RU2018101894A - Покрытое изделие с последовательно активированным низкоэмиссионным покрытием и/или способ его изготовления - Google Patents
Покрытое изделие с последовательно активированным низкоэмиссионным покрытием и/или способ его изготовления Download PDFInfo
- Publication number
- RU2018101894A RU2018101894A RU2018101894A RU2018101894A RU2018101894A RU 2018101894 A RU2018101894 A RU 2018101894A RU 2018101894 A RU2018101894 A RU 2018101894A RU 2018101894 A RU2018101894 A RU 2018101894A RU 2018101894 A RU2018101894 A RU 2018101894A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- layers
- reflecting
- radiation
- layer
- stage
- Prior art date
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims 14
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims 75
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 25
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 19
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims 6
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims 5
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 4
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 3
- 230000005535 acoustic phonon Effects 0.000 claims 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 2
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 claims 2
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 claims 2
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 claims 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 claims 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 claims 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 claims 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3644—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the metal being silver
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3613—Coatings of type glass/inorganic compound/metal/inorganic compound/metal/other
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3626—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one layer at least containing a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3639—Multilayers containing at least two functional metal layers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3652—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the coating stack containing at least one sacrificial layer to protect the metal from oxidation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3657—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
- C03C17/366—Low-emissivity or solar control coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
- C03C23/0005—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation
- C03C23/001—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation by infrared light
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
- C03C23/0005—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation
- C03C23/0015—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation by visible light
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
- C03C23/007—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by thermal treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C25/00—Surface treatment of fibres or filaments made from glass, minerals or slags
- C03C25/10—Coating
- C03C25/12—General methods of coating; Devices therefor
- C03C25/22—Deposition from the vapour phase
- C03C25/226—Deposition from the vapour phase by sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/70—Properties of coatings
- C03C2217/73—Anti-reflective coatings with specific characteristics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/10—Deposition methods
- C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
- C03C2218/154—Deposition methods from the vapour phase by sputtering
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Claims (59)
1. Способ изготовления покрытого изделия, включающего в себя многослойное тонкопленочное низкоэмиссионное покрытие, поддерживаемое стеклянной подложкой, включающий:
формирование на подложке низкоэмиссионного покрытия, включающего в себя по меньшей мере первый и второй отражающие инфракрасное (ИК) излучение слои, содержащие серебро, причем каждый из первого и второго отражающих ИК излучение слоев расположен между одним или более диэлектрическими слоями, а первый отражающий ИК излучение слой отстоит дальше от подложки, чем второй отражающий ИК излучение слой; и
активирование каждого из отражающих ИК излучение слоев с использованием двухстадийной обработки, при этом
первая стадия обработки предварительно кондиционирует отражающие ИК излучение слои путем воздействия источника импульсного света в по меньшей мере первом и втором диапазонах длин волн, причем первый диапазон длин волн преимущественно передает энергию первому отражающему ИК излучение слою, а второй диапазон длин волн преимущественно передает энергию второму отражающему ИК излучение слою, и
вторая стадия обработки представляет собой термическую обработку, которую осуществляют после того, как непосредственно или опосредованно на подложке осаждены все отражающие ИК излучение слои, причем вторая стадия следует за первой стадией.
2. Способ по п. 1, при этом первая стадия обработки включает в себя фотоны с энергиями 0,82-3,55 эВ.
3. Способ по любому предшествующему пункту, при этом вторая стадия обработки включает в себя температуру 400-650 градусов Цельсия.
4. Способ по любому предшествующему пункту, при этом вторая стадия обработки включает в себя температуру 400-650 градусов Цельсия.
5. Способ по любому предшествующему пункту, при этом коэффициент эмиссии покрытия после двухстадийной обработки составляет 0,011 или менее.
6. Способ по любому предшествующему пункту, при этом:
обеспечивают первый и второй зародышевые слои под и в контакте с первым и вторым отражающими ИК излучение слоями соответственно; и
обеспечивают первый и второй защитные слои над и в контакте с первым и вторым отражающими ИК излучение слоями соответственно.
7. Способ по п. 6, при этом:
фотоны в первом диапазоне длин волн преимущественно передают энергию первому зародышевому слою, первому отражающему ИК излучение слою и/или первому защитному слою; и
фотоны во втором диапазоне длин волн преимущественно передают энергию второму зародышевому слою, второму отражающему ИК излучение слою и/или второму защитному слою.
8. Способ по п. 6, при этом:
энергия света в первом диапазоне длин волн преимущественно поглощается первым зародышевым слоем и/или первым защитным слоем и доставляется акустическими фононами к первому отражающему ИК излучение слою; и
энергия света во втором диапазоне длин волн преимущественно поглощается вторым зародышевым слоем и/или защитным слоем и доставляется акустическими фононами ко второму отражающему ИК излучение слою.
9. Способ по любому из пп. 6-8, при этом каждый из первого и второго зародышевых слоев содержит Zn, а каждый из первого и второго защитных слоев содержит Ni, Ti и/или Cr.
10. Способ по любому предшествующему пункту, при этом:
предварительное кондиционирование включает в себя переупорядочивание атомов серебра в первом и втором отражающих ИК излучение слоях в более энергетически выгодные положения; и
термическая обработка выравнивает химические потенциалы по меньшей мере некоторых слоев в наборе слоев и дополнительно уплотняет предварительно кондиционированные первый и второй отражающие ИК излучение слои.
11. Способ по любому предшествующему пункту, при этом первую стадию осуществляют всякий раз, когда непосредственно или опосредовано на подложке осажден один из отражающих ИК излучение слоев, и перед тем, как будет осажден следующий отражающий ИК излучение слой.
12. Способ по любому предшествующему пункту, при этом первый и второй диапазоны длин волн являются одинаковыми.
13. Способ по любому предшествующему пункту, при этом предварительное кондиционирование каждого из отражающих ИК излучение слоев осуществляют после того, как соответствующий отражающий ИК излучение слой покрыт упомянутыми одним или более диэлектрическими слоями.
14. Способ по любому из пп. 1-11 или 13, при этом первую стадию осуществляют после того, как осаждены все отражающие ИК излучение слои, причем первый и второй диапазоны длин волн отличаются друг от друга.
15. Способ по п. 14, при этом первый диапазон длин волн имеет максимальную интенсивность в первой области вблизи от максимальной поглощающей способности первого отражающего ИК излучение слоя, а второй диапазон длин волн имеет максимальную интенсивность во второй области, которая находится на удалении от первой области и где поглощающая способность первого отражающего ИК излучение слоя меньше, чем половина ее максимума.
16. Способ по любому из пп. 14-15, при этом первый диапазон длин волн имеет максимальную интенсивность в спектральном диапазоне 700-900 нм, а второй диапазон длин волн имеет максимальную интенсивность в спектральном диапазоне 600-700 нм.
17. Способ по любому предшествующему пункту, при этом:
низкоэмиссионное покрытие дополнительно включает в себя третий отражающий ИК излучение слой, содержащий серебро, причем третий отражающий ИК излучение слой также расположен между одним или более диэлектрическими слоями, причем третий отражающий ИК излучение слой отстоит дальше от подложки, чем первый отражающий ИК излучение слой, и
первая стадия дополнительно включает в себя воздействие источника импульсного света с третьим диапазоном длин волн, который преимущественно передает энергию третьему отражающему ИК излучение слою.
18. Способ по п. 17, при этом все из первого, второго и третьего диапазонов длин волн отличаются друг от друга и имеют соответствующие максимальные интенсивности в спектральных диапазонах 600-700 нм, 400-600 нм и 700-900 нм.
19. Способ по любому предшествующему пункту, при этом воздействия источников импульсного света, которые генерируют первый и второй диапазоны длин волн, формируют разделенными во времени субимпульсами разных волновых форм.
20. Способ по любому предшествующему пункту, при этом воздействия источников импульсного света, которые генерируют первый и второй диапазоны длин волн, формируют разными импульсными лампами.
21. Способ по любому предшествующему пункту, при этом первую стадию осуществляют после того, как осаждены все отражающие ИК излучение слои, и при этом первый отражающий ИК излучение слой предварительно кондиционируют, используя первый источник света, предусмотренный над подложкой, а второй отражающий ИК излучение слой предварительно кондиционируют, используя второй источник света, предусмотренный под подложкой.
22. Способ по любому предшествующему пункту, при этом низкоэмиссионное покрытие формируют в целом или частично распылением при комнатной температуре.
23. Способ изготовления покрытого изделия, включающего в себя многослойное тонкопленочное низкоэмиссионное покрытие, поддерживаемое стеклянной подложкой, включающий:
формирование на подложке низкоэмиссионного покрытия, включающего в себя множество отражающих инфракрасное (ИК) излучение слоев, содержащих серебро и осажденных распылением при комнатной температуре, причем каждый из отражающих ИК излучение слоев расположен между одним или более диэлектрическими слоями, и каждый из отражающих ИК излучение слоев является активируемым с использованием двухстадийной обработки, причем
первая стадия обработки включает в себя воздействия источников света фотонами в профилях импульсного света, выбранных так, чтобы преимущественно передавать энергию отражающим ИК излучение слоям, исходя из их соответствующих уровней поглощения,
вторая стадия обработки включает в себя воздействие температур свыше 400 градусов Цельсия вслед за формированием отражающих ИК излучение слоев; и
осуществление по меньшей мере первой стадии обработки для каждого из отражающих ИК излучение слоев.
24. Способ по п. 23, при этом первую стадию осуществляют всякий раз, когда непосредственно или опосредовано на подложке осажден один из отражающих ИК излучение слоев, и перед тем, как будет осажден следующий отражающий ИК излучение слой.
25. Способ по п. 23, при этом первую стадию осуществляют после того, как осаждены все отражающие ИК излучение слои, причем отражающие ИК излучение слои получают энергию, преимущественно передаваемую им из-за воздействий источников света с разными профилями импульсного света.
26. Способ по п. 23, при этом первую стадию осуществляют после того, как осаждены все отражающие ИК излучение слои, и при этом один или более отражающих ИК излучение слоев активируют, используя первый источник импульсного света, предусмотренный под подложкой, и один или более других отражающих ИК излучение слоев активируют, используя второй источник импульсного света, предусмотренный над подложкой.
27. Покрытое изделие, содержащее:
стеклянную подложку; и
многослойное тонкопленочное низкоэмиссионное покрытие, поддерживаемое подложкой,
при этом низкоэмиссионное покрытие включает в себя множество отражающих инфракрасное (ИК) излучение слоев, содержащих серебро и осажденных распылением при комнатной температуре, причем каждый из отражающих ИК излучение слоев расположен между одним или более диэлектрическими слоями, и каждый из отражающих ИК излучение слоев был активирован с использованием двухстадийной обработки,
при этом первая стадия обработки включает в себя воздействия источников света фотонами в профилях импульсного света, выбранных так, чтобы преимущественно передавать энергию отражающим ИК излучение слоям, исходя из их соответствующих уровней поглощения,
при этом вторая стадия обработки включает в себя воздействие температур свыше 400 градусов Цельсия вслед за формированием отражающих ИК излучение слоев; и
при этом коэффициент эмиссии покрытия составляет 0,011 или менее.
28. Система для формирования покрытого изделия, содержащая:
распылительный аппарат, управляемый с возможностью формировать на стеклянной подложке многослойное тонкопленочное низкоэмиссионное покрытие, содержащее множество отражающих инфракрасное (ИК) излучение слоев, содержащих серебро и осаждаемых распылением при комнатной температуре, причем каждый из отражающих ИК излучение слоев располагается между одним или более диэлектрическими слоями; и
по меньшей мере один источник импульсного света, управляемый с возможностью осуществлять предварительное кондиционирование отражающих ИК излучение слоев посредством воздействия на них фотонов, используя профили импульсного света, выбранные так, чтобы преимущественно передавать энергию отражающим ИК излучение слоям, исходя из их соответствующих уровней поглощении, причем профили импульсного света используют энергии фотонов 0,82-3,55 эВ и являются достаточными для переупорядочивания атомов серебра в отражающих ИК излучение слоях в более энергетически выгодные положения, не вызывая при этом чрезмерной агломерации,
при этом коэффициент эмиссии покрытия может быть дополнительно уменьшен посредством воздействия последующего термического процесса.
29. Система по п. 28, дополнительно содержащая печь, выполненную с возможностью нагрева подложки с предварительно кондиционированными отражающими ИК излучение слоями на ней до температуры по меньшей мере 400 градусов Цельсия и уменьшения коэффициента эмиссии покрытия до 0,011 или менее.
30. Система по любому из пп. 28-29, при этом упомянутый по меньшей мере один источник импульсного света выполнен с возможностью управления им так, чтобы работать:
(a) всякий раз, когда непосредственно или опосредованно на подложке осажден один из отражающих ИК излучение слоев, и перед тем, как на ней будет осажден следующий отражающий ИК излучение слой, или
(b) после того, как на подложке осаждены все отражающие ИК излучение слои, причем отражающие ИК излучение слои получают энергию, преимущественно передаваемую им из-за воздействий источников света с разными профилями импульсного света.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US14/744,235 | 2015-06-19 | ||
| US14/744,235 US10011524B2 (en) | 2015-06-19 | 2015-06-19 | Coated article with sequentially activated low-E coating, and/or method of making the same |
| PCT/US2016/037156 WO2016205104A1 (en) | 2015-06-19 | 2016-06-13 | Coated article with sequentially activated low-e coating, and/or method making the same |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2018101894A true RU2018101894A (ru) | 2019-07-22 |
| RU2018101894A3 RU2018101894A3 (ru) | 2019-10-14 |
| RU2725209C2 RU2725209C2 (ru) | 2020-06-30 |
Family
ID=56297101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2018101894A RU2725209C2 (ru) | 2015-06-19 | 2016-06-13 | Покрытое изделие с последовательно активированным низкоэмиссионным покрытием и/или способ его изготовления |
Country Status (11)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US10011524B2 (ru) |
| EP (1) | EP3310731B1 (ru) |
| JP (1) | JP6900327B2 (ru) |
| KR (1) | KR102325596B1 (ru) |
| CN (1) | CN108349791B (ru) |
| BR (1) | BR112017027283B1 (ru) |
| ES (1) | ES2917179T3 (ru) |
| PL (1) | PL3310731T3 (ru) |
| RU (1) | RU2725209C2 (ru) |
| TW (1) | TW201706225A (ru) |
| WO (1) | WO2016205104A1 (ru) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10011524B2 (en) | 2015-06-19 | 2018-07-03 | Guardian Glass, LLC | Coated article with sequentially activated low-E coating, and/or method of making the same |
| US20190040523A1 (en) * | 2017-08-04 | 2019-02-07 | Vitro Flat Glass, LLC | Method of Decreasing Sheet Resistance in an Article Coated with a Transparent Conductive Oxide |
| US10822270B2 (en) * | 2018-08-01 | 2020-11-03 | Guardian Glass, LLC | Coated article including ultra-fast laser treated silver-inclusive layer in low-emissivity thin film coating, and/or method of making the same |
| US11753332B2 (en) * | 2019-02-15 | 2023-09-12 | Glas Trösch Ag | Functional coated article |
| CN118063105A (zh) | 2020-03-11 | 2024-05-24 | 莱博创新公司 | 无线通信信号可穿透的节能窗镀膜及其制造方法 |
Family Cites Families (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5916375A (en) | 1995-12-07 | 1999-06-29 | Japan Energy Corporation | Method of producing photoelectric conversion device |
| WO2002054416A1 (en) | 2000-12-28 | 2002-07-11 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Method for patterning electroconductive tin oxide film |
| US6770321B2 (en) * | 2002-01-25 | 2004-08-03 | Afg Industries, Inc. | Method of making transparent articles utilizing protective layers for optical coatings |
| US7138182B2 (en) * | 2002-07-31 | 2006-11-21 | Cardinal Cg Compay | Temperable high shading performance coatings |
| US7981212B2 (en) * | 2006-03-29 | 2011-07-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Flash lamp annealing device |
| JP5214153B2 (ja) | 2007-02-09 | 2013-06-19 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 熱処理装置 |
| US8263227B2 (en) * | 2008-06-25 | 2012-09-11 | Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) | Coated article with low-E coating including zirconium oxide and/or zirconium silicon oxynitride and methods of making same |
| US8445373B2 (en) | 2009-05-28 | 2013-05-21 | Guardian Industries Corp. | Method of enhancing the conductive and optical properties of deposited indium tin oxide (ITO) thin films |
| FR2946639B1 (fr) | 2009-06-12 | 2011-07-15 | Saint Gobain | Procede de depot de couche mince et produit obtenu. |
| US10000411B2 (en) | 2010-01-16 | 2018-06-19 | Cardinal Cg Company | Insulating glass unit transparent conductivity and low emissivity coating technology |
| US10060180B2 (en) * | 2010-01-16 | 2018-08-28 | Cardinal Cg Company | Flash-treated indium tin oxide coatings, production methods, and insulating glass unit transparent conductive coating technology |
| US8907258B2 (en) | 2010-04-08 | 2014-12-09 | Ncc Nano, Llc | Apparatus for providing transient thermal profile processing on a moving substrate |
| US8557391B2 (en) | 2011-02-24 | 2013-10-15 | Guardian Industries Corp. | Coated article including low-emissivity coating, insulating glass unit including coated article, and/or methods of making the same |
| US20130005139A1 (en) | 2011-06-30 | 2013-01-03 | Guardian Industries Corp. | Techniques for manufacturing planar patterned transparent contact and/or electronic devices including same |
| DE102011089884B4 (de) * | 2011-08-19 | 2016-03-10 | Von Ardenne Gmbh | Niedrigemittierende Beschichtung und Verfahren zur Herstellung eines niedrigemittierenden Schichtsystems |
| FR2981346B1 (fr) | 2011-10-18 | 2014-01-24 | Saint Gobain | Procede de traitement thermique de couches d'argent |
| ES2854986T3 (es) * | 2012-03-05 | 2021-09-23 | Saint Gobain | Luna de automóvil con revestimiento reflectante de la radiación térmica |
| FR2989388B1 (fr) | 2012-04-17 | 2019-10-18 | Saint-Gobain Glass France | Procede d'obtention d'un substrat muni d'un revetement |
| US9919959B2 (en) * | 2012-05-31 | 2018-03-20 | Guardian Glass, LLC | Window with UV-treated low-E coating and method of making same |
| WO2014039420A1 (en) * | 2012-09-04 | 2014-03-13 | Matheson Tri-Gas, Inc. | In-situ tco chamber clean |
| US10011524B2 (en) * | 2015-06-19 | 2018-07-03 | Guardian Glass, LLC | Coated article with sequentially activated low-E coating, and/or method of making the same |
-
2015
- 2015-06-19 US US14/744,235 patent/US10011524B2/en active Active
-
2016
- 2016-06-13 CN CN201680048278.3A patent/CN108349791B/zh active Active
- 2016-06-13 PL PL16734088.4T patent/PL3310731T3/pl unknown
- 2016-06-13 ES ES16734088T patent/ES2917179T3/es active Active
- 2016-06-13 JP JP2017565818A patent/JP6900327B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2016-06-13 EP EP16734088.4A patent/EP3310731B1/en active Active
- 2016-06-13 BR BR112017027283-0A patent/BR112017027283B1/pt active IP Right Grant
- 2016-06-13 RU RU2018101894A patent/RU2725209C2/ru active
- 2016-06-13 KR KR1020187001731A patent/KR102325596B1/ko active Active
- 2016-06-13 WO PCT/US2016/037156 patent/WO2016205104A1/en active Application Filing
- 2016-06-17 TW TW105119167A patent/TW201706225A/zh unknown
-
2018
- 2018-06-28 US US16/021,210 patent/US10450224B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US10011524B2 (en) | 2018-07-03 |
| CN108349791B (zh) | 2022-03-29 |
| RU2725209C2 (ru) | 2020-06-30 |
| US10450224B2 (en) | 2019-10-22 |
| JP6900327B2 (ja) | 2021-07-07 |
| ES2917179T3 (es) | 2022-07-07 |
| PL3310731T3 (pl) | 2022-07-18 |
| BR112017027283B1 (pt) | 2022-07-19 |
| JP2018520978A (ja) | 2018-08-02 |
| TW201706225A (zh) | 2017-02-16 |
| KR102325596B1 (ko) | 2021-11-15 |
| KR20180061138A (ko) | 2018-06-07 |
| US20160368817A1 (en) | 2016-12-22 |
| RU2018101894A3 (ru) | 2019-10-14 |
| BR112017027283A2 (pt) | 2018-09-04 |
| WO2016205104A1 (en) | 2016-12-22 |
| EP3310731A1 (en) | 2018-04-25 |
| US20180312429A1 (en) | 2018-11-01 |
| EP3310731B1 (en) | 2022-05-25 |
| CN108349791A (zh) | 2018-07-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2018101894A (ru) | Покрытое изделие с последовательно активированным низкоэмиссионным покрытием и/или способ его изготовления | |
| JP2015157759A5 (ru) | ||
| US9453334B2 (en) | Method and device for producing a low-emissivity layer system | |
| CN102150221B (zh) | 透明电极膜的改性方法、带有其的基板及其制造方法 | |
| EA033169B1 (ru) | Способ получения подложки с покрытием для остекления и органического электролюминесцентного диода (oled) | |
| MX346709B (es) | Procedimiento de deposicion de pelicula delgada y producto que se obtiene. | |
| JP2011502343A5 (ru) | ||
| RU2018145297A (ru) | Оконные модули, изготовленные с использованием керамической фритты, которая растворяет покрытия, нанесенные методом физического осаждения из паровой фазы (pvd), и/или соответствующие способы | |
| RU2012141044A (ru) | Изделия, включающие противоконденсатные и/или низкоэмиссионные покрытия, и/или способы их изготовления | |
| WO2013181042A3 (en) | Window with uv-treated low-e coating and method of making same | |
| WO2007147399A3 (de) | Verfahren zur herstellung einer absorberbeschichtung auf sol-gel-basis für die solarthermie | |
| JP2019071267A5 (ru) | ||
| JP2010016356A5 (ru) | ||
| JP2016518983A5 (ru) | ||
| JP2024023265A5 (ru) | ||
| JP2019508346A (ja) | Ｌｏｗ−Ｅガラスの熱処理方法及びシステム | |
| TW201431149A (zh) | 顯示裝置及其封裝方法 | |
| JP4956696B1 (ja) | Ｐｅｔフィルムの表面に形成された塗膜の乾燥方法 | |
| JP7211029B2 (ja) | ガラス物品の製造方法、及び薄板ガラスの加熱方法 | |
| JP2020533807A5 (ru) | ||
| JP2002322556A5 (ru) | ||
| JPS5424330A (en) | Manufacturing method for infrared rays radiating element | |
| JP5776082B2 (ja) | 塗膜の乾燥方法 | |
| KR101729724B1 (ko) | 복수 열원을 포함하는 코팅층 열처리 장치 및 이를 이용한 열처리 방법 | |
| JP6543008B1 (ja) | 薄層堆積方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PC43 | Official registration of the transfer of the exclusive right without contract for inventions |
Effective date: 20210428 |