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KR970008384A - 실리콘웨이퍼의 제조방법과 그 장치 - Google Patents

실리콘웨이퍼의 제조방법과 그 장치 Download PDF

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KR970008384A
KR970008384A KR1019960019031A KR19960019031A KR970008384A KR 970008384 A KR970008384 A KR 970008384A KR 1019960019031 A KR1019960019031 A KR 1019960019031A KR 19960019031 A KR19960019031 A KR 19960019031A KR 970008384 A KR970008384 A KR 970008384A
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Abstract

본 발명에 있어서는, 슬라이스후의 실리콘웨이퍼를 캐리어(14)의 원형구멍(15)에 삽입하고, 상측숫돌(13)과 하측숫돌(12) 사이에 실리콘웨이퍼를 협지해서 상측숫돌(13)과 하측숫돌(12)을 각각 소정의 속도로 회전시킨다. 이것에 의하면, 실리콘웨이퍼의 양면을 동시에 연삭한다. 이때, 상측숫돌(13)은, 소정의 하중으로 실리콘웨이퍼를 압압하면서, 예를 들면 100㎛ 하강시킨다. 또, 연삭액을 상측숫돌(13)의 개구부(13B)에 공급해서, 웨이퍼의 온도를 일정하게 제어한다. 상기한 공급된 연삭액은, 상ㆍ하 숫돌(13,12)의 원심력에 의해서 각 숫돌(13,12)의 연삭면의 홈을 지나서 실리콘웨이퍼의 양면의 전역에 상시 공급된다.

Description

실리콘웨이퍼의 제조방법과 그 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일 실시예에 관한 양면 연삭장치의 전체구성도이고, 상측숫돌이 상승위치에 있는 상태를 가리키고 있다.

Claims (20)

  1. 실리콘 단일결정봉을 슬라이스해서 실리콘웨이퍼를 제작하는 슬라이스공정과, 이 실리콘웨이퍼의 표리면을 동시에 연삭하는 양면 동시 연삭공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 실리콘웨이퍼의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기한 양면 동시 연삭공정에서는, 양면 연삭장치의 상측숫돌(13)과 하측숫돌(12) 사이에 실리콘웨이퍼를 협지시키고, 이 실리콘웨이퍼의 표리면을 동시에 연마할 때 이 실리콘웨이퍼의 표리면의 연역에 연삭액을 공급하는 것을 특징으로 하는 실리콘웨이퍼의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기한 양면 동시 연삭공정에서는, 실리콘웨이퍼의 표리면의 온도를 제어하는 것을 특징으로 하는 실리콘웨이퍼의 제조방법.
  4. 제2항에 있어서, 상기한 양면 동시 연삭공정에서는, 실리콘웨이퍼의 표리면의 온도를 제어하는 것을 특징으로 하는 실리콘웨이퍼의 제조방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기한 양면 동시 연삭공정후에 실리콘웨이퍼에 에칭을 하고, 연삭손상을 제거하며, 다시 이 실리콘웨이퍼의 양면을 연마하는 것을 특징으로 하는 실리콘웨이퍼의 제조방법.
  6. 제2항에 있어서, 상기한 양면 동시 연삭공정후에 실리콘웨이퍼에 에칭을 하고, 연삭손상을 제거하여 다시 이 실리콘웨이퍼의 연마를 하는 것을 특징으로 하는 실리콘웨이퍼의 제조방법.
  7. 제3항에 있어서, 상기한 양면 동시 연삭공정후에 실리콘웨이퍼에 에칭을 하고, 연삭손상을 제거하며, 다시 이 실리콘웨이퍼의 양면을 연마하는 것을 특징으로 하는 실리콘웨이퍼의 제조방법.
  8. 제4항에 있어서, 상기한 양면 동시 연삭공정후에 실리콘웨이퍼에 에칭을 하고, 연삭손상을 제거하며, 다시 이 실리콘웨이퍼의 양면을 연마하는 것을 특징으로 하는 실리콘웨이퍼의 제조방법.
  9. 판형상의 상측숫돌(13)과 하측숫돌(12) 사이에 실리콘웨이퍼를 협지시키고 실리콘웨이퍼의 표리면을 동시에 연삭하는 양면연삭수단과, 이 양면연삭시의 실리콘웨이퍼의 표리면의 온도를 제어하는 온도제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 실리콘웨이퍼의 제조장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기한 온도제어수단은, 양면 연삭수단으로 연삭중의 실리콘웨이퍼의 표리면의 영역에 연삭액을 공급함으로써 그 온도를 제어하는 것을 특징으로 하는 실리콘웨이퍼의 제조장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기한 온도제어수단은, 상기한 상측숫돌(13)과, 상기한 하측숫돌(12)의 각내주면에 의해서 획성된 워터팬(W)과, 상기한 상측숫돌(13) 및 상기한 하측숫돌(12)에 각각 형성된 각각의 연삭면으로부터 연삭액을 유출시키기 위한 연삭액 통로와, 상기한 워터팬(W)과 상기한 연삭액 통로에 연삭액을 공급하기 위한 연삭액 공급수단으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘웨이퍼의 제조장치.
  12. 제9항에 있어서, 양면 연삭수단은, 서로 평행상태로 수평하게 배치되고, 서로 대향하는 표면이 연삭면으로 되어 있으며, 또한 상기한 연삭면에 있어서 상기한 실리콘웨이퍼의 표리면을 각각 연삭하는 상측숫돌(13) 및 하측숫돌(12)과, 상기한 상측숫돌(13) 및 상기한 실리콘웨이퍼를 수평면내에서 상대운동시키는 동시에, 상기한 하측숫돌(12) 및 상기한 실리콘웨이퍼를 수평면내에서 서로 상대운동시키기 위한 상대운동수단과, 상기한 상측숫돌(13)을 상기한 하측숫돌(13)에 재치된 실리콘웨이퍼에 압압시키기 위한 압압수단으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘웨이퍼의 제조장치.
  13. 제10항에 있어서, 상기한 양면 연삭수단은, 서로 평행상태로 수평으로 배치되고, 서로 대향하는 표면이 연삭면으로 되어 있으며, 또한 상기한 연삭면에 있어서 상기한 실리콘웨이퍼의 표리면을 각각 연삭하는 상측숫돌(13) 및 하측숫돌(12)과, 상기한 상측숫돌(13) 및 상기한 실리콘웨이퍼를 수평면내에서 서로 상대운동시키는 동시에, 상기한 하측숫돌(12) 및 상기한 실리콘웨이퍼를 수평면내에서 상대운동시키기 위한 상대운동수단과, 상기한 상측숫돌(13)을 상기한 하측숫돌(12)에 재치된 실리콘웨이퍼에 압압시키기 위한 압압수단으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘웨이퍼의 제조장치.
  14. 제11항에 있어서, 상기한 양면연삭수단은, 서로 평행상태로 수평으로 배치되고, 서로 대향하는 표면이 연삭면으로 되어 있으며, 또한 상기한 연삭면에 있어서 상기한 실리콘웨이퍼의 표리면을 각각 연삭하는 상측숫돌(13) 및 하측숫돌(12)과, 상기한 상측숫돌(13)과 상기한 실리콘웨이퍼를 수평면내에서 서로 상대운동시키기 위한 상대운동수단과, 상기한 상측숫돌(13)을 상기한 하측숫돌(12)에 재치된 실리콘웨이퍼에 압압시키기 위한 압압수단으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘웨이퍼의 제조장치.
  15. 제9항에 있어서, 상기한 실리콘웨이퍼는, 외주톱니를 구비한 캐리어(14)에 유지되고, 한편, 상기한 상측숫돌(13)과 상기한 하측숫돌(12)은, 각각의 중앙부분에 개구부를 구비하고 있으며, 상기한 상대운동수단은, -상기한 캐리어(14)의 상기한 외주톱니에 맞물리도록 상기한 개구부에 설치된 태양기어(12A)와, -상기한 캐리어(14)의 상기한 외주톱니에 맞물리도록 상기한 상측숫돌(13)과, 상기한 하측숫돌(12)의 외부쪽에 설치되고, 상기한 캐리어(14)를 상기한 태양기어(12A)의 둘레에서 공전과 자전을 시키기 위한 링형상 내주기어(17)와, -상기한 태양기어(12A)와, 상기한 링형상의 내주기어(17)를 회전시키기 위한 구동기어로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘웨이퍼의 제조장치.
  16. 제10항에 있어서, 상기한 실리콘웨이퍼는, 외주톱니를 구비한 캐리어(14)에 유지되고, 한편, 상기한 상측숫돌(13)과 상기한 하측숫돌(12)은, 각각의 중앙부에 개구부를 구비하고 있으며, 상기한 상대운동수단은, -상기한 캐리어(14)의 상기한 외주톱니에 맞물리도록 상기한 개구부에 설치된 태양기어(12A)와, -상기한 캐리어(14)의 상기한 외주톱니에 맞물리도록 상기한 상측톱니와, 상기한 하측톱니의 외부쪽에 설치되어서, 상기한 캐리어(14)를 상기한 태양기어(12A)의 둘레에서 공전과 자전을 시키기 위한 링형상의 내주기어(17)와, -상기한 태양기어(12A) 및 상기한 링형상의 내주기어(17)를 회전시키기 위한 구동기구로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘웨이퍼의 제조장치.
  17. 제11항에 있어서, 상기한 실리콘웨이퍼는, 외주톱니를 구비한 캐리어(14)에 유지되고, 한편, 상기한 상측숫돌(13)과 상기한 하측숫돌(12)은, 각각의 중앙부에 개구부를 구비하고 있으며, 상기한 상대운동수단은, -상기한 캐리어(14)의 상기한 외주톱니에 맞물리도록 상기한 개구부의 설치된 태양기어(12A)와, -상기한 캐리어(14)의 상기한 외주톱니에 맞물리도록 상기한 상측숫돌(13)과, 상기한 하측숫돌(12)의 외주쪽에 설치되어서, 상기한 캐리어(14)를 상기한 태양기어(12A)의 둘레에서 공전과 자전을 시키기 위한 링형상 내주기어(17)와, -상기한 태양기어(12A)와, 상기한 링형상 내주기어(17)를 회전시키기 위한 구동기어로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘웨이퍼의 제조장치.
  18. 제12항에 있어서, 상기한 실리콘웨이퍼는 외주톱니를 구비한 캐리어(14)에 유지되고, 한편, 상기한 상측숫돌(13)과 상기한 하측숫돌(12)은, 각각의 중앙부에 개구부를 구비하고 있으며, 상기한 상대운동수단은, -상기한 캐리어(14)의 상기한 외주톱니에 맞물리도록 상기한 개구부에 설치된 태양기어(12A)와, -상기한 캐리어(14)의 상기한 외주톱니에 맞물리도록 상기한 상측숫돌(13)과, 상기한 하측숫돌(12)의 외부쪽으로 설치되어서, 상기한 캐리어(14)를 상기한 태양기어(12A)의 둘레에서 공전과 자전을 시키기 위한 링형상 내주기어(17)와, -상기한 태양기어(12A)와, 상기한 링형상 내주기어(17)를 회전시키기 위한 구동기어로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 실리콘웨이퍼의 제조장치.
  19. 제9항에 있어서, 상기한 캐리어(14)의 상기한 태양기어(12A)측 끝부의 상하면을 끼워서 지지하기 위한 상하 한쌍의 스페이서를 구비하고 있는 실리콘웨이퍼의 제조장치.
  20. 제10항에 있어서, 상기한 캐리어(14)의 상기한 태양기어(12A)측 끝부의 상하면을 끼워서 지지하기 위한 상하 한쌍의 스페이서를 구비하는 있는 것을 특징으로 하는 실리콘웨이퍼의 제조장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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