TW202504744A - 供給夾具及樹脂成形品的製造方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種能夠效率良好地供給脫模膜及樹脂材料的供給夾具。所述供給夾具包括：膜保持件，能夠對脫模膜進行保持；以及樹脂材料保持件，包括能夠對樹脂材料進行保持的樹脂保持部，且相對於所述膜保持件能夠裝卸。

Description

供給夾具及樹脂成形品的製造方法

本發明是有關於一種供給夾具及樹脂成形品的製造方法的技術。

在壓縮成形裝置中，具有如下裝置：利用上模對固定有電子元件的基板進行保持，並向形成於下模的腔室供給脫模膜，在脫模膜上供給樹脂材料來進行樹脂密封。於藉由手動操作將脫模膜及樹脂材料供給至下模的情況下，有時會分別使用夾具。

例如，在專利文獻1中記載了一種對脫模膜進行保持而能夠供給至下模的夾具。另外，在專利文獻2中記載了一種對樹脂材料進行保持而能夠供給至下模的夾具。於藉由手動操作將脫模膜及樹脂材料供給至下模的情況下，可首先使用如專利文獻1中所記載般的夾具將脫模膜供給至下模，然後使用如專利文獻2中所記載般的夾具將樹脂材料供給至下模。 [現有技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2016-112721號公報 [專利文獻2]日本專利特開2014-000747號公報

[發明所欲解決之課題] 然而，在如上所述般的手動操作中，需要分別使用單獨的夾具階段性地進行脫模膜與樹脂材料的供給，因此要求提高作業效率。

本發明是鑒於如以上般的情況而成者，其所欲解決之課題在於提供一種能夠效率良好地供給脫模膜及樹脂材料的供給夾具及樹脂成形品的製造方法。 [解決課題之手段]

本發明所欲解決之課題如以上所述般，接下來為了解決所述課題，本發明的供給夾具包括：膜保持件，能夠對脫模膜進行保持；以及樹脂材料保持件，包括能夠對樹脂材料進行保持的樹脂保持部，且相對於所述膜保持件能夠裝卸。

另外，本發明的樹脂成形品的製造方法包括：供給步驟；使用所述供給夾具將所述脫模膜及所述樹脂材料供給至成形模；以及樹脂成形步驟，使用所述脫模膜及所述樹脂材料來進行樹脂成形。 [發明的效果]

根據本發明，可效率良好地供給脫模膜及樹脂材料。

在以下的說明中，將圖中所示的箭頭U、箭頭D、箭頭L、箭頭R、箭頭F及箭頭B所示的方向分別定義為上方向、下方向、左方向、右方向、前方向及後方向來進行說明。

＜供給夾具10＞ 以下，對本發明的一實施方式的供給夾具10的結構進行說明。

圖1所示的供給夾具10用於向樹脂成形裝置50（參照圖10的（a）～（f））一併供給脫模膜F及樹脂材料R。特別是本實施方式的供給夾具10可藉由作業者的手動操作將脫模膜F及樹脂材料R供給至樹脂成形裝置50。供給夾具10主要包括膜保持件100及樹脂材料保持件200。膜保持件100與樹脂材料保持件200構成為能夠相互裝卸。以下，對膜保持件100及樹脂材料保持件200的結構進行說明。

＜膜保持件100＞ 圖2所示的膜保持件100能夠對脫模膜F進行保持。膜保持件100主要包括：本體部110、第一按壓部120、壓縮彈簧130、安裝銷140、第二按壓部150及螺栓160。

本體部110是形成膜保持件100的主結構體的部分。本體部110形成為具有在左右方向上延伸的長邊及在前後方向上延伸的短邊的俯視矩形形狀。本體部110主要包括：開口部111、定位凹部112、固定凹部113、第一凹部114及第二凹部115。

開口部111是形成於本體部110的中央部、且在上下方向上開口的部分。開口部111形成為俯視矩形形狀。藉由形成開口部111，本體部110在俯視時形成為環狀（框狀）。開口部111形成為與後述的樹脂成形裝置50的下模52（參照圖10的（a）～（f））的上部的外形相對應的形狀。藉此，可使膜保持件100嵌合於下模52的上部。

定位凹部112用於進行膜保持件100與後述的樹脂材料保持件200的相對定位。定位凹部112以使本體部110的後側面朝向前方凹陷的方式形成。定位凹部112在本體部110的後側面的左部及右部各形成有一個。再者，形成有定位凹部112的位置或個數並無特別限定。

圖2及圖3所示的固定凹部113在將樹脂材料保持件200固定於膜保持件100時使用。固定凹部113以使本體部110的左右側面的下部朝向左右內側凹陷的方式形成。固定凹部113在本體部110的左右側面的前部及後部各形成有一個。再者，省略了形成於本體部110的左側面的固定凹部113的圖示。另外，形成有固定凹部113的位置或個數並無特別限定。

圖2至圖4的（a）、（b）所示的第一凹部114用於收容第一按壓部120。第一凹部114分別形成於本體部110的左右兩端部附近。第一凹部114形成為自本體部110的前端延伸至後端的長條狀。第一凹部114以使本體部110的上表面朝向下方凹陷的方式形成。

再者，膜保持件100形成為大致前後及左右對稱。因此，以下，如圖3及圖4的（a）、（b）所示，著眼於膜保持件100的右後部進行說明，對於其他部位，適宜省略圖示及說明。

圖3及圖4的（a）、（b）所示的第二凹部115用於收容壓縮彈簧130。第二凹部115分別形成於第一凹部114的前後兩端部附近。第二凹部115以使第一凹部114的底面進一步朝向下方凹陷的方式形成。第二凹部115形成為俯視圓形形狀。第二凹部115的直徑形成得較第一凹部114的左右方向上的寬度小。

圖2至圖4的（a）、（b）所示的第一按壓部120用於自下方對脫模膜F進行按壓。第一按壓部120形成為板狀。第一按壓部120形成為使長邊方向朝向前後方向的俯視矩形形狀。第一按壓部120的左右方向上的寬度形成得較第一凹部114的左右方向上的寬度稍小。第一按壓部120的上下方向上的寬度（厚度）形成得較第一凹部114的深度（上下方向上的寬度）小。第一按壓部120配置於第一凹部114的內側。

圖4的（a）、（b）所示的壓縮彈簧130用於朝向上方對第一按壓部120賦予力（以下，亦稱為「施力」）。再者，壓縮彈簧130是本發明的第二賦予部的一個實施方式。壓縮彈簧130以使伸縮方向朝向上下方向且收縮了一定程度的狀態配置於第二凹部115的內側。壓縮彈簧130的上端部自下方與第一按壓部120接觸。藉此，壓縮彈簧130可朝向上方對第一按壓部120賦予力。

圖2及圖4的（a）、（b）所示的安裝銷140用於將第一按壓部120安裝於本體部110。安裝銷140形成為使軸線朝向上下方向的大致圓柱狀。安裝銷140的上端部形成為直徑較下部大。安裝銷140配置成貫通第一按壓部120的前後兩端部附近。安裝銷140的下端部固定於第二凹部115的底部。藉由如此對安裝銷140進行固定，第一按壓部120被支撐為在第一凹部114的內側能夠沿著安裝銷140的長邊方向（上下方向）移動。另外，第一按壓部120向上方（第一凹部114的外側）的移動被安裝銷140的上端部限制。

圖2至圖4的（a）、（b）所示的第二按壓部150用於自上方對脫模膜F進行按壓。第二按壓部150形成為板狀。第二按壓部150形成為使長邊方向朝向前後方向的俯視大致矩形形狀。第二按壓部150的前後兩端部形成為向左右擴展，且設置有螺栓160。第二按壓部150在俯視時形成為與第一按壓部120重疊。第二按壓部150主要包括：突出部151、開口部152及錐面153。

突出部151是以自第二按壓部150的底面向下方突出的方式形成的部分。突出部151形成為與第一按壓部120在上下方向上相向的部分。換言之，突出部151與第一按壓部120同樣地，形成為使長邊方向朝向前後方向的仰視矩形形狀。

開口部152是以上下貫通第二按壓部150的方式形成的貫通孔。開口部152形成於與安裝銷140在上下方向上相向的位置。藉此，可避免第二按壓部150與安裝銷140的上端部的干涉。

圖2及圖3所示的錐面153用於對後述的樹脂材料保持件200的爪部250進行引導。再者，錐面153是本發明的第二引導面的一個實施方式。錐面153形成為將第二按壓部150的上表面的左右外側的端部傾斜地切口。藉此，錐面153形成為朝向第二按壓部150的左右外側而向下方傾斜的傾斜面狀。錐面153在第二按壓部150的前部及後部各形成一個。

圖2至圖4的（a）、（b）所示的螺栓160用於將第二按壓部150固定於本體部110。藉由將螺栓160自上方插入至第二按壓部150，並且將下端部緊固於本體部110，可將第二按壓部150固定於本體部110。

在藉由如此構成的膜保持件100來對脫模膜F進行保持的情況下，在自本體部110拆卸第二按壓部150的狀態下，以自上方覆蓋本體部110的開口部111的方式遍及本體部110的整個區域配置脫模膜F。此時，如圖4的（a）所示，在本體部110及第一按壓部120上配置脫模膜F。在此狀態下，在脫模膜F上配置第二按壓部150，並利用螺栓160將第二按壓部150固定於本體部110。

當螺栓160緊固於本體部110時，如圖4的（b）所示，第一按壓部120被第二按壓部150的突出部151向下方按入。藉此，脫模膜F以進入第一凹部114的內側的方式被拉伸，因此可對脫模膜F施加張力以使褶皺伸展。另外，可在藉由螺栓160緊固的第二按壓部150與藉由壓縮彈簧130向上方賦予力的第一按壓部120之間牢固地對脫模膜F進行保持。特別是在本實施方式中，由於脫模膜F以進入第一凹部114的內側的方式彎曲，因此可更牢固地對脫模膜F進行保持。

在本實施方式中，在本體部110的長邊方向（左右方向）的兩端部設置有第一按壓部120及第二按壓部150。藉此，可沿著配置於本體部110上的左右長的脫模膜F的長邊方向施加張力，可有效率地將褶皺伸展。

＜樹脂材料保持件200＞ 圖5所示的樹脂材料保持件200能夠在安裝於膜保持件100的狀態下對樹脂材料R進行保持。樹脂材料保持件200主要包括：本體部210、規定部220、第一把手230、第二把手240、爪部250及扭簧260。

圖5及圖6所示的本體部210是形成樹脂材料保持件200的主結構體的部分。本體部210形成為具有在左右方向上延伸的長邊與在前後方向上延伸的短邊的俯視矩形形狀。在本體部210的中央形成有能夠配置後述的規定部220的開口。本體部210主要包括：軸承部211、第二限制部212、第一定位部213及第二定位部214。

再者，本體部210形成為大致前後及左右對稱。因此，以下，如圖6所示，著眼於本體部210的右後部進行說明，對於其他部位，適宜省略圖示及說明。

軸承部211將第二把手240支撐為能夠旋轉。軸承部211分別設置於本體部210的上表面的四角。軸承部211配置成自本體部210向上方突出。在軸承部211中設置有第一限制部211a。

圖6所示的第一限制部211a用於將第二把手240的旋轉限制在既定的位置。第一限制部211a形成為使軸線朝向前後方向的圓柱狀。第一限制部211a配置成自軸承部211的後側面朝向後方突出。

第二限制部212用於將爪部250的旋轉限制在既定的位置。第二限制部212分別設置於本體部210的左右側面。第二限制部212配置成自本體部210的左右側面向左右外側突出。第二限制部212配置成在爪部250的左右方向的內側，與爪部250相向。

圖5所示的第一定位部213用於進行樹脂材料保持件200與後述的樹脂成形裝置50的下模52的相對定位。第一定位部213形成於本體部210的前後左右的各側面上。第一定位部213以使本體部210的下表面朝向上方凹陷的方式形成為凹狀。藉由將樹脂成形裝置50的下模52上所形成的定位用的突起部（未圖示）插入至第一定位部213，可進行樹脂成形裝置50的下模52與樹脂材料保持件200的定位。再者，形成第一定位部213的位置或個數並無特別限定。

第二定位部214用於進行樹脂材料保持件200與膜保持件100的相對定位。第二定位部214形成於與膜保持件100的定位凹部112相對應的位置。具體而言，第二定位部214形成於本體部210的後側面。第二定位部214分別形成於本體部210的後側面的左部及右部。第二定位部214形成為自本體部210朝向下方突出。藉由將第二定位部214插入至膜保持件100上所形成的定位凹部112（參照圖2），可進行樹脂材料保持件200與膜保持件100的相對定位。

規定部220用於規定收容樹脂材料R的範圍。規定部220形成為與本體部210的開口部相對應的俯視矩形框狀。規定部220在嵌合於本體部210的開口的狀態下安裝於本體部210。在規定部220上形成有開口部221。

開口部221是形成於規定部220的中央部，且在上下方向上開口的部分。開口部221形成為與樹脂成形裝置50的腔室相對應的形狀。在本實施方式中，開口部221形成為俯視矩形形狀，但開口部221的形狀能夠根據腔室或成形對象物的形狀等任意變更。在本實施方式中，由本體部210及規定部220形成俯視矩形形狀的框體，可在其內側對樹脂材料R進行保持。再者，本體部210及規定部220是本發明的樹脂保持部的一個實施方式。

第一把手230能夠由作業者握持。再者，第一把手230是本發明的第一握持部的一個實施方式。第一把手230分別設置於本體部210的左部及右部。第一把手230在側視下形成為上下倒置的U字狀。第一把手230的兩端部分別固定於本體部210的上表面的前部及後部。藉此，第一把手230設置成自本體部210的上表面向上方突出。

圖5及圖6所示的第二把手240能夠由作業者握持，且能夠操作後述的爪部250。再者，第二把手240是本發明的操作部及第二握持部的一個實施方式。第二把手240分別設置於本體部210的左部及右部。第二把手240主要包括軸部241及手柄242。

軸部241是使軸線朝向前後方向的大致圓柱狀的部分。軸部241能夠旋轉地支撐於設置於本體部210的前部及後部的軸承部211。軸部241配置成自後側的軸承部211進一步向後方延伸。如此，軸部241被設置成自本體部210向側方（後方）突出。在軸部241的後端部設置有由作業者容易握持的原材料（例如，橡膠等）形成的手柄242。在軸部241上設置有安裝部241a及限制銷241b。

圖6所示的安裝部241a用於在軸部241上安裝限制銷241b。安裝部241a形成為圓環狀，並在軸承部211的正後方固定於軸部241。藉此，安裝部241a可與第二把手240一體地旋轉。

限制銷241b用於將第二把手240的旋轉限制在既定的位置。限制銷241b形成為大致圓柱狀。限制銷241b設置成自安裝部241a的外周面向第二把手240的徑向外側突出。當圖6所示的右側的第二把手240沿背面視逆時針方向旋轉一定程度時，限制銷241b與第一限制部211a接觸。藉此，第二把手240向背面視順時針方向的旋轉受到限制。

圖5及圖6所示的爪部250用於將樹脂材料保持件200固定於膜保持件100。再者，爪部250是本發明的固定部的一個實施方式。爪部250沿著第二把手240的長邊方向設置有兩個。爪部250固定於第二把手240，可與第二把手240一體地旋轉。爪部250形成為自第二把手240大致朝向下方延伸。爪部250的下部形成為向左右方向的內側突出。藉由將爪部250的下部（向內側突出的部分）卡掛於膜保持件100的固定凹部113，可將樹脂材料保持件200固定於膜保持件100（參照圖7）。

再者，以下，將爪部250的轉動位置中的、可將爪部250卡掛於膜保持件100的固定凹部113而固定於膜保持件100的位置稱為「固定位置」。另外，將爪部250的轉動位置中的、解除爪部250相對於膜保持件100的固定的位置稱為「固定解除位置」。

如圖6所示，在爪部250上形成錐面251。再者，錐面251是本發明的第一引導面的一個實施方式。錐面251形成為將爪部250的底面傾斜地切口。錐面251形成為朝向左右外側向下方傾斜的傾斜面狀。

在爪部250的左右內側配置有第二限制部212。當圖6所示的右側的第二把手240沿背面視順時針方向旋轉一定程度時，爪部250與第二限制部212接觸。藉此，第二把手240向背面視順時針方向的旋轉受到限制。

再者，爪部250的具體形狀並無特別限定，能夠形成為能夠固定膜保持件100與樹脂材料保持件200的任意的形狀。

扭簧260以在既定的方向上旋轉的方式對第二把手240賦予力。再者，扭簧260是本發明的第一賦予部的一個實施方式。扭簧260在前側的軸承部211的後方及後側的軸承部211的正前方設置於第二把手240。扭簧260始終對第二把手240施力，以使爪部250的下部朝向左右內側。在以圖6所示的第二把手240為例進行說明時，扭簧260始終對第二把手240沿背面視順時針方向施力。

＜基於供給夾具10的脫模膜F及樹脂材料R的保持方法的概要＞ 以下，使用圖8的（a）～（d）及圖9，對基於如上所述般構成的供給夾具10（膜保持件100及樹脂材料保持件200）的脫模膜F及樹脂材料R的保持方法進行說明。以下步驟是由作業者的手動操作來進行。再者，在圖8的（a）～（d）及圖9中，為了進行說明，使用了簡化地示出各部的結構的示意圖。

首先，如圖8的（a）所示，在膜保持件100與樹脂材料保持件200分離的狀態下，將脫模膜F保持於膜保持件100。此時，第二按壓部150未安裝於膜保持件100。

在將脫模膜F保持於膜保持件100時，可使用如圖9所示般的膜設置裝置30。膜設置裝置30具有在上表面包括與膜保持件100相對應的凹部31b的箱狀的本體31。在利用膜保持件100對脫模膜F進行保持的情況下，預先將膜保持件100收容於凹部31b中。

在本體31的內部收容有對捲繞成輥狀的脫模膜F進行保持的輥保持部32。捲繞於輥保持部32的脫模膜F由引導輥33引導，經由形成於本體31的上表面的狹縫31a而供給至本體31的上側。

被供給至本體31的上側的脫模膜F配置於膜保持件100的上方，並藉由第二按壓部150利用螺栓160固定於膜保持件100，而被保持於膜保持件100。再者，基於膜保持件100的脫模膜F的保持方法如上所述，因此省略說明。

其後，在適宜的位置切斷脫模膜F，將捲繞於輥保持部32的脫模膜F與保持於膜保持件100的脫模膜F分開。如此，可藉由膜保持件100對一次樹脂成形所需的脫模膜F進行保持。

再者，雖省略了詳細的說明，但亦能夠於膜設置裝置30設置對脫模膜F賦予張力的張力賦予機構、對脫模膜F進行保持的保持機構、切斷脫模膜F的切斷機構等適宜的機構。

接下來，如圖8的（b）所示，使樹脂材料保持件200自膜保持件100的上方向下方移動。再者，所述作業可在將膜保持件100保持於膜設置裝置30（本體31）的狀態下進行。

在使樹脂材料保持件200向下方移動時，作業者藉由握持第一把手230（參照圖5），可容易地進行樹脂材料保持件200相對於膜保持件100的對位。

當樹脂材料保持件200一定程度上接近膜保持件100時，朝向固定位置賦予力的爪部250的錐面251與膜保持件100（更詳細而言，為形成於第二按壓部150的錐面153（參照圖3））接觸。當在所述狀態下進一步使樹脂材料保持件200向下方移動時，爪部250被膜保持件100推開，而向固定解除位置旋轉。藉此，樹脂材料保持件200可進一步向下方移動。

如圖8的（c）所示，當樹脂材料保持件200的規定部220下降至自上方與保持於膜保持件100的脫模膜F接觸的程度時，藉由扭簧260所施加的力，爪部250再次朝向內側轉動至固定位置（更詳細而言，鉤掛於固定凹部113（參照圖7）的位置）。藉此，樹脂材料保持件200被固定於膜保持件100。在所述狀態下，規定部220的開口部221配置成自上方與保持於膜保持件100的脫模膜F相向。藉由配置於脫模膜F上的規定部220（開口部221），規定能夠收容樹脂材料R的空間。再者，此時，藉由樹脂材料保持件200的第二定位部214嵌合於膜保持件100的定位凹部112，可進行膜保持件100與樹脂材料保持件200的相對定位。

接下來，如圖8的（d）所示，樹脂材料R被收容於規定部220的內側。此時，作業者抓握第一把手230或第二把手240將樹脂材料保持件200前後左右擺動，藉此可使樹脂材料R均勻地分佈於規定部220的內側。另外，藉由使用適宜的夾具將樹脂材料R供給至樹脂材料保持件200，亦能夠達成樹脂材料R的均勻化。例如，在形成為網眼狀的板上載置樹脂材料R，使樹脂材料R自規定部220的上方以通過網眼的方式落下，藉此亦可使樹脂材料R分散，並使其均勻地分佈於規定部220的內側。再者，作為樹脂材料R，能夠使用顆粒狀或液狀等任意的樹脂材料R。

如此，可藉由彼此固定的膜保持件100及樹脂材料保持件200（供給夾具10）一併對脫模膜F及樹脂材料R進行保持。

＜樹脂成形方法＞ 以下，主要使用圖10的（a）～（f）對使用供給夾具10，將脫模膜F及樹脂材料R供給至樹脂成形裝置50，來進行樹脂成形的方法進行說明。使用了供給夾具10的脫模膜F及樹脂材料R的供給是藉由作業者的手動操作來進行。再者，在圖10的（a）～（f）中，為了進行說明，使用簡化地示出了各部的結構的示意圖。另外，在圖10的（a）～（f）中，示出了僅示出有各部的剖面的切斷部端視圖，但為了說明，除了樹脂材料R以外，省略了表示各部的剖面的陰影線的記載。

首先，在脫模膜/樹脂材料保持步驟中，如上所述般使用供給夾具10來保持脫模膜F及樹脂材料R（參照圖8的（a）～（d））。

接下來，在基板供給步驟中，向樹脂成形裝置50的上模51供給作為成形對象物的基板W（參照圖10的（a））。基板W在使作為樹脂密封的對象的半導體晶片等電子元件朝向下方的狀態下吸附並保持於上模51的下表面。

再者，作為基板W，可使用矽晶圓等半導體製基板、金屬製基板、玻璃製基板、陶瓷製基板或樹脂製基板等。另外，可對基板W實施配線，亦可不實施配線。另外，在本實施方式中，設為使用矩形形狀的基板W，但基板W的形狀並無特別限定，例如亦能夠使用圓形形狀的基板W。

接下來，在脫模膜/樹脂材料供給步驟中，向樹脂成形裝置50的下模52供給由供給夾具10保持的脫模膜F及樹脂材料R（參照圖10的（b））。此時，下模52（側面構件55）的上部嵌合於膜保持件100的開口部111。再者，藉由樹脂材料保持件200的第一定位部213（參照圖5）與形成於下模52的定位用的突起部（未圖示）嵌合，可進行供給夾具10與下模52的相對定位。

此時，作業者可抓握第二把手240並使供給夾具10移動至樹脂成形裝置50。藉此，即使在下模52被預先加熱的情況下，作業者亦能夠自遠離下模52的位置進行作業，因此可提高作業性。

在所述狀態下，膜保持件100的上表面與下模52的上表面的上下位置大致一致。另外，保持於膜保持件100的脫模膜F配置成與下模52的上表面相接。另外，保持於樹脂材料保持件200的樹脂材料R配置成位於下模52的腔室53的上方。再者，脫模膜/樹脂材料供給步驟是本發明的供給步驟的一個實施方式。

接下來，在吸附步驟中，脫模膜F被吸附於下模52（參照圖10的（c））。藉此，脫模膜F以沿著下模52的腔室53的方式被吸附。另外，伴隨於此，載置於脫模膜F上的樹脂材料R被收容於腔室53內。

接下來，在分離步驟中，自膜保持件10拆卸樹脂材料保持件200，自樹脂成形裝置50取出樹脂材料保持件200（參照圖10的（d））。此時，作業者藉由使第二把手240旋轉以使爪部250向外側（固定解除位置）打開，可解除樹脂材料保持件200相對於膜保持件100的固定。作業者可保持原樣地握住第二把手240來取出樹脂材料保持件200。如此，用於握住樹脂材料保持件200的第二把手240兼作用於操作爪部250的操作件，因此作業者可有效率地進行作業。

接下來，在合模步驟中，藉由驅動未圖示的合模機構，下模52的基底板54上升（參照圖10的（e））。當基底板54上升時，形成腔室53的側面的側面構件55與基板W的下表面接觸。當使基底板54進一步上升時，配置於基底板54與側面構件55之間的彈性構件56收縮。藉此，形成腔室53的底面的底面構件57相對於側面構件55而向上方相對移動。藉此，腔室53內的樹脂材料R被加壓。在底面構件57上升至一定程度的時刻，完成合模。

接下來，在樹脂成形步驟中，在對樹脂材料R進行了加壓的狀態下待機規定時間。藉此，熱硬化性的樹脂材料R的溫度進一步上升，樹脂材料R硬化。結果，可對基板W進行樹脂成形。

接下來，在開模步驟中，將上模51與下模52打開。具體而言，藉由未圖示的合模機構使下模52以遠離上模51的方式向下方移動。

接下來，在搬出步驟中，將經樹脂成形的基板W（樹脂成形品）自樹脂成形裝置50搬出。另外，膜保持件100自樹脂成形裝置50搬出。在搬出膜保持件100的情況下，可將樹脂材料保持件200再次固定於膜保持件100（參照圖10的（f）），使用第二把手240將膜保持件100自樹脂成形裝置50取出。

藉由如此使用供給夾具10，可將脫模膜F及樹脂材料R一併供給至樹脂成形裝置50，因此可達成作業效率的提高。

以上，對本發明的實施方式進行了說明，但本發明並不限定於所述實施方式，能夠在申請專利範圍所記載的發明的技術思想的範圍內進行適宜的變更。

例如，在所述實施方式中，示出了使用膜設置裝置30使脫模膜F及樹脂材料R保持於供給夾具10的例子，但本發明並不限於此，亦能夠使用其他各種裝置。

另外，在所述實施方式中，示出了使用爪部250對膜保持件100與樹脂材料保持件200進行固定的例子，但本發明不限於此，對膜保持件100與樹脂材料保持件200進行固定的方法能夠任意變更。例如，亦能夠使用螺栓或螺母等緊固件對兩者進行固定。

另外，所述實施方式中所例示的賦予部（壓縮彈簧130及扭簧260）是一例，能夠使用其他各種能夠賦予力的構件（板簧、拉伸彈簧、彈性構件等）。

另外，在所述實施方式中，示出了利用呈矩形形狀開口的開口部221（參照圖5）一併保持樹脂材料R的例子，但本發明不限於此。例如，亦能夠採用如下結構：設置將開口部221進一步劃分為多個區域的隔板，使各區域保持均等計量的樹脂材料R。藉此，可達成開口部221內的樹脂材料R的均等化，進而可達成樹脂成形品的品質提高。

另外，例如，亦能夠將圖5等所示的樹脂材料保持件200的規定部220構成為能夠相對於本體部210在既定的範圍內上下相對移動。藉此，如圖8（c）所示，在固定有膜保持件100與樹脂材料保持件200時，規定部220因自重而被按壓於保持於膜保持件100的脫模膜F上。如此，藉由將規定部220按壓於脫模膜F，可防止樹脂材料R侵入脫模膜F與規定部220之間或者溢出至外部。

＜附記＞ 本揭示的第一方面的供給夾具10包括： 膜保持件100，能夠對脫模膜F進行保持；以及 樹脂材料保持件200，包括能夠對樹脂材料R進行保持的樹脂保持部（本體部210及規定部220），且相對於所述膜保持件100能夠裝卸。 根據本揭示的第一方面的供給夾具10，可效率良好地供給脫模膜F及樹脂材料R。即，可在將膜保持件100與樹脂材料保持件200一體化的狀態下將脫模膜F及樹脂材料R一起供給至樹脂成形裝置50。藉此，可效率良好地進行脫模膜F及樹脂材料R的供給作業。另外，與使用將脫模膜F及樹脂材料R自動地一併供給至樹脂成形裝置50的樹脂成形裝置（自動機）的情況同樣地，由於可一併供給脫模膜F及樹脂材料R，因此即便藉由手動操作亦可再現基於自動機的成形條件。

在根據第一方面的第二方面的供給夾具10中， 所述樹脂材料保持件200包括在上下方向上開口的開口部221，且能夠在使所述開口部221自上方與保持於所述膜保持件100的所述脫模膜F相向的狀態下固定於所述膜保持件100。 根據本揭示的第二方面的供給夾具10，可在保持於膜保持件100的脫模膜F上規定配置樹脂材料R的區域（藉由開口部221）。

在根據第一方面或第二方面的第三方面的供給夾具10中， 所述樹脂材料保持件200包括固定部（爪部250），所述固定部（爪部250）能夠在相對於所述膜保持件100固定的固定位置與解除相對於所述膜保持件100的固定的固定解除位置之間移動。 根據本揭示的第三方面的供給夾具10，藉由使固定部移動，可容易地進行樹脂材料保持件200相對於膜保持件100的裝卸。

在根據第三方面的第四方面的供給夾具10中， 所述樹脂材料保持件200包括： 第一賦予部（扭簧260），朝向所述固定位置對所述固定部賦予力；以及 操作部（第二把手240），能夠使所述固定部自所述固定位置朝向所述固定解除位置移動。 根據本揭示的第四方面的供給夾具10，可容易地進行樹脂材料保持件200相對於膜保持件100的裝卸。即，朝向固定位置對固定部賦予力，因此不需要進行使固定部移動至固定位置的操作，可將樹脂材料保持件200容易地固定於膜保持件100。

在根據第三方面或第四方面的第五方面的供給夾具10中， 所述固定部包括第一引導面（錐面251），隨著所述樹脂材料保持件200接近所述膜保持件100，所述第一引導面（錐面251）能夠與所述膜保持件100接觸而使所述固定部自所述固定位置朝向所述固定解除位置移動。 根據本揭示的第五方面的供給夾具10，可容易地進行樹脂材料保持件200相對於膜保持件100的裝卸。即，由於可藉由第一引導面使固定部移動至固定解除位置，因此不需要進行使固定部移動至固定解除位置的操作，可將樹脂材料保持件200容易地固定於膜保持件100。

在根據第三方面至第五方面的任一個的第六方面的供給夾具10中， 所述膜保持件100包括第二引導面（錐面153），隨著所述樹脂材料保持件200接近所述膜保持件100，所述第二引導面（錐面153）能夠與所述固定部接觸而使所述固定部自所述固定位置朝向所述固定解除位置移動。 根據本揭示的第六方面的供給夾具10，可容易地進行樹脂材料保持件200相對於膜保持件100的裝卸。即，由於可藉由第二引導面使固定部移動至固定解除位置，因此不需要進行使固定部移動至固定解除位置的操作，可將樹脂材料保持件200容易地固定於膜保持件100。

在根據第一方面至第六方面的任一個的第七方面的供給夾具10中， 所述樹脂材料保持件200包括第一握持部（第一把手230），所述第一握持部（第一把手230）設置成自所述樹脂保持部向上方突出，且能夠供作業者握持。 根據本揭示的第七方面的供給夾具10，可提高供給脫模膜F及樹脂材料R時的作業性。例如，作業者可抓握第一握持部來握住樹脂材料保持件200，可容易地進行相對於膜保持件100的對位或固定。

在根據第一方面至第七方面的任一個的第八方面的供給夾具10中， 所述樹脂材料保持件200包括第二握持部（第二把手240），所述第二握持部（第二把手240）設置成自所述樹脂保持部向側方突出，且能夠供作業者握持。 根據本揭示的第八方面的供給夾具10，可提高供給脫模膜F及樹脂材料R時的作業性。例如，作業者可抓握第二握持部來握住樹脂材料保持件200，可自樹脂成形裝置50的外側向下模52供給脫模膜F及樹脂材料R。

在根據第一方面至第八方面的任一個的第九方面的供給夾具10中， 所述膜保持件100包括： 第一按壓部120，與所述脫模膜F的其中一個面接觸； 第二按壓部150，與所述脫模膜F的另一個面接觸；以及 第二賦予部（壓縮彈簧130），朝向所述脫模膜F對所述第一按壓部120賦予力。 根據本揭示的第九方面的供給夾具10，可藉由由第二賦予部賦予的力牢固地對脫模膜F進行保持。

本揭示的第十方面的樹脂成形品的製造方法包括： 供給步驟（脫模膜/樹脂材料供給步驟），使用如第一方面至第九方面的任一個的供給夾具10，將所述脫模膜F及所述樹脂材料R供給至成形模（下模52）；以及 樹脂成形步驟，使用所述脫模膜F及所述樹脂材料R來進行樹脂成形。 根據本揭示的第十方面的樹脂成形品的製造方法，可效率良好地供給脫模膜F及樹脂材料R。藉此，可效率良好地製造樹脂成形品。

10:供給夾具 30:膜設置裝置 31:本體 31a:狹縫 31b:凹部 32:輥保持部 33:引導輥 50:樹脂成形裝置 51:上模 52:下模 53:腔室 54:基底板 55:側面構件 56:彈性構件 57:底面構件 100:膜保持件 110:本體部 111:開口部 112:定位凹部 113:固定凹部 114:第一凹部 115:第二凹部 120:第一按壓部 130:壓縮彈簧 140:安裝銷 150:第二按壓部 151:突出部 152:開口部 153:錐面 160:螺栓 200:樹脂材料保持件 210:本體部 211:軸承部 211a:第一限制部 212:第二限制部 213:第一定位部 214:第二定位部 220:規定部 221:開口部 230:第一把手 240:第二把手 241:軸部 241a:安裝部 241b:限制銷 242:手柄 250:爪部 251:錐面 260:扭簧 F:脫模膜 R:樹脂材料 B、D、L、F、U、R:箭頭 W:基板

圖1是表示本發明的一實施方式的供給夾具的整體結構的立體圖。 圖2是表示膜保持件的立體圖。 圖3是將膜保持件的一部分放大的立體圖。 圖4的（a）是表示在第一按壓部上配置有脫模膜及第二按壓部的狀態的背面剖面圖。圖4的（b）是表示藉由第二按壓部將脫模膜及第一按壓部向下方按入的狀態的背面剖面圖。 圖5是表示樹脂材料保持件的立體圖。 圖6是將樹脂材料保持件的一部分放大的立體圖。 圖7是表示在膜保持部固定有樹脂材料保持件的狀態的放大立體圖。 圖8的（a）是表示對脫模膜進行保持的膜保持件及樹脂材料保持件的背面剖面示意圖。圖8的（b）是表示爪部被推開的情形的供給夾具的背面剖面示意圖。圖8的（c）是表示爪部固定於膜保持件的狀態的供給夾具的背面剖面示意圖。圖8的（d）是表示樹脂材料保持件保持有樹脂材料的狀態的供給夾具的背面剖面示意圖。 圖9是示意性地表示膜設置裝置及供給夾具的立體圖。 圖10的（a）是示意性地表示樹脂成形裝置的正面端視圖。圖10的（b）是表示向下模供給由供給夾具保持的脫模膜及樹脂材料的情形的正面端視圖。圖10的（c）是表示脫模膜吸附於下模的情形的正面端視圖。圖10的（d）是表示自樹脂成形裝置中取出樹脂材料保持件的情形的正面端視圖。圖10的（e）是表示合模後的情形的正面端視圖。圖10的（f）是表示開模後樹脂材料保持件再次被固定於膜保持件的情形的正面端視圖。

10:供給夾具

100:膜保持件

200:樹脂材料保持件

B、D、L、F、U、R:箭頭

Claims (10)

1. 一種供給夾具，包括： 膜保持件，能夠對脫模膜進行保持；以及 樹脂材料保持件，包括能夠對樹脂材料進行保持的樹脂保持部，且相對於所述膜保持件能夠裝卸。
2. 如請求項1所述的供給夾具，其中， 所述樹脂材料保持件包括在上下方向上開口的開口部，且能夠在使所述開口部自上方與保持於所述膜保持件的所述脫模膜相向的狀態下固定於所述膜保持件。
3. 如請求項1或2所述的供給夾具，其中， 所述樹脂材料保持件包括固定部，所述固定部能夠在相對於所述膜保持件固定的固定位置與解除相對於所述膜保持件的固定的固定解除位置之間移動。
4. 如請求項3所述的供給夾具，其中， 所述樹脂材料保持件包括： 第一賦予部，朝向所述固定位置對所述固定部賦予力；以及 操作部，能夠使所述固定部自所述固定位置朝向所述固定解除位置移動。
5. 如請求項3或4所述的供給夾具，其中， 所述固定部包括第一引導面，隨著所述樹脂材料保持件接近所述膜保持件，所述第一引導面能夠與所述膜保持件接觸而使所述固定部自所述固定位置朝向所述固定解除位置移動。
6. 如請求項3至5中任一項所述的供給夾具，其中， 所述膜保持件包括第二引導面，隨著所述樹脂材料保持件接近所述膜保持件，所述第二引導面能夠與所述固定部接觸而使所述固定部自所述固定位置朝向所述固定解除位置移動。
7. 如請求項1至6中任一項所述的供給夾具，其中， 所述樹脂材料保持件包括第一握持部，所述第一握持部設置成自所述樹脂保持部向上方突出，且能夠供作業者握持。
8. 如請求項1至7中任一項所述的供給夾具，其中， 所述樹脂材料保持件包括第二握持部，所述第二握持部設置成自所述樹脂保持部向側方突出，且能夠供作業者握持。
9. 如請求項1至8中任一項所述的供給夾具，其中， 所述膜保持件包括： 第一按壓部，與所述脫模膜的其中一個面接觸； 第二按壓部，與所述脫模膜的另一個面接觸；以及 第二賦予部，朝向所述脫模膜對所述第一按壓部賦予力。
10. 一種樹脂成形品的製造方法，包括： 供給步驟，使用如請求項1至9中任一項所述的供給夾具，將所述脫模膜及所述樹脂材料供給至成形模；以及 樹脂成形步驟，使用所述脫模膜及所述樹脂材料來進行樹脂成形。

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