TW202019545A - 局部區域空氣淨化裝置 - Google Patents

Abstract

局部區域空氣淨化裝置(1)具備：排風罩(2)，具有吹出經淨化的均勻空氣氣流之空氣氣流開口面(23)；導板(3)，設置於排風罩(2)的空氣氣流開口面(23)側，從空氣氣流開口面(23)側朝均勻空氣氣流的下游側延伸且於下游側端部形成開口面(31)；以及第一層流產生裝置(41)，配置於導板(3)內，向與從空氣氣流開口面(23)吹出均勻空氣氣流的方向大致正交之方向吹出層流(41a)。第一層流產生裝置(41)藉由向大致正交的方向吹出之層流(41a)使導板(3)內產生之粉塵移動至導板(3)內的周緣，排風罩(2)藉由從空氣氣流開口面(23)吹出之均勻空氣氣流，將已由第一層流產生裝置(41)移動至導板(3)內的周緣之粉塵排出至導板(3)外。

Description

局部區域空氣淨化裝置

本發明係關於一種局部區域空氣淨化裝置。

以往，常常使用清洗台(clean bench)來作為提高局部區域的作業空間的空氣清淨度之裝置。普通的清洗台只在作業台的近前側的面形成作業用開口，除此以外的面被圍住以保持清淨度。這種清洗台係在該圍住的區域內配置有清淨空氣吹出口，而作業人員的手從靠近前側的作業用的開口伸入來進行作業。

然而，因清洗台的作業用的開口狹窄的緣故，作業人員在進行精密機械的組裝作業等的情形下，作業性存在問題。而且，在如生產線那樣將製品以及製造零件一併移動的情形下，雖然已採取如將整條生產線放入清淨室內等措施，但這會引起設備規模變大的問題。

因此，提出一種局部區域空氣淨化裝置(專利文獻1)，使能夠吹出經淨化的空氣的均勻流的一對排風罩(push hood)的空氣氣流開口面相對向配置，藉由使來自各空氣氣流開口面的空氣氣流碰撞，而使得一對排風罩間的區域成為相比其他區域具有高清淨度之清淨空氣空間。

而且，亦提出一種局部區域空氣淨化裝置(專利文獻2)，使一個排風罩的空氣氣流開口面與牆壁等空氣碰撞面相對向配置，藉由使來自空氣氣流開口面的空氣氣流碰撞空氣碰撞面，而使得排風罩與空氣碰撞面之間的區域成為相比其他區域具有高清淨度之清淨空氣空間。 [先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本特開2008-275266號公報。 專利文獻2：日本特開2013-068396號公報。

[發明所欲解決之課題]

因而，有些情況下當在上述清淨空氣空間內作業人員進行作業或使配置於清淨空氣空間之生產線作動時，會產生粉塵。以往的局部區域空氣淨化裝置藉由從空氣氣流開口面吹出之空氣氣流使所產生的粉塵移動至下游側(例如，與空氣氣流開口面相對向之空氣碰撞面側)，過了一會兒便能夠從清淨空氣空間排出。然而，於粉塵產生之同時在下游側進行作業的情形下亦有迅速地從作業空間排出的期望。

本發明係鑒於上述課題而完成，目的在於提供一種局部區域空氣淨化裝置，藉由將清淨空氣空間內因作業產生之粉塵移動至作業空間外，而能夠在實際作業中的作業空間中維持高清淨度。 [用以解決課題的手段]

為了達成上述目的，本發明的第一觀點的局部區域空氣淨化裝置具備：排風罩，具有吹出經淨化的均勻空氣氣流之空氣氣流開口面；以及導板，設置於前述排風罩的空氣氣流開口面側，從前述空氣氣流開口面側朝向前述均勻空氣氣流的下游側延伸且於下游側端部形成開口面；以從前述空氣氣流開口面吹出之經淨化的均勻空氣氣流於通過前述導板內之後於前述導板的前述開口面的下游側碰撞空氣碰撞面之方式配置前述排風罩，並且使前述導板的前述開口面與前述空氣碰撞面分隔並對向，藉此在前述導板的前述開口面與前述空氣碰撞面之間形成開放區域；從前述空氣氣流開口面吹出之經淨化的均勻空氣氣流碰撞前述空氣碰撞面而流出至前述開放區域外，藉此使得前述導板內以及前述開放區域內之清淨度比其他區域之清淨度還高清淨度；前述局部區域空氣淨化裝置進一步具備：第一層流產生裝置，配置於前述導板內較產生粉塵之位置靠下游側處，並向與從前述空氣氣流開口面吹出前述均勻空氣氣流的方向大致正交之方向吹出層流；前述第一層流產生裝置藉由向前述大致正交的方向吹出之層流使前述導板內產生之粉塵移動至前述導板內的周緣；前述排風罩藉由從前述空氣氣流開口面吹出的均勻空氣氣流將已由前述第一層流產生裝置移動至前述導板內的周緣之粉塵排出至前述導板外。

本發明的第二觀點的局部區域空氣淨化裝置具備：排風罩，具有吹出經淨化的均勻空氣氣流之空氣氣流開口面；以及導板，設置於前述排風罩的空氣氣流開口面側，從前述空氣氣流開口面側朝向前述均勻空氣氣流的下游側延伸且於下游側端部形成開口面；以從前述空氣氣流開口面吹出之經淨化的均勻空氣氣流通過前述導板內之後於前述導板的前述開口面的下游側碰撞空氣碰撞面之方式配置前述排風罩，並且使前述導板的前述開口面與前述空氣碰撞面分隔並對向，藉此在前述導板的前述開口面與前述空氣碰撞面之間形成開放區域；從前述空氣氣流開口面吹出之經淨化的均勻空氣氣流碰撞前述空氣碰撞面而流出至前述開放區域外，藉此使得前述導板內以及前述開放區域內之清淨度比其他區域之清淨度還高清淨度；前述局部區域空氣淨化裝置進一步具備：第一層流產生裝置，配置於前述導板內較產生粉塵之位置靠下游側處，並向與從前述空氣氣流開口面吹出前述均勻空氣氣流的方向大致正交之方向吹出層流；前述導板中於從前述第一層流產生裝置吹出之層流碰撞前述導板之位置處形成有孔穴；前述第一層流產生裝置向前述大致正交的方向吹出之層流，藉此將前述導板內產生之粉塵從前述孔穴排出至前述導板外。

第一觀點的局部區域空氣淨化裝置中，進一步具備：第二層流產生裝置，配置於前述導板內的周緣中之與從前述第一層流產生裝置吹出的層流碰撞到前述導板的位置相接近的位置處且較前述第一層流產生裝置靠下游側處，且與從前述空氣氣流開口面吹出前述均勻空氣氣流的方向大致平行地朝前述開口面吹出層流；前述第二層流產生裝置以比前述均勻空氣氣流的流速還快之流速前述大致平行地吹出層流；前述第二層流產生裝置藉由前述大致平行地吹出的層流將已由前述第一層流產生裝置移動至前述導板內的周緣之粉塵排出至前述導板外。

而且，第一觀點以及第二觀點的局部區域空氣淨化裝置中，前述第一層流產生裝置向前述大致正交的方向吹出之層流的流速為前述排風罩吹出之前述均勻空氣氣流的流速的三倍至二十五倍。

而且，第一觀點以及第二觀點的局部區域空氣淨化裝置中，前述第一層流產生裝置吸入前述均勻空氣氣流中之前述第一層流產生裝置的上游側的空氣。 [發明功效]

根據本發明，能夠提供一種局部區域空氣淨化裝置，藉由使在清淨空氣空間內中之因作業而產生之粉塵移動至作業空間外，而能夠在實際作業中的作業空間內維持高清淨度。

以下，參照圖1至圖15對本發明的局部區域空氣淨化裝置進行說明。

(實施形態1) 如圖1所示，本實施形態的局部區域空氣淨化裝置1具備：以與牆壁、分隔板等之空氣碰撞面W相對向的方式配置之排風罩2，設置於排風罩2之導板3以及配置於導板3內之第一層流產生裝置41。圖1係從側面觀察局部區域空氣淨化裝置1所得之圖。本實施形態以及以下所示的實施形態中，以於導板3內配置有工作臺(table)5且於前述工作臺5之上設置有作為產生粉塵之粉塵產生源的裝置6的情形為例，對局部區域空氣淨化裝置1進行說明。

圖1係顯示裝置6產生粉塵且第一層流產生裝置41未動作之狀態。圖1的箭頭(例如箭頭28)顯示從排風罩2吹出之均勻空氣氣流的流動。而且，箭頭的顏色顯示導板3內的污染程度。箭頭的顏色越深係顯示所在場所存在大量粉塵。圖1中，在與產生粉塵之裝置6相同程度的高度中，粉塵隨著均勻空氣氣流在導板內移動，導板內的清淨空氣空間被污染最嚴重。

此處提及的均勻空氣氣流及均勻流與林太郎所著之「工場換氣」(空氣調和、衛生工學會 1982年發行)中所記載的均勻流為相同的含義，係指均勻連續卻未產生大渦流部的微風速的流動。然而，本發明並不是提供嚴格規定空氣的流速及速度分佈之空氣吹出裝置。均勻空氣氣流較佳者為：在例如無障礙物的狀態下的速度分佈的差異相對於平均值而言為在±50%以內，更佳為在±30%以內。

排風罩2只要具有吹出經淨化的均勻空氣氣流之機構即可，能夠採用以往於推拉(push-pull)型換氣裝置中使用的排風罩作為基本構造且內設有清淨用過濾器的構造。

本實施形態的排風罩2係利用連結具將九個(縱向三個×橫向三個)排風罩2a以前述排風罩2a連結成使得空氣氣流開口面為相同方向且排風罩2a的短邊彼此、長邊彼此分別相鄰連結的方式排列在一起。圖2中顯示排風罩2a的構造。另外，其他已連結之排風罩2a的構造亦基本相同。

如圖2所示，排風罩2a的殼體21形成為大致長方體狀，在前述殼體21的一面上形成有空氣氣流吸入面22。空氣氣流吸入面22為例如由在殼體21的一整面形成有複數個孔穴的面所構成。於空氣氣流吸入面22處，從前述孔穴吸入排風罩2a的外部的周邊空氣之室外空氣或室內空氣。而且，在與殼體21中之與空氣氣流吸入面22相對向的另一面上形成有空氣吹出面(空氣氣流開口面)23。空氣氣流開口面23為例如由在殼體21的一整面上形成有複數個孔穴的面所構成。於空氣氣流開口面23處，於排風罩2a內所形成的清淨空氣的均勻空氣氣流係從該孔穴而被吹出至排風罩2a的外部。排風罩2a的空氣氣流開口面23的大小雖沒有特別限定，例如可為1050mm×850mm。

排風罩2係以空氣氣流開口面23為與牆壁等空氣碰撞面W相對向的方式配置。此處，關於空氣氣流開口面23為與空氣碰撞面W相對向時，排風罩2不限定空氣氣流開口面23為正對著空氣碰撞面W的狀態，例如，亦包含排風罩2的空氣氣流開口面23與空氣碰撞面W為稍微傾斜的狀態。關於排風罩2的空氣氣流開口面23與空氣碰撞面W間之傾斜度，較佳為空氣氣流開口面23與空氣碰撞面W所形成的角度在30°左右的範圍內。

於殼體21內配置有送風機構24、高性能過濾器25以及整流機構26。

送風機構24係配置於殼體21內的空氣氣流吸入面22側。送風機構24係由空氣吹出用的風扇等構成。送風機構24係從空氣氣流吸入面22引入作為排風罩2a的周邊空氣的室外空氣或室內空氣，並且從空氣氣流開口面23吹出空氣氣流。而且，送風機構24係以藉由控制風扇的吹出力使得從空氣氣流開口面23所吹出之空氣氣流的流速成為可變的方式而被形成。

高性能過濾器25係配置於送風機構24與整流機構26之間。高性能過濾器25係由用以過濾所引入的周邊空氣的HEPA過濾器(High Efficiency Particulate Air Filter；高效能微粒空氣過濾器)或ULPA過濾器(Ultra Low Penetration Air Filter；超低穿透性空氣過濾器)等符合清淨化等級的高性能過濾器所構成。高性能過濾器25係將藉由送風機構24引入的周邊空氣予以淨化成所期望的清淨化等級的清淨空氣。藉由高性能過濾器25淨化成所期望的清淨化等級之清淨空氣係藉由被送風機構24而被輸送至整流機構26。

整流機構26係配置於高性能過濾器25與空氣氣流開口面23之間。整流機構26具備未圖示的空氣阻力體，且由沖壓板(punching plate)或網構件等所形成。整流機構26係對於被從高性能過濾器25送風的相對於空氣氣流開口面23整體而言之通氣量具有偏向的送風空氣予以修正(整流)為相對於空氣氣流開口面23整體而言之通氣量成為無偏向的均勻化的空氣氣流(均勻空氣氣流)。藉由送風機構24將該整流後的均勻空氣氣流從空氣氣流開口面23整體吹出至排風罩2的外部。

而且，如圖2所示，排風罩2a較佳為於殼體21內的空氣氣流吸入面22與送風機構24之間配置預過濾器(prefilter)27。作為預過濾器27可列舉例如中性能過濾器。藉由於空氣氣流吸入面22與送風機構24之間配置預過濾器27，能夠去除經由空氣氣流吸入面22吸入至殼體21內部之周邊空氣所含的相對較大的粉塵，且能夠使容易產生堵塞等之高性能過濾器25的性能能長時間地維持著。

在如這樣所構成的排風罩2a中，藉由送風機構24引入之周邊空氣係藉由預過濾器27以及高性能過濾器25予以淨化為所期望的清淨化等級的清淨空氣。然後，經淨化的清淨空氣藉由整流機構26而被整流為均勻空氣氣流。這樣經淨化的均勻空氣氣流係從空氣氣流開口面23整體向著大致垂直於排風罩2a的空氣氣流開口面23之方向而被吹出至外部。

另外，從空氣氣流開口面23吹出的均勻空氣氣流的流速較佳為0.2m/s至0.7m/s。這是因為藉由以前述範圍的流速吹出時，均勻空氣氣流以擠出的方式在導板3內移動，且容易在導板3內維持均勻空氣氣流的狀態。

導板3的一端係設置於排風罩2的空氣氣流開口面23側。而且，導板3係設置於空氣氣流開口面23，且從該空氣氣流開口面23朝著所吹出的均勻空氣氣流的下游側延伸且以覆蓋空氣氣流開口面23的外周輪廓部的方式被形成。例如，於空氣氣流開口面23的形狀為四邊形時，導板3的剖面形狀延伸形成為コ字狀。藉由此種コ字狀的開放側與地面，朝均勻空氣氣流的吹出方向而含蓋外周輪廓部，且從前述外周輪廓部起平行於所吹出的均勻空氣氣流的流動而成為將氣流的周圍包圍成隧道狀的狀態。導板3係形成為前述導板3的另一端(開口面31)與空氣碰撞面W之間具有開放區域。另外，於空氣氣流開口面23的形狀為四邊形時，剖面形狀亦可不延伸形成為コ字狀而是延伸形成為ロ字狀。

導板3只要是能夠使從開口面31所吹出的空氣氣流維持在來自空氣氣流開口面23的經淨化的均勻空氣氣流的狀態，則能夠藉由任意的材料所形成。而且，導板3只要能夠維持來自空氣氣流開口面23的經淨化的均勻空氣氣流的狀態，則可不完全覆蓋均勻空氣氣流的周圍整體，例如可在一部分開鑿成孔穴，亦可形成有狹縫。

導板3係以開口面31與空氣碰撞面W相對向的方式配置。藉由以開口面31與空氣碰撞面W相對向的方式配置，使從開口面31吹出之空氣氣流與空氣碰撞面W碰撞。例如，於使開口面31正對著牆壁的情形下，當均勻空氣氣流碰撞空氣碰撞面W時，顯示出改變成大致垂直的流動方向的行為。藉由這樣流動，碰撞到空氣碰撞面W的空氣氣流向著所碰撞到的面的外側流出。結果，在從氣流所碰撞到的面到開口面31端部為止的區域中可獲得清淨空氣空間。

開口面31的形狀較佳為形成為與空氣氣流開口面23大致相同的形狀。這是因為藉由將開口面31與空氣氣流開口面23形成為大致相同的形狀，開口面31中容易維持從空氣氣流開口面23吹出之均勻空氣氣流的狀態。

如圖1所示，這樣構成的導板3從排風罩2的空氣氣流開口面23側朝均勻空氣氣流的下游側被設置(被安裝)，且以設置於前述導板3的下游側端部之開口面31與空氣碰撞面W相對向的方式配置。藉此，於開口面31與空氣碰撞面W之間形成開放區域。

第一層流產生裝置41朝向與從空氣氣流開口面23吹出均勻空氣氣流的方向大致正交之方向吹出層流。然後，第一層流產生裝置41藉由向大致正交的方向吹出之層流使導板3內產生之粉塵移動至導板3內的周緣。

圖3中係顯示第一層流產生裝置41吹出層流41a的樣子。

此處，大致正交係指吹出均勻空氣氣流的方向(箭頭28的方向)與吹出層流41a的方向大致形成約90°的角度，例如容許±10°左右的誤差。

而且，導板3內的周緣是與均勻空氣氣流的流動成垂直方向的面的周緣部側(上下左右端側)。例如，於導板3延伸形成為コ字狀的情形下，導板3內的周緣係導板3的內側的頂壁、導板3的內側的兩側面及地面。而且，於導板3延伸形成為ロ字狀的情形下，導板3內的周緣係指導板3的內側的頂壁、導板3的內側的側面以及導板3的內側的底部。

第一層流產生裝置41配置於導板3內產生粉塵之裝置6的下游側。第一層流產生裝置41藉由向上方吹出層流41a，將已由均勻空氣氣流流動的粉塵移動至導板3內的頂壁側。另外，期望第一層流產生裝置41接近產生粉塵之位置。

第一層流產生裝置41只要是能夠產生層流的裝置，則可採用任何裝置。如電風扇那樣會產生亂流而導致粉塵擴散的裝置是不適合的。

典型來說，採用橫流風扇(或線流風扇)來作為第一層流產生裝置41。如圖3所示，配置於工作臺5的下游側之橫流風扇係吸入均勻空氣氣流的下游側的空氣41b且吹出層流41a。第一層流產生裝置41係於吸入空氣41b之吸氣口具備沖孔板以及網狀過濾器。而且，第一層流產生裝置41於吹出層流41a之吹出口具備具有蜂窩構造之板狀構件。藉由於吹出口具備具有蜂窩構造之板狀構件，能夠降低層流41a的寬度方向的風速的偏差。

第一層流產生裝置41於吹出均勻空氣氣流的期間，一直吹出層流41a。第一層流產生裝置41向大致正交的方向吹出之層流41a的流速較佳為排風罩2所吹出之均勻空氣氣流的流速的三倍至二十五倍，更佳為五倍至二十倍，進而更佳為五倍至十五倍。

藉由將層流41a的流速設定於上述範圍內，於粉塵藉由均勻空氣氣流流動至下游側之前，能夠使粉塵移動至導板3的周緣。

而且，第一層流產生裝置41吹出的層流41a的厚度較佳為50mm至200mm。

藉由將層流41a的厚度設定於上述範圍內，能夠使粉塵移動至作業空間外。若是較上述範圍為薄的狀況下，則粉塵無法充分移動，且會使粉塵向下游側流動。而且，若是較上述範圍為厚的狀況下，則會對水平方向流動之均勻空氣氣流造成影響。

而且，第一層流產生裝置41吹出之層流41a的寬度較佳為因應粉塵產生源(裝置6)的寬度而變動，進而較佳為在粉塵產生源的寬度上至少加上約200mm的寬度。

藉由上述方式設定層流41a的寬度，能夠防止粉塵從產生粉塵的位置向下游側流動。另外，以流動於層流41a的旁邊的氣流覆蓋層流41a，且層流41a的背後側(下游側)的氣流一邊被均勻空氣氣流吸引，一邊與均勻空氣氣流合流。若粉塵產生源的寬度過寬，則背後側的氣流不會被均勻空氣氣流充分吸引。若未被充分地吸引，則例如於均勻空氣氣流為0.3m/s的情形下，背後側的氣流的中央的流速變為0.1m/s，在背後側的氣流的部分無法維持均勻空氣氣流。因此，第一層流產生裝置41吹出之層流41a的寬度必須設定為旁邊以及背後側的氣流能夠與均勻空氣氣流合流的寬度。

排風罩2藉由從空氣氣流開口面23吹出的均勻空氣氣流將已由第一層流產生裝置41移動至導板3內的周緣的粉塵排出至導板3外。

如圖3所示，移動至導板3的頂壁側之粉塵隨著均勻空氣氣流而沿著頂壁排出至導板3外。儘管導板3的頂壁側被污染，但能夠減小放置產生粉塵的裝置6之工作臺5的高度的污染程度。另外，於圖3的開放區域中，將均勻空氣氣流的箭頭記載為上方向，但不限於此，開放區域中之均勻空氣氣流亦被吹出至水平方向。

一般而言，較少在導板的頂壁、側面、地面附近的導板內的周緣進行作業，將這些以外的場所作為作業空間來進行作業。亦即，根據本實施形態，藉由使粉塵移動至不會妨礙作業的作業空間外，能夠在實際作業中的作業空間內維持高清淨度。

而且，本實施形態的局部區域空氣淨化裝置1並不吸入粉塵，而是藉由從第一層流產生裝置41所吹出的層流使粉塵移動至作業空間外。一般而言，與藉由抽吸來移動粉塵的情形相比，當粉塵藉由吹出的層流進行移動的情形時，能夠以較少的流量移動至遠處。藉此，根據本實施形態，能夠以較少的流量使粉塵移動至作業空間外，因此能夠減少將作業中所產生的粉塵予以排出所需的電力。

而且，於不具備第一層流產生裝置41的局部區域空氣淨化裝置中，在導板內產生粉塵(污染物(Contaminants))的狀況下，與將均勻空氣氣流的流速設定為0.2m/s的情形相比，已確認藉由將均勻空氣氣流的流速設為0.5m/s左右可迅速地排除粉塵。亦即，於未配置有第一層流產生裝置41的局部區域空氣淨化裝置中，為了迅速排除粉塵，必須加快均勻空氣氣流的流速。另一方面，本發明的局部區域空氣淨化裝置1中，能以均勻空氣氣流的流速0.3m/s迅速地排除粉塵。

不具備第一層流產生裝置41的局部區域空氣淨化裝置為了使粉塵從導板內迅速移動，必須將均勻空氣氣流的流速設定得快，但本實施形態的局部區域空氣淨化裝置1因藉由從第一層流產生裝置41吹出的層流使粉塵移動至作業空間外，故無需將均勻空氣氣流的流速設定得快。藉此，由於本實施形態的局部區域空氣淨化裝置1能夠將流速設定得慢，因此能夠抑制噪音值及消耗電力，並且能夠減少預過濾器27及高性能過濾器25的負荷。

另外，第一層流產生裝置41吹出的層流41a的方向不限於上方，只要能夠移動至導板內的周緣，則能夠為任何方向。

而且，第一層流產生裝置41可設為根據產生粉塵的時機來吹出層流41a之構成。例如，第一層流產生裝置41具備檢測粉塵的產生的功能，於粉塵數超過預定的第一閾值的情形下，第一層流產生裝置41可吹出層流41a。而且，於粉塵數低於預定的第二閾值的情形下，第一層流產生裝置41可停止層流41a的吹出。與一直吹出層流的情形相比，根據這種構成能夠以較少的電力來維持實際作業中的高清淨度。

上述實施形態中，雖以在配置於導板3內之工作臺5上設置產生粉塵之裝置6的情形為例對本發明進行了說明，例如，本發明亦能夠應用於在空氣氣流開口面23的下游側的地板上設置產生粉塵之裝置6的情形下，並不限定為在配置於導板3內之工作臺5上設置有裝置6的情形。

例如，於在地板上設置產生粉塵之裝置6的情形下，第一層流產生裝置41配置於較裝置6靠下游側處且裝置6的上方，亦可向下方吹出層流，使粉塵向地板方向移動。

上述實施形態中，雖以在導板3內設置作為產生粉塵之粉塵產生源的裝置6的情形為例對本發明進行了說明，但亦能夠應用於不具有粉塵產生源之局部區域空氣淨化裝置1。

而且，局部區域空氣淨化裝置並不限定於以排風罩2與空氣碰撞面W相對向的方式配置之局部區域空氣淨化裝置1，例如，亦可使用配置成一對排風罩2相對向且在各排風罩2分別設置有導板3之局部區域空氣淨化裝置1。

(實施形態2) 如圖4所示，本實施形態的局部區域空氣淨化裝置1具備：以與牆壁、分隔板等之空氣碰撞面W相對向的方式配置之排風罩2，設置於排風罩2之導板3以及配置於導板3內之第一層流產生裝置41。

本實施形態的排風罩2以及第一層流產生裝置41因具有與實施形態1的構造相同的構成，因而省略其說明。以下，對導板3中的與實施形態1不同的構成進行說明。

導板3中於從第一層流產生裝置41吹出之層流41a與導板3碰撞的位置處形成有孔穴。

期望孔穴的尺寸大於層流41a與未形成孔穴之狀態的導板3碰撞時的層流41a的碰撞面。

藉由形成上述尺寸的孔穴，能夠防止層流41a移動的粉塵與導板3內側碰撞而滯留在導板3內，且效率佳地排出至導板3外。

前述孔穴的形狀能夠採用圓形、矩形等各種形狀，但期望與第一層流產生裝置41吹出之層流41a的形狀類似。

例如，如圖4所示，於第一層流產生裝置41向上方吹出層流41a的情形下，於層流41a所碰撞之頂壁的位置處形成孔穴32。第一層流產生裝置41藉由向大致正交的方向吹出之層流41a將導板3內產生之粉塵從導板3的孔穴32排出。

根據本實施形態，因無需將粉塵移動至導板內的下游側而是迅速地將粉塵排出至導板外，故能夠防止下游側的污染。另外，本實施形態中，第一層流產生裝置41向大致正交的方向吹出之層流41a的流速較佳為排風罩2吹出之均勻空氣氣流的流速的三倍至二十五倍，更佳為五倍至二十倍，進而更佳為十五倍至二十倍。

(實施形態3) 如圖5所示，本實施形態的局部區域空氣淨化裝置1具備：以與牆壁、分隔板等之空氣碰撞面W相對向的方式配置之排風罩2，設置於排風罩2之導板3，配置於導板3內之第一層流產生裝置41以及配置於導板3內之第二層流產生裝置42。

本實施形態的排風罩2、導板3以及第一層流產生裝置41因具有與實施形態1的構造相同的構成，因而省略其說明。以下，對第二層流產生裝置42進行說明。

第二層流產生裝置42具有與第一層流產生裝置41相同的功能。第二層流產生裝置42配置於導板3內的周緣中之與從第一層流產生裝置41吹出的層流41a碰撞到導板3的位置相接近的位置處，且較第一層流產生裝置41靠下游側處。

第二層流產生裝置42係與從空氣氣流開口面23吹出均勻空氣氣流的方向大致平行地朝向開口面31吹出層流42a。

此處，大致平行係指吹出均勻空氣氣流的方向與吹出層流42a的方向大致形成約0°的角度，例如容許±10°左右的誤差。

而且，第二層流產生裝置42係以比均勻空氣氣流的流速還快的流速大致平行地吹出層流42a。例如，第二層流產生裝置42吹出之層流42a的流速只要有均勻空氣氣流的三十倍至四十倍左右即能夠於向作業空間擴散前將粉塵排出至導板3外。

典型來說，採用橫流風扇來作為第二層流產生裝置42。如圖5所示，配置於導板3的頂壁之橫流風扇吸入前述橫流風扇的下方的空氣42b且吹出層流42a。

這樣，第二層流產生裝置42藉由大致平行地吹出之層流42a將已由第一層流產生裝置41移動至導板3內的周緣的粉塵排出至導板3外。藉此，能夠縮短粉塵滯留於導板3內的時間。

根據本實施形態，即便不對導板施加變形亦能夠迅速地將粉塵排出至導板外，且能夠在實際作業中的作業空間內維持高清淨度。

而且，根據本實施形態，藉由從第二層流產生裝置吹出之快速的氣流所達成的吸引效果，能夠有效率地使粉塵移動至導板內的周緣，進而能夠防止粉塵掉落到較低的位置。

(實施形態4) 如圖6所示，本實施形態的局部區域空氣淨化裝置1具備：以與牆壁、分隔板等之空氣碰撞面W相對向的方式配置之排風罩2，設置於排風罩2之導板3以及配置於導板3內之第一層流產生裝置41。

本實施形態的排風罩2以及導板3因具有與實施形態1的構造相同的構成，因而省略其說明。以下，對第一層流產生裝置41進行說明。

典型來說，採用橫流風扇(或線流風扇)來作為第一層流產生裝置41。如圖6所示，配置於工作臺5的下游側之橫流風扇係吸入均勻空氣氣流的上游側的空氣41c且吹出層流41a。第一層流產生裝置41係於吸入空氣41c之吸氣口具備沖孔板以及網狀過濾器。而且，第一層流產生裝置41係於吹出層流41a之吹出口具備具有蜂窩構造之板狀構件。

本實施形態的局部區域空氣淨化裝置1實現與實施形態1的局部區域空氣淨化裝置1相同的效果，且在粉塵數的減少率方面，能夠獲得優於實施形態1的局部區域空氣流淨化裝置1的結果。

另外，具有本實施形態的第一層流產生裝置41的構成不限於圖6所顯示的態樣。本實施形態的第一層流產生裝置41能夠與實施形態2以及實施形態3的第一層流產生裝置41進行置換。 [實施例]

以下，顯示本發明的具體實施例以進一步詳細說明本發明。

(實施例1) 使用圖3的局部區域空氣淨化裝置1，在改變了距離以及高度的複數個測定位置處計測粉塵的個數。

圖7中係顯示實施例1中之局部區域空氣淨化裝置1的俯視圖。

局部區域空氣淨化裝置1的排風罩2係將寬度1050mm、長度850mm的排風罩2a以該排風罩2a的空氣氣流開口面為相同方向且排風罩2a的短邊彼此、長邊彼此分別相鄰連結的方式排列在一起(縱向三個×橫向三個的九個)而成，前述排風罩2的開口面31的尺寸係寬度為3150mm，高度為2570mm。於局部區域空氣淨化裝置1內，經淨化的均勻空氣氣流以流速0.3m/s流動，形成清淨空氣空間。

在均勻空氣氣流以這種方式流動的局部區域空氣淨化裝置1中，從設置於工作臺5上的裝置6產生5.0×10⁷ [個/m³ ]至6.7×10⁷ [個/m³ ]的大氣塵埃。裝置6藉由泵吹出大氣塵埃。工作臺5的高度為800mm。

而且，第一層流產生裝置41配置於與裝置6相接近的位置處且該裝置6的下游側處。圖7的平面中，第一層流產生裝置41的中心與裝置6的中心位於在x方向延伸的直線7上，各中心是在y方向距導板側面為900mm的位置。第一層流產生裝置41從上部以流速2.1m/s或4.6m/s吹出厚度(圖7的x方向)為55.7mm、寬度(圖7的y方向)為760mm的層流41a。

使用圖7及圖8來說明圖3的局部區域空氣淨化裝置1中之粉塵數的測定位置。

如圖7所示，將從直線7上均勻空氣氣流中之第一層流產生裝置41的上游側的端部到均勻空氣氣流的下游側的距離為1000mm、2000mm、3000mm、4000mm以及5000mm的地點設為x方向(以下，稱作「距離方向」)的測定位置。而且，將從直線7到y方向的距離為0mm、900mm以及1800mm的地點設為深度方向的測定位置。

圖8中係顯示局部區域空氣淨化裝置1的側視圖。於圖7所顯示的平面的各測定位置處，將距離地板的高度為400mm、800mm、1500mm以及2200mm的地點設為高度方向的測定位置。

根據以上，在距離方向五個、深度方向三個以及高度方向四個的合計六十個的測定位置處測定粉塵數[個/m³ ]。粉塵數[個/m³ ]的測定係使用PMS公司製造的LASAIR-II，測定各測定位置處的粒徑0.1μm的粉塵數[個/m³ ]。測定結果由表示ISO14644-1的清淨度的級別(class)顯示。表示清淨度的級別係基於粉塵的數量及粒徑而分為「級別1」至「級別9」。「級別1」係顯示已測定的粉塵數[個/m³ ]最少，因此，顯示清淨度最高。級別的數字每增加一，所測定的粉塵數[個/m³ ]增加一位，因此，顯示清淨度降低。一般而言，清潔室所需的級別為「級別5」以下。將測定結果顯示於表1。

[表1]

表1中，「向上風扇關閉」表示第一層流產生裝置41未吹出層流的情形。另外，因在深度0mm的地點中流速2.1m/s的條件較流速4.6m/s的條件獲得更好的結果，故在流速為4.6m/s時，不進行深度900mm、深度1800mm的位置處的測定。

如表1所示，確認到：於工作臺5的高度附近的800mm處，與未吹出層流的情形相比，流速2.1m/s的條件以及4.6m/s的條件均在產生粉塵的裝置6的下游側中使清淨度提高。亦即，確認到在產生粉塵的裝置6的下游側中能夠防止作業空間的污染。而且確認到：於高度2200mm、高度1500mm處，與未吹出層流的情形相比，流速2.1m/s的條件以及4.6m/s的條件均在產生粉塵的裝置6的下游側處粉塵數[個/m³ ]增加。亦即，確認到：在產生粉塵的裝置6的下游側中，粉塵移動至作業空間外的導板3頂壁側。而且確認到：於高度800mm、高度400mm處，流速2.1m/s的條件以及流速4.6m/s的條件均能夠在任一距離處為級別5以下的清淨度。另外，流速2.1m/s的條件獲得更好的結果。如實施例1般具有頂壁的情形下，若吹起的層流的流速快，由於引起反射而使粉塵擴散，因此認為流速2.1m/s的條件能獲得更好的結果。

(實施例2) 使用圖4所顯示的局部區域空氣淨化裝置1，對改變了距離以及高度的複數個測定位置處計測粉塵的個數。

局部區域空氣淨化裝置1的排風罩2以及清淨度的測定方法與實施例1相同。而且，與實施例1同樣地，均勻空氣氣流的流速為0.3m/s，第一層流產生裝置41產生之層流41a的流速為2.1m/s或4.6m/s。從裝置6產生之大氣塵埃的個數為3.3×10⁷ [個/m³ ]至4.0×10⁷ [個/m³ ]。

使用圖7以及圖9來說明圖4的局部區域空氣淨化裝置1中之粉塵數的測定位置。

平面的測定位置與實施例1(圖7)相同。圖9係顯示局部區域空氣淨化裝置1的側視圖。高度方向的測定位置亦與實施例1(圖8)相同。

此處，形成於導板3的孔穴32係設置於從第一層流產生裝置41吹出的層流41a碰撞導板3的位置處。詳細而言，將於垂直方向(圖8的導板3頂壁方向)通過距離方向(圖7的x方向)中之第一層流產生裝置41的上游側的端部的直線碰到導板3的頂壁的位置作為孔穴的起點。形成於導板3的孔穴32的形狀為矩形，且大小設為縱向(圖7的x方向)500mm、橫向(圖7的y方向)1000mm的尺寸。

根據以上，在距離方向五個、深度方向三個及高度方向四個的合計六十個的測定位置處測定粉塵數[個/m³ ]。與實施例1同樣地，測定結果由表示ISO14644-1的清淨度的級別顯示。將測定結果顯示於表2。

[表2]

如表2所示，確認到：於高度800mm、高度400mm處，與未吹出層流的情形相比，流速2.1m/s的條件以及4.6m/s的條件均在產生粉塵的裝置6的下游側中使清淨度提高。亦即，確認到在產生粉塵的裝置6的下游側中能夠防止作業空間的污染。而且確認到：即使於高度1500mm處，當流速為4.6m/s時，清淨度亦提高。而且確認：於高度2200mm處，流速2.1m/s的條件以及流速4.6m/s的條件均在產生粉塵的裝置6的下游側處粉塵數[個/m³ ]增加。亦即，確認到：在產生粉塵的裝置6的下游側中，粉塵移動至作業空間外的頂壁附近。而且確認到：於高度800mm、高度400mm處，流速2.1m/s的條件以及流速4.6m/s的條件均能夠在任一距離處為ISO14644-1的級別4以下的清淨度，但大致流速4.6m/s的條件可獲得更好的結果。而且確認到：於流速4.6m/s時，即使於高度1500mm處亦為級別5以下的清淨度。如實施例2於頂壁具有孔穴的情形下，確認吹起的層流的流速越快所獲得的結果越好。進而，若比較實施例1的流速2.1m/s的條件與實施例2的流速4.6m/s的條件，則確認到於高度800mm處，在實施例2的流速4.6m/s的條件下，級別3以下更多，且粉塵數[個/m³ ]更少。亦即，確認到可比實施例1更迅速地將粉塵排出至導板3外。

(實施例3) 使用圖5所顯示的局部區域空氣淨化裝置1，於改變了距離以及高度的複數個測定位置處計測粉塵的個數。

局部區域空氣淨化裝置1的排風罩2以及清淨度的測定方法與實施例1相同。而且，與實施例1同樣地，均勻空氣氣流的流速為0.3m/s，第一層流產生裝置41產生之層流41a的流速為2.1m/s或4.6m/s。從裝置6產生之大氣塵埃的個數為2.9×10⁷ [個/m³ ]至4.8×10⁷ [個/m³ ]。

而且，第二層流產生裝置42將厚度(圖7的x方向)55.7mm、寬度(圖7的y方向)760mm的層流42a以流速9.5m/s或11.5m/s朝導板的開口面31吹出。

使用圖7以及圖10來說明圖5的局部區域空氣淨化裝置1中之粉塵數的測定位置。

平面的測定位置與實施例1(圖7)相同。圖10係顯示局部區域空氣淨化裝置1的側視圖。高度方向的測定位置亦與實施例1(圖8)相同。

此處，第二層流產生裝置42配置於與從第一層流產生裝置41吹出的層流41a碰撞到導板3的位置相接近的位置處，且較第一層流產生裝置41靠下游側處。如圖10所示，配置有第二層流產生裝置42的距離方向的位置是從第一層流產生裝置41的上游側的端部向均勻空氣氣流的下游側方向的距離為1000mm的地點。而且，於圖7的平面中，第二層流產生裝置42的中心位於直線7上，該中心是在深度方向距導板3的側面900mm的位置。

根據以上，在距離方向五個、深度方向三個及高度方向四個的合計六十個的測定位置處測定粉塵數[個/m³ ]。與實施例1同樣地，測定結果由表示ISO14644-1的清淨度的級別顯示。將第二層流產生裝置42吹出的層流42a的流速為9.5m/s的情形的測定結果顯示於表3，將流速為11.5m/s的情形的測定結果顯示於表4。

[表3]

[表4]

另外，從第二層流產生裝置42吹出的層流42a的流速9.5m/s及流速11.5m/s的兩條件均為在深度0mm的地點，由於從第一層流產生裝置41吹出的層流41a的流速2.1m/s的條件比流速4.6m/s的條件獲得更好的結果，因此於流速4.6m/s時，未進行深度900mm、深度1800mm的測定。

如表3以及表4所示，確認到：於工作臺5的高度附近的800mm、400mm處，與未吹出層流的情形相比，流速2.1m/s的條件以及流速4.6m/s的條件均在產生粉塵的裝置6的下游側中使清淨度提高。亦即，確認到在產生粉塵的裝置6的下游側中能夠防止作業空間的污染。而且確認到：於高度2200mm、高度1500mm處，流速2.1m/s的條件以及流速4.6m/s的條件均在產生粉塵的裝置6的下游側處粉塵數[個/m³ ]增加。亦即，確認到：在產生粉塵的裝置6的下游側中，粉塵移動至作業空間外的導板3頂壁側。而且確認到：於高度800mm、高度400mm處，能夠在任一距離中為ISO14644-1的級別5以下的清淨度。進而，若比較實施例1與實施例3的11.5m/s的條件時，則確認到於高度800mm處在實施例3的11.5m/s的條件下，級別3以下更多且粉塵數[個/m³ ]更少。亦即，能確認到即便不對導板3施加開孔等的變形，亦能夠迅速地將粉塵排出至導板3外。

(實施例4) 圖5的局部區域空氣淨化裝置1中，改變第二層流產生裝置42的位置並於複數個測定位置處計測粉塵的個數。

局部區域空氣淨化裝置1的排風罩2以及清淨度的測定方法與實施例1相同。而且，與實施例1同樣地，均勻空氣氣流的流速為0.3m/s，第一層流產生裝置41產生之層流41a的流速為2.1m/s。從裝置6產生之大氣塵埃的個數為5.0×10⁷ [個/m³ ]至6.7×10⁷ [個/m³ ]。

而且，第二層流產生裝置42將厚度(圖7的x方向)55.7mm、寬度(圖7的y方向)760mm的層流42a以流速11.5m/s朝導板的開口面31吹出。

使用圖11A至圖11C來說明第二層流產生裝置42的位置。以第一層流產生裝置41為基準將第二層流產生裝置42配置於三種位置。如圖11A所示，第一種位置係將第二層流產生裝置42配置於距第一層流產生裝置41的上游側的端部為1000mm下游側。詳細而言，以從距第一層流產生裝置41的上游側的端部為1000mm下游側的位置起吹出第二層流產生裝置42的層流42a的方式配置。如圖11B所示，第二種位置係將第二層流產生裝置42配置於第一層流產生裝置41的正上方。詳細而言，以於距離方向(圖7的x方向)中第一層流產生裝置41的上游側的端部與第二層流產生裝置42的上游側的端部相同的方式配置。如圖11C所示，第三種位置係配置於距第一層流產生裝置41的上游側的端部為1000mm上游側。詳細而言，以從距第一層流產生裝置41的上游側的端部為1000mm上游側的位置起吹出第二層流產生裝置42的層流42a的方式配置。

圖11A至圖11C中，局部區域空氣淨化裝置1中之粉塵數[個/m³ ]的測定位置設為距離1000mm、深度0mm、高度400mm、800mm、1500mm以及2200 mm的地點。亦即，於第二層流產生裝置42的位置三個、距離方向一個、深度方向一個以及高度方向四個的合計十二個的測定位置處測定粉塵數[個/m³ ]。與實施例1同樣地，測定結果以表示ISO14644-1的清淨度的級別顯示。將測定結果顯示於表5。

另外，表5中，將圖11A所顯示的第二層流產生裝置42的位置定義為頂壁風扇位置＋1000mm，將圖11B所顯示的第二層流產生裝置42的位置定義為頂壁風扇位置0mm，將圖11C所顯示的第二層流產生裝置42的位置定義為頂壁風扇位置－1000mm。

[表5]

如表5所示，確認到：當於高度800mm、高度400mm處，第二層流產生裝置42配置於第一層流產生裝置41的下游側(圖11A)的情形時，顯示出最高清淨度。認為這是因為，配置於正上方(圖11B)以及上游側(圖11C)之第二層流產生裝置42的層流42a會沖走較第二層流產生裝置42更下方的粉塵。

(實施例5) 於具有不同吸入口的位置的第一層流產生裝置41的局部區域空氣淨化裝置1中計測出粉塵的個數。

圖12A至圖12C係局部區域空氣淨化裝置1的側視圖。圖12A至圖12C的局部區域空氣淨化裝置1的第一層流產生裝置41配置於與裝置6相接近的位置處且該裝置6的下游側處，第一層流產生裝置41的中心與裝置6的中心配置於同一直線上。圖12A的第一層流產生裝置41吸入下游側的空氣41b並吹出層流41a。圖12B的第一層流產生裝置41吸入上游側的空氣41c並吹出層流41a。圖12C的第一層流產生裝置41從地面吸入空氣41d並吹出層流41a。

圖12A至圖12C的局部區域空氣淨化裝置1的排風罩2以及粉塵數的測定方法與實施例1相同。均勻空氣氣流的流速為0.3m/s，從裝置6產生之大氣塵埃的個數為5.0×10⁷ [個/m³ ]至6.7×10⁷ [個/m³ ]。

關於圖12A至圖12C的局部區域空氣淨化裝置1中之粉塵的測定位置係將均勻空氣氣流中之第一層流產生裝置41的下游側的端部到往均勻空氣氣流的下游側的距離為1000mm，距地板的高度為800mm且通過第一層流產生裝置41以及裝置6的中心的直線上的位置設為測定位置。

於上述測定位置中，測定出圖12A至圖12C的第一層流產生裝置41的吹出口尺寸為25mm、50mm以及100mm，且吹出風速為1m/s至6m/s的情形下的粉塵數。與實施例1同樣地，測定結果由表示ISO14644-1的清淨度的級別顯示。將測定結果顯示於表6。

[表6]

表6中，「關閉」表示第一層流產生裝置41未吹出層流的情形，「打開」表示第一層流產生裝置41正吹出層流的情形。如表6所示，確認到：與未吹出層流的情形相比，於下游側吸氣(圖12A)、上游側吸氣(圖12B)、地板面吸氣(圖12C)的條件中之上游側吸氣(圖12B)的條件下清淨度得到最大提高。而且確認到：於吸氣的位置為上游側吸氣(圖12B)的條件下，與未吹出層流的情形相比，吹出口尺寸為25mm、50mm、100mm中之50mm的情形下清淨度得到最大提高。亦即，確認到吹出口尺寸最佳為50mm。而且確認到：於吸氣的位置為上游側吸氣、吹出口尺寸為50mm且吹出風速為4m/s的條件下，清淨度最高。

(實施例6) 使用具備吸入口位於上游側的第一層流產生裝置41之局部區域空氣淨化裝置1，於改變了距離以及高度的複數個測定位置處計測粉塵的個數。

圖13是具備吸入口位於上游側的第一層流產生裝置41之局部區域空氣淨化裝置1的側視圖。

圖13的局部區域空氣淨化裝置1的排風罩2以及粉塵數的測定方法與實施例1相同。均勻空氣氣流的流速為0.3m/s，從裝置6產生之大氣塵埃的個數為5.0×10⁷ [個/m³ ]至6.7×10⁷ [個/m³ ]。

如圖13所示，將從第一層流產生裝置41的下游側的端部向均勻空氣氣流的下游側的距離為1000mm、2000mm、3000mm，距地板的高度為800mm、1200mm，且通過第一層流產生裝置41以及裝置6的中心的直線上的位置設為測定位置。

於上述測定位置處，測定圖13的第一層流產生裝置41的吹出口尺寸為50mm、吹出風速為2m/s至4m/s的情形下的粉塵數。與實施例1同樣地，測定結果由表示ISO14644-1的清淨度的級別顯示。將測定結果顯示於表7。

[表7]

表7中，「關閉」表示第一層流產生裝置41未吹出層流的情形，「打開」表示第一層流產生裝置41吹出層流的情形。如表7所示，確認到：於高度800mm、高度1200mm處，較風速為2m/s、3m/s的條件，風速為4m/s的條件與未吹出層流的情形相比，清淨度有所提高。亦即，確認到第一層流產生裝置41的吹出風速較佳為4m/s。

(實施例7) 測定第一層流產生裝置41吹出層流時的局部區域空氣淨化裝置1內的風速。

圖14A、圖14B、圖15A、圖15B的局部區域空氣淨化裝置1的排風罩2係將橫向1050mm、縱向850mm的排風罩2a以該排風罩2a的空氣氣流開口面為相同方向且排風罩2a的短邊彼此、長邊彼此分別相鄰連結的方式排列(縱向三個×橫向五個的十五個)而成，前述排風罩2的開口面31的尺寸係寬度5250mm、高度2570mm。從排風罩2吹出的均勻空氣氣流以流速0.3m/s流動且形成有清淨空氣空間。

圖14A、圖14B係顯示第一層流產生裝置41向上吹出層流41a的情形下的局部區域空氣淨化裝置1的俯視圖以及側視圖，圖15A、圖15B係顯示第一層流產生裝置41向橫向(y方向)吹出層流41a的情形下的局部區域空氣淨化裝置1的俯視圖以及側視圖。

工作臺5位於局部區域空氣淨化裝置1的y方向的中心，將圖14A、圖14B、圖15A以及圖15B的第一層流產生裝置41配置於與工作臺5接近的位置處且該工作臺5的下游側處。如圖14A、圖14B所示，向上吹出層流的第一層流產生裝置41的中心與工作臺5的中心位於直線8上。而且，如圖15A、圖15B所示，橫向吹出層流的第一層流產生裝置41位於工作臺5的下游側的端部。

於向上吹出層流的第一層流產生裝置41的情形下，如圖14A所示，將從均勻空氣氣流中之第一層流產生裝置41的下游側的端部向均勻空氣氣流的下游側(x方向)的距離為1000mm、2000mm、3000mm的地點設為距離方向的測定位置。而且，將從直線8向y方向的距離為-400mm、0mm、+400mm的地點設為深度方向的測定位置。而且，如圖14B所示，將距地板的高度為400mm、800mm、1200mm、1600mm的地點設為高度方向的測定位置。

於橫向吹出層流的第一層流產生裝置41的情形下，如圖15A所示，將從均勻空氣氣流中之第一層流產生裝置41的下游側的端部向均勻空氣氣流的下游側(x方向)的距離為1000mm、2000mm、3000mm的地點設為距離方向的測定位置。而且，將從第一層流產生裝置41的吹出口向y方向的距離為0mm、400mm、800mm、1200mm的地點設為深度方向的測定位置。而且，如圖15B所示，將距地板的高度為400mm、800mm、1200mm的地點設為高度方向的測定位置。

於上述測定位置處，測定出風速[m/s]。將向上吹出層流的第一層流產生裝置41的情形的測定結果顯示於表8，將橫向吹出層流的第一層流產生裝置41的情形的測定結果顯示於表9。

[表8]

[表9]

表8中，「向上氣流打開」表示第一層流產生裝置41向上吹出層流的情形，「向上氣流關閉」表示第一層流產生裝置41未吹出層流的情形。如表8所示，確認到在「向上氣流打開」的條件以及「向上氣流關閉」的條件下，風速分佈分別為±50%以內。而且，確認到在「向上氣流打開」的條件與「向上氣流關閉」的條件下，氣流的分佈幾乎沒有差異。

表9中，「橫向氣流打開」表示第一層流產生裝置41橫向吹出層流的情形，「橫向氣流關閉」表示第一層流產生裝置41未吹出層流的情形。如表9所示，確認到在「橫向氣流打開」的條件及「橫向氣流關閉」的條件下，風速分佈分別為±50%以內。而且，確認到在「橫向氣流打開」的條件與「橫向氣流關閉」的條件下，氣流的分佈幾乎沒有差異。

如表8、表9所示，確認第一層流產生裝置41的層流的方向以及有無層流均不會影響風速分佈。亦即，確認第一層流產生裝置41吹出的層流不會影響均勻空氣氣流的流動。

另外，本發明只要在不脫離本發明的廣義主旨以及範圍，即能進行各種實施形態以及變化。而且，前述實施形態用於說明本發明，而非用以限定本發明的範圍。亦即，本發明的範圍並非由實施形態表示，而是由申請專利範圍表示。而且，在申請專利範圍內以及與申請專利範圍同等的發明的意義的範圍內所實施的各種變化亦視為本發明的範圍內。

本發明係依據2018年8月24日於日本特許廳所提出之日本專利申請特願2018-157443號。本說明書係參照日本專利申請特願2018-157443號的說明書、申請專利範圍以及圖式整體並援用於此。 (產業可利用性)

根據本發明，能提供一種局部區域空氣淨化裝置，藉由使在清淨空氣空間內中之因作業而產生之粉塵移動至作業空間外，而能夠在實際作業中的作業空間內維持高清淨度。

1:局部區域空氣淨化裝置 2、2a:排風罩 3:導板 5:工作臺 6:裝置 7、8:直線 21:殼體 22:空氣氣流吸入面 23:空氣吹出面(空氣氣流開口面) 24:送風機構 25:高性能過濾器 26:整流機構 27:預過濾器 28:箭頭 31:開口面 32:孔穴 41:第一層流產生裝置 41a:層流 41b、41c、41d:空氣 42:第二層流產生裝置 42a:層流 42b:空氣 W:空氣碰撞面 x、y:方向

圖1係顯示實施形態1的局部區域空氣淨化裝置的一例之圖。 圖2係顯示排風罩的構造之圖。 圖3係顯示實施形態1的局部區域空氣淨化裝置的一例之圖。 圖4係顯示實施形態2的局部區域空氣淨化裝置的一例之圖。 圖5係顯示實施形態3的局部區域空氣淨化裝置的一例之圖。 圖6係顯示實施形態4的局部區域空氣淨化裝置的一例之圖。 圖7係實施例1至實施例3的局部區域空氣淨化裝置之俯視圖。 圖8係實施例1的局部區域空氣淨化裝置之側視圖。 圖9係實施例2的局部區域空氣淨化裝置之側視圖。 圖10係實施例3的局部區域空氣淨化裝置之側視圖。 圖11A係實施例4的局部區域空氣淨化裝置之側視圖。 圖11B是實施例4的局部區域空氣淨化裝置之側視圖。 圖11C是實施例4的局部區域空氣淨化裝置之側視圖。 圖12A係實施例5的局部區域空氣淨化裝置之側視圖。 圖12B係實施例5的局部區域空氣淨化裝置之側視圖。 圖12C係實施例5的局部區域空氣淨化裝置之側視圖。 圖13係實施例6的局部區域空氣淨化裝置之側視圖。 圖14A係實施例7的局部區域空氣淨化裝置之俯視圖。 圖14B係實施例7的局部區域空氣淨化裝置之側視圖。 圖15A係實施例7的局部區域空氣淨化裝置之俯視圖。 圖15B係實施例7的局部區域空氣淨化裝置之側視圖。

1:局部區域空氣淨化裝置

2:排風罩

3:導板

5:工作臺

6:裝置

23:空氣吹出面(空氣氣流開口面)

31:開口面

41:第一層流產生裝置

41a:層流

41b:空氣

W:空氣碰撞面

Claims (5)

1. 一種局部區域空氣淨化裝置，具備： 排風罩，具有吹出經淨化的均勻空氣氣流之空氣氣流開口面；以及 導板，設置於前述排風罩的空氣氣流開口面側，從前述空氣氣流開口面側朝向前述均勻空氣氣流的下游側延伸且於下游側端部形成開口面； 以從前述空氣氣流開口面吹出之經淨化的均勻空氣氣流於通過前述導板內之後於前述導板的前述開口面的下游側碰撞空氣碰撞面之方式配置前述排風罩，並且使前述導板的前述開口面與前述空氣碰撞面分隔並對向，藉此在前述導板的前述開口面與前述空氣碰撞面之間形成開放區域； 從前述空氣氣流開口面吹出之經淨化的均勻空氣氣流碰撞前述空氣碰撞面而流出至前述開放區域外，藉此使得前述導板內以及前述開放區域內之清淨度比其他區域之清淨度還高清淨度； 前述局部區域空氣淨化裝置進一步具備：第一層流產生裝置，配置於前述導板內較產生粉塵之位置靠下游側處，並向與從前述空氣氣流開口面吹出前述均勻空氣氣流的方向大致正交之方向吹出層流； 前述第一層流產生裝置藉由向前述大致正交的方向吹出之層流使前述導板內產生之粉塵移動至前述導板內的周緣； 前述排風罩藉由從前述空氣氣流開口面吹出的均勻空氣氣流將已由前述第一層流產生裝置移動至前述導板內的周緣之粉塵排出至前述導板外。
2. 如請求項1所記載之局部區域空氣淨化裝置，其中進一步具備：第二層流產生裝置，配置於前述導板內的周緣中之與從前述第一層流產生裝置吹出的層流碰撞到前述導板的位置相接近的位置處且較前述第一層流產生裝置靠下游側處，且與從前述空氣氣流開口面吹出前述均勻空氣氣流的方向大致平行地朝前述開口面吹出層流； 前述第二層流產生裝置以比前述均勻空氣氣流的流速還快之流速前述大致平行地吹出層流； 前述第二層流產生裝置藉由前述大致平行地吹出的層流將已由前述第一層流產生裝置移動至前述導板內的周緣之粉塵排出至前述導板外。
3. 一種局部區域空氣淨化裝置，具備： 排風罩，具有吹出經淨化的均勻空氣氣流之空氣氣流開口面；以及 導板，設置於前述排風罩的空氣氣流開口面側，從前述空氣氣流開口面側朝向前述均勻空氣氣流的下游側延伸且於下游側端部形成開口面； 以從前述空氣氣流開口面吹出之經淨化的均勻空氣氣流通過前述導板內之後於前述導板的前述開口面的下游側碰撞空氣碰撞面之方式配置前述排風罩，並且使前述導板的前述開口面與前述空氣碰撞面分隔並對向，藉此在前述導板的前述開口面與前述空氣碰撞面之間形成開放區域； 從前述空氣氣流開口面吹出之經淨化的均勻空氣氣流碰撞前述空氣碰撞面而流出至前述開放區域外，藉此使得前述導板內以及前述開放區域內之清淨度比其他區域之清淨度還高清淨度； 前述局部區域空氣淨化裝置進一步具備：第一層流產生裝置，配置於前述導板內較產生粉塵之位置靠下游側處，並向與從前述空氣氣流開口面吹出前述均勻空氣氣流的方向大致正交之方向吹出層流； 前述導板中於從前述第一層流產生裝置吹出之層流碰撞前述導板之位置處形成有孔穴； 前述第一層流產生裝置向前述大致正交的方向吹出之層流，藉此將前述導板內產生之粉塵從前述孔穴排出至前述導板外。
4. 如請求項1至3中任一項所記載之局部區域空氣淨化裝置，其中前述第一層流產生裝置向前述大致正交的方向吹出之層流的流速為前述排風罩吹出之前述均勻空氣氣流的流速的三倍至二十五倍。
5. 如請求項1至3中任一項所記載之局部區域空氣淨化裝置，其中前述第一層流產生裝置吸入前述均勻空氣氣流中之前述第一層流產生裝置的上游側的空氣。

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