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KR930002562B1 - 클린룸내에서 사용되는 방진저장 캐비넷장치 - Google Patents

클린룸내에서 사용되는 방진저장 캐비넷장치 Download PDF

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KR930002562B1
KR930002562B1 KR1019870013096A KR870013096A KR930002562B1 KR 930002562 B1 KR930002562 B1 KR 930002562B1 KR 1019870013096 A KR1019870013096 A KR 1019870013096A KR 870013096 A KR870013096 A KR 870013096A KR 930002562 B1 KR930002562 B1 KR 930002562B1
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KR
South Korea
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compartment
storage cabinet
housing
air
inlet
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KR1019870013096A
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KR880006760A (ko
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요시유끼 이와사와
츠도무 이시다
히로시 하라다
겐지 오까모토
신타로오 고바야시
타카시 마츠모토
츠도무 신야
시케루 다나까
토시오 타카스
키와무 야마모토
Original Assignee
시미즈 겐세쯔 가부시끼가이샤
요시노 데루조오
신코오 덴기 가부시끼가이샤
이노마타 시게오
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Priority claimed from JP27705786A external-priority patent/JPH0671921B2/ja
Priority claimed from JP6077687A external-priority patent/JPH0671922B2/ja
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    • H01L21/67769—Storage means
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Abstract

내용 없음.

Description

클린룸내에서 사용되는 방진저장 캐비넷장치
제1도는, 종래의 저장 캐비넷 장치의 일부 절개된 사시도,
제2도는, 본 발명에 의한 저장 캐비넷 장치의 개략 단면도,
제3도는, 제2도의 III-III선 단면도,
제4도는, 본 발명의 다른 실시예의 저장 캐비넷 장치가 설치되어 있는 클린룸의, 일부 절개된 개략 평면도,
제5도는, 제4도의 V-V선 단면도,
제6도는, 제5도의 카세트 수납칸의 수직 단면 확대도,
제7도는, 제6도의 카세트 수납칸의 정면도,
제8도는, 다수개의 반도체 웨이퍼가 수납되어 있는 웨이퍼 카세트의 확대 사시도,
제9도는, 본 발명의 또 다른 실시예의 일부 절개된 개략 평면도,
제10도는, 제9도의 X-X선의 단면도,
제11도는, 제9도의 래크기구부의 부분 평면도,
제12도는, 제9도의 래크 세그먼트의 확대 사시도,
제13도는, 제11도의 래크 기구부의 부분 평면 확대도,
제14도는, 제13도의 카세트 수납칸이 수직적으로 배열된 상태의 부분 수직 단면도,
제15도는, 제14도의 수직적으로 배열된 카세트 수납칸의 부분 정면도,
제16도는, 제15도의 래크 세그먼트의 정면도,
제17도는, 제16도의 래크 세그먼트의 수직 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
30 : 하우징 32 : 트레이
34 : 체인(또는 스프로켓) 36 : 가이드 휠
38 : 전기 모우터 40 : 연장 입구
42 : 슬라이딩 셔터 44 : 웨이퍼 카세트(작업물)
46 : 내부입구(제 2 입구) 48 : 외부 입구(제 1 입구)
50 : 하우징 52 : 분리벽
54 : 저장실(윗방) 56 : 이송실(앞방)
57 : 앞벽 58 : 천정판
60 : 바닥판 62 : 윗벽
64 : 아래벽 66 : 모우터실
68 : 내부벽 70 : 회전축
72 : 베어링 74 : 제2도체
76 : 리니어 모우터 78 : 제1코일
80,82 : 지지 디스크 84 : 래크 기구부
86 : 지지 프레임 88 : 트레이
90 : 방사판 92 : 수납칸
94 : 수평판(수납판) 96 : 이송기구(이송수단)
98 : 가이드 레일 100 : 미끄럼부(미끄럼부재)
102 : 수평 아암 104 : 파지핸드
106 : 파지부 110 : 저장 캐비넷
112 : 분리벽 114 : 통로부 영역
116 : 작업부 영역 118 : 궤도 운반기
119 : 회전 테이블 120 : 이송 로보트
122 : 스테이션 기구부 124 : 하우징
125 : 입구(제 3 입구) 126 : 래크 기구부
127 : 슬라이딩 도어 128 : 지지 프레임
130 : 내부벽 131 : 방사형 아암
132 : 고리형 트레이 134 : 하부벽(상부내면)
136 : 공기 흡입구 138 : 필터
140 : 상부벽(하부 내면) 142 : 내부 모서리
144 : 둘레 모서리 146 : 공기 배출구(구멍)
148 : 지지부재 150 : 내부 다리
152 : 외부다리 154 : 연결막대
156 : 바깥끝단 158 : 안쪽 끝단
160,162 : 다리부분 164 : 걸어맞춤돌기
166 : 수평연결 로드 168 : 멈춤부재
170,172 : 끝단면 173 : 바닥면
174 : 내부면 176 : 홈
178 : 반도체 웨이퍼 180 : 공기 공급 덕트
182 : 송풍기 186 : 배기구
188 : 필터 190 : 자기 브레이크
192 : 로터리 엔코오더 194 : 하우징
194 : 입구 196 : 래크기구부
198 : 방사형 아암 200 : 지지로드
202 : 래크 세그먼트 204 : 연결판
206 : 윗벽(상부내면 ) 208 : 아래벽(하부내면)
210,212 : 측면 플랜 지 214,216:옆벽
218 : 밀폐부재 220 : 개구
222,224 : 옆조각 226 : 윗조각
228 : 아래조각 230 : 슬랫
232 : 밀폐부재 234 : 수직 피버트
236 : 스윙도어 238 : 연장개구(공기배출구)
240 : 블래이드 242 : 구동기구(제 2구동수단)
244 : 서어보 모우터 246 : 풀리
248 : 타이밍 벨트 250 : 걸어맞춤 파지부,
252 : 간극 254 : 스윙도어
256 : 수평 피버트.
본 발명은, 예를들면, 반도체 장치를 제조하는 클린룸내에서 사용되는 저장 캐비넷 장치에 관한 것으로서, 상기 저장 캐비넷 장치는 반도체 웨이퍼를 수납하는 웨이퍼 카세트 등을 일시적으로 저장하는 데 사용된다.
VLSI나 IC등의 반도체 장치를 제조하는 공정, 특히, 반도체 웨이퍼 상에 회로소자가 형성되는 사전처리공정에 있어서는, 작업실내에서의 먼지 발생이, 반도체 장치의 요망되는 높은 생산 수율에 심각한 장해가 된다.
다시 말하면, 반도체 장치의 생산 수율은 작업실 대기의 청정도에 의해 크게 영향을 받는다. 따라서, 반도체 장치를 제조하는데 사용되는 작업실은 소정 수준 이상의 높은 청정도(단위 대기 체적당 포함되는 먼지입자의 숫자에 의해 결정됨)의 클린룸일 것이 바람직하다.
이와 같은 이유에서, 저장 캐비넷도 작업실의 청정도와 동일하거나, 그 이상일 것이 요구된다.
저장 캐비넷은 웨이퍼 카세트를 일시적으로 저장하기 위하여 작업실 내에서 사용되는 캐비넷이다. 웨이퍼 카세트는, 예를들면, 카세트가 사용되지 않을때나, 반도웨이퍼들이 다음 제조공정을 위해 웨이퍼 카세트내에 수납되어 대기해야만 할때, 상기 캐비넷 내에 저장된다.
제1도에는, 옆면에서 옆면까지 연장된 연장 입구(40)를 구비하는 대략 직육면체인 상자 모양의 하우징(30)을 구비하는 종래의 저장 캐비넷의 전형적인 예를 나타내었다.
상기 입구(40)는, 모우터(도시하지 않음)와 같은 적절한 수단에 의해 수직으로 구동되는 슬라이딩 셔터(42)가 마련된다. 하우징(30)내에는, 다수개의 수평 트레이(32)가, 무한궤도 식의 체인 혹은 스프로켓(34)으로 연결되어서, 이 트레이(32)들이 무한궤도열 내에 넣어진다.
트레이(32)는 반도체 웨이퍼가 수납된 웨이퍼 카세트(44)와 같은 작업물 다수를 지지하도록 되어 있다. 체인(34)은, 하우징(30)에 회전 가능하도록 접속된 다수개의 가이드 휠(36)에 감겨 있다. 가이드 휠(36)중의 하나가 하우징(30)의 바닥 부분에 유지된 전기 모우터(38)에 구동가능하게 접속되며, 이것에 의하여 모우터(38)가 작동하면, 트레이(32)는 제1도에서 화살표로 나타낸 방향으로 구동된다.
하우징(30)내에서는, 청정한 기류가, 송풍기에 의하여 하우징(30)의 바닥을 향해 아래쪽으로 흐르거나, 입구(40)앞으로 흐르게 되어, 하우징(30)의 내부에서 발생한 먼지가 즉시 밖으로 배출된다.
웨이퍼 카세트를 저장 캐비넷에 넣거나, 꺼내기 위하여, 요망되는 트레이(32)가 입구(32)가 입구(40)와 수평으로 인접하는 위치로 실려온다. 그 후에, 셔터(42)가 열리고, 웨이퍼 카세트(44)가 작업자에 의하여 트레이(32)에 올려지거나, 꺼내어진다.
그러나, 상술한 종래의 저장 캐비넷은, 기류가 전체 하우징(30)을 통해 아래쪽이나 앞쪽으로 흐르는 구조로되어 있기 때문에, 하우징(30)의 내부 위쪽이나 뒤쪽 영역에서 발생된 먼지가 하우징 내부의 아래쪽이나 앞쪽 영역 전체로 날려지게 된다. 말하자면, 하우징 내의 일부 웨이퍼 카세트나, 체인(34) 및 모우터(38)등의, 캐비넷의 일부에서 발생되는 먼지에 의하여 많은 반도체 웨이퍼가 오염될 수 있는 잠재적인 불편함이있게 된다.
또한, 입구(40)의 폭이 트레이(32)의 전체 길이와 같으므로, 하우징(30)에 넣어지거나 꺼내어질 하나의 웨이퍼 카세트(44) 뿐 아니라, 동일 트레이(32)상의 모든 다른 웨이퍼 카세트(44)들이 셔터(42)의 열림 작용시 외부 대기에 노출된다.
이러한 사실은, 반도체웨이퍼들이 작업자에 의해 옮아져 오는 먼지와 같은 외부 먼지에 의해 오염될 수 있는 가능성을 높게 한다.
비록 상술한 바와 같은 문제점들이, 각 웨이퍼 카세트(44)를 밀폐시켜 수납할 수 있는 카세트 케이스를 이용하여 해결될 수는 있지만, 그러한 카세트 케이스는, 클린룸내에서 요구되는 웨이퍼의 카세트의 자동 운송에 방해가 된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 목적은, 종래의 저장 캐비넷에 비하여, 하우징 내에 먼지가 발생할 가능성이 적은 저장 캐비넷 장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 하우징 내에서 먼지가 발생하더라도, 그 먼지가 하우징 전체로 날려지지 않게 되는 저장 캐비넷 장치를 제공함에 있다.
본 발명의 또다른 목적은 저장되는 반도체웨이퍼가, 하우징의 입구를 통해 유입되는 외부먼지에 의하여 오염되는 것을 방지하는 저장 캐비넷 장치를 제공함에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 : 그의 앞벽에 형성된 제1입구를 구비하고, 작업물이 상기 제1입구를 통해 하우징내로 들어가거나, 하우징 밖으로 나올 수 있도록 하는 하우징과 ; 상기 하우징의 내부에 청정한 공기를 공급하는 공기 공급 수단과 ; 그의 길이축 주위로 회전하도록 상기 하우징 내에 회전 가능하게 배치되는 수직 회전축과 ; 상기 회전축을 회전시키는 제1구동수단과 ; 대략 원통형 구조로 된 래크기구부로 구성되는 방진 저장 캐비넷 장치를 제공한다.
상기 래크기구부는, 회전축에 동축적으로 유지되며, 그의 내부에 작업물을 저장하는 다수개의 수납칸을 구비한다. 이 수납칸은 외부로 향하여 방사형으로 개방되어 있고, 수납칸 사이의 먼지에 의해 상호 오염되지 않도록 서로 분리되어 있다.
상기 래크 기구부는 : 회전축에 동심원적으로 접속되는 원통형 지지 프레임과 ; 상기 지지프레임 주위에 수직적으로 동일한 간격으로 부착되는 다수개의 평행한 고리형 트레이들과 ; 2개의 인접하는 트레이 사이의 모든 공간이, 방사판에 의하여 다수개의 수납칸으로 분할되도록, 2개의 인접하는 트레이들의 사이에 연장된 다수개의 방사판들을 포함할 수 있다.
선택적으로, 상기 래크 기구부는, 실질적으로 원통형 구조를 형성하도록 서로 접속되는 다수개의 래크 세그먼트들을 포함할 수 있다.
각각의 래크 세그먼트는 한쪽 외부 끝단이 개방된 사각형 상자 같은 구조로 되어서, 그 내부가 수납칸의 하나로 될 수 있다.
저장 캐비넷은, 하우징의 내부를 앞방과 뒷방으로 분할하는 분리 벽을 구비하는 것이 바람직하다. 앞방은 제1입구를 통해 하우징의 외부와 연이어 통하며, 반면에 뒷방은 회전축과 래크 기구부를 수납한다. 이 경우에, 상기 분리벽은 그를 통하여 작업물이 앞방과 뒷방 사이를 지나가게 하는 제2입구를 구비하게 된다.
따라서, 뒷방은 상기 제2입구를 통해 앞방과 연이어 통한다. 또한, 상기 저장캐비넷은 작업물을 제1입구와 래크기구부 사이에서 이송하도록, 앞방에 배치되는 이송수단을 구비하는 것이 바람직하다.
상기 이송수단은 : 그의 길이 축주위로 회전하도록 앞방에 회전 가능하게 배치되는 수직 가이드 레일과 ; 상기 가이드 레일을 따라서 움직이도록 상기 가이드 레일에 미끄러질 수 있도록 접속되는 미끄럼 부재와 ; 상기 미끄럼 부재에서 수평적으로 연장된 수평 아암과 ; 작업물을 해제 가능하게 파지하도록, 상기 수평아암의 마지막 끝단에 부착되는 파지 핸드를 포함할 수 있다.
상기 수평 아암은, 수평적으로 신장 및 수축할 수 있도록, 삽입 구조로 될 수 있다.
상기 제1구동 수단은, 상기 회전축에 동축적으로 부착되는 고리형의 제2도체와, 상기 제2도체와 마주 대하도록 하우징 내에 배치되는 다수개의 제1코일들로 구성되는 리니어 모우터로 할 수 있다.
각각의 수납칸은 공기 공그 수단과 연이어 통하는 공기 흡입구를 구비하고 있어서, 청정한 공기가 상기 해당 공기 흡입구를 통해 각 수납칸으로 도입되게 함이 바람직하다.
상기 공기 흡입구는, 상기 공기 흡입구를 통과하는 공기를 여과하는 공기 필터를 구비할 수 있다.
상기 수납칸은 상기 수납칸의 개구 부분을 덮는 차폐수단을 마련하여, 상기 개구의 각 하부 부분이 각각의 수납칸에 대한 공기 배출구 역할을 하도록 한다.
상기 각각의 수납칸은 상부 및 하부 내면을 구비할 수 있다. 상기 공기 흡입구는 각각의 수납칸의 상부내면에 형성되어, 각 수납칸 내의 지류가 해당 하부 내면을 향해 아래로 흐르도록 한다.
상기 각 수납칸의 하부 내면은 해당 공기 배출구를 향해 아래로 경사지게 되어 있어, 기류가 상기 공기 배출구를 향해 원만하게 흐르도록 한다.
상기 차폐 수단은 상기 래크 기구부를 동심원적으로 둘러싸는 원통형의 내부벽으로 될 수 있다. 상기 내부벽은 : 그를 통하여 작업물이 지나가도록, 하우징의 제1입구에 인접하는 내부벽 부분에 형성되는 제3입구와 ; 상기 수납칸의 개구의 하부 부분이 개방된 채로 있도록, 수납칸의 앞쪽 내부벽 부분에 형성되는 다수개의 개구를 포함한다. 선택적으로, 상기 차폐수단은 다수개의 스윙도어로 될 수 있다. 각각의 스윙도어는 상기 래크 기구부에 회동 가능하게 접속되어서, 상기 수납칸의 하나 이상의 개구가 각 스윙도어의 회동운동에 의해 열리거나 닫히도록 한다. 각각의 스윙도어는, 해당 수납칸의 개구의 하부부분이 개방된 채로 있도록, 하나 이상의 개구를 구비할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
제2도 내지 제17도를 통하여 동일 부분은 동일 부호를 사용하였으며, 반복 설명은 생략한다.
제2도 및 제3도는, 본 발명에 의한 저장 캐비넷 장치를 나타내며, 사각형 상자모양의 하우징(50)의 내부공간은 분리벽(52)에 의해 저장실(54)과 이송실(56)로 분리된다. 이송실(56)은, 하우징(50)의 앞벽(57)에 형성되는 외부 입구(48)를 통하여 하우징(50)의 외부와 연이어 통한다. 외부입구(48)의 크기는, 이 외부입구(48)를 통해, 웨이퍼 카세트(44)와 같은 작업물이 단 한개만 통과하도록 된다.
또한, 이송실(56)은, 분리벽(52)과 원통형 내부벽(68)을 통해 형성되는 수직적인 연장 내부입구(46)를 통하여, 저장실(54)의 내부벽(68)(후술함)의 내부와 연이어 통한다. 내부입구(46)의 수직길이는, 후술하는 래크 기구부의 축길이와 동일하다. 저장실(54)에는, 공기필터 및 송풍기 등의 적절한 수단에 의하여 청정한 공기가 공급되며, 이에 의하여 저장실(54)의 청정도가 소정 수준 이상으로 유지된다.
이송실(56)에는 또한, 이송실(56)내로 끊임없이 청정한 공기를 공급하는 공기공급덕트(도시하지 않음)등의 적절한 수단과, 이송실(56)밖으로 먼지를 배출하는 배출덕트(도시하지 않음)등의 적절한 수단이 마련된다.
제2도에서 나타낸 바와 같이, 저장실(54)에는 천정판(58) 및 바닥판(60)이 마련되며, 이들은, 하우징(50)의 내부면에 유지되고, 각각 하우징(50)의 윗벽(62) 및 아래벽(64)과 마주보게 된다. 모우터실(66)은 하우징(50)의 바닥판(60)과 아래벽(64)에 의해 구획되어진다. 원통형 내부벽(68)은 천정판(58)과 바닥판(60)사이에 세워서 배치되며, 바닥판(60)과 하우징(50)의 내부면에 유지된다.
원통형 내부벽(68)의 내부에는, 회전축(70)이 동축적으로 배치되며, 그의 양 끝단부는 천정판(58) 및 바닥판(60)에 각각 회전 가능하게 접속된다.
부호(72)는, 회전축(70)의 양끝단부를 회전 가능하게 지지하는 베어링이다. 각각의 베어링(72)은, 먼지가 저장실(54)내로 들어가지 않도록 하는 밀폐 자기 유체 유니트(도시하지 않음)를 구비한다.
회전축(70)의 하부끝단부는 모우터실(66)내로 연장되며, 고리형 제2도체(74)와 동축이 되도록 마련된다.
다수개의 제1코일(78)은, 하우징(50)의 아래벽(64)에 고정적으로 접속되어, 제2도체(74)와 마주 대한다. 이들 제1코일(78)과 제2도체(74)는, 회전축(70)을 그의 길이축 주위로 회전하는 리니어 모우터(76)를 구성한다.
제2도에 있어서, 1쌍의 지지디스크(80) 및 (82)는 수직 거리 D1을 두고 회전축(70)에 동축적으로 부착된다.
이들 지지 디스크(80)과 (82)의 사이에는, 원통형 지지프레임(86)이, 회전축(70)이 상기 지지 프레임(86)에 의해 동축적으로 둘러싸이도록, 유지되어 있다. 이 지지 프레임(86)에는, 그의 주위에 일정한 수직간격을 두고 장착된 평행한 고리형 트레이(88)가 다수개 마련된다.
제3도에 나타낸 바와 같이, 다수개의 방사판(90)이 인접하는 2개의 트레이(88)사이에 연장되어 있어서, 인접하는 2개의 트레이(88)사이의 모든 공간이, 상기 방사판(90)에 의하여, 웨이퍼 카세트(44)와 같은 작업물을 저장하는 다수의 개별수납칸(92)으로 나누어진다. 말하자면, 지지 디스크(80) 및 (82)와, 지지프레임(86)과, 트레이(88)와, 방사판(90)은 바깥쪽으로 방사형으로 개방되는 다수개의 개별 카세트 수납칸(92)을구비하는 래크 기구부(84)를 구성한다.
제3도에 나타낸 바와 같이, 그위에 작업물을 수납하는 수평판(94)은, 상기 수평판(94)이 외부입구(48)에 인접하면서 이송실(56)내에 위치하도록, 하우징(50)의 내부면에 유지된다.
또한, 이송실(56)내에는, 저장실(54)내의 각 카세트 수납칸(92)과 수납판(수평판)(94)사이에서 작업물을 이송하는 이송개구(96)가 배치된다.
상기 이송기구(96)는, 수직 가이드레일(98)과, 미끄럼부(100)와, 수평 아암(102) 및 파지핸드(104)를 포함한다. 가이드 레일(98)은, 하우징(50)의 윗벽(62)과 아래벽(64)사이에서 연장되어, 그의 길이축 주위로 회전할 수 있도록 되어 있다.
가이드 레일(98)을 회전시키기 위하여 서어보모우터(도시하지 않음)와 같은 적절한 수단이 마련된다. 미끄럼부(100)는 가이드 레일(98)을 따라서 움직일 수 있도록, 가이드레일(98)에 접속된다. 미끄럼부(100)를 구동하기 위하여, 미끄럼부(100)와 가이드레일(98)사이에 리이드 스크류와 볼너트와 같은 적절한 수단이 배치된다.
수평 아암(102)은 미끄럼부(100)에서 수평적으로 연장되어 있다.
이 아암(102)은 삽입구조로 되어 있으며, 따라서 수평적으로 신장 및 수축할 수 있다. 파지핸드(104)는 수평아암(102)의 마지막 끝단에 부착되며, 벌려지거나 좁혀질 수 있는 1깡의 간격을 둔 평행 파지부(106)를 구비하고 있어서, 파지핸드(104)는 파지부(106)사이에 작업물을 해제 가능하게 파지할 수 있다.
상기와 같이 구성되는 저장 캐비넷에 작업물(44)을 저장하기 위하여, 작업물(44)은 외부입구(48)를 통하여 이송실(56)내로 넣어지고, 수납판(94)위에 놓여진다. 이후, 이송기구(96)가 작업물(44)을 파지하기 위하여 작동하고, 작업물(44)은 파지핸드(104)에 의하여 파지된다. 다음에, 파지핸드(104)는 가이드레일(98)을 회전함으로써 내부입구(46)의 앞위치로 이동하고, 그 높이가 미끄럼부(100)의 미끄럼 운동에 의해 조절되어서, 요망하는 빈 수납칸(92)과 동일한 높이로 된다.
그리고, 수평 아암(102)이, 파지핸드(104)가 카세트 수납칸(92)으로 들어갈때까지 카세트 수납칸을 향해 연장된다. 파지부(106)가 벌려지고 이에 의하여 작업물(44)이 카세트 수납칸(92)내에서 해당 트레이(88)상에 해제된다. 내부입구(46)를 대하는 수직열내의 모든 수납칸(92)들이, 캐비넷으로 들어오는 작업물(44)들에 의해 채워지면, 내부입구(46)를 대하는 또 다른 수납칸 수직열을 이용하도록 하기 위하여 회전축(70)이 회전한다.
또는, 회전축(70)은 작업물(44)이 수납칸(92)으로 들어올때마다 회전할 수도 있다. 캐비넷으로부터 작업물(44)을 꺼내려면, 이송기구(96)가 상술한 작용과 반대로 작동한다.
상술한 바와 같이, 외부입구(48)가 그것을 통하여 통과할 수 있는 작업물(44)이 단 한개만 될 수 있는 크기로 되어 있고, 저장실(54)은 공기가 청정한 상태로 유지되는 이송실(56)을 거쳐 하우징(50)의 외부와 간접적으로 연이어 통하도록 되어 있으므로 외부먼지가 작업물(44)의 저장 및 반출작업시에 저장실(54)내로 들어오지 못하도록 거의 완전하게 차단된다.
또한, 베어링(72)이 밀폐자기 유체 유니트를 구비하고, 회전축(70)이 먼지를 발생시키지 않는 리니어 모우터(76)에 의하여 구동되기 때문에, 저장실(54)의 청정도가 종래의 저장캐비넷 보다 높은 수준으로 유지된다.
따라서, 본 발명에 의한 저장 캐비넷은 먼지에 의한 오염가능성이 극히 낮도록 작업물을 저장할 수 있다.
이송기구(96)를 대체하여, 본 발명의 몇몇 발명자들에 의하여, 1987년 11월 20일자 대한민국 특허출원 "반도체 웨이퍼용 이송로보트"에서 제안된 이송로보트가 이용될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예가 제4도 내지 제7도에 도시되어 있다. 제4도는 본 실시예의 저장 캐비넷(110)이 설치된 클린룸을 나타낸다.
상기 클린룸은 분리벽(112)에 의하여 통로부 영역(114)과 작업부 영역(116)으로 분리된다. 통로부 영역(114)에는 궤도운반기(118)가 웨이퍼 카세트(44)를 이송하기 위하여 작업부 영역 사이에 설치된다. 작업부영역(116)내에는, 저장 캐비넷(110)과, 웨이퍼 카세트(44)를 저장 캐비넷(110) 및 궤도운반기(118)사이에서, 또한 저장캐비넷(110) 및 회전 테이블(119)사이에서 이송하는 이송로보트(120)가 함께 위치된다.
회전 테이블위에 놓인 웨이퍼 카세트(44)는, 다른 로보트에 의하여, 반도체 웨이퍼를 제조하는 장치로 이동될 수 있다. 부호(122)는 통로부 영역(114)과 작업부 영역(116)사이에서 웨이퍼 카세트(44)를 이동시키는 스테이션 기구부이다. 이송로보트(120)는 상술한 대한민국 특허출원 "반도체 웨이퍼용 이송로보트"에서 개시된 것을 이용할 수 있다.
하우징(124)은 이송실이 없는 육면체 상자 같은 구조로 되어 있다.
수직적인 연장입구(125)는 하우징(124)의 앞벽(57)과 내부벽을 통과하여 형성된다. 입구(125)의 수직길이는, 내부벽(130)내의 래크 기구부(126)의 높이와 대략같다. 슬라이딩 도어(127)는, 입구(125)를 개폐하도록 앞벽(57)에 미끄러질 수 있도록 접속된다.
제5도에 나타낸 바와 같이, 래크 기구부(126)는, 윗끝단이 막히고 아래끝단이 개방된 원통형 지지프레임(128)을 포함한다.
상기 개방된 아래끝단을 통하여, 지지프레임(128)의 내부는 모우터실(66)내의 송풍기(182)와 같은 공기공급수단과 연이어 통한다.
다수개의 방사형 아암(131)은 지지프레임(128)을 회전축(70)에 고정적이고 동축적으로 상호 접속시킨다. 속이 비어있는 구조로된 다수개의 대략 평행한 고리형 트레이(132)는 동일한 수직간격을 두고 지지프레임(128)주위에 동축적으로 형성된다.
각각의 트레이(132)는 지지프레임(128)의 내부와 연이어 통한다.
제6도에 나타낸 바와 같이, 래크 기구부(126)의 각 카세트 수납칸(92)에는, 해당 수납칸(92)위의 트레이(132)의 하부벽(상부내면)(134)에 형성되는 공기 흡입구(136)가 마련되어져서, 각 카세트 수납칸(92)은 공기흡입구(136)를 통해 트레이(132)의 내부와 연이어 통한다. 공기 흡입구(136)은 공기를 여과하는 평판형 HEPA 또는 ULPA필터(138)로 덮여 있다.
각 트레이(132)의 상부벽(하부내면)(140)은, 상부벽(140)의 내부모서리(142)가 상부벽(140)의 외부둘레모서리(144)보다 높은 위치에 오도록, 수평면 상에서 경사지게 되어 있다. 말하자면, 각 트레이(132)의 상부벽(140)은, 수납칸(92)내의 기류를 바깥방향으로 방사형적으로 안내하는 안내판의 역할을 한다.
각각의 카세트 수납칸(92)에는, 하우징(124)의 내부벽(130)내에 공기배출구(146)가 마련되어져서, 트레이(132)의 상부벽(140)에 의해 안내된 기류가 공기배출구(146)를 통하여 내부벽(130)의 밖으로 나가도록 한다. 각각의 공기배출구(146)는 원둘레 형상으로 연장된 슬릿형 구조로 되어 있으며, 카세트 수납칸(92)의 아래 부분에 인접하여 위치한다,
각각의 수납칸(92)에는 더우기, 그위에 작업물을 지지하는 1쌍의 지지부재(148)가 마련된다. 각각의 지지부재(148)는 해당 트레이(132)의 상부벽(140)으로부터 윗벽으로 돌출한 내부다리(150) 및 외부다리(152)와, 내부다리(150) 및 외부다리(152)의 위끝단사이의 거리를 연결하는 연결막대(154)로 구성된다.
외부다리(152)는, 내부다리(150)보다 방사상으로 바깥쪽에 위치하며, 내부다리(150)보다 실질적으로 길게되어 있다. 따라서, 연결막대(154)는, 연결막대(154)의 바깥끝단(156)이 안쪽끝단(158)보다 높게 위치되도록, 수평면상에서 경사지게 되어 있다.
제7도에 나타낸 바와 같이, 수납칸(92)내의 1쌍의 지지부재(148)는, 웨이퍼 카세트(44)의 1쌍의 다리부분(160) 및 (162)사이의 거리와 대략 동등한 거리인 수평거리 D2를 두고 평행하게 배열된다.
각각의 연결막대(154)에는 그의 윗면에 걸어맞춤돌기(164)가 마련되어 있다.
따라서, 웨이퍼 카세트(44)는, 그의 다리부분(160) 및 (162)를 각각 연결막대(154)의 윗면에 저지시키면서, 연결막대(154)의 걸어맞춤돌기(164)에 웨이퍼 카세트의 다리 부분(160) 및 (162)를 걸어맞추어, 1쌍의 지지부재(148)위에 놓여지게 된다. 부호(166)은 1쌍의 지지부재(148)사이에 연장된 수평연결로드를 나타낸다.
또한, 부호(168)은, 지지부재(148)위의 웨이퍼 카세트(44)가 연결막대(154)의 윗면에서 아래로 미끄러지는 것을 방지하는 역할을 하도록 연결막대(154)에 부착된 멈춤부재를 나타낸다.
또한, 상술한 바 및 제8도에서 나타낸 바와 같이, 웨이퍼 카세트(44)는 통상 반도체 웨이퍼를 취급하는데 사용되며, 1쌍의 연장 다리부분(160) 및 (162)를 구비한 채널(Channel) 형상의 구조로 되어 있다. 웨이퍼 카세트(44)는 U자형상의 양쪽 끝단면(170) 및 (172)와, 페쇄된 바닥면(173)과, 만곡된 내부면(174)를 구비한다.
다리부분(160) 및 (162)는, 끝단면(170) 및 (172)에 수직으로 연장되도록 바닥면(173)에 형성된다. 다수개의 홈(176)은 카세트(44)의 내부면(174)에 형성되며, 반도체 웨이퍼(178)들이 홈(176)안에 수납될때, 이들 반도체 웨이퍼(178)들이 상호간에, 또한 끝단면(170) 및 (172)에 평행하게 배열되도록 한다.
따라서, 제8도에서 나타낸 바와 같은 웨이퍼 카세트(44)가 수납칸(92)내의 지지부재(148)상에 적절히 위치되면, 카세트에 수납된 웨이퍼(178)들은, 제7도에 나타낸 바와 같이 자연히 수직면으로 경사지게 된다.
제5도에 있어서, 클린룸의 주공기 조절기(도시하지 않음)와 연이어 통하는 공기공급덕트(180)는, 하우징(124)의 윗벽(62)에 접속된다.
따라서, 덕트(180)를 통하여 하우징(124)에 공급되는 청정공기에 의하여 하우징(124)의 내부압력은 대기압보다 높은 수준으로 일정하게 유지된다. 부호(l84)는 하우징(124)내로 도입되는 공기를 여과하는 HEPA 또는 ULPA필터를 나다낸다. 제4도에 나타낸 바와 같이, 4개의 배기구(186)가, 하우징(124)의 4모서리에 인접하는 해당 바닥판(60)에 각각 형성된다,
모우터실(66)내의 송풍기(182)는, 각각 4개의 배기구(186)에 인접하여 위치하여, HEPA 또는 ULPA필터(188)을 통하여 지지프레임(128)의 내부공간과 연이어 통한다. 이들 송풍기(182)는 지지프레임(128)의 내부압력을 외부압력 보다 높게 유지한다.
부호(190)은, 회전축(70)을 제동하며, 회전축의 아래 끝단에 배치되는 자기 브레이크를 나타낸다. 부호(192)는 회전축(70)의 회전을 결정하며, 회전축(70)의 윗끝단에 배치되는 로터리 엔코오더를 나타낸다.
상기와 같은 구성의 저장캐비넷에 있어서, 웨이퍼 카세트(44)는, 슬라이딩 도어(127)을 개방함으로써, 입구(125)를 마주대하는 수납칸(92)으로 넣어지거나 꺼내어질 수 있다. 이러한 저장 및 반출작용은 이송로보트(120)에 의해 행해진다. 요망되는 수납칸(92)은, 리니어 모우터(76)와, 자기 브레이크(190) 및 로터리 엔코오더(192)에 의하여 입구(125)앞에 정확하게 위치될 수 있다.
덕트(180)를 통하여 하우징(124)내에 도입된 청정한 공기는 배기구(186)를 통해 송풍기(182)로 들어가고, 공기필터(188)에 의하여 여과되어져서, 지지프레임(128)의 내부로 공급된다.
지지프레임(128)내에서, 공급된 공기는 아래끝단으로부터 윗끝단으로 을라가고, 각각의 트레이(132)내로 도입된다.
다음에, 공기는, 해당 공기 흡입구(136)에서 공기필터(138)를 통하여 각 카세트 수납칸(92)으로 도입된다. 각 수납칸(92)내에서, 공기는 트레이(132)의 상부벽(140)으로 내려가며, 상부벽(140)에 의해 안내되어 배출구(146)로 나가서, 내부벽(130)의 밖으로 나가게 된다.
내부벽(130)으로부터 배출된 공기는, 다시 송풍기(182)으로 들어가서, 상술한 것과 동일한 방식으로 하우징(124)내를 순환한다. 말하자면, 클린룸내의 수직 부분층류와 동일한 개별 청정기류가, 각 카세트 수납칸(92)의 내부에 형성되며, 수납칸(92)내에서 발생한 먼지는 즉시 공기배출구(146)를 통하여 수납칸(92)으로부터 배출된다.
따라서, 각 수납칸(92)에 저장된 웨이퍼 카세트들이, 하우징(124)의 다른 부분에서 발생한 먼지와 접촉할 가능성이 없어진다.
또한, 각각의 수납칸(92)은, 수납칸(92)내의 기류 방향과 실질적으로 평행한, 반도체 웨이퍼(178)가 수납된 웨이퍼 카세트(44)를 담도록 되어 있어서, 수납칸(92)내에 난기류가 발생되는 불리함이 없게된다.
슬라이딩 도어(127)을 마주대하는 수납칸(92)에는 공기 배출구(146)가 마련되지 않으므로, 이들 수납칸(92)내에는 웨이퍼가 수납되지 않은 빈 카세트만이 저장될 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예가 제9도 내지 제15도에 나타내어져 있다.
제9도 및 제10도에 나타낸 바와 같이, 하우징(194)은 원통형 내부벽을 구비하지 않고 있다.
따라서, 입구(195)는 하우징(194)의 앞벽(57)을 통해서만 형성되며, 래크기구부(196)는 하우징(194)의 내부에 직접 배치된다.
제11도에 나타낸 바와 같이, 이 래크 기구부(196)는 다수개의 방사형 아암(198)과, 다수개의 수직 지지로드(200) 및 다수개의 래크 세그먼트(202)를 포함한다. 방사형 아암(198)은 회전축(70)으로부터 바깥쪽으로 방사상으로 연장된다.
수직지지로드(200)는, 방사형 아암의 바깥끝단에 부착되어서, 회전축(70)을 동축적으로 둘러싼다. 다수개의 연결판(204)은 동일한 수직간격을 두고 각 수직로드(200)의 외부면에 유지된다. 각각의 래크 세그먼트(202)는 원주형으로 인접하는 2개의 연결판(204)사이에 유지된다.
제12도에 나타낸 바와 같이, 각각의 래크 세그먼트(202)는 바깥끝단이 개방된 대략 직사각형 상자 형상구조로 되어 있으며, 이 세그먼트는 그의 내부를 카세트 수납칸(92)으로 구획한다. 래크 세그먼트는 예를들면, 스테인레스강을 단면(One-Piece)구조로 주조하거나, 경량의 대전방지 플라스틱으로 만들어진 유니트패널을 조립하여 제조된 것이다.
공기흡입구(136)의 역할을 하는 개구(제14도에 나타냄)가 래크 세그먼트(202)의 윗벽에 형성된다. 평판형 HEPA 또는 ULPA필터(138)가 상기 개구를 덮도록 윗벽(상부내면)(206)에 유지된다. 세그먼트(202)의 아래벽(하부내면)(208)은 윗벽(206)에 대해 경사지게 되어 있어서, 래크 기구부의 구조상에, 아래벽(208)의 외부모서리가 아래벽(208)의 내부 모서리보다 낮게 위치한다.
한쌍의 지지부재(148)는, 앞서의 실시예(제14도에 나타냄)의 지지부재와 동일한 방식으로 세그먼트(202)의 아래벽(208) 장착된다. 세그먼트(202)의 윗벽(206)에 평행한1쌍의 측면 플랜지(210) 및 (212)는, 각각 세그먼트(202)의 양옆벽(214) 및 (216)으로부터 돌출되어 있다. 양옆조각(222) 및 (224)와, 윗조각(226) 및 아래조각(228)으로 구성되는 창틀형 구조의 사각형 둘레 플랜지가 세그먼트(202)의 개구(220)주위에 형성된다.
제13도에 나타낸 바와 같이, 각 래크 세그먼트(202)의 측면 플랜지(210) 및 (212)는, 해당 래크 세그먼트(202)의 양 측면에 위치하는 연결판(204)에 각각 유지되며, 이에 의하여 각 세그먼트(202)는 연결판(204)에 지지된다. 각각의 래크 세그먼트(202)의 옆조각(222)은, 수직으로 연장된 슬램(230)을 개재하여 원주형으로 인접하는 래크 세그먼트(202)의 옆조각(224)에 접속된다. 밀폐부재(218)는, 슬램(230)과 각각의 옆조각(222) 및 (224)사이의 이음새를 따라 배치된다.
제14도에 나타낸 바와 같이, 각 래크 세그먼트(202)의 윗조각(226)은 상부인접래크 세그먼트(202)의 아래조각(228)에 직접 접속된다.
또한, 밀폐부재(232)(제14도에 나타냄)는, 각 래크 세그먼트(202)와 상부인접 래크 세그먼트(202)사이의 이음새를 따라 배치된다.
따라서, 다수개의 래크 세그먼트(202)는, 선반식으로 배열된 다수개의 카세트 수납칸(92)을 구비하는 대략 원통형인 구조를 형성하도록 조립된다.
제13도 내지 제15도에 도시한 바와 같이, 수직적으로 배열된 카세트 세그먼트(202)의 모든 열(Row)은, 수직 피버트(234)를 축으로 회전하도록 옆조각(222)에 접속되는 스윙도어(236)를 마련하고 있다.
이 스윙도어(236)는 수직으로 연장되는 판으로 구성되며, 도어(236)가 제13도에서 실선으로 나타낸 차폐위치로 피버트 운동하면, 수직으로 배열된 세그먼트(202)의 전체 개구(220)가 스윙도어(236)에 의해 덮이게 된다. 수직으로 배열된 세그먼트(202)와 같은 수효의 수평으로 연장된 개구(238)는, 이들 개구(238)가 공기배출구의 역할을 하도록, 카세트 수납칸(92)의 아래부분의 앞에 있는 스윙도어(236)의 해당 부분에 형성된다. 코일 스프링등의 적절한 수단이, 스윙도어를 차폐위치로 오게 하도록 마련된다.
1쌍의 블래이드(240)는, 래크 기구부(196)의 아래끝단 밑으로 연장되는 피버트(234)의 아래 끝단부에 부착된다. 이들 블래이드(240)는 피버트(234)에서 반대되는 방사방향으로 연장되어서, 스윙도어(236)에 대략 평행하게 된다.
제14도 및 제15도에 나타낸 바와같이, 구동기구(242)가, 스윙도어(236)를 피버트 운동하기 위하여 하우징(194)의 입구(195)에 인접하여 마련된다.
이 구동기구(242)는 하우징(194)의 모우터실(66)내에 고정적으로 배치된 서어보 모우터(244)를 구비한다. 서어보 모우터(244)는, 타이밍 벨트(248)를 개재하여, 하우징(194)에 회선 가능하게 접속되는 풀리(246)에 구동가능하게 접속된다.
1쌍의 걸어맞춤 파지부(250)가 풀리(246)에 구동가능하게 부착되며, 하나의 수직으로 배열된 세그먼트(202)의 열이 하우징(194)의 입구(195)와 마주대할때, 피버트(234)의 아래끝단부가 들어오는 위치에 위치한다.
따라서, 1열의 래크 세그먼트(202)가 입구(195)에 인접하는 위치로 오면, 해당 도어의 피버트(234)의 아래 부분은 걸어맞춤 파지부(250)사이에 위치하게 된다.
따라서, 파지부(250)를 제13도의 시계 반대방향으로 회전시킴으로써, 파지부(250)는 피버트(234)의 블래이드(240)와 걸어맞추어지며, 피버트(234)를 스윙도어(236)과 함께, 제13도의 가상선으로 나타낸 개방위치로 회전시킨다. 도어(236)은 파지부(250)를 시계방향으로 회전시킴으로서 닫혀질 수 있다.
도어(236)을 닫은 후, 회전축(70)이 회전함으로써, 도어의 피버트(234)의 블레이드(240)가 구동기구(242)의 파지부(250)로부터 해제되며, 다른 도어의 피버트(234)의 블레이드(240)가 구동기구(242)의 걸어맞춤파지부(250)사이의 위치로 오게 된다.
상기와 같은 구성으로써, 래크 세그먼트(202)의 수평적 교차 부분이 사각형 공기 필터(138)와 평행이 되기 때문에, 각 수납칸(92)내의 개별 청정기류가 원활하게 유통된다.
또한, 스윙도어(236)가 제2실시예의 원통형 내부벽(130)을 대신하여 사용되기 때문에, 제6도에서와 같은 간극(252)이 인접하는 수납칸(92)사이에 형성되지 않는다. 따라서, 2이상의 수납칸(92)사이의 상호 오염의 불리함이 발생할 가능성이 제거된다.
제2실시예에 있어서는, 내부벽(130)의 내부면을 세척함이 용이하지 않으나, 스윙도어(236)의 내부면은 도어(236)을 개방함에 의해 용이하게 세척된다.
따라서, 하우징(194)내의 청정도가 더욱 향상된다.
또한, 스윙도어(236)는, 수납칸(92)이 입구(195)와 마주대할때, 닫혀진 수납칸(92)이 난기류의 영향을 받지 않도록 한다.
따라서, 웨이퍼 카세트(44)를 입구(195)와 마주대하는 수납칸내에 저장할 수 있게 된다.
제14도 및 제15도의 래크 세그먼트의 변형된 형태가 제16도 및 제17도에 도시되어 있다.
세그먼트의 개구(220)의 아래부분을 단순히 덮는 스윙도어(254)가, 수평피버드(256)주위로 움직이도록, 세그먼트(202)의 윗조각(226)에 피버트를 개재하여 접속된다. 개구(220)의 덮히지 않은 부분은 수납칸(92)의 공기 배출구(238)의 역할을 한다.
웨이퍼 카세트(44)의 저장 또는 반출작용에 있어서, 요망되는 수납칸(92)의 스윙도어(254)만이 열리게 되고, 하우징(194)의 입구(195)를 마주 대하는 다른 수납칸(92)의 스윙도어(254)들은 열리지 않는다.
따라서, 요망하는 수납칸(92)외의 다른 수납칸에 저장된 웨이퍼 카세트들은 입구(195)를 통해 들어오는 외부 먼지에 의한 오염으로부터 거의 완벽하게 보호된다.
비록, 상기한 실시예에 있어서는, 저장 캐비넷이, 반도체 웨이퍼를 수납한 웨이퍼 카세트(44)를 저장하는데 사용되는 것으로 설명되었으나, 이러한 캐비넷은, 여러가지 형식의 어떠한 다른 웨이퍼 카세트를 저장하거나, 높은 청정도 수준의 저장대기가 요구되는 어떠한 다른 작업물의 저장에도 사용될 수 있다.

Claims (14)

  1. 클린룸내에서, 청정한 분위기가 요구되는 작업물을 저장하는 데 사용되는, 방진 저장 캐비넷 장치로서 ; 이를 통하여 작업물이 하우징으로(에서) 들어가거나, 나올 수 있도록 하는 제1입구(48)를 갖고 있는 앞벽(57)을 갖는 하우징(50),(124), 및 (194)과 ; 상기 하우징(50),(124) 및 (194)의 청정도가, 상기 클린룸의 청정도와 동일하거나, 또는 이보다 더 높게 유지되도록 상기 하우징(50),(124) 및 (194)의 내부로 청정한 공기를 공급하는 공기 공급 수단과 ; 그의 길이 축 주위로 회전하도록 상기 하우징(50),(124) 및 (194)내에 회전 가능하게 배설되는 수직 회전축(70)과 ; 상기 회전축(70)을 회전시키는 제1구동 수단과 ; 그들 사이의 먼지에 의한 상호 오염을 방지하기 위하여 서로 분리되며, 그의 내부에 작업물(44)을 저장하고, 바깥쪽을 향해 방사형으로 개방된 다수개의 수납칸(92)을 구비함과 동시에, 상기 회전축(70)에 동축적으로 유지되는, 대략 원통형상의 구조인 래크 기구부(84),(126) 및 (196)들로 구성되는 클린룸내에서 사용되는 방진 저장 캐비넷 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 래크 기구부(84),(126)는 : 상기 회전축(70)에 동심원적으로 접속되는 원통형지지 프레임(86),(128)과 ; 상기 지지 프레임(86),(128)주위에 수직적으로 동일한 간격을 두고 부착되는 다수개의 평행한 고리형 트레이(88),(132)와 ; 인접하는 2개의 트레이 사이의 모든 공간이, 방사판(90)에 의하여 다수개의 상기 수납칸(92)으로 분할되도록, 인접하는 2개의 트레이의 사이에 연장된 다수개의 방사판(90)으로 구성되는 방진 저장 캐비넷 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 래크 기구부(196)가, 상기 대략 원통형인 구조를 형성하기 위하여 서로 접속된 다수개의 래크 세그먼트(202)들로 구성되며, 상기한 각각의 래크 세그먼트(202)는, 한쪽 끝단이 개방된 대략 육면체 상자 구조로 구성되며, 상기 상자 구조는 그의 내부를 상기 수납칸(92)으로 구획하는 방진 저장 캐비넷 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 방진 저장 캐비넷 장치가 : 상기 하우징(50)의 내부를 앞방(56) 및 뒷방(54)으로 분할하여, 상기 앞방(56)은 상기 제1입구(48)를 통하여 상기 하우징(50)의 외부와 연이어 통하도록 하고, 상기 뒷방(54)은 상기 회전축(70) 및 상기 래크 기구부(84)를 수납하도록 함과 동시에, 그를 통하여 상기 뒷방(54)이 상기 앞방(56)과 연이어 통하도록 하며, 작업물이 상기 옆방(56) 및 상기 뒷방(54)의 사이를 통과할 수 있도록 하는 제 2 입구(46)를 구비하는 분리벽(52)과 ; 상기한 앞방(56)에 배설되어, 상기 제1입구(48)와 상기 래크 기구부(84)사이에서 작업물을 이송하는 이송수단(96)을 더욱 포함하여 구성되는 방진저장 캐비넷 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 이송 수단(96)이 : 그의 길이축 주위로 회전하도록 상기 앞방(56)내에 회전 가능하게 배설되는 수직 가이드 레일(98)과 ; 상기 가이드 레일(98)을 따라서 이동하도록 상기 가이드 레일(98)에 미끄러질 수 있도록 접속되는 미끄럼 부재(100)와 ; 수평방향으로 신장 및 수축이 가능하도록 삽입구조로 되어 있으며, 상기 미끄럼 부재(100)에서 수평방향으로 연장되는 수평아암(102)과 ; 작업물을 해제가능하게 파지하도록, 상기 수평 아암(102)의 가장자리 끝단에 부착되는 파지핸드(104)로 구성되는 방진 저장 캐비넷 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제1구동수단이, 상기 회전축(70)에 동축적으로 부착되는 고리형 제2도체(74)와 ; 상기 제2도체(74)와 마주대하도록 상기 하우징(50)내에 배설되는 다수개의 제1코일(78)로 구성되는 리니어 모우터(76)로 구성되는 방진 저장 캐비넷 장치.
  7. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기한 각각의 수납칸(92)은 해당 공기 흡입구(136)를 통해 청정한 공기가 상기 각 수납칸(92)으로 도입되도록 상기 공기 공급 수단과 연이어 통하는 공기 흡입구(136)를 구비하고, 상기 공기 흡입구(136)는 상기 공기 흡입구(136)를 통과하는 공기를 여과하는 공기 필터를 구비하며, 상기 수납칸(92) 들에는 상기 수납칸(92)의 개구부의 상부 부분을 덮는 차폐 수단이 마련되어, 상기 개구의 각각의 하부부분들이 각각의 수납칸(92)에 대한 공기 배출구(146),(238)의 역할을 하도록 되어 있는 방진저장 캐비넷 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기한 각각의 수납칸(92)은 상부 내면(140),(206)과 하부 내면(134),(208)을 구비하고, 상기 공기 흡입구(136)는 각각의 수납칸의 상부내면(140),(206)에 형성되어 각 수납칸(92)내의 기류가 해당 하부 내면(134),(208)을 향해 아래로 흐르도록 하며, 상기한 각 수납칸(92)의 하부내면(134),(208)은 해당 상기 공기 배출구(146),(238)를 향해 아래로 경사지어져 있어, 기류가 상기 공기 배출구(l46),(238)를 향해 완만하게 흐르로록 되어 있는 방진 저장 캐비넷 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 차폐 수단이, 그를 통하여 작업물이 지나가도록 상기 하우징(124)의 제1입구(48)에 인접하는 내부벽(130)부분에 형성되는 제3입구(125)와 ; 상기 수납칸(92)의 앞의 상기 내부벽(130)부분에 형성되어, 상기 수납칸(92)의 개구의 아래부분이 개방된 채로 있게 하는 다수개의 구멍(146); 을 구비함과 동시에, 상기 래크 기구부(126)를 동심원적으로 둘러싸는 원통형 내부벽(130)으로 구성되는 방진저장 캐비넷 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 제1구동수단이, 상기 회전축(70)에 동축적으로 부착되는 고리형 제2도체(74)와 ; 상기 제2도체(74)와 마주대하도록 상기 하우징(124)내에 배설되는 다수개의 제1코일(78)로 구성되는 리니어 모우터(76)로 구성되는 방진 저장 캐비넷 장치.
  11. 제8항에 있어서, 상기 차폐수단이, 다수개의 스윙도어(236)를 구비하고 있고, 각각의 상기한 스윙도어(236)는, 상기 수납칸(92)의 1이상의 개구(220)가, 상기 각 스윙도어(236)의 피버트 운동에 의하여 개방되고 차폐되도록, 상기 래크 기구부(196)에 피버트식으로 접속되는 방진 저장 캐비넷 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기한 각각의 스윙도어(236)가, 상기 해당 수납칸(92)의 개구(220)의 하부 부분이 개방된 채로 있게 하는 1이상의 개구(238)를 구비하는 방진 저장 캐비넷 장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 방진 저장 캐비넷 장치가, 상기 스윙 도어(236)를 피버트 운동시키는 제2구동 수단(242)을 더욱 포함하는 방진 저장 캐비넷 장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 제1구동 수단이, 상기 회전축(70)에 동축적으로 부착되는 고리형 제2도체(74)와; 상기 제2도체(74)와 마주 대하도록 상기 하우징(194)내에 배설되는 다수개의 제1코일(78)로 구성되는 리니어 모우터(76)로 구성되는 방진 저장 캐비넷 장치.
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