[go: up one dir, main page]

NL188482B - Werkwijze voor het meten van het verloop van een in een elektronische keteninrichting heersende spanning onder toepassing van een elektronenbundel. - Google Patents

Werkwijze voor het meten van het verloop van een in een elektronische keteninrichting heersende spanning onder toepassing van een elektronenbundel.

Info

Publication number
NL188482B
NL188482B NLAANVRAGE7902517,A NL7902517A NL188482B NL 188482 B NL188482 B NL 188482B NL 7902517 A NL7902517 A NL 7902517A NL 188482 B NL188482 B NL 188482B
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
progress
measuring
voltage present
chain device
electron bundle
Prior art date
Application number
NLAANVRAGE7902517,A
Other languages
English (en)
Other versions
NL188482C (nl
NL7902517A (nl
Original Assignee
Integrated Circuit Testing
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Integrated Circuit Testing filed Critical Integrated Circuit Testing
Publication of NL7902517A publication Critical patent/NL7902517A/nl
Publication of NL188482B publication Critical patent/NL188482B/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL188482C publication Critical patent/NL188482C/nl

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/302—Contactless testing
    • G01R31/305—Contactless testing using electron beams
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R13/00—Arrangements for displaying electric variables or waveforms

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
NLAANVRAGE7902517,A 1978-03-31 1979-03-30 Werkwijze voor het meten van het verloop van een in een elektronische keteninrichting heersende spanning onder toepassing van een elektronenbundel. NL188482C (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2813947A DE2813947C2 (de) 1978-03-31 1978-03-31 Verfahren zur berührungslosen Messung des Potentialverlaufs in einem elektronischen Bauelement und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL7902517A NL7902517A (nl) 1979-10-02
NL188482B true NL188482B (nl) 1992-02-03
NL188482C NL188482C (nl) 1992-07-01

Family

ID=6035857

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NLAANVRAGE7902517,A NL188482C (nl) 1978-03-31 1979-03-30 Werkwijze voor het meten van het verloop van een in een elektronische keteninrichting heersende spanning onder toepassing van een elektronenbundel.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4220854A (nl)
JP (1) JPS54134570A (nl)
DE (1) DE2813947C2 (nl)
GB (1) GB2017939B (nl)
NL (1) NL188482C (nl)

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2903077C2 (de) * 1979-01-26 1986-07-17 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur berührungslosen Potentialmessung an einem elektronischen Bauelement und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens
DE3036660A1 (de) * 1980-09-29 1982-05-19 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Anordnung fuer stroboskopische potentialmessungen mit einem elektronenstrahl-messgeraet
DE3110138A1 (de) * 1981-03-16 1982-09-23 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur darstellung logischer zustandsaenderungen mehrerer benachbarter schaltungsknoten in integrierten schaltungen in einem logikbild mittels einer gepulsten elektronensonde
DE3110140A1 (de) * 1981-03-16 1982-09-23 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Vorrichtung und verfahren fuer eine rasche interne logikpruefung an integrierten schaltungen
DE3138990A1 (de) * 1981-09-30 1983-04-14 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Koaxiales gegenfeld-spektrometer hoher akzeptanz fuersekundaerelektronen und elektronenstrahl-messgeraet
DE3138927A1 (de) * 1981-09-30 1983-04-14 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Abbildendes spektrometer fuer die elektronenstrahl-messtechnik und elektronenstrahl-messgeraet
DE3138992A1 (de) * 1981-09-30 1983-04-14 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Abtastverfahren zur schnellen potentialbestimmung inder elektronenstrahl-messtechnik
DE3206309A1 (de) * 1982-02-22 1983-09-15 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Sekundaerelektronen-spektrometer und verfahren zu seinem betrieb
DE3375438D1 (en) * 1982-03-01 1988-02-25 Toshiba Kk Stroboscopic scanning electron microscope
US4520313A (en) * 1982-03-30 1985-05-28 Advanced Semiconductor Materials America, Inc. Semiconductor testing and apparatus therefor
DE3227426A1 (de) * 1982-07-22 1984-01-26 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Ablenkstruktur fuer ein korpuskularstrahl-austastsystem und verfahren zu seinem betrieb
DE3235484A1 (de) * 1982-09-24 1984-03-29 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur unterdrueckung einer stoerung bei der messung von signalverlaeufen mit einer korpuskularsonde und vorrichtung zur durchfuehrung eines solchen verfahrens
JPS59220940A (ja) * 1983-05-31 1984-12-12 Toshiba Corp 電子ビ−ムによる半導体装置の内部動作電圧波形の測定方法
JPS6010739A (ja) * 1983-06-30 1985-01-19 Fujitsu Ltd ストロボ電子ビ−ム装置
DE3334530A1 (de) * 1983-09-23 1985-04-04 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zum raschen messen von elektrischen signalen an schaltungsknoten integrierter schaltungen, bei dem auch stoersignale erfasst werden, und vorrichtung zur durchfuehrung eines solchen verfahrens
DE3334494A1 (de) * 1983-09-23 1985-04-11 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zum messen niederfrequenter signalverlaeufe innerhalb integrierter schaltungen mit der elektronensonde
DE3335671A1 (de) * 1983-09-30 1985-04-04 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur lokalisierung von zeitkritischen vorgaengen im innern einer getakteten elektronischen schaltung
DE3407041A1 (de) * 1984-02-27 1985-09-05 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur automatischen einstellung des arbeitspunktes bei signalverlaufsmessungen mit korpuskularstrahl-messgeraeten
SE452526B (sv) * 1984-05-09 1987-11-30 Stiftelsen Inst Mikrovags Forfarande for att inspektera integrerade kretsar eller andra objekt
DE3482769D1 (de) * 1984-05-30 1990-08-23 Siemens Ag Verfahren und vorrichtung zur detektion und abbildung eines messpunkts, der eine spannung wenigstens einer bestimmten frequenz fuehrt.
DE3519401A1 (de) * 1984-05-30 1985-12-05 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren und vorrichtung zur detektion und abbildung eines punktes einer probe, der ein signal wenigstens einer bestimmten frequenz fuehrt
DE3428965A1 (de) * 1984-08-06 1986-02-06 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren und vorrichtung zur detektion und abbildung von messpunkten, die einen bestimmten signalverlauf aufweisen
EP0196531B1 (de) * 1985-03-28 1991-01-16 ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH Verfahren zur indirekten Bestimmung der Intensitätsverteilung der in einem Korpuskularstrahl-Messgerät erzeugten Korpuskularstrahlpulse
US4670710A (en) * 1985-03-29 1987-06-02 International Business Machines Corporation Noncontact full-line dynamic AC tester for integrated circuits
JPH0775155B2 (ja) * 1985-08-20 1995-08-09 富士通株式会社 ストロボ電子ビーム装置
JPS62174937A (ja) * 1986-01-29 1987-07-31 Hitachi Ltd ストロボ方式の電位測定装置
EP0310816B1 (de) * 1987-09-30 1991-11-06 Siemens Aktiengesellschaft Automatische Frequenznachführung bei Korpuskularstrahlmessverfahren unter Anwendung eines modulierten Primärstrahls
JP2941328B2 (ja) * 1990-02-02 1999-08-25 株式会社日立製作所 荷電ビーム装置
US5210487A (en) * 1991-06-04 1993-05-11 Schlumberger Technologies Inc. Double-gated integrating scheme for electron beam tester
DE69232905T2 (de) * 1991-08-05 2003-08-21 Koninklijke Philips Electronics N.V., Eindhoven Elektrooptische Messanordnung zum Messen eines elektrischen Signals in einem elektronischen Bauteil
DE19742055C2 (de) * 1997-09-24 2000-02-24 Ita Ingb Testaufgaben Gmbh Vorrichtung zum Testen von Schaltungsplatinen
US6359451B1 (en) 2000-02-11 2002-03-19 Image Graphics Incorporated System for contactless testing of printed circuit boards
AU3354401A (en) 2000-02-14 2001-08-20 Eco 3 Max Inc. Process for removing volatile organic compounds from an air stream and apparatustherefor
JP2007531876A (ja) * 2004-04-02 2007-11-08 カリフォルニア インスティテュート オブ テクノロジー 超高速光電子顕微鏡のための方法およびシステム

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3531716A (en) * 1967-06-16 1970-09-29 Agency Ind Science Techn Method of testing an electronic device by use of an electron beam
US3549999A (en) * 1968-06-05 1970-12-22 Gen Electric Method and apparatus for testing circuits by measuring secondary emission electrons generated by electron beam bombardment of the pulsed circuit
JPS4823385A (nl) * 1971-07-28 1973-03-26
US3796947A (en) * 1973-02-27 1974-03-12 Bell Telephone Labor Inc Electron beam testing of film integrated circuits
US3956698A (en) * 1974-02-12 1976-05-11 Westinghouse Electric Corporation Contactless test method for integrated circuits

Also Published As

Publication number Publication date
GB2017939A (en) 1979-10-10
NL188482C (nl) 1992-07-01
JPS54134570A (en) 1979-10-19
GB2017939B (en) 1982-09-15
DE2813947C2 (de) 1986-09-04
US4220854A (en) 1980-09-02
DE2813947A1 (de) 1979-10-11
NL7902517A (nl) 1979-10-02
JPS6333262B2 (nl) 1988-07-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL188482C (nl) Werkwijze voor het meten van het verloop van een in een elektronische keteninrichting heersende spanning onder toepassing van een elektronenbundel.
NL7606548A (nl) Werkwijze en inrichting voor het uitrichten van een i.c.-patroon ten opzichte van een halfgelei- dend substraat.
NL181528C (nl) Inrichting voor het meten van een spanning of van een elektrisch veld met gebruikmaking van licht.
NL7902766A (nl) Werkwijze en inrichting voor het bepalen van een vloeistofniveau.
NL7712371A (nl) Werkwijze en apparaat voor het bevestigen van inrichtingen op een substraat.
NL7902519A (nl) Werkwijze voor het contactloos meten van het potenti- aalverloop in een electronische bouwsteen, en een in- richting voor het toepassen van een dergelijke werkwij- ze.
NL7900278A (nl) Werkwijze en inrichting voor het meten van een gasstroom.
NL186405C (nl) Meetinrichting voor het meten van een afmeting van de dwarsdoorsnede van een langwerpig voorwerp.
NL7904226A (nl) Werkwijze voor het contactloos uitvoeren van een potentiaalmeting aan elektronische onderdelen, en een inrichting voor het uitvoeren van een dergelijke werkwijze.
NL7901455A (nl) Werkwijze en inrichting voor het meten van mechanische energieverliezen in een materiaal.
NL7707444A (nl) Inrichting voor het in grafiek brengen van het gehele luminescentiespectrum van een monster.
NO771803L (no) Anordning ved off-shore platform
NL7902327A (nl) Werkwijze en inrichting voor het meten van een oppervlaktespanning.
NL7904605A (nl) Werkwijze voor het meten voor de vulstand in een reservoir en een inrichting voor het toepassen van deze werkwijze.
NO154207C (no) Anordning for maaling av spenninger som virker i en boreinnretning
NL7710108A (nl) Inrichting voor het meten van een neutronen- flux.
NL7705420A (nl) Werkwijze en inrichting voor het verkrijgen van gecompenseerde metingen in een boorgat.
NL7811987A (nl) Inrichting voor het opbrengen van media in een substraat.
NL7801071A (nl) Inrichting voor het inspecteren van afstanden in een beeld.
NL7608384A (nl) Inrichting voor het met onderbrekingen in een analyseertoestel brengen van een gelijkblij- vende hoeveelheid vloeistof.
BE876024A (nl) Inrichting voor het opwikkelen van strengen
NL7600428A (nl) Werkwijze voor het maken van een hoogspannings- kabel en inrichting voor het toepassen van deze werkwijze.
NL7602837A (nl) Werkwijze en inrichting voor het meten van zwaveldioxyde.
NL7511924A (nl) Inrichting voor het uitvoeren van elektrische metingen aan een vloeistof.
NL176101C (nl) Inrichting voor het meten van trillingen.

Legal Events

Date Code Title Description
BA A request for search or an international-type search has been filed
A85 Still pending on 85-01-01
BB A search report has been drawn up
BC A request for examination has been filed
CNR Transfer of rights (patent application after its laying open for public inspection)

Free format text: ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER

V2 Lapsed due to non-payment of the last due maintenance fee for the patent application