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TW447028B - Semiconductor process system, its control method, computer readable memory, and device manufacturing method - Google Patents

Semiconductor process system, its control method, computer readable memory, and device manufacturing method Download PDF

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TW447028B
TW447028B TW087108737A TW87108737A TW447028B TW 447028 B TW447028 B TW 447028B TW 087108737 A TW087108737 A TW 087108737A TW 87108737 A TW87108737 A TW 87108737A TW 447028 B TW447028 B TW 447028B
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TW
Taiwan
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work
semiconductor processing
processing equipment
job
semiconductor
Prior art date
Application number
TW087108737A
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English (en)
Inventor
Takeshi Kawazome
Original Assignee
Canon Kk
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Publication date
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Description

4 Τ 0 2 8 Α7 Β7 經濟部中央標準局貝工消费合作社印裝 五、發明説明（I ) 發明背景 本發明係關於半導體處理系統，其控制方法，電腦可 讀記憶體及可使用該系統之裝置製造方法β 習用之半導體處理系統包括用以操縱半導體處理之主 電腦，用以實施半導體處理之半導體處理裝置及用以輸送 物料例如晶圓等之構件•及經由此等組件的資訊通信而自 動執行半導體處理。在此系統中，主電腦指令輸送構件輸 送物料至半導體處理裝置同時監控該半導體處理裝置的操 作狀態，於接收經由輸送構件所輸送之物料時，該半導體 處理裝置發送一物料接收報告至主電腦。然後該主電腦發 出一個工作指令至半導體處理裝置，其依照指令而實施半 導體處理。該半導體處理裝置保持工作資料例如，案卷中 之指令的工作所需要之處理狀況等，預告之資料庫.等及 於自主電腦接收工作指令時，執行以所保持之工作資料爲 基礎之各種處理》 以此種方式，在習用之系統中，該半導體處理裝置接 收物料，並依照自主電腦所接收之工作指令，實施以預先 所保持之工作資料爲基礎之各種處理•然而，當該半導體 處理裝置並未保持所指令之工作所需要之任何工作資料時 1它必須取消或中止此等工作，必須將需要之工作資料安 裝在半導體處理裝置上而重起始各個工作。此現象產生不 良之工作效率。 發明摘要 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS) Α4規格（2丨0X297公釐）_4- ---------装------1Τ------^ <請先Muf背面之注意事項再填寫本頁) 44702 8 at B7 經漓部中央標準局負工消费合竹社印製 五、發明説明p ) 於考慮到上述之習見問題時|本發明的一個目的在改 良半導體處理或半導體裝置製造技術的處理效率。 爲了達到上述目的，根據本發明，提供一種半導體處 理系統，它包括半導體處理裝置用以執行各種工作而，製造 半導體裝置：物料輸送構件用以輸送各工作中所使用之物 料至半導體處理裝置，及主電腦用以監控半導體處理裝置 的操作狀態，指令物料輸送構件所需要工作中所使用之物 料，及指令半導體處理裝置執行該工作，其中，主電腦造 成工作保留，它通知半導體處理裝置，與所需要之工作中 所使用之物料的輸送指令同時所執行之工作，該半導體處 理裝置’依照工作保留而證實：是否所保留之工作所需要 之工作資料存在於該裝置中，如果該工作資料不存在，則 採取預定之措施》 亦，根據本發明，提供一種製造裝置之方法用以製造 半導體裝置，即：使用一主電腦•監控用以實施各種工作 之半導體處理裝置的操作狀態而製造該半導體裝置，指令 物料輸送構件輸送所需要之工作中所使用之物料並指令該 半導體處理裝置執行工作，其中該主電腦造成工作保留， 它通知半導體處理裝置，與所需要之工作中所使用之物料 的輸送指令同時所執行之工作，又該半導體處理裝置，依 照工作保留需證實：是否所保留之工作所需要之工作資料 存在於該裝置中’如果該工作資料不存在，則採取預定之 措施* 根據本發明，因爲採取預定之措施，例如，製備所需 -----------^------1T------1 ' . . - (諳先閱讀背^之注意事碲再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4見格（2]0Χ2ί>7公釐）_5_ 4· 4· T 0 2 8 B7 經濟部中央標準局貝工消費合你社印1i 五、發明説明p ) 要之工作資料，同時該輸送構件輸送所需要之物料，所以 可以改良之半導體處理的工作效率。 圖式之簡述 圖1是示意圖顯示：根據本發明具體實施例1之半導 體處理系統； 圖2是流程圖顯示：當圖1中所示之系統中的主電腦 發出一個晶圓載體輸送指令時所執行之處理常式之流程； 圖3是流程圖顯示：當圖1中所示之系統中的步進器 自主電腦接收工作保留時所執行之處理常式之流程； 圖4是流程圖顯示：當圖1.中所示之系統中的工作伺 服器自步進器接收一工作資料轉移請求時所執行之處理常 式之流程： 圖5是示意圖顯示：根據本發明具體實施例2之系統 圖6是流程圖顯示：於製造可經由圖1中所示之系統 所製造之微裝置時之流動：及 圖7是流程圖顯示：圖6中晶圓處理的詳細流程。 主要元件對照 1 步進器 2 輸送遙控機械 3 主電腦 4 工作伺服器 ^^1 tn^ ^^^1 ^^^1 I m --aJ (讀先閲i*背面之注項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公釐）-6- 447028 蛵濟部中央標準局貝工消費合作社印It A7 _ B7五、發明説明& ) 5 控制器 較佳具體實施例之詳述 在本發明的較佳具體實施例中，半導體處理裝置可要 求工作資料轉移構件（其可轉移各種工作所需要之工作資 料至半導體處理裝置）轉移所儲備之工作所需要之工作資 料作爲預定措施。 該半導體處理裝置可輸出一預定之簪告作爲預定之措 施。 又，當半導體處理裝置具有控制器用以控制該裝置本 身時，該控制器接收工作保留，證實工作資料的存在/不 存在，並採取預定之措施。 根據此等特徵，由於裝置中之工作所需要之工作資料 的不存在，可以防止工作被取消或停止，且可避免半導體 處理的任何工作效率下降。 本發明將經由其具體實施例予以更詳述如下。 (具體實施例1〕 圖1是示意圖顯示：根據本發明之半導體處理系統設 備之實例。此系統具有一步進器1用以實施暴露半導體* 一個輸送遙控機械2用以輸送晶圓載體至步進器1，一具 主電腦3用以監控步進器1之操作狀態|指導输送遙控機 械2輸送晶圓載體及供應工作指令至步進器1及一具工作 伺服器4用以轉移步進器1所需要之工作資料而暴露至步進 I---------^------π------ 、 · Γ請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） '023 4 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 _B7_ 五、發明説明Ρ ) 器1。此等裝置所經由網路，無線電通信等而相互溝通。 圖2顯示：當主電腦3發出晶圓載體輸送指令時所執 行之之處理常式的流程。當開始此声理常式時，主電腦3 ，基於步驟S 1中，步進器1等的操作狀態，核對：是否 晶圓載體被輸送至步進器1。如果主電腦3測定：晶圓載 體被輸送至步進器1 (步驟1中之是），則它作成工作保 留在步進器1上（步驟S2)。於作成工作保留時，主電 腦3傳輸該保留同時附加資訊指示：晶圓載體的型式，欲 使用晶圓載體在其中之工作的型式等至保留。在步驟S 3 中，主電腦3指令输送遙控機械2輸送晶圓載體至步進器 1，因此，結束該常式。如果電腦3測定在步騍S 1 ): 無晶圓載體被輸送至步進器1(步驟S1中之NO)，則 它結束該處理常式。 圖3顯示：當步進器彳接收自主電腦3所傳輸之工作 保留時所執行之處理常式。在此處理常式中，在步驟4中 ，它核對：是否已自主電腦3接收工作保留。如果尙未接 收工作保留（步驟S4中之NO)，則該處理常式結束。 在另一方面，如果已接收工作保留（步驟S 4中之1是# )*則在步驟S5中，予以證實：是否將經包括在工作保 留中之工作資料保持在步進器1中，而流程進展至步驟 S6。在步驟S6中，經核對：是否證實：工作資料存在 於步進器1中。如果證實工作資料的存在（步驟S 6中之 *是"），則該處理常式結束：否則（步驟S6中之NO )，在步驟S7中，將工作資料轉移請求傳輸至工作伺服 本紙張尺度逋用中國囯家標準（CNS)A4規格（210X297公釐）_8_ I.---------嗛------1T------Λ {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4470 2 8 Α7 Β7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 五、發明説明鈐) 器4，因此結束處理常式。 圖4顯示：當工作伺服器4自步進器1接收工作資料 轉移請求時所執行之處理常式的流程。在步驟S 8中，經 核對：是否已自步進器1接收工作資料轉移請求。如果已 接收該請求（步驟S 8中之|是#)，則流程進展至步騾 S9:否則（步驟S8中之NO)，結束該處理常式。在 步驟S 9中•證實：是否將相當於轉移請求之工作資料保 持在工作伺服器4的儲存構件中，而流程進展至步驟S 1 0。在步驟S 1 0中，核對：是否經證實：保持該工作 資料。如果可能證實：保持該工作資料（步驟S 1 0中之 *是# )，則在步驟S 1 1中，.將工作資料轉移至步進器 1，因此結束處理常式。在另一方面，如果尙未經證實： 保持該工作資料（步驟S10之NO)，則在步驟S12 ，將一個工作資料轉移否定訊息發送至步進器1，因此結 束該處理常式。 於自工作伺服器4接收工作資料轉移否定訊息時，步 進器1產生一個警告：提醒操作員安裝工作資料。 可使用此系統之製造該裝置方法的一個實例予以解釋 如下：圖6顯示製造一程微裝置（半導體晶片例如： ICs，LSI s等，液晶面板，CCDs，薄膜磁頭， 微機器等）時之流程。在步驟S 1 (電路設計）中，作成 半導體裝置的電路設計。在步驟3 2 (製造掩模）中，製 造以所設計之電路圖型所形成之掩模）》在步驟33(製 造晶圓）中，晶圓使用各種材料例如矽等而製造）。步驟 (诗先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度通用中國國家摞準（CNS ) Α4規格（210Χ：297公釐）.9 . »4702 8 A7 B7 經濟部中央梂準局男工消費合作社印装 五、發明説明（7 ) 3 4 (晶圓處理）稱爲預處理’而實際電路係使用所製備 之掩模和晶圓經由石版印刷術予以形成。下一步驟35( 組合）稱爲後處理，其中’將半導體晶片使用步驟3 4中 所獲得之晶圓予以組合，並包括組合步驟（切粒’黏合） ，包裝步驟（包膠晶片）等。在步驟36 (檢驗）中’進 行各種檢驗例如，步騍3 5中所組合之半導體裝置的操作 證實試驗，持久性試驗等。半導體裝置經由此等處理而告 完成並交付（步驟3 7) » 圖7顯示：晶圓處理的詳細流程。在步驟4 1 (氧化 )中，將晶圓的表面氧化。在步騍42 (CVD)中，將 一片絕緣膜形成在晶圓表面上。步驟43(電極形成中） ，電極經由澱積在晶圓上予以形成。在步驟4 4 (離子植 入）中，將離子植入晶圓中。在步驟45 (抗蝕處理）中 ，將一種感光劑施加至晶圓上。在步驟4 6 (曝光）中， 將掩模上之電路圖型經由使用上述曝光裝置曝光而印刷在 晶圓上《在步驟47(顯像中，將經曝光之晶圓顯影。在 步驟4 8 (蝕刻）中|將除去所顯像之抗蝕像以外之一個 部份經由蝕刻而移除。在步驟4 9 (移除抗蝕）中•將在 蝕刻後已變成不須要之抗蝕膜移除》經由重複此等步驟， 將許多電路圖型形成在晶圓上。 使用此具體實施例之製造方法，可以低成本製造經由 習用之方法難以製造之高積體半導體裝置β 〔具體實施例2〕 本紙张尺度適用中7國國家標準（CNS > Α4坑格（210Χ297公t ) . 10. (讀先Μ讀背面之注f項再填弈本頁) 44702 8 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 A7 _B7_五、發明説明魯) 圖5顯示：具有自動控制步進器1之控制器5之系統 的設備。在此系統中，主電腦3作成工作保留在每一控制 器5上。於自主電腦3接收工作保留時，控制器5發送證 實相當之工作資料的存在/不存在之請求至步進器1。於 接收來自控制器5之請求時，步進器1證實：是否該工作資料 存在於步進器中，並發送證實結果至控制器5。當控制器 5接收該證實結果：指示來自步進器1之工作資料不存在 •則它傳輸一個工作資料轉移請求至工作伺服器4 «於接 收來自控制器5之工作資料轉移請求時，工作伺服器4證 實：是否相當之工作資料存在於該工作伺服器4中，如果 它存在，則轉移該工作資料至步進器1。在另一方面•如 果該工作資料不存在於工作伺服器4中，則該工作伺服器 4發送一個工作資料轉移否定訊息至控制器5。於接收來 自工作伺服器4之工作資料轉移否定訊息時，控制器5產 生一個警告，其提醒操作員安裝工作資料。 在此具體實施例中，每一控制器自動控制一個步進器 1 »另種方式，其至當單一控制器5自動控制許多的步進 器1時，可進行相同處理。 〔其他具體實施例〕 在具體實施例1與2中，將步進器例示爲半導體處理 裝置《然而，本發明並非受限爲此等特定裝置，而可施加 至能處理晶圓之任何其他半導體處理裝置。 此外，將晶圓載體例示爲欲被輸送之物料β然而於處 I----------裝------訂------^ · \ (請先閉讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家糅準（CNS>A4規格（210Χ297公釐）_11 _ 44702 8 at B7 經濟部中央橾準局負工消费合作社印掣 五、發明説明昝) 理晶圓（例如標線片，感光劑等）時，所需要之任何可將 本發明施加至其他材料。 槪括，根據本發明，是否所保留之工作所需要之工作 資料存在於裝置中，係回應於工作保留予以證實，且如果 相當之工作資料不存在，則採取預定之措施，即：發出一 個工作資料轉移請求或輸出一個預定之警告·因此，可防 止該工作，由於裝置中之工作所需要之工作資料不存在而 被取消或中止，且可避免半導體處理的任何工作效率下降 〇 備註：本發明的目的亦經由供應一儲存介體予以實現 ，此儲存介體記錄軟體程式的程式碼，其可實行上述各具 體實施例的功能至該系統或裝置•並經由該系統或裝置的 電腦（或C P U或MP U )讀出和執行經儲存在儲存介體 中之程式碼。 在此情況下，自儲存介體所讀出之程式碼本身實行上 述具體實施例的功能，而該儲存介體（其儲存程式碼）構 成本發明。 作爲供應程式碼之儲存介體，舉例而言|可使用軟性 磁碟，硬磁碟，光碟•磁一光碟，CD — ROM，CD_ R，磁帶，不變性記憶卡，ROM等。 上述具體實施例的功能可能不僅經由移用電腦執行所 讀出之程式碼予以實現，而且經由利用以程式碼的指令爲 基礎，在電腦上所進行之US (操作系統）所執行之某些 或所有的實際處理操作予以實現。 I--------^------^------Λ - 、 {婧先《讀背奋之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準< CNS ) Α4規格（210Χ297公釐）-12 - 02 8 A7 B7 五、發明説明（1〇 ) 此外，在將自儲存介體所讀出之程式碼記錄在延伸板 或單元的記億器中後，上述具體實施例的功能可經由利用 經嵌入或連接至電腦上之功能延伸板或功能延伸單元中所 列之C P U或類似者所執行之某些或全部實際處理操作予 以實現。 I.---------- ^------II------A (請先《讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消费合作杜印製 本紙張尺度遑用中國國家梯準< CNS ) Α4规格（210X297公釐）.13-

Claims (1)

  1. 4470 2 8 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標率局負工消費合作社印*. 六、申請專利範圍 1 種半導體處理系統，此系統包括一種半導體處 理設備用以實施各種工作而製造半導體裝置；物料輸送構 件用以輸送工作中所使用之物料至半導體處理設備及一具 主電腦用以監控該半導體處理設備的操作狀態，指令該物 料輸送構件輸送所需要之工作中所使用之物料，並指令半 導體處理設備執行該工作，其中該主電腦作成工作保留， 它通知半導體處理設備，與所需要之工作中所使用之物料 的輸送指令同時所執行之工作，又該半導體處理設備，依 照該工作保留'而證實：是否所保留之工作所需要之工作資 料存在於該設備中，如果該工作資料不存在，則採取預定 措施。 ..〜 2 .如申請專利範圔第1項之系統，另外包括工作資 料轉移構件，其可轉移用以實施各種工作所需要之工作資 料至半導體處理設備，及其中該半導體處理設備要求工作 資料轉移構件轉移所保留之工作所需要之工作資料作爲預 定之措施。 3，如申請專利範圍第1項之系統，其中，半導體 處理設備输出一預定警告作爲預定之措施》 4 .如申請專利範圔第1項之系統，其中該半導體處 理設備具有控制器用以控制該設備本身，而控制器接收工 作保留，證實工作資料之存在/不存在並採取預定之措施 〇 5 .—種半導體處理系統之控制方法，此方法包括半 導體處理設備用以實施各種工作而製造半導體裝置，物料 本紙張足度逋用中國國家揉率（CNS ) A4洗格（2丨0><297公釐） -14- ϋ _ - - - - - - I -i- ί n ^^1 —ϋ ^^1 <請背面之注意事項再填寫本真) 447028 AB BS C8 D8 經濟部中央標窣局ec工消费合作社印製 六、申請專利範圍 輸送構件用以輸送工作中所使用之物料至半導體處理設備 及一具主電腦用以監控該半導體處理設備的操作狀態，指 令該物料輸送構件輸送所需要之工作中所使用之物料，並 指令半導體處理設備執行該工作，包括： 控制主電腦的第一控制步驟而作成工作保留，它通知 半導體處理設備，與所需要之工作中所使用之物料的輸送 指令同時所執行之工作；及 依照工作保留，控制半導體處理設備的第二控制步驟 來證實：是否所保留之工作所需要之工作資料存在於該設 備中，如果該工作資料不存在，則採取預定措施。 6 ·如申請專利範圍第5項之方法，另外包括轉移用 以實施各種工作所需要之工作資料至半導體處理設備的工 作資料轉移步驟，及其中，經由轉移所保留之工作中所需 要之工作資料在工作資料轉移步驟中而採取預定措施。 7 ·如申請專利範圍第5項之方法，其中經由輸出一 預定之警告而採取預定之措施· 8 .如申請專利範圍第5項之方法，另外包括控制半 導體處理設備的第三控制步驟，及其中該第三控制步驟包 括接收工作保留的步驟，證實工作資料的存在/不存在， 並採取預定措施。 9 . 一種電腦可讀記憶體，它儲存一程式碼用以控制 半導體處理系統，此記憶體包括半導體處理設備用以實施 各種工作而製造半導體裝置，物料輸送構件用以輸送工作 中所使用之物料至半導體處理設備及一具主電腦用以監控 本紙張尺度速用中國困家梂準（CNS ) A4規格（210 X 2打公釐）-15· 1 (請先H讀背面之注意事項再填窝本頁) ^47028 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 該半導體處理設備之操作狀態，指令該物料輸送構件輸送 所需要之工作中所使用之物料，並指令半導體處理設備執 行該工作，包括： 控制主電腦而作成工作保留的第一控制步驟之程式碼 ’它通知半導體處理設備，與所需要之工作中所使用之物 料的輸送指令同時所執行之工作；及 控制半導體處理設備的第二控制步驟之程式碼，依照 工作保留來證實：是否所保留之工作所需要之工作資料存 在於該設備中，如果該工作資料不存在，則採取預定措施 10種用以製造半導體裝置之裝置製造方法•經 由使用一具主電腦，監控半導體處理設備的操作狀態以便 實施各種工作而製造該半導體裝置，指令該物料輸送構件 輸送所需要之工作中所使用之物料，並指令半導體處理設 備執行該工作，其中 該主電腦作成工作保留，它通知半導體處理設備，與 所需要之工作中所使用之物料的輸送指令同時所執行之工 作，及該半導體處理設備，依照工作保留而證實：是否所 保留之工作所需要之工作資料存在於該設備中，如果該工 作資料不存在，則採取預定之措施》 ----;------^------^------ (請先Mtt背面之注意事項再壤寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印装 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) ( 210X297公釐）-16-
TW087108737A 1997-06-13 1998-06-03 Semiconductor process system, its control method, computer readable memory, and device manufacturing method TW447028B (en)

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