узкий циапазон определ емых оптических длин (от 10 мкм до величины, определ емой поперечным размером контролируемых поверхностей, например, 2 см). Целью изобретени вл етс повышение точности и расширение диапазона оп- редеп емых -рптических ДЛИН, Поставленна цепь достигаетс тем, что облучают контролируемые поверхности измен емым по волновым числам оптическим излучением, фиксируют водные числа, соответствующие максимумам интерференционной картины в проход5пдем свете, а оптическую длину определ ют по формуле: о fy,wa -ovnax -V Cl) v V-iV где . d - определ ема оптическа дли на, СМ{ 1) волновые числа, соответствукдцие максимумам интерф«-; ре1плионной картины в проход щим свете 1 -го и (-f+l)rCo пор дков, см . На черте се изображена принципиапьна схема устройства, реализующего опи сываемый способ. Устройство содержит последовательно расположенные источник 1 оптического излучени , выполненный, например, в виде перестраиваемого СО. пазера с диапазоном перестройки от 920 до 1100 см | коллиматор 2, линзу 3, круглую диафрагму 4, расположенную в фокальной плос- кости линзы 3 в центре; интерференционной картины, фотоэлектрический приемник S, выполненный например в виде пироэлек трического приемника типа МГ-30, индикатор 6, представл ющий собой, например осциллограф С1-72. Осуществл етс предлагаемый способ следующим образом. Контролируемые поверхности 7, представл ющие собой пластины интерферометра Фабри-Перо, облучают оптическим излучением,- -прошедшим через коллиматор 2 от источника 1. После контролируемых поверхностей 7 узлучение проходит через линзу 3, круглую диафрагму 4, рас положенную в фокальной плоскости лин аы 3 в центре интерференционной картины и попадает на чувствительную площадку фотоэлектрического приемника 5. Перестраива волноЕые числа используемого по анализатору спектра, вход щему в состав источника 1 9птического излучени - лазера, фиксируют их значени , соответствующие по влению максимумов на индикаторе 6. Напиример, если при изменении оптического излучени по волновым числам со-. седним максимумам на индикаторе 6, на- пример на экране осциллографа, будут соответствовать волновые числа 0 941см иЛ),., - 987 см , то по формуле (1) оптическа дпина d ,09.10 см. Произведенный сравнительный техникоэкономический анализ показал, что точность измерений по предлагаемому способу повышаетс в 600 раз при работе в видимой области спектра и в 40 раз в инфракрасной области. При этом динамический диапазон измер емых оптических длин в 5 раз больше, чем в известном способе. Кроме того, проведение измерений по описываемому способу более удобно , так как не требует поворота контро- пируемых поверхностей. Ф о J} мула изобрет е н..И:„д Бесконтактный способ определени оптический длины между двум полупрозрачными параллельными поверхност ми, заключающийс в том, что облучают контролируемые поверхности оптическим излучением , получают интерференционную картину , анализиру которую, суд т об оптической длине, отличающийс тем, что, с целью повышени точности и расширени диапазона определ емых оптических длин, облучают контролируемые поверхности измен емым по волновым числам оптическим излучением, фиксиру1от волновые числа, соответствующие максимумам интерференционной картины в проход щем свете, а оптическую длину определ ют по формуле: d- 2()) 114-Л d - определ ема оптическа длина , см; .тах .mqn i -14-1 волновые числа, соответствующие максимумам интерференционной картины в проход щем свете 4-го и ( 1 +1)-4о пор дков , см. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Патент Великобритании № 1337273, кп. G 01 В 19/О4, 1973. 2.Сустина П. Е., Породнова Б. Т. и Рафикова М, В. Измерение малых рассто ний между двум плоскопараллельными полупрозрачными пластинами. Приборы и технические эксперименты , 1969, № 2, с. 188-189 (прототип).a narrow range of detectable optical lengths (from 10 µm to a value determined by the transverse size of the surfaces to be tested, for example, 2 cm). The aim of the invention is to increase the accuracy and expand the range of the determined -practic lengths. The delivered chain is achieved by irradiating the surfaces to be monitored with optical radiation changeable in wave numbers, fixing water numbers corresponding to the maxima of the interference pattern in the light passing through are given according to the formula: о fy, wa -ovnax -V Cl) v V-iV where. d is the determined optical length, CM {1) wavenumbers, corresponding to the maximum of the interf - a; The picture in the transmitted light of the 1st and (–f + l) rCo orders, see In the line of the figure there is a schematic diagram of a device implementing the described method. The device contains successively located source of optical radiation 1, made, for example, in the form of tunable CO. lasers with adjustment range from 920 to 1100 cm | collimator 2, lens 3, a circular diaphragm 4 located in the focal plane of lens 3 in the center; interference pattern, photoelectric receiver S, made for example in the form of a pyroelectric receiver type MG-30, indicator 6, which is, for example, a C1-72 oscilloscope. The proposed method is carried out as follows. The controlled surfaces 7, which are the plates of the Fabry-Perot interferometer, are irradiated with optical radiation, - passed through collimator 2 from source 1. After the controlled surfaces 7, the emission passes through lens 3, a circular diaphragm 4 located in the focal plane of the lens the center of the interference pattern and falls on the sensitive area of the photoelectric receiver 5. Reconstruct the wave numbers used by the spectrum analyzer that is part of the 1 9 optical radiation laser source, fixed ruyut their values corresponding to the occurrence of maxima on the display 6. Napirimer if a change of optical radiation at wavenumbers co. the gray peaks on the indicator 6, for example, on the oscilloscope screen, will correspond to wave numbers 0 941 cm & L), - 987 cm, then according to the formula (1) optical d, d, 09.10 cm. The comparative technical and economic analysis performed showed that the measurement accuracy according to the proposed method, it is increased 600 times when operating in the visible region of the spectrum and 40 times in the infrared region. At the same time, the dynamic range of the measured optical lengths is 5 times greater than in the known method. In addition, measurements using the described method are more convenient, since they do not require rotation of the surfaces to be monitored. F o J} of the mula of the invention. And: "d. A non-contact method for determining the optical length between two translucent parallel surfaces, which consists in irradiating the surfaces under control with optical radiation, obtaining an interference pattern, analyzing which the optical length is judged, characterized in that, in order to increase the accuracy and broaden the range of detectable optical lengths, the controlled surfaces are irradiated with optically variable wave numbers, fixed with wave numbers corresponding to guides the maxima of the interference pattern in the transmitted light, and the optical length is determined by the formula: d-) (2) A 114-d - defined by the optical length, cm; .tam. mqn i -14-1 wave numbers corresponding to the maxima of the interference pattern in transmitted light of the 4th and (1 +1) -4th order, see. Sources of information taken into account in the examination 1.Patent of Great Britain 1337273, CP. G 01 B 19 / O4, 1973. 2. Justina P. E., Porodnova B. T. and Rafikova M, V. Measurement of small distances between two plane-parallel semi-transparent plates. Instruments and technical experiments, 1969, No. 2, p. 188-189 (prototype).