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KR950034479A - 조명광학계 - Google Patents

조명광학계 Download PDF

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KR950034479A
KR950034479A KR1019950012743A KR19950012743A KR950034479A KR 950034479 A KR950034479 A KR 950034479A KR 1019950012743 A KR1019950012743 A KR 1019950012743A KR 19950012743 A KR19950012743 A KR 19950012743A KR 950034479 A KR950034479 A KR 950034479A
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illumination
alignment
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타다시 나가야마
Original Assignee
오노 시게오
가부시끼가이샤 니콘
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Abstract

본 발명은 투영 노광 장치에 있어서 레티클 정렬에 적합한 조명 광학계 및 정렬 장치에 관한 것이다. 본 발명은 평행 광속을 제공하기 위한 평행 광속 공급 수단 및 평행 광속 수단으로부터의 평행 광속을 표적조명 물체에 공급하기 위한 광 가이드를 갖는 조명 광학계를 제공하며, 평행 광속을 분산시키기 위해서 평행 광속 공급 수단과 광 가이드 사이에 배열된 분산 수단으로 이루어지고, 여기에서 광 가이드의 입사 단면은 분산 수단으로 평행 광속의 입사 방향에 수직인 평면에 대해 소정의 각도로 기울어지도록 배열된다.

Description

조명광학계
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제17도는 정렬 광학계로서 본 발명의 제1실시예에 따르는 조명 광학계를 사용하여 ISS(상 슬릿 센서)에 의해 투영 노광 장치를 개략적으로 도시한 도면, 제18도는 제17도에 도시된 투영 노광 장치에서 레티클 표지 RM가 인덱스 플레이트 상의 표지 SM 사이에 일치하는 상태를 도시한 그래프.

Claims (18)

  1. 평행 광속을 공급하기 위한 평행 광속 공급 시스템; 상기 평행 광속 공급 시스템으로부터 표적 조명 물체로 평행 광속을 인도하기 위한 광 가이드; 및 상기 평행 광속 공급 시스템과 상기 광 가이드 사이에 배열되고 평행 광속을 분산시키기 위한 분산 광학계로 이루어지며, 상기 광 가이드의 입사 단면이 상기 분산 광학계상으로 평행 광속의 입사 방향에 수직인 평면에 대해서 소정의 각도로 기울어지도록 배열됨을 특징으로 하는 조명 광학계.
  2. 제1항에 있어서, θ가 상기 분산 광학계상으로 평행 광속의 입사 방향에 수직인 평면에 대해서 상기 가이드의 입사 단면의 경사각이라 할 때, 하기의 범위가 만족됨을 특징으로 하는 조명 광학계.
    4°≤θ≤10°
  3. 제1항에 있어서, 분산 광학계가 상기 광 가이드 입사 단면에 경사지도록 배열된 분산 플레이트로 이루어지며, 상기 평행 광속 공급 시스템으로부터 평행 광속이 상기 분산 플레이트에 수직으로 입사됨을 특징으로 하는 조명 광학계.
  4. 제1항에 있어서, 분산 광학계가 상기 광 가이드의 입사 단면에 평행으로 배열된 분산 플레이트; 및 상기 평행 광속 공급 시스템과 상기 분산 플레이트 사이에 배열되고, 그 광축이 상기 평행 광속 공급 시스템의 출구 광축과는 상이한 제1렌즈를 갖는 렌지 시스템으로 이루어짐을 특징으로 하는 조명 광학계.
  5. 제1항에 있어서, 분산 광학계가 플라이 눈 렌즈; 상기 광 가이드의 입사 단면에 평행으로 배열된 분산 플레이트; 및 상기 플레이 눈 렌즈 및 분산 플레이트 사이에 배열된 렌즈 시스템으로 이루어짐을 특징으로 하는 조명 광학계.
  6. 제1항에 있어서, 분산 광학계가 상기 평행 광속 공급 시스템과 상기 광 가이드의 입사 단면 사이에 배열되며, 그 광축이 상기 평행 광속 공급 시스템의 출구 광축과는 상이한 제1렌즈를 갖는 렌즈 시스템; 및 상기 평행 광속 공급 시스템과 상기 렌즈 시스템 사이에 배열된 플라이 눈 렌즈로 이루어짐을 특징으로 하는 조명 광학계.
  7. 조명 광속을 공급하기 위한 주 조명 광학계; 상기 주조명 광학계로부터의 광속에 의해 조명된 마스크를 제공하기 위한 제1스테이지; 감광성 기판을 공급하고 상기 기판의 위치를 선정하기 위한 제2스테이지; 상기 제1스테이지에 의해 제공되는 상기 마스크 상에서의 위치를 상기 제2스테이지에 의해 제공되는 상기 기판상에서의 위치와 결합시키기 위한 투영 광학계로서, 상기 기판의 위치 설정을 상기 투영 광학계의 광축에 수직인 평면 위에서 수행하는 투영 광학계; 평행 광속을 공급하는 평행 광속 공급 시스템; 상기 평행 광속 공급 시스템으로부터의 평행 광속을 상기 마스크 상에 있는 제1표지 및 상기 기판 또는 상기 제2스테이지 상에 있는 제2표지로 인도하기 위한 광 가이드; 및 상기 평행 광속 공급 시스템과 상기 광 가이드 사이에 배열된 평행 광속 분산용 분산 공학계로 이루어지며, 상기 광 가이드의 입사 단면이 상기 분산 광학계 상으로 평행광속의 입사 방향에 수직인 평면에 대해서 소정의 각도로 경사되도록 배열되며, 상기 제1스테이지에 의해 공급되는 상기 마스크와 상기 제2스테이지에 의해 공급되는 상기 기판 사이의 정렬이 상기 광 가이드의 출구 단면으로부터의 광속을 상기 제1및 제2마스크에 적용하며 상기 제2스테이지에 의해 상기 기판을 위치설정함으로써 수행됨을 특징으로하는 투영 노광 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 평행 광속 공급 시스템이 평행 광속이 상기 주 조명 광학계에 제공되는 광원에 의해 공급됨을 특징으로하는 투영 노광 장치.
  9. 펄스 노출광을 분지시키면서 얻어진 펄스 조명광으로 상기 기판 스테이지 상의 상기 정렬 표지 및 기준 표지를 조명하는 제1정렬 조명계; 노출광과는 상이한 파장 범위의 계속적으로 방출되는 연속 조명광으로 상기 정렬 표지를 조명하기 위한 제2조명제; 상기 정렬 표지로부터의 연속 조명광, 상기 정렬 표지로부터의 펄스 조명광 및 투영 광학계를 통한 상기 기준 표지로부터의 펄스 조명광을 집속하는 제1대물 광학계; 상기 제1대물 광학계에 의해 집속된 광속을 연속 조명광의 제1광속 및 펄스 조명광의 제2광속으로 분산시키는 파장 선택 광학계; 상기 제1광속으로부터의 상기 정렬 상을 형성시키는 제2대물 광학계; 광전기 검출기를 가지며 상기 제2대물 광학계에 의해 형성된 상기 정렬 표지의 상 및 상기 광전기 검출기를 상대적으로 진동시킴으로써, 상기 정렬 표지의 상기 상의 위치를 검출하는 상위치 검출기; 상기 제2광속으로부터의 상기 정렬 표지 및 상기 기준 표지를 형성시키는 제3대물 광학계; 및 상기 제3대물 광학계에 의해 형성된 상기 정렬 표지 및 상기 기준표지의 상을 검출하는 상 검출기로 이루어지며, 상기 상 위치 검출기에 대한 상기 표지의 위치 관계가 상기 상위치 검출기로부터의 검출 결과에 기초하여 검출되며, 상기 정렬 표지와 상기 기준 표지 사이의 위치 이동이 상기 상으로부터의 검출 결과에 기초하여 검출됨을 특징으로 하는 기판 스테이지 상의 감광성 기판 및 정렬 표지 갖는 마스크를 정렬시키기 위한 정렬 장치.
  10. 제9항에 있어서, 제1대물 광학계가 상기 마스크 상의 정렬 표지의 위치에 따라서 이동할 수 있도록 배열됨을 특징으로 하는 정렬 장치.
  11. 제9항에 있어서, 추가로 상기 제1대물 광학계로부터의 광속을 평행 광속으로 전환시키기 위해서 상기 파장 선택 광학계와 상기 제2대물 광학계 사이에 배열되고, 상기 제1대물 광학계와 연동되는 방식으로 이동할 수 있는 정정 광학계로 이루어짐을 특징으로 하는 정렬 장치.
  12. 제9항에 있어서, 추가로 상기 제1대물 광학계로부터의 광속을 평행 광속으로 전환시키기 위해서 상기 파장 선택 광학계와 상기 제3대물 광학계 사이에 배열되고, 상기 제1대물 광학계와 연동되는 방식으로 이동할 수 있는 정정 광학계로 이루어짐을 특징으로 하는 정렬 장치.
  13. 제9항에 있어서, 제2정렬 조명계가 상기 마스크 상측 면으로 부터 상기 정렬 표지의 입사광 조명을 수행함을 특징으로 하는 정렬 장치.
  14. 제13항에 있어서, 추가로 상기 마스크를 통해 전달된 연속 조명광을 정렬 표지로 반사시키기 위해서, 상기 마스크와 상기 투영 광학계 사이에 임의로 삽입되도록 배열된 이동 가능한 거울을 포함함을 특징으로 하는 방법.
  15. 제14항에 있어서, 추가로 상기 이동 거울이 상기 제2정렬 조명계에 배열된 평면과 결합된 평면 상에 배열된 필드 스톱을 포함함을 특징으로 하는 정렬 장치.
  16. 제9항에 있어서, 상기 파장 선택 광학계가 이색 거울로 이루어지을 특징으로 하는 정렬 장치.
  17. 표적 전이 패턴이 펄스 노출광에 의해 형성되는 마스크를 조명 하기 위한 조명 광학계; 상기 마스크 상의 상기 패턴 상을 노출과에 의해 감광성 기판에 투영하기 위하 투영 광학계; 상기 투영 광학계의 광축에 수직인 평면상에서 상기 기판을 제공하고 상기 기판의 위치를 설정하기 위한 기판 스테이지; 펄스 노출 광을 분지시켜서 얻어진 펄스 조명광에 의해 상기 마스크 상에서 정렬 표지 및 상기 기판 스테이지 상에서 기준 표지를 조명하기 위한 제1정렬 조명계; 노출 광과는 상이한 파장 범위에서 계속적으로 방출된 연속 조명광을 조명하기 위한 제2정렬 조명계; 상기 정렬 표지로부터의 연속 조명광, 상기 정렬 표지로부터의 펄스 조명광, 및 상기 투영 광학계를 통해 상기 기준 표지로부터의 펄스 조명공을 촛점 맞추기 위한 제1대물 광학계; 상기 제1대물광학계에 의해 촛점 맞추어진 광속을 연속조명광의 제1광속 및 펄스 조명광의 제2광속으로 분산시키기 위한 파장 선택 광학계; 상기 제1광속으로부터의 상기 정렬 상을 형성시키기 위한 제2대물 광학계; 광전기 검출기를 가지며 상기 제2대물 광학계에 의해 형성된 상기 정렬 표지의 상 및 상기 광전기 검출기를 상대적으로 진동시킴으로써, 상기 정렬 표지의 상기 상의 위치를 검출하기 위한 상위치 검출기; 상기 제2광속으로부터의 상기 정렬 표지 및 상기 기준 표지를 형성시키기 위한 제3대물 광학계; 및 상기 제3대물 광학계에 의해 형성된 상기 정렬 표지 및 상기 기준 표지의 상을 검출하기 위한 상 검출기로 이루어지며, 상기 상 위치 검출기에 대한 상기 표지의 위치 관계가 상기 상위치 검출기로부터의 검출 결과에 기초하여 검출되며, 상기 정렬 표지와 상기 기준 표지 사이의 위치 이동이 상기 상으로부터의 검출 결과에 기초하여 검출됨을 특징으로 하는 투영 노광장치.
  18. 제17항에 있어서, 제1정렬 조명계가 상기 조명 광학계로부터 상기 정렬 표지 및 상기 기준 표지로 평행광속을 인도하기 위한 광 가이드; 및 평행 광속을 분산시키기 위해서, 상기 조명 광학계와 상기 광 가이드사이에 배열된 분산 광학계로 이루어지며, 상기 광 가이드의 입사 단면은 상기 분산 광학계로 평행 광속의 입사 방향에 수직인 평면에 대해 소정의 각도로 기울어지록 배열됨을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 19950522

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PC1203 Withdrawal of no request for examination
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid