Изобретение охноситс к электронно-зондовым устройствам, в частности к камерам дл исследовани объектов в растровом электронном микрос копе . Известна камера объектов электрон ного микроскопа, в которой детектор рассе нных и вторичных электронов перемещаетс механизмом в соответствии с движением с.тола объектов, что позвол ет повысить точность получаемой информации за счет увеличени сигнала, принимаемого детектором .Ij Недостатком камеры вл етс сложность ее конструкции и невозможность использовани необходимого количества детекторов. Наиболее близкой по технической сущности к предлагаемой вл етс камера объектов электронно-зондового устройства, содержгица стол объектов и закрепленные в корпусе камеры прие ные элементыспектрометрических детекторов рентгеновского и ка одрлюми несцёнтного излучени . В устройстве многомерна информаци о взаимодейст вии электронного зонда с выбранной областью объекта регистрируетс набо ром детекторов при последовательном наклоне объекта в различных направлени х 2 . Недостатком данно-го устройства вл етс неточность получаемой информации о различных свойствах исследуемой микрозоны объекта, ввиду погрешности в установке ее относительно электронного зонда. Цель изобретени - повышение точности получаемой информации. Цель достигаетс тем, что в камере объектов электронно-зондовогоустройства , содержащей стол объектов и закрепленные в корпусе камеры приемные элементы спектрометрических детекторов рентгеновского и катодолюминесцентного излучени , корпус камеры .выполнен составным с возможностью вращени одной части камеры относительно другой вокруг оси электронного зонда, причем-приемные элементы детекторов и стол объектов размещены в разных част х корпуса камеры объектов. На чертеже изображена предлагаема камера, осевое сечение. Корпус камеры объектов дл электронно-зондового устройства состоит из вращающейс 1 и неподвижной 2 частей , соединенных между собой с помощью вакуумных уплотнений 3, которые представл ют собой резиновые с фторопластовым покрытием прокладки. Между Прокладками образована откачиваема полость 4, расположенна в неподвижной части 2 корпуса камеры. В кольцевых канавках оснований двух чатей корпуса расположены подшипники 5 качени , обеспечивающие плавность вращени подвижной части 1 корпуса относительно оси. электронного зонда 6, сформированного электррнно-оптической системой 7. Во вращающейс части 1 корпуса .камеры расположены приемные элементы спектрометрически детекторов 8 рентгеновского или катодолюминесцентного излучени , герметично встроенные в окна корпусд. В неподвижной части 2 корпуса расположены стол 9 объектов и другие детекторы 10, например вторичных электронов . В дне неподвижной части камеры расположен патрубок 11, соединенный с вакуумной системой установки.The invention relates to electron probe devices, in particular, cameras for examining objects in a raster electron microscope. The camera of electron microscope objects is known in which the detector of scattered and secondary electrons is moved by the mechanism in accordance with the movement of the object's table, which makes it possible to increase the accuracy of the information received by increasing the signal received by the detector. Ij The disadvantage of the camera is the complexity of its design and inability to use the required number of detectors. The closest in technical essence to the present invention is a camera of objects of an electron probe device, a table of objects and received elements of spectrometric detectors of X-ray and traceline radiation fixed in the camera body. In the device, multidimensional information on the interaction of the electronic probe with the selected area of the object is recorded by a set of detectors when the object is sequentially tilted in different directions 2. The disadvantage of this device is the inaccuracy of the obtained information about the various properties of the studied microzone of the object, due to the error in installing it relative to the electronic probe. The purpose of the invention is to improve the accuracy of the information received. The goal is achieved by the fact that in the chamber of objects of an electron probe device containing a table of objects and receiving elements of spectrometric detectors of x-ray and cathodoluminescent radiation fixed in the camera body, the camera body is made integral with the possibility of rotation of one part of the camera relative to another around the axis of the electronic probe, and receiving the elements of the detectors and the table of objects are placed in different parts of the camera body of the objects. The drawing shows the proposed camera, the axial section. The camera body of an object for an electron probe device consists of rotating 1 and fixed 2 parts interconnected by vacuum seals 3, which are rubber-coated fluoroplastic coatings. A pumped-out cavity 4 is formed between the gaskets, located in the fixed part 2 of the camera body. Roller bearings 5 are located in the ring grooves of the bases of the two body parts, ensuring smooth rotation of the movable body part 1 about the axis. An electronic probe 6 formed by an electro-optical system 7. In the rotating housing part 1 of the camera, there are receiving elements of the spectrometrically detectors of X-ray or cathodoluminescent radiation 8, which are hermetically embedded in the windows of the housing. In the fixed part 2 of the body there are a table of 9 objects and other detectors 10, for example, secondary electrons. In the bottom of the fixed part of the chamber is the pipe 11, which is connected to the vacuum system of the installation.
Устройство работает следующим образом .The device works as follows.
Исследуемый объект помещают на стол объектов 9 в неподвижной части 2 корпуса камеры. При воздействии на объект электронного зонда воз-никают известные физические влени , характеризующие свойства исследуемой микрозоны объекта. То-чность получаемой информации об этих свойствах повышаетс за счет обеспечени возможности сопоставлени данных от разнотипных детекторов о различных процессах и влени х в исследуемой области объекта путем сравнени интенсивностей их угловых распределений при последовательном располох ении приемных элементов детекторов в заданной плоскости . Выполнение корпуса камеры составным дает возможность использовани ПОВО.РОТНЫХ спектрометрических детекторов , имеющих элементы и узлу, которые по габаритам и функциональному назначению не могут быть расположены внутри объема камеры объектов. При этом сохран етс взаимное расположение электронного зонда и объекта, что исключает погрешности перемещени объекта. Кроме того процесс регистрации информации упрощаетс , так как упрощаетс процесс устаг овки объекта относительно детекторов.The test object is placed on the table of objects 9 in the fixed part 2 of the camera body. When an electron probe is exposed to an object, well-known physical phenomena occur, which characterize the properties of the object microzone under study. The accuracy of the obtained information about these properties is increased by making it possible to compare data from different types of detectors on various processes and phenomena in the studied area of the object by comparing the intensities of their angular distributions while sequentially placing the receiving elements of the detectors in a given plane. The implementation of the camera body as an integral one allows the use of POW-TOLEROUS spectrometric detectors with elements and assemblies that cannot be located within the volume of the object camera in terms of size or function. At the same time, the relative position of the electronic probe and the object is preserved, which excludes errors in the movement of the object. In addition, the process of registering information is simplified, since it simplifies the process of setting the object relative to the detectors.
Предлагаема камера объектов может быть использована в различных электронно-зондовых устройствах при исследовании физических свойств материалов и веществ, а также проведении технологических операций.The proposed camera facilities can be used in various electron probe devices in the study of the physical properties of materials and substances, as well as carrying out technological operations.