SU636266A1 - Электродуговой испаритель металлов - Google Patents
Электродуговой испаритель металловInfo
- Publication number
- SU636266A1 SU636266A1 SU762344232A SU2344232A SU636266A1 SU 636266 A1 SU636266 A1 SU 636266A1 SU 762344232 A SU762344232 A SU 762344232A SU 2344232 A SU2344232 A SU 2344232A SU 636266 A1 SU636266 A1 SU 636266A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- cathode
- working surface
- electric arc
- current
- magnetic field
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
- C23C14/325—Electric arc evaporation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Electrolytic Production Of Metals (AREA)
Description
(54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ
чески ссгедннен с отрицательным полюсом источника питани 5. Положительный полюс источника электрически соединен с камеройанодом . Экран 6, изготовленный из магнитного материала, охватывает нерабочую поверхность катода. На поверхности экрана, обращенной к катоду и противолежащей рабочей поверхности катода, в местах удаленных от токоподвода. выполнены радиальные относительно точки закреплени токопровода к катоду канавки 7. Поджигающее устройство 8 электрически соединено с камеройанодом .
Предлагаемый испаритель работает следующим образом. Зажигание дуги производитс (после достижени в камере I необходимого предварительного разр жени ) кратковременным закорачиванием промежутка анод-катод при помощи поджигающего устройства 8. Катодное п тно электрической дуги хаотически перемещаетс по рабочей поверхности катода 2. Электрический ток, проход по токоподводу 3 к катоду, создает вокруг токоподводов магнитное поле. При этом магнитное поле, создаваемое вокруг участка токоподвода симметричного отночительно оси катода, замыкаетс по экрану.
Магнитное поле вокруг участка токоподвода , расположенного под углом к оси катода , создает на рабочей поверхности катода вблизи токоподвода локальный участок с большей по сравнению с остальной рабочей поверхностью катода напр женностью магнитно1-о пол . В то же врем часть магнитного потока, замыкающегос по экрану б, в сечении канавок 7 вытесн етс за пределы тела экрана в сторону рабочей поверхности катода, повыща напр женность магнитного пол на той части рабочей поверхности катода , котора расположена вдали от токоподвода . Таким образом увеличиваетс равномерность магнитного пол на всей рабочей поверхности катода, что обеспечивает равномерное испарение катода и увеличение его срока службы.
При испытании преллагаемогт) электродугового испарител ток лу: и равен 150 а, рассто ние между рабочей поверхностью катода и осью части токо1:од:юла. расиоложенного под углом к оси катода, равно 5см. Глубина канавок на экране 6мм, ширина 3мм, толщина экрана 10мм. Число канавок 3, они были расположены между собой под углом 60° (см. фиг. 2). На рабочей поверхности катода было получено практически равномерное магнитное поле. Разница в напр женности магнитного пол на отдельных участках не превысила 3 эрстед, в то врем , как в аналогичном испарителе без канавок при прочих равных услови х, разница в на5 пр женности магнитного пол на отдельных участках достигала 15-20 эрстед.
На фиг. 3 приведен эскиз рабочей поверхности катода, который использован в испарителе без канавок на экране. Коэффициент использовани материала катода
составл ет около 20%, дальнейшее использование катода стало невозможным из-за нестабильности горени дуги. Срок службы такого катода при токе 150 а составл ет 50 часов.
5 На фиг. 5 приведен эскиз катода, использованного в испарителе с канавками на экране . Коэффициент использовани материала катода составил около 90%. Срок службы при токе 150 а - 250 час.
Claims (1)
1. Патент АнглииЖ322670, кл. С 7 F, 1973.
и.
,XX,y /x7
hIL
Й/г 7
г.г
/f fopidKi/yHHOHt/ насосу
Фиг J
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU762344232A SU636266A1 (ru) | 1976-04-05 | 1976-04-05 | Электродуговой испаритель металлов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU762344232A SU636266A1 (ru) | 1976-04-05 | 1976-04-05 | Электродуговой испаритель металлов |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU636266A1 true SU636266A1 (ru) | 1978-02-10 |
Family
ID=20655716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU762344232A SU636266A1 (ru) | 1976-04-05 | 1976-04-05 | Электродуговой испаритель металлов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU636266A1 (ru) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2545840A1 (fr) * | 1983-05-09 | 1984-11-16 | Vac Tec Syst | Appareil perfectionne pour la stabilisation d'un arc servant a la vaporisation d'une matiere solide |
| FR2556373A1 (fr) * | 1983-12-07 | 1985-06-14 | Vac Tec Syst | Procede ameliore et appareil pour la stabilisation d'un arc de pulverisation de cibles non permeables a l'aide d'un anneau d'arret permeable |
| FR2557151A1 (fr) * | 1983-09-12 | 1985-06-28 | Vac Tec Syst | Procede et appareil ameliores pour la stabilisation d'un arc d'evaporation comprenant le nettoyage initial de la cible |
| RU2556161C1 (ru) * | 2014-01-30 | 2015-07-10 | Валерий Никитич Гринавцев | Установка для нанесения металлических покрытий на стеклянные или керамические микрошарики |
-
1976
- 1976-04-05 SU SU762344232A patent/SU636266A1/ru active
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2545840A1 (fr) * | 1983-05-09 | 1984-11-16 | Vac Tec Syst | Appareil perfectionne pour la stabilisation d'un arc servant a la vaporisation d'une matiere solide |
| NL8400053A (nl) * | 1983-05-09 | 1984-12-03 | Vac Tec Syst | Werkwijze voor verdampingsboogstabilisatie en inrichting voor het toepassen van deze werkwijze. |
| FR2557151A1 (fr) * | 1983-09-12 | 1985-06-28 | Vac Tec Syst | Procede et appareil ameliores pour la stabilisation d'un arc d'evaporation comprenant le nettoyage initial de la cible |
| FR2556373A1 (fr) * | 1983-12-07 | 1985-06-14 | Vac Tec Syst | Procede ameliore et appareil pour la stabilisation d'un arc de pulverisation de cibles non permeables a l'aide d'un anneau d'arret permeable |
| RU2556161C1 (ru) * | 2014-01-30 | 2015-07-10 | Валерий Никитич Гринавцев | Установка для нанесения металлических покрытий на стеклянные или керамические микрошарики |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| NZ335320A (en) | Method and apparatus for vaccum diode-based devices with electride-coated electrodes | |
| FR2397093A1 (fr) | Onduleur, convertisseur de tension continue en tension alternative | |
| SU636266A1 (ru) | Электродуговой испаритель металлов | |
| ES327013A1 (es) | Instalacion con alimentacion electrica de socorro, perfeccionada. | |
| RU2302053C1 (ru) | Управляемый разрядник | |
| US4243950A (en) | Random noise generators | |
| GB1225832A (ru) | ||
| RU145556U1 (ru) | Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом | |
| RU2094965C1 (ru) | Система электропитания источника плазмы с безнакальным катодом-компенсатором | |
| JPS5740845A (en) | Ion beam generator | |
| RU147851U1 (ru) | Плазменный источник светового излучения | |
| SU454610A1 (ru) | Импульсный источник света | |
| US2595716A (en) | Gaseous discharge device | |
| JPS5941652A (ja) | 気化器エンジン点火システム用の高電圧インパルスエネルギのイオン化自励変換器 | |
| SU484267A1 (ru) | Электродуговой испаритель | |
| SU1376133A1 (ru) | Искровой источник света | |
| SU382186A1 (ru) | Управляемый вакуумный разрядник | |
| SU1275795A1 (ru) | Ионна пушка | |
| SU524267A1 (ru) | Управл емый малоиндуктивный разр дник | |
| SU692430A1 (ru) | Электронна газоразр дна пушка | |
| SU661042A1 (ru) | Устройство дл испарени электропровод щих материалов в вакууме | |
| SU218332A1 (ru) | Импульсный нейтронный генератор | |
| SU1121716A1 (ru) | Тиратрон | |
| SU1633464A1 (ru) | Устройство дл получени и удержани высокотемпературной плазмы | |
| RU26687U1 (ru) | Устройство для получения электрической энергии |