KR970005562B1 - 백래시(backlash) 가속제어방법 - Google Patents

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Description

백래시(backlash) 가속제어방법

공작기계의 테이블의 리드(feed)축 혹은 로봇 암 등을 구동하는 서어보모터의 구동방향을 반전시킬 때, 피드나사 및 감속기어의 백래시 및 마찰의 영향을 위하여 기계의 피구동부는 즉석에서 반전할 수 없다. 그 때문에 공작기계로 윤곽가공을 실시하고 있을 때 및 로봇 암이 원호운동을 실시하고 있을 때에 서어보모터의 회전방향이 반전하면 공작물의 절삭면 혹은 로봇 암의 이동궤적에 돌기가 생긴다.

예를 들면, X, Y, Z축 평면상에서 공작물에 대해서 원호 절삭을 실시하는 경우에 X축을 플러스방향, Y축을 마이너스방향으로 이동시키고 있을 때 상한이 변하고, Y축은 그대로 마이너스 방향으로 구동하고 X축을 마이너스 방향으로 구동하도록 절환한 경우에, Y축에 대해서는 지금까지와 동일 속도로 절삭이 되지만, X축은 위치 편차가「0」이 되므로 토오크지령치가 작아지고, 마찰에 의하여 서어보모터는 즉석에서 반전할 수 없는 것, 및 테이블을 피드하는 피드나사의 백래시에 의하여 테이블의 이동도 즉석에서 반전할 수 없으므로 X축방향의 공작물의 이동은 이동지령에 대해서 추종이 불가피하여 늦어지게 된다. 그 결과, 절삭 원호면에 돌기가 생긴다.

이 돌기를 없애기 위하여, 혹은 감소시키기 위하여, 예를 들면 특개평 4-8451호에 개시되는 바와 같이, 이동방향의 반전시의 위치편차에 위치의 백래시 보정을 실시하는 동시에 위치편가 반전할 때 속도지령에 적당한 값(가속량)을 더하여 서어보모터의 반전방향으로 가속을 실행하고 상한(象限) 돌기를 감소시키는, 소위 백래시 가속이 실시되고 있다.

또한, 공작기계의 서어보모터계에 있어서 위치 편차량을 저감시키기 위하여 피드포워드(feed forward)제어가 실행되고 있다.

특히 공작기계로 고속절삭을 하는 경우에 서어보계의 추종지연에 의한 형상오차가 생긴다.

이 형상오차를 적게 하기 위하여 본 출원인이 앞서 출원한 PCT/JP 91/01537호에 나타내고 있는 바와 같이 수치제어장치에서 출력되는 이동지령에 대해서 스무싱(smoothing) 처리를 실시하고 피드 포워드량을 구하고 이 피드 포워드량을 위치편차에 포지션 게인(position gain)을 곱하여 얻어지는 위치 루우프의 출력인 속도지령에 가산하고 보정된 속도지령을 구하고 이 속도지령에서 속도루우프의 처리를 실시하는 피드 포워드제어도 개발되어 있다.

이 피드 포워드제어를 제4도를 참조하여 설명한다. DDA(Digital Differential Analyzer)(10)는 CNC(컴퓨터내장의 수치제어장치)에서 분배주기마다 보내져오는 이동지령 Mcmd를 위치·속도루우프처리 주기마다의 이동지령으로 분할한다. 에러카운터(error counter)(11)는 DDA(10)에서 출력되는 이동지령에서 위치의 피드백량 Pfb를 감소시킨 값을 가산하고 위치편차를 구한다. 요소(12)는 에러카운터(11)에 기억된 위치편차에 포지션 게인 Kp를 곱하여 속도지령을 구한다. 13은 속도루우프의 항이고, 속도지령에 의거하여 종래와 동일하게 속도루우프 처리를 행하고, 토오크지령을 구하고, 이 토오크 지령에 의거하여 서어보모터를 구동한다. 14는 적분항이고, 서어보모터의 속도를 적분하여 위치를 구한다. 또 피드 포워드 제어를 실시하기 위한 전진요소(15)는 DDA(10)에서 출력되는 이동지령을 위치·속도 루우프 처리 주기의 d 주기만큼 전진시키는 항이다. 스무싱회로(16)는 평균치를 구하는 처리를 실시한다. 17은 스무싱 처리에서 출력되는 값에 피드 포워드계수 α를 곱하여 피드 포워드양을 구하는 항이다.

상기 피드 포워드양을 위치편차에 포지션 게인 Kp를 곱하여 얻어진 속도지령에 가산하고 피드 포워드제어에 의하여 보정된 속도지령 Vcmd를 구하고 이 속도지령 Vcmd에서 속도 루우프는 처리를 한다.

상술과 같은 서어보계에서 서어보모터를 제어하는 경우에 피드포워드계수 α가 「1」에 가까운 치이면, 속도지령 Vcmd는 피드 포워드제어에 의하여 작성되는 지령이 대부분을 차지하고 위치편차는 거의「0」이 된다.

게다가 더욱 피드포워드에 의한 지령쪽의 위상이 앞서 있기 때문에 위치편차의 위상은 늦어지게 된다.

또, 피드포워드계수 α가「1」에 가까운 값이면, 이동지령에 대해서 모터의 위치는 거의 지연이 없어진다.

그 결과, 위치 편차가 거의「0」에 가까워지는 사실, 및 위상의 지연이 있으므로 이동방향 반전시의 백래시 가속 보정의 타이밍을 위치편차에서 판단하기가 어렵다.

또한, 이동지령에 대해서 모터의 실제의 위치는 지연이 없어지는 사실 및 CNC의 분배주기가 길므로서(통상 위치·속도루우프 처리주기보다 분배주기는 길다), 위치 편차의 반전시에 백래시 가속 보정을 개시하면 가공의 프로그램 개시 위치의 차이에 따라, 백래시 가속보정의 개시 타이밍의 불균일이 발생한다. 이와 같은 피드 포워드제어를 행하는 경우에 있어서도 상술한 상한 돌기를 감소하는 백래시 가속제어를 본원 출원인은 PCT/JP 92/100666호로 제안했다. 이 방법은 피드포워드양의 정부(正負)가 반전할 때에 또는 위치편차에 포지션게인을 곱한 값에 상기 피드포워드양을 가산하여 얻어지는 속도지령의 정부가 반전할 때에 백래시 가속보정을 개시하는 것이다. 이 방법에 있어서도 고속에서의 반경이 작은 원호이동의 경우에는 백래시 가속보정이 유효하게 가동하지 않은 적이 있다.

(발명의 개시)

본 발명의 목적은 속도 및 원호 반경 등 각종 조건에 관계없이 실제의 방향반전의 소정시간전부터 백래시 가속보정을 개시하여 백래시 가속보정을 보다 유효하게 작동시키는데에 있다.

본 발명의 방법은 이 주기의 이동지령과 다음 주기의 이동지령의 방향이 반전할때의 이동지령의 가속도를 구하고 상기 가속도에 비례하는 치와 속도지령이 일치한 시점에서 백래시 가속보정을 개시하는 스텝을 구비한다.

(발명을 실시하기 위한 최량의 형태)

우선, 제6도∼제8도를 참조하여 본 발명의 작용원리를 설명한다.

제6도에 있어서, 1분배 주기전의 이동지령을 스펙트럼 M2, 이 분배주기의 이동지령을 스펙트럼 M1, 1분배 주기선의 이동지령을 스펙트럼 M0로 나타내고, 원호의 이동을 실시하고 있는 것으로 한다.

이때의 스펙트럼 M0, M1, M2의 X축방향 성분(X축의 서어보 모터로서 이동지령)을 M0x, M1x, M2x로 하고, 제7도의 표시와 같이 이동지령이 분배되는 것으로 하면, 이 주기의 개시시점 a에 있어서의 X축방향 가속도의 절대치는 |M0x-M2x| 를 계산하므로서 구할 수 있다.

원호의 반지름을 R(mm), 피드속도를 F(mm/min)로 하면, 1분배주기 Ts(sec)로 전진하는 중심각 △θ는

△θ=F·Ts/(60R)[rad]

가 된다. 또,

M0x=R(cos{θo+△θ}-cosθo)

M2x=R{cos(θo+△θ)-cos(θo-2△θ)}

단, -△θ/2θo△θ

따라서 가속도 △V는

△V = |M0x-M2X|

=4R·sin(△θ/2)·sin△θ·cos{θo-(△θ/2)}이 된다.

여기에서, △θ를 1에 비해서 매우 작은 값으로 하면,

sin(△θ/2)를 △θ/2, sin△θ를 △θ,

cos{θo-(△θ/2)}를 1로 근사할 수 있기 때문에,

가속도 △V는

△V=|M0x-M2x|

≒(2/R)·(F·Ts/60)²[mm] ……………………………… (1)

이 된다.

한편, X축 방향의 이동지령 x(t)는,

x(t)=R·cos{F·t/(60)R)}

로 생각될 수 있다. 또한 t는 시간이고 t=0 인때 이동방향이 반전한다고 생각된다.

속도지령 Vx(t)는, 이동지령 x(t)을 미분하여

Vx(t)=(d/dt)x(t)

=-R·{F/(60)}·{sonF·t/(60R)}

따라서, 방향반전시의 t=0의 근방에 있어서는, sin{F·t/(60R)}을 (F·t/60R)로 근사할 수 있기 때문에, 속도지령 Vx(t)는 다음과 같이 나타내어진다.

Vx(t)=-(1/R)·(F/60)²·t

따라서, 상기 속도지령 Vx(t)가 가속도 △V에 마찰에 의하여 정해지는 전수 K를 곱한 값에 달한 시점에서 백래시 가속보정을 제8도에 표시와 같이 하면,

Vx(t)=K·△V …………………………………… (2)

고로,

-(1/R)·(F/60)²·t=K·t=K·(2/R)·(F·Ts/60)²

따라서,

t = - 2KTs²

이 되고 백래시 가속보정 개시기간 t =-2KTs²는 반지름 R 및 피스속도 F에 의존하지 않게 되고 가속개시 시간은 일정해진다.

다음에, 제5도를 참조하여 본 발명의 방법을 실시하는 공작기계 또는 로봇의 서어보모터 제어장치에 관하여 설명한다. 제5도중, CNC(20)에서 출력되는 서어보모터(24)에의 각종 지령은 공유 메모리(21)를 거쳐서, 디지털 서어보 회로(22)의 프로세서에 인도된다. 디지털 서어보회로(22)는 CPU, ROM, RAM 등으로 구성되고, CPU에 의하여 서어보모터(24)의 위치, 속도, 전류제어 등을 실행한다. 서어보 앰프(23)는 트랜지스터인버터 등으로 구성되고, 서어보모터(24)를 구동한다. 펄스코더(25)는 서어보모터(24)의 회전위치를 검출하고, 디지털 서어보회로(22)에 피드백한다.

제1도, 제2도 및 제3도는 디지털 서어보회로(22)의 CPU가 실시하는 피드 포워드 처리 및 백래시 가속보정의 플로우챠트이고, 제1도는 분배주기마다의 처리, 제2도, 제3도는 위치, 속도 루우프처리 주기마다의 피드포워드처리 및 백래시 가속보정의 플로우챠트이다. 또한, 피드포워드처리, 백래시 가속보정의 처리이외의 처리에 대해서는 종래와 동일하므로 생략했다.

사전에 실시하는 가공에 따라서 피드포워드제어를 유효하게 하는가의 여부를 CNC(20)로부터 설정하고, 작동을 개시시키면, 디지털 서어보회로(22)의 CPU는 분배주기마다 제1도의 처리를 실행한다.

우선 스텝 S1에 있어서, 레지스터 R1에 기억된 이 분배주기보다 1회 이전의 주기(이 주기보다 과거 1회전)의 이동지령을 레지스터 R2에 격납하는 동시에 레지스터 R0에 기억된 이 분배주기(위치·속도 루우프를 실시하는 이동지령이 출력되는 주기)의 이동지령을 레지스터 R1으로 한다.

스텝 S2에서는 1회 앞의 분배주기(위치·속도 루우프처리를 실시하는 분배주기의 이동지령보다도 1회 앞)의 이동지령 Mcmd를 판독하고, 레지스터 R0에 격납한다.

스텝 S3에서, 레지스터 R0 기억된 1주기 먼저의 이동지령 Mcmd가「0」 인가의 여부를 판단하고,「0」이면 후술하는 스텝 S8로 이행하고, 「0」이 아니면, 스텝 S4로 이행한다. 스텝 S4이면 레지스터 R0에 기억되어 있는 현재 주기에 판독하여 넣은 이동지령 Mcmd와, 레지스터 Rz에 기억되어 있는 1주기전에 판독하여 넣은 이동지령과의 곱을 구하고, 그 값이 부(負)인가의 여부를 판단한다. 즉, 1주기 앞의 이동지령 Mcmd와 이 위치·속도 루우프 처리의 이동지령의 정부를 나타내는 부호가 반전되어 있는가의 여부를 판단한다. 또, 레지스터 Rz는 초기 설정에서 처음에는「0」으로 설정되어 있다.

상기의 곱이 부이면, 스텝 S5에 있어서, 1주기 앞의 이동지령이 반전하는 것을 표시하는 플랙 F1를「1」로 세트하고, 스텝 S6에서, 레지스터 R0에 기억된 1주기 앞의 이동지령을 레지스터 Rz에 격납한다.

스텝 S7에서는, 레지스터 R2에 기억된 1주기전의 이동지령에서 레지스터 R0에 기억된 1주기 앞의 이동지령을 마이너스한 절대치의 값으로 설정되어 있는 정수 K(기계의 마찰에 따라서 사전에 설정되어 있다)를 곱한 값을 레지스터 A에 격납한다. 즉, 상술한 식 (1)의 연산을 실시하고, 가속도 △V를 구하고 이에 정수 K를 곱한 값을 레지스터 A에 기억시키게 된다. 최후에 스텝 S8에서 카운터 C를「0」으로 세트하고, 이 분배주기의 처리를 종료한다.

스텝 S4에서 구해진 곱이 부가 아니면(이동지령의 정부가 반전되어 있지 않으면) 플래그 F1을「1」로 세트하지 않고, 스텝 S4에서 스텝 S9로 이행하고, 레지스터 Rz에 레지스터 R0에 기억된 1주기 앞의 이동지령을 기억한다. 최후에 스텝 S8에서 카운터 C를「0」로 세트하고, 이 주기의 처리를 종료한다.

이하, 매분배주기에 디지털 서어보회로의 CPU는 상기 처리를 실시하고, 레지스터 R2에는 1주기전의 이동지령, 레지스터 R1에는 위치·속도 루우프처리를 실시하는 분배주기의 이동지령, 레지스터 R0에는 1주기 먼저의 이동지령의 순차기억되고, 또, 이동지령 Mcmd의 정부를 나타내는 부호가 반전된 때에 플래그 F1이 「1」로 세트되게 된다.

한편, 디지털 서어보회로의 CPU는 위치·속도 루우프 처리주기에 제2도 및 제3도에 표시하는 처리를 실행한다.

스텝 S10에 있어서 피드포워드 처리를 유효하게 하면 사전에 설정되어 있는 여부를 판단한다. 피드포워드 처리가 유효하게 되어 있으면, 스텝 S11에서 카운터 C의 값이 분배주기를 위치·속도 루우프처리 주기에서 나눈 값 N(=분배주기/위치·속도 루우프처리주기)의 1/2 이하인가의 여부를 판단한다. 카운터 C의 값이 N/2 이하이면, 스텝12에서 어큐뮬레이터 SUM에 레지스터 R1의 값에서 레지스터 R2의 값을 마이너스한 값을 가산하여 스텝 S14로 이행한다. 카운터 C의 값이 N/2을 초과하고 있으면, 스텝 S13에서 어큐뮬레이터 SUM에 레지스터 R0의 값에서 레지스터 R1의 값을 마이너스한 값을 가산하고, 스텝 S14로 이행한다. 또한 어큐뮬레이터 SUM은 초기 설정에서 처음에는「0」으로 설정되어 있다.

스텝 S14에서는, 상기 어큐뮬레이터 SUM의 값을 상기 분할수 N의 제곱으로 나눈 값에 피드포워드계수 α를 곱하여 피드포워드량 FF를 구하고, 이것을 출력한다. 즉, 이 피드포워드량 FF를 통상의 위치 루우프 처리인 위치편차에 포지션 게인 Kp를 곱하여 구한 값에 가산하고, 피드포워드량 FF에 의하여 보정한 속도지령 Vmcd를 구하고, 이 보정된 속도지령 Vmcd에 의하여 종래와 동일한 속도 루우프처리를 실행하게 된다. 그리고, 스텝 S15에서 카운터 C에「1」을 가산하다.

상기 스텝 S11∼스텝 S15의 처리는 피드포워드량 FF를 구하는 처리로서, 본 실시예는 피드포워드 처리에 있어서의 전진요소(15)에 의한 전진량이 분배주기의 1/2을 취한 예를 표시하고 있고, 이 피드포워드처리의 상세함은 상술한 PCT/JP 92/00666호에 기재되어 있다.

다음에, 스텝 S16에서 플래그 F1이 「1」인가의 여부를 판단하고, 스텝 S5에서 이 플래그 F1이「1」로 설정되어 있지 않으면(이동지령의 부호의 반전이 없으면) 스텝 S16에서 스텝 S21로 전진하고, 백래시 가속시에 「1」로 세트되는 플래그 F2가 「1」인가의 여부를 판단한다. 플래그 F2가 「1」이 아니면, 스텝 S26에서 백래시 가속시간을 계수하는 카운터 D가 「0」이하인가의 여부를 판단하고, 카운터 D가 「0」이하이면(후술과 같이 백래시 가속지령이 출력되어 있지 않으면, 이 카운터 D는 「0」이다), 피드포워드처리 및 백래치 처리를 종료한다.

한편 1주기 먼저의 이동지령 Mcmd를 기억하는 레지스터 R0의 값과, 레지스터 Rz에 기억된 이동지령(위치, 속도 루우프처리의 이동지령)의 부호가 반전하고, 스텝 S5에서 플래그 F1이 「1」로 세트되어 있을 때는 스텝 S16에서, 스텝 S17로 이행하고, 레지스터 R0에 기억된 이동지령이 정 또는 부인가에 따라 방향반전이 정에서 부로 변한 것인지, 부에서 정으로 변화한 것인지를 판단하고, 레지스터 R0의 값이 부이면, 정에서 부로 변화한 것으로서 스텝 S18로 이행한다. 또 레지스터 R0의 값이 정이면 스텝 S19로 이행한다.

그리고 스텝 S18에서는 스텝 S14에서 산출된 피드포워드양 FF에, 위치편차에 포지션게인 Kp를 곱한 값을 가산하고, 다시 레지스터 A에 기억된 가속도의 절대치에 곱한 수 K를 곱한 값을 마이너스하여 얻어진 값이 「0」이하인가의 여부를 판단한다. 즉, 피드포워드양을 보정하여 얻어지는 속도지령이 스텝 S7로 구해진 값에 달했는가의 여부를 판단하는 것이고, 이 판단처리가 상술한 식 (2)의 판단을 실시하는 것이다.

상기 속도지령이 레지스터 A에 기억하는 값에 달하여 있지 않고 스텝 S18의 판단이 「0」보다 큰 수로 판단되면, 스텝 S21로 이행하고, 상술한 처리를 실시하고 백래시 가속보정을 개시하지 않는다. 또, 스텝S19에서는 피드포워드양을 보정한 속도지령에 레지스터 A의 값을 가산한 값이 부이면(이 판단처리도 상술한 식 (2)의 판단을 실시하는 것이고, 이동지령이 부에서 정으로 반전한 것이기 때문에 처음에 속도지령은 부이고, 이 속도지령에 레지스터 A의 값을 가산하여 「0」DL 되는 점이 백래시 가속보정 개시시점이 된다), 스텝 S19에서 스텝 S21로 이행하고, 백래시 가속보정을 개시하지 않는다.

먼저 판독한 1주기 먼저의 이동지령의 부호가 반전했다해도, 피드포워드양 FF를 보정한 속도지령은 바로 반전하지 않는다. 스텝 S12의 처리에서도 명백한 바와 같이, 분배주기의 반주기에 대응하는 위치·속도 루우프 처리주기의 수(N/2)까지는 반전한 이동지령이 피드포워드량 FF의 산출에는 영향을 주지 않으므로 적어도 N/2회의 위치·속도 루우프 처리주기 사이에서는 피드포워드량 FF의 부호는 반전하지 않고, 피드포워드량을 보정한 속도지령도 반전하지 않는다. 따라서, 백래시 가속보정을 개시하지 않는다.

그러나, 스텝 S18, S19에서 피드포워드양 FF에서 보정된 속도지령이 레지스터 A에 기억하는 값에 달한 것을 검출하면, 플래그 F2를 「1」로 세트하고, 플래그 F1 「0」으로 세트한다(스텝 S20). 그리고, 스텝 S20에서 스텝 S21로 이행하고, 상기 플래그 F2가 「1」로 세트된 것으로 하여 스텝 S21에서 스텝 S22로 이행하고, 카운터 D에 설정되어 있는 백래시 가속보정시간에 대응하는 값 Tb를 세트하고, 스텝 S23에서 플래그 F2를 「0」으로 세트한다.

스텝 S24에 있어서, 설정되어 있는 플래시 가속 보정량을 출력하고, 피드포워드량 FF로 보정된 속도지령 Vcmd에 이 백래시 가속 보정량을 가산하고, 스텝 S25에서 카운터 D에 「1」을 마이너스하여, 이 주기의 이 피드포워드 제어 및 백래시 가산 보정제어를 종료한다.

다음의 위치·속도 루우프 처리주기에서는 플래그 F1, F2가 「0」으로 세트되어 있으므로 스텝 S11∼S15, S16 및 S21의 처리를 행하고 스텝 S26으로 전진하고 카운터 D가 「0」이 될 때까지 즉, 설정된 백래시 가속보정시간이 경과할 때까지 스텝 S24 및 S25의 처리를 하고, 백래시 가속보정을 한다. 그리고, 카운터 D가「0」이 되면, 이후는 백래시 가속보정을 실행하지 않는다.

또, 피드포워드처리를 무효로 한다고 사전에 설정되어 있으면, 스텝 S10에서 스텝 S27로 이행하고, 피드포워드량 FF를 「0」으로 하여 스텝 S16으로 전진하고, 스텝 S11∼S15의 피드포워드처리를 실행하지 않고 상술한 스텝 S16 이하의 처리를 실행한다.

이상의 처리를 반복하므로서 백래시 가속보정의 개시는 방향반전의 지령의 가속도에 비례하는 기계의 마찰력에 의하여 정해지는 값과 속도지령이 일치한 시점이 되고, 속도지령의 방향반전의 시점에서 일정시간 이전의 시점에서 정확히 백래시 가속보정이 개시되게 된다.

따라서 원호의 이동지령에 있어서의 반지름 및 피드속도에도 불구하고, 고속으로 반경이 적은 원호의 이동의 경우에 있어서도 백래시 가속보정이 유효하게 동작하게 된다.

본 발명은 공작기계의 테이블 및 로봇 암(Robort Arm) 등을 구동하는 서어보 모터의 제어방법에 관하고, 특히 테이블 및 로봇 암이 이동방향이 반전할 때에 실행하는 백래시가속 보정에 관한다.

제1도는 본 발명의 피드포워드 및 백래시 가속보정을 실시하기 위하여 디지털 서어보회로의 프로세서를 분배주기마다에 실시하는 처리의 플로우챠트.

제2도는 디지털 서어보 회로의 프로세서가 위치·속도 루우프 처리마다에 실시하는 피드포워드 및 백래시 가속보정처리의 플로우챠트의 일부.

제3도는 제2도의 계속.

제4도는 피드포워드제어를 실시하는 서어보계의 블록도.

제5도는 본 발명을 실시하기 위한 서어보 모터 제어의 요부 블록도.

제6도는 본 발명의 작동원리를 설명하는 설명도.

제7도는 제6도에 있어서의 X축방향으로의 이동지령을 나타내는 설명도.

제8도는 백래시 가속보정개시 시점을 표시하는 그래프이다.

Claims (4)

1. 서어보모터로 구동되는 기계의 이동방향이 반전할 때에 행하는 백래시 가속제어방향으로서, 이 주기의 이동지령과 다음 주기의 이동지령의 방향이 반전할 때의 이동지령의 가속도를 구하고, 상기 가속도에 비례하는 값과 속도지령이 일치한 시점에서 백래시 가속보정을 개시하는 백래시 가속 제어방법.
2. 서어보모터로 구동되는 기계의 이동방향이 반전할 때에 행하는 백래시 가속 제어방법으로서, 위치·속도 루우프 처리 주기와 이 주기의 전후의 수주기의 이동지령의 평균치를 구하는 스무싱처리를 실행하여 피드포워드량을 구하고, 상기 피드포워드량을 사용하여 보정된 속도지령을 구하고, 이 보정된 속도지령에 의거하여 서어보모터를 제어하고, 이 주기의 이동지령과 다음 주기의 이동지령의 방향이 반전될 때의 이동지령의 가속도를 구하고, 상기 가속도에 비례한 값과, 상기 속도지령이 일치한 시점에서 백래시 가속보정을 개시하는 서어보모터의 백래시 가속 제어방법.
3. 제2항에 있어서, 상기 스무싱처리는 위치·속도 루우프 처리를 행하는 주기의 이동지령을 중심으로 한 그 전후의 위치·속도 루우프 주기의 이동지령중 분배주기에 대응하는 수의 위치·속도 루우프 주기의 이동지령의 평균을 구하므로서 이루는 백래시 가속 제어방법.
4. 제3항에 있어서, 상기 피드포워드량은 상기 스무싱 처리에서 구해진 이동지령의 평균치에 피드포워드계수를 곱해서 얻어지는 백래시 가속 제어방법.