NL8001421A - Band-rol kristaltrekmechanisme. - Google Patents

Description

t Μ VO 0135 -1_

Band-rol kristaltrekmechanisme.

De onderhavige uitvinding heeft in het algemeen "betrekking op het laten groeien van lange kristallen uit een smelt en meer in het "bijzonder op een verbeterde kristaltrekinrienting, welke gebruikt kan worden in combinatie met een kristalgroeioven.

5 Er zijn een aantal werkwijzen bekend voor het laten groeien van kristallijne lichamen uit een smelt. Twee oudere werkwijzen welke aan vakmensen bekend zijn, zijn beschreven in de Amerikaanse octrooischriften 3-591-3^8 en 3-^71-366. Volgens het Amerikaanse octrooischrift 3-591-3^8 laat men kristallijne lichamen groeien 10 volgens wat in het algemeen de randbepaalde, dunnelaag gevoede groeitechniek genoemd wordt (in het algemeen het EFG-proces genoemd. Bij het EFG proces wordt de vorm van het kristallijne lichaam dat men laat groeien, bepaald door de uitwendige of rondvorm van het eindvlak van een vormend element, dat, bij gebrek aan een 15 betere naam een matrijs genoemd. De werkwijze omvat het laten groeien op een kern van de smelt, die gelegen is tussen het groeiende lichaam en het eindvlak van de matrijs, waarbij de smelt voortdurend uit een geschikt smeltreservoir via een of meer capillairen in de matrijs aangevuld wordt. Het groeiende lichaam groeit in de 20 vorm van de randconfiguratie van het boveneinde van de matrijs.

Het Amerikaanse octrooischrift 3-^71-366 beschrijft een overeenkomstige werkwijze, welke gebruik maakt van een vormend element, welke een capillair omvat, die een voorraad smelt kan bevatten, waaruit men een groeiend kristallichaam trekt.

25 Afhankelijk van de vorm van de dwarsdoorsnede van het vor mende element en door het op geschikte wijze regelen van de thermische omstandigheden bij het boveneinde van het capillair, is het mogelijk om kristallichamen te laten groeien met bepaalde vormen van dwarsdoorsneden.

30 Beide voorgaande werkwijzen zijn bruikbaar bij het laten groeien van materiaal, zoals alumina en silicium in verscheidene vormen, zoals cilindrische buizen, vezels en dunne vlakke banden.

Het laten groeien van kristallen met behulp van beide boven beschreven werkwijzen omvat in het bijzonder het gebruik van appa-35 ratuur, welke een oven omvat, die ingericht is om plaats te bieden 80 0 1 4 21 -2- aan een smeltkroes, die een hoeveelheid materiaal als een smelt bevat, een capillaire matrijs, waarvan een uiteinde in de smelt geplaatst is en trekorganen om met een kernkristal contact te maken met het oppervlak van de smelt en voor het langzaam terug trekken 5 van de kern met een zodanige snelheid en onder zodanige omsrtandig-heden, dat een gedeelte van de smelt vast wordt op de kern. Door het op een geschikte wijze handhaven van de procesomstandigheden, kan een kristal met een aanzienlijke lengte uit de smelt getrokken worden.

10 Bij een EFG proces, zoals dat bovenstaand beschreven is., kunnen veranderingen in de treksnelheid de afmetingen van de dwarsdoorsnede van het groeiende lichaam beïnvloeden. Een systeem voor het constant houden van de treksnelheid is beschreven in het Amerikaanse octrooischrift 3.607.112. Dit octrooischrift toont een 15 kristaltrekinrichting, welke een paar eindloze banden omvat, waarbij iedere band een zich vertikaal uitstrekkend traject bezit, waarbij het vertikale traject van de ene band geplaatst is naast het vertikale traject van de andere band om zo een kristallijn lichaam, dat ertussen geplaatst:.is, vast te grijpen, tevens is voorzien in aan-20 drijfmiddelen voor het bewegen van de band, zodat zij langs het zich vertikale traject bewegen. Alhoewel een dergelijke inrichting het voordeel heeft, dat zij toegepast kan worden voor het laten groeien van continue kristallen met een onbepaalde lengte, beschrijft het octrooischrift, dat wanneer de kern of het groeiende 25 kristal niet zuiver recht is, of als de kern of het kristal een weinig schuin is. ten opzichte van de as van de vertikale trajecten van de wanden, het ondereinde van het kristal de neiging kan hebben om heen en weer te bewegen, wanneer het door de beweging van de banden getrokken wordt. Dit effekt valt in het bijzonder op wanneer 30 men een vlakke band of vezel met een relatief kleine diameter laat groeien, bijv. vezels met een diameter van ongeveer 0,12 mm. Hoe korter de vezel of de kern is, des te kritischer is het heen en weer gaan omdat de zijwaartse krachten van de vezel of de kern ten opzichte van de smelt bij het groeivlak, die door het heen en weer 35 gaan veroorzaakt worden, direkt evenredig zijn met de lengte van de vezel of de kern tussen de trekkende banden en het groeiende schei-dingsvlak.

80 0 1 421 * -¾ -3-

Als de vezellengte relatief klein is, kunnen de laterale krachten voldoende zijn om de oppervlaktespanning van de smelt te overwinnen en derhalve zal het uiteinde van de vezel of de kern de neiging hebhen om zjjwaarts te bewegen, waardoor de vezel krom groeit of 5 in een extreem geval afbreekt van de smelt. Sen gelijksoortig pro bleem bestasfc.bij het laten groeien van vlakke platen. Om dit probleem te minimaliseren zijn bij het genoemde Amerikaanse octrooi-schrift de eindeloze banden bevestigd op een vertikaal beweegbare wagen, zodat het trekken in het begin tot stand gebracht kan worden 10 door het laten bewegen van de wagen in plaats van het laten bewegen van de banden. Volgens genoemd Amerikaans octrooischrift veroorzaakt een vertikale beweging van de wagen geen heen en weer gaan, zodat het groeien van het kristal plaats zal vinden langs de vertikale bewegingsbaan van de wagen. Wanneer het kristal tot een 15 wezenlijke lengte gegroeid is, kunnen vervolgens de banden gebruikt worden voor het trekken, omdat op dat punt ieder heen en weergaand effekt bij het groeivlak onvoldoende zal zijn om de oppervlaktespanning van de smelt te overwinnen. Derhalve zal het heen en weer gaan er niet voor kunnen zorgen,dat het groeiende kristal losbreekt van 20 de smelt en zal het kristal recht groeien.

Alhoewel het Amerikaanse octrooischrift 3.607*112 een oplossing biedt voor het probleem van het heen en weergaan, is de in dit octrooischrift beschreven inrichting relatief ingewikkeld en derhalve relatief kostbaar om te bouwen. Bovendien vereist de in-25 richting aparte aandrijforganen en regelorganen voor de banden en wagen, hetgeen de kosten van de inrichting verder verhoogt.

Dienovereenkomstig heeft de onderhavige uitvinding als eerste doel om te voorzien in een nieuwe en verbeterde inrichting voor het laten groeien van bepaalde kristallijne materialen uit een 30 smelt.

Andere doeleinden zijn te voorzien in een kristalgroeiin-richting, welke eenvoudig van opbouw is, eenvoudig te regelen is, betrouwbaar bij het in werking zijn is en die ingericht is voor het laten groeien van lange kristallijne lichamen met grote lengtes..

35 Een meer specifiek doel is te voorzien in een kristaltrek- inrichting van het voorgaande soort voor het laten groeien van vlakke 800 1 4 21 -fc- kristallijne banden met een onbepaalde lengte.

De voorgaande doeleinden en andere doeleinden, -welke in het hierna volgende beschreven worden of voor de hand liggend zijn, worden verkregen door een inrichting, welke in wezen een kristal-5 trekmechanisme in de vorm van een enkele eindloze band met een zich. vertikaal uit strekkend traject, tenminste twee vertikale, op een afstand van elkaar gelegen volgrollen, die draaibaar bevestigd zijn naast het vertikale traject van de band , om het te trekken kristal in een wrijvingscontact te brengen met de band en aandrijforganen 10 voor het laten bewegen van de band, zodat de band zich beweegt in opwaartse richting langs het zich vertikaal uitstrekkende traject, omvat.

De uitvinding zal in het hierna volgende nader he-achreven worden aan de hand van een uitvoeringsvoorheeld onder verwijzing 15 naar de tekening, hierin toont: figuur 1 een zijaanzicht van een voorkeursuitvoeringsvorm van een kristalgroeiinrichting volgens de uitvinding, waarbij het kristaltrekmechanisme getoond wordt, terwijl details van de oven ----------- weggelaten zijn terwille van de duidelijkheid; 20 figuur 2 een vooraanzicht van de kristalgroeiinrichting volgens figuur 1, waarbij bepaalde gedeelten in doorsnede getoond zijn; en figuur 3 een bvoenaanzicht van de kristalgroeiinrichting volgens figuur 1.

25 Volgens de tekening omvat de getoonde inrichting een star bed 10, dat ondersteund is door een aantal opstaande poten 12.

Bed 10 bezit een grote opening 1U. Alhoewel dit niet getoond is, is het duidelijk, dat bij het in gebruik zijn het bed 10 bevestigd is in een vaste stand boven een conventionele kristalgroeioven, 30 welke een smeltkroes en een matrijsopbouw omvat, bijv. een oven, zoals getoond in het Amerikaanse octrooischrift 3.607.112 of het Amerikaanse octrooischrift U.118.197» de opening iU is daarbij in een lijn met de matrijsopbouw.

Het kristaltrekmechanisme volgens onderhavige uitvinding 35 is bevestigd op het starre bed 10 en omvat in wezen twee gedeelten, een instelbare benedensectie, die in zijn geheel binnen haak. 18 aan- 8 0 0 1 4 21 ( ·* -5- gegeven is en een trekmechanismegedeelte, dat in zijn geheel "binnen haak 20 aangegeven is. Zoals uit de hierna volgende "beschrijving duidelijk zal -werden, maakt het instelbare benedengedeelte 18 een uitlijning van het trekmechanismegedeelte 20 en de matrijsopbouw 5 in de kristalgroeioven mogelijk.

Het instelbare benedengedeelte is bevestigd op het starre bed 10 op vier hoekondersteuningsblokken 20, 22, 2b en 26 (zie figuur 3). Vast aan de bovenzijden van de blokken 20, 22, 2b en 26 zijn met geschikte organen, zoals schroeven 28 een eerste stel 10 asandersteuningsblokken resp. 30, 32, 3^ en 36 bevestigd. Deze laatstei bezitten elk zich horizontaal uitstrekkend gat 5Q. Eerste en tweede horizontale assen 30 en kO zijn bevestigd in de gaten 50 en strekken zich in het algemeen evenwijdig aan elkaar resp. tussen de blokken 30 en 32 en de blokken 3¼ en 36 uit.

15 Eerste en tweede kussenblokken ^2 en W»· zijn verschuifbaar op elk van de assen 38 en ^0 bevestigd. Op een van de assen, bijv. as h-0 is een draagblok bè vast bevestigd. Aan draagblok b6 is een van schroefdraad voorzien orgaan U8 bevestigd. Dit laatste is in een van schroefdraad voorziene bus 52 in blok b6 geschroefd, en 20 bezit een axiaal element in de vorm van een pen 5b, wélke uitsteekt door een gat in blok b6 en aangrijpt op de aangrenzende zijde van een opstaand armelement 56 op kussenblok bb. Er is ook voorzien in een veer 58, welke zich uitstrekt tussen het draagblok b6 en een opstaand armelement 59 op kussenblok Wk Zoals uit de hierna volgen-25 de beschrijving duidelijk zal worden, maakt de voorgaande ophouw van onderdelen een instelling van het kussenblok ^ in achterwaarts en voorwaartse richting in de richting van de pijlen 60 mogelijk door het veranderen van de draaiingspositie van het van schroefdraad voorziene element t8. Dit wil zeggen, dat het verdraaien van het van 30 schroefdraad voorziene element U8 er voor zorgt, dat pen 5^ zich verder uit strekt naar of teruggetrokken wordt van het kussenblok W*, terwijl dit daarbij kussenblok meeneemt.

Vast bevestigd aan de bovenzijden van de kussenblokken b2 en Ul·, met behulp van geschikte organen, zoals schroeven 62, en 35 zich in het algemeen evenwijdig aan elkaar tussen de kussenblokken b2 en bb uitstrekkend, is voorzien in een derde en vierde horizon- 800 1 4 21 -6- tale as resp. 6k en 66.

Zoals uit figuur 2 blijkt, zijn de uiteinden van de assen 6h en 66 afgevlakt om de bevestiging op de kussenblokken te vergemakkelijken. De assen 6k en 66 zijn zodanig geplaatst, dat hun 5 lengteassen zich in het algemeen evenwijdig aan elkaar uitstrekken en loodrecht zijn op de lengteassen van de assen 38 en hO.Een tweede stel kussenblokken 68 en 70 is verschuifbaar bevestigd op steeds een van de assen 6k en 66. Een kussenblok 72 is vast bevestigd op een van de assen, bijv. assen 6k. Draagblok 72 is gelijk aan draag-10 blok k6 op as ^0 en omvat een van schroefdraad voorzien element 7^ dat geschroefd is in een van schroefdraad voorziene bus j6 in het draagblok 72. Het van schroefdraad voorziene element 7^ bezit een axiaal element in de vorm van een pen 78, welke zich uitstrekt door een gat in het draagblok 72 en aangrijpt op de aangrenzende zijde 15 van het hoofdframe 80 van het kristaltrekmechanismegedeelte. Dit laatste is vast bevestigd op kussenblokken 68 en 70 en zal in het hierna volgende nader beschreven worden. Er is tevens voorzien in een veer 81, welke zich uitstrekt tussen het draagblok 72 en een opstaande arm 82 op het hoofdframeelement 80.

20 Het zal voor een vakman duidelijk zijn, dat de voorgaande onderdelenopbouw een instelling van het kussenblok 68 mogelijk maakt in achterwaarts en voorwaartse richting in de richting van pijlen 85 door het doen veranderen van de draaiingsstand van het van schroefdraad voorziene element 7^· D.w.z. dat het verdraaien 25 van het van schroefdraad voorziene element 7^ ervoor zorgt, dat de pen j8 zich verder uitstrekt naar of teruggetrokken wordt van het hoofdframe 80, waarbij dit de kussenblokken 68 en 70 met zich meeneemt .

Het trekmechanismegedeelte 20 is bevestigd in het hoofd-30 frame 80. Dit laatste omvat een horizontaal benedenelement 8h, dat rechtstreeks bevestigd is aan de bovenzijde van de kussenblokken 68 en 70 en een paar lange vertikale framezijelementen 86 en 88, Een van de vertikale framezijelementen, bijv. element 86 is een weinig langer dan het andere zijframeelement 88. Een horizantale aandrijf-35 as 92 is naast de benedeneinden van de framezijelementen 86 en 88 draaibaar bevestigd in geschikte draagmiddelen, die in het algemeen 800 1 4 21

* -V

-7- aangegeven zijn met 90. Deze as is mechanisch, via een eindloos, bandaandrij forgaan 94 verbonden met een servoaandrij fmotor, die in het algemeen aangegeven is met 96. Details van de aandrijfmiddelen 94 en de servoaandrijfmotor 96 zijn weggelaten, omdat dergelijke 5 inrichtingen welk bekend zijn en niet noodzakelijk zijn voor een goed begrip van de uitvinding. Een cilindrische bandrol 98 is "bevestigd op en vastgemaakt aan as 92 om samen daarmee te draaien.

In het algemeen zal de bandrol 98 gevormd zijn uit metaal, zoals aluminium. In het bijzonder in figuur 1 en 2 is te zien, dat in het 10 boveneinde van het vertikale framezijelement 86 een zich vertikaal uitstrekkende sleuf 100 gevormd is. Sleuf 100 dient als een ondersteuning en een geleidingskanaal voor een eerste vertikaal glijblok 102. Glijblok 102 bezit een zich vertikaal uitstrekkend gat 104, waarin draaibaar een van schroefdraad voorziene staaf 1θ6 15 bevestigd is, welke laatste een vaste knop 108 aan een uiteinde bezit, en een axiaal uitsteeksel in de vorm van een pen 110 aan het andere uiteinde, terwijl tevens een tweede vergrendelknop 112 draaibaar op as 106 bevestigd is tussen knop 1Q8 en pen 110. De van schroefdraad voorziene staaf 106 strekt zich uit door glijblok 1Q2 20 en grijpt aan op de onderzijde van sleuf 1Q0. Zoals voor een vakman duidelijk zal zijn,, zorgt het veranderen van de draaiingsstand van de van schroefdraad voorziene staaf 106 ervoor, dat pen 110 zich beweegt naar of terugtrekt van de onderzijde van sleuf 1Q0 en dit zorgt er weer voor, dat glijblok 102 naar boven of naar beneden 25 toe beweegt, d.w.z. in de richting van de pijlen 114.

Een tweede zich vertikaal uitstrekkende sleuf 116 is gevormd in het boveneinde van het vertikale zijelement 88 en dient als een ondersteuning en een geleidingskanaal voor een tweede vertikaal glijblok 118. Glijblok 118 is L-vormig en omvat een horizon-30 tale verdikking 120. Verdikking 120 omvat een van schroefdraad voorzien gat, waarin een zich vertikaal uit strekkende, van schroefdraad voorziene staaf 122 bevestigd is. Staaf 122 bezit een vaste knop 124 aan een uiteinde, een axiaal uitsteeksel in de vorm van een pen 126 aan het andere uiteinde en een tweede vergrendelknop 128, die 35 draaibaar op de as 122 bevestigd is, tussenknop 124 en verdikking 120. De pen 126 steekt uit door de horizontale verdikking 120 en 800 1 4 21 -8- grijpt aan op het aangrenzende vlak van een horizontale arm 130.

Deze laatste is bevestigd aan het vertikale zijelement 188 met behulp van geschikte organen zoals schroeven 132.

Een horizontale ondersteuningsstaaf 13^ is bevestigd in 5 en wordt gedragen door de vertikale glijblokken 102 en 118. Een tweede cylindrische handrol 136 is op bekende wijze zoals door draagorganen 138, draaibaar op as 13^ bevestigd. Een eindloze band 1 i+0 welke uit een geschikt materiaal, dat niet makkelijk zal rekken, bijv. glasvezel versterkt met siliconenrubber, gemaakt is, is rond 10 de bandrollen 98 en 136 bevestigd. Zoals uit de tekening blijkt, loopt de band 1^0 over een vertikaal traject. Zoals in het bovenstaande vermeld is, zorgt het veranderen van de draaiingsstand van de van schroefdraad voorziene staaf 106 ervoor, dat het glijblok 102 naar boven of beneden toe beweegt, waarbij dit de staaf 13^ met 15 zich meeneemt. Het zal dus voor een vakman duidelijk zijn, dat de band 1^-0 onder een gewenste spanning gehouden kan worden door het instellen van de draaiingsstand van de van schroefdraad voorziene as 106. Op gelijke wijze kan het sporen van de band ingeateld worden door het veranderen van de draaiingsstand van de van schroef-20 draad voorziene staaf 122.

Zoals in het bijzonder uit figuur 1 blijkt, is. een paar volgrollen, in het algemeen aangegeven met ïh2 en 1W+ in vertikale richting op een afstand van elkaar bevestigd naast het vertikale traject van de band 1H0. De volgrollen 1^2 en iMi zijn gevormd uit 25 een metaal, zoals aluminium, en bij voorkeur bedekt met siliconen rubber. De volgrollen “\k2 en 1¼ zijn bevestigd op geschikte draagorganen, waarvan er slechts een, 1^5, getoond is, om te kunnen draaien op resp. horizontale assen 1U6 en 1^8. Deze laat sten worden ondersteund in een in het algemeen H-vormig ondersteuningselement 30 150. Het ondersteuningselement 150 is draaibaar bevestigd via korte schakels 152 en 15^ en geschikte naafbussen 156 ten opzichte van de vertikale framezijelementen 86 en 88. Er is voorzien in een knop 160, die bevestigd is aan het H-vormig ondersteuningselement 15Q en een paar veerelementen, waarvan er slechts een, 162, getoond is, 35 welke bevestigd zijn tussen het H-vormige ondersteuningselement 150 en veerspanorganen, die in het algemeen aangegeven zijn met 16h.

Deze laatsten zijn bevestigd aan de vertikale framezijelementen 86 80 0 1 4 21 -9- en 88. Een voordelige eigenschap van onderhavige uitvinding is dat wanneer het frame 150 opgelicht wordt om het mogelijk. te maken om een kern of een kristal tussen de rollen 1^2, 1U1* en band 1^Q te plaatsen, de zwaartekracht op het frame 15Q zal werken en zo 5 de rollen 1U2 en 1UU tegen het kristal zal houden en derhalve het kristal tegen de band zal houden voor een juiste grijpwerking.

Er is voorzien in de veren 162 om de rollen lk2 en bij te staan bij het geleiden van het groeiende kristal. Een ander voordeel van de onderhavige uitvinding is, dat het trekmechanisme diktevariaties 10 toelaat, kern-kristalovergangen en kleine rimpelingen in het groeien de kristal kunnen tussen het trekmechanisme doorgaan, d.w.z. tussen het vertikale traject van de band en de rollen 1^-2 en 1W·, zonder een heen en weergaande beweging over te dragen langs het kristal naar de onderzijde naar het groeivlak. Dienovereenkomstig moeten 15 de ondersteuningsarmen 152 en 15^· een voldoende lengte bezitten om de volgrollen 1U2 en 1^ een bewegingsvrijheid naar en van het vertikale traject van de band te geven, welke voldoende is om de genoemde variaties en gelijksoortige variaties te compenseren, de lengte kan bijv. 2-10 cm zijn.

20 Zoals uit het voorgaande duidelijk zal zijn, kan het kris- taltrekmechanisme volgens de uitvinding krist airimp eling, verbuiging of kromming, oppervlakteonvolmaaktheden, zoals insluitingen van verontreinigingen en grote kemovergangsvlakken opvangen, die anders zouden zorgen voor een voldoende heen en weer gaan bij het 25 sproeivlak om bij conventionele treksystemen met tegenover elkaar gelegen banden een losbreken bij het oppervlak van de smelt te veroorzaken en de groei te doen stoppen. Bovendien is het trekmechanisme volgens de uitvinding bijzonder eenvoudig op te bouwen en gemakkelijk toegankelijk voor het aanbrengen en uitlijnen van een 30 kern in het trekmechanisme.

Alhoewel de combinatie van een enkele trekhand met een vertikaal traject en een paar volgrollers, die vertikaal, op afstand van elkaar en bevestigd op een enkel, draaibaar ondersteuningsele-ment, zoals in de tekeningen getoond is, de voorkeursuitvoeringsvorm 35 van onderhavige uitvinding vormen, zal het voor een vakman duidelijk, zijn, dat de twee volgrollers afzonderlijk draaibaar bevestigd kunnen zijn aan het hoofdframe 80. Bovendien kunnen er drie of meer 800 1 4 21 -10- volgrollen toegepast kunnen worden. Twee volgrollen geven echter in het algemeen een voldoende ondersteuning voor het kristal en een voldoende wrijvingscontact met de hand voor het trekken van het kristal. Het gebruik van meer dan twee volgrollen is in het 5 algemeen dus niet noodzakelijk en beoogt slechts de kosten van de inrichting. Anderzijds is normaliter een mini™™ van twee volgrollen nodig om een voldoende ondersteuning van het groeiende kristal te geven.

Het zal dadelijk zijn, dat er in de beschreven inrichting 10 verscheidene veranderingen aangebracht kunnen worden zonder buiten het kader van de uitvinding te treden. Door bijv. de volgrollen 11+2 en 1U1 en ondersteuningselement 150 te vormen uit materialen met een geschikte massa, kunnen de veren 162 en de veerspanorganen 16b weggelaten worden. Bovendien vormt de instelbare basis 118 slechts 15 een voorkeursuitvoeringsvorm van een mogelijk toe te passen instel bare basis.

80 0 1 4 21

Claims (5)

1. 2. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat voorzien is in veerorganen voor het voorspannen van de volgrollen 20 naar het vertikale traject. 3* Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de aandrijforganen een servoaandrijfmotor omvatten. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de volgrollers bevestigd zijn op een gemeenschappelijte ondersteu-25 ning voor draaiing rond evenwijdige assen, en dat de gemeenschappe lijke ondersteuning draaibaar aan het hoofdframe bevestigd is.
2. 5· Inrichting volgens conclusie 1, gekenmerkt door organen voor het instellen van de spanning in de band.
3. 6. Inrichting volgens conclusie 1gekenmerkt door midde- 30 len voor het instellen van de sporing van de band.
4. 7. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat voorzien is in twee volgrollen.
5. 8. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk,dat deze ingericht is voor het trekken van kristallijne banden. 800 1 4 21