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TW201234243A - Projective capacitive touch sensor structure and fabricating method thereof - Google Patents

Projective capacitive touch sensor structure and fabricating method thereof Download PDF

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TW201234243A
TW201234243A TW100120192A TW100120192A TW201234243A TW 201234243 A TW201234243 A TW 201234243A TW 100120192 A TW100120192 A TW 100120192A TW 100120192 A TW100120192 A TW 100120192A TW 201234243 A TW201234243 A TW 201234243A
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TW
Taiwan
Prior art keywords
transparent
capacitive touch
patterned electrode
projected capacitive
printing
Prior art date
Application number
TW100120192A
Other languages
English (en)
Inventor
Bao-Shun Yau
Mike Lu
Chung-Huang Huang
Original Assignee
Ind Tech Res Inst
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ind Tech Res Inst filed Critical Ind Tech Res Inst
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Priority to US13/175,897 priority patent/US8450628B2/en
Priority to CN201110234263.5A priority patent/CN102622145B/zh
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Description

201234243 六、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本揭露是有關於一種觸控感應器結構及其製造方法, 且特別是有關於一種投射式電容觸控感應器結構及其製造 方法。 【先前技術】 未來顯示器技術發展趨勢日漸地朝向更人性化的人機 介面’在過去的面板操作上幾乎都是以機械式的專用按鈕 來操作,但是隨著平面顯示器的興起,採用觸控式面板已 成主流’它取代鍵盤、滑鼠等等的輸入裝置,使得各種資 訊設備產品在使用上更加的容易。因此,簡易操作的觸控 式面板時代即將來臨,例如:車用觸控面板(汽車導航)、 遊戲機、公共資訊系統(如,自動販賣機、自動櫃員機 (automatic teller machine,ATM)、導覽系統)、工業用途、 小型電子產品(如,個人數位助理(pers〇nal assistant ’ PDA))、電子書(e_b〇〇k)等等。此一產業的競爭 激烈,主要生產國有日本、台灣、美國、韓國及大陸,幾 乎全球主要製造商都積極的投入此一項研發技術領域,預 估在未來幾年内市場需求會大幅成長。 、隨著iPhone風靡全球,帶動全球智慧型手機銷售量快 速增市場不敢小覷智慧型手機在硬體設備與應用服務 的市場潛力,正畜勢待發。因此,投射電容式觸控面板出 現爆炸性發展’越來越多觸控廠商投人多賴控技術的開 4 201234243 發與生產。 習知投射式電容觸控面板為雙基材結構,分別將χ、 Υ轴感應單元安置於二個不同平面上,若有對位不精準現 象發生會導致觸控讯號不靈敏及精確度下降之缺失。此 外,,層結構中,除了結構厚重、不同平面上之χ、γ轴 感應單元ϋ具有較大之脸關,常在可視區_造成光 穿透率不均,造成影像失真之困擾。 β為了解決雙基材結構投射式電容觸控面板所衍生之問 題’目前投射式電容觸控面板採料—基材之投射式電容 觸控面板職料。單-基騎構投料電容觸控面板, 分別將χ、γ減應單元安置於同—平面上,可大幅降低 鏤,比例及無上下對位之問題,可獲得較佳之影像效果及 較高之靈敏度及精確度。除此之外,單—基材設計同時也 可達到輕量化及薄型化。 然而’習知製作單一基材結構投射式電容觸控面板的 製程相當繁複。魏在透明導電基板上進行同-平面X和 Υ軸感應單元之_化製程;接著在χ#σγ減應單元上 方以真空賴方式沈積-介電絕緣層,再以黃光微影钱刻 方式將介電絕緣層製作成架橋所需之結構;接著再以真空 鑛膜方式在介電絕緣層結構上沈積金屬膜層,再以黃光微 影蝕刻方式將金屬膜層製作成架橋導線。由上述製程方式 可看出習知之製程需經_連串繁複真空賴及黃光微影姓 刻步驟。因此本揭露提供—種單—基材結構投射式電容觸 控感應器結構的製造方法,可簡化製程。 201234243 【發明内容】 本揭露之實補提供—種投射式電容馳感應器結 構’可消除觸控感應器的可視區内的殘影或亮點。 本揭露之實施例提供一種投射式電容觸 的製造方法’可簡化製程。 再 ^揭露之實施例提出一種投射式電容觸控感應器結 構^括基材、-個第—透明圖案化電極、二個第二透明 橋接導線及透明介電片。第—透明圖案化電 β 2 ; 土材上。第二透明圖案化電極設置於基材上,且 透明圖案化電極的兩側。橋接導線跨過第一透明圖 案電極’且電氣橋接位於第一透明圖案化電極兩側的第 二道,圖案化電極’以形成導電線。透明 =線f—透明圖案化電極之間。其中,透明介 邱u明圖案化電極與第二透明圖案化電極上方的介電 郤伤包括上表面、下表面及連接上 面,上表面的而接盔ΠΓ主 八表面的傾斜侧 t表面的面積為下表面的面積的鄕至95% 側面與下表面的夾角為銳角。 且谓斜 的出一種投射式電容觸控感應器結構 ,方法,包括下列步驟。首先,提供基材,= =上形成一個第一透明圖案化電極與二個第二宰 3兩側。錢,於第—透明圖案化電極與第=匕, 明圖案化電極與第二相_化電極上方的介電部 6 201234243 上表面、下表面及連接上表面與下表_ 面的面積為下表面的面積的70% 、_ 表面的夾角為銳角。接下來,於透=電=斜側面與下 線,橋接轉跨過帛—透關冑彳 域橋接導 咏4 圓系化電極’且電教橋接付於 =明圖案化電極兩側的第二透明圖案化電極,以形成 在ί揭露之實施例所提出之投射式電容觸 &感應一構中’由於介電部份的上表面的面積為下表面 :面積的70%至95%’且傾斜側面與下表面的央角為銳 角,所以可避免在觸控感應㈣可視區内產生殘影或亮點。 此外’在本揭露之實施例所提出之投射式電容觸控感 應器結構的製造方法中’由於透明介電収藉由印刷的方 式所形成,因此可大幅地簡化製程,進而可縮短產品生產 時間及增加產量。 為讓本揭露之特徵能更明顯易懂,下文特舉較佳實施 例’並配合所附圖式’作詳細說明如下。 【實施方式】 圖1所繪示為本揭露之一實施例的投射式電容觸控感 應器結構的上視圖。圖2Α至圖2Β所繪示為沿著圖1中的 Ι-Γ剖面線的製造流程剖面圖。圖2Α及圖2Β是以形成— 個感應單元100為例進行說明。 請同時參照圖1及圖2Α,首先提供基材102。基材1〇2 例如是可撓性基材或剛性基材。其中,可撓性基材的材料 201234243 血二於类基材102上形成一個第一透明圖案化電極刚 刚案化電極⑽,料二透明圖案化電極 ί::丄=料例如是透明導電氧化物、有機透明導 糾II 丁…金屬或奈米碳管。第二透明圖案化電極106 =料例如是翻導電氧化物、有機透明導電材料、夺米 碳管。其中’透明導電氧化物例如是氧化銦錫 或氧化銦鋅’而有機透明導電材料例如技(3,4·伸乙基二 氧噻吩).聚苯乙稀續酸鹽(PED〇T:pps)。此外,第 圖案化電極104可為單層結構或多層結構。第二透明圖案 化電極106可為單層結構或多層結構。當第一透明圖案化 電極104及/或第二透明圖案化電極廳為多層結構時,、 -透明圖案化電極1〇4及/或第二透明圖案化電極刚的多 層結構例如是透明金屬氧化物層與金屬層的堆疊組合,其 可為透明金屬氧化物層/金屬層/透明金屬氧化物層的堆^ 結構,如氧化錮錫/銀/氧化銦錫(IT〇/Ag/IT〇)或氧化姻 銀/氧化銦鋅(IZO/Ag/IZO)。第一透明圖案化電極1〇4與第 二透明圖案化電極106的形成方法例如是藉由進行沈積 程、微影製程與蝕刻製程而形成。 '" 然後,請同時參照圖1及圖2B,於第一透明圖案化電 極104與第二透明圖案化電極1〇6上印刷透明介'電片 108。在此實施例中,透明介電片108例如是暴露出部份第 8 201234243 j明圖案化電極1G6,且印刷於第—透明圖案化電極刚 二第-透明圖案化電極觸之間的部份基材1G2上。透明 ”電片108的材料例如是樹脂等介電材料,如 :固透 =透明介電…光穿透率例如= 卯=。透明介電片108的折射係數範圍例如是丨到2。透 明”電片108的印刷方法例如是網版印刷或轉印印刷。 、透明介電片1〇8位於第一透明圖案化電極104鱼笛一 透明圖案化電極106上方的介電部份11〇包括上李面 表面m及連接上表面112與下表面114的傾斜側 1 表面U2的面積A1為下表面114的面積A2的 八=95%。傾斜側面113與下表面114的夾角0為銳角。 二電精11。的高度h例如是小於3〇"m。介電部份, 的上表面112的高度誤差Ah例如是高度11的1〇%以下。 其中’高度h定義為由第—透案化電極1()4 =匕電極1〇6上表*至上表面112最高點(因為有-1〇 ,差)的距離’而高度誤差Δ1ι的定義為上表面 敢低點與最高點的高度差。 的 接下來’於透明介電片⑽上形成橋接導線u6 接導線116跨過第-透明圖案化電極1〇4,且: 。6,而由橋接導線116及第二透明圖案化電極1〇6形 ^線118。亦即,透明介電片1〇8設置於橋接導線w斑 第-透明圖案化電極1G4之間,以f性隔離橋接導線u6 與第-透明圖案化電極刚,而形成感應電容。橋接導線 201234243 116的^料例如是含金屬之材料’其中含金屬之材 導電銀夕、含鋼金屬材料或鉬/鋁/鉬(Μο/Al/Mo)等的夕芦 線116的形成方法例如是凹版平印印刷^ 墨印刷田用以形成橋接導線116的含金屬之材料 金屬材料或朗目等材料時,橋接導線116例如是葬^ 進行沈積製程、微影製程與蝕刻製程而形成。 曰 斑/H可選擇性地基材1〇2上形成第一連接導線120 與第一連接導線122(圖2B的剖面圖無法表示,請參照圖 1)。其中,第—連接導線12〇連接第一透明圖案化電極 1〇4,且具有第一電氣連接端點m。第二連接導線⑵連 接位於導電線118 # —端的—個第二透明圖案化電極 106,且具有第二電氣連接端點126。其中,第一連接導線 120及第二連接導線122與形成於基材1〇2上的其他構件 並無特定的形成順序。 第一連接導線120例如是含金屬之材料,其中含金屬 之材料可為導電銀膠、含銅金屬材料或鉬/鋁/鉬等的多層 材料。第二連接導線122的材料例如是含金屬之材料,其 中含金屬之材料可為導電銀膠、含銅金屬材料或鉬/鋁/鉬 等的多層材料。第一連接導線120與第二連接導線122的 形成方法例如是網版印刷、轉印印刷、凹版平印印刷、噴 墨印刷或微影飯刻。第一連接導線120與對應的第一電氣 連接端點124例如是可一體成型地形成或是各自獨立地形 成。第二連接導線122與對應的第二電氣連接端點126例 如是可一體成型地形成或是各自獨立地形成。 201234243 第一電氣連接端點124可將外部訊號s經由第一連接 導線120傳遞至第—透明圖案化電極刚。第二電氣連接 端點126可將外部訊號s經由第二連接導線122傳遞至第 二透明®案化電極1Q6。此外,於此技術躺具有通常知 識者可分別设計及調整傳遞至第一透明圖案化電極刚以 及第一透明圖案化電極1〇6的外部訊號g。 值得注意的是,當透明介電片則、橋接導線116、第 、接^線120與第二連接導線122是藉由印刷製程形成 日,所知用的印刷方式例如是單片印刷或捲對捲⑽】吣 上’是以形成投射式電容觸控錢器結構中的-個 ’t 了^元100為例進行說明,但本揭露並不限於此。實際 技射式電容觸控感應器結構可由—個或多個感應單元 域。於此技術領域具有通常知識者參照上述實施 製造’可得知*同投射式電容觸控感應11結構的 絕,ϋΐ說’請參照圖卜投射式電容觸控感應器結構 ===單元10°所形成。在形成多條第-透: 極104日夺,第一透明圖案化電極刚例如是沿著 m i/Dl進行延伸,且第一透明圖案化電極104例如 106、目夕^1°此外’藉由形成多個第二透明圖案化電極 第-^ 介電片應與多條橋接導線116,以形成與 導雷綠]圖,電極104電性隔離的多條導電線118,且 ' 18 /α著第二方向D2進行延伸。導電線118例如 201234243 是互相平行’且第二方向D2與第-方向DU目交,而使得 導電線118與第一透明圖案化電極104形成矩陣式結構。 此外’可藉由形成多條第—連接導線12G與多條第二連接 導線122,而分別將外部訊號s藉由第一連接導線⑽上 ,第一電氣連接端點124與第二連接導、線122上的第二電 氣連接端點126傳遞到第一透明圖案化電極1(M與第二透 j f f化電極1G6L ® 1所揭露的投射式電容觸控 感應器結構並不用以限制本揭露。 技士^於上述實施例可知’由於投射式電容觸控感應器結 明介電片刚是藉由印刷的方式所形成,所以可 、隹而’作出透明介電片1〇8,因此可大幅地簡化製程, 進而可縮短產品生產時間及促進產量的提升。 ㈣1及圖2B說明上述實施例的投射式電 谷觸控感應器結構。 包 岸照圖1及® 2B,首先,以投射式電容觸控感 一個感應單元100為例進行說明。投射式 電枉ιοΓ感應益結構包括基材102、一個第一透明圖案化 4透明圖案化電極104設置於基材102 -透案化電極1〇6設置於基材102上,且於第 明圖牵彳卜心電極刚的兩側。橋接導線116跨過第一透 104兩側的第亟:二:氣橋接位於第-透明圖案化電極 透明介電片化電極1G6 ’以形成導電線118。 a又置於橋接導線116與第一透明圖案化電 12 201234243 極ι〇4之間。投射式電容觸㈣應器 括第-連接導線120及第二連接導T更擇性地包 120連接第-透明圖案化電極刚,且 ,接導線 點124。第二連接導線122連接第二^第―^氣連接端 中位於導電線118的-端的—個,且具 點⑶。其中,投料電_域應料射 ^特性、術⑽效㈣增謝^的材地 描述,故於此不再贅述。 叮仟益奶 〜此外,投料電容絲雜構更可包括多個感應 =1〇〇(舉例來說’請參照上述實施例在製作圖i的&射 式电谷觸控感應器結構所揭露的内容)。亦即,在挎 备觸控感應益結構中’只要包括基材102、至少固^一 透明圖案化電極1G4、至少兩個第二透明圖案化電極觸、 ^少-個透明介電片108及至少—條橋接導線ιΐ6 本揭露所保護的範圍。 、 基於上述實施例可知,由於透明介電片1〇8位於 透明圖案化電才亟104與第二透明圖案化電極1〇6上方 電部份110包括上表面112、下表面114及連 " 與下表面U4的傾斜側面113,而上表面U2/: 為下表面114的面積A2的70%至95%,且傾斜側面ii3 與下表面114的爽角(9為銳角’所以可避免在觸控感應器 的可視區内產生殘影或亮點’而具有較佳的影像品質。其 中,介電部份110的高度h例如是小於3〇以m。介電部^ U0的上表面112的高度誤差Ah可容忍的範圍例如是在^ 13 201234243 度h的10%以下。 圖3所繪示為圖i中圈示放大處之另一實施例的上視 圖。 請同時參照圖1及圖3,圖3之實施例與圖1之實施 例的差異在於:圖3中之橋接導線116,的材料與圖 料不同。此外’圖3中的其他構件的材 地描述,故於此不再贅述。 平蓋 在圖3的實施例中,橋接導線116,的材料例如 導電油墨之材料,其中透明i曾雷、、占$ 物材料、有機透明導電為金屬氧化 料,其中橋接導線116,的機混合透明導電材 橋接導線116的材料例如是含之=,ι的貫施例中, 材料可為導雷新狀、八 材料,其中含金屬之 等的多層材料。、,3 ·5金屬材料或_呂/鉬(Mo/AI/Mo) 在圖1的實施例中,去 金屬之材料時,較佳的是116的材料例如是含 眼的可視範圍以下,以使得的線寬設計成人 有較佳的可視區品質。式電容觸控感應器結構具 件所限制,甚至於橋接導:^16的線寬不受到上述條 的上表面m之寬度^的線寬可與透明介電月⑽ 14 201234243 综上所述,上述實施例至少具有下列特徵: 1·上述實施例所提出之投射式電容觸控感應器結 避免在觸控感應器的可視區内產生殘影或亮點,Ί 11 佳的影像品質。 ‘ ^有較 2.藉由上述實施例所提出之投射式電容觸控感應哭結 構的製造方法可大幅地簡化製程,進而可縮短產品 間並增加產量。 雖然本揭露已以較佳實施例揭露如上,然其並非用以 限定本揭露,任何熟習此技藝者,在不脫離本揭露之精神 和範圍内,當可作些許之更動與潤飾,因此本揭露之^護 範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。 【圖式簡單說明】 圖1所繪示為本揭露之一實施例的投射式電容觸控感 應器結構的上視圖。 圖2A至圖2B所繪示為沿著圖1中的i_r剖面線的製 造流程剖面圖。 圖3所繪示為圖丨中圈示放大處之另一實施例的上視 圖。 【主要元件符號說明】 1(>〇 :感應單元 102 :基材 104 :第一透明圖案化電極 15 201234243 106 : 第二透明圖案化電 108 : 透明介電片 110 : 介電部份 112 : 上表面 113 : 傾斜側面 114 下表面 116、 116’ :橋接導線 118 導電線 120 第一連接導線 122 第二連接導線 124 第一電氣連接端點 126 第二電氣連接端點 A1、 A2 :面積 D1 : 第一方向 D2 : 第二方向 h :高度 △ h .南度誤差 S:外部訊號 Θ : 夾角 16

Claims (1)

  1. 201234243 七、1申請專利範園: 投射式電容觸控感應器結構,包括: 二透明®1案化電極,設置於該基材上; 第-透,Ϊ:= 的::設置於該基材上’且位於該 接位明:Γ第一透明圖案化電極,且電氣橋 電極,以形成兩側的該些第二透明圖案化 化電極介設置於該橋接導線與該第―透明圖案 .,., a /、中5亥透明介電片位於該第一透明圖荦彳 透明圖案化電極上方的一介電部 面,該上ΖίΓ及連接虹表面與訂表㈣—傾斜側 ⑽糾目丨U面積為該下表面的面積的70%至95%,且 祕斜側面與該下表面的爽角為銳角。 第1項所狀投射式1容觸控感應 …”σ ,/、中電部份的該上表面的高度誤差為該介電 部份的高度的10%以下。 巧及;丨電 專利*81帛1項所述之投減電容觸控感應 ^構’其中較電部份的高度小於_m。 專利範®第1摘述之投射式電容觸控感應 為-構Ή基材包括—可撓性基材或—剛性基材。 。。5.如申料職㈣4摘述之投射式電容觸控感應 為、結構’其巾該可撓性基材的材料包括雜苯二曱酸H 17 201234243 酯、聚碳酸酯或可撓性玻璃。 。。6.如申請專利範圍第4項所述之投射式電容觸控感應 ^結構’其^剛性基材包賴性玻璃。 。。士7·如申請專利範圍第1項所述之投射式電容觸控感應 益結構’其中該第—透明圖案化電極與該些第二透明圖案 化電極的材料包括透明導電氧化物、有機透明 導電材料、 不米金屬或奈米碳管。 如申4專利範圍第1項所述之投射式電容觸控感應 乂:其中°亥橋接導線的材料包括一含金屬之材料,該 =屬之材料包括導電銀膠、含銅金屬或_咖的多層 月專利_第1項所述之投射式電容觸控感應 性&脂/巾錢明介電μ的材料包滅光㈣脂或熱固 應器S申之投_容觸控感 再續明介電片的光穿透率大於9〇%。 應器結ΐ申ί以:二1 :頁所述之投射式電容觸控感 η Γ : 透介電片的折射係數範圍為1到2。 應器結構°,範圍第1項所述之投射式電容觸控感 有-Αί=:點=第-透明圖案化電極’且具 二透線且irr:電r—端的-個第 八有第一電氣連接端點。 18 201234243 13. 如申請專利範圍 應器結構,其中該第-連接導線控感 分別包括含金屬之材料 屬:二;=:材料 含銅金屬或铜/_的多層材料。感之材科包括導電銀膠、 14. 如申請專利範圍 應器結構,其,該橋接導線的材控感 材料,該透明導雷,、山里^ 透月導電油墨之 透明導電材料或有機和無機材料、有機 括:15.一種投射式電容觸控感應器結構的=方法,包 提供一基材; 圖案化:材2成—第一透明圖案化電極與二第二透明 明圖案化電極的=第二透明圖案化電極設置於該第一透 上印=明==她_:_案化電極 圖案化電極t亥此第一;;中该透明介電片位於該第一透明 包括-上表面Iΐ第一透明圖案化電極上方的一介電部份 傾斜側面,本:表面及連接該上表面與該下表面的-95%,且該二二白勺面積為該下表面的面積的7〇%至 於兮二…1面”該下表面的夾角為銳角;以及 該第;二形成—橋接導線,該橋接導線跨過 化電極兩側的:此/泰且電氣橋接位於該第-透明圖案 16.如中月圖案化電極,以形成一導電線。 °月 軏圍第15項所述之投射式電容觸控感 19 201234243 J器結構的製造方法,其中該介電部分的該上表面的高度 层差為該介電部分的該高度的1〇%以下。 门乂 17.如申5月專利_第15項所述之投射式電容觸和威 結構的製造方法,其中該介電部份的高度小於二。 庳^士圍第15項所述之投射式電容觸控感 製電=方法分別包括進行沈積製程、 庳考社Μ 糊範目帛15項所述之投射^冑容觸控感 網版印刷或轉其中_明介電片的印刷方法包括 應器投射式電容觸控感 ::i:金屬之材料包括導電銀膠、含銅金屬或: 應器結構^ 第m項所述之投射式電容觸控感 版平印印刷、、喷墨^/、中該橋接導線的形成方法包括凹 與姓刻製程而形i/'或藉由進行沈積製程、微影製程 應器結構‘2·^,15項所述之投射式電容觸控感 導電油墨之材料,該透明二=導線的材料包括-透明 材料、有機透明導電材料偏之材料包括金屬氧化物 23.如申請專利範— 201234243 應器結構的製造方法,其中該橋接導線的形成方法包括凹 版平印印刷、噴墨印刷、網版印刷或轉印印刷。 24. 如申請專利範圍第15項所述之投射式電容觸控感 應器結構的製造方法,更包括於該基材上形成一第—連接 導線與一第二連接導線,其中該第一連接導線連接該第一 透明圖案化電極,且具有一第一電氣連接端點,該第二連 接導線連接位於該導電線的一端的一個第二透明圖案化電 極,且具有一第二電氣連接端點。 25. 如申请專利範圍第24項所述之投射式電容觸控感 應器結構的製造方法,其中該第一連接導線與該第二連接 導線的形成方法包括網版印刷、轉印印刷、凹版平印印刷、 喷墨印刷或微影蚀刻。 26. 如申请專利範圍第24項所述之投射式電容觸控感 應器結構的製造方法,其中該透明介電片、該橋接導線、 该第一連接導線與該第二連接導線的形成方法包括單片印 刷或捲對捲印刷。 21
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