RU2474466C1 - Способ получения мембран на основе оксида алюминия - Google Patents
Способ получения мембран на основе оксида алюминия Download PDFInfo
- Publication number
- RU2474466C1 RU2474466C1 RU2011133492/05A RU2011133492A RU2474466C1 RU 2474466 C1 RU2474466 C1 RU 2474466C1 RU 2011133492/05 A RU2011133492/05 A RU 2011133492/05A RU 2011133492 A RU2011133492 A RU 2011133492A RU 2474466 C1 RU2474466 C1 RU 2474466C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- membrane
- carried out
- aluminum
- ordered
- membranes
- Prior art date
Links
- 239000012528 membrane Substances 0.000 title claims abstract description 66
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 15
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract description 11
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 35
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 30
- 238000007743 anodising Methods 0.000 claims abstract description 15
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 11
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 18
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 10
- 238000002048 anodisation reaction Methods 0.000 claims description 7
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 5
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 5
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 claims description 4
- 239000011148 porous material Substances 0.000 abstract description 28
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 239000011943 nanocatalyst Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 abstract 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010327 methods by industry Methods 0.000 abstract 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 7
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 7
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 5
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 5
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 4
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 4
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 4
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- QWPPOHNGKGFGJK-UHFFFAOYSA-N hypochlorous acid Chemical compound ClO QWPPOHNGKGFGJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 238000004626 scanning electron microscopy Methods 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 238000000089 atomic force micrograph Methods 0.000 description 2
- 238000004630 atomic force microscopy Methods 0.000 description 2
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 2
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 2
- 230000002045 lasting effect Effects 0.000 description 2
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 2
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 description 2
- VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N perchloric acid Chemical compound OCl(=O)(=O)=O VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000011054 acetic acid Nutrition 0.000 description 1
- 150000001243 acetic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- RCTYPNKXASFOBE-UHFFFAOYSA-M chloromercury Chemical compound [Hg]Cl RCTYPNKXASFOBE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000008094 contradictory effect Effects 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000011978 dissolution method Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000006056 electrooxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000002090 nanochannel Substances 0.000 description 1
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 description 1
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области изготовления мембран и может быть использовано в нанотехнологии при производстве различных фильтров, темплатов для получения мембранных нанокатализаторов, производства капиллярных насосов, больших массивов углеродных нанотрубок, нанопроволок и других наноструктур. Способ получения мембран на основе оксида алюминия осуществляют следующим образом. Подготовленный образец алюминия подвергают первичному анодированию при напряжении 20-60 В, плотности тока 100-500 мА/см2, температуре 20-25°С в течение 5-10 мин. Образованный малоупорядоченный слой оксида алюминия удаляют наложением короткого катодного импульса напряжения от от +(20-60) В до -(20-60) В и длительностью не менее 10 с, после чего осуществляют вторичное анодирование с формированием пористого оксидного слоя алюминия с упорядоченной структурой. Удаление барьерного слоя, вскрытие «дна» пор и самопроизвольное отделение сформированной мембраны с упорядоченной структурой пор осуществляют наложением катодного импульса напряжения от +(40-60) В до -(40-60) В в течение 5-20 с. Изобретение обеспечивает упрощение и удешевление технологии изготовления мембран, повышение экологичности и сокращение времени технологического процесса. 2 з.п. ф-лы, 10 ил., 3 пр.
Description
Изобретение относится к области изготовления мембран и может быть использовано в нанотехнологии при производстве различных фильтров, темплатов для получения мембранных нанокатализаторов, производства капиллярных насосов, больших массивов углеродных нанотрубок, нанопроволок и других наноструктур.
Проблема формирования упорядоченных оксидных структур на поверхности металлов, в частности алюминия, является в настоящее время особо актуальной. Большой интерес в связи с этим привлекает возможность изготовления мембран путем контролируемого растворения алюминия с одновременным формированием упорядоченных слоев из оксида алюминия при его электрохимическом окислении. Одной из наиболее существенных проблем при получении пористых анодно сформированных мембран является отделение их от основы, т.е получение «свободных» мембран с целью их практического применения.
Известны способы получения мембранных наноструктур на основе алюминия путем полировки алюминиевых фольг с последующим анодированием в растворах кислот [1, 2, 3]. Описанные в приведенных источниках способы изготовления мембран включают стадию химического травления барьерного слоя. При этом качество получаемых пористых структур не удовлетворяет требованиям к мембранам, т.к. одновременно со снятием барьерного слоя происходит увеличение диаметра пор и получение мембран с отверстиями меньше 100 нм становится практически невозможным. Кроме того, все названные способы предполагают использование агрессивных экологических небезопасных реагентов, например растворов хлорида ртути.
Известно, что удаление барьерного слоя и, следовательно, открытие пор анодного оксида алюминия кроме методов химического растворения может быть достигнуто путем избирательного (фокусированного) ионного травления барьерного слоя (FIB); это требует специального и довольно сложного оборудования, что удорожает стоимость производства пористых мембран [4].
Из уровня техники известны способы формирования мембран на основе диоксида титана, в которых отделение мембран от основы осуществляется электрохимическим путем. Однако параметры, при которых происходит отделение сформированных мембран согласно приведенным данным, достаточно противоречивы: в способе [5] процесс происходит за счет снижения напряжения от 100 до 10 В и выдерживания образца при низком напряжении в течение 0,5 мин, а в способе, описанном в [6], подобный результат достигается, напротив, увеличением на короткое время напряжения на 5 В выше, чем при анодном окислении. Недостатками указанных способов отделения мембраны от основы является неполнота вскрытия пор.
Наиболее близким к заявляемому способу техническим решением является способ получения пористых мембран на основе алюминия [7], выбранный за прототип. Способ включает полировку алюминиевых фольг, анодное окисление, удаление барьерного слоя и вскрытие «дна» пор травлением в смеси концентрированных фтористоводородной, азотной и уксусной кислот при соотношении (2,5-3,5):(1,5-2,5):(4,5-5,5) объемных процентов при температуре 40-50°С в течение 1,5-2,5 мин и очистку каналов пор. Недостатками способа являются применение агрессивных и экологически небезопасных компонентов травильной смеси и длительность операций химического травления - более 3,5 часов. Кроме того, из описания не вытекает, что авторы достигают отделения «свободной» мембраны от алюминиевой основы.
Задачей, на решение которой направлено заявляемое изобретение, является разработка быстрого, эффективного и практически безреагентного способа удаления барьерного слоя с одновременным вскрытием дна пор, позволяющего легко отделять образованную анодным оксидированием мембрану от алюминиевой основы без изменения характеристик пористости и прочности получаемых мембран.
Технические результаты - упрощение способа формирования и отделения пористых мембран, а также повышение экологичности технологического процесса.
Поставленная задача решается способом получения мембран на основе оксида алюминия, включающим первичное анодирование подготовленного алюминиевого образца, электрохимическое удаление первого анодного слоя оксида алюминия, повторное анодирование образца для формирования пористого оксидного слоя алюминия с упорядоченной структурой с последующим вскрытием «дна» пор и отделением сформированной мембраны наложением катодного импульса напряжения.
При этом:
- первичное анодирование осуществляют в 0,3М растворе щавелевой кислоты при напряжении 20-60 В, плотности тока 100-500 мА/см2, температуре 20-25°С в течение 5-10 мин. В результате формируют пористый и малоупорядоченный слой оксида алюминия (так называемый «жертвенный слой»);
- снятие оксидного слоя после первичного анодирования проводят наложением на анодируемый образец катодной поляризации при напряжении от +(20-60) В до -(20-60) В с длительностью импульса не менее 10 с; при этом формируют упорядоченную структуру алюминиевой основы;
- повторное анодирование осуществляют при напряжении 20-60 В, температуре 20-30°С и плотности тока 100-500 мА/см2 в течение не более 10 мин; при этом формируют пористый оксидный слой с упорядоченной и регулярной структурой нанопор;
- удаление барьерного слоя и вскрытие «дна» пор, а также отделение сформированной мембраны с упорядоченной структурой нанопор проводят также наложением катодного импульса напряжения от +(40-60)В до -(40-60) В в течение 5-20 с.
В результате достигается двойной эффект - происходит вскрытие пор обратной стороны мембраны и легкое отделение мембраны (без внешнего воздействия) от алюминиевой основы.
Заявляемый способ осуществляют следующим образом.
Перед процессом анодирования алюминия образец подготавливают по известной из уровня техники методике: осуществляют травление образца и его полировку. Для этого алюминиевую фольгу (техническая чистота - 99,9%) подвергают травлению при температуре 60°С в водном растворе смеси кислот HF:HNO3:HClO4:H2O при соотношении компонентов 1:10:20:69 в течение трех минут. После чего подвергают образец электрохимической полировке в смеси этилового спирта и 60%-ной хлорной кислоты в соотношении 4:1 в течение одной минуты при температуре 20°С и плотности анодного тока 500 мА/см2. Для алюминия более высоких марок чистоты эти операции могут быть исключены.
Подготовленный образец алюминия подвергают первичному анодированию: процесс осуществляют в 0,3М растворе щавелевой кислоты при напряжении 20-60 В, плотностях тока 100-500 мА/см2, при температуре 20-25°С в течение 5-10 мин. В результате формируют пористый и малоупорядоченный слой оксида алюминия, т.н. «жертвенный» слой.
Далее, наложением короткого катодного импульса напряжения от +(20-60) В до -(20-60) В и длительностью не менее 10 с удаляют первый слой оксида алюминия. После этого в том же электролите проводят повторное анодирование образца при напряжении 20-60 В и плотности тока 100-500 мА/см2. В результате формируют пористый оксидный слой алюминия с более упорядоченной и регулярной структурой нанопор. Вскрытие «дна» пор и отделение сформированной мембраны с упорядоченной структурой пор после повторного анодирования также проводят наложением катодного импульса напряжения от +(40-60) В до -(40-60) В в течение 5-20 с. В результате достигается двойной эффект - происходит вскрытие пор обратной стороны мембраны и ее легкое отделение от алюминиевой основы. Мембрана отделяется от основы без дополнительного внешнего воздействия с сохранением размеров и структуры пор.
Средний диаметр пор сформированных заявляемым способом мембран составляет 40-100 нм при толщине мембран около 10 мМ. При этом сохраняется целостность структуры мембран, сформированных заявляемым способом, и происходит равномерное вскрытие пор по всей поверхности мембраны.
Отличительные признаки заявляемого изобретения:
- снятие оксидного слоя после первичного анодирования проводится наложением на анодируемый образец катодной поляризации;
- снятие барьерного слоя, вскрытие «дна» пор и отделение мембраны от алюминиевой основы после повторного анодирования проводится без химического травления, а именно реверсом напряжения;
- сокращение времени формирования оксидных слоев: как при первом, так и втором анодировании время формирования оксидных слоев не превышает 10 мин.
Преимущества заявляемого способа:
- достигается формирование пористых мембран с сохранением заданных геометрических параметров, размеров нанопор и их упорядоченного распределения по поверхности мембраны;
- значительно упрощается и удешевляется технология изготовления мембран;
- повышается экологичность процессов в связи с отсутствием необходимости использования экологически небезопасных реагентов;
- сокращается время формирования мембран за счет замены длительного химического травления на наложение коротких катодных импульсов.
Изобретение иллюстрируется следующими фигурами:
фиг.1 - СЭМ-изображение поверхности мембраны из оксида алюминия после первой стадии анодирования до проведения вскрытия дна пор и отделения мембраны от алюминиевой основы;
фиг.2а - СЭМ-изображение "дна" не вскрытых пор до удаления барьерного слоя, 2б - АСМ изображение "дна" не вскрытых пор;
фиг.3 - СЭМ изображение обратной стороны мембраны после формирования второго анодного пористого слоя и вскрытия их катодным импульсом напряжения длительностью 10 сек;
фиг.4 - СЭМ - изображение верхней стороны мембраны, отделенной от алюминиевой основы, с вскрытыми порами после катодного импульса напряжения длительностью 10 сек;
фиг.5 - СЭМ - изображение пористой и нанотубулярной структуры анодно сформированной мембраны из оксида алюминия: фиг.5а - изображение нанотрубчатой структуры анодной пленки; фиг.5б - изображения выходов нанотрубок, образующих пористую структуру мембраны;
фиг.6 - кривые изменения напряжения и тока поляризации образца алюминия при формировании и отделении мембраны от алюминиевой основы катодным импульсом напряжения;
фиг.7 - изображение нановискеров, образующихся на поверхности пористой мембраны оксида алюминия при нарушении режимов формирования - при напряжении 70 В и температуре 40°С;
фиг.8 - кривые зависимости напряжения и тока от времени формирования и форма катодного импульса напряжения от +40 до 0 В при отделении мембраны от алюминиевой основы.
Изображения поверхности мембранных структур получены с помощью методов сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) и атомно-силовой микроскопии (АСМ); СЭМ-изображения получены с помощью сканирующего электронного микроскопа Carl Zeiss Cross Beam 1540 EX; АСМ-изображения - с помощью атомно-силового микроскопа NT-MDT Integra Prima.
Представленные ниже примеры подтверждают, но не ограничивают предлагаемое изобретение.
Пример 1. Травление экспериментального образца и его полировку проводили следующим образом. Алюминиевую фольгу (техническая чистота 99,9%) размерами 1,0×1,0×0,1 см подвергали травлению вначале в растворе смеси кислот состава HF:HNO3:HClO4:H2O в соотношении 1:10:20:69 при температуре 60°С в течение трех минут. После этого осуществляли электрохимическую полировку в смеси С2Н5ОН:HClO4 (60%) в соотношении 4:1 в течение одной минуты при температуре 20°С и плотности тока 500 мА/см2.
Далее образец алюминия подвергали анодному оксидированию в 0,3М растворе щавелевой кислоты при напряжении 40 В, температуре 20°С в течение 10 мин. В результате формировали пористый и малоупорядоченный слой оксида алюминия (фиг.1).
Затем наложением короткого катодного импульса напряжения от +40 до -40 В (фиг.6) удаляли первичный анодный слой и формировали упорядоченную структуру алюминиевой основы. Далее проводили вторичное анодирование при напряжении 40 В и плотности тока 500 мА/см2 в том же электролите, в результате которого формировали более упорядоченную структуру пористого оксидного слоя (фиг.4).
Вскрытие «дна» пор и отделение сформированной мембраны с упорядоченной структурой пор после вторичного анодирования также проводили наложением катодного импульса напряжения от +40 В до -40 В в течение 10 с. В результате происходит вскрытие пор обратной стороны мембраны с одновременным и самопроизвольным ее отделением от алюминиевой основы. Тем самым достигается формирование "свободной" мембраны, не связанной с подложкой (фиг.3). Средний диаметр пор полученной мембраны (фиг.4) составляет 60-80 нм при толщине мембраны около 10 мМ. Поры вскрыты равномерно по всей поверхности мембраны без разрушения ее структуры.
Экспериментальные данные показывают, что при напряжении формирования оксидного слоя алюминия менее 20 В не наблюдается формирование мембраны с высокой степенью упорядоченности и регулярности.
Пример 2 осуществляли по примеру 1, но первичное и вторичное анодирование осуществляли при напряжении +70 В, температуре 40°С в течение 10 минут.
В результате формировалось пористое недостаточно упорядоченное покрытие, местами закрытое нитеобразными структурами, нарушающими однородность поверхности сформированного анодного слоя (фиг.7).
Следовательно, повышение напряжения и температуры формирования как при образовании первого, так и второго анодноых слоев приводит к нарушению упорядоченности в сформированной пористой мембране. Качество сформированной мембраны уступает качеству мембраны, сформированной по условиям примера 1.
Пример 3. Мембрану, сформированную по примеру 1, отделяли наложением катодного импульса напряжения от +40 В до 0 В (фиг.8). При этом не достигается самопроизвольное отделение мембраны от алюминиевой основы и вскрытия пор. Экспериментальные данные свидетельствуют о том, что оптимальной формой импульса является реверс напряжения от +40 до -40 В. При иных параметрах импульса не достигается необходимая легкость отделения сформированной мембраны от алюминиевой основы без нарушения ее структуры.
При указанных выше оптимальных условиях заявляемый способ обеспечивает упрощение и удешевление технологии изготовления мембран, а также повышение экологичности и сокращение времени технологического процесса.
ЛИТЕРАТУРА
1. C.Y.Liu, A.Datta and Y.L.Wang «Ordered anodic aluminia nanochannels on focused-ion-beam-preparatteemed aluminum surfaces». Appl. Phys. Lett. v.78, №1, 2004, p.120-122.
2. O.Yessensky, F.Muller and U.Gosele «Self-organized formation of hexagonal pore arrays in anodic alumina». Appl. Phys. Lett. v.72, №10, 1998, p.1173-1175.
3. Patent US №3850762, опубл. 26.11.1974 г.
4. Патент РФ №2405621, опубл. 27.08.2010 г.
5. K.Kant., D.Losic, Phys. Status Solidi RRL3, №5, 139-141, 2009.
6. Yuan J.Y., He F.Y. et al., Chem. Mater. 2004. 16, №10, 1841-1844.
7. Патент РФ №2350380, опубл. 27.03.2009 г.
Claims (3)
1. Способ изготовления мембран на основе оксида алюминия, включающий подготовку поверхности образца, анодное окисление алюминия, удаление сформированного первого слоя оксида алюминия, отличающийся тем, что удаление сформированного первого оксида алюминия проводят электрохимически путем наложения катодного импульса от +(20-60)В до -(20-60)В и длительностью не менее 10 с, после чего осуществляют вторичное анодирование с формированием пористого оксидного слоя алюминия с упорядоченной структурой с последующим удалением барьерного слоя, вскрытием «дна» пор и отделением сформированной мембраны наложением катодного импульса напряжения от +(40-60)В до -(40-60)В в течение 5-20 с.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что первичное анодирование осуществляют в 0,3 М растворе щавелевой кислоты при напряжении 20-60 В, плотности тока 100-500 мА/см2, температуре 20-25°С в течение 5-10 мин.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что вторичное анодирование осуществляют при напряжении 20-60 В, плотности тока 100-500 мА/см2 и температуре 20-30°С в течение не более 10 мин.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2011133492/05A RU2474466C1 (ru) | 2011-08-09 | 2011-08-09 | Способ получения мембран на основе оксида алюминия |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2011133492/05A RU2474466C1 (ru) | 2011-08-09 | 2011-08-09 | Способ получения мембран на основе оксида алюминия |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2474466C1 true RU2474466C1 (ru) | 2013-02-10 |
Family
ID=49120369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2011133492/05A RU2474466C1 (ru) | 2011-08-09 | 2011-08-09 | Способ получения мембран на основе оксида алюминия |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2474466C1 (ru) |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3850762A (en) * | 1973-08-13 | 1974-11-26 | Boeing Co | Process for producing an anodic aluminum oxide membrane |
| SU1560280A1 (ru) * | 1986-08-01 | 1990-04-30 | Институт химии Дальневосточного научного центра АН СССР | Способ получени полупроницаемых мембран |
| US5160352A (en) * | 1991-09-06 | 1992-11-03 | Texaco Inc. | Method of forming membranes useful for separation of gases |
| RU2242271C1 (ru) * | 2003-12-01 | 2004-12-20 | Харитонов Дмитрий Юрьевич | Способ изготовления мембраны из оксида алюминия |
| RU2283691C1 (ru) * | 2005-02-22 | 2006-09-20 | Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН | Способ получения газопроницаемой мембраны и газопроницаемая мембрана |
| RU2335334C1 (ru) * | 2007-06-05 | 2008-10-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Национальная инновационная компания "Новые энергетические проекты" | Способ изготовления газопроницаемой мембраны и газопроницаемая мембрана |
| RU2350380C1 (ru) * | 2007-05-31 | 2009-03-27 | Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской Академии Наук (ИПТМ РАН) | Способ получения пористых мембран на основе алюминия |
| RU2405621C2 (ru) * | 2009-02-17 | 2010-12-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский авиационный институт (государственный технический университет) (МАИ) | Способ изготовления мембран с регулярными нанопорами из оксидов вентильных металлов |
-
2011
- 2011-08-09 RU RU2011133492/05A patent/RU2474466C1/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3850762A (en) * | 1973-08-13 | 1974-11-26 | Boeing Co | Process for producing an anodic aluminum oxide membrane |
| SU1560280A1 (ru) * | 1986-08-01 | 1990-04-30 | Институт химии Дальневосточного научного центра АН СССР | Способ получени полупроницаемых мембран |
| US5160352A (en) * | 1991-09-06 | 1992-11-03 | Texaco Inc. | Method of forming membranes useful for separation of gases |
| RU2242271C1 (ru) * | 2003-12-01 | 2004-12-20 | Харитонов Дмитрий Юрьевич | Способ изготовления мембраны из оксида алюминия |
| RU2283691C1 (ru) * | 2005-02-22 | 2006-09-20 | Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН | Способ получения газопроницаемой мембраны и газопроницаемая мембрана |
| RU2350380C1 (ru) * | 2007-05-31 | 2009-03-27 | Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской Академии Наук (ИПТМ РАН) | Способ получения пористых мембран на основе алюминия |
| RU2335334C1 (ru) * | 2007-06-05 | 2008-10-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Национальная инновационная компания "Новые энергетические проекты" | Способ изготовления газопроницаемой мембраны и газопроницаемая мембрана |
| RU2405621C2 (ru) * | 2009-02-17 | 2010-12-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский авиационный институт (государственный технический университет) (МАИ) | Способ изготовления мембран с регулярными нанопорами из оксидов вентильных металлов |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103147108B (zh) | 一种阳极氧化铝膜及其制备方法 | |
| Qin et al. | Effect of ethanol on the fabrication of porous anodic alumina in sulfuric acid | |
| Oh et al. | Selective barrier perforation in porous alumina anodized on substrates | |
| CN100432301C (zh) | 混合酸电解液制备高度有序的多孔阳极氧化铝模板的方法 | |
| JP5344850B2 (ja) | 陽極酸化ポーラスアルミナおよびその製造方法 | |
| Yuan et al. | High-speed growth of TiO2 nanotube arrays with gradient pore diameter and ultrathin tube wall under high-fieldanodization | |
| JP6760640B2 (ja) | 陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法 | |
| JP2012162769A (ja) | 陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法並びにその方法により製造された陽極酸化ポーラスアルミナ | |
| JP4608331B2 (ja) | 陽極酸化ポーラスアルミナおよびその製造方法 | |
| RU2474466C1 (ru) | Способ получения мембран на основе оксида алюминия | |
| Yang et al. | Hierarchical wall formation of titanium oxide nanotube arrays using anodic oxidation | |
| JP2003342791A (ja) | 細孔を有する構造体及びその製造方法 | |
| Jagminas et al. | A new route of alumina template modification into dense-packed fibrilous material | |
| Leitao et al. | Influence of surface pre‐treatment in the room temperature fabrication of nanoporous alumina | |
| KR101316082B1 (ko) | 비대칭 균일기공 알루미나 분리막 및 이의 제조방법 | |
| KR100999255B1 (ko) | 수직 이방성을 가지는 나노기둥 자성박막 제조방법 | |
| CN102839408A (zh) | 超声辅助阳极氧化制备超大孔间距多孔氧化铝膜的方法 | |
| Chahrour et al. | Influence of the Voltage on Pore Diameter and Growth Rate of Thin Anodic Aluminium Oxide (AAO) Pattern on Silicon Substrate | |
| Tang et al. | Pore-widening with the assistance of ultrasonic: A novel process for preparing porous anodic aluminum oxide membrane | |
| Friedman et al. | High-aspect ratio nano-noodles of alumina and titania | |
| KR20110106003A (ko) | 저순도 알루미늄을 이용한 나노기공성 구조물의 제조방법 | |
| JP5281296B2 (ja) | 凝集粒子の製造方法 | |
| Kasi et al. | Characterization of cracks in tubular anodic aluminum oxide membrane | |
| KR20130081367A (ko) | 알루미늄의 전기화학적 고온 양극 산화를 통한 극미세 나노 다공성 알루미나 구조체의 제조 방법 | |
| JP5642585B2 (ja) | 陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法並びにその方法により製造された陽極酸化ポーラスアルミナ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20180810 |