曝光量產生 變化之情形下，黑白複合層及白層的膜厚。由該結果得知 調整曝光量在控制膜厚上十分有效。 12 丐⑵ g g 家漂a (CXS)A4 規格（210 X 297 公釐） J -----------------^---------^ (請先閱讀背面之;i意事項再填寫本頁) 29 黑白複合層I白層

經濟部智3財i Q二消Φ合作让.!:': 發明說明（26) [表ij ^tiD2 上述况明，有針對將白層薄化情形的例而設定成 D 1 !> D2 » rfn ^ ^ rV' γλ 1 τ-ν 向。又疋成D1 < D2亦可將白層形成厚度化。 再者’若不將第一導電層、第二導電層進行總括的曝 光而個別進行的話，可以分別的將第一導電層、第二導電 層及第二導電層的曝光量改變，其結果亦可以分別將各層 的獏厚適當的加以控制。 遑（C>：S)A4 規格（210x29 30 480513 A7 B7_ 五、發明說明（27) 元件標號對照 經濟部智慧財查苟員工消費合:^^.^¾ PDP···電漿顯示面板 14…保護層 10…第一玻璃基板 15…前面基板 10a···第一玻璃基板的周緣部 20···第二玻璃基板 11…掃描電極 21…數據電極 11a，12a…透明電極 22…介電體層 lib，12b···第一導電層 23···隔壁 lie，12c···第二導電層 24···螢光體層 lid，12d…黑白複合層 25…背面基板 lie，12e···第三導電層（白層） 30···發光穴 Ilf，12f···槽電極 40a…感光性塗漿 lid···黑白複合層 40b…感光性塗漿 lldl、12dl···黑白複合層邊 41…印刷層 緣部 42…印刷層 lld2、12d2…黑白複合層凹 43a…光罩 部 43aL···光罩狹窗 lie···第三導電層 43b…光罩 11 e3…苐三導電層延伸方向 43bl…光罩窄窗 的端部 44···紫外線 llel、12e卜··白層膨脹部 45···印刷曝光照射層 lle2、12e：l···白層平坦部 45a…印刷曝光照射層曝光的 12…維持電極 部份 13…介電體層 45 a…曝光部 J -----------------訂·--------線 (請先閒讀背面之注意事項再填寫本頁) 夂纸張又1这甲由國國家標準（CNS)A4規格（21〇x 297么、釐） 31 60…溶劑非透過性構件 70…第一玻璃基板 71…掃描電極 71a…透明電極 71b…槽電極 72…維持電極 72a···透明電極 72b···槽電極 73…介電體層 74…保護層 75…前面基板 80…第二玻璃基板 81…數據電極 82…介電體層 83…隔壁 84…螢光體層 85…背面基板 100···含銀感光性塗漿 101…紫外線 102…光罩 103…曝光部 104···未曝光部 105···電極燒成前體 110…含黑色顏料印刷層 -------------· I------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 480513 A7 B7 五、發明說明（28 45b···未曝光部 45d…溶劑低吸收率區域 45c···溶劑高級收率區域 46·· ·印刷層 46a…印刷層窪陷的部份 46a···溶劑低含有率區域 46b…溶劑高含有率區域 47…印刷曝光照射層 48…電極燒成前體 48a…黑白複合層燒成前體 48al…黑白複合層燒成前體 的邊緣部 48b…白層燒成前體 50a…感光性塗漿 51…印刷層 5卜··潮濕狀態之印刷層 51a…激光照射部份 51b…激光未照射部份 52…激光 53…激光照射乾燥條紋 54…紫外線 55…光罩 55a…光覃的窄窗 57…電極燒成前體 丐 孓標龙（CN’S)A4 規格（21〇x：：97 公釐） 32 480513 B7 份膜厚 L2…電極燒成前體之邊緣部 份膜厚 PL···水平方向拉伸力 Ρ2…厚度方向拉伸力 Ρ3…將黑白複合層燒成前體 邊緣部向上方拱起的作用 力 FI、F2···印刷層46水平方向 之溶劑的流動 F3…溶劑厚度方向的流動 F4、F5···溶劑的流動 (請先閱讀背面之立意事項再填寫本頁) 五、發明說明（29 ) 111…含Ag感光性塗漿印刷 層 112···紫外線 113···光罩 114…曝光部 115…未曝光部 116···黑白複合層 116a…黑色顏料層 116b··· Ag 層 116c…黑白複合層上部之凹部 117…白層 L卜··電極燒成前體之中央部 义纸汆 由33 孓揉！（CXS)A4 規格（210 X 297 )

Claims (1)

1. AS B8 C8 D8 六、申請專利範圍 (請先M讀背面之注意事頊再填寫本頁) 一種金屬電極之製作方法，其中該金屬電極係由同種 或異種的金屬層所積層而成，該方法包含有下列步驟 一第一印刷步驟，係層狀地印刷由第一金屬材料 及感光性樹脂以及溶劑混合而成的第一感光性材料者 一第一乾燥步驟，係乾燥前述印刷層者； 一第一曝光步驟，係藉於前述乾燥後使印刷層以 曝光範圍不均衡之方式曝光，以依一定圖案形成溶劑 吸收率高之溶劑高吸收率區域和比當該溶劑高吸收率 區域之溶劑的吸收率為低的溶劑低吸收率區域者： 一第二印刷步驟，係藉於前述曝光後的印刷層上 將由第二金屬材料及感光性樹脂以及溶劑混合而成之 第二感光性材料層狀地印刷，以於位在前述溶劑高吸 收率區域的部份上形成溶劑低含有率區域，而於位在 前述溶劑低吸收率區域上的部份上則形成比前述溶劑 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 低含有率區域之溶劑含有率為高的溶劑高含有率區域 者； 一第二乾燥步驟，係由前述第二印刷步驟中印刷 後之印刷層的前述溶劑高含有率區域及第一印刷步驟 中印刷後之印刷層的前述溶劑高吸收率區域向前述第 一印刷步驟中印刷後之印刷層的前述溶劑低含有率區 域以使溶劑產生流動而使其乾燥者； 一第二曝光步驟，係將前述乾燥後之前述溶劑低 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 34 480513 AS BS C8 D8 申請專利範圍 2. <1 含有率區域相當部份曝光以使其殘留者； 一顯像步驟，係於曝光後以整批影像之方式使電 極圖案顯像者；以及， 一燒成步驟，係藉燒成前述顯像後的電極圖案以 成形金屬電極者。 一種金屬電極的製作方法，其中該金屬電極係由同種 或異種的金屬層積層而成，該方法包含有下列步驟： 一第一印刷步驟，係層狀地印刷由第一的金屬材 料及感光性樹脂以及溶劑混合而成之第一感光性材料 者； 一第一乾燥步驟，係藉以加熱範圍不平衡方式加 熱前述印刷層·，以依一定圖案形成溶劑吸收率高的溶 劑南吸收率區域和比該溶劑高吸收率區域之溶劑吸收 率為低的溶劑低吸收率區域者； (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 ，作 社 印 Μ 一第二印刷步驟’係藉於前述乾燥後於前述印刷 層上層狀地印刷由第二金屬材料及感光性樹脂以及 劑混合而成之第二感光性材料，以於位在前述溶劑 吸收率區域的部份上形成溶劑低含有率區域，而於位 在前述溶劑低吸收率區域的部分上則形成比前述溶劑 低含有率區域之溶劑含有率為高的溶劑高含有率區 者； 一第二乾燥步驟，係由前述第二印刷步驟中印 後之印刷層的前述溶劑高含有率區域及第一印刷步驟 中印刷後之印刷層的前述溶劑高吸收率區域向前述第 溶 向 域 刷 ;線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α8 Β8 C8 D8 申請專利範圍 一印刷步驟中印刷後之印刷層的前述溶劑低含有率區 域以使溶劑產生流動而使其乾燥者； 曝光步驟’係將前述乾燥後的前述溶劑高吸收 率區域及溶劑低含有率區域相當部份整批曝光以使其 殘留者； 一顯像步驟，係藉該曝光後整批顯像而使電極圖 案顯像者；以及 一燒成步驟，係藉燒成前述顯像後的電極圖案以 成形金屬電極者。 1如申請專利範圍第1或2項之金屬電極之製作方法，其 中則述第二的乾燥步驟中，係以10〜40。(：/min的昇溫 速度急速加熱進行乾燥。 4_如申請專利範圍第3項之金屬電極之製作方法，其中前 述第二的乾燥步驟中，係於溶劑高含有率區域表面， 在配置有溶劑非透過性構件的狀態下進行乾燥。 1如申請專利範圍第1項之金屬電極之製作方法，係藉使 在前述第一曝光步驟和第二曝光步驟中的曝光量不同 以控制膜厚在顯像步驟中溶解的程度俾控制膜厚。 6·如申請專利範圍第1或2項之金屬電極之製作方法，其 中該第一感光性材料，係至少由含有尺以口黑色顏料、 、Cr、Cu、A卜Pt、Ag-Pd之中至少一種的金屬材料 及感光性樹脂以及溶劑的混合物所組成；而第二感光 性材料，係至少由含有Ag、Cr、Cu、A卜Pt、Ag_pd 之中至少一種的金屬材料及感光性樹脂以及溶劑所級 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 0 訂---------線· 36 480513 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 _ 成。 7· —種金屬電極的製作方法，包含有： 一印刷步驟，係層狀地印刷由金屬材料及感光性 樹脂以及溶劑混合而成的感光性材料者； 一乾燥步驟，係乾燥前述印刷層者； 士光v驟，係於乾燥後依一定的圖案進行曝光 者； 一顯像步驟，係於曝光後顯像而使電極圖案顯像 化者； 一燒成步驟，係藉燒成前述顯像化後的電極圖案 而形成金屬電極者； 並在前述乾燥步驟中，藉以加熱區域不均衡的方 式加熱印刷層，以使溶劑由未乾燥部向乾燥部產生流 動。 8·如申請專利範圍第7項之金屬電極的製作方法，其中前 述乾燥步驟係藉對形成電極的部份照射雷射光來進行 乾燥者。 9.如申％專利範圍第7項之金屬電極的製作方法，該感光 性材料係至少由含有Ag、Cr、Cu、a卜Pt、Ag-P_ 之至少其中一的金屬材料及感光性樹脂以及溶劑的混 合物所組成者。 瓜—種電漿顯示面板的製造方法，其特徵係包含有如申 請專利範圍第1、2或7項中之金屬電極的製作步驟者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 奉 ·、τ. :線· 37