KR970009047B1 - Display elements with repair function - Google Patents
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Abstract
내용없음.None.
Description
제1도는 액정표시소자와 같은 표시소자의 배선구조를 설명하기 위한 도면이다.1 is a diagram for explaining a wiring structure of a display device such as a liquid crystal display device.
제2도는 이 발명에 따른 표시소자의 배선구조의 일실시예를 나타낸 도면으로, 특히 TFT LCD의 배선구조의 일실시예를 나타내고 있다.2 is a view showing an embodiment of the wiring structure of the display element according to the present invention, and in particular, shows an embodiment of the wiring structure of the TFT LCD.
제3도는 제2도의 절선 A-A´에서이 단면구조의 일실시예를 나타낸 도면이다.FIG. 3 is a diagram showing one embodiment of this cross-sectional structure at the cut line A-A 'of FIG.
제4도는 이 발명에 따른 표시소자의 배선구조의 다른 실시예를 나타낸 도면이다.4 is a view showing another embodiment of the wiring structure of the display device according to the present invention.
제5도는 제4도의 절선 B-B´에서의 단면구조의 일실시예를 나타낸 도면이다.FIG. 5 is a view showing an embodiment of a cross-sectional structure at the cutting line B-B 'of FIG.
제6도는 제5도에 도시된 단면구조에서 절연막 불량을 나타낸 도면이다.FIG. 6 is a view showing an insulating film defect in the cross-sectional structure shown in FIG.
제7도는 이 발명에 따른 표시소자의 배선구조의 또 다른 실시예를 나타낸 도면이다.7 is a view showing still another embodiment of the wiring structure of the display device according to the present invention.
제8도는 이 발명에 따른 표시소자의 배선구조의 또 다른 실시예를 나타낸 도면이다.8 is a view showing another embodiment of the wiring structure of the display device according to the present invention.
제9도는 이 발명에 따른 표시소자의 배선구조의 또 다른 실시예를 나타낸 도면이다.9 is a view showing another embodiment of the wiring structure of the display device according to the present invention.
제10도는 제9도의 절선 C-C´에서의 단면구조를 나타낸 도면이다.FIG. 10 is a view showing a cross-sectional structure at cut line C-C 'of FIG.
제11a도는 내지 제13c도 데이타 전극과 게이트 전극의 단락으로 인한 불량을 수리하는 방법을 설명하기 위한 도면들이다.11A to 13C are diagrams for describing a method of repairing a defect due to a short circuit between the data electrode and the gate electrode.
제14a도는 내지 제16d도 데이타 전극의 단선으로 인한 불량을 수리하는 방법을 설명하기 위한 도면들이다.14A to 16D are diagrams for describing a method of repairing a defect due to disconnection of a data electrode.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
201 : 데이타 전극 202 : 게이트 전극201: data electrode 202: gate electrode
203 : 화소전극203: pixel electrode
이 발명은 표시소자에 관한 것으로, 특히 수리기능을 갖는 액정표시소자 및 그 수리 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a display element, and more particularly, to a liquid crystal display element having a repair function and a repair method thereof.
액정표시소자의 종류로는 단순 매트릭스형과 각 화소마다 스위칭소자를 배치한 액티브 매트릭스형이 있는데, 이중에서 액티브 매트릭스형이 고정세(high definition)화에 유리한 측면을 갖는다. 액티브 매트릭스형에서 사용되는 스위칭소자로는 박막 다이오드 및 박막 트랜지스터가 있으며, 박막 트랜지스터 액정표시소자(TFT LCD ; Thin Film Transistor Liquid Crystal Display)가 박막 다이오드 액정 표시소자(TFD LCD ; Thin Film Diode Liquid Crystal Display)보다 다계조 표시가 수월하게 된다.There are two types of liquid crystal display devices, a simple matrix type and an active matrix type in which switching elements are arranged for each pixel. Among them, an active matrix type has a favorable aspect for high definition. The switching elements used in the active matrix type include a thin film diode and a thin film transistor, and a thin film transistor liquid crystal display (TFT LCD) is a thin film diode liquid crystal display (TFD LCD). ) Multi-gradation display is easier than
그러나 이러한 TFT LCD는 단위 면적에 많은 전극들이 패널상에 형성되기 때문에 배선형성공정상에 불량이 자주 발생하게 된다. LCD 패널에서 어느 하나의 배선공정이 실패하게 되면, 그 패널 자체가 불량이 되므로 될 수 있는대로 불량을 줄이기 위한 배선형성공정이 수행되어야 한다. 그러나 아무리 공정을 엄격히 진행한다고 하여도 불량을 하나도 발생시키지 않는다는 것은 매우 어려운 일이다. 따라서, TFT LCD의 제조시, 수율을 증가시키기 위하여 배선에 대한 용장(redundancy)부분이 첨부하는 것이 제시되어 있다. 즉 구동을 위한 게이트 전극 및 데이타 전극외에, 불량-안정(fail-safe) 및 불량-수리(fail-repair)를 위하여 별도의 게이트 전극 및 별도의 데이타 전극을 더 설치하거나 또는 패널의 패시브(passive) 부분에 링을 설치하게 된다. 여기서, 패널의 패시브 부분은 패널중 화소가 형성되지 않는 주변부분을 말한다. 여기서 불량-안정이란 불량이 발생하는 경우에도 별도의 수리없이 동작이 정상적으로 이루어질 수 있는 것을 말하며, 불량-수리란 불량이 발생한 경우에 수리를 통하여 동작이 정상적으로 이루어질 수 있는 것을 말한다.However, such TFT LCDs frequently cause defects in the wiring forming process because many electrodes are formed on the panel. If any one of the wiring processes fails in the LCD panel, the panel itself becomes defective, and therefore, a wiring forming process for reducing defects should be performed as much as possible. However, no matter how strict the process, it is very difficult not to generate any defects. Therefore, in the manufacture of a TFT LCD, it is proposed that a redundancy portion for wiring be attached in order to increase the yield. That is, in addition to the gate electrode and the data electrode for driving, a separate gate electrode and a separate data electrode are further provided for fail-safe and fail-repair or the panel is passive. The ring will be installed in the part. Here, the passive portion of the panel refers to a peripheral portion in which no pixel is formed in the panel. Here, the failure-stability means that the operation can be normally performed without any repair even when a failure occurs, and the failure-repair means that the operation can be normally performed through the repair in case of a failure.
종래의 불량-수리를 위하여 용장부분을 첨부하게 되는 액정표시소자에 대한 구체적인 것은 미국공보 4,840,459를 참조할 수 있다.For a detailed description of the liquid crystal display device to which the redundant portion is attached for the conventional defect-repair, see US Patent No. 4,840,459.
그러나 기존의 불량-수리를 위하여 용장부분을 첨부하게 되는 액정표시소자들은 다음과 같은 분제점을 갖는다.However, the liquid crystal display devices to which the redundant portion is attached for the conventional defect-fixing have the following problem points.
첫째로, 추가로 구성되는 게이트 전극 및 데이타 전극을 구동하기 위한 별도의 패드(pad)가 인출되도록 되어 있다. 별도의 패드는 별도의 구동드라이버를 요구하여 주변회로가 복잡하게 되는 문제점을 낳는다.First, separate pads for driving the gate electrode and the data electrode, which are further configured, are drawn out. Separate pads require a separate driver to create a problem in that the peripheral circuit is complicated.
둘째로, 하나의 게이트 전극 또는 하나의 데이타 전극에서 2지점 이상에서 단선이 발생하게 되면 이를 수리할 수 없는 문제점이 있다.Second, if disconnection occurs at two or more points in one gate electrode or one data electrode, there is a problem that it cannot be repaired.
셋째로, 게이트 전극과 데이타 전극이 교차하는 지점에서 층간절연막의 불량으로 인한 단락을 수리할 수 없는 문제점이 있다.Third, there is a problem in that a short circuit due to a defective interlayer insulating film cannot be repaired at the point where the gate electrode and the data electrode cross each other.
넷째로, 수리에 인하여 형성되는 경로가 지나치게 우회하게 되어 신호 지연이 발생하게 되는 문제점이 있다.Fourth, there is a problem that a signal delay occurs because the path formed due to repair is excessively bypassed.
따라서 이 발명의 목적은 상술한 문제점들을 해결할 수 있는 표시소자를 제공하는 것에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a display device that can solve the above problems.
이 발명의 다른 목적은 표시소자의 수리 방법을 제공하는 것에 있다.Another object of the present invention is to provide a method for repairing a display element.
상기 목적을 달성하기 위하여 이 발명은 상호 평행하게 배열된 복수의 제1전극들 ; 상호 평행하게 배열되고, 소정 절연막을 통하여 상기 제1전극들과 분리됨과 동시에 제1전극들의 배열방향과 수직으로 배열되며, 각각이 상기 제1전극들과 교차되는 부분에서 다수의 경로를 갖는 그물구조로 형성되는 복수의 제2전극들을 구비하며, 상기 제2전극들이 외부신호에 따라 선택적으로 단선될 수 있는 물질로 구성되어 불량배선에 대한 수리기능을 갖는 표시소자를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a plurality of first electrodes arranged in parallel with each other; A net structure arranged in parallel with each other, separated from the first electrodes through a predetermined insulating film, and arranged perpendicularly to the arrangement direction of the first electrodes, each having a plurality of paths at portions intersecting the first electrodes. The display device includes a plurality of second electrodes formed of a material, and the second electrodes are made of a material which can be selectively disconnected according to an external signal, thereby providing a display device having a repair function for defective wiring.
상기 다른 목적을 달성하기 위하여, 수직방향으로 진행되는 데이타 전극과, 수평방향으로 진행하고 소정 절연막에 의하여 상기 데이타 전극과 절연되며 데이타 전극과 교차하는 부분에서 다수의 경로를 갖는 그물형태의 게이트 전극을 구비하는 표시소자에서, 상기 데이타 전극과 상기 게이트 전극의 절연불량으로 인한 단락을 수리하는 방법은 단락이 발생한 부분의 양측면의 게이트 전극을 선택적으로 단선시키는 과정을 구비한다. 또한 상기 데이타 전극의 단선을 수리하는 방법은 단선된 부분에 인접한 데이타 전극과 게이트 전극과의 교차점들을 선택적으로 단락시키는 과정 ; 및 상기 단락된 교차점에 인접된 게이트 전극들을 선택적으로 단선시키는 과정을 구비한다.In order to achieve the above another object, a data electrode which runs in a vertical direction, and a gate electrode having a net shape having a plurality of paths at portions intersecting with the data electrode and insulated from the data electrode by a predetermined insulating film in a horizontal direction In the display device provided therein, a method of repairing a short circuit due to poor insulation between the data electrode and the gate electrode includes selectively disconnecting gate electrodes on both sides of a portion where a short circuit occurs. In addition, the method for repairing disconnection of the data electrode may include: selectively shorting intersection points between the data electrode and the gate electrode adjacent to the disconnected portion; And selectively disconnecting the gate electrodes adjacent to the shorted intersection point.
이어서 첨부한 도면을 이용하여 이 발명에 따른 실시예들에 관하여 좀더 상세히 설명하기로 한다.Next, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
제1도는 액정표시소자와 같은 표시소자의 배선구조를 설명하기 위한 도면이다.1 is a diagram for explaining a wiring structure of a display device such as a liquid crystal display device.
제1도에서, 제1전극 즉 데이타 전극(D1,D2,D3,D4,D5,D6,D7,D8)은 수직으로 배열되어 있으며, 제2전극 즉 게이트 전극(G1,G2,G3,G4,G5,G6)는 수평으로 배열되어 있다. 참조부호(100)은 액정표시소자의 액티브영역으로 화소들이 형성되는 부분을 나타낸다. 이와 같은 표시소자에서 게이트 전극(G3)과 데이타 전극(D4)의 교차점(103)에서 층간절연 불량으로 단락이 발생하게 되면, 액정표시소자는 비정상적으로 동작하게 된다. 따라서 이러한 불량을 수리할 수 있는 기능이 제시되어야 한다. 만일, 101 지점에서 데이타 전극(D3)이 단선되고, 데이타 전극에 대한 패드가 상부에 위치한다고 하면, 101 지점으로부터 하부에 위치하는 셀들은 전혀 구동되지 않게 된다. 마찬가지로, 102 지점에서 게이트 전극(G4)이 단선되고, 게이트 전극에 대한 패드가 좌측에 위치한다고 하면, 102 지점으로부터 우측에 위치하는 셀들을 전혀 구동되지 않게 된다.In FIG. 1, the first electrodes, that is, the data electrodes D1, D2, D3, D4, D5, D6, D7, and D8, are arranged vertically, and the second electrodes, that is, the gate electrodes G1, G2, G3, G4, G5 and G6 are arranged horizontally. Reference numeral 100 denotes a portion where pixels are formed in the active region of the liquid crystal display. In such a display device, if a short circuit occurs at the intersection 103 of the gate electrode G3 and the data electrode D4 due to poor interlayer insulation, the liquid crystal display device operates abnormally. Therefore, the function to repair these defects should be presented. If the data electrode D3 is disconnected at the point 101 and the pad for the data electrode is located at the top, the cells located at the bottom from the point 101 are not driven at all. Similarly, if the gate electrode G4 is disconnected at the point 102 and the pad for the gate electrode is located on the left side, the cells located on the right side from the point 102 are not driven at all.
제2도는 이 발명에 따른 표시소자의 배선구조의 일실시예를 나타낸 도면으로, 특히 TFT LCD의 배선구조의 일실시예를 나타내고 있다. 참조부호 (201)은 데이타 전극을 나타내고, 참조부호(202)는 게이트 전극을 나타내며, 참조부호(203)은 화소전극을 나타낸다. 여기서 화소전극은 통상 ITO와 같은 투명전극으로 형성된다. 도면에서 알 수 있는 바와 같이 데이타 전극들은 상호 평행하게 배열되어 있으며, 게이트 전극들은 그물구조로 형성되고 그 진행방향이 상기 데이타 전극의 진행방향과 수직을 이루고 있다. 참조부호(201a)는 박막 트랜지스터의 드레인 전극을 나타내며, 데이타 전극중 우측으로 돌출되어 있는 부분(202b)는 박막 트랜지스터의 소오스 전극으로 작동하게 된다. 화소전극(203)은 박막 트랜지스터의 드레인에 연결되며 액정셀을 한정하게 된다. 참조부호(204)는 아몰포스 실리콘(amorphous Si)층과 같은 트랜지스터층을 나타낸 것으로, 트랜지스터층은 박막 트랜지스터의 드레인영역, 채널영역 및 소오스영역이 된다.2 is a view showing an embodiment of the wiring structure of the display element according to the present invention, and in particular, shows an embodiment of the wiring structure of the TFT LCD. Reference numeral 201 denotes a data electrode, reference numeral 202 denotes a gate electrode, and reference numeral 203 denotes a pixel electrode. The pixel electrode is usually formed of a transparent electrode such as ITO. As can be seen in the figure, the data electrodes are arranged in parallel to each other, the gate electrodes are formed in a mesh structure, and the traveling direction thereof is perpendicular to the traveling direction of the data electrode. Reference numeral 201a denotes a drain electrode of the thin film transistor, and a portion 202b protruding to the right of the data electrode serves as a source electrode of the thin film transistor. The pixel electrode 203 is connected to the drain of the thin film transistor and defines a liquid crystal cell. Reference numeral 204 denotes a transistor layer such as an amorphous silicon layer, which becomes the drain region, channel region and source region of the thin film transistor.
제3도는 제2도의 절선 A-A´에서의 단면구조의 일실시예를 나타낸 도면으로, 특히 역스태거형 박막 트랜지스터를 구성하였을 때의 단면구조를 나타낸 도면이다.FIG. 3 is a diagram showing one embodiment of the cross-sectional structure at the cut line A-A 'of FIG. 2, and particularly, a cross-sectional structure when the reverse staggered thin film transistor is configured.
제3도를 참조하면, 배면 유리기판(301a)상에 게이트 전극(202)이 선택적으로 형성되어 있고 그 위를 덮어서 절연막(302)이 형성되어 있다. 여기서 절연막(302)은 MOS 트랜지스터의 게이트 절연층으로 작용한다. 트랜지스터층(204)은 절연막(302)의 상부에 선택적으로 형성되며, 트랜지스터층(204)의 상부에는 데이타 전극(201), 박막 트랜지스터의 소오스 전극(201b) 및 드레인 전극(201a)이 형성된다. 여기서 박막 트랜지스터의 소오스 전극(201b)은 데이타 전극의 돌출부형태로 형성된다. 즉 박막 트랜지스터의 소오스 전극은 데이타 전극과 합체화되어 있다. 여기서 절연막(302)은 외부응력, 즉 외부신호에 의하여 선택적으로 단선하는 것이 가능한 물질로 구성한다. 예를 들면 레이저에 의하여 단선(open)될 수 있는 두께를 가지며, 레이저에 반응하는 물질로 구성되어야 한다.Referring to FIG. 3, a gate electrode 202 is selectively formed on the rear glass substrate 301a, and an insulating film 302 is formed on the glass substrate 301a. Here, the insulating film 302 serves as a gate insulating layer of the MOS transistor. The transistor layer 204 is selectively formed on the insulating film 302, and the data electrode 201, the source electrode 201b of the thin film transistor, and the drain electrode 201a are formed on the transistor layer 204. The source electrode 201b of the thin film transistor is formed in the form of a protrusion of the data electrode. That is, the source electrode of the thin film transistor is integrated with the data electrode. The insulating film 302 is made of a material that can be selectively disconnected by external stress, that is, an external signal. For example, it should have a thickness that can be opened by a laser and consist of a material that reacts to the laser.
트랜지스터층(204)과 박막 트랜지스터의 소오스 전극의 접합부 및 트랜지스터층(204)과 박막 트랜지스터의 드레인 전극(201a)의 접합부에는 각각 접합막(304)이 형성되는데, 접합막(304)은 상기 소오스 전극 및 드레인 전극이 금속층으로 형성되기 때문에, 이러한 금속층이 트랜지스터층(204)에 잘 접착되도록 하기 위하여 불순물이 고농도로 주입되어 형성되는 막이다. 참조부호(303)은 보호막을 나타내고, 참조부호(305)는 배향막을 나타낸다. 전면 유리기판(301b)에는 공통전극(307)이 형성되어 있으며, 액정은 배향막(305)과 공통전극(307)사이에 주입되어 있다.A junction film 304 is formed at the junction of the transistor layer 204 and the source electrode of the thin film transistor and at the junction of the transistor layer 204 and the drain electrode 201a of the thin film transistor, wherein the junction film 304 is the source electrode. And since the drain electrode is formed of a metal layer, it is a film formed by implanting impurities at a high concentration so that the metal layer adheres well to the transistor layer 204. Reference numeral 303 denotes a protective film, and reference numeral 305 denotes an alignment film. The common electrode 307 is formed on the front glass substrate 301b, and the liquid crystal is injected between the alignment layer 305 and the common electrode 307.
제4도는 이 발명에 따른 표시소자의 배선구조이 다른 실시예를 나타낸 도면이다.4 is a view showing another embodiment of the wiring structure of the display device according to the present invention.
제4도를 참조하면, 게이트 전극(202)은 제2도에서와는 달리 데이타 전극과 교차되는 부분에서 3 이상의 경로를 가지도록 구성되어 있다. 이와 같은 구조는 데이타 전극과 게이트 전극의 단락을 수리할 수 있는 기능을 제공하게 된다. 이에 대한 구체적인 설명은 제11A도 내지 제13C도를 이용하여 하게 될 것이다.Referring to FIG. 4, the gate electrode 202 is configured to have three or more paths at portions intersecting with the data electrodes, unlike in FIG. 2. Such a structure provides a function for repairing a short circuit between the data electrode and the gate electrode. A detailed description thereof will be made using FIGS. 11A to 13C.
상기 제2도 내지 제4도를 통하여 설명된 바와 같은 게이트 전극 및 데이타 전극을 갖는 액정표시소자는 축적 용량 방식에 상당하는 대향전극을 더 구비하게 된다.The liquid crystal display device having the gate electrode and the data electrode as described with reference to FIGS. 2 to 4 further includes an opposite electrode corresponding to the storage capacitance method.
제5도는 제4도의 절선 B-B´에서의 단면구조의 일실시예를 나타낸 도면으로, 제3도와 동일한 참조부호를 사용하였다.FIG. 5 is a view showing an embodiment of the cross-sectional structure in the section line B-B 'of FIG. 4, and the same reference numerals as in FIG.
제5도에서, 데이타 전극(201)은 게이트 전극(202)의 상부를 교차하고 있으며, 데이타 전극(201)과 게이트 전극(202)은 절연막(302)에 의하여 전기적으로 절연되게 된다. 그러나 제조공정상 절연막(302)의 불량이 발생하게 되면, 제6도에 도시한 바와 같이 데이타 전극(201)과 게이트 전극(202)이 단락(short)되게 된다.In FIG. 5, the data electrode 201 crosses the upper portion of the gate electrode 202, and the data electrode 201 and the gate electrode 202 are electrically insulated by the insulating film 302. However, if a defect occurs in the insulating film 302 during the manufacturing process, the data electrode 201 and the gate electrode 202 are shorted as shown in FIG.
제7도는 이 발명에 따른 표시소자이 배선구조이 또 다른 실시예를 나타낸 도면으로, 제2도 및 제4도에서와 동일한 참조부호를 사용하고 있다.FIG. 7 is a view showing another embodiment of the wiring structure of the display device according to the present invention, and the same reference numerals as in FIGS. 2 and 4 are used.
제7도에서는 제2도 및 제4도에서와는 달리, 그물구조를 갖는 게이트 전극(202)의 일부분이 화소전극(203)을 둘러싸도록 되어 있다. 그리하여 게이트 전극이 부가용량 캐패시터를 형성하기 위한 전극의 역할을 동시에 수행하도록 한 것이다.In FIG. 7, unlike in FIGS. 2 and 4, a portion of the gate electrode 202 having a mesh structure surrounds the pixel electrode 203. Thus, the gate electrode simultaneously serves as an electrode for forming the additional capacitance capacitor.
제8도는 이 발명에 따른 표시소자의 배선구조의 도 다른 실시예를 나타낸 도면으로, 참조부호는 위에서 사용한 것들과 동일하다.8 is a view showing another embodiment of the wiring structure of the display device according to the present invention, wherein reference numerals are the same as those used above.
제8도는 이 거의 대부분이 제7도와 유사하며, 단지 게이트 전극(202)과 데이타 전극(201)이 교차하는 부분에서 게이트 전극(202)의 경로가 4개이다(제7도에서는 2개임). 이와 같이 게이트 전극(202)이 데이타 전극(201)과의 교차부분에서 3 이상(도면에서는 4임)의 경로를 가지게 되면 게이트 전극의 다중화로 인한 불량-안정(fail-safe)을 보장하는 것외에 데이타 전극(201)의 단선(open) 불량수리기능 및 데이타 전극(201)과 게이트 전극(202)과의 단락(short)불량수리기능을 제공하게 된다.In Fig. 8, almost all of these are similar to Fig. 7, with only four paths (two in Fig. 7) at the portion where the gate electrode 202 and the data electrode 201 cross. As such, when the gate electrode 202 has a path of three or more (four in the figure) at the intersection with the data electrode 201, in addition to ensuring fail-safe due to multiplexing of the gate electrode Open fault repair function of the data electrode 201 and short fault repair function of the data electrode 201 and the gate electrode 202 are provided.
제9도는 이 발명에 따른 표시소자의 배선구조의 도 다른 실시예를 나타낸 도면으로, 제9도에서 도시된 배선구조에서 게이트 전극은 분리홈을 갖으며, 분리홈에는 분리층(900)이 형성된다. 즉 분리층(900)은 게이트 전극(202)에 합체되어 형성되는 것으로, 게이트 전극(202)중 화소전극(203)과 오버랩되어 부가용량 캐패시터전극의 기능을 수행하는 부분과 불량수리를 위하여 다수의 경로로 구성되는 부분을 분리하는 기능을 수행한다. 또한 제9도에서는 분리층들이 데이타 전극과 교차되는 부분의 양측에 모두 형성되어 있는데, 이와는 달리 어느 한쪽만을 형성할 수도 있다.9 is a view showing another embodiment of the wiring structure of the display device according to the present invention. In the wiring structure shown in FIG. 9, the gate electrode has a separation groove, and a separation layer 900 is formed in the separation groove. do. That is, the isolation layer 900 is formed by being integrated with the gate electrode 202, and overlaps with the pixel electrode 203 of the gate electrode 202 to perform the function of the additional capacitance capacitor electrode and to repair the defective parts. It performs the function of separating the parts that constitute the path In FIG. 9, the separation layers are formed on both sides of the portion intersecting the data electrode. Alternatively, only one of the separation layers may be formed.
제10도는 제9도의 절선 C-C´에서의 단면구조를 나타낸 것으로, 배면 유리기판(301a)상에 게이트 전극(202)이 선택적으로 배열되어 있고, 게이트 전극(202)에 분리층(900)이 합체되어 형성되어 있다. 도면에서 알 수 있는 바와 같이 분리층(900)의 좌우에 위치하는 게이트 전극(202)은 분리되어 있음을 알 수 있다. 또한 분리층(900)은 전기적으로 절연적인 성질을 가지도록 하여야 한다. 이러한 분리층(900)은 다라서 도면에서와는 달리 분리층(900)을 절연막(302)과 동일한 물질로 형성하는 것이 가능하다. 절연막(302)의 상부에는 데이타 전극(201) 및 화소전극(203)이 선택적으로 형성되어 있고, 그 위에는 전면적으로 보호막(303) 및 배향막(305)이 순차적으로 형성되어 있다. 한편 전면 유리기판(301b)에는 공통전극(307)이 형성되어 있고, 공통전극(307)과 배향막(305)사이에 액정(306)이 봉입되어 있다.FIG. 10 shows a cross-sectional structure at the cut line CC ′ of FIG. 9, in which a gate electrode 202 is selectively arranged on the rear glass substrate 301a, and a separation layer 900 is incorporated into the gate electrode 202. FIG. It is formed. As can be seen in the drawing, it can be seen that the gate electrodes 202 positioned on the left and right sides of the separation layer 900 are separated. In addition, the separation layer 900 should have an electrically insulating property. Since the separation layer 900 is different from the drawing, the separation layer 900 may be formed of the same material as the insulating layer 302. The data electrode 201 and the pixel electrode 203 are selectively formed on the insulating film 302, and the protective film 303 and the alignment film 305 are sequentially formed on the entire surface. The common electrode 307 is formed on the front glass substrate 301b, and the liquid crystal 306 is enclosed between the common electrode 307 and the alignment layer 305.
이상 표시소자의 배선구조를 설명하기 위하여 제2도 내지 제10도에 도시된 도면들은 실질적인 크기와 달리 배선구조의 형상에 주목하여 도시되었다. 다라서 실질적인 배선구조에서의 크기는 도면과 달라질 수 있다.In order to explain the wiring structure of the display device, the drawings illustrated in FIGS. 2 to 10 are drawn with attention to the shape of the wiring structure, unlike the actual size. Therefore, the size in the actual wiring structure may be different from the drawings.
제11a도 내지 제13c도는 이 발명에 따른 표시소자의 배선구조가 가지는 불량-수리(fail-repair)기능을 설명하기 위한 도면들로서, 특히 데이타 전극(201)과 게이트 전극(202)의 단락 불량에 대한 수리기능을 설명하기 위한 도면들이다.11A to 13C are diagrams for describing a fail-repair function of the wiring structure of the display device according to the present invention. In particular, FIGS. 11A to 13C illustrate a short circuit failure between the data electrode 201 and the gate electrode 202. Figures for explaining the repair function for.
제11a도는 제2도 및 제7도에 도시된 배선구조를 도식적으로 나타낸 도면이다. 제11a도에서, 게이트 전극(202)과 데이타 전극(201)이 교차하는 부분은 2곳이 있다. 먼저, 교차점(SP1)에서 게이트 전극(202)과 데이타 전극(201)이 단락된 경우에는, 게이트 전극(202)중에서 수리마스크(R1) 및 수리마스크(R2)로 지정되는 부분들을 레이저와 같은 외부신호를 이용하여 파괴하게 된다. 이와 같이 하면, 데이타 전극(201) 및 게이트 전극(202)의 전기적인 구조는 제11b도에 도시된 바와 같이 도식적으로 나타낼 수 있다. 제11b도에서 참조부호 DL은 데이타 전극의 전기적인 구조를 나타내는 것이고, 참조부호 GL은 게이트 전극의 전기적인 구조를 나타내는 것이다.FIG. 11A is a diagram schematically showing the wiring structures shown in FIGS. 2 and 7. In FIG. 11A, there are two places where the gate electrode 202 and the data electrode 201 cross each other. First, when the gate electrode 202 and the data electrode 201 are short-circuited at the intersection point SP1, the portions designated as the repair mask R1 and the repair mask R2 in the gate electrode 202 may be externally provided, such as a laser. Destroy using signal. In this way, the electrical structures of the data electrode 201 and the gate electrode 202 can be represented schematically as shown in FIG. 11B. In FIG. 11B, reference numeral DL denotes an electrical structure of the data electrode, and reference numeral GL denotes an electrical structure of the gate electrode.
한편, 제11a도에서 교차점(SP2)에서 데이타 전극(201)과 게이트 전극(202)의 단락(short)이 발생한 경우에는, 게이트 전극(202)중 수리마스크(R3) 및 수리마스크(R4)로 지정되는 부분을 외부신호를 이용하여 파괴하게 된다. 이와 같이 하면, 데이타 전극(201) 및 게이트 전극(202)의 전기적인 구조는 제11c도와 같이 나타낼 수 있다. 제11c도에서도 제11b도와 마찬가지로 참조부호 DL은 데이타 전극의 전기적인 구조를 나타내는 것이고, 참조부호 GL은 게이트 전극의 전기적인 구조를 나타낸다. 그러나 제11a도에서와 같은 배선구조를 가지는 경우에는 2곳 이상의 교차점에서 단락(short)이 발생하면 수리할 수 없는 단점을 가진다. 이와 같은 단점을 극복하기 위하여 게이트 전극이 3이상의 경로를 가지게 되는 배선구조 및 불량-수리에 대하여 다음에 설명하기로 한다.On the other hand, when a short occurs between the data electrode 201 and the gate electrode 202 at the intersection point SP2 in FIG. 11A, the repair mask R3 and the repair mask R4 of the gate electrode 202 are generated. The designated part is destroyed by using an external signal. In this way, the electrical structures of the data electrode 201 and the gate electrode 202 can be represented as shown in FIG. 11C. In FIG. 11C, as in FIG. 11B, reference numeral DL denotes the electrical structure of the data electrode, and reference numeral GL denotes the electrical structure of the gate electrode. However, in the case of having a wiring structure as shown in FIG. 11A, if a short occurs at two or more intersections, a shortcoming cannot be repaired. In order to overcome this disadvantage, the wiring structure and the defect-repair where the gate electrode has three or more paths will be described below.
제12aA도는 제4도 및 제8도에 도시된 배선구조들에 대응되는 배선구조를 도식적으로 나타낸 것으로, 게이트 전극(202)과 데이타 전극(201)이 교차하는 부분에서 게이트 전극(202)의 경로가 3이 되는 배선구조를 나타내고 있다.FIG. 12AA schematically illustrates wiring structures corresponding to the wiring structures shown in FIGS. 4 and 8, and the paths of the gate electrodes 202 at the intersections of the gate electrodes 202 and the data electrodes 201 are illustrated. A wiring structure of 3 is shown.
제12a도에서, 게이트 전극(202)과 데이타 전극(201)이 교차하는 부분은 3곳이 있다.In FIG. 12A, there are three places where the gate electrode 202 and the data electrode 201 intersect.
먼저, 교차점(SP3)에서 게이트 전극(202)과 데이타 전극(201)이 단락된 경우에는, 게이트 전극(202)중에서 수리마스크(R5) 및 수리마스크(R6)로 지정되는 부분들을 레이저와 같은 외부신호를 이용하여 파괴하게 된다. 이와 같이 하면, 데이타 전극(201) 및 게이트 전극202)의 전기적인 구조는 제12b도에 도시된 바와 같이 도식적으로 나타낼 수 있다. 제12b도에서 참조부호 DL은 데이타 전극의 전기적인 구조를 나타내는 것이고, 참조부호 GL은 게이트 전극의 전기적인 구조를 나타내는 것으로, 게이트 전극(202)의 3경로중 하나의 경로가 없어지게 됨을 알 수 있다.First, when the gate electrode 202 and the data electrode 201 are short-circuited at the intersection point SP3, the portions designated as the repair mask R5 and the repair mask R6 among the gate electrodes 202 may be externally provided, such as a laser. Destroy using signal. In this way, the electrical structures of the data electrode 201 and the gate electrode 202 can be represented schematically as shown in FIG. 12B. In FIG. 12B, reference numeral DL denotes an electrical structure of the data electrode, and reference numeral GL denotes an electrical structure of the gate electrode, indicating that one of three paths of the gate electrode 202 is lost. have.
한편, 제12a도에서 교차점(SP4) 및 교차점(SP5)에서 동시에 데이타 전극(201)과 게이트 전극(202)의 단락(short)이 발생한 경우에는, 게이트 전극(202)중 수리마스크(R7), 수리마스크(R8), 수리마스크(R9) 및 수리마스크(R10)로 지정되는 부분을 외부 신호를 이용하여 파괴하게 된다. 이와 같이 하면, 데이타 전극(201) 및 게이트 전극(202)의 전기적인 구조는 제12c도와 같이 나타낼 수 있다. 제12c도에서 알 수 있는 바와 같이 게이트 전극(202)의 3경로중 수리에 의하여 2경로가 잘려나갔음을 알 수 있다. 여기서도 참조부호 DL은 데이타 전극의 전기적인 구조를 나타내는 것이고, 참조부호 GL은 게이트 전극의 전기적인 구조를 나타낸다.On the other hand, in FIG. 12A, when a short occurs between the data electrode 201 and the gate electrode 202 at the intersection point SP4 and the intersection point SP5, the repair mask R7 of the gate electrode 202, The parts designated as the repair mask R8, the repair mask R9, and the repair mask R10 are destroyed using an external signal. In this way, the electrical structures of the data electrode 201 and the gate electrode 202 can be represented as shown in FIG. 12C. As can be seen in FIG. 12C, it can be seen that two paths are cut out by repairing the three paths of the gate electrode 202. Here, reference numeral DL denotes the electrical structure of the data electrode, and reference numeral GL denotes the electrical structure of the gate electrode.
제13A도는 제9도에 도시된 배선구조를 도식적으로 나타낸 것으로, 게이트 전극(202)에 부가용량을 형성하는 부분과 다수의 경로를 형성하는 부분을 구분짓기 위하여 분리홈을 갖으며, 게이트 전극(202)과 데이타 전극(201)이 교차하는 부분에서 게이트의 경로가 4인 구조이다. 특히 분리홈에는 분리층(900)이 형성된다.FIG. 13A schematically shows the wiring structure shown in FIG. 9, and has a separation groove to distinguish a portion forming additional capacitance and a portion forming a plurality of paths in the gate electrode 202, and the gate electrode ( The gate path is four at the intersection of the 202 and the data electrode 201. In particular, the separation groove 900 is formed in the separation groove.
제13a도에서 교차점(SP6)에서 게이트 전극(202)과 데이타 전극(201)이 단락된 경우에는, 게이트 전극(202)중에서 수리마스크(R11) 및 수리마스크(R12)로 지정되는 부분들을 레이저와 같은 외부신호를 이용하여 파괴하게 된다. 이와 같이 하면, 데이타 전극(201) 및 게이트 전극(202)이 전기적인 구조는 제13B도와 같이 도식적으로 나타낼 수 있다. 여기서 참조부호 DL은 데이타 전극의 전기적인 구조를 나타내는 것이고, 참조부호 GL은 게이트 전극의 전기적인 구조를 나타내는 것으로, 게이트 전극(202)의 4경로중 하나의 경로가 없어지게 됨을 알 수 있다.In FIG. 13A, when the gate electrode 202 and the data electrode 201 are short-circuited at the intersection point SP6, portions of the gate electrode 202 designated as the repair mask R11 and the repair mask R12 are separated from the laser. It is destroyed using the same external signal. In this way, the electrical structure of the data electrode 201 and the gate electrode 202 can be represented schematically as shown in FIG. 13B. Here, DL denotes an electrical structure of the data electrode, and GL denotes an electrical structure of the gate electrode, and it can be seen that one of four paths of the gate electrode 202 is lost.
제13c도는 제12a도에서 교차점(SP6), 교차점(SP8) 및 교차점(SP9)에서 동시에 데이타 전극(201)과 게이트 전극(202)의 발생한 단락(short)을 수리하였을 때의 게이트 전극(202) 및 데이타 전극(201)의 전기적인 구조를 나타낸 것으로, 게이트 전극(202)의 4개의 경로중 단락이 발생되지 않은 하나의 경로를 제외한 나머지 경로들이 모두 잘려나가게 됨을 알 수 있다. 이와 같이 발생된 단락들을 수리하는 방법은 게이트 전극(202)중 수리마스크(R11), 수리마스크(R12), 수리마스크(R15), 수리마스크(R16), 수리마스크(R17) 및 수리마스크(R18)로 지정되는 부분을 외부신호를 이용하여 파괴하는 것이다.FIG. 13C shows the gate electrode 202 when a short occurs between the data electrode 201 and the gate electrode 202 at the intersection SP6, the intersection SP8, and the intersection SP9 in FIG. 12A. And it shows that the electrical structure of the data electrode 201, it can be seen that all of the remaining paths are cut out of one of the four paths of the gate electrode 202 except for the one in which the short circuit does not occur. The repairing method of the short circuits generated in this way includes a repair mask R11, a repair mask R12, a repair mask R15, a repair mask R16, a repair mask R17, and a repair mask R18 of the gate electrode 202. The part designated by) is destroyed by using an external signal.
제14a도 내지 제16d도는 데이타 전극(201)의 단선(open) 불량을 수리하는 방법을 설명하기 위한 도면들이다.14A to 16D are diagrams for describing a method of repairing an open defect of the data electrode 201.
먼저, 제14a도는 데이타 전극(201)과 게이트 전극(202)이 교차하는 부분에서 게이트 전극(202)의 경로가 3인 배선구조를 나타낸 것이다. 이와 같은 배선구조에 있어서, 게이트 전극(202)이 지점(F1)에서 단선(open)된 경우에는 레이저와 같은 외부신호를 사용하여 교차점(RS1) 및 교차점(RS2)에서의 게이트 전극(202) 및 데이타 전극(201)을 단락(short)시키고, 수리마스크(R19´), 수리마스크(R20´), 수리마스크(R21) 및 수리마스크(R22)로 지정되는 부분에 게이트 전극을 레이저와 같은 외부신호를 사용하여 파괴 즉 단선시킨다. 여기서 게이트 전극(202)과 데이타 전극(201)을 단락(short)시키는 것은 게이트 전극(202)과 데이타 전극(201)사이에 존재하는 절연막(302)을 파괴함으로써 이루어진다. 이와 같은 방법으로 데이타 전극(201)의 단선불량을 수리하게 되면 게이트 전극의 전기적인 구조(DL) 및 데이타 전극의 전기적인 구조(DL)은 제14b도와 같이 나타낼 수 있다.First, FIG. 14A illustrates a wiring structure in which the path of the gate electrode 202 is 3 at the portion where the data electrode 201 and the gate electrode 202 intersect. In such a wiring structure, when the gate electrode 202 is open at the point F1, the gate electrode 202 at the crossing point RS1 and the crossing point RS2 using an external signal such as a laser and An external signal such as a laser is shorted to the data electrode 201, and the gate electrode is connected to a portion designated as the repair mask R19 ', the repair mask R20', the repair mask R21, and the repair mask R22. Use to break or disconnect. The shorting of the gate electrode 202 and the data electrode 201 is performed by destroying the insulating film 302 existing between the gate electrode 202 and the data electrode 201. When the disconnection defect of the data electrode 201 is repaired in this manner, the electrical structure DL of the gate electrode and the electrical structure DL of the data electrode can be represented as shown in FIG. 14B.
제14c도는 지점(F2)에서 데이타 전극(201)이 단선(open)된 경우를 수리하였을 때 게이트 전극의 전기적인 구조(GL) 및 데이타 전극의 전기적인 구조(DL)을 나타낸 도면이다. 이와 같은 단선불량의 수리방법은 교차점(RS2)와 교차점(RS3)에 있어서 게이트 전극(202) 및 데이타 전극(201)사이에 존재하는 절연막을 파괴하여 게이트 전극(202)과 데이타 전극(201)을 단락(short)시키고, 수리마스크(R21´), 수리마스크(R22´), 수리마스크(R19) 및 수리마스크(R20)로 지정되는 부분에 위치하는 게이트 전극(202)을 파괴 즉 단선(open)시키는 것이다.FIG. 14C illustrates the electrical structure GL of the gate electrode and the electrical structure DL of the data electrode when the case where the data electrode 201 is open at the point F2 is repaired. Such a repair method for disconnection failure destroys the insulating film existing between the gate electrode 202 and the data electrode 201 at the crossing point RS2 and the crossing point RS3 to break the gate electrode 202 and the data electrode 201. The gate electrode 202, which is short-circuited and positioned at the portions designated as the repair mask R21 ', the repair mask R22', the repair mask R19 and the repair mask R20, is broken or opened. It is to let.
제15a도는 게이트 전극(202) 및 데이타 전극(201)이 교차하는 부분에서 게이트 전극(202)의 경로가 4인, 게이트 전극(202)내에 분리층(900)이 함체되어 있는 구조를 나타낸 것이다. 제15A도에서, 지점(F3)에서 데이타 전극(201)이 단선(open)된 경우에는 그에 인접되는 교차점들 즉 교차점(RS4) 및 교차점(RS5)에서의 게이트 전극(202) 및 데이타 전극(201)을 단락(short)시키고, 게이트 전극(202)중 수리마스크(R23), 수리마스크(R24), 수리마스크(R27) 및 수리마스크(R28)로 지정되는 부분을 외부신호를 이용하여 단선(open)시킨다. 이와 같은 수리를 하게 되면, 데이타 전극의 전기적인 구조(DL) 및 게이트 전극의 전기적인 구조(GL)은 제15b도와 같이 나타낼 수 있다.FIG. 15A illustrates a structure in which the separation layer 900 is contained in the gate electrode 202 having the path of the gate electrode 202 at a portion where the gate electrode 202 and the data electrode 201 cross each other. In FIG. 15A, when the data electrode 201 is open at the point F3, the gate electrodes 202 and the data electrode 201 at intersections adjacent thereto, that is, at the intersection point RS4 and the intersection point RS5, are shown. ) Is short-circuited, and a portion of the gate electrode 202 designated as the repair mask R23, the repair mask R24, the repair mask R27, and the repair mask R28 is opened using an external signal. ) In this repair, the electrical structure DL of the data electrode and the electrical structure GL of the gate electrode can be represented as shown in FIG. 15B.
제15c도는 지점(F3) 및 지점(F4)에서 동시에 발생된 데이타 전극(201)의 단선을 수리하였을 때, 게이트 전극의 전기적인 구조(GL) 및 데이타 전극의 전기적인 구조(DL)를 나타낸 도면이다. 이와 같은 데이타 전극의 단선에 대한 수리방법은 교차점(RS4) 및 교차점(RS6)에서 게이트 전극(202) 및 데이타 전극(201)을 단락(short)시키고, 게이트 전극(202)중 수리마스크(R23), 수리마스크(R24), 수리마스크(R29) 및 수리마스크(R30)으로 지정되는 부분들을 단선(open)시키는 것이다.FIG. 15C shows the electrical structure GL of the gate electrode and the electrical structure DL of the data electrode when the disconnection of the data electrode 201 simultaneously generated at the points F3 and F4 is repaired. to be. Such a repair method for disconnection of the data electrode short-circuits the gate electrode 202 and the data electrode 201 at the intersection point RS4 and the intersection point RS6 and repairs the repair mask R23 of the gate electrode 202. The parts designated as the repair mask R24, the repair mask R29, and the repair mask R30 are disconnected.
제15d도는 지점(F4)에서 발생된 데이타 전극(201)의 단선을 수리하였을 때, 게이트 전극의 전기적인 구조(GL) 및 데이타 전극의 전기적인 구조(DL)을 나타낸 도면이다. 이와 같은 불량에 대한 수리방법은 교차점(RS5) 및 교차점(RS6)에서 게이트 전극(202) 및 데이타 전극(201)을 단락(short)시키고, 수리마스크(R25), 수리마스크(R26), 수리마스크(R29) 및 수리마스크(R30)을 이용하여 게이트 전극을 선택적으로 단선(open)시키는 것이다.FIG. 15D is a diagram showing the electrical structure GL of the gate electrode and the electrical structure DL of the data electrode when the disconnection of the data electrode 201 generated at the point F4 is repaired. The repair method for such a defect short-circuits the gate electrode 202 and the data electrode 201 at the intersection point RS5 and the intersection point RS6, repair mask R25, repair mask R26, repair mask. The gate electrode is selectively disconnected using R29 and the repair mask R30.
제16a도는 제16a도에서와는 달리 분리층이 어느 한쪽에만 합체되어 있는 구조이다. 제16a도에서, 지점(F6)에서 데이타 전극(201)이 단선되면, 교차점(RS8) 및 교차점(RS9)에서의 데이타 전극과 게이트 전극을 단락(short)시키고, 게이트 전극(202)중 수리마스크(R23), 수리마스크(R36), 수리마스크(R38) 및 수리마스크(R39)로 지정되는 부분을 외부신호를 이용하여 단선(open)시킨다. 이와 같은 수리를 하게 되면, 데이타 전극의 전기적인 구조(DL) 및 게이트 전극의 전기적인 구조(GL)은 제16B도와 같이 나타낼 수 있다. 한편, 지점(F7)에서 데이타 전극(201)이 단선되면, 교차점(RS9) 및 교차점(RS10)에서의 데이타 전극(201) 및 게이트 전극(202)를 단락(short)시키고, 게이트 전극중 수리마스크(R39, 수리마스크(R40), 수리마스크(R35) 및 수리마스크(R37)로 지정되는 부분을 외부신호를 이용하여 단선시키면, 데이타 전극의 전기적인 구조(DL) 및 게이트 전극의 전기적인 구조(GL)는 제16C도와 같이 나타내어진다.Unlike FIG. 16A, FIG. 16A is a structure in which the separation layer is integrated on only one side. In FIG. 16A, when the data electrode 201 is disconnected at the point F6, the data electrode and the gate electrode at the crossing point RS8 and the crossing point RS9 are shorted and the repair mask of the gate electrode 202 is shorted. The portions designated as R23, repair mask R36, repair mask R38, and repair mask R39 are opened using an external signal. In this repair, the electrical structure DL of the data electrode and the electrical structure GL of the gate electrode can be represented as shown in FIG. 16B. On the other hand, if the data electrode 201 is disconnected at the point F7, the data electrode 201 and the gate electrode 202 at the intersection RS9 and the intersection RS10 are shorted and a repair mask of the gate electrodes is shorted. (If the portions designated as R39, repair mask R40, repair mask R35, and repair mask R37 are disconnected using an external signal, the electrical structure DL of the data electrode and the electrical structure of the gate electrode ( GL) is shown as in FIG. 16C.
제16D도는 지점(F7) 및 지점(F8)에서 동시에 발생된 데이타 전극(201)의 단선을 수리하였을 때, 게이트 전극의 전기적인 구조(GL) 및 데이타 전극의 전기적인 구조(DL)을 나타낸 도면이다. 이와 같은 불량에 대한 수리방법은 교차점(RS9) 및 교차점(RS11)에서 게이트 전극(202) 및 데이타 전극(201)을 단락(short)시키고, 수리마스크(R34), 수리마스크(R35), 수리마스크(R39) 및 수리마스크(R41)을 이용하여 게이트 전극을 선택적으로 단선(open)시키는 것이다.16D shows the electrical structure GL of the gate electrode and the electrical structure DL of the data electrode when the disconnection of the data electrode 201 simultaneously generated at the points F7 and F8 is repaired. to be. The repair method for such a defect short-circuits the gate electrode 202 and the data electrode 201 at the intersection RS9 and the intersection RS11, and repairs the mask R34, repair mask R35, and repair mask. The gate electrode is selectively disconnected using R39 and the repair mask R41.
이상에서 설명한 수리방법 외에도 각 배선구조에 따라 여러 가지 수리방법이 있을 수 있다.In addition to the repair method described above, there may be various repair methods according to each wiring structure.
상술한 바와 같이 이 발명은 불량수리기능을 갖는 표시소자에 관한 것으로, 종래에 제시되고 있는 불량수리기능보다 강화된 수리기능을 제공함으로써 표시소자의 수율을 증대시키는 효과가 있다. 특히 표시소자가 TFT LCD인 경우에는 그 배선구조가 매우 미세하여 수율이 양산화의 주요변수가 되기 때문에 이 발명이 효과는 매우 방대하리라 본다.As described above, the present invention relates to a display device having a defective repair function, and has an effect of increasing the yield of the display device by providing a repair function that is strengthened than a conventional defective repair function. In particular, when the display device is a TFT LCD, the wiring structure is very fine, so that the yield is a major variable for mass production.
또한 본 발명은 불량을 패턴별로 정리하여 각 패턴에 다라 일련의 불량수리공정을 프로그램화할 수 있는 장점을 가진다. 그리고 불량이 발생한 지점 또는 근접지점에서 수리가 이루어지기 때문에 불량이 발생하였는지 그렇지 않은지를 검사하는 측정장비와 레이저 수리시스템을 공통으로 연결하여 자동화에 의한 불량수리를 수행하도록 함으로써 시간을 절약할 수 있게 되며 그에 의하여 생산성을 향상시킬 수 있다.In addition, the present invention has the advantage that can be programmed by a series of defect repair process according to each pattern by arranging the defects by pattern. And since the repair is made at the point where the defect occurred or near, it is possible to save time by performing the repair of the defect by automation by connecting the measuring equipment and the laser repair system to check whether the defect has occurred or not. Thereby, productivity can be improved.
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