[go: up one dir, main page]

SU751166A1 - Устройство катодного распыления сегнетоэлектриков в вакууме - Google Patents

Устройство катодного распыления сегнетоэлектриков в вакууме

Info

Publication number
SU751166A1
SU751166A1 SU1899455/21A SU1899455A SU751166A1 SU 751166 A1 SU751166 A1 SU 751166A1 SU 1899455/21 A SU1899455/21 A SU 1899455/21A SU 1899455 A SU1899455 A SU 1899455A SU 751166 A1 SU751166 A1 SU 751166A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
ferroelectrics
vacuum
cathode spraying
cathode
spraying
Prior art date
Application number
SU1899455/21A
Other languages
English (en)
Inventor
М.М. Некрасов
Г.Т. Левченко
А.Л. Сигаев
Original Assignee
Киевский Политехнический Институт Им.50-Летия Великой Октябрьской Социалистической Революции
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Киевский Политехнический Институт Им.50-Летия Великой Октябрьской Социалистической Революции filed Critical Киевский Политехнический Институт Им.50-Летия Великой Октябрьской Социалистической Революции
Priority to SU1899455/21A priority Critical patent/SU751166A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU751166A1 publication Critical patent/SU751166A1/ru

Links

Landscapes

  • Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
  • Solid Thermionic Cathode (AREA)
  • Inorganic Insulating Materials (AREA)

Abstract

Устройство катодного распыления сегнетоэлектриков в вакууме, содержащее анод, катодный узел, включающий сегнетоэлектрическую мишень и систему разогрева мишени, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, система разогрева мишени выполнена в виде металлической пластины, расположенной на сегнетоэлектрической мишени с возможностью углового перемещения.
SU1899455/21A 1979-03-30 1979-03-30 Устройство катодного распыления сегнетоэлектриков в вакууме SU751166A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1899455/21A SU751166A1 (ru) 1979-03-30 1979-03-30 Устройство катодного распыления сегнетоэлектриков в вакууме

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1899455/21A SU751166A1 (ru) 1979-03-30 1979-03-30 Устройство катодного распыления сегнетоэлектриков в вакууме

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU751166A1 true SU751166A1 (ru) 1996-05-20

Family

ID=60518204

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU1899455/21A SU751166A1 (ru) 1979-03-30 1979-03-30 Устройство катодного распыления сегнетоэлектриков в вакууме

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU751166A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2657275C2 (ru) * 2016-11-17 2018-06-09 Государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования Московской области "Университет "Дубна" (Государственный университет "Дубна") Способ получения пленок теллурида кадмия магнетронным распылением на постоянном токе

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2657275C2 (ru) * 2016-11-17 2018-06-09 Государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования Московской области "Университет "Дубна" (Государственный университет "Дубна") Способ получения пленок теллурида кадмия магнетронным распылением на постоянном токе

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU537044B2 (en) Semiconductor cathode
AU521540B2 (en) Semicinductor cathode device
SU751166A1 (ru) Устройство катодного распыления сегнетоэлектриков в вакууме
ES8502092A1 (es) Un procedimiento de resolucion de trans-d1-1-n-propil-6-oxodecahidroquinolina en sus isomeros opticos
SU849893A1 (ru) Вычислительная система
SU957744A1 (ru) Трансформаторный плазмотрон
SU741618A1 (ru) Центробежно-шестеренный насос
SU766464A1 (ru) Свч-прибор
SU1026492A1 (ru) Катодное устройство алюминиевого электролизера
SU1184129A1 (ru) Центробежно-вакуумный пеногаситель
SU1066281A1 (ru) Двигатель
SU788672A1 (ru) Способ получения (со)полимеров бутадиена
SU669877A1 (ru) Временной дискриминатор
SU714968A1 (ru) Свч-прибор
SU895257A1 (ru) Криогенная электрическая машина
SU892881A1 (ru) Способ получения этилового эфира 2,3-диметилиндолкарбоновой-5-кислоты
SU758971A1 (ru) Способ изготовления полупроводниковых приборов
SU811519A1 (ru) Способ получения белкового раствора
SU805883A1 (ru) Способ формирования электродов аккумулятора
SU778612A1 (ru) Пластинчатый излучатель
SU669588A1 (ru) Способ изготовления изделий из ячеистобетонных смесей
SU749049A1 (ru) Способ получения периклаза, используемого в электротехнике
SU1196536A1 (ru) Способ создания вакуума
SU772123A1 (ru) 4(3н)-пиримидоны, обладающие психостимулирующим действием
SU751256A1 (ru) Способ нанесения тонких пленок