RU2298300C2 - Piezo-electric element and transformer of oscillations with piezo-electric element - Google Patents
Piezo-electric element and transformer of oscillations with piezo-electric element Download PDFInfo
- Publication number
- RU2298300C2 RU2298300C2 RU2002119726/28A RU2002119726A RU2298300C2 RU 2298300 C2 RU2298300 C2 RU 2298300C2 RU 2002119726/28 A RU2002119726/28 A RU 2002119726/28A RU 2002119726 A RU2002119726 A RU 2002119726A RU 2298300 C2 RU2298300 C2 RU 2298300C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- converter according
- piezoelectric element
- housing
- ceramic body
- coating
- Prior art date
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 title claims abstract description 8
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 42
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 25
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 24
- 238000005266 casting Methods 0.000 claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 claims description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 claims description 4
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 claims description 4
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 3
- 229920003049 isoprene rubber Polymers 0.000 claims description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 3
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- -1 or wire mesh Substances 0.000 claims description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 claims 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims 1
- 238000004382 potting Methods 0.000 claims 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 28
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 9
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 5
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 4
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 229940125898 compound 5 Drugs 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 2
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000008092 positive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000029058 respiratory gaseous exchange Effects 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
- H04R17/02—Microphones
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
- H10N30/883—Additional insulation means preventing electrical, physical or chemical damage, e.g. protective coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R1/00—Details of transducers, loudspeakers or microphones
- H04R1/46—Special adaptations for use as contact microphones, e.g. on musical instrument, on stethoscope
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Electrophonic Musical Instruments (AREA)
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Description
Изобретение касается пьезоэлектрического элемента для преобразования сигналов давления в электрические сигналы, и наоборот, согласно ограничительной части независимого пункта формулы изобретения, а также преобразователя колебаний с пьезоэлектрическим элементом.The invention relates to a piezoelectric element for converting pressure signals into electrical signals, and vice versa, according to the restrictive part of the independent claim, as well as an oscillation transducer with a piezoelectric element.
Из DE 4029972 известен пьезоэлемент, который предназначен для использования в качестве ультразвукового преобразователя и который состоит из нескольких слоев пористой пьезокерамики, размещенных один на другом, с электродами, расположенными между ними. Каждый слой пористой пьезокерамики изготовлен путем протягивания пластиковой пленки сквозь сосуд, который содержит керамический шликер, смешанный с зернами полимера. Стопка из пленки впоследствии прессуется и обжигается. В пределах каждого слоя пористая пьезокерамика имеет перепад пористости, при этом на граничных поверхностях пористость минимальна для улучшения контакта с электродами.A piezoelectric element is known from DE 4029972, which is intended to be used as an ultrasonic transducer and which consists of several layers of porous piezoceramics placed one on top of the other with electrodes located between them. Each layer of porous piezoceramics is made by drawing a plastic film through a vessel that contains a ceramic slip mixed with polymer grains. A stack of film is subsequently pressed and fired. Within each layer, the porous piezoceramic has a difference in porosity, while the porosity on the boundary surfaces is minimal to improve contact with the electrodes.
Преобразователи колебаний используются в самых различных целях; они могут использоваться в микрофонах, например контактных микрофонах для передачи информации, в датчиках ускорений, устройствах для аускультативной диагностики, для сейсмических исследований или аналогичных применений, в системах безопасности и других устройствах.Vibration transducers are used for a wide variety of purposes; they can be used in microphones, for example contact microphones for transmitting information, in acceleration sensors, devices for auscultative diagnostics, for seismic studies or similar applications, in security systems and other devices.
Из ЕР 0515521 В1 известен пьезокерамический датчик ускорений, который включает коробчатый, состоящий из двух частей, корпус из стекла или керамики, в котором формируется выемка, при этом между двумя частями корпуса закреплена пластина из пьезокерамики, которая вставлена в выемку. Пластина из пьезокерамики снабжена электродами в краевой угловой области, которая служит для соединения между половинами корпуса, причем половины корпуса имеют металлизацию для присоединения электродов с помощью контактных соединительных площадок к электрической схеме.A piezoceramic acceleration sensor is known from EP 0515521 B1, which includes a box-shaped, two-part, glass or ceramic case in which a recess is formed, while a plate made of piezoceramics is fixed between the two parts of the body and inserted into the recess. A piezoelectric ceramic plate is provided with electrodes in the edge corner region, which serves to connect between the halves of the housing, the halves of the housing having metallization for connecting the electrodes with the help of contact connecting pads to the electric circuit.
Целью изобретения является создание пьезоэлектрического элемента для преобразования сигналов давления в электрические сигналы, и наоборот, который имеет повышенную чувствительность и одновременно достаточную механическую прочность, при этом чувствительность преобразователя особенно повышена в одном направлении.The aim of the invention is the creation of a piezoelectric element for converting pressure signals into electrical signals, and vice versa, which has an increased sensitivity and at the same time sufficient mechanical strength, while the sensitivity of the transducer is especially increased in one direction.
Согласно изобретению эта цель достигается посредством признаков, изложенных в независимых и зависимых пунктах формулы изобретения.According to the invention, this goal is achieved through the features set forth in the independent and dependent claims.
Посредством признаков, конкретизированных в зависимых пунктах, возможно получение дополнительных преимуществ и улучшений.By means of the features specified in the dependent clauses, additional benefits and improvements are possible.
Под пористой пьезокерамикой здесь понимается пьезокерамический материал, например на основе отвержденной смеси цирконата-титаната свинца, имеющий пьезоэлектрические свойства и имеющий поры. В зависимости от того, имеет ли керамическое тело закрытые, то есть изолированные, или открытые, то есть сообщающиеся, поры, пористая пьезокерамика относится к пьезокомпозитам, которые соответствуют связи 3-0 или 3-3.Porous piezoceramics here means a piezoceramic material, for example, based on a cured mixture of lead zirconate-titanate, having piezoelectric properties and having pores. Depending on whether the ceramic body has closed, that is, isolated, or open, that is, communicating, pores, porous piezoceramics refers to piezocomposites that correspond to bonds 3-0 or 3-3.
Известно, что с переходом от высокотвердой низкопористой керамики к высокопористой пьезокерамике пьезоэлектрическая константа gн (чувствительность к звуку в воздухе/толщина пьезокерамики), которая является мерой чувствительности, значительно увеличивается, причем при пористости более 30% по объему происходит нелинейное увеличение упругой деформируемости керамики и уменьшение коэффициента Пуассона, то есть коэффициента поперечного сжатия, в соответствии с увеличением пористости. Первое свойство гарантирует высокую чувствительность, а второе обеспечивает то, что при механических колебаниях, действующих в пространстве во все стороны, величина пьезоэлектрической константы gн, то есть чувствительность, остается равной своему полному значению вдоль поляризационной оси, в то время как у твердой керамики она понижается из-за наложения сигнальных компонент главной оси, то есть поляризационной оси с противофазными сигнальными компонентами вторичных осей, так что пьезоэлемент становится менее чувствительным.It is known that with the transition from high-hard low-porous ceramics to highly porous piezoceramics, the piezoelectric constant g n (sound sensitivity in air / thickness of piezoceramics), which is a measure of sensitivity, increases significantly, and with porosity of more than 30% by volume, a nonlinear increase in the elastic deformability of ceramics and a decrease in the Poisson's ratio, that is, the transverse compression coefficient, in accordance with the increase in porosity. The first property guarantees high sensitivity, and the second ensures that with mechanical vibrations acting in space in all directions, the value of the piezoelectric constant g n , that is, the sensitivity, remains equal to its full value along the polarization axis, while for solid ceramics it decreases due to the superposition of the signal components of the main axis, that is, the polarization axis with antiphase signal components of the secondary axes, so that the piezoelectric element becomes less sensitive.
Этот эффект наиболее выражен у пористой керамики с открытыми порами, однако с увеличением пористости керамического тела его механическая прочность понижается, так что высокопористая керамика обычно не используется. Известно, что для улучшения стойкости высокопористой пьезокерамики с открытыми порами к механическим воздействиям можно заполнять поры различными полимерными соединениями, но при этом удельная пьезочувствительность значительно понижается. Типичными заполнителями являются эпоксидная смола и силиконовый каучук.This effect is most pronounced in porous ceramic with open pores, however, with increasing porosity of the ceramic body, its mechanical strength decreases, so highly porous ceramics are usually not used. It is known that to improve the resistance of highly porous piezoelectric ceramics with open pores to mechanical stresses, pores can be filled with various polymer compounds, but the specific piezoelectric sensitivity is significantly reduced. Typical fillers are epoxy and silicone rubber.
Благодаря тому, что согласно изобретению пористое керамическое тело включает открытые поры и снабжается эластичным покрытием по меньшей мере на той его поверхности, которая не занята электродами, пьезоэлектрическая константа пьезоэлектрического элемента значительно увеличивается, а эластичное покрытие улучшает механическую прочность керамического тела. В то же самое время очень удобно, когда керамическое тело по всей его поверхности герметично защищено покрытием.Due to the fact that, according to the invention, the porous ceramic body includes open pores and is provided with an elastic coating at least on that surface which is not occupied by electrodes, the piezoelectric constant of the piezoelectric element is significantly increased, and the elastic coating improves the mechanical strength of the ceramic body. At the same time, it is very convenient when a ceramic body over its entire surface is hermetically protected by a coating.
Роль эластичного покрытия, кроме увеличения механической прочности керамического тела с более высокой пористостью, посредством чего становится возможным его использование в пьезоэлектрическом элементе для преобразования сигналов давления в электрические сигналы, и наоборот, состоит в том, что благодаря этому покрытию эффект акустической волны повышает перепад давления между внутренним объемом пьезоэлемента и окружающей средой и, соответственно, достигается повышенная деформируемость пьезоэлемента. Из-за низкого коэффициента Пуассона высокопористой пьезокерамики повышенная объемная деформация преобразуется в одноосевую, главным образом продольную, деформацию, которая в результате прямого пьезоэффекта создает электрический заряд на электродах пьезоэлемента. В конечном итоге сигнал объемной деформации преобразуется пьезоэлементом из пористой керамики в электрический сигнал соответственно высокого уровня. При отсутствии эластичного покрытия деформация пьезоэлемента значительно меньше, так как в нем не возникает перепада давления и его пьезоэлектрическая константа также более низкая.The role of the elastic coating, in addition to increasing the mechanical strength of a ceramic body with a higher porosity, whereby it can be used in a piezoelectric element to convert pressure signals into electrical signals, and vice versa, is that due to this coating, the effect of the acoustic wave increases the pressure drop between the internal volume of the piezoelectric element and the environment and, accordingly, increased deformability of the piezoelectric element is achieved. Due to the low Poisson's ratio of highly porous piezoceramics, increased volumetric deformation is converted to uniaxial, mainly longitudinal, deformation, which, as a result of the direct piezoelectric effect, creates an electric charge on the electrodes of the piezoelectric element. Ultimately, the volumetric strain signal is converted by a piezoelectric element from porous ceramic to an electrical signal of a correspondingly high level. In the absence of an elastic coating, the deformation of the piezoelectric element is much less, since there is no pressure drop in it and its piezoelectric constant is also lower.
Предпочтительно, если пористое керамическое тело по всей площади сечения по существу однородно в отношении распределения открытых пор, сообщающихся друг с другом. Чтобы не нарушить посторонним материалом "дыхание", благодаря которому перепад давления в пределах керамического тела увеличивается, поры заполнены только воздухом или газом, а не твердым наполнителем, и не используется слоистая структура из различных материалов.Preferably, the porous ceramic body is substantially uniform over the entire cross-sectional area with respect to the distribution of open pores in communication with each other. In order not to disturb the "breathing" by extraneous material, due to which the pressure drop within the ceramic body increases, the pores are filled only with air or gas, and not with a solid filler, and a layered structure of various materials is not used.
Также толщина эластичного покрытия, которое имеет упругость в области между 10 и 50 по Шору, предпочтительно между 10 и 30 по Шору, должна быть выбрана в зависимости от материала так, чтобы деформация не подавлялась. Эта толщина находится в диапазоне от 0,1 до 1,5 мм, предпочтительно приблизительно от 0,1 до 0,5 мм.Also, the thickness of the elastic coating, which has an elasticity in the region between 10 and 50 Shore, preferably between 10 and 30 Shore, should be selected depending on the material so that the deformation is not suppressed. This thickness is in the range from 0.1 to 1.5 mm, preferably from about 0.1 to 0.5 mm.
Пористость предпочтительно должна быть выбрана настолько высокой, насколько это возможно, при этом верхний предел ограничен заданной прочностью, желательной чувствительностью и способом изготовления.Porosity should preferably be selected as high as possible, with the upper limit being limited by a given strength, desired sensitivity and manufacturing method.
Поскольку преобразователь колебаний согласно изобретению включает пьезоэлемент с пористым керамическим телом с открытыми порами, где одна торцевая поверхность пьезоэлектрического элемента по существу жестко соединена с дном корпуса, а противоположная торцевая поверхность образует чувствительную поверхность, и объем корпуса по меньшей мере частично заполнен заливочным составом, причем пьезоэлемент механически отделен от заливочного состава, достигается высокая чувствительность преобразователя к сигналам колебаний при хорошем отношении сигнал/шум, а благодаря механическому отделению амплитудно-частотная характеристика преобразователя улучшается, причем из-за жесткого соединения пористого керамического тела с дном корпуса, с учетом окружающего его заливочного состава, чувствительность будет направленной.Since the oscillation transducer according to the invention includes a piezoelectric element with a porous ceramic body with open pores, where one end surface of the piezoelectric element is essentially rigidly connected to the bottom of the body, and the opposite end surface forms a sensitive surface, and the volume of the body is at least partially filled with a filling composition, the piezoelectric element mechanically separated from the casting composition, a high sensitivity of the converter to vibration signals is achieved with good Ocean signal / noise ratio, due to a mechanical separation of the amplitude-frequency response of the transducer is improved, and because of the rigid connection of the porous ceramic body with a bottom casing surrounding it with the casting compound, the sensitivity will be directed.
Дополнительным преимуществом является то, что корпус установлен на рамке из материала, поглощающего колебания, и соединен с ней, то есть установлен упруго и так, чтобы гасить колебания, так как при этом чувствительность преобразователя к посторонним колебаниям резко уменьшается при поддержании высокой чувствительности по отношению к колебаниям, которые действуют на переднюю сторону преобразователя, причем этот эффект еще больше усиливается, если рамка образована втулкой, окружающей корпус, и опорной пластиной, а между втулкой и корпусом, и между опорной пластиной и корпусом имеется промежуток, который заполнен гасящей или поглощающей колебания средой.An additional advantage is that the housing is mounted on a frame of vibration-absorbing material and connected to it, that is, is mounted resiliently and so as to damp vibrations, since the sensitivity of the transducer to extraneous vibrations decreases sharply while maintaining high sensitivity with respect to vibrations that act on the front side of the transducer, and this effect is further enhanced if the frame is formed by a sleeve surrounding the housing and the support plate, and between the sleeve and the housing m, and there is a gap between the support plate and the housing, which is filled with a damping or absorbing medium.
Примеры вариантов конструкции согласно изобретению показаны на чертежах и рассматриваются ниже более подробно.Examples of design options according to the invention are shown in the drawings and are discussed below in more detail.
На фиг.1 показано сечение пьезоэлектрического элемента согласно примеру выполнения настоящего изобретения.Figure 1 shows a cross section of a piezoelectric element according to an exemplary embodiment of the present invention.
На фиг.2 показано сечение преобразователя колебаний согласно первому примеру выполнения изобретения.Figure 2 shows a cross section of a vibration transducer according to a first embodiment of the invention.
На фиг.3 показано сечение для другого примера выполнения преобразователя колебаний согласно изобретению.Figure 3 shows a cross section for another exemplary embodiment of a vibration transducer according to the invention.
На фиг.1 показано пористое и по существу однородное керамическое тело, обозначенное позицией 1, которое имеет открытые поры, причем объем, занятый порами, составляет не меньше 10%, предпочтительно - больше 30%; например, пористость может лежать между 50 и 70%. Поры обычно заполнены воздухом, но могут также содержать другие газы. К двум противолежащим поверхностям керамического тела присоединены два электрода 2, которые соединены с соединительными проводниками 3. Керамическое тело 1 по всей его периферии, кроме поверхности, занятой электродами 2, снабжено герметичным эластичным покрытием 4, например из полимера типа полиуретана, силиконового каучука, изопренового каучука или аналогичного материала. Толщина покрытия не должна быть слишком большой, чтобы сохранялась деформируемость керамического тела под действием колебаний, то есть чтобы деформация не предотвращалась, то же самое касается упругости покрытия. Упругость должна, например, находится в области от 10 до 50 единиц по Шору А, предпочтительно от 10 до 30 единиц по Шору А. Толщина слоя эластичного покрытия может находиться в диапазоне между от 0,1 до 1,5 мм, предпочтительно между 0,1 до 1,0 мм, в зависимости от используемого материала. Особенно хорошие результаты достигаются при толщине между 0,1 и 0,5 мм.1 shows a porous and substantially uniform ceramic body, indicated by 1, which has open pores, the volume occupied by the pores being at least 10%, preferably more than 30%; for example, porosity may lie between 50 and 70%. The pores are usually filled with air, but may also contain other gases. Two
ПримерыExamples
В качестве конкретных примеров выполнения пьезоэлементы были изготовлены из пьезокерамического материала PTZ-36 с пористостью 62-63% объема в форме дисков с диаметром 12 мм и высотой 5 мм. После осаждения металлического слоя на торцевые поверхности дисков, припаивания к этим слоям проводов для снятия сигналов и поляризации керамического корпуса эти поверхности элементов с целью сравнения были герметизированы слоями из различных эластичных полимеров, таких как полиуретан, силиконовый каучук и синтетический каучук.As specific examples of the implementation of the piezoelectric elements were made of piezoelectric material PTZ-36 with a porosity of 62-63% of the volume in the form of disks with a diameter of 12 mm and a height of 5 mm After the metal layer was deposited on the end surfaces of the disks, soldered to these layers of wires to pick up signals and polarized the ceramic body, these surfaces of the elements were sealed for comparison with layers of various elastic polymers such as polyurethane, silicone rubber and synthetic rubber.
Пьезоэлектрическая константа gн определялась согласно формулеThe piezoelectric constant g n was determined according to the formula
gн=Y/h.g n = Y / h.
где Y - чувствительность керамического тела к звуку в воздухе, в мВ/Па; h - высота керамического тела. Измерения проводились в пространстве без отражений на частоте 1000 Гц. Полученные результаты приведены в табл.1.where Y is the sensitivity of the ceramic body to sound in air, in mV / Pa; h is the height of the ceramic body. The measurements were carried out in space without reflections at a frequency of 1000 Hz. The results are shown in table 1.
Из приведенных данных следует, что посредством использования эластичных покрытий поддерживается высокая пьезоэлектрическая константа элементов из керамики с открытыми порами, причем чувствительность по сравнению с тем же самым керамическим телом без покрытия повышается в 20 раз. Из таблицы 1 также следует, что неэластичное покрытие приводит к увеличению пьезоэлектрической константы только в 2 раза.From the above data it follows that through the use of elastic coatings, a high piezoelectric constant of open-pore ceramic elements is maintained, and the sensitivity compared to the same uncoated ceramic body is increased by 20 times. From table 1 it also follows that the inelastic coating leads to an increase in the piezoelectric constant only 2 times.
Положительное влияние эластичного покрытия на пьезочувствительность имеет место в широкой полосе частот. В таблице 2 приведены пьезоэлектрические константы gн(мВ·м/Н) в зависимости от частоты для эластичного и неэластичного покрытия.The positive effect of an elastic coating on piezoelectric sensitivity takes place in a wide frequency band. Table 2 shows the piezoelectric constants g n (mV · m / N) depending on the frequency for an elastic and inelastic coating.
В отличие от характера пористости (открытые или закрытые поры) размер пор только слегка влияет на пьезочувствительность. В таблице 3 приведены значения чувствительности пьезоэлементов с одной и той же пористостью с открытыми порами в зависимости от размера пор, с покрытием из силиконового каучука.In contrast to the nature of porosity (open or closed pores), pore size only slightly affects piezosensitivity. Table 3 shows the sensitivity values of piezoelectric elements with the same porosity with open pores depending on the pore size, coated with silicone rubber.
В следующем примере, в таблице 4, пьезочувствительность представлена в зависимости от толщины слоя покрытия, без дополнительной нагрузки массой, при пористости 56%.In the following example, in table 4, the piezoelectric sensitivity is presented depending on the thickness of the coating layer, without additional mass load, with a porosity of 56%.
Следует отметить, что при толщине слоя 0,1 и 0,5 мм можно достичь самой высокой чувствительности.It should be noted that with a layer thickness of 0.1 and 0.5 mm, the highest sensitivity can be achieved.
В таком пьезоэлектрическом элементе достигается намного более высокая пьезочувствительность, чем в известных пьезоэлементах, и он имеет более простую конструкцию. По сравнению с пьезоэлементами из сплошной пьезокерамики пьезоэлемент, выполненный согласно изобретению, имеет почти в два раза более высокую пьезоэлектрическую константу, а также характеризуется широким частотным диапазоном (10-200 Гц) и равномерной амплитудно-частотной характеристикой, флуктуации которой в полосе звуковых частот не превышают 6 дБ.In such a piezoelectric element, a much higher piezoelectric sensitivity is achieved than in the known piezoelectric elements, and it has a simpler design. Compared to piezoelectric elements made of solid piezoelectric ceramics, the piezoelectric element made according to the invention has an almost two times higher piezoelectric constant, and also has a wide frequency range (10-200 Hz) and a uniform amplitude-frequency characteristic, the fluctuations of which in the frequency band of sound frequencies do not exceed 6 dB
На фиг.2 показан преобразователь колебаний, в котором используется вышеописанный пьезоэлемент. Преобразователь колебаний включает пьезоэлектрический элемент 22, размещенный в корпусе 8 и окруженный заливочным составом 5, заполняющим корпус 8. Корпус 8 имеет, например, форму бачка, открытого с одной стороны, на фиг.2 - открытого сверху, а пьезоэлемент 22 несколько выступает за уровень заливочного состава 5, образуя тем самым чувствительную поверхность датчика на пьезоэлементе 22. Корпус 8, то есть пьезоэлемент 22 и заливочный состав 5, закрыты экранирующей пленкой 6, выполненной из металлической фольги или из тонкопроволочной сетки или из металлизированной пластиковой пленки или из электропроводящего полимера. Корпус имеет край в виде фланца, который окружен фланцевым кольцом 7, зажимающим экранирующую пленку 6 и край корпуса 8.Figure 2 shows the oscillation transducer, which uses the above piezoelectric element. The oscillation transducer includes a
Пьезоэлемент 22 снабжен электродами для передачи электрических сигналов на другие устройства. Электроды 2 соединены со схемой 20 преобразователя импеданса, посредством которой осуществляется соответствующее электрическое согласование.The
Верхний электрод 2 соединен с экранирующей пленкой 6 через соединение 16, а нижний электрод 2 соединен со схемой 20 преобразователя импеданса через соединительный вывод. Соединительный кабель 18 идет наружу.The
Пористое керамическое тело 1 для механической стабилизации и для увеличения перепада давления снабжено эластичным покрытием 4, которое герметично окружает керамическое тело 1 по всей его поверхности.Porous
При изготовлении преобразователя колебаний, показанного на фиг.2, пористое керамическое тело 1, снабженное эластичным полимерным покрытием 4, одной торцевой поверхностью посредством жесткого соединения 19 соединяется, например, с адгезивным слоем на дне корпуса. Керамическое тело 1, снабженное эластичным покрытием 4, соединяется со свободной, то есть не жестко присоединенной, оболочкой 9, которая, например, может быть сформирована в виде силиконовой трубки, которая надевается на керамическое тело 1, и затем корпус полностью или частично заполняется заливочным составом - эпоксидной смолой или другим малоэластичным компаундом. При этом оболочка 9 отделяет пьезоэлемент 22 от заливочного состава 5 и обеспечивает их механическое разделение. Схема преобразователя импеданса, соединенная с электродами, залита и окружена тем же самым заливочным составом 5.In the manufacture of the vibration transducer shown in FIG. 2, the porous
В результате выполнения устройства так, как показано на фиг.2, тыльная сторона керамического тела максимально "нагружена" инертной массой корпуса 8, а его передняя сторона максимально "разгружена", что увеличивает чувствительность преобразователя колебаний с этой передней стороны и одновременно понижает его чувствительность с тыльной стороны. Использование защитной оболочки 9 для покрытия поверхности или боковой поверхности пьезоэлемента, помимо прочего, допускает использование малоэластичного материала для заливки корпуса, без понижения при этом чувствительности преобразователя, что делает возможным сдвинуть собственный резонанс преобразователя в область высоких частот и таким образом улучшить его амплитудно-частотную характеристику в области низких частот.As a result of the device, as shown in figure 2, the back side of the ceramic body is "loaded" with the inert mass of the
Такой преобразователь может, как уже было упомянуто выше, использоваться как контактный микрофон или микрофон для обнаружения шумовых ударных ускорений, причем в этом случае только торцевая поверхность пьезоэлемента, которая выступает за переднюю сторону корпуса 8, имеет контакт с поверхностью источника сигнала.Such a transducer can, as already mentioned above, be used as a contact microphone or a microphone to detect noise shock accelerations, in which case only the end surface of the piezoelectric element, which protrudes beyond the front side of the
В одном конкретном примере преобразователь, показанный на фиг.2, имеет высоту 5,8 мм и диаметр 21,5/18,0 мм и массу приблизительно 7 г, его коэффициент передачи шумовых ударных ускорений составляет 1500 мВ/g, амплитудно-частотная характеристика в частотном диапазоне 50-5000 Гц имеет неравномерность в пределах 6 дБ, а отношение чувствительностей с передней и тыльной сторон составляет около 20 дБ.In one specific example, the transducer shown in FIG. 2 has a height of 5.8 mm and a diameter of 21.5 / 18.0 mm and a mass of approximately 7 g, its transmission coefficient of noise shock accelerations is 1500 mV / g, and the frequency response in the frequency range of 50-5000 Hz has an unevenness within 6 dB, and the ratio of sensitivities on the front and back sides is about 20 dB.
Еще один пример выполнения изобретения показан на фиг.3, где преобразователь обозначен позицией 10 и может иметь конструкцию согласно фиг.2.Another exemplary embodiment of the invention is shown in FIG. 3, where the transducer is indicated by 10 and may be constructed in accordance with FIG. 2.
Как можно видеть, край 13 корпуса 8 поддерживается цилиндрической втулкой 11 из эластичного звукопоглощающего материала, которая окружает корпус 8 по его периметру. Кроме того, имеется крышка 12, также в виде бачка, в которую помещен корпус 8 вместе с цилиндром 11, причем цилиндр 11, выполненный из звукопоглощающего материала, посредством соединительных участков 14 соединен, с одной стороны, с краем 13 корпуса, выполненным в виде фланца, а с другой стороны - с дном крышки 12. В то же самое время между дном корпуса 1 и дном стакана 12 имеется промежуток 15, который заполнен средой, поглощающей колебания. Это может быть воздух, вакуум, текучая или другая среда.As you can see, the
В настоящем примере конструкции используется крышка, но могут также использоваться и другие варианты выполнения, делающие преобразователь 10 колебаний нечувствительным к посторонним колебаниям. При этом, однако, остается прежней основная концепция упругой звукопоглощающей подвески преобразователя и наличия промежуточного пространства, образующего двойное дно устройства.In the present construction example, a cover is used, but other embodiments may also be used, making the
В такой конструкции достигается значительное понижение или, для некоторых частот, фактически полное подавление чувствительности преобразователя к посторонним колебаниям, в то время как сохраняется высокая чувствительность к сигналам колебаний, которые действуют на переднюю сторону, при минимальном увеличении толщины преобразователя. Втулка из эластичного звукопоглощающего материала, окружающая корпус преобразователя, которая может иметь форму цилиндра, прикрепляется одной стороной к передней стороне корпуса, а другой стороной - к дну крышки, надетой на преобразователь, или только к одному внешнему диску. В то же самое время между корпусом преобразователя и диском, или между корпусом и дном крышки имеется промежуточное пространство, образующее двойное дно, которое может быть заполнено газом, вакуумом, жидкостью или другой поглощающей колебания средой.Such a design achieves a significant reduction or, for some frequencies, virtually complete suppression of the sensitivity of the transducer to extraneous vibrations, while maintaining high sensitivity to vibration signals that act on the front side with a minimum increase in the thickness of the transducer. A sleeve of elastic sound-absorbing material surrounding the transducer case, which may be in the form of a cylinder, is attached on one side to the front side of the case, and on the other side to the bottom of the cover worn on the transducer, or to only one external drive. At the same time, there is an intermediate space between the converter case and the disk, or between the case and the bottom of the cover, which forms a double bottom, which can be filled with gas, vacuum, liquid, or other vibration-absorbing medium.
Claims (18)
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10137425.9 | 2001-07-27 | ||
| DE10137424A DE10137424C2 (en) | 2001-07-27 | 2001-07-27 | vibration transducer |
| DE10137425A DE10137425B4 (en) | 2001-07-27 | 2001-07-27 | Piezoelectric element |
| DE10137424.0 | 2001-07-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2002119726A RU2002119726A (en) | 2004-03-20 |
| RU2298300C2 true RU2298300C2 (en) | 2007-04-27 |
Family
ID=26009833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2002119726/28A RU2298300C2 (en) | 2001-07-27 | 2002-07-25 | Piezo-electric element and transformer of oscillations with piezo-electric element |
Country Status (11)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6897601B2 (en) |
| EP (1) | EP1282174B1 (en) |
| JP (1) | JP4318433B2 (en) |
| KR (1) | KR100924618B1 (en) |
| CN (1) | CN100397673C (en) |
| AT (1) | ATE398837T1 (en) |
| DE (1) | DE50212375D1 (en) |
| DK (1) | DK1282174T3 (en) |
| ES (1) | ES2307708T3 (en) |
| HK (1) | HK1053191B (en) |
| RU (1) | RU2298300C2 (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2686492C1 (en) * | 2018-03-16 | 2019-04-29 | Российская Федерация, от имени которой выступает ФОНД ПЕРСПЕКТИВНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ | Sensitive element from connectivity piezocomposite 1-3 and method of its production |
| RU190175U1 (en) * | 2018-11-12 | 2019-06-24 | Алексей Валерьевич Косцов | GLOVE WITH PRESSURE SENSORS |
| RU2710103C1 (en) * | 2018-11-30 | 2019-12-24 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет" | Method of producing composite sensitive piezoelectric cell |
| RU197428U1 (en) * | 2019-11-25 | 2020-04-24 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Южный федеральный университет» | Piezoelectric sonar transducer |
| RU2802593C1 (en) * | 2020-01-17 | 2023-08-30 | Шэньчжэнь Шокз Ко., Лтд. | Bone conductivity microphone |
Families Citing this family (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2176108B1 (en) * | 2000-12-19 | 2004-01-16 | Senal Angel Castillo | CONSTRUCTION SYSTEM OF FOUNDATIONS WITH ANTISISMIC PLATES. |
| US7513147B2 (en) * | 2003-07-03 | 2009-04-07 | Pathfinder Energy Services, Inc. | Piezocomposite transducer for a downhole measurement tool |
| US7075215B2 (en) * | 2003-07-03 | 2006-07-11 | Pathfinder Energy Services, Inc. | Matching layer assembly for a downhole acoustic sensor |
| FR2870375B1 (en) * | 2004-05-14 | 2006-12-08 | Virtual Switches Sa | DEVICE FOR DIAGNOSING AT LEAST ONE OPERATING PARAMETER OF AN INDUSTRIAL APPARATUS |
| US7694734B2 (en) * | 2005-10-31 | 2010-04-13 | Baker Hughes Incorporated | Method and apparatus for insulating a resonator downhole |
| US7587936B2 (en) * | 2007-02-01 | 2009-09-15 | Smith International Inc. | Apparatus and method for determining drilling fluid acoustic properties |
| KR100917233B1 (en) * | 2007-07-26 | 2009-09-16 | 한국전자통신연구원 | Surface-coated polymer actuator and its manufacturing method |
| DE102007037561A1 (en) * | 2007-08-09 | 2009-02-19 | Ceotronics Aktiengesellschaft Audio . Video . Data Communication | Sound transducer for the transmission of audio signals |
| US8117907B2 (en) | 2008-12-19 | 2012-02-21 | Pathfinder Energy Services, Inc. | Caliper logging using circumferentially spaced and/or angled transducer elements |
| JP5006354B2 (en) * | 2009-01-29 | 2012-08-22 | 日本碍子株式会社 | Piezoelectric / electrostrictive resonator |
| TW201033050A (en) * | 2009-03-10 | 2010-09-16 | shi-xiong Li | Anti-EMI ultrasonic probe |
| CN102384803B (en) * | 2011-08-08 | 2012-12-26 | 大连理工大学 | Electromagnetic interference preventing embedded type multifunctional piezoelectric intelligent aggregate of concrete structure |
| CA2846269C (en) * | 2011-08-24 | 2019-01-15 | National Research Council Of Canada | Porosity control in piezoelectric films |
| JP5880934B2 (en) * | 2011-12-20 | 2016-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | Sensor device, sensor module, force detection device, robot |
| JP5880936B2 (en) * | 2011-12-20 | 2016-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | Sensor device, sensor module, force detection device, and robot |
| JP5880935B2 (en) * | 2011-12-20 | 2016-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | Sensor device, sensor module, robot, and manufacturing method of sensor device |
| JP5895615B2 (en) * | 2012-03-09 | 2016-03-30 | セイコーエプソン株式会社 | Sensor module, force detection device and robot |
| US9818925B2 (en) * | 2012-06-14 | 2017-11-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibrating body, method of manufacturing the same and vibration type drive device |
| EP2741283A1 (en) * | 2012-12-04 | 2014-06-11 | Baumer Electric AG | Electronic attenuation of the active element of an ultrasonic sensor |
| DE102013104186A1 (en) * | 2013-04-25 | 2014-10-30 | Coatec Gmbh | Bearing ring, electrically insulating coating and method for applying an electrically insulating coating |
| EP3101441B1 (en) * | 2015-06-03 | 2018-05-16 | Pepperl + Fuchs GmbH | Ultrasound converter |
| CN107277722A (en) * | 2017-06-23 | 2017-10-20 | 华中科技大学 | Flexible generating element, self-driven vocal print sensor and Application on Voiceprint Recognition security system |
| DE102017221618A1 (en) * | 2017-10-27 | 2019-05-02 | Continental Automotive Gmbh | Ultrasonic transducer with at least one piezoelectric oscillator |
| JP6741931B2 (en) * | 2018-07-17 | 2020-08-19 | 清 永井 | Method for manufacturing porous piezoelectric material and method for manufacturing arrayed probe |
| KR102075911B1 (en) * | 2018-10-16 | 2020-02-12 | 한국생산기술연구원 | Composite sensor and manufacturing method thereof |
| CN113141565B (en) | 2020-01-17 | 2024-08-13 | 深圳市韶音科技有限公司 | Microphone device |
| CN111884616B (en) * | 2020-07-23 | 2021-04-13 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | A substrate substrate/piezoelectric material film structure and its preparation method and application |
| DE102020121337A1 (en) * | 2020-08-13 | 2022-02-17 | Tdk Electronics Ag | Piezoelectric transducer and method for adjusting the electromechanical properties of a piezoelectric transducer |
| US12226790B2 (en) * | 2021-05-28 | 2025-02-18 | Nissan North America, Inc. | Acoustic force assisted painting system |
Family Cites Families (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL102059C (en) * | 1953-12-21 | |||
| US2814575A (en) * | 1954-08-13 | 1957-11-26 | Hodes Lange Corp | Method and apparatus for cleaning ampoules with the aid of ultrasonic vibration |
| US3230402A (en) * | 1963-08-15 | 1966-01-18 | Anne B Nightingale | Piezoelectric crystal |
| US3360665A (en) * | 1965-04-15 | 1967-12-26 | Clevite Corp | Prestressed piezoelectric transducer |
| JPS5831427Y2 (en) * | 1976-12-28 | 1983-07-12 | 呉羽化学工業株式会社 | Polymer piezoelectric transducer |
| GB2068355B (en) * | 1979-12-26 | 1983-09-01 | Okazaki K | Method of manufacturing interconnected porous ceramics |
| DE3023155A1 (en) * | 1980-06-20 | 1982-01-07 | Telemit Electronic GmbH, 8000 München | Piezoelectric contact microphone - has contact area supporting and operating stressed piezo pillar under its elasticised lower retaining flange diaphragm |
| JPS58119300A (en) * | 1982-01-08 | 1983-07-15 | Nippon Columbia Co Ltd | Microphone |
| JPS6378700A (en) * | 1986-09-22 | 1988-04-08 | Toshiba Corp | Composite piezoelectric ultrasonic probe |
| JPH01174278A (en) * | 1987-12-28 | 1989-07-10 | Misuzu Erii:Kk | Inverter |
| JP2745147B2 (en) * | 1989-03-27 | 1998-04-28 | 三菱マテリアル 株式会社 | Piezoelectric transducer |
| US4952836A (en) * | 1989-04-27 | 1990-08-28 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Piezoelectrostatic generator |
| US4928264A (en) * | 1989-06-30 | 1990-05-22 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Noise-suppressing hydrophones |
| EP0515521B1 (en) | 1990-02-14 | 1994-09-28 | Endevco Corporation | Surface-mount piezoceramic accelerometer and method for making same |
| DE4029972A1 (en) | 1990-09-21 | 1992-03-26 | Siemens Ag | PIEZOCERAMIC ULTRASONIC TRANSDUCERS |
| US5148077A (en) * | 1990-09-28 | 1992-09-15 | Caterpillar Inc. | Coating surrounding a piezoelectric solid state motor stack |
| US5305507A (en) * | 1990-10-29 | 1994-04-26 | Trw Inc. | Method for encapsulating a ceramic device for embedding in composite structures |
| US5894651A (en) * | 1990-10-29 | 1999-04-20 | Trw Inc. | Method for encapsulating a ceramic device for embedding in composite structures |
| JPH0678070A (en) | 1992-08-25 | 1994-03-18 | Canon Inc | Programmable transmitting equipment |
| JPH06269094A (en) | 1993-03-16 | 1994-09-22 | Japan Radio Co Ltd | Ultrasonic wave transmitter-receiver |
| US5550790A (en) * | 1995-02-10 | 1996-08-27 | Kistler-Morse Corporation | Acoustic transducer for level measurement in corrosive chemical environments |
| DE19814697C1 (en) | 1998-04-01 | 1999-10-21 | Doru Constantin Lupasco | Piezoelectric actuator, especially multilayer ceramic piezo-actuator used as positioning device, ultrasonic emitter, valve controller or sensor |
| EP0979686A3 (en) * | 1998-08-12 | 2002-02-06 | Ueda Japan Radio Co., Ltd. | Porous piezoelectric ceramic sheet and piezoelectric transducer |
-
2002
- 2002-07-16 EP EP02090256A patent/EP1282174B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-16 ES ES02090256T patent/ES2307708T3/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-16 AT AT02090256T patent/ATE398837T1/en active
- 2002-07-16 DE DE50212375T patent/DE50212375D1/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-16 DK DK02090256T patent/DK1282174T3/en active
- 2002-07-24 US US10/206,600 patent/US6897601B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-07-25 RU RU2002119726/28A patent/RU2298300C2/en not_active IP Right Cessation
- 2002-07-25 JP JP2002217231A patent/JP4318433B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-07-26 KR KR1020020044205A patent/KR100924618B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-07-29 CN CNB021273774A patent/CN100397673C/en not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-07-23 HK HK03105329.8A patent/HK1053191B/en not_active IP Right Cessation
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2686492C1 (en) * | 2018-03-16 | 2019-04-29 | Российская Федерация, от имени которой выступает ФОНД ПЕРСПЕКТИВНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ | Sensitive element from connectivity piezocomposite 1-3 and method of its production |
| RU190175U1 (en) * | 2018-11-12 | 2019-06-24 | Алексей Валерьевич Косцов | GLOVE WITH PRESSURE SENSORS |
| RU2710103C1 (en) * | 2018-11-30 | 2019-12-24 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет" | Method of producing composite sensitive piezoelectric cell |
| RU197428U1 (en) * | 2019-11-25 | 2020-04-24 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Южный федеральный университет» | Piezoelectric sonar transducer |
| RU2802593C1 (en) * | 2020-01-17 | 2023-08-30 | Шэньчжэнь Шокз Ко., Лтд. | Bone conductivity microphone |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE50212375D1 (en) | 2008-07-31 |
| HK1053191B (en) | 2009-06-05 |
| JP2003069104A (en) | 2003-03-07 |
| EP1282174B1 (en) | 2008-06-18 |
| US6897601B2 (en) | 2005-05-24 |
| CN1400677A (en) | 2003-03-05 |
| ES2307708T3 (en) | 2008-12-01 |
| EP1282174A3 (en) | 2006-12-20 |
| CN100397673C (en) | 2008-06-25 |
| ATE398837T1 (en) | 2008-07-15 |
| US20030107302A1 (en) | 2003-06-12 |
| KR100924618B1 (en) | 2009-11-02 |
| HK1053191A1 (en) | 2003-10-10 |
| JP4318433B2 (en) | 2009-08-26 |
| EP1282174A2 (en) | 2003-02-05 |
| RU2002119726A (en) | 2004-03-20 |
| DK1282174T3 (en) | 2008-10-27 |
| KR20030010560A (en) | 2003-02-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2298300C2 (en) | Piezo-electric element and transformer of oscillations with piezo-electric element | |
| CA1219056A (en) | Integrated electroacoustic transducer | |
| TWI443061B (en) | Microelectromechanical system (MEMS) microphone package and method of manufacturing same | |
| US5389848A (en) | Hybrid ultrasonic transducer | |
| US4012604A (en) | Microphone for the transmission of body sounds | |
| Kressmann | New piezoelectric polymer for air-borne and water-borne sound transducers | |
| US4996675A (en) | Signal sensor insensitive to static pressure variations | |
| US4482834A (en) | Acoustic imaging transducer | |
| US4596903A (en) | Pickup device for picking up vibration transmitted through bones | |
| US5161200A (en) | Microphone | |
| US3728562A (en) | Electroacoustic transducer having transducing element supporting means | |
| US4737939A (en) | Composite transducer | |
| US3732446A (en) | Electroacoustic transducer resistant to external mechanical vibrations | |
| WO1989005445A1 (en) | An acoustic emission transducer and an electrical oscillator | |
| CN218988820U (en) | MEMS chip packaging structure and ultrasonic sensor with same | |
| Tressler et al. | Capped ceramic hydrophones | |
| CN111083622A (en) | A New Micro-Electro-Mechanical System Microphone Against Radio Frequency Interference | |
| JP3389536B2 (en) | Electret condenser microphone | |
| GB2141902A (en) | Composite transducer | |
| JP5419254B2 (en) | Microphone unit | |
| CN220755386U (en) | Ocean exploration sensor | |
| CN221553402U (en) | Bone conduction microphone | |
| CN210958795U (en) | Novel prevent radio frequency interference's micro-electromechanical system microphone | |
| JPH0418519B2 (en) | ||
| JPH04185099A (en) | Underwater echo receiver |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20130726 |