SU1516781A1 - Способ измерени поверхностной плотности покрыти - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике, к средствам контрол  толщины и плотности покрытий с использованием ионизирующих излучений. Цель изобретени  - повышение точности измерени  на подложках с переменным составом путем автоматической коррекции результатов контрол  по интенсивности прошедшего через подложку излучени  источника. Выход щее из издели  излучение регистрируетс  детектором, подключенным к устройству амплитудной селекции. Сопоставл   интенсивности излучений флуоресценции покрыти  и излучение источника, ослабленного в подложке, получают коэффициент,  вл ющийс  мерой величины поверхностной плотности покрыти . 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике, а именно к средствам контрол  толщины и плотности покрытий с использованием ионизирующих излучений.

Цель изобретени  - повышение точности измерени  поверхностной плотности покрыти  на подложках с переменным составом путем автоматической коррекции результатов контрол  по интенсивности прошедшего через подложку излучени  источника.

На чертеже приведен пример реализации предлагаемого способа.

Изделие, состо щее из сложнопро- фильной алюминиевой подложки 1 с хаотически расположенными каналами 2 и покрыти  3, со стороны подложки облучают узким пучком 4 моноэнергетического ионизирук цего излучени , наход щегос  в конвейере - формирователе 5 радионуклида 6. Выход щее из издели  излзгчение регистрируют сцин гилл ционным детектором 7, под- ;ключенным к устройству 8 амплитудной селекции электрических импульсов со счетчиками на выходе. Один канал устройства 8 настраивают на регистрацию импульсов с амплитудами, соответствующими энергии источника. Второй канал настраивают на регистрацию импульсов с амплитудами, соответствующими энергии рентгеновской флуоресУ1

9d

ценции покрыти , возбужденной источником . Таким образом, первый счетчик за установленный интервал наблюдени зафиксирует N, импульсов, вызванных фотонами радионуклида 6, и N импульсов , вызванных фотонами рентгеновской флуоресценции покрыти  3. Сопоставл   N иН„ путем делени , получают коэффициент,  вл ющийс  мерой величины поверхностной плотности покрыти  .

Следовательно, .

,f,A, ..f..

N.

М„е

К . . i

(«

f - Г.

N,, у-„,-/-л L

(

-Ч,

«,.| -

пото .л Л гтуче

где N,, - чис ю регистрируемых фотонов ис очника к отсутствии издели ; - коэффи1у1ент ослаблени  учени  подложкой дл  фотонов ис.т(.(, покрытием дл  фотонов источника, покр лтием дл  фотонов реитгено/пск : : флуоресценции покрыти  соотвстгтв- п п; К - коэффициент пре- обра: опэи;г-г (Ьотонов излучени  .чсточ ника п фогоны рентгеновской флуорес- цсн;;ии покг/ыти  ,

Таким образом,результаты измерени  не завис т не только от свойств подложки , но и от стабильности начального потока излучени .

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Способ измерени  поверхностной плотности покрыти , заключающийс  в том, что на объект контрол  направл ют первичный поток ионизирующего излучени , регистрируют интенсивность прошедшего через объект контрол  излучени , соответствуюргуто двум уровн м энергий, и определ ют величину поверхностной плотности, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности измерени  поверхностной плотности покрыти  на подложках , с переменным составом, первичный поток излучени  направл ют на объект контрол  со стороны подложки, в качестве одного уровн  энергии выбирают уровень энергии источника ионизирующего излучени , в качестве другого уровн  - уровень энергии рентгеновской флуоресценции, возбужденной первичным потоком в покрытии, а величину поверхностной плотности определ ют по отно1пению интенсивностей излуче1 ни  выбранных уровней.

   Редактор Е.Плпп

   Составитель В.Парнасов

   Техред А.Кравчук Корректор Л.Патай

   Заказ 6373/39

   Тираж 683

   ВМИ51ПИ Государственного комитета по изобретени м и открыти м при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5

   Подписное