NL8102407A

NL8102407A - PARTICULATE SPRAYING DEVICE WITH AN OBJECT HOLDER ADJUSTABLE IN TWO COORDINATE DIRECTIONS.

Info

Publication number: NL8102407A
Application number: NL8102407A
Authority: NL
Original assignee: Zeiss Carl Fa
Priority date: 1980-05-31
Filing date: 1981-05-15
Publication date: 1981-12-16
Also published as: JPS5713659A; DE3020703A1

Description

I * \ (, *- 1I * \ (, * - 1

Deeltjesstraalinrichting met een objecthouder die In twee coördinaat-richtingen verstelbaar is*Particle beam device with an object holder that is adjustable in two coordinate directions *

De uitvinding heeft betrekking op een deeltjesstraalinrichting, meer in het bijzonder een elektronenstraalmicroscoop, met een zich in het hoge vacuüm bevindende objecthouder die tenminste in twee coördi-naatrichtingen verstelbaar is, die het te onderzoeken object direct of 5 indirect vasthoudt en door mechanische inrichtingen van buitenaf in tenminste twee coördinaatrichtingen kan worden versteld* De uitvinding heeft bijvoorbeeld betrekking op elektronen- of ionenmicroscopen, en ook op met een elektronenstraal werkende lithografie-inrichtingen die bijvoorbeeld in de halfgeleider-belichtingstechniek worden toegepast, 10 en op inrichtingen waarbij de objecttafel meandrisch wordt bewogen teneinde gegevens voor statistische bewerkingen te verkrijgen, zoals dat bijvoorbeeld het geval is bij de zogenaamde lineaire analyse.The invention relates to a particle beam device, more particularly an electron beam microscope, with an object holder located in the high vacuum which is adjustable in at least two coordinate directions, which directly or indirectly holds the object to be examined and by mechanical devices from the outside Can be adjusted in at least two coordinate directions. The invention relates, for example, to electron or ion microscopes, and also to electron beam lithography devices used, for example, in the semiconductor illumination technique, and to devices in which the object table is moved meandrically in order to obtain data for statistical operations, as is the case with so-called linear analysis, for example.

Bij deeltjesstraalinrichtingen worden voor de beweging van de objecthouder of de objecttafel in het algemeen mechanische verstelinrich-15 tingen toegepast die van buitenaf door de vacuümwand heen worden bediend. In de meeste gevallen is daarbij sprake van een beweging van het object dat op een kruissupport is aangebracht en moet kunnen bewegen in een vlak loodrecht op de as van de straal. Deze dwarsbewegingen worden met behulp van kniehefbomen in hun bewegingsrichting omgebogen. Tege-20 lijkertijd dienen de kniehefbomen voor het ondersteunen van de verstel-bewegingen. De kniehefbomen worden bewogen door middel van assen die door verlengingsstaven worden geroteerd. Door deze constructie kan het bedienend personeel de op een ongemakkelijke afstand opgestelde objecthouder gemakkelijk en nauwkeurig genoeg verschuiven. Het Duitse oc-25 trooischrift 1.035.811 beschrijft zulk een inrichting waarbij de knie-hefbomen en de ermede samenwerkende onderdelen in het gebied van de aanrakingspunten zodanig zijn uitgevoerd, dat een evenredige overdracht plaats vindt van de bewegingen van de evenwijdig aan de as van de straal liggende stelschroeven door de kniehefbomen op de drukstangen 30 die met de verstelbare objecttafel zijn verbonden.Particle blasting devices generally use mechanical adjustment devices for the movement of the object holder or the object table which are operated from the outside through the vacuum wall. In most cases this involves a movement of the object mounted on a cross support and capable of moving in a plane perpendicular to the beam axis. These transverse movements are bent in their direction of movement with the aid of toggle levers. At the same time, the knee levers serve to support the adjustment movements. The knee levers are moved by axes rotated by extension rods. This construction allows the operating personnel to easily and precisely shift the object holder positioned at an awkward distance. German patent specification 1,035,811 describes such a device in which the knee levers and the co-operating parts in the area of the contact points are designed in such a way that a proportional transfer of the movements of the parallel to the axis of the beam set screws through the knee levers on the push rods 30 connected to the adjustable object table.

Het ligt voor de hand de stelschroeven met micrometer-rondsels of telwerken te combineren of te verbinden, zodat de positie van de tafel direct door de aandrijfelementen wordt aangegeven.It is obvious to combine or connect the adjusting screws with micrometer pinions or counters, so that the position of the table is indicated directly by the drive elements.

In het Duitse "Auslegeschrift" 1.564.657 zijn de stelschroeven met 35 instelmotoren verbonden die via een geprogrammeerde stuurinrichting het aftasten van alle objectplaatsen in een van tevoren geprogrammeerde volgorde mogelijk maken. In de Duitse aanvullingsaanvrage 1.614.528 81 02 407 2 tf - * ί.In German "Auslegeschrift" 1,564,657, the set screws are connected to 35 actuators which enable scanning of all object locations in a pre-programmed sequence via a programmed control device. In German supplementary application 1,614,528 81 02 407 2 tf - * ί.

wordt het verstellen met stapmotoren beschreven, waarbij de op elke stuurimpuls volgende verstelling van de stapmotoren de kleinste verstelling van het object veroorzaakt.the stepping motor adjustment is described, with the stepper motor adjustment following each control impulse causing the smallest adjustment of the object.

Al deze inrichtingen hebben het nadeel dat de nauwkeurigheid van 5 de aanwijzing of de instelling wordt bepaald door de lineairiteit tussen de aandrijfelementen en de beweging van de tafel. Als strenge eisen worden gesteld aan de nauwkeurigheid tot in het gebied van 100-10 nm, is deze lineairiteit vooral door elastische vormveranderingen tesamen met verschillende wrijvingscoëfficiënten (rust en beweging) niet meer 10 aanwezig.All these devices have the drawback that the accuracy of the indication or setting is determined by the linearity between the drive elements and the movement of the table. If strict requirements are imposed on the accuracy down to the range of 100-10 nm, this linearity is no longer present, especially due to elastic shape changes together with different friction coefficients (rest and movement).

De uitvinding heeft ten doel een deeltjesstraalinrichting te verschaffen waarmede de coördinaten van het object nauwkeurig en zonder beïnvloeding door de mechanische overdrachtsmiddelen kunnen worden gemeten.The object of the invention is to provide a particle beam device with which the coordinates of the object can be measured accurately and without influence by the mechanical transfer means.

15. Volgens de uitvinding wordt dit doel bereikt doordat meetelementen zijn aangebracht die de coördinaten van de objecthouder meten zonder deze aan te raken en die in verbinding staan met een buiten de inrichting opgestelde digitale aanwijsinrichting. De volgens de uitvinding geconstrueerde deeltjesstraalinrichting maakt voorts een nauwkeurige 20 meting van objectstructuren mogelijk door puntsgewijze opnamen, doordat de objecthouder telkens zodanig wordt versteld tot een punt van de te meten objectstructuur komt te liggen op een zich op een vaste plaats bevindend kruis, bijvoorbeeld een merkteken op een lichtend scherm waarop het uiteindelijke beeld wordt weergegeven, en aansluitend hierop 25 worden de coördinaten van de tafel bepaald. Een verdere ontwikkeling van de volgens de uitvinding geconstrueerde deeltjesstraalinrichting maakt het bovendien mogelijk de objecthouder of het vast ermede verbonden preparaat nauwkeurig langs een van tevoren bepaalde baan te bewegen. Zulke oplossingen zijn in het bijzonder van belang voor de belich-30 tingstechniek voor halfgeleiders en voor de lineaire analyse.15. According to the invention, this object is achieved in that measuring elements are provided which measure the coordinates of the object holder without touching it and which are in communication with a digital indicating device arranged outside the device. The particle beam device constructed according to the invention furthermore enables an accurate measurement of object structures by point-wise recordings, in that the object holder is each time adjusted such that a point of the object structure to be measured comes to rest on a cross located at a fixed location, for example a mark. on a bright screen on which the final image is displayed, and subsequently the coordinates of the table are determined. A further development of the particle-blasting device constructed according to the invention also makes it possible to move the object holder or the solidly-bound preparation accurately along a predetermined path. Such solutions are of particular importance for semiconductor illumination technology and for linear analysis.

Het biedt voordelen voor de meetelementen spoelen toe te passen die vast met het zich aan de buitenkant bevindende huis zijn verbonden en waarin ferromagnetische kernen die vast met de objecthouder zijn verbonden, bewegen zonder de spoelen aan te raken. In de spoelen worden 35 spanningen geïnduceerd die overeen komen met de relatieve positie van de kernen ten opzichte van de spoelen. De elektronische bewerking van deze spanningen resulteert in een digitale aanwijzing van de coördinaten van de tafel.It is advantageous for the measuring elements to use coils which are fixedly connected to the outer housing and in which ferromagnetic cores which are firmly connected to the object holder move without touching the coils. In the coils, 35 voltages are induced which correspond to the relative position of the cores relative to the coils. The electronic processing of these voltages results in a digital indication of the coordinates of the table.

Verdere voordeel biedende uitvoeringen van de uitvinding zijn aan-40 gegeven in de ondercondusies 2-14.Further advantageous embodiments of the invention are indicated in sub-conditions 2-14.

81 02 407 it ft t 381 02 407 it ft t 3

De uitvinding zal nu nader verklaard worden aan de hand van de bijgevoegde tekening waarin figuur 1 eeu uitvoeringsvoorbeeld weergeeft voor het meten van de coördinaten van een objecttafel met een kruiskoplager, zonder dat de 5 tafel wordt aangeraakt; figuur 2 een ander uitvoeringsvoorbeeld weergeeft voor het meten van de coördinaten van een staafvormige objecthouder, zonder dat deze objecthouder wordt aangeraakt; figuur 3 het principe weergeeft van een elektronenmicroscoop met 10 een instelling van de coördinaten en een nieuwe aanwijsinrichting voor de coördinaten; figuur 4 een blokschema toont voor de beweging van de objecthouder volgens een van tevoren bepaald programma; en figuur 5 een uitvoeringsvariant van het kruiskoplager toont.The invention will now be explained in more detail with reference to the appended drawing, in which figure 1 shows an exemplary embodiment for measuring the coordinates of an object table with a cross-head bearing, without touching the table; figure 2 shows another exemplary embodiment for measuring the coordinates of a rod-shaped object holder, without this object holder being touched; figure 3 shows the principle of an electron microscope with an adjustment of the coordinates and a new coordinate indicating device; Figure 4 shows a block diagram for the movement of the object holder according to a predetermined program; and figure 5 shows an embodiment variant of the crosshead bearing.

15 In figuur 1 geeft 1 de objecttafel aan die in de ene asrichting een kruiskoplager 2 heeft en in deze richting door middel van de druk-stang 3 wordt bewogen. In de loodrecht hierop staande richting wordt de tafel door middel van de drukstang 4 bewogen. Hierbij beschrijft het middelpunt van de tafel een cirkel om het middelpunt van het kruiskop-20 lager 2. Door de veer 19 wordt de objecttafel steeds tegen de drukstan-gen 3 en 4 getrokken. Voor het meten van de coördinaten van de tafel zonder dat deze wordt aangeraakt, dienen de inrichtingen 5 en 6 voor het aangeven van meetwaarden. Deze inrichtingen bestaan uit spoelen 7 en 8 die vast zijn verbonden met het zich aan de buitenkant van de in-25 richting bevindende huis. In de spoelen bewegen zonder deze spoelen aan te raken de ferromagnetische kernen 9 en 10 die vast met de objecttafel zijn verbonden. Zulke in de handel verkrijgbare inrichtingen voor het aangeven van meetwaarden bezitten drie wikkelingen: een primaire spoel en twee tegengesteld ten opzichte van elkaar geschakelde secundaire 30 spoelen. Afhankelijk van de plaats van de kern in het spoellichaam is de getransformeerde spanning in de eerste secundaire spoel groter dan in de tweede secundaire spoel, of omgekeerd. In de middenpositie van. de kern zijn de spanningen in de beide secundaire spoelen even groot en de uitgangsspanning is dan nul, doordat de spoelen tegengesteld ten op-35 zichte van elkaar zijn geschakeld.In figure 1, 1 indicates the object table which has a crosshead bearing 2 in one axis direction and is moved in this direction by means of the push rod 3. The table is moved in the direction perpendicular to this by means of the push rod 4. The center of the table herein describes a circle around the center of the cross-head bearing 2. The spring 19 always pulls the object table against the pressure rods 3 and 4. To measure the coordinates of the table without being touched, devices 5 and 6 serve to display measured values. These devices consist of coils 7 and 8 which are fixedly connected to the housing located on the outside of the device. The ferromagnetic cores 9 and 10, which are fixedly connected to the specimen table, move in the coils without touching these coils. Such commercially available measured value indicating devices have three windings: a primary coil and two secondary coils connected opposite one another. Depending on the location of the core in the coil body, the transformed voltage in the first secondary coil is greater than in the second secondary coil, or vice versa. In the middle position of. at the core, the voltages in the two secondary coils are the same and the output voltage is then zero, because the coils are switched in opposite directions.

Voor een zo eenvoudig mogelijke omzetting van de spanningen van de inrichtingen voor het weergeven van meetwaarden in de coördinaten van de tafel biedt het voordelen de inrichtingen voor het weergeven van meetwaarden zodanig op te stellen, dat zij in de middenstand van de ob-40 jecttafel symmetrisch op een lijn liggen die gaat door het draaipunt 8102407 4 Λ -ψ van het kruiskoplager 2 en in het verschuif- of tekenvlak loodrecht staat op de verbindingslijn tussen het preparaat 11 en het draaipunt 2. In dit geval verkrijgt men de coördinaten van de tafel uit de volgende vergelijkingen: 5 X = A (m^ + m2) Y = B (mi - m2) waarin mi het door de inrichting 5 voor het weergeven van meetwaarden opgewekte signaal is en m£ het door de inrichting 6 opgewekte signaal. A en B zijn evenredigheidsconstanten die afhangen van de onder-10 linge afstand tussen de beide inrichtingen voor het weergeven van meetwaarden. Het is doeltreffend deze afstand zodanig te kiezen, dat hij ligt tussen de helft en het tweevoud van de afstand tussen het preparaat 11 en het draaipunt van het kruiskoplager 2.For the simplest possible conversion of the voltages of the devices for displaying measured values into the coordinates of the table, it is advantageous to arrange the devices for displaying measured values in such a way that they are symmetrical in the center position of the object table. lie on a line passing through the pivot point 8102407 4 Λ -ψ of the crosshead bearing 2 and in the sliding or drawing plane perpendicular to the connecting line between the specimen 11 and the pivot point 2. In this case the coordinates of the table are obtained from the following equations: 5 X = A (m ^ + m2) Y = B (mi - m2) where mi is the signal generated by the device 5 for displaying measured values and m £ is the signal generated by the device 6. A and B are proportionality constants that depend on the mutual distance between the two devices for displaying measured values. It is effective to choose this distance so that it is between half and twice the distance between the specimen 11 and the pivot of the cross bearing 2.

In figuur 5 is een voordeel biedende variant weergegeven van het 15 kruiskoplager. Hier beweegt een cylindervormige stift 51 langs het vlakke oppervlak van een onder de objecttafel 1 aangebracht onderdeel 52 dat vast is verbonden met de ondersteuning van de tafel.Figure 5 shows an advantageous variant of the crosshead bearing. Here, a cylindrical pin 51 moves along the flat surface of a part 52 arranged under the object table 1 which is fixedly connected to the support of the table.

In figuur 2 is als een ander uitvoeringsvoorbeeld een staafvormige objecthouder weergegeven. De staaf 12 is verschuifbaar in een kogel 13 20 gelagerd die op zijn beurt draaibaar in het huis 14 is gelagerd. De pakkingen 15 scheiden de vacuümruimte van de inrichting van de atmosfeer. Voor het meten van de coördinaten van de houder zonder deze aan te raken dienen ook hier weer de inrichtingen 5 en 6 voor het aangeven van meetwaarden. Deze inrichtingen bestaan weer uit de spoelen 7 en 8 25 die vast met het zich aan de buitenkant bevindende huis 14 zijn verbonden. In de spoelen, maar zonder deze aan te raken, bewegen de ferromag-netische kernen 9 en 10 die vast met de objecthouder zijn verbonden.Figure 2 shows a rod-shaped object holder as another embodiment. The rod 12 is slidably mounted in a ball 13 which in turn is rotatably mounted in the housing 14. The packings 15 separate the vacuum space of the device from the atmosphere. Again, for measuring the coordinates of the holder without touching it, devices 5 and 6 serve to indicate measured values. These devices again consist of the coils 7 and 8 which are fixedly connected to the outer housing 14. In the coils, but without touching them, the ferromagnetic cores 9 and 10, which are fixedly connected to the object holder, move.

Voor een zo eenvoudig mogelijke omzetting van dé in de spoelen geïnduceerde spanningen gelden dezelfde voorwaarden als hierboven zijn 30 vermeld, waarbij hier het draaipunt het middelpunt van de kogel 13 is.For the simplest possible conversion of the voltages induced in the coils, the same conditions apply as stated above, the pivot being the center of the ball 13 here.

In figuur 3 is schematisch een elektronenstraalmicroscoop weergegeven met een inrichting volgens de uitvinding voor het meten van de coördinaten zonder het te meten voorwerp aan te raken. In de micro-scoopzuil 21 bevindt zich de objecthouder of de objeettafel die van 35 buitenaf wordt bewogen door de zich bij 22 en 23 bevindende drukstangen en kniehefbomen. De gewenste verschuiving van het object wordt bewerkstelligd door middel van de beide aandrijfwielen 28 en 29 die via de verlengingsstangen 24 en 25 inwerken op de kniehefbomen en de drukstan-gen bij 22 en 23. De meetsignalen die door de inrichting voor het weer-40 geven van meetwaarden bij de objecthouder zijn opgenomen, worden na een 8102407 s- 4 t 5 desbetreffende elektronische bewerking weergegeven door de digitale weergeefinrichtingen 26 en 27 die zich direct in het waarnemingsveld van het bedienend personeel bevinden.Figure 3 schematically shows an electron beam microscope with a device according to the invention for measuring the coordinates without touching the object to be measured. The microscope column 21 contains the object holder or the objet table which is moved from the outside by the push rods and toggle levers located at 22 and 23. The desired displacement of the object is effected by means of the two drive wheels 28 and 29 acting via the extension rods 24 and 25 on the toggle levers and the pressure rods at 22 and 23. The measuring signals produced by the display device 40 of measured values are recorded at the object holder, after an 8102407 s-4 t 5 related electronic processing are displayed by the digital displays 26 and 27 which are located directly in the field of observation of the operating personnel.

Volgens een speciale uitvoeringsvorm is de elektronische appara-5 tuur zodanig geconstrueerd, dat een instelbaar meetbereik van 40, 400 of 4000/um telkens wordt verdeeld in 4000 stappen. Een nul-instelling van de aanwijzing is op elke willekeurige plaats mogelijk. Door een vast merkteken op het lichtend scherm waarop het uiteindelijke beeld wordt weergegeven, waarop een te meten detail van het object kan worden 10 gebracht met behulp van de instelling van de houder, kunnen de coördinaten worden bepaald en voor een verdere bewerking naar een rekentuig worden geleid, zoals bijvoorbeeld de in figuur 3 met 29 aangegeven bekende inrichting voor beeldanalyse. Voor het bewerkstelligen van de overdracht kunnen twee verschillende doelmatige methoden worden toege-15 past: bij een sterke vergroting is het moeilijk een bepaald detail van het object op het doelpunt in te stellen; daarom vindt: de overdracht plaats door het in werking stellen van een hand- of voetschakelaar als de instelling voldoend nauwkeurig is uitgevoerd. Bij een normale of zwakke vergroting is de mechanische instelling veel eenvoudiger, zodat 20 het voor het bedienend personeel gemakkelijker is als het overnemen telkens plaats vindt na afloop van een te kiezen tijdinterval dat zich regelmatig herhaalt. Het kiezen van de wijze van overdracht vindt plaats met behulp van de in figuur 3 met 30 aangegeven schakelaar, die zowel kan worden ingesteld op een enkele in werking stelling, als ook 25 op verschillende lengten van het zich herhalende tijdsinterval.According to a special embodiment, the electronic equipment is constructed in such a way that an adjustable measuring range of 40, 400 or 4000 µm is divided into 4000 steps. Zeroing of the display is possible at any location. By a fixed mark on the luminous screen on which the final image is displayed, on which a detail of the object to be measured can be brought using the setting of the holder, the coordinates can be determined and sent to a computer for further processing. such as, for example, the known apparatus for image analysis indicated by 29 in Figure 3. Two different effective methods can be used to effect the transfer: at high magnification it is difficult to set a particular detail of the object on the target point; therefore: the transfer takes place by activating a hand or foot switch if the setting has been made with sufficient precision. At normal or weak magnification, the mechanical adjustment is much simpler, so that it is easier for the operating personnel if the take-over takes place each time after a selectable time interval that is repeated regularly. The mode of transmission is selected by means of the switch indicated by 30 in FIG. 3, which can be set to a single actuation as well as to different lengths of the repetitive time interval.

Bij een verdere uitvoering wordt de objecthouder bewogen door elektromotoren die door een elektronische inrichting worden gestuurd, welke inrichting een bewegingsprogramma voor het object bevat. Het bewegingsprogramma is in het blokdiagram van figuur 4 door de rechthoek 30 40 aangegeven. Het bevat de gewenste coördinaten X en Y als een functie van de tijd. 41 geeft de objecthouder aan met inbegrip van de inrichtingen voor het opnemen van meetwaarden. Uit de signalen van de opneem-inrichtingen voor meetwaarden worden de met 42 en 43 aangegeven werkelijke coördinaten verkregen. Deze worden geleid naar de comparatoren 44 35 en 45 en daar vergeleken met de gewenste waarden. De in de comparatoren opgewekte spanningen worden via de versterkers 46 en 47 geleid naar de motoren 48 en 49 voor het bewegen van de objecthouder. Door het terugvoeren van de werkelijke positie van de objecthouder, de vergelijkingen tussen de gewenste en de werkelijke waarden en de hiermede overeenko-40 mende corrigerende bewegingen verkrijgt men, dat het van tevoren be- 8102407In a further embodiment, the object holder is moved by electric motors controlled by an electronic device, which device contains a motion program for the object. The movement program is indicated in the block diagram of figure 4 by the rectangle 30 40. It contains the desired coordinates X and Y as a function of time. 41 indicates the object holder including the devices for recording measured values. The actual coordinates indicated by 42 and 43 are obtained from the signals of the measured value recorders. These are fed to comparators 44, 35 and 45 and compared there with the desired values. The voltages generated in the comparators are fed through the amplifiers 46 and 47 to the motors 48 and 49 for moving the object holder. By returning the actual position of the object holder, the comparisons between the desired and actual values and the corresponding corrective movements, it is obtained that it is 8102407 in advance

& ‘W& "W.

6 5 paalde bewegingsprogramma met de grootste nauwkeurigheid wordt uitgevoerd, dat wil zeggen dat hierbij alle mechanische fouten van de mechanische aandrijfmechanismen worden uitgesloten.6 5 movement program is executed with the greatest precision, ie all mechanical errors of the mechanical drive mechanisms are hereby excluded.

81024078102407

Claims

1. Particle beam device, more particularly an electron microscope, with an object holder located in the high vacuum which can be adjusted in at least two coordinate directions, directly or indirectly holds the specimen or object to be examined and by mechanical devices from the outside. at least two coordinate directions can be adjusted, characterized in that measuring elements are arranged which measure the coordinates of the object holder without touching them and which communicate with a digital display device arranged outside the device 10.

Particle blasting device according to claim 1, characterized in that one or more parts of the measuring elements are fixedly connected to the object holder and the other parts of the measuring elements are fixedly connected to the housing located on the outside of the device.

Particle blasting device according to claim 2, characterized in that the measuring elements consist of coils which are fixedly connected to the housing located on the outside of the device, in which coils can move ferromagnetic cores without touching the coils , which cores are fixedly connected to the object holder 20.

Particle blasting device according to claim 3, with an object holder which can rotate about a point which is eccentrically relative to the specimen and which can be displaced along the connecting line between the specimen and the pivot point, characterized in that the measuring elements 25 are arranged such that in the center position of the specimen holder lie symmetrically on a line passing through the pivot point of the specimen holder and perpendicular to the connecting line between the specimen and the pivot point in the sliding or drawing plane.

Particle blasting device according to any one of claims 1-4, characterized in that the distance between the measuring elements is half to twice the distance between the specimen and the pivot point.

Particle blasting device according to any one of claims 1 to 5, characterized in that a fixed position of the luminescent screen serving for observing the object is provided with a mark which communicates with the movement of the object holder and the measurement of the coordinates allows point-by-point recording of the coordinates of a structure of the object.

Particle blasting device according to one or more of Claims 40 1 to 6, characterized in that the output of the device for the measurement of 8102407 9-m> - .. · - -7 is connected to a calculator for performing quantitative image analysis

Particle blasting device according to claim 7, characterized in that an operating element is present for triggering the transfer to the computer of the values of the coordinates.

Particle blasting device according to claim 7, characterized in that a switch is provided for selecting different regularly recurring time intervals for triggering the transfer of the values of the coordinates to the calculator.

Particle blasting device according to one or more of claims 1 to 5, characterized by motors for moving the object holder in at least two coordinate directions, by a predetermined program for moving the object holder and by a connection between the outputs for the indicated of measured values and the comparators 15 for comparing desired and actual values, the outputs of which are connected to the motors for performing correction movements.

Particle blasting device according to claim 10, characterized in that stepper motors are arranged for moving the object holder.

Particle blasting device according to claim 10 or 10 and 11, characterized in that the processing of the signals from the devices for displaying measured values takes place partially or completely digitally.

Particle blasting device according to one or more of claims 10-12, characterized by a circuit for selecting different programs and / or a reading device for requesting different programs for the movement of the object holder.

Particle blasting device according to one or more of claims 30 to 1, characterized in that the pivot point of the crosshead bearing is formed by a pin which slides along a flat side which is rigidly connected to the support of the table. 8102407