KR970030250A - 반도체장치의 제조과정에서 발생되는 폐액처리장치 - Google Patents
반도체장치의 제조과정에서 발생되는 폐액처리장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체장치의 제조과정에서 발생되는 폐액처리장치에 관해 개시한다. 본 발명에 의한 폐액처리장치는 폐액이 흘러들어오는 배출관의 시작부분과 폐액처리장치의 바닥이 접속되는 부분의 둘레에 용법부분을 갖는 폐액이 흘러들어오는 배출관의 시작부분과 폐액처리장치의 바닥이 접속되는 부분의 둘레에 용접부분을 갖는 폐액베출관을 구비하는 폐액처리장치에 있어서,
상기 배출관을 제1배출관이라 할때 상기 제1 배출관으로부터 누출된 폐액이 배출관밖으로 흘러가는 것을 방지하는 수단을 구비한다.
따라서, 본 발명에 의한 반도체장치의 제조과정에서 발생되는 폐액처리장치를 이용하여 폐액을 처리할 경우 폐액을 배출시키기 위한 배출관을 폐액의 유입이 시작되는 부분에서 제1 및 제2 배출관으로 구성되는 2중 배출관으로 구성하므로서, 종래 기술에 의한 1차 배출관으로부터 폐액이 누출되더라도 상기 폐액을 상기 배출관 내로 한정할 수 있다. 따라서 반도체 제조장치와 관련된 설비의 부식을 방지하여 반도체 제조장치의 생산성을 높일 수 있을 뿐만 아니라 작업자의 건강과 주위의 자연환경을 폐액으로부터 안전하게 보호할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 반도체장치의 제조과정에서 발생되는 폐액처리장치의 일 부분을 나타낸 도면이다.
Claims (8)
- 폐액이 흘러들어오는 배출관의 시작부분과 폐액처리장치의 바닥이 접속되는 부분의 둘레에 용접부분을 갖는 폐액배출관을 구비하는 폐액처리장치에 있어서, 상기 배출관을 제1 배출관이라 할 때 상기, 제1 배출관으로부터 누출된 폐액이 배출관밖으로 흘러가는 것을 방지하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 제조과정에서 발생되는 폐액처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 수단은 상기 제1 배출관의 시작부분 둘레에 형성된 용접부분과 상기 제1 배출관을 완전히 포함하는 제2 배출관인 것을 특징으로 하는 반도체장치의 제조과정에서 발생되는 폐액처리장치.
- 제2항에 있어서, 상기 제1 배출관은 상기 폐액의 주 배출관인 것을 특징으로 하는 반도체장치의 제조과정에서 발생되는 폐액처리장치.
- 제2항에 있어서, 상기 제2 배출관은 관의 시작부분과 종단 부분의 직경이 다른 것을 특징으로 하는 반도체장치의 제조과정에서 발생되는 폐액처리장치.
- 제4항에 있어서, 상기 제2 배출관은 관의 시작부분의 직경이 종단부분의 직경보다 넓은 것을 특징으로 하는 반도체장치의 제조과정에서 발생되는 폐액처리장치.
- 제4항에 있어서, 상기 제2 배출관의 직경이 서로 다른 부분이 이어지는 부분의 관의 직경은 완만한 직경의 기울기를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 제조과정에서 발생되는 폐액처리장치.
- 제2항에 있어서, 상기 제1배출관은 상기 폐액이 유입되는 부분에만 일정길이 형성되어 있고 전체적인 관의 길이는 상기 제2 배출관보다 짧은 것을 특징으로 하는 반도체장치의 제조과정에서 발생되는 폐액처리장치.
- 제5항에 있어서, 상기 제2 배출관의 좁은 부분의 직경은 적어도 상기 제1 배출관의 직경과 동일한 것을 특징으로 하는 반도체장치의 제조과정에서 발생되는 폐액처리장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950045811A KR970030250A (ko) | 1995-11-30 | 1995-11-30 | 반도체장치의 제조과정에서 발생되는 폐액처리장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1019950045811A KR970030250A (ko) | 1995-11-30 | 1995-11-30 | 반도체장치의 제조과정에서 발생되는 폐액처리장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR970030250A true KR970030250A (ko) | 1997-06-26 |
Family
ID=66593102
Family Applications (1)
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| KR1019950045811A Withdrawn KR970030250A (ko) | 1995-11-30 | 1995-11-30 | 반도체장치의 제조과정에서 발생되는 폐액처리장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970030250A (ko) |
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1995
- 1995-11-30 KR KR1019950045811A patent/KR970030250A/ko not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 19951130 |
|
| PG1501 | Laying open of application | ||
| PC1203 | Withdrawal of no request for examination | ||
| WITN | Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid |