TW201534904A - 外觀檢查裝置 - Google Patents

Abstract

提供一種外觀檢査裝置，係抑制對於電子零件的檢査面的照明環境之不一致，而進行外觀檢査。 藉由照明手段(31、31a、32、32a)照亮電子零件(13)的側面(11、11a、12、12a)亦即檢査面，並藉由攝像手段(14、14a)予以拍攝而進行外觀檢査之外觀檢査裝置(10)，其中，照明手段(31、31a、32、32a)具備分光鏡(33、33a、34、34a)，其和檢査面相向配置，配置於檢査面與照明手段(14、14a)之間，使照明手段(31、31a、32、32a)照射之光的一部分穿透而送至檢査面，並將在檢査面反射之光的一部分予以反射，而將檢査面的外觀納入前述攝像手段(14、14a)的圖像中，照明手段(31、31a、32、32a)照射之光係擴散，而入射至分光鏡(33、33a、34、34a)。

Description

外觀檢查裝置

本發明係有關檢查電子零件的外觀之外觀檢査裝置。

裸晶(bare chip)或CSP(Chip Sizc Package，晶片尺寸構裝)等各種電子零件，會被檢查有無缺損或瑕疪等之後才出貨。該檢査是依據拍攝電子零件的外觀而得之圖像來進行，其具體例如專利文獻1、2所記載。

專利文獻1中揭示一種裝置，係利用複數個鏡來改變光的行進方向，並以攝像手段(相機)拍攝被照明照亮的電子零件(半導體元件)的側部的外觀。

專利文獻2中揭示一種裝置，係藉由並排成球面狀之複數個照明，穿透半反射鏡而照亮電子零件(被檢査物)的表面，並以攝像手段拍攝被半反射鏡反射之來自電子零件的反射光。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2003-254726號公報

[專利文獻2]日本特開平10-185832號公報

此處，電子零件的作為外觀檢査對象之檢査面的照明環境，若依不同的電子零件而有不一致，那麼外觀檢査的精度會降低。

因此，為了提升外觀檢査的精度，抑制對於檢査面的照明環境之不一致相當重要。

本發明係有鑑於此一事態而研發，目的在於提供一種外觀檢査裝置，係抑制對於電子零件的檢査面的照明環境之不一致，而進行外觀檢査。

符合前述目的之第1發明之外觀檢査裝置，係藉由照明手段照亮電子零件的側面亦即檢査面，並藉由攝像手段予以拍攝而進行外觀檢査之外觀檢査裝置，其中，前述照明手段，和前述檢査面相向配置，具備分光鏡，其配置於前述檢査面與前述照明手段之間，使前述照明手段照射之光的一部分穿透而送至前述檢査面，並將在該檢査面反射之光的一部分予以反射，而將前述檢査面的 外觀納入前述攝像手段的圖像中，前述照明手段照射之光係擴散，而入射至前述分光鏡。

第1發明之外觀檢査裝置中，較佳是，前述檢査面與前述照明手段之距離未滿30mm。

符合前述目的之第2發明之外觀檢査裝置，係藉由照明手段照亮電子零件的側面亦即檢査面，並藉由攝像手段予以拍攝而進行外觀檢査之外觀檢査裝置，其中，具備：擴散手段，和前述檢査面相向配置，將前述照明手段照射之光予以擴散；及分光鏡，配置於前述檢査面與前述擴散手段之間，使前述擴散手段擴散之光的一部分穿透而送至前述檢査面，並將在該檢査面反射之光的一部分予以反射，而將前述檢査面的外觀納入前述攝像手段的圖像中。

第2發明之外觀檢査裝置中，較佳是，前述檢査面與前述擴散手段之距離未滿30mm。

第1、第2發明之外觀檢査裝置中，較佳是，在維持以配置於目標角度位置之前述檢査面為基礎而進行之前述照明手段的亮度、及對於前述檢査面之前述照明手段的配置之各種調整之狀態下，還進行對於前述目標角度位置而言呈傾斜之前述檢査面的外觀檢査。

第1、第2發明之外觀檢査裝置中，較佳是，具備和前述檢査面以外的面S相接而保持前述電子零件之支撐構件，前述電子零件係以前述面S為基準而被定位。

第1、第2發明之外觀檢査裝置中，較佳是， 更具備將被送至前述攝像手段之光的一部分予以遮蔽之遮光體。

第1、第2發明之外觀檢査裝置中，較佳是，前述遮光體遮蔽入射至前述分光鏡之光的一部分。

第1、第2發明之外觀檢査裝置中，較佳是，前述遮光體配置於前述分光鏡與前述攝像手段之間。

第1、第2發明之外觀檢査裝置中，較佳是，具備遮光手段，其將從前述照明手段照射，而在前述檢査面的面前被前述分光鏡反射之光的進行予以遮蔽。

第1、第2發明之外觀檢査裝置中，較佳是，前述分光鏡，具備被結合的2個三角稜鏡。

第1、第2發明之外觀檢査裝置中，較佳是，前述照明手段的發光部的寬幅方向的長度，比前述檢査面的寬幅方向的長度還長。

第1發明之外觀檢査裝置，其照明手段係和電子零件的側面亦即檢査面相向配置，照明手段照射之光係擴散而入射至分光鏡，被送至檢査面。此外，第2發明之外觀檢査裝置，其將照明手段照射的光予以擴散之擴散手段，係和檢査面相向配置，被擴散手段擴散之光係入射至分光鏡而被送至電子零件的檢査面。

是故，第1、第2發明之外觀檢査裝置，能夠將相對於電子零件的檢査面而言以各種角度行進的光送至電子零 件的檢査面，故可在抑制對於電子零件的檢査面之照明環境不一致的狀態下，進行外觀檢査。

10‧‧‧外觀檢査裝置

11、11a、12、12a‧‧‧側面

13‧‧‧電子零件

14、14a‧‧‧攝像手段

15‧‧‧支撐構件

16‧‧‧圓形板

17‧‧‧旋轉軸

18‧‧‧伺服電動機

19‧‧‧導引機構

20‧‧‧表面

21‧‧‧晶圓

22‧‧‧晶圓環

23‧‧‧支撐機構

24‧‧‧銷

25‧‧‧噴嘴

26‧‧‧旋轉機構

27‧‧‧伺服電動機

28‧‧‧水平軸

29‧‧‧背面

31、31a、32、32a‧‧‧照明手段

33、33a、34、34a‧‧‧分光鏡

35、36‧‧‧三角稜鏡

37‧‧‧分割部

38‧‧‧稜鏡

39、39a、40‧‧‧遮光板

42‧‧‧圖像

43‧‧‧遮光部

44‧‧‧分類器

45‧‧‧捆紮單元

51、51a‧‧‧照明手段

52、52a‧‧‧壓克力板

[圖1]本發明一實施形態之外觀檢査裝置俯視圖。

[圖2]電子零件的授受示意說明圖。

[圖3]第1檢査位置中的電子零件的外觀檢査情形示意說明圖。

[圖4]第2檢査位置中的電子零件的外觀檢査情形示意說明圖。

[圖5]從照明手段照射之光的光路示意說明圖。

[圖6]攝像手段拍攝之圖像說明圖。

[圖7]變形例之外觀檢査裝置說明圖。

接下來，參照所附圖面，說明將本發明予以具體化之實施形態，以供理解本發明。如圖1~圖4所示，本發明一實施形態之外觀檢査裝置10，係將電子零件13的側面11、11a、12、12a以照明手段31、31a、32、32a分別照亮，並藉由攝像手段14、14a拍攝而進行外觀檢査之裝置。以下詳細說明之。

外觀檢査裝置10，如圖1、圖2所示，具備圓形板16，其於圓周方向以規定間距裝配有可保持電子 零件13之複數個支撐構件15。被水平配置之圓形板16，係透過連結至中央的旋轉軸17，從未圖示之伺服電動機被賦予驅動力，以旋轉軸17為中心而間歇性地旋轉規定角度(本實施形態中為45°)。藉由該圓形板16的規定角度的旋轉，各支撐構件15會進行和支撐構件15的配置間距相同距離之移動並暫時停止。

在支撐構件15暫時停止之各個位置，如圖1、圖2所示，於支撐構件15的上方，藉由未圖示之支撐體保持著伺服電動機18。各伺服電動機18係被固定，不會隨著圓形板16的旋轉而移動。

各支撐構件15，如圖2所示，係可升降地裝配於導引機構19，從各伺服電動機18透過未圖示之動力傳遞機構被賦予驅動力，而個別地升降。本實施形態中，係於支撐構件15採用噴嘴，其藉由真空壓來吸附電子零件13的表面20(檢査面以外的面S)而保持電子零件13，並藉由真空破壞(vacuum break)來解除保持電子零件13之狀態。另，使支撐構件15升降之驅動源，當然並不限定於伺服電動機。

此外，在圓形板16的鄰近，係藉由晶圓環(wafer ring)22而固定著並排有複數個電子零件13之晶圓21。晶圓21，藉由保持晶圓環22之支撐機構23的動作，而和晶圓環22一起移動。

在配置複數個電子零件13的面係呈鉛直配置之晶圓21的後側，設有可於水平方向進退之銷24，支撐機構23 係對晶圓21做位置調整，而將欲從晶圓21取下之電子零件13配置於銷24的前方。被配置於銷24的前方之電子零件13，以下亦稱為取出對象之電子零件13。

在固定於晶圓環22之晶圓21的鄰近，設有具備複數個噴嘴25之旋轉機構26。旋轉機構26，被固定於連結至伺服電動機27之水平軸28，透過水平軸28從伺服電動機27被賦予驅動力，而間歇性地以規定角度旋轉，以使各噴嘴25依序和取出對象之電子零件13相向配置。

各噴嘴25，能夠藉由真空壓來吸附電子零件13的背面29而保持電子零件13，並藉由真空破壞來解除保持電子零件13之狀態。

銷24，係前進而與晶圓21接觸，並藉由進一步前進，使取出對象之電子零件13靠近而接觸和該電子零件13相向配置之噴嘴25。背面29接觸了噴嘴25之電子零件13，係藉由噴嘴25而被吸附，而從晶圓21被取下。

吸附保持電子零件13之噴嘴25，藉由旋轉機構26的旋轉而移動，將保持住的電子零件13配置於支撐構件15的下方位置。

被配置於支撐構件15的下方位置之電子零件13，藉由因伺服電動機18(圖1中省略此伺服電動機18之記載)的動作而下降之支撐構件15，表面20被吸附保持，並藉由以噴嘴25解除電子零件13的保持狀態，而完 成電子零件13從噴嘴25至支撐構件15之授受。其後，支撐構件15藉由伺服電動機18的動作而上昇，並藉由圓形板16的規定角度旋轉而和電子零件13一起移動。

電子零件13的側面11、11a、12、12a，於寬幅方向(與電子零件13的厚度方向正交之寬幅方向)較長，支撐構件15如圖1所示，使該寬幅方向較長之側面11、11a沿著圓形板16的旋轉方向，並將同樣地寬幅方向較長之側面12、12a，以側面12配置於側面12a的下游側之狀態，來保持電子零件13。將電子零件13像這樣配置的原因是，容易設計在外觀檢査的前工程或後工程對電子零件13進行處理之各機構。本實施形態中，側面11被配置於圓形板16的半徑方向外側，側面11a被配置於半徑方向內側。

本實施形態中，電子零件13為俯視正方形，但藉由外觀檢査裝置10而受到外觀檢査之電子零件，亦可為俯視矩形或其他形狀，亦可為從側面延伸有引線(lead wire)之電子零件。

在將電子零件13從噴嘴25授受給支撐構件15之位置的下游側，設有對電子零件13的作為檢査面之側面11、11a進行外觀檢査之第1檢査位置(檢査位置之一例)，而在第1檢査位置的更下游側，設有對電子零件13的作為檢査面之側面12、12a進行外觀檢査之第2檢査位置(檢査位置之一例)。外觀檢査，意指檢測電子零件13的側面11、11a、12、12a有無瑕疪或缺損等，本實 施形態中，檢測對象包括微米(μm)等級的瑕疪或缺損。

電子零件13，係藉由圓形板16間歇性地進行規定角度旋轉，而依序被送至第1、第2檢査位置並暫時停止。然後，被配置於第1、第2檢査位置之電子零件13，藉由位於各者的上方之伺服電動機18的動作，而和支撐著各電子零件13之支撐構件15一起下降，並被進行外觀檢査。保持著電子零件13之支撐構件15，於第1、第2檢査位置下降並停止之高度位置，係因應電子零件13的厚度或形狀而受到調整。

在第1檢査位置的鄰近，如圖1、圖3所示，設有：照明手段31，於第1檢査位置在電子零件13為下降的狀態下，和電子零件13的側面11相向配置；及照明手段31a，和電子零件13的側面11a相向配置。

又，在第2檢査位置的鄰近，同樣地如圖1、圖4所示，設有：照明手段32，於第2檢査位置在電子零件13為下降的狀態下，和電子零件13的側面12相向配置；及照明手段32a，和電子零件13的側面12a相向配置。

本實施形態中，於照明手段31、31a、32、32a，係採用水平方向長，發光部為LED之照明桿(lighting bar)。照明手段31、31a、32、32a的各發光部，其寬幅方向(水平方向)的長度，分別比電子零件13的側面11、11a、12、12a的寬幅方向(與電子零件13的厚度方 向正交之寬幅方向、水平方向)的長度還長。此處，照明手段31、31a、32、32a各者如同其他周知之照明手段般，從發光部發出的光會朝各個方向行進擴散。

在被配置於第1、第2檢査位置之電子零件13的下方，如圖3、圖4所示，分別設有攝像手段14、14a。

在第1檢査位置的鄰近，如圖3所示，在電子零件13的側面11與照明手段31之間配置著分光鏡33，在電子零件13的側面11a與照明手段31a之間配置著分光鏡33a。

在第2檢査位置的鄰近，同樣地如圖4所示，在電子零件13的側面12與照明手段32之間配置著分光鏡34，在電子零件13的側面12a與照明手段32a之間配置著分光鏡34a。

分光鏡33(針對分光鏡33a、34、34a亦同)，如圖3所示，具備：被結合的2個三角稜鏡35、36，及設於三角稜鏡35、36的結合處之膜狀的分割(split)部37。

從配置於第1檢査位置的鄰近之照明手段31照射而入射至三角稜鏡35內的光，如圖5所示，會在分割部37分歧成，穿透分割部37而朝向電子零件13的側面11水平直進的光、及在分割部37反射而向上行進的光。穿透分割部37的光，會通過三角稜鏡36，到達電子零件13的側面11而照亮側面11。

又，照亮電子零件13的側面11而反射之 光，會朝向照明手段31水平行進而入射至三角稜鏡36，其一部分在分割部37反射而向下前進後，會在三角稜鏡36內反射，而於俯視朝向電子零件13之方向水平前進，入射至與分光鏡33連結之稜鏡38。入射至稜鏡38的光，在稜鏡38內反射而行進方向變為向下，從稜鏡38射出而朝向攝像手段14。

另，圖5中，僅描繪了從照明手段31水平行進而入射至三角稜鏡35的光，但實際上還有朝其他方向(例如斜上或斜下)前進的光。這是因為照明手段31照射的光會擴散，而入射至三角稜鏡35。

又，從照明手段31照射而入射至三角稜鏡35的光當中，還存在對於電子零件13的側面11而言一面斜向前進一面到達側面11的光。這一點，當俯視照明手段31及電子零件13時亦同，從照明手段31發出的光當中，有對於電子零件13的側面11而言一面垂直前進一面到達側面11者，也有對於電子零件13的側面11而言一面斜向前進一面到達側面11者。

然後，攝像手段14接收行進至攝像手段14的光，藉此便能獲得電子零件13的側面11的外觀。

是故，分光鏡33可謂是使照明手段31照射之光的一部分穿透而送至電子零件13的側面11，並將在電子零件13的側面11反射之光的一部分予以反射，而將電子零件13的側面11的外觀納入攝像手段14的圖像中。

分光鏡33a如同分光鏡33般，使從照明手段31a照 射之光的一部分穿透而送至電子零件13的側面11a，並將在電子零件13的側面11a反射之光的一部分予以反射，而將電子零件13的側面11a的外觀納入攝像手段14的圖像中。從照明手段31a照射的光當中，有對於電子零件13的側面11a而言垂直前進而到達側面11a者，也有一面斜向前進一面到達側面11a者。

此外，在照明手段31、31a的鄰近，如圖3、圖5所示，分別設有：框狀的遮光板(遮光體之一例)39，將從照明手段31入射至分光鏡33之光的一部分遮蔽；及框狀的遮光板(遮光體之一例)39a，將從照明手段31a入射至分光鏡33a之光的一部分遮蔽。另，在圖5的右下，記載著從稜鏡35觀看照明手段31及遮光板39時之圖。

藉由限制從照明手段31入射至分光鏡33之光，並遮蔽送至攝像手段14之光的一部分，便會抑制電子零件13的側面11的攝像圖像變得不鮮明。這一點針對遮光板39a亦同。在照明手段32、32a的鄰近，同樣地如圖4所示，分別配置有遮光板39、39a。

另，遮光板39、39a並不限定於框狀，亦可為其他形狀。又，如圖3所示，亦可使用配置於分光鏡33、33a與攝像手段14之間的遮光板(遮光體之一例)40，來遮蔽送至攝像手段14之光的一部分，而取代遮光板39、39a。

第1檢査位置中，電子零件13的側面11、 11a為外觀檢査對象之檢査面，攝像手段14獲得將電子零件13的側面11、11a並列地並排而成之圖6所示圖像42，並將其圖像42送至與攝像手段14連接之未圖示演算機。圖像42中，橫長的側面11、11a係以長邊方向平行地配置並排。

演算機，係從拍攝沒有瑕疵或缺損等之良品的電子零件13的側面11、11a而得之圖像，來事先記憶住檢査外觀上有無異常時應予無視之外觀圖樣。演算機，使用其記憶住的外觀圖樣，由從攝像手段14取得之圖像42，判定電子零件13的側面11、11a有無瑕疵或缺損等。

對配置於第2檢査位置之電子零件13的側面12、12a分別送光之照明手段32、32a與分光鏡34、34a各自之關係，係如同照明手段31、31a與分光鏡33、33a各自之關係，分光鏡34、34a與攝像手段14a各自之關係，亦如同分光鏡33、33a與攝像手段14各自之關係，因此省略它們的詳細說明。

又，對於攝像手段14a，也連接與攝像手段14連接之演算機，演算機針對電子零件13的側面12、12a，也依照如同對於側面11、11a之手法，來進行瑕疵或缺損等的判定。

此外，於分光鏡33(針對分光鏡33a、34、34a亦同)，在分割部37的上側，設有遮蔽光行進之遮光部(遮光手段之一例)43。該遮光部43，係將從照明手段31照射，在分割部37(亦即電子零件13的側面11 的面前)反射而向上前進之光的行進加以遮蔽，防止該光從遮光部43朝更上方前進。

於遮光部43的上方配置有各種零件，因此如果沒有遮光部43的情形下，因從分光鏡33朝上方射出的光而被照亮之該些零件的像，將會被納入拍攝電子零件13的側面11之攝像手段14的圖像內。故，遮光部43係防止攝像手段14中拍入電子零件13的側面11以外的物體。

此處，電子零件13的側面11的照明環境，會對電子零件13的側面11的外觀檢査精度帶來莫大的影響，而照明手段31的亮度、及對於電子零件13的側面11之照明手段31的配置，是左右該照明環境的重大要素。就這一點，電子零件13的側面11a與照明手段31a之關係、電子零件13的側面12與照明手段32之關係、電子零件13的側面12a與照明手段32a之關係，亦分別如同電子零件13的側面11與照明手段31之關係。

本實施形態中，係於目標座標(特定的XYZ座標)，將電子零件13的側面11、11a、12、12a配置於目標角度位置(特定的角度位置)，而照明手段31、31a、32、32a各自的亮度及配置則受到調整。於電子零件13的側面11、11a、12、12a各者，存在著目標座標及目標角度位置，本實施形態中，將電子零件13的側面11、11a、12、12a分別鉛直地配置之狀態，係意指將電子零件13的側面11、11a、12、12a分別配置於目標角度位置之狀態。

照明手段31與電子零件13的側面11之關係、照明手段31a與電子零件13的側面11a之關係、照明手段32與電子零件13的側面12之關係、及照明手段32a與電子零件13的側面12a之關係各自相同，故以下僅對有關照明手段31與電子零件13的側面11之關係進行說明，針對其他的關係則省略說明。對於照明手段31的亮度、或照明手段31的配置等所做之各調整，除非進行外觀檢査之電子零件13更換成別種類或大小的電子零件，否則原則上不變更，而是在固定不變的狀態下，依序進行電子零件13的側面11的外觀檢査。因此，當進行各電子零件13的側面11的外觀檢査時，電子零件13的側面11，較佳是於目標座標中，正確地配置於目標角度位置。

又，電子零件13，是以側面11相對於被支撐構件15保持之表面20而言呈垂直之位置關係為前提，而其第1檢査位置中的側面11的角度位置受到調整。亦即，電子零件13，是以表面20為基準而被定位。

此處，本案發明團隊藉由實驗的驗證而得知，依電子零件的不同，即使是同規格的電子零件，側面相對於表面而言也不會垂直(亦即規定的角度)，基於此一原因，配置於第1檢査位置之電子零件的側面，相對於目標角度位置而言會傾斜，而對於電子零件的側面之照明環境會發生不一致。

鑑此，藉由反覆試誤，來驗證可有效抑制電子零件的 配置角度所引起之對於電子零件的側面之照明環境不一致的條件。

而驗證的結果發現，在和電子零件的側面(以攝像手段拍攝的側面)相向之位置，且在電子零件的該側面附近設置使光擴散之處，具體而言係將電子零件的該側面與使光擴散之處的距離(以下亦稱為「距離L」)保持在50mm以下，藉此，相較於調整其他條件(照明手段的亮度或照明手段的發光部大小等)而言，能夠有效地抑制照明環境的不一致而提升外觀檢査精度。

這可料想是因為藉由將距離L保持在50mm以下，在光的擴散處擴散之光便會以各種角度到達電子零件的側面而照亮該側面的緣故。

又，還證實了藉由使距離L未滿30mm，能夠更有效地抑制照明環境的不一致。

由此，本實施形態中，對於配置於第1檢査位置之電子零件13，係將電子零件13的側面11與使光擴散而照射之照明手段31之距離、及電子零件13的側面11a與照明手段31a之距離，分別訂為未滿30mm。

對於配置於第2檢査位置之電子零件13，同樣地係將電子零件13的側面12與照明手段32之距離、及電子零件13的側面12a與照明手段32a之距離，訂為未滿30mm。

然後，對每個依序配置於第1、第2檢査位置之電子零件13，不改變照明手段31、31a、32、32a各者 的亮度、及對於電子零件13之照明手段31、31a、32、32a各者的配置，在固定不變的狀態下進行外觀檢査。

由此，本實施形態中，在維持第1檢査位置中以配置於目標角度位置之側面11、11a為基礎而進行之照明手段31、31a的亮度、及對於側面11、11a之照明手段31、31a各者的配置之各種調整之狀態下，除了實質上配置於目標角度位置之側面11、11a的外觀檢査以外，還進行對於目標角度位置而言呈傾斜之側面11、11a的外觀檢査。

本實施形態中，係針對側面11、11a、12、12a相對於目標角度位置而言於±3°範圍內傾斜之電子零件13來進行外觀檢査，但證實了即使對於±5°範圍內傾斜之電子零件，外觀檢査精度實質上也不會降低。

此外，在第2檢査位置的下游側，如圖1所示，設有分類器(sorter)44，係將側面11、11a、12、12a中被檢測出瑕疵或缺損等之電子零件13當做不良品而排出。

又，在分類器44的下游側，配置有將電子零件13予以捆紮而容納之捆紮單元45。另，圖1中，省略了位於捆紮單元45上方之伺服電動機18的記載。

此處，亦可不將照明手段設於和電子零件的側面相向之位置且與電子零件的側面相距50mm以下之位置，而是在該位置設置將照明手段照射的光予以擴散之擴散手段。以下，說明設置擴散手段之外觀檢査裝置10的變形例。

外觀檢査裝置10的變形例之外觀檢査裝置，如圖7所示，具備壓克力板(擴散手段之一例)52，和電子零件13的側面11相向配置，將照明手段51照射的光予以擴散。另，外觀檢査裝置10的變形例之外觀檢査裝置中，和外觀檢査裝置10相同之構成，係標註和外觀檢査裝置10同一符號並省略詳細說明。

從照明手段51照射的光，在穿透壓克力板52時會擴散，而入射至三角稜鏡35，其一部分穿透分割部37被送至電子零件13的側面11。從照明手段51a照射，藉由壓克力板(擴散手段之一例)52a而被擴散，入射至三角稜鏡35的光，同樣地，其一部分穿透分割部37被送至電子零件13的側面11a。

電子零件13的側面11與壓克力板52之距離為50mm以下，本實施形態中為未滿30mm。

照明手段51，係設於與電子零件13的側面11相距之距離超過50mm的位置，而朝向壓克力板52照射光。另，照明手段51未必一定要和電子零件13的側面11相向配置。

此外，外觀檢査裝置10的變形例之此外觀檢査裝置，除了和電子零件13的側面11相對應之壓克力板52及照明手段51以外，還具有和電子零件13的側面11a相對應之壓克力板52a及照明手段51a、及和電子零件13的側面12相對應之未圖示壓克力板及未圖示照明手段、及和電子零件13的側面12a相對應之未圖示壓克力板及 未圖示照明手段。

壓克力板52a及照明手段51a與電子零件13的側面11a之關係、或其他壓克力板及照明手段與和其相對應之電子零件13的側面(側面12、12a)之關係，係如同壓克力板52及照明手段51與電子零件13的側面11之關係。

以上已說明了本發明之實施形態，但本發明並非限定於上述形態，不脫離要旨之條件的變更等均為本發明之適用範圍。

舉例來說，分光鏡未必要是將2個三角稜鏡結合而成之物，亦可為其中一方的面受到塗布之板狀物。

此外，未必要將電子零件的4個側面分成2個檢査位置來做外觀檢査，亦可設計成在1個檢査位置的鄰近配置4個分光鏡及4個照明手段，而在同一處進行電子零件的4的側面的外觀檢査。

又，照明手段並不限定於照明桿。

再者，電子零件的側面與照明手段之距離，只要是50mm以下，則亦可為30mm以上。

此外，亦可設置進行電子零件的表面或背面的外觀檢査之單元、或進行電子零件的位置修正之單元。

10‧‧‧外觀檢査裝置

11、11a、12、12a‧‧‧側面

13‧‧‧電子零件

16‧‧‧圓形板

17‧‧‧旋轉軸

18‧‧‧伺服電動機

21‧‧‧晶圓

22‧‧‧晶圓環

23‧‧‧支撐機構

24‧‧‧銷

25‧‧‧噴嘴

26‧‧‧旋轉機構

27‧‧‧伺服電動機

31、31a、32、32a‧‧‧照明手段

43‧‧‧遮光部

44‧‧‧分類器

45‧‧‧捆紮單元

Claims (12)

1. 一種外觀檢査裝置，係藉由照明手段照亮電子零件的側面亦即檢査面，並藉由攝像手段予以拍攝而進行外觀檢査之外觀檢査裝置，其特徵為：前述照明手段，和前述檢査面相向配置，具備分光鏡，其配置於前述檢査面與前述照明手段之間，使前述照明手段照射之光的一部分穿透而送至前述檢査面，並將在該檢査面反射之光的一部分予以反射，而將前述檢査面的外觀納入前述攝像手段的圖像中，前述照明手段照射之光係擴散，而入射至前述分光鏡。
2. 如申請專利範圍第1項所述之外觀檢査裝置，其中，前述檢査面與前述照明手段之距離未滿30mm。
3. 一種外觀檢査裝置，係藉由照明手段照亮電子零件的側面亦即檢査面，並藉由攝像手段予以拍攝而進行外觀檢査之外觀檢査裝置，其特徵為：具備：擴散手段，和前述檢査面相向配置，將前述照明手段照射之光予以擴散；及分光鏡，配置於前述檢査面與前述擴散手段之間，使前述擴散手段擴散之光的一部分穿透而送至前述檢査面，並將在該檢査面反射之光的一部分予以反射，而將前述檢査面的外觀納入前述攝像手段的圖像中。
4. 如申請專利範圍第3項所述之外觀檢査裝置，其中，前述檢査面與前述擴散手段之距離未滿30mm。
5. 如申請專利範圍第1至4項任一項所述之外觀檢査裝置，其中，在維持以配置於目標角度位置之前述檢査面為基礎而進行之前述照明手段的亮度、及對於前述檢査面之前述照明手段的配置之各種調整之狀態下，還進行對於前述目標角度位置而言呈傾斜之前述檢査面的外觀檢査。
6. 如申請專利範圍第5項所述之外觀檢査裝置，其中，具備和前述檢査面以外的面S相接而保持前述電子零件之支撐構件，前述電子零件係以前述面S為基準而被定位。
7. 如申請專利範圍第1至6項任一項所述之外觀檢査裝置，其中，更具備將被送至前述攝像手段之光的一部分予以遮蔽之遮光體。
8. 如申請專利範圍第7項所述之外觀檢査裝置，其中，前述遮光體係將入射至前述分光鏡之光的一部分予以遮蔽。
9. 如申請專利範圍第7項所述之外觀檢査裝置，其中，前述遮光體配置於前述分光鏡與前述攝像手段之間。
10. 如申請專利範圍第1至9項任一項所述之外觀檢査裝置，其中，具備遮光手段，其將從前述照明手段照射，而在前述檢査面的面前被前述分光鏡反射之光的進行予以遮蔽。
11. 如申請專利範圍第1至10項任一項所述之外觀檢査裝置，其中，前述分光鏡，具備被結合而成的2個三 角稜鏡。
12. 如申請專利範圍第1至11項任一項所述之外觀檢査裝置，其中，前述照明手段的發光部的寬幅方向的長度，比前述檢査面的寬幅方向的長度還長。