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KR920013640A - 유입 및 유출 평형이 이루어지는 재순환 화학조 - Google Patents

유입 및 유출 평형이 이루어지는 재순환 화학조 Download PDF

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KR920013640A
KR920013640A KR1019910024127A KR910024127A KR920013640A KR 920013640 A KR920013640 A KR 920013640A KR 1019910024127 A KR1019910024127 A KR 1019910024127A KR 910024127 A KR910024127 A KR 910024127A KR 920013640 A KR920013640 A KR 920013640A
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drain
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KR1019910024127A
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버만 앨런
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버만 앨런
임텍 프로덕츠, 인크.
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Abstract

내용 없음.

Description

유입 및 유출 평형이 이루어지는 재순환 화학조
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 에칭(etching)이나 세척이나 그 외 제조 작업 중에 일단(batch)의 반도체 웨이퍼를 고온 화학 액체에 침지시키기 위한 화학조의 사시도, 제2도는 관련된 액체 유로의 일정부품들을 개략적으로 도시한 제1도 장치의 부분절개 측면도, 제3도는 상기 도면 장치의 평면도.

Claims (13)

  1. 제품을 일정체적의 화학 액체에 침지시키기 위한 화학조에 있어서, 상기 화학 액체와 상기 제품을 수용하고 화학 액체가 그로부터 오버플로우될 수 있는 상부 에지와 유입구를 가지는 처리용기와, 상기 처리용기로부터 상기 오버플로우를 수용하도록 위치된 경사진 홈통과, 상기 홈통으로부터 상기 오버플로우를 수용하게 위치되고 수직으로 이격된 상부와 하부 유출구를 가지고 상기 제품이 침지될 때 상기 처리용기로부터 배출되는 화학 액체의 체적을 초과하는 체적을 갖는 상기 상부와 하부 유출구사이의 액체 저장영역을 갖는 배수용기와, 상기 배수용기의 상기 하부 유출구를 통하여 화학 액체를 회수하고 회수된 화학 액체를 여과된 상태로 상기 처리용기에 재순환 시키기 위한 펌프 및 여과 수단과, 유입 화학 액체를 상기 조에 이송하는 수단을 구비하고, 상기 배수용기의 상기 상부 유출구를 통한 화학 액체의 유출이 상기 제품의 침지에 따라 일시적으로 증가하고 상기 제품이 상기 처리용기로부터 제거될 때에는 일시적으로 중단되나 일정기간을 지나면 상기 유입과 체적에 있어 실질적으로 동등하도록 구성된 것을 특징으로 하는 화학조.
  2. 제1항에 있어서, 유입 화학 액체를 이송하는 상기 수단이 새로운 재순환되지 않은 화학 액체의 유입을 상기 처리 용기에 제공하는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제1항에 있어서, 유입 화학 액체를 이송하는 상기 수단이 상기 배수 용기의 상기 상부 유출구를 통하여 유출되는 화학 액체의 적어도 일부분을 수용하고 수용된 화학 액체를 상기 처리 용기에 귀환시키기 위해 재정화하는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 장치로부터 화학 액체의 상기 유출을 방출하기위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 배수용기의 상기 상부 유출구가 상기 처리 용기로부터의 오버플로우가 상기 배수용기로 유입하는 유로로부터 떨어져 위치하는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 배수 용기가 상기 처리 용기에 인접하여 위치하고, 화학 액체가 오버플로우될 수 있는 상기 처리 용기의 상기 상부 에지가 상기 처리 용기의 상부 단부의 주연에 따라 실질적으로 연속적이고, 상기 홈통이 상기 처리 용기와 상기 배수용기 모두의 대향 측면과 상기 배수 용기로부터 먼쪽의 상기 처리 용기의 단부를 따라 연장되고, 상기 배수용기의 상기 상부유출구가 상기 배수용기의 상기 대향 측면과 그에 따라 연장되는 상기 홈통의 부분들로부터 이격된 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 배수 용기안의 상기 액체 저장 영역의 상기 체적이, 상기 처리 용기로부터 상기 제품이 제거되고 상기 처리 용기로부터의 오버플로우가 일시적으로 정지한 후에, 상기 배수 용기의 상기 하부유출구 위에 일정 체적의 화학 액체를 유지하기에 충분한 양만큼 배출된 액체의 체적을 초과하는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제7항에 있어서, 액체의 상기 체적이, 상기 배수 용기의 상기 하부 유출구에서의 와류를 방지하고 상기 화학 액체가 상기 하부 유출구로 유입하기 전에 혼입된 기체가 상기 화학 액체로부터 빠져나갈 수 있도록 충분한 높이의 체적인 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 배수 용기의 상기 상부 유출구가 상기 처리 용기의 상기 상부 에지 아래에 이격된 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 배수 용기의 상기 상부 유출구가 상기 배수 용기내에서 바닥으로부터 위로 연장된 수직 직립 파이프에 의해 한정되는 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 직립 파이프는 폐쇄된 상부면을 가지며, 상기 상부 유출구가 상기 직립 파이프의 측벽에 있는 개구로 한정되는 것을 특징으로 하는 장치.
  12. 제품을 일정체적의 화학 액체에 침지시키기 위한 화학조에 있어서, 상기 화학 액체와 상기 제품을 수용하고 화학 액체가 오버플로우될 수 있는 수평으로 연장되는 상부 에지에 의해 한정되는 상부면의 개구와 바닥에 있는 유입구를 갖는 처리 용기와, 상기 처리 용기에 담긴 화학 액체에 열을 전하는 수단과, 상기 상부 에지 아래에 상기 오버플로우를 수용하는 위치에서 상기 처리 용기의 한쪽 단부와 대향 측면을 따라 연장되고 상기 오버플로우를 상기 처리용기의 다른쪽 단부로 전달하기 위해 기울어진 홈통과, 상기 홈통으로부터 상기 오버플로우를 수용하기 위한 위치에 상기 처리 용기의 상기 다른쪽 단부에 인접하여 위치하고 바닥에 있는 하부 유출구와 상기 처리 용기의 상기 상부 에지의 높이 아래에 위치하는 상부 유출구를 구비하고 상기 하부 유출구로부터 상부 유출구 사이의 수직 간격이 상기 제품이 침지됨에 따라 상기 처리 용기로부터 오버플로우되는 액체의 체적을 담기에 필요한 것보다 큰 액체 저장 용량을 상부 유출구 아래에 마련하기에 충분하도록 구성된 배수 저장 용기와, 상기 하부 유출구를 통하여 상기 배수 저장용기로부터 화학 액체를 회수하고 회수된 화학 액체를 여과하고 상기 유입구를 통하여 상기 처리 용기에 여과된 화학 액체를 귀환시키는 펌프 및 여과수단과, 화학 액체원으로부터 유입된 화학액체를 수용하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 화학조.
  13. 제12항에 있어서, 상기 배수용기로부터 상기 상부 유출구를 통하여 방출된 화학 액체를 수용하고 상기 화학 액체원인 재처리를 더 포함하고, 유입 화학 액체가 상기 재처리기에 의하여 재처리된 화학 액체인 것을 특징으로 하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910024127A 1990-12-26 1991-12-24 유입 및 유출 평형이 이루어지는 재순환 화학조 KR920013640A (ko)

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