SU805445A1 - Камера объектов дл электронно-зондо-ВОгО уСТРОйСТВА - Google Patents
Камера объектов дл электронно-зондо-ВОгО уСТРОйСТВА Download PDFInfo
- Publication number
- SU805445A1 SU805445A1 SU772554677A SU2554677A SU805445A1 SU 805445 A1 SU805445 A1 SU 805445A1 SU 772554677 A SU772554677 A SU 772554677A SU 2554677 A SU2554677 A SU 2554677A SU 805445 A1 SU805445 A1 SU 805445A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- objects
- chamber
- detectors
- camera
- probing device
- Prior art date
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
Изобретение охноситс к электронно-зондовым устройствам, в частности к камерам дл исследовани объектов в растровом электронном микрос копе . Известна камера объектов электрон ного микроскопа, в которой детектор рассе нных и вторичных электронов перемещаетс механизмом в соответствии с движением с.тола объектов, что позвол ет повысить точность получаемой информации за счет увеличени сигнала, принимаемого детектором .Ij Недостатком камеры вл етс сложность ее конструкции и невозможность использовани необходимого количества детекторов. Наиболее близкой по технической сущности к предлагаемой вл етс камера объектов электронно-зондового устройства, содержгица стол объектов и закрепленные в корпусе камеры прие ные элементыспектрометрических детекторов рентгеновского и ка одрлюми несцёнтного излучени . В устройстве многомерна информаци о взаимодейст вии электронного зонда с выбранной областью объекта регистрируетс набо ром детекторов при последовательном наклоне объекта в различных направлени х 2 . Недостатком данно-го устройства вл етс неточность получаемой информации о различных свойствах исследуемой микрозоны объекта, ввиду погрешности в установке ее относительно электронного зонда. Цель изобретени - повышение точности получаемой информации. Цель достигаетс тем, что в камере объектов электронно-зондовогоустройства , содержащей стол объектов и закрепленные в корпусе камеры приемные элементы спектрометрических детекторов рентгеновского и катодолюминесцентного излучени , корпус камеры .выполнен составным с возможностью вращени одной части камеры относительно другой вокруг оси электронного зонда, причем-приемные элементы детекторов и стол объектов размещены в разных част х корпуса камеры объектов. На чертеже изображена предлагаема камера, осевое сечение. Корпус камеры объектов дл электронно-зондового устройства состоит из вращающейс 1 и неподвижной 2 частей , соединенных между собой с помощью вакуумных уплотнений 3, которые представл ют собой резиновые с фторопластовым покрытием прокладки. Между Прокладками образована откачиваема полость 4, расположенна в неподвижной части 2 корпуса камеры. В кольцевых канавках оснований двух чатей корпуса расположены подшипники 5 качени , обеспечивающие плавность вращени подвижной части 1 корпуса относительно оси. электронного зонда 6, сформированного электррнно-оптической системой 7. Во вращающейс части 1 корпуса .камеры расположены приемные элементы спектрометрически детекторов 8 рентгеновского или катодолюминесцентного излучени , герметично встроенные в окна корпусд. В неподвижной части 2 корпуса расположены стол 9 объектов и другие детекторы 10, например вторичных электронов . В дне неподвижной части камеры расположен патрубок 11, соединенный с вакуумной системой установки.
Устройство работает следующим образом .
Исследуемый объект помещают на стол объектов 9 в неподвижной части 2 корпуса камеры. При воздействии на объект электронного зонда воз-никают известные физические влени , характеризующие свойства исследуемой микрозоны объекта. То-чность получаемой информации об этих свойствах повышаетс за счет обеспечени возможности сопоставлени данных от разнотипных детекторов о различных процессах и влени х в исследуемой области объекта путем сравнени интенсивностей их угловых распределений при последовательном располох ении приемных элементов детекторов в заданной плоскости . Выполнение корпуса камеры составным дает возможность использовани ПОВО.РОТНЫХ спектрометрических детекторов , имеющих элементы и узлу, которые по габаритам и функциональному назначению не могут быть расположены внутри объема камеры объектов. При этом сохран етс взаимное расположение электронного зонда и объекта, что исключает погрешности перемещени объекта. Кроме того процесс регистрации информации упрощаетс , так как упрощаетс процесс устаг овки объекта относительно детекторов.
Предлагаема камера объектов может быть использована в различных электронно-зондовых устройствах при исследовании физических свойств материалов и веществ, а также проведении технологических операций.
Claims (2)
1.Патент США P 3629579) кл.250-49 опублик. 1971.
2.Растровые электронные микроскопы высокого разрешени . Проспект фирмы Л йтц, ФРГ;1977, с. 14 (прототип ) .
11
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU772554677A SU805445A1 (ru) | 1977-12-14 | 1977-12-14 | Камера объектов дл электронно-зондо-ВОгО уСТРОйСТВА |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU772554677A SU805445A1 (ru) | 1977-12-14 | 1977-12-14 | Камера объектов дл электронно-зондо-ВОгО уСТРОйСТВА |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU805445A1 true SU805445A1 (ru) | 1981-02-15 |
Family
ID=20737896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU772554677A SU805445A1 (ru) | 1977-12-14 | 1977-12-14 | Камера объектов дл электронно-зондо-ВОгО уСТРОйСТВА |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU805445A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4680468A (en) * | 1985-08-05 | 1987-07-14 | Canadian Patents And Development Limited-Societe Canadienne Des Brevets Et D'exploitation Limitee | Particle detector |
-
1977
- 1977-12-14 SU SU772554677A patent/SU805445A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4680468A (en) * | 1985-08-05 | 1987-07-14 | Canadian Patents And Development Limited-Societe Canadienne Des Brevets Et D'exploitation Limitee | Particle detector |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3885158A (en) | Specimen block and specimen block holder | |
| Birkinshaw et al. | A measurement of the Hubble constant from the X-ray properties and the Sunyaev-Zel'dovich effect of Abell 2218 | |
| Glatzel et al. | The five-analyzer point-to-point scanning crystal spectrometer at ESRF ID26 | |
| US3876879A (en) | Method and apparatus for determining surface characteristics incorporating a scanning electron microscope | |
| Brockway et al. | A High Precision Electron‐Diffraction Unit for Gases | |
| SU805445A1 (ru) | Камера объектов дл электронно-зондо-ВОгО уСТРОйСТВА | |
| Prutton et al. | Scanning Auger electron microscopy with high spatial or high energy resolution | |
| Feldl et al. | A target chamber for precision angular distribution measurements | |
| US4033904A (en) | Interchangeable specimen trays and apparatus for a vacuum type testing system | |
| US3005098A (en) | X-ray emission analysis | |
| Gilliam et al. | Accurate mass measurement in fast atom bombardment mass spectrometry | |
| US2916621A (en) | Electron probe microanalyzer | |
| US3107297A (en) | Electron probe X-ray analyzer wherein the emitted X-radiation passes through the objective lens | |
| US3984683A (en) | Apparatus and method for analyzing biological cells for malignancy | |
| Patthey et al. | Design of an electron spectrometer for automated photoelectron diffractogram imaging over π steradians | |
| Dumond et al. | Design and Technique of Operation of a Double Crystal Spectrometer | |
| Knapp et al. | Modification of a cylindrical mirror analyzer for angle‐resolved electron spectroscopy | |
| Graham et al. | Comparison of solid state and electrostatic particle detection in medium energy ion scattering with channeling and blocking | |
| Dhez et al. | Institut d'Astrophysique Spatiale (IAS) 0.1-to 15-keV Synchrotron Radiation Facility beam lines | |
| US3042801A (en) | Apparatus for analyzing a sample of material | |
| Cuthill | A Soft X‐Ray Spectrometer with Improved Drive | |
| SU1502990A1 (ru) | Способ количественного электронно-зондового микроанализа образцов с шероховатой поверхностью | |
| SU957317A1 (ru) | Энерго-массанализатор | |
| Engelmohr et al. | A positive ion camera for blocking and channeling studies | |
| Strathman et al. | Angle-resolved imaging of single-crystal materials with MeV helium ions |