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TW202202015A - 網遮罩檢查裝置、焊料印刷檢查裝置及網遮罩的檢查方法 - Google Patents

網遮罩檢查裝置、焊料印刷檢查裝置及網遮罩的檢查方法 Download PDF

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TW202202015A
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新山孝幸
大山剛
坂井田憲彥
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日商Ｃｋｄ股份有限公司
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Abstract

[課題]提供一種可更正確地檢查網遮罩是否處在可適當地印刷焊膏之狀態之網遮罩的檢查裝置等。 [解決手段]檢測印刷於印刷基板1上之焊膏3的位置資訊，基於該檢測結果，進行關於印刷時之網遮罩的良否判定。藉由利用焊膏3的位置資訊，不僅考量網遮罩本身，亦考量對於印刷基板1的推抵力或由刮板施加的力等印刷時影響網遮罩的外部要因，可判定關於印刷時的網遮罩之良否。因此，能夠更正確地檢查網遮罩是否處於可適當地印刷焊膏3之狀態。

Description

網遮罩檢查裝置、焊料印刷檢查裝置及網遮罩的檢查方法
本發明係關於將焊膏印刷於基板上時所使用之網遮罩的檢查裝置及其檢查方法、與具備網遮罩的檢查功能之焊料印刷檢查裝置。
在將電子零件安裝於基板上的製造線(manufacturing line)中，首先在配設於基板的焊盤(land)上利用焊料印刷機印刷焊膏。接著，依據該焊膏的黏性，將電子零件暫時固定於基板上。然後，藉由基板被導入回焊爐(reflow furnace)，經由既定的回焊((reflow)製程，進行焊接。
又，在利用焊料印刷機印刷焊膏之際，係使用網遮罩。網遮罩係由例如不銹鋼等金屬構成，形成有用以形成印刷圖案之網開口(孔)。焊膏的印刷，係藉由一邊將網遮罩推抵於基板，一邊將焊膏放置於該網遮罩的表面之後，使既定的刮板(squeegee)一邊推抵該網遮罩的表面一邊移動，以讓焊膏進入網開口來進行。此外，為了謀求防止鬆弛等，網遮罩是在藉既定的框架等賦予有張力的狀態下被保持。
又，有提出一種在使用網遮罩印刷焊膏時，係依據關於所印刷之焊膏的印刷偏差率的修正值，來調節網遮罩相對於基板的相對位置，藉此來修正焊膏的印刷位置之技術(例如參照專利文獻1等)。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2009-92557號公報
[發明欲解決之課題]
在焊膏的印刷時，因為對被賦予之張力或基板的推抵力或由刮板所施加之力等的影響的關係，可能在網遮罩產生變形(拉伸)或位置偏移。此外，此變形不僅包含永久的變形，也包含暫時的變形。在此，一旦印刷時之網遮罩的變形量或位置偏移量超過容許範圍，即便已如上述調節了網遮罩相對於基板的相對位置，也會有變得難以或無法將焊膏印刷到適當位置，而導致良率降低或無法製造良品等情事的虞慮。
例如，如圖13所示，於焊膏的印刷時，在具有與印刷基板1(相當於「基板」)上的焊盤R1、R2(參照圖14)對應之網開口S1、S2的網遮罩SM中，設成網開口S1、S2間的變形量(拉伸量)s是成為與焊盤R1、R2的寬度W相同程度。於此情況，即便已適當地調節了網遮罩SM相對於印刷基板1的相對位置，如圖14所示，焊膏3相對於焊盤R1、R2的位置偏移量t會變成「W/2」，難以將焊膏3印刷在恰當位置。又，例如，如圖15、16所示，在變形量s變成了寬度W的2倍左右的情況，即便已適當地調節了網遮罩SM相對於印刷基板1的相對位置，位置偏移量t會變成「W」，仍無法在焊盤R1、R2上印刷焊膏3。此外，由於焊盤的寬度W可小至0.1mm以下，所以即使網遮罩的變形等僅是一點點，也可產生如上述之不良情況。
本發明係有鑑於上述情事而完成者，其目的在提供一種可更正確地檢查網遮罩是否處在可適當地印刷焊膏的狀態之網遮罩的檢查裝置等。 [用以解決課題之手段]
以下，針對適於解決上述目的之各手段，分項進行說明。此外，依需要在對應的手段附註特有的作用效果。
手段1.一種網遮罩檢查裝置，其係檢查網遮罩，該網遮罩具有形成印刷圖案的網開口，且用於透過該網開口在基板上印刷焊膏， 其特徵為具備： 焊料位置資訊檢測手段，對印刷於基板上之焊膏的位置資訊進行檢測；及 使用時對應判定手段，基於藉由前述焊料位置資訊檢測手段所檢測到的位置資訊，進行關於印刷時之前述網遮罩的良否判定。
根據上述手段1，檢測所印刷之焊膏的位置資訊，依據該檢測到的位置資訊，進行關於印刷時之網遮罩的良否判定。藉由利用以此方式印刷的焊膏的位置資訊，不僅考量網遮罩本身，亦考量對於基板的推抵力或從刮板施加的力等在印刷時影響網遮罩之外部要因，可判定關於印刷時之網遮罩的良否。因此，可更正確地檢查網遮罩是否在可適當地進刷焊膏之狀態。
此外，作為焊膏的位置資訊，較佳係使用具有沿著刮板(為了擴展焊膏而使用的零件)的移動方向的分量之資訊。於此情況，能夠得到移動之刮板的影響已強烈地反映出，且網遮罩的變形或位置偏移的程度更容易明確顯示之位置資訊。因此，能夠以良好精度檢查網遮罩是否處在可適當地印刷焊膏之狀態。
手段2.如手段1之網遮罩檢查裝置，其中前述焊料位置資訊檢測手段係檢測基於實際上印刷的焊膏相對於既定的基準位置之位置偏移量之資訊，作為前述位置資訊。
此外，作為「基準位置」，可舉出：設置於基板上之焊盤(焊膏的印刷對象)的位置、理想的(設計上的)焊膏的印刷位置、或基板之經選擇的任意位置等(手段9中亦相同)。
根據上述手段2，係檢測基於焊膏的位置偏移量之資訊，作為位置資訊。因此，可容易地得到用以進行良否判定所需要的位置資訊，亦可達成檢查處理之負擔的降低。
又，網遮罩檢查裝置係在設置於具備有基於焊膏的位置偏移量判定該焊膏的良否之功能之焊料印刷檢查裝置的情況，可利用藉該功能所檢測到的位置偏移量，進行網遮罩的檢查。因此，可達成關於網遮罩或焊膏的檢查之處理的效率化。
手段3.如手段2之網遮罩檢查裝置，其中前述焊料位置資訊檢測手段，係檢測基於與位於沿著基板上之刮板的移動方向的一端之焊膏相關之沿著前述移動方向的前述位置偏移量、以及與位於沿著基板上的前述移動方向的另一端之焊膏相關之沿著前述移動方向的前述位置偏移量之資訊，作為前述位置資訊。
亦即，手段3可以說是「一種網遮罩檢查裝置，其係檢查網遮罩，該網遮罩具有形成印刷圖案的網開口，且用於透過該網開口在基板上印刷焊膏， 其特徵為具備： 焊料位置資訊檢測手段，對印刷於基板上之焊膏的位置資訊進行檢測， 使用時對應判定手段，基於藉由前述焊料位置資訊檢測手段所檢測到的位置資訊，進行關於印刷時之前述網遮罩的良否判定， 前述焊料位置資訊檢測手段係檢測基於一焊膏之沿著相對於既定的基準位置的前述移動方向之位置偏移量、與另一焊膏之沿著相對於既定的基準位置的前述移動方向之位置偏移量之資訊，作為前述位置資訊，該一焊膏係位於沿著基板上之刮板的移動方向的一端，該另一焊膏係位於沿著基板上之前述移動方向的另一端。」。
焊膏對於基板上的印刷，係在藉由使既定的刮板一邊推抵網遮罩的表面一邊沿著該表面移動而進行時，根據上述手段3，係檢測基於沿著刮板的移動方向之焊膏的位置偏移量之資訊，作為焊膏的位置資訊。因此，可依據移動之刮板的影響已強烈地反映出，且網遮罩的變形或位置偏移的程度更容易明確顯示之資訊，進行關於網遮罩的良否判定。藉此，可以更佳的精度檢查網遮罩是否處在可適當地印刷焊膏之狀態。
又，根據上述手段3，係使用基於與位於沿著刮板的移動方向的一端之焊膏相關的位置偏移量、與位於沿著該移動方向的另一端之焊膏相關的位置偏移量之資訊(例如兩位置偏移量的差等)，作為焊膏的位置資訊。亦即，使用基於處在沿著刮板的移動方向上遠離的位置之兩焊膏的各位置偏移量之資訊，作為焊膏的位置資訊。因此，焊膏的位置資訊係更容易掌握網遮罩的變形或位置偏移的程度者，可進一步提高檢查精度。
手段4.如手段1之網遮罩檢查裝置，其中前述焊料位置資訊檢測手段係檢測顯示基板上之複數個焊膏彼此的距離之資訊，作為前述位置資訊。
根據上述手段4，係檢測顯示複數個焊膏彼此的距離之資訊，作為焊膏的位置資訊。因此，可容易得到用以進行良否判定所需要的位置資訊，可達成檢查處理之負擔的降低。
此外，亦可構成為檢測位於沿著基板上之刮板的移動方向的一端之焊膏、與位於沿著基板上之前述移動方向的另一端之焊膏間的距離之資訊，作為焊膏的位置資訊。於此情況，與上述手段3同樣，焊膏的位置資訊係已強烈地反映出刮板的影響，故可達成檢查精度的提升。
手段5.如手段1至4中任一項之網遮罩檢查裝置，其中， 具備； 開口位置資訊檢測手段，係檢測焊膏在非印刷時之前述網開口的位置資訊；及 個別良否判定手段，係基於藉前述焊料位置資訊檢測手段所檢測出之焊膏的位置資訊、及藉前述開口位置資訊檢測手段所檢測出之前述網開口的位置資訊，可判定前述網遮罩本身的良否、及印刷時對前述網遮罩造成影響之外部要因的良否。
此外，「網開口的位置資訊」係可舉出：顯示與實際的網開口相對於既定的遮罩基準位置〔例如理想的(設計上的)網開口的位置〕之相對位置相關的資訊(例如位置偏移量)、或複數個網開口彼此的距離之資訊等。又，作為「網開口的位置資訊」，亦可使用間接地顯示網開口的位置之資訊(例如，與附加在網遮罩之既定的標記的位置相關的資訊等)(手段12中亦同樣)。
根據上述手段5，基於焊膏的位置資訊及網開口的位置資訊，可判定網遮罩本身的良否、及印刷時對網遮罩造成影響之外部要因的良否。例如，在焊膏的位置資訊及網開口的位置資訊兩者都未滿足既定的良好條件時，可判定網遮罩本身是不良的。另一方面，在焊膏的位置資訊未滿足良好條件，但網開口的位置資訊滿足良好條件之情況下，可判定網遮罩本身是良品，而在印刷時影響網遮罩的外部要因〔例如，對基板的推抵力或由刮板所施加的(刮板壓)等〕方面會有問題。因此，可更正確地掌握網遮罩不是在可適當地印刷焊膏的狀態之原因。其結果，可更容易地從被認為是作為對印刷不良的對應處理之複數個方法(例如，網遮罩的交換或印刷條件的變更等)中，選擇・決定適當的方法，而可更迅速地進行對應處理。
手段6.如手段5之網遮罩檢查裝置，其具備資訊發送手段，係基於藉由前述個別良否判定手段的判定結果，可發送促進前述網遮罩的交換之資訊、或促進對前述網遮罩造成影響之印刷條件的變更之資訊。
根據上述手段6，基於藉由個別良否判定手段的判定結果，可發送(教示)促進網遮罩的交換之資訊、或對網遮罩造成影響之印刷條件(例如刮板壓或對基板的推壓力等)的變更之資訊。藉此，在判定印刷時的網遮罩是不良時，作業者可提早正確地掌握應執行的對應處理。其結果，可更迅速地進行對應處理，可使生產效率提升。
手段7.一種焊料印刷檢查裝置，其具有： 如手段1至6中任一項之網遮罩檢查裝置；及 焊料檢查手段，檢查被印刷於基板上的焊膏。
根據上述手段7，可達成與上述手段1等同樣的作用效果。
手段8.一種網遮罩的檢查方法，其係使用於網遮罩的檢查，該網遮罩具有形成印刷圖案的網開口，且用於透過該網開口在基板上印刷焊膏， 其特徵為： 檢測被印刷於基板上之焊膏的位置資訊，並且基於該檢測結果，進行與印刷時的前述網遮罩相關的良否判定。
根據上述手段8，可達成與上述手段1同樣的作用效果。
手段9.如手段8之網遮罩的檢查方法，其中檢測基於實際上印刷的焊膏相對於既定的基準位置之位置偏移量之資訊，作為前述位置資訊。
根據上述手段9，可達成與上述手段2同樣的作用效果。
手段10.如手段9之網遮罩的檢查方法，其中， 作為前述位置資訊，係檢測基於和位於沿著基板上之刮板的移動方向的一端之焊膏相關之沿著前述移動方向的前述位置偏移量、以及和位於沿著基板上的前述移動方向的另一端之焊膏相關之沿著前述移動方向的前述位置偏移量之資訊。
亦即，手段10可以說是， 「一種網遮罩的檢查方法，其係使用於網遮罩的檢查，該網遮罩具有形成印刷圖案的網開口，且用於透過該網開口在基板上印刷焊膏， 其特徵為： 檢測被印刷於基板上之焊膏的位置資訊，並且基於該檢測結果，進行與印刷時的前述網遮罩相關的良否判定， 檢測基於一焊膏之沿著相對於既定的基準位置的前述移動方向之位置偏移量、與另一焊膏之沿著相對於既定的基準位置的前述移動方向之位置偏移量之資訊，作為前述位置資訊，該一焊膏位於沿著基板上之刮板的移動方向的一端，該另一焊膏位於沿著基板上之前述移動方向的另一端。」。
根據上述手段10，可達成與上述手段3同樣的作用效果。
手段11.如手段8之網遮罩的檢查方法，其中， 檢測顯示基板上之複數個焊膏彼此的距離之資訊，作為前述位置資訊。
根據上述手段11，可達成與上述手段4同樣的作用效果。
手段12.如手段8至11中任一項之網遮罩的檢查方法，其中， 檢測焊膏在非印刷時之前述網開口的位置資訊， 基於焊膏的位置資訊及前述網開口的位置資訊，判定前述網遮罩本身的良否、及印刷時對前述網遮罩造成影響之外部要因的良否。
根據上述手段12，可達成與上述手段5同樣的作用效果。
[用以實施發明的形態]
以下，參照圖式，就一實施形態作說明。首先，參照圖1，就印刷基板1的構成作說明。本實施形態中，印刷基板1相當於「基板」。
如圖1所示，印刷基板1係在由玻璃環氧樹脂等構成的平板狀基底基板7上，形成有由銅箔構成的配線圖案(省略圖示)、複數個焊盤(land)2。在基底基板7之焊盤2除外的部分，塗布有阻劑膜8(參照圖5)。在各焊盤2上，印刷有具有黏性的焊膏3(圖1等中，以散佈點狀圖樣顯示的部位)。然後，成為對焊膏3接合有晶片等電子零件4之狀態。此外，圖1中，僅示意地顯示複數個焊盤2等中的小部分。
接著，針對用以製造印刷基板1的製造線，參照圖2作說明。圖2係顯示印刷基板1的製造線10的概略構成之方塊圖。在製造線10上，從其上游側，依序設置有焊料印刷機20、焊料印刷檢查裝置40、零件安裝機70及回焊裝置80。首先，簡單地說明關於零件安裝機70及回焊裝置80，然後，詳細地說明關於焊料印刷機20及焊料印刷檢查裝置40。
零件安裝機70係在藉由焊料印刷機20所印刷的焊膏3上搭載電子零件4(參照圖1)。電子零件4具備複數個電極或導線(分別未顯示圖)，該電極或導線係分別暫時固定於既定的焊膏3。
回焊裝置80係使焊膏3加熱熔融，將焊盤2與電子零件4的電極、導線進行焊料接合(焊接)。
接著，就焊料印刷機20進行說明。焊料印刷機20係在印刷基板1的焊盤2上印刷既定量的焊膏3。焊料印刷機20係如圖3、4所示，具備有印刷用移動機構22、印刷用軌道機構23、夾持機構24、基板支撐裝置25、網遮罩26、刮板27、遮罩用相機28、印刷用顯示裝置29(參照圖6)、印刷用輸入裝置30(參照圖6)及印刷控制裝置31。
印刷用移動機構22係在焊膏3的印刷製程中用以使印刷基板1移動之機構，且設置於既定的基台21上。印刷用移動機構22具備有X軸移動機構221、Y軸移動機構222及Z軸移動機構223。藉由X軸移動機構221及Y軸移動機構222作動，印刷用軌道機構23及Z軸移動機構223會沿著X軸方向及Y軸方向滑動移動。藉由Z軸移動機構223作動，印刷用軌道機構23會沿著Z軸方向(高度方向)移動。
印刷用軌道機構23係供作為焊膏3的印刷對象之印刷基板1載置的機構。印刷用軌道機構23具備有呈平行配設的一對軌道。此等軌道的間隔係以可變更之方式構成，藉由變更該間隔，可對應於寬度不同的各種印刷基板1。又，印刷用軌道機構23係藉由印刷用移動機構22的動作而沿著X軸方向、Y軸方向及Z軸方向移動。藉由使印刷用軌道機構23移動，可使載置於該印刷用軌道機構23的印刷基板1朝任意方向(X軸方向、Y軸方向及Z軸方向)移動。
夾持機構24係藉由保持印刷基板1，用以抑制焊膏3的印刷時之印刷基板1的移動之機構。夾持機構24具備可以接近、分離方式移動的一對把持部，藉由利用此等把持部把持印刷基板1，來保持被載置於印刷用軌道機構23的印刷基板1。
基板支撐裝置25係藉由從下方支撐印刷基板1，來抑制焊膏3印刷時之該印刷基板1的變形。基板支撐裝置25係配置在印刷用軌道機構23的前述兩軌道間，具備有多數個棒狀的支撐銷25a。藉由此等支撐銷25a的前端部成為與印刷基板1的下面接觸的狀態，來支撐印刷基板1。
網遮罩26係為了對印刷基板1形成焊膏3的印刷圖案而使用。網遮罩26係成為薄壁平板狀，藉由例如既定的金屬(不銹鋼等)而形成。此外，關於網遮罩26的構成材料，亦可適當地變更。
網遮罩26具備有複數個網開口261，其等貫通於其厚度方向且形成與印刷圖案對應的形狀。在焊膏3的印刷時，焊膏3進入網開口261，藉此經由(通過)該網開口261將焊膏3印刷於印刷基板1上。此外，在圖3等中，僅針對複數個網開口261中的一部分示意地顯示。
又，網遮罩26的外周部全周係藉由矩形框架262保持著。網遮罩26係藉由從該框架262被賦予張力，而成為無鬆弛地張開的狀態。
刮板27係用以將載置於網遮罩26上的焊膏3擴展的刮刀狀零件。刮板27係藉由既定的刮板保持部(未圖示)所保持，該刮板保持部係可藉由既定的驅動手段(未圖示)在任意方向(X軸方向、Y軸方向及Z軸方向)移動。
遮罩用相機28係例如藉由CCD相機等既定的拍攝裝置所構成，為了拍攝網遮罩26而使用。本實施形態中，遮罩用相機28係構成可拍攝網遮罩26的整個區域。因此，藉由遮罩用相機28，可拍攝位於沿著刮板27的移動方向(本實施形態中為Y軸方向)之一端的網開口261(稱為「一端側網開口261a」)、與位於沿著該移動方向的另一端之網開口261(稱為「另一端側網開口261b」)。
又，利用遮罩用相機28的拍攝，係在網遮罩26從印刷基板1分離，且沒有進行焊膏3對該印刷基板1的印刷之時間點進行。藉此，可拍攝沒有受到有關印刷的影響之狀態下的網遮罩26。利用遮罩用相機28所得到的拍攝資料，係被輸出到印刷控制裝置31或後述的檢查控制裝置50。此外，本實施形態中，遮罩用相機28雖配置於網遮罩26的上方，但亦可配置於網遮罩26的下方。
又，本實施形態中，焊料印刷機20除了具備有遮罩用相機28外，亦具備有用以拍攝印刷基板1的相機(未圖示)。
印刷用顯示裝置29係由例如液晶顯示器等構成，係用以顯示記憶於印刷控制裝置31的各種資訊之裝置。
印刷用輸入裝置30係由例如鍵盤等構成，係用以對印刷控制裝置31輸入資訊的裝置。
印刷控制裝置31係控制焊料印刷機20的各部分(例如印刷用移動機構22、遮罩用相機28等)的動作。印刷控制裝置31係由所謂的電腦系統構成，該電腦系統具備有例如：作為演算手段的CPU、記憶各種程式的ROM、暫時記憶演算資料和輸出輸入資料等各種資料之RAM、用以長期記憶資訊之記憶裝置(例如硬碟等)。
在印刷控制裝置31記憶有各種資訊。各種資訊可包含和焊膏3的印刷相關的各種參數。作為各種參數，可列舉例如：刮板27的移動速度或移動方向、刮板27相對於網遮罩26的傾斜角度，刮板27對網遮罩26的接觸壓力(刮板壓)、在焊膏3的印刷時沿著X軸方向及Y軸方向之印刷基板1(印刷用軌道機構23)的位置、網遮罩26對印刷基板1的推抵力等。此外，藉由調節Z軸移動機構223的動作，可使網遮罩26對印刷基板1的推抵力改變。
又，印刷控制裝置31係如圖6所示，具備有刮板控制部311及印刷用移動控制部312。
刮板控制部311係依據記憶於印刷控制裝置31的各種參數，控制用以使刮板27動作的前述驅動手段，藉此來控制刮板27的動作。藉由刮板控制部311，可調節刮板27的移動方向或移動速度、刮板壓等。藉此，本實施形態中，印刷焊膏3時，刮板27係一邊以設定的刮板壓接觸網遮罩26的上面，一邊從該網遮罩26的寬度方向一方側到寬度方向另一方側沿著Y軸方向直線移動。此外，在焊料印刷機20中，朝依序被供給的複數個印刷基板1依序逐漸印刷焊膏3時，在本實施形態中，印刷焊膏3時之刮板27的移動方向，係以在各印刷基板1中不會改變而成為相同的方式構成。此外，印刷焊膏3時之刮板27的移動方向並不限定於Y軸方向，亦可為Y軸方向以外的方向(例如X軸方向)。
此外，和刮板27的移動方向相關的資訊，係從印刷控制裝置31朝後述的檢查控制裝置50輸出。
印刷用移動控制部312係依據記憶於印刷控制裝置31的各種參數，控制印刷用移動機構22的動作。本實施形態中，藉由印刷用移動控制部312所致之印刷用移動機構22的動作控制，在焊膏3的印刷前，使焊盤2及網開口261的位置極力對準，進行印刷基板1及網遮罩26在X-Y方向的對位。此對位係依據藉由用以拍攝印刷基板1的前述相機所得到之印刷基板1的拍攝資料、與藉由遮罩用相機28所得到之網遮罩26的拍攝資料來進行。
又，印刷用移動控制部312係在進行印刷基板1及網遮罩26的對位後，藉由控制Z軸移動機構223的動作，而設成將網遮罩26以既定的推抵力推抵至印刷基板1的狀態。
在焊膏3的印刷製程中，首先，藉由印刷用移動控制部312和印刷用移動機構22，進行網遮罩26及印刷基板1在X-Y方向的對位，並且使該印刷基板1向上移動，以既定的推抵力使網遮罩26被推抵至該印刷基板1。又，藉由既定的焊料供給裝置(未圖示)，將焊膏3供給到網遮罩26的上面。
接著，利用刮板控制部311，以設定的刮板壓使刮板27一邊與網遮罩26的上面接觸一邊沿著既定方向(本實施形態中為Y軸方向)移動(參照圖5)。藉此，焊膏3進入網開口261，而在印刷基板1印刷焊膏3。在焊膏3的印刷後，利用印刷用移動機構22等使印刷基板1向下移動，使印刷基板1與網遮罩26分離。此外，被印刷了焊膏3的印刷基板1，係藉由既定的輸送機(conveyor)(未圖示)等朝焊料印刷檢查裝置40輸送。
其次，就焊料印刷檢查裝置40進行說明。焊料印刷檢查裝置40係進行藉焊料印刷機20所印刷之焊膏3和網遮罩26的檢查。焊料印刷檢查裝置40係如圖6、7所示，具備有檢查用移動機構42、檢查用軌道機構43、照明裝置44、檢查用相機45、檢查用顯示裝置46、檢查用輸入裝置47及檢查控制裝置50。
檢查用移動機構42係在檢查焊膏3等的製程中用以使印刷基板1移動的機構，且設置於既定的基台41上。檢查用移動機構42具備有X軸移動機構421及Y軸移動機構422。藉由X軸移動機構421及Y軸移動機構422作動，檢查用軌道機構43沿著X軸方向及Y軸方向滑動移動。此外，在本實施形態中，焊料印刷檢查裝置40中的X軸方向及Y軸方向、與焊料印刷機20中的X軸方向及Y軸方向是相同的。
檢查用軌道機構43係供作為檢查對象的印刷基板1載置之機構。檢查用軌道機構43具備平行配設的一對軌道，藉由變更此等軌道的間隔，可對應於寬度不同的各種印刷基板1。檢查用軌道機構43係藉由檢查用移動機構42的動作沿著X軸方向及Y軸方向移動。藉由檢查用軌道機構43移動，可使載置於該檢查用軌道機構43的印刷基板1朝任意方向(X軸方向及Y軸方向)移動。
照明裝置44係對印刷基板1的上面從斜上方照射既定的光成分圖案。
檢查用相機45係對從照明裝置44經照射了既定的光成分圖案的印刷基板1進行拍攝。檢查用相機45配置在印刷基板1的正上方，構成可拍攝印刷基板1的整個區域。因此，藉由檢查用相機45，可對位於沿著刮板27的移動方向(本實施形態中，Y軸方向)之一端的焊膏3、與位於沿著該移動方向的另一端之焊膏3進行拍攝。藉檢查用相機45得到的拍攝資料會被輸入檢查控制裝置50。
檢查用顯示裝置46係由例如液晶顯示器等所構成，係為了顯示記憶於檢查控制裝置50的各種資訊而使用。此外，1個顯示裝置亦可以兼具印刷用顯示裝置29及檢查用顯示裝置46的方式構成。
檢查用輸入裝置47係由例如鍵盤等所構成，係用以對檢查控制裝置50輸入資訊的裝置。此外，1個輸入裝置亦可以兼具印刷用輸入裝置30及檢查用輸入裝置47之方式構成。
檢查控制裝置50係用以控制焊料印刷檢查裝置40的各部分(例如檢查用移動機構42、檢查用相機45等)的動作、或進行關於焊膏3和網遮罩26的檢查之處理的裝置。檢查控制裝置50係與印刷控制裝置31同樣，由具備CPU、ROM、RAM及記憶裝置之所謂電腦系統構成。
檢查控制裝置50的記憶裝置中記憶有各種資訊。各種資訊係包含：與執行檢查時之焊料印刷檢查裝置40的動作控制相關的參數、藉檢查用相機45或遮罩用相機28得到的拍攝資料、進行焊膏3或網遮罩26的檢查時所被利用的檢查用資訊、基於拍攝資料得到的測量資訊、及顯示檢查結果之檢查結果資訊等。
作為檢查用資訊，可舉出：在X軸方向、Y軸方向及Z軸方向之設計上的(理想的)焊膏3的位置、焊膏3的基準體積值或基準面積值、關於變形或位置偏移之網遮罩26的容許量等。又，作為測量資訊，可舉出：焊膏3的高度(頂峰高度或平均高度)、面積、體積值及三維形狀、與將分別於後闡述之「網開口261的位置資訊」或「焊膏3的位置資訊」等。再者，作為檢查結果資訊，可舉出：和網遮罩26本身的良否相關的判定結果、及和印刷時對網遮罩26造成影響之外部要因(網遮罩26對印刷基板1的推抵力或刮板壓等)的良否相關之判定結果等。
檢查控制裝置50具備有︰檢查用移動控制部51、焊料位置資訊檢測部52、使用時對應判定部53、開口位置資訊檢測部54、非使用時對應判定部55及個別良否判定部56。本實施形態中，焊料位置資訊檢測部52構成「焊料位置資訊檢測手段」，同樣地，使用時對應判定部53構成「使用時對應判定手段」，開口位置資訊檢測部54構成「開口位置資訊檢測手段」，個別良否判定部56構成「個別良否判定手段」。此外，檢查控制裝置50亦具備有：用以控制照明裝置44的照明控制部、用以控制檢查用相機45的動作之拍攝控制部等(分別未圖示)。
檢查用移動控制部51係依據記憶於檢查控制裝置50的前述參數，控制檢查用移動機構42的動作。藉由控制檢查用移動機構42的動作，在適於執行檢查的位置配置印刷基板1。
焊料位置資訊檢測部52係依據藉檢查用相機45得到的拍攝資料，測量所印刷之焊膏3的位置、尺寸等。具體而言，焊料位置資訊檢測部52，係測量印刷基板1的各焊膏3之沿著相對於焊盤2的X軸方向及Y軸方向之位置偏移量。又，焊料位置資訊檢測部52係使用預先設定的三維測量方法(例如相移法等)等，測量焊膏3的高度(頂峰高度、平均高度)、面積、體積值及三維形狀。藉焊料位置資訊檢測部52得到的資訊，係被記憶於檢查控制裝置50作為測量資訊。
又，焊料位置資訊檢測部52係利用所測得的位置偏移量、和與從刮板控制部311輸入之刮板27的移動方向相關的資訊，檢測印刷基板1之「焊膏3的位置資訊」。
本實施形態中，作為「焊膏3的位置資訊」，如圖8所示，係檢測位置偏移量a與位置偏移量b之沿前述移動方向的差(b-a)，該位置偏移量a係與位於印刷基板1上之沿刮板27的移動方向的一端之焊膏3(稱為「一端側焊膏3a」)相關的位置偏移量，該位置偏移量b係與位於印刷基板1上之沿前述移動方向的另一端之焊膏3(稱為「另一端側焊膏3b」)相關的位置偏移量。亦即，作為「焊膏3的位置資訊」，係檢測位在沿著刮板27的移動方向最遠離的位置之焊膏3a、3b的各位置偏移量a、b之沿該移動方向的差。此差(b-a)係相當於焊膏3的印刷時沿著刮板27的移動方向之網遮罩26的變形量和位置偏移量。
此外，位置偏移量a、b，更詳言之，係指沿著刮板27的移動方向之實際上印刷的焊膏3相對於既定的「基準位置」之位置偏移量。本實施形態中，設在印刷基板1上之焊盤2的中心(或重心)被利用作為「基準位置」。且，作為位置偏移量a、b，係檢測有焊盤2的中心(或重心)、與該焊盤2作為印刷對象之焊膏3的中心(或重心)之沿著刮板27的移動方向的位置偏移量。此外，本實施形態中，沿著刮板27的移動方向從「基準位置」朝向一側(圖8中為右側)的位置偏移量被設為「＋」，沿著該移動方向從「基準位置」朝向另一側(圖8中為左側)的位置偏移量被設為「－」。「焊膏3的位置資訊」被記憶於檢查控制裝置50作為測量資訊。
使用時對應判定部53，係基於藉焊料位置資訊檢測部52所檢測到的「焊膏3的位置資訊」，進行印刷時之網遮罩26的良否判定。更詳言之，使用時對應判定部53係比較藉焊料位置資訊檢測部52檢測到的前述差(b-a)的絕對值、與被記憶作為檢查用資訊的前述容許量。接著，在前述差(b-a)的絕對值超過前述容許量之情況，亦即，在印刷時之網遮罩26的變形量等為容許範圍外之情況，使用時對應判定部53判定印刷時的網遮罩26是不良的(並非可適當地印刷焊膏3的狀態)。另一方面，在前述差(b-a)的絕對值為前述容許量以下之情況，亦即，在印刷時之網遮罩26的變形量等為容許範圍內之情況，使用時對應判定部53判定印刷時的網遮罩26是良好的。此判定結果被記憶於檢查控制裝置50作為檢查結果資訊。
開口位置資訊檢測部54係依據藉遮罩用相機28所得到的拍攝資料，檢測焊膏3在非印刷時之「網開口261的位置資訊」。本實施形態中，作為「網開口261的位置資訊」，係如圖9所示，檢測位置偏移量x與位置偏移量y之沿著前述移動方向的差(y-x)，該位置偏移量x係與位於網遮罩26中之沿著刮板27的移動方向的一端之網開口261(一端側網開口261a)相關的位置偏移量，該位置偏移量y係與位於網遮罩26中之沿著前述移動方向的另一端之網開口261(另一端側網開口261b)相關的位置偏移量。此差(y-x)係相當於焊膏3的非印刷時沿著刮板27的移動方向之網遮罩26的變形量。
此外，位置偏移量x、y，更詳言之，係指沿著刮板27的移動方向之相對於既定的「遮罩基準位置」之實際的網開口261的位置偏移量。本實施形態中，設計上的(理想的)網開口261的中心(或重心)被利用作為「遮罩基準位置」。且，作為位置偏移量x、y，係檢測有設計上之網開口261的中心(或重心)、與實際之網開口261的中心(或重心)之沿著刮板27的移動方向之位置偏移量。此外，本實施形態中，沿著刮板27的移動方向從「遮罩基準位置」朝向一側(圖9中為右側)的位置偏移量被設為「＋」，沿著該移動方向從「遮罩基準位置」朝向另一側(圖9中為左側)的位置偏移量被設為「－」。「網開口261的位置資訊」被記憶於檢查控制裝置50的前述記憶裝置作為測量資訊。
非使用時對應判定部55係基於藉開口位置資訊檢測部54所檢測到的「網開口261的位置資訊」，進行非印刷時(亦即，沒有與刮板27或印刷基板1相接的狀態)之網遮罩26的良否判定。更詳言之，非使用時對應判定部55係比較藉開口位置資訊檢測部54檢測到的前述差(y-x)的絕對值、與被記憶作為檢查用資訊的前述容許量。接著，在前述差(y-x)的絕對值超過前述容許量之情況，亦即，在非印刷時之網遮罩26的變形量為容許範圍外之情況，非使用時對應判定部55判定非印刷時的網遮罩26是不良的。另一方面，在前述差(y-x)的絕對值為前述容許量以下之情況，亦即，在非印刷時之網遮罩26的變形量為容許範圍內之情況，非使用時對應判定部55判定非印刷時的網遮罩26是良好的。非印刷時之網遮罩26的良否判定結果，係被記憶於檢查控制裝置50的前述記憶裝置作為檢查結果資訊。
個別良否判定部56係基於藉焊料位置資訊檢測部52檢測到之「焊膏3的位置資訊」、及藉開口位置資訊檢測部54檢測到之「網開口261的位置資訊」，判定網遮罩26本身的良否、與印刷時對網遮罩26造成影響之外部要因(網遮罩26對印刷基板1的推抵力或刮板壓等)的良否。本實施形態中，個別良否判定部56係基於使用時對應判定部53及非使用時對應判定部55分別產生的判定結果，判定網遮罩26本身之良否、與前述外部要因之良否。
詳細說明之，個別良否判定部56係在使用時對應判定部53及非使用時對應判定部55所產生的判定結果分別為良好之情況，判定網遮罩26本身為良好，且前述外部要因也是良好的。
又，個別良否判定部56係在使用時對應判定部53及非使用時對應判定部55的判定結果分別為不良之情況，判定網遮罩26本身是不良的。
另一方面，個別良否判定部56係在利用使用時對應判定部53的判定結果不良，且利用非使用時對應判定部55的判定結果良好的情況下，判定網遮罩26本身良好，但刮板壓等之前述外部要因不良。
此外，利用使用時對應判定部53的判定結果良好，利用非使用時對應判定部55的判定結果不良之情況，個別良否判定部56係進行既定的異常判定(例如「於焊膏3的位置檢測產生了異常」之判定)。利用個別良否判定部56的判定結果，被記憶於檢查控制裝置50作為檢查結果資訊。
再者，個別良否判定部56係在判定了網遮罩26本身不良的情況，生成促進網遮罩26的交換之資訊，將有關該資訊的訊號朝檢查用顯示裝置46輸出。藉此，在檢查用顯示裝置46中，發送(顯示)促進網遮罩26的交換之資訊。
另一方面，個別良否判定部56係在判定了在印刷時對網遮罩26造成的影響之外部要因是不良的情況下，生成促進與焊膏3的印刷相關之條件的變更之資訊，將有關該資訊的訊號朝檢查用顯示裝置46輸出。藉此，在檢查用顯示裝置46中，促進對網遮罩26造成影響之印刷條件(例如，網遮罩26對印刷基板1的推抵力、刮板壓等)的變更之資訊會被發送(顯示)。本實施形態中，檢查用顯示裝置46構成「資訊發送手段」。
此外，作為「資訊發送手段」，亦可使用可藉由聲音輸出資訊的裝置。又，作為「資訊發送手段」亦可使用行動終端，其具備藉由無線通訊接收關於上述各資訊的訊號，對作業者發送此等資訊之功能。
本實施形態中，藉由檢查用移動機構42、照明裝置44、檢查用相機45、檢查用顯示裝置46、檢查用輸入裝置47、檢查用移動控制部51、焊料位置資訊檢測部52、使用時對應判定部53、開口位置資訊檢測部54、非使用時對應判定部55及個別良否判定部56，構成了用以進行網遮罩26的檢查之網遮罩檢查裝置60(參照圖6)。
又，檢查控制裝置50具備有焊料良否判定部58。焊料良否判定部58，係比較藉焊料位置資訊檢測部52所得到之關於焊膏3的測量資訊、與前述檢查用資訊，按各焊盤2進行焊膏3的印刷狀態(包含形成於複數個焊盤間的焊橋(solder bridge)等)之良否判定。本實施形態中，係進行關於以下的判定：例如頂峰(peak)高度、平均高度、面積、體積、沿著X軸方向的位置偏移量及沿著Y軸方向的位置偏移量(包含位置偏移量a、b)分別是否滿足基準；或者有無焊膏3的附著不足；或者有無變成不存在焊膏3的「無焊料」狀態等。良否判定結果係被記憶於檢查控制裝置50作為檢查結果資訊，且可藉檢查用顯示裝置46顯示。此外，焊膏3的印刷狀態是正常之印刷基板1係朝其下游的零件安裝機70被引導，另一方面，焊膏3的印刷狀態是不良之印刷基板1係藉由既定的不良品排出裝置(未圖示)被排出。
本實施形態中，藉由檢查用移動機構42、照明裝置44、檢查用相機45、檢查用移動控制部51、焊料位置資訊檢測部52及焊料良否判定部58，構成了用以對印刷於印刷基板1上的焊膏3進行檢查之焊料檢查部61。焊料檢查部61相當於「焊料檢查手段」。
其次，針對網遮罩26的檢查方法，參照圖10作說明。首先，在步驟S1的遮罩拍攝步驟中，藉由遮罩用相機28，拍攝在焊膏3的非印刷時且處於從印刷基板1離開的狀態下之網遮罩26。網遮罩26的拍攝資料被輸出到檢查控制裝置50等。
接著，在步驟S2的開口位置資訊檢測步驟中，藉由開口位置資訊檢測部54，依據在步驟S1所得到的拍攝資料，檢測焊膏3的非印刷時之「網開口261的位置資訊」(y-x)。
在步驟S3的非使用時對應判定步驟中，依據在步驟S2所得到之檢測結果，藉由非使用時對應判定部55，進行與非印刷時的網遮罩26相關的良否判定。亦即，判定網遮罩26單體的良否。
在步驟S4的基板拍攝步驟中，藉由檢查用相機45，拍攝印刷有焊膏3的印刷基板1。與所得到的印刷基板1相關的拍攝資料，係被輸出到檢查控制裝置50。
其次，在步驟S5的焊料位置資訊檢測步驟中，藉由焊料位置資訊檢測部52，依據在步驟S4得到的拍攝資料，檢測「焊膏3的位置資訊」(b-a)。
在步驟S6的使用時對應判定步驟中，依據在步驟S5得到的檢測結果，藉由使用時對應判定部53，進行與印刷時之網遮罩26相關的良否判定。亦即，判定加上了印刷時之外部要因之網遮罩26的良否。此外，步驟S1～S3的處理，亦可與步驟S4～S6的處理同時進行，或在步驟S4～S6的處理後進行。
接著，在步驟S7的個別良否判定製程中，藉由個別良否判定部56，依據印刷時及非印刷時之網遮罩26相關的各自判定結果，亦即基於步驟S3、S6中的各判定結果，判定網遮罩26本身的良否、與印刷時對網遮罩26造成影響之外部要因的良否。
在步驟S8的輸出步驟中，依據步驟S7中的判定結果，與該判定結果對應的訊號被輸出到檢查用顯示裝置46。藉由該訊號的輸出，在檢查用顯示裝置46中，發送(顯示)促進網遮罩26的交換之資訊、或對網遮罩26造成影響之印刷條件的變更之資訊。
如以上詳述，根據本實施形態，檢測「焊膏3的位置資訊」，基於所檢測的位置資訊，進行關於印刷時之網遮罩26的良否判定。藉由利用以此方式印刷之焊膏3的位置資訊，不僅考量網遮罩26本身，亦考量對於印刷基板1的推抵力或從刮板27施加的力等於印刷時影響網遮罩26的外部要因，可判定關於印刷時之網遮罩26的良否。因此，可更正確地檢測網遮罩26是否在可適當地印刷焊膏3之狀態。
又，作為「焊膏3的位置資訊」，係檢測基於焊膏3的位置偏移量a、b之資訊。因此，可容易地得到用以進行良否判定所需要的位置資訊，可達成降低檢查處理的負擔。
再者，作為「焊膏3的位置資訊」，係使用沿著刮板27的移動方向之位置偏移量a、b的差。亦即，使用具有沿著刮板27的移動方向之成分的資訊。因此，能夠得到移動之刮板27的影響已強烈地反映出，且網遮罩26的變形或位置偏移的程度更容易明確顯示之位置資訊。因此，可以良好精度檢查網遮罩26是否在可適當地印刷焊膏3之狀態。
尤其在本實施形態中，作為「焊膏3的位置資訊」，係使用在沿著刮板27的移動方向上遠離的位置所具有之一端側焊膏3a及另一端側焊膏3b的各位置偏移量a、b的差。因此，「焊膏3的位置資訊」係更容易掌握網遮罩26的變形或位置偏移的程度者，可進一步提高檢查精度。
再者，網遮罩檢查裝置60係在設置於具備依據位置偏移量a、b判定焊膏3的良否之焊料檢查部61的焊料印刷檢查裝置40時，基於被利用於藉由焊料檢查部61所進行的良否判定之位置偏移量a、b，可進行網遮罩26的檢查。因此，可謀求關於網遮罩26或焊膏3的檢查之處理的效率化。
又，基於「焊膏3的位置資訊」及「網開口261的位置資訊」，可判定網遮罩26本身的良否、及印刷時對網遮罩26造成影響之外部要因的良否。因此，可更正確地掌握網遮罩26不是處在可適當地印刷焊膏3的狀態之原因。其結果，可更容易地從被想到作為對印刷不良的對應處理之複數個方法(例如，網遮罩26的交換或印刷條件的變更等)中，選擇・決定適當的方法，而可更迅速地進行對應處理。
再者，本實施形態中，基於利用個別良否判定部56的判定結果，發送促進網遮罩26的交換之資訊、或促進對網遮罩26造成影響之印刷條件的變更之資訊。藉此，當判定出印刷時的網遮罩26不良時，作業者可提早正確地掌握應執行的對應處理。其結果，可更迅速地進行對應處理，可使生產效率提升。
此外，並不限定於上述實施形態的記載內容，例如亦可以如次方式實施。毫無疑問，以下未例示的其他應用例、變更例當然亦可實施。
(a)上述實施形態中，作為基於一端側焊膏3a的位置偏移量a及另一端側焊膏3b的位置偏移量b之資訊，雖舉出兩位置偏移量的差(b-a)，但基於兩位置偏移量a、b的資訊並不限定於此。因此，作為基於兩位置偏移量a、b的資訊，亦可使用各位置偏移量a、b的絕對值之和、或此等絕對值的平均值等。
又，作為「焊膏3的位置資訊」，亦可使用基於印刷基板1上之兩焊膏3a、3b以外的任意兩個焊膏3的位置偏移量之資訊(例如，任意兩個焊膏3之各者的位置偏移量的差)。此外，作為「焊膏3的位置資訊」，亦可使用基於關於任意一個焊膏3之位置偏移量的資訊。當然，亦可使用基於關於三個以上的焊膏3之位置偏移量的資訊。
再者，作為「焊膏3的位置資訊」，亦可構成為檢測顯示印刷基板1上之焊膏3彼此的距離之資訊。例如，如圖11所示，作為「焊膏3的位置資訊」，亦可構成為檢測沿著刮板27的移動方向之一端側焊膏3a及另一端側焊膏3b間的距離L(例如，各焊膏3a、3b的各中心間的距離)。在以此方式構成的情況，也可容易得到用以進行良否判定所需的位置資訊，並可謀求降低檢查處理的負擔。此外，亦可檢測與上述焊膏3a、3b不同的複數個焊膏3彼此的距離作為「焊膏3的位置資訊」。
又，上述實施形態中，作為用以算出位置偏移量a、b的「基準位置」，係可舉出設在印刷基板1上之焊盤2的中心(或重心)。對此，作為「基準位置」，亦可使用理想的(設計上的)焊膏3的印刷位置、印刷基板1之經選擇的任意位置(例如，附加於印刷基板1的外緣部之任意一邊或印刷基板1的標記、沿著刮板27的移動方向之印刷基板1的中心)等。
(b)上述實施形態中，作為「網開口261的位置資訊」，雖構成為檢測沿著刮板27的移動方向之關於一端側網開口261a的位置偏移量x、與關於另一端側網開口261b的位置偏移量y之差(y-x)，但「網開口261的位置資訊」並不限定於此。
因此，作為「網開口261的位置資訊」，亦可使用基於網遮罩26中之兩網開口261a、261b以外的任意兩個網開口261的位置偏移量之資訊(例如，任意兩個網開口261中的各位置偏移量的差)。又，作為「網開口261的位置資訊」，亦可使用基於一個或三個以上的網開口261的位置偏移量之資訊。
再者，作為「網開口261的位置資訊」，亦可構成為檢測顯示網遮罩26中之複數個網開口261彼此的距離之資訊。例如，作為「網開口261的位置資訊」，如圖12所示，亦可構成為檢測沿著刮板27的移動方向之一端側網開口261a及另一端側網開口261b間的距離M(例如，各網開口261a、261b的各中心間之距離)。當然，亦可檢測與上述網開口261a、26b不同的複數個網開口261彼此的距離，作為「網開口261的位置資訊」。
又，上述實施形態中，係以設計上之網開口261的中心(或重心)作為「遮罩基準位置」，來檢測「網開口261的位置資訊」。對此，亦可以網遮罩26之經選擇的任意位置(例如，網遮罩26的中心或附加於網遮罩26之既定標記)、保持網遮罩26之框架262的既定位置(例如，框架262的外緣部的任意一邊)等作為「遮罩基準位置」，來檢測「網開口261的位置資訊」。
此外，作為「網開口261的位置資訊」，亦可利用間接地顯示網開口261的位置之資訊。例如，作為「網開口261的位置資訊」，亦可利用附加於網遮罩26之任意兩個標記的間隔等。
此外，如上述實施形態所示，作為「網開口261的位置資訊」，較佳為使用具有沿著刮板27的移動方向的分量之資訊。於此情況，能夠得到移動之刮板27的影響已強烈反映出，且網遮罩26的變形程度更容易明確顯示之位置資訊。因此，能夠以更良好的精度檢查網遮罩26本身的良否。
(c)上述實施形態中，個別良否判定部56係構成為基於藉由使用時對應判定部53及非使用時對應判定部55之各自的判定結果，來判定網遮罩26本身的良否等。對此，個別良否判定部56亦可在不使用利用兩判定部53、55之判定結果的情況下，基於藉由焊料位置資訊檢測部52所得到之「焊膏3的位置資訊」及藉由開口位置資訊檢測部54所得到的「網開口261的位置資訊」，來判定網遮罩26本身的良否等。例如，亦可比較「焊膏3的位置資訊」及「網開口261的位置資訊」來進行良否判定。
(d)上述實施形態中，構成為在藉由個別良否判定部56判定出印刷時影響網遮罩26的外部要因是不良的情況下，在檢查用顯示裝置46中，發送(顯示)促進關於焊膏3的印刷之條件變更的資訊。
對此，在判定出印刷時影響網遮罩26的外部要因是不良的情況下，亦可設置自動地變更關於焊膏3的印刷的條件之功能。例如，在外部要因是不良的情況下，亦可設置將刮板壓或網遮罩26對印刷基板1的推抵力在一定的適當範圍內自動地調節之功能。於此情況，作業者不需要調節刮板壓等，可更加達成生產效率的提升。
(e)亦可構成為在藉由使用時對應判定部53未進行不良判定的狀態(亦即，網遮罩26係在可恰當地印刷焊膏3的狀態)，且「焊膏3的位置資訊」滿足了一定條件時，發送促進對網遮罩26造成影響之印刷條件的變更之資訊。於此情況，在網遮罩26無法恰當地印刷焊膏3的狀態之前，可事先變更印刷條件。因此，亦抑制不良品的印刷基板1的製造，可達成製造成本的降低。此外，亦可構成為在「焊膏3的位置資訊」已滿足了一定的條件時，自動地調節印刷條件。
(f)在上述實施形態中，印刷焊膏3時之刮板27的移動方向，亦可構成為在各印刷基板1中成為相同，但亦可按各印刷基板1，作成刮板27的移動方向適當地變化之構成。例如，亦可構成為在某印刷基板1印刷焊膏3時，刮板27在X軸方向移動，在下一個印刷基板1印刷焊膏3時，刮板27在Y軸方向移動。
1:印刷基板(基板) 3:焊膏 26:網遮罩 27:刮板 40:焊料印刷檢查裝置 52:焊料位置資訊檢測部(焊料位置資訊檢測手段) 53:使用時對應判定部(使用時對應判定手段) 54:開口位置資訊檢測部(開口位置資訊檢測手段) 56:個別良否判定部(個別良否判定手段) 60:網遮罩檢查裝置 261:網開口
圖1係印刷基板的平面示意圖。 圖2係顯示製造線的概略構成之方塊圖。 圖3係顯示焊料印刷機的概略構成之立體示意圖。 圖4係顯示焊料印刷機的概略構成之側面示意圖。 圖5係用以說明利用焊料印刷機的印刷動作之示意圖。 圖6係顯示焊料印刷檢查裝置等的電性構成之方塊圖。 圖7係顯示焊料印刷檢查裝置的概略構成之立體示意圖。 圖8係用以說明焊膏的位置資訊之印刷基板的平面示意圖。 圖9係用以說明網開口的位置資訊之網遮罩的平面示意圖。 圖10係顯示網遮罩的檢查方法之流程圖。 圖11係在其他的實施形態中，用以說明焊膏的位置資訊之印刷基板的平面示意圖。 圖12係在其他的實施形態中，用以說明網開口的位置資訊之網遮罩的平面示意圖。 圖13係用以說明習知技術之網遮罩的平面示意圖。 圖14係用以說明習知技術之印刷基板的平面示意圖。 圖15係用以說明習知技術之網遮罩的平面示意圖。 圖16係用以習知技術之印刷基板的平面示意圖。
1:印刷基板(基板)
2:焊盤
3,3a,3b:焊膏
7:基底基板
8:阻劑膜
a,b:位置偏移量

Claims (12)

  1. 一種網遮罩檢查裝置，其係檢查網遮罩，該網遮罩具有形成印刷圖案的網開口，且用於透過該網開口在基板上印刷焊膏， 其特徵為具備： 焊料位置資訊檢測手段，對印刷於基板上之焊膏的位置資訊進行檢測；及 使用時對應判定手段，基於藉由前述焊料位置資訊檢測手段所檢測出的位置資訊，進行關於印刷時之前述網遮罩的良否判定。
  2. 如請求項1之網遮罩檢查裝置，其中 前述焊料位置資訊檢測手段，係檢測基於實際上印刷的焊膏相對於既定的基準位置之位置偏移量之資訊，作為前述位置資訊。
  3. 如請求項2之網遮罩檢查裝置，其中 前述焊料位置資訊檢測手段，係檢測基於與位於沿著基板上之刮板的移動方向的一端之焊膏相關之沿著前述移動方向的前述位置偏移量、以及與位於沿著基板上的前述移動方向的另一端之焊膏相關之沿著前述移動方向的前述位置偏移量之資訊，作為前述位置資訊。
  4. 如請求項1之網遮罩檢查裝置，其中 前述焊料位置資訊檢測手段，係檢測顯示基板上之複數個焊膏彼此的距離之資訊作為前述位置資訊。
  5. 如請求項1之網遮罩檢查裝置，其具備； 開口位置資訊檢測手段，係檢測焊膏在非印刷時之前述網開口的位置資訊；及 個別良否判定手段，係基於藉前述焊料位置資訊檢測手段所檢測出之焊膏的位置資訊、及藉前述開口位置資訊檢測手段所檢測出之前述網開口的位置資訊，可判定前述網遮罩本身的良否、及印刷時對前述網遮罩造成影響之外部要因的良否。
  6. 如請求項5之網遮罩檢查裝置，其具備資訊發送手段，係基於藉由前述個別良否判定手段的判定結果，可發送促進前述網遮罩的交換之資訊、或促進對前述網遮罩造成影響之印刷條件的變更之資訊。
  7. 一種焊料印刷檢查裝置，其具有： 如請求項1至6中任一項之網遮罩檢查裝置；及 焊料檢查手段，檢查被印刷於基板上的焊膏。
  8. 一種網遮罩的檢查方法，其係使用於網遮罩的檢查，該網遮罩具有形成印刷圖案的網開口，且用於透過該網開口在基板上印刷焊膏， 其特徵為： 檢測被印刷於基板上之焊膏的位置資訊，並且基於該檢測結果，進行和印刷時的前述網遮罩相關的良否判定。
  9. 如請求項8之網遮罩的檢查方法，其中 檢測基於實際上印刷的焊膏相對於既定的基準位置之位置偏移量之資訊，作為前述位置資訊。
  10. 如請求項9之網遮罩的檢查方法，其中 作為前述位置資訊，係檢測基於和位於沿著基板上之刮板的移動方向的一端之焊膏相關之沿著前述移動方向的前述位置偏移量、以及和位於沿著基板上的前述移動方向的另一端之焊膏相關之沿著前述移動方向的前述位置偏移量之資訊。
  11. 如請求項8之網遮罩的檢查方法，其中 檢測顯示基板上之複數個焊膏彼此的距離之資訊，作為前述位置資訊。
  12. 如請求項8至11中任一項之網遮罩的檢查方法，其中 檢測焊膏在非印刷時之前述網開口的位置資訊， 基於焊膏的位置資訊及前述網開口的位置資訊，判定前述網遮罩本身的良否、及印刷時對前述網遮罩造成影響之外部要因的良否。
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