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KR20230147242A - Apparatus and method of inspecting display - Google Patents

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KR20230147242A
KR20230147242A KR1020220045758A KR20220045758A KR20230147242A KR 20230147242 A KR20230147242 A KR 20230147242A KR 1020220045758 A KR1020220045758 A KR 1020220045758A KR 20220045758 A KR20220045758 A KR 20220045758A KR 20230147242 A KR20230147242 A KR 20230147242A
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KR
South Korea
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light
display device
unit
area
paragraph
Prior art date
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Pending
Application number
KR1020220045758A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
정성우
김기훈
조성진
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성디스플레이 주식회사 filed Critical 삼성디스플레이 주식회사
Priority to KR1020220045758A priority Critical patent/KR20230147242A/en
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Abstract

An inspection device for a display device according to an embodiment of the present invention comprises: a support supporting a display device; a light supply unit that supplies light to the display device; a lens unit through which the light incident on the display device from the light supply unit is reflected and incident; a plurality of polarizing units through which the light passing through the lens unit passes; and a measuring unit that measures the light passing through the plurality of polarizing units, wherein the light is incident to form a first angle with the surface of the display device, and the first angle may not be a right angle. Embodiments are intended to provide the inspection device and method for display devices that can simultaneously inspect surfaces that are not exposed to the outside as well as externally exposed surfaces of a bent or folded display device.

Description

표시 장치의 검사 장치 및 검사 방법 {APPARATUS AND METHOD OF INSPECTING DISPLAY}Inspection device and inspection method of display device {APPARATUS AND METHOD OF INSPECTING DISPLAY}

본 개시는 표시 장치의 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것이다.This disclosure relates to an inspection apparatus and method for a display device.

표시 장치는 액정 표시 장치(liquid crystal display: LCD), 플라즈마 표시 장치(plasma display panel: PDP), 유기 발광 표시 장치(organic light emitting diode device: OLED device), 전계 방출 표시 장치(field emission display: FED), 전기 영동 표시 장치(electrophoretic display device)를 포함한다.Display devices include liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), organic light emitting diode device (OLED device), and field emission display (FED). ), including an electrophoretic display device.

최근 들어, 표시 장치를 구부리거나 접는 방식의 표시 장치가 개발되고 있다.Recently, display devices that bend or fold display devices have been developed.

한편, 표시 장치를 형성한 후, 표시 장치를 검사하는 단계가 필요하다.Meanwhile, after forming the display device, a step of inspecting the display device is necessary.

표시 장치의 검사 단계는 외부에서 입사되는 빛이 표시 장치의 표면에서 왜곡되는 지를 이용하여, 표면에 오목부나 볼록부 등의 불량이 발생했는 지를 검사할 수 있다.In the inspection step of the display device, it is possible to check whether defects such as concave portions or convex portions have occurred on the surface by using whether light incident from the outside is distorted on the surface of the display device.

구부려지거나 접는 방식의 표시 장치의 경우, 검사 단계에서, 외부로 보이는 표면뿐만 아니라 구부려지거나 접어져서 외부로 노출되지 않는 내부의 표면에 대한 검사도 필요하다.In the case of a curved or folded display device, in the inspection stage, it is necessary to inspect not only the externally visible surface but also the internal surface that is not exposed to the outside by being bent or folded.

종래에 외부에서 입사되는 빛을 이용하여 외부에 노출된 표면에서 왜곡되었는 지 여부를 판단하는 장치에 따르면, 외부로 보이는 표면의 불량 여부를 판단할 뿐, 구부려지거나 접어져서 외부로 노출되지 않는 표면에 발생한 불량 여부를 측정하기 어렵다.According to a conventional device that uses light incident from the outside to determine whether a surface exposed to the outside is distorted, it only determines whether the surface visible to the outside is defective, and only determines whether the surface is bent or folded and thus not exposed to the outside. It is difficult to measure whether a defect has occurred.

실시예들은 구부려지거나 접어지는 표시 장치의 외부로 노출된 표면과 함께 외부로 노출되지 않는 표면도 동시에 검사할 수 있는 표시 장치의 검사 장치 및 검사 방법을 제공하기 위한 것이다.Embodiments are intended to provide an inspection device and method for display devices that can simultaneously inspect surfaces that are not exposed to the outside as well as externally exposed surfaces of a bent or folded display device.

그러나, 실시예들이 해결하고자 하는 과제는 상술한 과제에 한정되지 않고 실시예들에 포함된 기술적 사상의 범위에서 다양하게 확장될 수 있다.However, the problems that the embodiments seek to solve are not limited to the above-described problems and can be expanded in various ways within the scope of the technical ideas included in the embodiments.

실시예에 따른 표시 장치의 검사 장치는 표시 장치를 지지하는 지지대, 상기 표시 장치에 빛을 공급하는 광공급부, 상기 광공급부에서 상기 표시 장치에 입사된 상기 빛이 반사되어 입사되는 렌즈부, 상기 렌즈부를 통과한 상기 빛이 통과하는 복수의 편광부, 그리고 상기 복수의 편광부를 통과한 상기 빛을 측정하는 측정부를 포함하고, 상기 빛은 상기 표시 장치의 표면과 제1 각도를 이루도록 입사되고, 상기 제1 각도는 직각이 아닐 수 있다.An inspection device for a display device according to an embodiment includes a support for supporting the display device, a light supply unit for supplying light to the display device, a lens unit through which the light incident on the display device from the light supply unit is reflected and incident, and the lens. a plurality of polarizing units through which the light passing through the unit passes, and a measuring unit measuring the light passing through the plurality of polarizing units, wherein the light is incident to form a first angle with the surface of the display device, and 1 An angle may not be a right angle.

상기 제1 각도는 브루스터각 또는 브루스터각과 유사한 각도일 수 있다.The first angle may be Brewster's angle or an angle similar to Brewster's angle.

상기 광공급부는 선광원을 포함할 수 있다.The light supply unit may include a line light source.

상기 광공급부는 복수 개의 선광원일 수 있다.The light supply unit may be a plurality of line light sources.

상기 렌즈부는 더블 텔레센트릭 렌즈를 포함할 수 있다.The lens unit may include a double telecentric lens.

상기 편광부는 편광 방향이 서로 다른 제1 편광부와 제2 편광부를 포함할 수 있다.The polarization unit may include a first polarization unit and a second polarization unit having different polarization directions.

상기 측정부는 상기 제1 편광부를 통과한 제1 편광을 감지하는 제1 감지 영역과 상기 제2 편광부를 통과한 제2 편광을 감지하는 제2 감지 영역을 포함할 수 있다.The measuring unit may include a first sensing area that detects first polarized light that has passed through the first polarizing unit and a second sensing area that detects second polarized light that has passed through the second polarizing unit.

상기 제1 감지 영역의 면적과 상기 제2 감지 영역의 면적은 서로 거의 같을 수 있다.The area of the first sensing area and the area of the second sensing area may be approximately equal to each other.

상기 제1 감지 영역과 상기 제2 감지 영역의 일부분은 서로 중첩할 수 있다.Parts of the first sensing area and the second sensing area may overlap each other.

상기 감지 영역은 상기 편광부를 통과하지 않은 빛을 감지하는 제3 감지 영역을 더 포함할 수 있다.The sensing area may further include a third sensing area that detects light that does not pass through the polarization unit.

상기 제3 감지 영역은 상기 제1 감지 영역과 상기 제2 감지 영역 사이에 위치할 수 있다.The third sensing area may be located between the first sensing area and the second sensing area.

한 실시예에 따른 표시 장치의 검사 방법은 제1 부분과 상기 제1 부분 위에 위치하는 제2 부분을 포함하는 표시 장치에 빛을 공급하는 단계, 상기 표시 장치의 상기 제2 부분에서 반사된 제1 빛을 제1 편광부에 통과시켜 제1 편광하는 단계, 상기 표시 장치의 상기 제1 부분에서 반사된 제2 빛을 제2 편광부에 통과시켜 제2 편광하는 단계, 그리고 상기 제1 편광된 제1 편광과 상기 제2 편광된 제2 편광을 동시에 감지할 수 있다.A method for inspecting a display device according to an embodiment includes supplying light to a display device including a first portion and a second portion located above the first portion, the first portion reflected from the second portion of the display device. first polarizing light by passing it through a first polarizer, secondly polarizing the second light reflected from the first portion of the display device by passing it through a second polarizer, and secondly polarizing the second light reflected from the first portion of the display device. First polarized light and the second polarized light can be detected simultaneously.

상기 제1 빛과 상기 제2 빛을 렌즈부에 통과시키는 단계를 더 포함할 수 있다.The method may further include passing the first light and the second light through a lens unit.

제1 감지 영역과 제2 감지 영역을 포함하는 감지부를 이용하여, 상기 제1 편광을 상기 제1 감지 영역에서 감지하고, 상기 제2 편광을 상기 제2 영역에서 감지할 수 있다.Using a sensing unit including a first sensing area and a second sensing area, the first polarized light can be detected in the first sensing area and the second polarized light can be detected in the second sensing area.

상기 감지하는 단계는 상기 표시 장치의 상기 제2 부분의 위치에 따른 상기 제1 편광의 강도 차이를 감지할 수 있다.The detecting step may detect a difference in intensity of the first polarized light depending on the position of the second portion of the display device.

상기 감지하는 단계는 상기 표시 장치의 상기 제1 부분의 위치에 따른 상기 제2 편광의 강도 차이를 감지할 수 있다.The detecting step may detect a difference in intensity of the second polarized light depending on the position of the first portion of the display device.

제1 감지 영역과 제2 감지 영역을 포함하는 감지부를 이용하여, 상기 제1 편광의 상기 강도 차이를 상기 제1 감지 영역에서 감지하고, 상기 제2 편광의 상기 강도 차이를 상기 제2 영역에서 감지할 수 있다.Using a detection unit including a first detection area and a second detection area, the intensity difference of the first polarized light is detected in the first detection area, and the intensity difference of the second polarization is detected in the second area. can do.

상기 검사 방법은 상기 제1 편광과 상기 제2 편광 외에 편광되지 않은 추가 광을 감지하는 단계를 더 포함할 수 있다.The inspection method may further include detecting additional unpolarized light in addition to the first polarized light and the second polarized light.

실시예들에 따른 표시 장치의 검사 장치 및 검사 방법에 따르면, 구부려지거나 접어지는 표시 장치의 외부로 노출된 표면과 함께 외부로 노출되지 않는 표면도 동시에 검사할 수 있다.According to the inspection device and inspection method for a display device according to embodiments, the externally exposed surface and the externally exposed surface of the bent or folded display device can be inspected at the same time.

그러나, 실시예들의 효과는 상술한 효과에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있음이 자명하다.However, it is obvious that the effects of the embodiments are not limited to the effects described above and can be expanded in various ways without departing from the spirit and scope of the present invention.

도 1은 한 실시예에 따른 표시 장치의 검사 장치의 개념도이다.
도 2 내지 도 4는 한 실시예에 따른 표시 장치의 검사 장치의 감지부의 감지 영역의 예를 도시한다.
도 5 내지 도 7은 표시 장치의 제1 검사 방법을 도시한 개념도이다.
도 8 내지 도 10은 표시 장치의 제2 검사 방법을 도시한 개념도이다.
도 11 내지 도 13은 표시 장치의 제3 검사 방법을 도시한 개념도이다.
도 14 내지 도 16은 표시 장치의 제4 검사 방법을 도시한 개념도이다.1 is a conceptual diagram of an inspection device for a display device according to an embodiment.
2 to 4 show an example of a sensing area of a sensing unit of an inspection device for a display device according to an exemplary embodiment.
5 to 7 are conceptual diagrams showing a first inspection method of a display device.
8 to 10 are conceptual diagrams illustrating a second inspection method of a display device.
11 to 13 are conceptual diagrams showing a third inspection method of a display device.
14 to 16 are conceptual diagrams showing a fourth inspection method of a display device.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.Hereinafter, with reference to the attached drawings, various embodiments of the present invention will be described in detail so that those skilled in the art can easily implement the present invention. The invention may be implemented in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다. In order to clearly explain the present invention, parts that are not relevant to the description are omitted, and identical or similar components are assigned the same reference numerals throughout the specification.

또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.In addition, the attached drawings are only for easy understanding of the embodiments disclosed in this specification, and the technical idea disclosed in this specification is not limited by the attached drawings, and all changes included in the spirit and technical scope of the present invention are not limited. , should be understood to include equivalents or substitutes.

또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다.In addition, the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of explanation, so the present invention is not necessarily limited to what is shown. In the drawing, the thickness is enlarged to clearly express various layers and regions. And in the drawings, for convenience of explanation, the thicknesses of some layers and regions are exaggerated.

또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 또한, 기준이 되는 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 하는 것은 기준이 되는 부분의 위 또는 아래에 위치하는 것이고, 반드시 중력 반대 방향 쪽으로 "위에" 또는 "상에" 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.Additionally, when a part of a layer, membrane, region, plate, etc. is said to be “on” or “on” another part, this includes not only cases where it is “directly above” another part, but also cases where there is another part in between. . Conversely, when a part is said to be “right on top” of another part, it means that there is no other part in between. In addition, being “on” or “on” a reference portion means being located above or below the reference portion, and does not necessarily mean being located “above” or “on” the direction opposite to gravity. .

또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.In addition, throughout the specification, when a part is said to "include" a certain component, this means that it may further include other components rather than excluding other components, unless specifically stated to the contrary.

또한, 명세서 전체에서, "평면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 위에서 보았을 때를 의미하며, "단면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 수직으로 자른 단면을 옆에서 보았을 때를 의미한다.In addition, throughout the specification, when referring to “on a plane,” this means when the target portion is viewed from above, and when referring to “in cross section,” this means when a cross section of the target portion is cut vertically and viewed from the side.

또한, 명세서 전체에서, "연결된다"라고 할 때, 이는 둘 이상의 구성요소가 직접적으로 연결되는 것만을 의미하는 것이 아니고, 둘 이상의 구성요소가 다른 구성요소를 통하여 간접적으로 연결되는 것, 물리적으로 연결되는 것뿐만 아니라 전기적으로 연결되는 것, 또는 위치나 기능에 따라 상이한 명칭들로 지칭되었으나 일체인 것을 의미할 수 있다.In addition, throughout the specification, when "connected" is used, this does not mean that two or more components are directly connected, but rather that two or more components are indirectly connected through other components, or physically connected. It can mean not only being connected but also being electrically connected, or being integrated although referred to by different names depending on location or function.

이하에서는 도면을 참조하여 다양한 실시예와 변형예들을 상세하게 설명한다.Hereinafter, various embodiments and modifications will be described in detail with reference to the drawings.

도 1을 참고하여, 한 실시예에 표시 장치의 검사 장치(1000)에 대하여 설명한다. 도 1은 한 실시예에 따른 표시 장치의 검사 장치의 개념도이다.Referring to FIG. 1 , an inspection device 1000 for a display device according to an embodiment will be described. 1 is a conceptual diagram of an inspection device for a display device according to an embodiment.

도 1을 참고하면, 한 실시예에 표시 장치의 검사 장치(1000)는 검사 대상 표시 장치(DP)를 지지하고, 이동 방향(MD)을 따라 이동 가능한 지지대(SP), 표시 장치(DP)에 빛을 공급하는 광공급부(LS), 광공급부에서 공급된 입사광(IL) 중 표시 장치(DP)에서 반사된 반사광(SLSa, SLSb)이 통과하는 렌즈부(LZ), 렌즈부(LZ)를 통과한 빛이 통과하는 편광부(PL1, PL2), 그리고 편광부(PL1, PL2)를 통과한 빛을 감지하여 측정하는 측정부(IM)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, in one embodiment, the inspection device 1000 of a display device supports a display device DP to be inspected, a support SP movable along a moving direction MD, and a display device DP. The light supply unit (LS) that supplies light, the lens unit (LZ) through which the reflected light (SLSa, SLSb) reflected from the display device (DP) among the incident light (IL) supplied from the light supply unit passes, and the lens unit (LZ) passes through. It may include a polarizing unit (PL1, PL2) through which light passes, and a measuring unit (IM) that detects and measures the light passing through the polarizing units (PL1, PL2).

검사 대상 표시 장치(DP)는 굽어지거나 접어질 수 있고, 표시 장치(DP)는 제1 부분(DP1)과 제1 부분(DP1) 위에 위치하는 제2 부분(DP2)을 포함할 수 있다. 따라서, 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)은 외부로 노출되는 표면을 가질 수 있고, 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)의 표면은 외부로 노출되지 않을 수 있다.The display device DP to be inspected may be bent or folded, and the display device DP may include a first part DP1 and a second part DP2 positioned on the first part DP1. Accordingly, the second part DP2 of the display device DP may have a surface exposed to the outside, and the surface of the first part DP1 of the display device DP may not be exposed to the outside.

검사 대상 표시 장치(DP)는 지지대(SP) 위에 위치할 수 있고, 검사 대상 표시 장치(DP)가 지지대(SP) 위에 위치한 상태에서 지지대(SP)는 이동 방향(MD)을 따라 이동하면서, 표시 장치(DP)의 검사가 진행될 수 있다.The inspection target display device (DP) may be located on the support (SP), and while the inspection target display device (DP) is located on the support (SP), the support (SP) moves along the movement direction (MD) and displays Inspection of the device (DP) may proceed.

광공급부(LS)는 복수 개, 예를 들어 두 개의 선광원을 포함할 수 있고, 광공급부(LS)는 예를 들어, 바(bar) 형태의 라인 스캔용 광원일 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다. 광공급부(LS)는 대상 표시 장치(DP)의 표면에 수직이 아닌 제1 각도(θ)로 빛을 공급할 수 있다. 예를 들어, 제1 각도(θ)는 브루스터각 또는 브루스터각과 유사한 각도를 가질 수 있다.The light supply unit LS may include a plurality of line light sources, for example, two, and the light supply unit LS may be, for example, a bar-shaped line scan light source, but is not limited thereto. No. The light supply unit LS may supply light to the surface of the target display device DP at a first angle θ that is not perpendicular to the surface. For example, the first angle θ may have Brewster's angle or an angle similar to Brewster's angle.

렌즈부(LZ)는 더블 텔레센트릭 렌즈(Double Telecentric Lens)를 포함할 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다. 렌즈부(LZ)는 외부에서 입사되는 불필요한 빛이 측정부(IM) 쪽으로 통과되는 것을 방지하고, 표시 장치(DP)에서 반사된 반사광(SLSa, SLSb)을 평행화(collimation)하여 평행화된 빛(collimated light)이 편광부(PL1, PL2)에 입사되도록 한다.The lens unit (LZ) may include, but is not limited to, a double telecentric lens. The lens unit (LZ) prevents unnecessary light incident from the outside from passing through the measurement unit (IM) and collimates the reflected light (SLSa, SLSb) reflected from the display device (DP) to produce collimated light. (collimated light) is incident on the polarization units (PL1 and PL2).

편광부(PL1, PL2)는 복수의 편광부를 포함할 수 있다. 편광부(PL1, PL2)는 제1 편광부(PL1)와 제2 편광부(PL2)를 포함할 수 있고, 제1 편광부(PL1)와 제2 편광부(PL2)는 렌즈부(LZ)를 통과한 반사광(SLSa, SLSb)의 진행 방향과 수직을 이루도록 배치될 수 있다.The polarization units PL1 and PL2 may include a plurality of polarization units. The polarization units PL1 and PL2 may include a first polarization unit PL1 and a second polarization unit PL2, and the first polarization unit PL1 and the second polarization unit PL2 may include the lens unit LZ. It can be arranged to be perpendicular to the direction of travel of the reflected light (SLSa, SLSb) passing through.

제1 편광부(PL1)와 제2 편광부(PL2)의 편광 방향은 서로 다를 수 있다. 예를 들어, 제1 편광부(PL1)는 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면에서 반사된 빛을 통과시키고, 제2 편광부(PL2)는 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)의 표면에서 반사된 빛을 통과시킬 수 있다.The polarization directions of the first polarization unit PL1 and the second polarization unit PL2 may be different from each other. For example, the first polarizing part PL1 passes the light reflected from the surface of the second part DP2 of the display device DP, and the second polarizing part PL2 passes the light reflected from the surface of the second part DP2 of the display device DP. Light reflected from the surface of the portion DP1 can be passed.

측정부(IM)는 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면에서 반사되어, 렌즈부(LZ)를 통과한 후, 제1 편광부(PL1)를 통과한 제1 편광된 제1 편광(polarized light)(SLSa1)과 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)의 표면에서 반사되어 렌즈부(LZ)를 통과한 후, 제2 편광부(PL2)를 통과한 제2 편광된 제2 편광(SLSb1)을 감지하여, 제1 편광(SLSa1)과 제2 편광(SLSb1)에 따른 이미지를 획득할 수 있다.The measuring unit IM reflects the first polarized light that is reflected from the surface of the second part DP2 of the display device DP, passes through the lens unit LZ, and then passes through the first polarizing unit PL1. Polarized light (SLSa1) is reflected from the surface of the first part (DP1) of the display device (DP), passes through the lens unit (LZ), and then passes through the second polarization unit (PL2). By detecting the second polarization (SLSb1), images according to the first polarization (SLSa1) and the second polarization (SLSb1) can be acquired.

측정부(IM)는 멀티(multi) ROI(Region of Interest) 카메라(camera)일 수 있다. 측정부(IM)는 에어리어 타입의 카메라(Area camera type)일 수 있고, 측정부(IM)가 대상체를 영역을 측정함으로써, 측정부 전체면의 초점을 맞출 필요가 있다. 이를 위에, 측정부(IM)의 측정 대상인 반사광(SLSa, SLSb)의 연장선, 렌즈부(LZ)의 연장선, 측정부(IM)의 이미지 센서의 촬상면의 연장선이 만나도록 조절될 수 있다.The measurement unit (IM) may be a multi-ROI (Region of Interest) camera. The measurement unit (IM) may be an area camera type, and by measuring the area of the object, the measurement unit (IM) needs to focus the entire surface of the measurement unit. On top of this, it can be adjusted so that the extension lines of the reflected light (SLSa, SLSb) that are the measurement targets of the measurement unit (IM), the extension lines of the lens unit (LZ), and the extension lines of the imaging surface of the image sensor of the measurement unit (IM) meet.

그러면, 도 1과 함께 도 2 내지 도 4를 참고하여, 한 실시예에 따른 표시 장치의 검사 장치의 감지부의 감지 영역에 대하여 설명한다. 도 2 내지 도 4는 한 실시예에 따른 표시 장치의 검사 장치의 감지부의 감지 영역의 예를 도시한다.Next, referring to FIGS. 2 to 4 along with FIG. 1 , a detection area of the detection unit of the inspection device for a display device according to an embodiment will be described. 2 to 4 show an example of a sensing area of a sensing unit of an inspection device for a display device according to an exemplary embodiment.

도 2를 참고하면, 한 실시예에 따른 표시 장치의 검사 장치의 감지부의 감지 영역은 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면에서 반사되어, 렌즈부(LZ)를 통과한 후 제1 편광부(PL1)를 통과한 제1 편광된 제1 편광(SLSa1)을 감지하는 제1 감지 영역(IM1)과 제1 편광(SLSa1)과 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)의 표면에서 반사되어 렌즈부(LZ)를 통과한 후 제2 편광부(PL2)를 통과한 제2 편광된 제2 편광(SLSb1)을 감지하는 제2 감지 영역(IM2)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 2, the detection area of the detection unit of the inspection device of the display device according to one embodiment is reflected from the surface of the second part DP2 of the display device DP, passes through the lens unit LZ, and then 1 A first detection area (IM1) that detects the first polarized light (SLSa1) that has passed through the polarization unit (PL1) and the first polarized light (SLSa1) and the first portion (DP1) of the display device (DP) It may include a second sensing area IM2 that detects the second polarized light SLSb1 that is reflected from the surface, passes through the lens unit LZ, and then passes through the second polarizing unit PL2.

도 2에 도시한 실시예에 따르면, 제1 편광부(PL1)의 제1 편광 영역(PL1P)을 통과한 제1 편광(SLSa1)을 감지하는 제1 감지 영역(IM1)과 제2 편광부(PL2)의 제2 편광 영역(PL2P)을 통과한 제2 편광(SLSb1)을 감지하는 제2 감지 영역(IM2)은 각각 전체 감지 영역의 약 반일 수 있고, 서로 나란할 수 있다. 제1 편광부(PL1)의 제1 편광 영역(PL1P)과 제2 편광부(PL2)의 제2 편광 영역(PL2P)의 영역도 서로 거의 같을 수 있다.According to the embodiment shown in FIG. 2, the first detection area IM1 and the second polarization unit detect the first polarization SLSa1 passing through the first polarization area PL1P of the first polarization unit PL1. The second sensing areas IM2 that detect the second polarized light SLSb1 that have passed through the second polarization area PL2P of PL2 may each be about half of the entire sensing area and may be parallel to each other. The areas of the first polarization area PL1P of the first polarization unit PL1 and the second polarization area PL2P of the second polarization unit PL2 may also be substantially equal to each other.

이처럼, 측정부(IM)의 감지 영역은 제1 편광부(PL1)를 통과한 제1 편광(SLSa1)을 감지하는 제1 감지 영역(IM1)과 제2 편광부(PL2)를 통과한 제2 편광(SLSb1)을 감지하는 제2 감지 영역(IM2)을 포함함으로써, 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)의 표면에서 반사된 빛과 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면에서 반사된 빛을 함께 감지할 수 있다.In this way, the sensing area of the measurement unit (IM) is a first sensing area (IM1) that detects the first polarized light (SLSa1) passing through the first polarizing unit (PL1) and a second sensing area (IM1) detecting the first polarizing light (SLSa1) passing through the second polarizing unit (PL2). By including a second sensing area (IM2) for detecting polarized light (SLSb1), the light reflected from the surface of the first part (DP1) of the display device (DP) and the second part (DP2) of the display device (DP) Light reflected from the surface can also be detected.

도 3을 참고하면, 한 실시예에 따른 표시 장치의 검사 장치의 감지부의 감지 영역은 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면에서 반사되어, 렌즈부(LZ)를 통과한 후 제1 편광부(PL1)를 통과한 제1 편광된 제1 편광(SLSa1)을 감지하는 제1 감지 영역(IM1)과 제1 편광(SLSa1)과 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)의 표면에서 반사되어 렌즈부(LZ)를 통과한 후 제2 편광부(PL2)를 통과한 제2 편광된 제2 편광(SLSb1)을 감지하는 제2 감지 영역(IM2)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3, the detection area of the detection unit of the inspection device of the display device according to one embodiment is reflected from the surface of the second part DP2 of the display device DP, passes through the lens unit LZ, and then is detected by the second part DP2. 1 A first detection area (IM1) that detects the first polarized light (SLSa1) that has passed through the polarization unit (PL1) and the first polarized light (SLSa1) and the first portion (DP1) of the display device (DP) It may include a second sensing area IM2 that detects the second polarized light SLSb1 that is reflected from the surface, passes through the lens unit LZ, and then passes through the second polarizing unit PL2.

도 3에 도시한 실시예에 따르면, 제1 편광부(PL1)의 제1 편광 영역(PL1P)을 통과한 제1 편광(SLSa1)을 감지하는 제1 감지 영역(IM1)과 제2 편광부(PL2)의 제2 편광 영역(PL2P)을 통과한 제2 편광(SLSb1)을 감지하는 제2 감지 영역(IM2)은 각각 전체 감지 영역의 약 반일 수 있다. 그러나, 도 2에 도시한 실시예와는 다르게, 제1 감지 영역(IM1)과 제2 감지 영역(IM2)은 서로 나란하지 않고, 일부 중첩할 수 있다. 그러나, 중첩 부분의 면적은 중첩하지 않는 부분의 면적보다 작을 수 있다. 이와 유사하게, 제1 편광부(PL1)의 제1 편광 영역(PL1P)과 제2 편광부(PL2)의 제2 편광 영역(PL2P) 역시 서로 나란하지 않을 수 있고, 서로 일부분 중첩할 수도 있다. 제1 편광부(PL1)의 제1 편광 영역(PL1P)과 제2 편광부(PL2)의 제2 편광 영역(PL2P)의 배치 및 제1 감지 영역(IM1)과 제2 감지 영역(IM2)의 배치는 광공급부에서 공급된 입사광(IL)의 입사 각도에 의해 변화될 수 있다.According to the embodiment shown in FIG. 3, the first detection area IM1 and the second polarization unit detect the first polarization SLSa1 passing through the first polarization area PL1P of the first polarization unit PL1. The second sensing areas IM2 that sense the second polarization SLSb1 that has passed through the second polarization area PL2P of PL2 may each be about half of the entire sensing area. However, unlike the embodiment shown in FIG. 2, the first sensing area IM1 and the second sensing area IM2 are not parallel to each other and may partially overlap. However, the area of the overlapping portion may be smaller than the area of the non-overlapping portion. Similarly, the first polarization area PL1P of the first polarization unit PL1 and the second polarization area PL2P of the second polarization unit PL2 may not be aligned with each other and may partially overlap each other. The arrangement of the first polarization area PL1P of the first polarization unit PL1 and the second polarization area PL2P of the second polarization unit PL2 and the arrangement of the first detection area IM1 and the second detection area IM2 The arrangement can be changed depending on the incident angle of the incident light (IL) supplied from the light supply unit.

이처럼, 측정부(IM)의 감지 영역은 제1 편광부(PL1)를 통과한 제1 편광(SLSa1)을 감지하는 제1 감지 영역(IM1)과 제2 편광부(PL2)를 통과한 제2 편광(SLSb1)을 감지하는 제2 감지 영역(IM2)을 포함함으로써, 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)의 표면에서 반사된 빛과 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면에서 반사된 빛을 함께 감지할 수 있다.In this way, the sensing area of the measurement unit (IM) is a first sensing area (IM1) that detects the first polarized light (SLSa1) passing through the first polarizing unit (PL1) and a second sensing area (IM1) detecting the first polarizing light (SLSa1) passing through the second polarizing unit (PL2). By including a second sensing area (IM2) for detecting polarized light (SLSb1), the light reflected from the surface of the first part (DP1) of the display device (DP) and the second part (DP2) of the display device (DP) Light reflected from the surface can also be detected.

도 4를 참고하면, 한 실시예에 따른 표시 장치의 검사 장치의 감지부의 감지 영역은 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면에서 반사되어, 렌즈부(LZ)를 통과한 후 제1 편광부(PL1)를 통과한 제1 편광된 제1 편광(SLSa1)을 감지하는 제1 감지 영역(IM1)과 제1 편광(SLSa1)과 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)의 표면에서 반사되어 렌즈부(LZ)를 통과한 후 제2 편광부(PL2)를 통과한 제2 편광된 제2 편광(SLSb1)을 감지하는 제2 감지 영역(IM2), 그리고 편광되지 않은 빛을 감지할 수 있는 제3 감지 영역(IMa)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 4, the detection area of the detection unit of the inspection device of the display device according to one embodiment is reflected from the surface of the second part DP2 of the display device DP, passes through the lens unit LZ, and then is detected by the second part DP2. 1 A first detection area (IM1) that detects the first polarized light (SLSa1) that has passed through the polarization unit (PL1) and the first polarized light (SLSa1) and the first portion (DP1) of the display device (DP) A second detection area (IM2) that detects the second polarized light (SLSb1) that is reflected from the surface, passes through the lens unit (LZ), and then passes through the second polarizer (PL2), and unpolarized light It may include a third sensing area (IMa) capable of sensing.

도 4에 도시한 실시예에 따르면, 제1 편광부(PL1)의 제1 편광 영역(PL1P)을 통과한 제1 편광(SLSa1)을 감지하는 제1 감지 영역(IM1)과 제2 편광부(PL2)의 제2 편광 영역(PL2P)을 통과한 제2 편광(SLSb1)을 감지하는 제2 감지 영역(IM2)은 각각 전체 감지 영역의 반보다 작을 수 있고, 서로 나란할 수 있다. 편광되지 않은 빛을 감지할 수 있는 제3 감지 영역(IMa)은 제1 감지 영역(IM1)과 제2 감지 영역(IM2) 사이에 위치할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.According to the embodiment shown in FIG. 4, the first detection area IM1 and the second polarization unit detect the first polarization SLSa1 passing through the first polarization area PL1P of the first polarization unit PL1. The second sensing areas IM2 that detect the second polarization SLSb1 that have passed through the second polarization area PL2P of PL2 may each be smaller than half of the entire sensing area and may be parallel to each other. The third sensing area (IMa) capable of detecting unpolarized light may be located between the first sensing area (IM1) and the second sensing area (IM2), but is not limited to this.

이처럼, 측정부(IM)의 감지 영역은 제1 편광부(PL1)를 통과한 제1 편광(SLSa1)을 감지하는 제1 감지 영역(IM1)과 제2 편광부(PL2)를 통과한 제2 편광(SLSb1)을 감지하는 제2 감지 영역(IM2)을 포함함으로써, 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)의 표면에서 반사된 빛과 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면에서 반사된 빛을 함께 감지할 수 있다.In this way, the sensing area of the measurement unit (IM) is a first sensing area (IM1) that detects the first polarized light (SLSa1) passing through the first polarizing unit (PL1) and a second sensing area (IM1) detecting the first polarizing light (SLSa1) passing through the second polarizing unit (PL2). By including a second sensing area (IM2) for detecting polarized light (SLSb1), the light reflected from the surface of the first part (DP1) of the display device (DP) and the second part (DP2) of the display device (DP) Light reflected from the surface can also be detected.

또한, 측정부(IM)의 감지 영역은 편광되지 않은 빛을 감지할 수 있는 제3 감지 영역(IMa)을 더 포함함으로써, 서로 중첩하는 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)과 제2 부분(DP2) 외에 표시 장치(DP)의 다른 부분의 표면의 불량을 감지할 수도 있다.In addition, the sensing area of the measuring unit IM further includes a third sensing area IMa capable of detecting unpolarized light, so that the first portion DP1 and the second portion of the display device DP overlap each other. In addition to the portion DP2, surface defects of other portions of the display device DP may be detected.

그러면, 도 1 내지 도 4와 함께 도 5 내지 도 7을 참고하여, 한 실시예에 따른 제1 검사 방법에 대하여 설명한다. 도 5 내지 도 7은 표시 장치의 제1 검사 방법을 도시한 개념도이다.Then, referring to FIGS. 5 to 7 along with FIGS. 1 to 4, a first inspection method according to an embodiment will be described. 5 to 7 are conceptual diagrams showing a first inspection method of a display device.

제1 검사 방법은 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)에 오목부와 같은 불량이 발생한 경우에 대한 검사 방법이다.The first inspection method is an inspection method for cases where a defect such as a concave portion occurs in the second portion DP2 of the display device DP.

도 5를 참고하면, 광공급부에서 공급된 입사광(IL)은 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면에서 일부분 반사되어 제1 반사광(RL1)이 될 수 있고, 광공급부에서 공급된 입사광(IL)은 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면을 통과할 수 있고, 통과한 광(TL)은 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)의 표면에서 반사되어 제2 반사광(RL21)이 될 수 있고, 제2 반사광(RL21)은 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면에서 굴절하여 외부로 방출되는 제3 반사광(RL22)이 될 수 있다.Referring to FIG. 5, the incident light IL supplied from the light supply unit may be partially reflected from the surface of the second part DP2 of the display device DP to become the first reflected light RL1, and the incident light IL supplied from the light supply unit may be partially reflected from the surface of the second part DP2 of the display device DP. The incident light IL may pass through the surface of the second part DP2 of the display device DP, and the passing light TL may be reflected from the surface of the first part DP1 of the display device DP. 2 may be the reflected light RL21, and the second reflected light RL21 may be refracted on the surface of the second part DP2 of the display device DP and become the third reflected light RL22 emitted to the outside.

이 때, 광공급부에서 공급된 입사광(IL)은 표시 장치(DP)의 표면에 수직이 아닌 제1 각도(θ)를 가지도록 입사될 수 있고, 예를 들어, 제1 각도(θ)는 브루스터각 또는 브루스터각에 가까운 각도를 가질 수 있으며, 이에 의해 제1 반사광(RL1)과 제3 반사광(RL22)의 편광 방향은 서로 다를 수 있다.At this time, the incident light IL supplied from the light supply unit may be incident on the surface of the display device DP to have a first angle θ that is not perpendicular to the surface. For example, the first angle θ may be the Brewster It may have an angle or an angle close to Brewster's angle, whereby the polarization directions of the first reflected light RL1 and the third reflected light RL22 may be different from each other.

도 1과 함께 도 6을 참고하면, 서로 다른 편광 방향을 가지는 제1 반사광(RL1)과 제3 반사광(RL22)은 렌즈부(LZ)와 제1 편광부(PL1) 및 제2 편광부(PL2)를 통과한 후, 제1 편광부(PL1)를 통과한 편광(SL)만 감지 장치(S)에 입사될 수 있다. 감지 장치(S)는 카메라와 같은 광 감지 장치일 수 있고, 앞서 설명한 바와 같이, 제1 편광부(PL1)를 통과한 제1 편광(SLSa1)을 감지하는 제1 감지 영역(IM1)과 제2 편광부(PL2)를 통과한 제2 편광(SLSb1)을 감지하는 제2 감지 영역(IM2)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 6 together with FIG. 1 , the first reflected light RL1 and the third reflected light RL22 having different polarization directions are transmitted through the lens unit LZ, the first polarization unit PL1, and the second polarization unit PL2. ), only the polarized light SL that has passed through the first polarization unit PL1 can be incident on the sensing device S. The sensing device S may be a light sensing device such as a camera, and as described above, the first sensing area IM1 and the second sensing area IM1 for detecting the first polarized light SLSa1 passing through the first polarizing part PL1. It may include a second sensing area (IM2) that detects the second polarized light (SLSb1) that has passed through the polarization unit (PL2).

도 7을 참고하면, 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면의 오목부의 불량 부분에서 반사된 편광(SLb)의 강도와 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 나머지 부분에서 반사된 편광(SLa)의 세기는 서로 다를 수 있고, 감지 장치(S)에 입사된 편광(SL)의 강도는 제1 편광부(PL1)를 통과한 제1 편광(SLSa1)을 감지하는 제1 감지 영역(IM1)에 이미지로 표시될 수 있고, 감지 장치(S)에 입사된 편광(SLa, SLb)의 강도 차이에 의한 이미지를 통해 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면의 오목부 발생 여부를 판단할 수 있다.Referring to FIG. 7 , the intensity of the polarized light SLb reflected from the defective portion of the concave portion of the surface of the second portion DP2 of the display device DP and the remaining portion of the second portion DP2 of the display device DP The intensity of the polarized light (SLa) reflected from the polarized light (SLa) may be different from each other, and the intensity of the polarized light (SL) incident on the sensing device (S) may be determined by 1 Can be displayed as an image in the sensing area (IM1), and the surface of the second part (DP2) of the display device (DP) through the image by the difference in intensity of polarized light (SLa, SLb) incident on the sensing device (S) It is possible to determine whether a concave part occurs.

그러면, 도 1 내지 도 7과 함께 도 8 내지 도 10을 참고하여, 한 실시예에 따른 제2 검사 방법에 대하여 설명한다. 도 8 내지 도 10은 표시 장치의 제2 검사 방법을 도시한 개념도이다.Then, referring to FIGS. 8 to 10 along with FIGS. 1 to 7, a second inspection method according to an embodiment will be described. 8 to 10 are conceptual diagrams illustrating a second inspection method of a display device.

제2 검사 방법은 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)에 볼록부와 같은 불량이 발생한 경우에 대한 검사 방법이다.The second inspection method is an inspection method for cases where a defect such as a convex portion occurs in the second portion DP2 of the display device DP.

도 8을 참고하면, 광공급부에서 공급된 입사광(IL)은 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면에서 일부분 반사되어 제1 반사광(RL1)이 될 수 있고, 광공급부에서 공급된 입사광(IL)은 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면을 통과할 수 있고, 통과한 광(TL)은 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)의 표면에서 반사되어 제2 반사광(RL21)이 될 수 있고, 제2 반사광(RL21)은 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면에서 굴절하여 외부로 방출되는 제3 반사광(RL22)이 될 수 있다.Referring to FIG. 8, the incident light IL supplied from the light supply unit may be partially reflected from the surface of the second part DP2 of the display device DP to become the first reflected light RL1, and the incident light IL supplied from the light supply unit may be partially reflected from the surface of the second part DP2 of the display device DP. The incident light IL may pass through the surface of the second part DP2 of the display device DP, and the passing light TL may be reflected from the surface of the first part DP1 of the display device DP. 2 may be the reflected light RL21, and the second reflected light RL21 may be refracted on the surface of the second part DP2 of the display device DP and become the third reflected light RL22 emitted to the outside.

이 때, 광공급부에서 공급된 입사광(IL)은 표시 장치(DP)의 표면에 수직이 아닌 제1 각도(θ)를 가지도록 입사될 수 있고, 예를 들어, 제1 각도(θ)는 브루스터각 또는 브루스터각에 가까운 각도를 가질 수 있으며, 이에 의해 제1 반사광(RL1)과 제3 반사광(RL22)의 편광 방향은 서로 다를 수 있다.At this time, the incident light IL supplied from the light supply unit may be incident on the surface of the display device DP to have a first angle θ that is not perpendicular to the surface. For example, the first angle θ may be the Brewster It may have an angle or an angle close to Brewster's angle, whereby the polarization directions of the first reflected light RL1 and the third reflected light RL22 may be different from each other.

도 1과 함께 도 9를 참고하면, 서로 다른 편광 방향을 가지는 제1 반사광(RL1)과 제3 반사광(RL22)은 렌즈부(LZ)와 제1 편광부(PL1) 및 제2 편광부(PL2)를 통과한 후, 제1 편광부(PL1)를 통과한 편광(SL)만 감지 장치(S)에 입사될 수 있다. 감지 장치(S)는 카메라와 같은 광 감지 장치일 수 있고, 앞서 설명한 바와 같이, 제1 편광부(PL1)를 통과한 제1 편광(SLSa1)을 감지하는 제1 감지 영역(IM1)과 제2 편광부(PL2)를 통과한 제2 편광(SLSb1)을 감지하는 제2 감지 영역(IM2)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 9 together with FIG. 1 , the first reflected light RL1 and the third reflected light RL22 having different polarization directions are transmitted through the lens unit LZ, the first polarization unit PL1, and the second polarization unit PL2. ), only the polarized light SL that has passed through the first polarization unit PL1 can be incident on the sensing device S. The sensing device S may be a light sensing device such as a camera, and as described above, the first sensing area IM1 and the second sensing area IM1 for detecting the first polarized light SLSa1 passing through the first polarizing part PL1. It may include a second sensing area (IM2) that detects the second polarized light (SLSb1) that has passed through the polarization unit (PL2).

도 10을 참고하면, 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면의 볼록부의 불량 부분에서 반사된 편광(SLb)의 강도와 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 나머지 부분에서 반사된 편광(SLa)의 세기는 서로 다를 수 있고, 감지 장치(S)에 입사된 편광(SL)의 강도는 제1 편광부(PL1)를 통과한 제1 편광(SLSa1)을 감지하는 제1 감지 영역(IM1)에 이미지로 표시될 수 있고, 감지 장치(S)에 입사된 편광(SLa, SLb)의 강도 차이에 의한 이미지를 통해 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면의 볼록부 발생 여부를 판단할 수 있다.Referring to FIG. 10 , the intensity of polarized light SLb reflected from the defective portion of the convex portion of the surface of the second portion DP2 of the display device DP and the remaining portion of the second portion DP2 of the display device DP The intensity of the polarized light (SLa) reflected from the polarized light (SLa) may be different from each other, and the intensity of the polarized light (SL) incident on the sensing device (S) may be determined by 1 Can be displayed as an image in the sensing area (IM1), and the surface of the second part (DP2) of the display device (DP) through the image by the difference in intensity of polarized light (SLa, SLb) incident on the sensing device (S) It is possible to determine whether or not a convex portion occurs.

그러면, 도 1 내지 도 10과 함께 도 11 내지 도 13을 참고하여, 한 실시예에 따른 제3 검사 방법에 대하여 설명한다. 도 11 내지 도 13은 표시 장치의 제3 검사 방법을 도시한 개념도이다.Next, a third inspection method according to an embodiment will be described with reference to FIGS. 11 to 13 along with FIGS. 1 to 10. 11 to 13 are conceptual diagrams showing a third inspection method of a display device.

제3 검사 방법은 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)에 오목부와 같은 불량이 발생한 경우에 대한 검사 방법이다.The third inspection method is an inspection method for cases where a defect such as a concave portion occurs in the first portion DP1 of the display device DP.

도 11을 참고하면, 광공급부에서 공급된 입사광(IL)은 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면에서 일부분 반사되어 제1 반사광(RL1)이 될 수 있고, 광공급부에서 공급된 입사광(IL)은 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면을 통과할 수 있고, 통과한 광(TL)은 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)의 표면에서 반사되어 제2 반사광(RL21)이 될 수 있고, 제2 반사광(RL21)은 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면에서 굴절하여 외부로 방출되는 제3 반사광(RL22)이 될 수 있다.Referring to FIG. 11, the incident light IL supplied from the light supply unit may be partially reflected from the surface of the second part DP2 of the display device DP to become the first reflected light RL1, and the incident light IL supplied from the light supply unit may be partially reflected from the surface of the second part DP2 of the display device DP. The incident light IL may pass through the surface of the second part DP2 of the display device DP, and the passing light TL may be reflected from the surface of the first part DP1 of the display device DP. 2 may be the reflected light RL21, and the second reflected light RL21 may be refracted on the surface of the second part DP2 of the display device DP and become the third reflected light RL22 emitted to the outside.

이 때, 광공급부에서 공급된 입사광(IL)은 표시 장치(DP)의 표면에 수직이 아닌 제1 각도(θ)를 가지도록 입사될 수 있고, 예를 들어, 제1 각도(θ)는 브루스터각 또는 브루스터각에 가까운 각도를 가질 수 있으며, 이에 의해 제1 반사광(RL1)과 제3 반사광(RL22)의 편광 방향은 서로 다를 수 있다.At this time, the incident light IL supplied from the light supply unit may be incident on the surface of the display device DP to have a first angle θ that is not perpendicular to the surface. For example, the first angle θ may be the Brewster It may have an angle or an angle close to Brewster's angle, whereby the polarization directions of the first reflected light RL1 and the third reflected light RL22 may be different from each other.

도 1과 함께 도 12를 참고하면, 서로 다른 편광 방향을 가지는 제1 반사광(RL1)과 제3 반사광(RL22)은 렌즈부(LZ)와 제1 편광부(PL1) 및 제2 편광부(PL2)를 통과한 후, 제2 편광부(PL2)를 통과한 편광(SL)만 감지 장치(S)에 입사될 수 있다. 감지 장치(S)는 카메라와 같은 광 감지 장치일 수 있고, 앞서 설명한 바와 같이, 제1 편광부(PL1)를 통과한 제1 편광(SLSa1)을 감지하는 제1 감지 영역(IM1)과 제2 편광부(PL2)를 통과한 제2 편광(SLSb1)을 감지하는 제2 감지 영역(IM2)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 12 together with FIG. 1, the first reflected light RL1 and the third reflected light RL22 having different polarization directions are transmitted through the lens unit LZ, the first polarization unit PL1, and the second polarization unit PL2. ), only the polarized light (SL) that has passed through the second polarization unit (PL2) can be incident on the sensing device (S). The sensing device S may be a light sensing device such as a camera, and as described above, the first sensing area IM1 and the second sensing area IM1 for detecting the first polarized light SLSa1 passing through the first polarizing part PL1. It may include a second sensing area (IM2) that detects the second polarized light (SLSb1) that has passed through the polarization unit (PL2).

도 13을 참고하면, 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)의 표면의 오목부의 불량 부분에서 반사된 편광(SLb)의 강도와 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)의 나머지 부분에서 반사된 편광(SLa)의 세기는 서로 다를 수 있고, 감지 장치(S)에 입사된 편광(SL)의 강도는 제2 편광부(PL2)를 통과한 제2 편광(SLSb1)을 감지하는 제2 감지 영역(IM2)에 이미지로 표시될 수 있고, 감지 장치(S)에 입사된 편광(SLa, SLb)의 강도 차이에 의한 이미지를 통해 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)의 표면의 오목부 발생 여부를 판단할 수 있다.Referring to FIG. 13 , the intensity of the polarized light SLb reflected from the defective portion of the concave portion of the surface of the first portion DP1 of the display device DP and the remaining portion of the first portion DP1 of the display device DP The intensity of the polarized light (SLa) reflected from may be different from each other, and the intensity of the polarized light (SL) incident on the sensing device (S) may be the second polarized light (SLb1) that has passed through the second polarizing unit (PL2). 2 Can be displayed as an image in the sensing area (IM2), and the surface of the first part (DP1) of the display device (DP) through the image by the difference in intensity of polarized light (SLa, SLb) incident on the sensing device (S) It is possible to determine whether a concave part occurs.

그러면, 도 1 내지 도 13과 함께 도 14 내지 도 16을 참고하여, 한 실시예에 따른 제3 검사 방법에 대하여 설명한다. 도 14 내지 도 16은 표시 장치의 제4 검사 방법을 도시한 개념도이다.Next, a third inspection method according to an embodiment will be described with reference to FIGS. 14 to 16 along with FIGS. 1 to 13. 14 to 16 are conceptual diagrams illustrating a fourth inspection method of a display device.

제4 검사 방법은 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)에 볼록부와 같은 불량이 발생한 경우에 대한 검사 방법이다.The fourth inspection method is an inspection method for cases where a defect such as a convex portion occurs in the first portion DP1 of the display device DP.

도 14를 참고하면, 광공급부에서 공급된 입사광(IL)은 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면에서 일부분 반사되어 제1 반사광(RL1)이 될 수 있고, 광공급부에서 공급된 입사광(IL)은 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면을 통과할 수 있고, 통과한 광(TL)은 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)의 표면에서 반사되어 제2 반사광(RL21)이 될 수 있고, 제2 반사광(RL21)은 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)의 표면에서 굴절하여 외부로 방출되는 제3 반사광(RL22)이 될 수 있다.Referring to FIG. 14, the incident light IL supplied from the light supply unit may be partially reflected from the surface of the second part DP2 of the display device DP to become the first reflected light RL1, and the incident light IL supplied from the light supply unit may be partially reflected from the surface of the second part DP2 of the display device DP. The incident light IL may pass through the surface of the second part DP2 of the display device DP, and the passing light TL may be reflected from the surface of the first part DP1 of the display device DP. 2 may be the reflected light RL21, and the second reflected light RL21 may be refracted on the surface of the second part DP2 of the display device DP and become the third reflected light RL22 emitted to the outside.

이 때, 광공급부에서 공급된 입사광(IL)은 표시 장치(DP)의 표면에 수직이 아닌 제1 각도(θ)를 가지도록 입사될 수 있고, 예를 들어, 제1 각도(θ)는 브루스터각 또는 브루스터각에 가까운 각도를 가질 수 있으며, 이에 의해 제1 반사광(RL1)과 제3 반사광(RL22)의 편광 방향은 서로 다를 수 있다.At this time, the incident light IL supplied from the light supply unit may be incident on the surface of the display device DP to have a first angle θ that is not perpendicular to the surface. For example, the first angle θ may be the Brewster It may have an angle or an angle close to Brewster's angle, whereby the polarization directions of the first reflected light RL1 and the third reflected light RL22 may be different from each other.

도 1과 함께 도 15를 참고하면, 서로 다른 편광 방향을 가지는 제1 반사광(RL1)과 제3 반사광(RL22)은 렌즈부(LZ)와 제1 편광부(PL1) 및 제2 편광부(PL2)를 통과한 후, 제2 편광부(PL2)를 통과한 편광(SL)만 감지 장치(S)에 입사될 수 있다. 감지 장치(S)는 카메라와 같은 광 감지 장치일 수 있고, 앞서 설명한 바와 같이, 제1 편광부(PL1)를 통과한 제1 편광(SLSa1)을 감지하는 제1 감지 영역(IM1)과 제2 편광부(PL2)를 통과한 제2 편광(SLSb1)을 감지하는 제2 감지 영역(IM2)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 15 together with FIG. 1, the first reflected light RL1 and the third reflected light RL22 having different polarization directions are transmitted through the lens unit LZ, the first polarization unit PL1, and the second polarization unit PL2. ), only the polarized light (SL) that has passed through the second polarization unit (PL2) can be incident on the sensing device (S). The sensing device S may be a light sensing device such as a camera, and as described above, the first sensing area IM1 and the second sensing area IM1 for detecting the first polarized light SLSa1 passing through the first polarizing part PL1. It may include a second sensing area (IM2) that detects the second polarized light (SLSb1) that has passed through the polarization unit (PL2).

도 15를 참고하면, 감지 장치(S)에 입사된 편광(SL)의 강도는 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)의 표면의 볼록부의 불량 부분과 나머지 부분에서 서로 다를 수 있고, 감지 장치(S)에 입사된 편광(SL)의 강도는 제2 편광부(PL2)를 통과한 제2 편광(SLSb1)을 감지하는 제2 감지 영역(IM2)에 이미지로 표시될 수 있고, 감지 장치(S)에 입사된 편광(SL)의 강도 차이에 의한 이미지를 통해 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)의 표면의 볼록부 발생 여부를 판단할 수 있다.Referring to FIG. 15, the intensity of the polarized light SL incident on the sensing device S may be different between the defective portion and the remaining portion of the convex portion of the surface of the first portion DP1 of the display device DP. The intensity of polarized light (SL) incident on the device (S) may be displayed as an image in the second sensing area (IM2) that detects the second polarized light (SLSb1) that has passed through the second polarizing part (PL2), and the sensing device It is possible to determine whether a convex portion occurs on the surface of the first portion DP1 of the display device DP through an image based on the difference in intensity of the polarized light SL incident on the display device DP.

앞서 설명한 제1 검사 방법, 제2 검사 방법, 제3 검사 방법, 제4 검사 방법은 도 1 내지 도 4를 참고로 설명한 실시예에 따른 검사 장치(1000)에 의해 동시에 수행될 수 있다. The above-described first test method, second test method, third test method, and fourth test method can be performed simultaneously by the test device 1000 according to the embodiment described with reference to FIGS. 1 to 4.

이처럼, 본 실시예에 따른 검사 장치 및 검사 방법에 따르면, 표시 장치(DP)의 표면에 제1 각도로 입사되는 빛이 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)과 제1 부분(DP1)에서 반사되는 빛을 각기 렌즈부(LZ)와 편광부(PL1, PL2)를 통과시켜, 표시 장치(DP)의 제2 부분(DP2)에서 반사된 제1 편광과 표시 장치(DP)의 제1 부분(DP1)에서 반사된 제2 편광으로 구분하여 감지함으로써, 감지할 때 표시 장치(DP)의 복수의 영역의 반사 광들이 서로 영향을 주지 않는 바, 표시 장치(DP)의 복수의 영역의 불량을 정확하게 감지할 수 있다. 특히, 표시 장치(DP)는 제1 부분(DP1)과 제1 부분(DP2) 위에 위치하는 제2 부분(DP2)을 포함하여, 외부로 노출된 제2 부분(DP2) 뿐만 아니라, 제2 부분(DP2) 아래에 위치하여 외부로 노출되지 않는 제1 부분(DP1)의 불량을 함께 측정할 수 있다.As such, according to the inspection device and inspection method according to the present embodiment, light incident on the surface of the display device DP at a first angle is transmitted to the second part DP2 and the first part DP1 of the display device DP. The light reflected from passes through the lens unit LZ and the polarizers PL1 and PL2, respectively, so that the first polarized light reflected from the second part DP2 of the display device DP and the first polarized light of the display device DP By distinguishing and detecting the second polarized light reflected from the portion DP1, reflected light in a plurality of areas of the display device DP does not affect each other when detected, and thus, defects in the plurality of areas of the display device DP can be detected accurately. In particular, the display device DP includes a first part DP1 and a second part DP2 positioned above the first part DP2, and not only the second part DP2 exposed to the outside, but also the second part DP2 is exposed to the outside. Defects in the first part (DP1), which is located below (DP2) and not exposed to the outside, can be measured together.

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and can be implemented with various modifications within the scope of the claims, the detailed description of the invention, and the accompanying drawings. It is natural that it falls within the scope of the invention.

1000: 검사 장치.
DP, DP1, DP2: 표시 장치
SP: 지지대
LS: 광공급부
LZ: 렌즈부
PL1, PL2: 편광부
IM: 측정부
PL1P, PL2P: 편광 영역
IM1, IM2: 감지 영역
RL1, RL21, RL22, SLSa, SLSb: 반사광
SL, SLSa1, SLSb1, SLa, SLb: 편광1000: Inspection device.
DP, DP1, DP2: display devices
SP: support
LS: Light supply department
LZ: Lens section
PL1, PL2: Polarization part
IM: Measuring part
PL1P, PL2P: Polarization region
IM1, IM2: Sensing area
RL1, RL21, RL22, SLSa, SLSb: Reflected light
SL, SLSa1, SLSb1, SLa, SLb: Polarization

Claims (20)

표시 장치를 지지하는 지지대,
상기 표시 장치에 빛을 공급하는 광공급부,
상기 광공급부에서 상기 표시 장치에 입사된 상기 빛이 반사되어 입사되는 렌즈부,
상기 렌즈부를 통과한 상기 빛이 통과하는 복수의 편광부, 그리고
상기 복수의 편광부를 통과한 상기 빛을 측정하는 측정부를 포함하고,
상기 빛은 상기 표시 장치의 표면과 제1 각도를 이루도록 입사되고, 상기 제1 각도는 직각이 아닌 표시 장치의 검사 장치.
a support supporting the display device;
A light supply unit that supplies light to the display device,
a lens unit through which the light incident on the display device from the light supply unit is reflected and incident;
A plurality of polarizing units through which the light passing through the lens unit passes, and
A measuring unit that measures the light passing through the plurality of polarizing units,
The light is incident to form a first angle with the surface of the display device, and the first angle is not a right angle.
 제1항에서,
상기 제1 각도는 브루스터각 또는 브루스터각과 유사한 각도인 표시 장치의 검사 장치.
In paragraph 1:
The first angle is Brewster's angle or an angle similar to Brewster's angle.
 제1항에서,
상기 광공급부는 선광원을 포함하는 표시 장치의 검사 장치.
In paragraph 1:
The light supply unit is an inspection device for a display device including a line light source.
 제3항에서,
상기 광공급부는 복수 개의 선광원인 표시 장치의 검사 장치.
In paragraph 3,
An inspection device for a display device in which the light supply unit is a plurality of linear light sources.
 제1항에서,
상기 렌즈부는 더블 텔레센트릭 렌즈를 포함하는 표시 장치의 검사 장치.
In paragraph 1:
An inspection device for a display device wherein the lens unit includes a double telecentric lens.
 제1항에서,
상기 편광부는 편광 방향이 서로 다른 제1 편광부와 제2 편광부를 포함하는 표시 장치의 검사 장치.
In paragraph 1:
The polarization unit is an inspection device for a display device including a first polarization unit and a second polarization unit having different polarization directions.
 제1항에서,
상기 측정부는 상기 제1 편광부를 통과한 제1 편광을 감지하는 제1 감지 영역과 상기 제2 편광부를 통과한 제2 편광을 감지하는 제2 감지 영역을 포함하는 표시 장치의 검사 장치.
In paragraph 1:
The measuring unit includes a first sensing area for detecting first polarized light passing through the first polarization unit and a second sensing area for detecting second polarized light passing through the second polarizing unit.
 제7항에서,
상기 제1 감지 영역의 면적과 상기 제2 감지 영역의 면적은 서로 거의 같은 표시 장치의 검사 장치.
In paragraph 7:
An area of the first sensing area and an area of the second sensing area are approximately equal to each other.
 제8항에서,
상기 제1 감지 영역과 상기 제2 감지 영역의 일부분은 서로 중첩하는 표시 장치의 검사 장치.
In paragraph 8:
An inspection device for a display device in which a portion of the first sensing area and the second sensing area overlap each other.
 제8항에서,
상기 감지 영역은 상기 편광부를 통과하지 않은 빛을 감지하는 제3 감지 영역을 더 포함하는 표시 장치의 검사 장치.
In paragraph 8:
The detection area further includes a third detection area that detects light that has not passed through the polarization unit.
 제10항에서,
상기 제3 감지 영역은 상기 제1 감지 영역과 상기 제2 감지 영역 사이에 위치하는 표시 장치의 검사 장치.
In paragraph 10:
The third detection area is located between the first detection area and the second detection area.
 제1 부분과 상기 제1 부분 위에 위치하는 제2 부분을 포함하는 표시 장치에 빛을 공급하는 단계,
상기 표시 장치의 상기 제2 부분에서 반사된 제1 빛을 제1 편광부에 통과시켜 제1 편광하는 단계,
상기 표시 장치의 상기 제1 부분에서 반사된 제2 빛을 제2 편광부에 통과시켜 제2 편광하는 단계, 그리고
상기 제1 편광된 제1 편광과 상기 제2 편광된 제2 편광을 동시에 감지하는 단계를 포함하는 표시 장치의 검사 방법.
Supplying light to a display device including a first portion and a second portion located above the first portion,
Passing the first light reflected from the second portion of the display device through a first polarizer to first polarize the light,
secondly polarizing the second light reflected from the first portion of the display device by passing the second light through a second polarizer; and
A method of inspecting a display device including simultaneously detecting the first polarized light and the second polarized light.
 제12항에서,
상기 제1 빛과 상기 제2 빛을 렌즈부에 통과시키는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 검사 방법.
In paragraph 12:
A method of inspecting a display device further comprising passing the first light and the second light through a lens unit.
 제13항에서,
제1 감지 영역과 제2 감지 영역을 포함하는 감지부를 이용하여, 상기 제1 편광을 상기 제1 감지 영역에서 감지하고, 상기 제2 편광을 상기 제2 영역에서 감지하는 표시 장치의 검사 방법.
In paragraph 13:
An inspection method for a display device, wherein the first polarized light is detected in the first sensing area and the second polarized light is detected in the second area, using a sensing unit including a first sensing area and a second sensing area.
 제12항에서,
상기 감지하는 단계는 상기 표시 장치의 상기 제2 부분의 위치에 따른 상기 제1 편광의 강도 차이를 감지하는 표시 장치의 검사 방법.
In paragraph 12:
The detecting step may include detecting a difference in intensity of the first polarized light depending on the position of the second portion of the display device.
 제15항에서,
상기 감지하는 단계는 상기 표시 장치의 상기 제1 부분의 위치에 따른 상기 제2 편광의 강도 차이를 감지하는 표시 장치의 검사 방법.
In paragraph 15:
The detecting step includes detecting a difference in intensity of the second polarized light depending on the position of the first portion of the display device.
 제16항에서,
제1 감지 영역과 제2 감지 영역을 포함하는 감지부를 이용하여, 상기 제1 편광의 상기 강도 차이를 상기 제1 감지 영역에서 감지하고, 상기 제2 편광의 상기 강도 차이를 상기 제2 영역에서 감지하는 표시 장치의 검사 방법.
In paragraph 16:
Using a detection unit including a first detection area and a second detection area, the intensity difference of the first polarized light is detected in the first detection area, and the intensity difference of the second polarization is detected in the second area. A method of inspecting a display device.
 제17항에서,
상기 제1 감지 영역의 면적과 상기 제2 감지 영역의 면적은 거의 같은 표시 장치의 검사 방법.
In paragraph 17:
An area of the first sensing area and an area of the second sensing area are approximately the same.
 제17항에서,
상기 제1 편광과 상기 제2 편광 외에 편광되지 않은 추가 광을 감지하는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 검사 방법.
In paragraph 17:
A method of inspecting a display device further comprising detecting additional unpolarized light in addition to the first polarized light and the second polarized light.
 제16항에서,
상기 제1 빛과 상기 제2 빛을 렌즈부에 통과시키는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 검사 방법.In paragraph 16:
A method of inspecting a display device further comprising passing the first light and the second light through a lens unit.
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