[go: up one dir, main page]

KR20210091648A - Coating device - Google Patents

Coating device Download PDF

Info

Publication number
KR20210091648A
KR20210091648A KR1020200122416A KR20200122416A KR20210091648A KR 20210091648 A KR20210091648 A KR 20210091648A KR 1020200122416 A KR1020200122416 A KR 1020200122416A KR 20200122416 A KR20200122416 A KR 20200122416A KR 20210091648 A KR20210091648 A KR 20210091648A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
coating liquid
application
coating
slit
discharge port
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
KR1020200122416A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102413491B1 (en
Inventor
쓰토무 니시오
Original Assignee
쥬가이로 고교 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 쥬가이로 고교 가부시키가이샤 filed Critical 쥬가이로 고교 가부시키가이샤
Publication of KR20210091648A publication Critical patent/KR20210091648A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102413491B1 publication Critical patent/KR102413491B1/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0254—Coating heads with slot-shaped outlet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/02—Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • B05C11/1002—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves
    • B05C11/1007—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves responsive to condition of liquid or other fluent material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0225—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0254—Coating heads with slot-shaped outlet
    • B05C5/0258—Coating heads with slot-shaped outlet flow controlled, e.g. by a valve
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0254—Coating heads with slot-shaped outlet
    • B05C5/0262—Coating heads with slot-shaped outlet adjustable in width, i.e. having lips movable relative to each other in order to modify the slot width, e.g. to close it
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/26—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by applying the liquid or other fluent material from an outlet device in contact with, or almost in contact with, the surface

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)

Abstract

In applying an application liquid (P) from a discharge hole (11) of a slit shape to a surface of an applied object in an application liquid accommodating unit (11) of a nozzle for application by relatively moving the nozzle (10) for application to the applied object on the applied object (W), a control means (22) for controlling supply and stop of the application liquid to the application liquid accommodating unit between an application liquid supply device (20) and the nozzle for application, an application width adjusting means (13) for adjusting an application width of the application liquid applied from the discharge hole of the slit shape to the surface of the applied object in the application liquid accommodating unit, and a gas supply means (30) for supplying a gas at a constant pressure into the application liquid accommodating unit to discharge the application liquid stored in the application liquid accommodating unit are installed.

Description

도포 장치 {COATING DEVICE}Applicator {COATING DEVICE}

본 발명은, 도액 수용부 내에 있어서의 도액을 토출시키는 슬릿 형상의 토출구가 선단부에 설치된 도포용 노즐을 피도포체의 위에 배치하고, 이 도포용 노즐의 내부에 있어서의 도액 수용부 내에 도액 공급 장치로부터 도액을 공급하고, 상기의 피도포체와 도포용 노즐을 상대적으로 이동시켜, 도액 수용부 내에 있어서의 도액을, 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 도포하는 도포 장치에 관한 것이다. 특히, 상기와 같이 피도포체와 도포용 노즐을 상대적으로 이동시키고, 도포용 노즐에 설치한 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 도액을 도포하게 하면서, 피도포체의 표면에 도포하는 도액의 폭을 변경하도록 하고, 피도포체의 표면에 도액을 원 형상 등의 각종 형상이 되도록 도포하는 경우에 있어서, 도포된 도액의 두께에 얼룩 등이 생기지 않도록 도포할 수 있게 한 점에 특징을 갖는 것이다.According to the present invention, a coating nozzle for discharging the coating liquid in the coating liquid accommodating portion is disposed on the object to be coated with a slit-shaped discharge port provided at the tip end thereof, and the coating liquid supplying device is provided in the coating liquid container inside the coating liquid container. It relates to a coating device for supplying a coating liquid from the slit, and relatively moving the object and the application nozzle to apply the coating liquid in the coating liquid container to the surface of the object through the slit-shaped discharge port. . In particular, as described above, the object to be coated and the nozzle for application are relatively moved, and the coating liquid is applied to the surface of the object through a slit-shaped discharge port installed in the nozzle for application, while applying to the surface of the object. In the case of changing the width of the coating solution and applying the coating solution to various shapes such as a circular shape on the surface of the object to be coated, it is characterized in that it can be applied so that there is no unevenness in the thickness of the applied coating solution. will have

종래부터, 도액 수용부 내에 있어서의 도액을 토출시키는 슬릿 형상의 토출구가 선단부에 설치된 도포용 노즐을 피도포체의 위에 설치하고, 이 도포용 노즐의 내부에 있어서의 도액 수용부 내에 도액 공급 장치로부터 도액 공급 파이프를 통해 도액을 공급하고, 상기의 피도포체와 도포용 노즐을 상대적으로 이동시켜, 도액 수용부 내에 있어서의 도액을, 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 도포하도록 한 도포 장치가 널리 이용되고 있다.Conventionally, a coating nozzle having a slit-shaped discharge port for discharging the coating liquid in the coating liquid accommodating part is provided on the object to be coated, and the coating liquid supply device in the coating liquid accommodating part inside the coating liquid accommodating part is provided on the object to be coated. The coating liquid is supplied through the coating liquid supply pipe, and the object to be coated and the application nozzle are relatively moved to apply the coating liquid in the coating liquid receiving part to the surface of the object to be coated through the slit-shaped discharge port. The applicator is widely used.

그리고, 최근에 있어서는, 특허문헌 1 ~ 4 등에 나타난 바와 같이, 상기와 같은 도포 장치에 있어서, 도포용 노즐의 도액 수용부 내에 수용시킨 도액을, 도포용 노즐의 선단에 설치한 슬릿 형상의 토출구로부터 피도포체의 표면에 도포하는 데 있어서, 피도포체의 표면에 도액을 도포하게 하면서, 도포하는 도액의 폭을 변경시켜, 웨이퍼 등의 피도포체의 표면에 도액을 원 형상 등의 각종 형상이 되도록 도포하는 것이 제안되고 있다.And, in recent years, as shown in Patent Documents 1 to 4, etc., in the above coating apparatus, the coating liquid accommodated in the coating liquid receiving portion of the coating nozzle is discharged from a slit-shaped discharge port provided at the tip of the coating nozzle. In application to the surface of the object to be coated, the width of the coating liquid to be applied is changed while the coating liquid is applied to the surface of the object to be coated, and the coating liquid is applied to the surface of the object such as a wafer in various shapes such as a circle shape. It is proposed to apply as much as possible.

여기서, 상기와 같이 도포용 노즐 내부에 있어서의 도액 수용부 내에 도액 공급 장치로부터 도액 공급 파이프를 통해 도액을 공급하고, 슬릿 형상의 토출구로부터 피도포체의 표면에 도포하는데 있어서, 피도포체의 표면에 도액을 도포하게 하면서, 도포하는 도액의 폭을 변경시키는 경우, 도액 공급 장치로부터 도액을 도액 공급 파이프에 공급하는 압력이 일정하더라도, 도액 공급 장치로부터 도액 공급관을 통해 도액을 도액 수용부에 공급할 때 배관 압력 손실이 발생하여, 도액의 폭을 변경하여 슬릿 형상의 토출구로부터 토출되는 도액의 양의 변화에 대응하고, 이 배관 압력 손실이 변화하기 때문에, 도포하는 도액의 폭이 넓은 부분에 있어서는, 피도포체의 표면에 있어서의 도액의 막 두께가 얇아지는 한편, 도포하는 도액의 폭이 좁은 부분에 있어서는, 피도포체의 표면에 있어서의 도액의 막 두께가 두꺼워져서, 하나의 피도포체의 표면에 도액을 일정한 막 두께로 도포하는 것이 어려워진다고 하는 문제가 있었다.Here, the coating liquid is supplied from the coating liquid supply device through the coating liquid supply pipe into the coating liquid receiving portion inside the application nozzle as described above, and applied to the surface of the object from the slit-shaped discharge port. In the case of changing the width of the coating liquid to be applied while applying the coating liquid to the surface, even when the pressure for supplying the coating liquid from the coating liquid supply device to the coating liquid supply pipe is constant, when supplying the coating liquid from the coating liquid supply device through the coating liquid supply pipe to the coating liquid receiving part A pipe pressure loss occurs and the width of the coating solution is changed to respond to a change in the amount of the coating solution discharged from the slit-shaped discharge port, and since this pipe pressure loss changes, in a portion where the width of the coating solution to be applied is wide, avoid While the film thickness of the coating liquid on the surface of the coated body becomes thin, in the portion where the width of the coating liquid to be applied is narrow, the film thickness of the coating liquid on the surface of the coated object becomes thick, and the surface of one coated object There existed a problem that it became difficult to apply|coat a coating liquid with a fixed film thickness.

따라서, 특허문헌 3이나 특허문헌 4에 있어서는, 도액 공급 장치로부터 도액 공급관을 통해 도액을 도액 수용부 내에 공급하는데 있어서, 도액 공급관을 통해 도액 수용부 내에 공급하는 도액의 압력을 조정하고, 이 도액 수용부 내에 있어서의 도액의 액압(液壓)이 일정하게 되도록 도액을 공급하고, 피도포체의 표면에 도포하는 도액의 폭이 변화한 경우에 있어서도, 도액이 피도포체의 표면에 일정한 막 두께로 도포하게 하는 것을 나타내고 있다.Therefore, in Patent Document 3 and Patent Document 4, when supplying the coating liquid from the coating liquid supply device into the coating liquid container through the coating liquid supply pipe, the pressure of the coating liquid supplied into the coating liquid container through the coating liquid supply pipe is adjusted, and this coating liquid receiving part is adjusted. The coating liquid is supplied so that the liquid pressure of the coating liquid in the section becomes constant, and even when the width of the coating liquid applied to the surface of the object to be coated changes, the coating liquid is applied to the surface of the object to be coated with a constant film thickness. indicates what to do.

그러나, 이와 같이 도액 공급 장치로부터 도액 공급관을 통해 도액 수용부 내에 공급하는 도액의 압력을 조정하고, 이 도액 수용부 내에 있어서의 도액의 액압이 일정하게 되도록 도액을 도액 수용부 내에 공급하게 한 경우, 구조가 복잡해져서 제어가 매우 번거롭고, 도액 수용부 내에 있어서의 도액의 액압이 일정하게 되도록 조정하고, 피도포체의 표면에 도액을 일정한 막 두께로 도포하게 하는 것이 어렵다고 하는 문제가 있었다.However, when the pressure of the coating liquid supplied from the coating liquid supply device into the coating liquid accommodating part through the coating liquid supply pipe is adjusted in this way, and the coating liquid is supplied into the coating liquid accommodating part so that the liquid pressure of the coating liquid in the coating liquid accommodating part becomes constant, The structure became complicated, so control was very cumbersome, and it was difficult to adjust the liquid pressure of the coating liquid in the coating liquid container to become constant and to apply the coating liquid to the surface of the object to be coated with a constant film thickness.

일본국 특개 2014-22545호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2014-22545 일본국 특개 2012-120938호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2012-120938 일본국 특허 제4040144호 공보Japanese Patent No. 4040144 Publication 일본국 특개 2018-69230호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2018-69230

본 발명은, 도액 수용부 내에 있어서의 도액을 토출시키는 슬릿 형상의 토출구가 선단부에 설치된 도포용 노즐을 피도포체의 위에 배치하고, 이 도포용 노즐의 내부에 있어서의 도액 수용부 내에 도액 공급 장치로부터 도액을 공급하고, 상기의 피도포체와 도포용 노즐을 상대적으로 이동시켜, 도액 수용부 내에 있어서의 도액을, 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 도포하도록 한 도포 장치에 있어서의 상기와 같은 문제를 해결하는 것을 과제로 하는 것이다.According to the present invention, a coating nozzle for discharging the coating liquid in the coating liquid accommodating portion is disposed on the object to be coated with a slit-shaped discharge port provided at the tip end thereof, and the coating liquid supplying device is provided in the coating liquid container inside the coating liquid container. In an application device in which the coating liquid is supplied from the to-be-coated object and the application nozzle is relatively moved to apply the coating liquid in the coating liquid container to the surface of the object through the slit-shaped discharge port, The task is to solve the above problems of

즉, 본 발명에 있어서는, 상기와 같이 피도포체와 도포용 노즐을 상대적으로 이동시켜서 피도포체의 표면에 도액을 도포하는데 있어서, 도포용 노즐에 설치한 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 도액을 도포하게 하면서, 도포하는 도액의 폭을 변경시켜, 피도포체의 표면에 도액을 원 형상 등의 각종 형상이 되도록 도포하는데 있어서, 피도포체의 표면에 도포된 도액의 두께에 얼룩 등이 생기지 않도록 도포할 수 있게 하는 것을 과제로 하는 것이다.That is, in the present invention, in applying the coating liquid on the surface of the object by moving the object to be coated and the nozzle for application relatively as described above, through the slit-shaped discharge port provided in the nozzle for application, In applying the coating liquid to the surface of the object to be coated in various shapes such as circular shape by changing the width of the coating liquid to be applied while applying the coating liquid to the surface, the thickness of the coating liquid applied to the surface of the object to be coated is uneven It is an object to make it possible to apply|coat it so that the etc. do not arise.

본 발명에 따른 도포 장치에 있어서는, 상기와 같은 과제를 해결하기 위해, 도액 수용부 내에 있어서의 도액을 토출시키는 슬릿 형상의 토출구가 선단부에 설치된 도포용 노즐을 피도포체의 위에 배치하고, 이 도포용 노즐의 내부에 있어서의 도액 수용부 내에 도액 공급 장치로부터 도액을 공급하고, 상기의 피도포체와 도포용 노즐을 상대적으로 이동시켜, 도액 수용부 내에 있어서의 도액을, 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 도포하는 도포 장치에 있어서, 상기의 도액 공급 장치와 도포용 노즐과의 사이에 도액 수용부로의 도액의 공급과 정지를 제어하는 제어 수단과, 상기의 도액 수용부 내에 있어서의 도액을 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 도포하는 도액의 도포 폭을 조정하는 도포 폭 조정 수단과, 상기의 도액 수용부 내에 일정한 압력으로 기체를 공급하여 도액 수용부 내의 도액을 토출시키는 기체 공급 수단을 설치했다.In the coating apparatus according to the present invention, in order to solve the above problems, a nozzle for application provided with a slit-shaped discharge port for discharging the coating liquid in the coating liquid receiving portion is provided at the tip end is disposed on the object to be coated, and this application The coating liquid is supplied from the coating liquid supply device into the coating liquid receiving part in the inside of the nozzle, the object to be coated and the application nozzle are relatively moved, and the coating liquid in the coating liquid container is discharged through the slit-shaped discharge port. A coating device for applying to a surface of an object through a passage, comprising: a control means for controlling supply and stop of a coating liquid to a coating liquid container between the coating liquid supply apparatus and a nozzle for application; an application width adjusting means for adjusting the application width of the coating liquid for applying the coating liquid to the surface of the object to be coated through the slit-shaped discharge port, and supplying a gas at a constant pressure into the coating liquid container to adjust the coating liquid in the coating liquid container A gas supply means for discharging was provided.

그리고, 본 발명에 따른 도포 장치에 있어서는, 상기와 같이 피도포체와 도포용 노즐을 상대적으로 이동시켜, 도액 수용부 내에 있어서의 도액을, 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 도포하는데 있어서, 상기의 도액 공급 장치로부터 상기의 제어 수단에 의해 도포용 노즐에 있어서의 도액 수용부 내에 도액을 공급하고, 도액 수용부로의 도액의 공급을 정지시켜, 이 상태에서, 상기의 기체 공급 수단으로부터 도액 수용부 내에 일정한 압력으로 기체를 공급하고, 도액 수용부 내에 저장한 도액을 토출시키는 동시에, 상기의 도포 폭 조정 수단에 따라, 도액 수용부 내에 저장한 도액을 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 도포하는 도액의 도포 폭을 조정하게 한다.And, in the coating device according to the present invention, as described above, the object to be coated and the nozzle for application are relatively moved, and the coating liquid in the coating liquid container is applied to the surface of the object to be coated through the slit-shaped discharge port. In this case, the coating liquid is supplied from the coating liquid supply device into the coating liquid container in the application nozzle by the control means, the supply of the coating liquid to the coating liquid container is stopped, and in this state, the gas supply means supplying gas at a constant pressure into the coating liquid accommodating part from the The application width of the coating liquid applied to the surface of the coating body is adjusted.

또한, 상기와 같이 도액 공급 장치로부터 도액 수용부 내에 공급한 도액이 감소한 경우에는, 다시 이와 같은 조작을 실시하고, 기체 공급 수단으로부터 도액 수용부 내에 일정한 압력으로 기체를 공급하여 도액 수용부 내에 저장한 도액을 토출시키는 동시에, 도포 폭 조정 수단에 따라, 도액 수용부 내에 저장한 도액을 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 도포하는 도액의 도포 폭을 조정하게 한다.In addition, when the amount of the coating solution supplied from the coating solution supply device into the coating solution accommodating part decreases as described above, the same operation is performed again, and gas is supplied from the gas supply means into the coating solution accommodating part at a constant pressure and stored in the coating solution accommodating part. At the same time as discharging the coating liquid, the application width of the coating liquid stored in the coating liquid accommodating part is applied to the surface of the object through the slit-shaped discharge port according to the application width adjusting means is adjusted.

여기서, 본 발명에 따른 도포 장치와 같이, 도액 공급 장치로부터 상기의 제어 수단에 따라 도포용 노즐에 있어서의 도액 수용부 내에 도액을 공급하고, 도액 수용부로의 도액의 공급을 정지시켜, 이 상태에서, 도포 폭 조정 수단에 따라, 도액 수용부 내에 저장한 도액을 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 도포하는 도액의 도포 폭을 조정하는데 있어소, 기체 공급 수단으로부터 도액 수용부 내에 일정한 압력으로 기체를 공급하여 도액 수용부 내에 저장한 도액을 토출하게 하면, 도액의 토출에 도액 공급관이 관계가 없어져서, 종래와 같이, 도액 공급 장치로부터 도액 공급관을 통해 도액 수용부 내에 공급하는 도액의 압력을 조정하고, 이 도액 수용부 내에 저장한 도액의 액압을 조정하는 경우와 같이, 도액 공급 장치로부터 도액 공급관을 통해 도액을 도액 수용부에 공급할 때 배관 압력 손실이 발생하는 일이 없어진다.Here, as in the coating device according to the present invention, the coating liquid is supplied from the coating liquid supply device into the coating liquid accommodating part of the application nozzle according to the above control means, the supply of the coating liquid to the coating liquid accommodating part is stopped, and in this state , When adjusting the application width of the coating liquid stored in the coating liquid storage unit to the surface of the object to be coated through the slit-shaped discharge port according to the application width adjusting means, a constant amount in the coating liquid storage portion from the gas supply means is adjusted. When the gas is supplied by pressure to discharge the coating liquid stored in the coating liquid container, the coating liquid supply pipe is not related to the coating liquid discharge, and as in the prior art, the pressure of the coating liquid supplied from the coating liquid supply device through the coating liquid supply pipe into the coating liquid container , and the pressure loss in the piping does not occur when supplying the coating liquid from the coating liquid supply device through the coating liquid supply pipe to the coating liquid container, as in the case of adjusting the liquid pressure of the coating liquid stored in the coating liquid container.

그리고, 본 발명에 따른 도포 장치에 있어서, 상기와 같이 기체 공급 수단으로부터 도액 수용부 내에 일정한 압력으로 기체를 공급하고, 도액 수용부 내에 있어서의 압력이 일정하게 되도록 하면, 도액 수용부 내에 있어서의 도액을 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 도액을 도포하게 하면서, 도액의 도포 폭을 변경시킨 경우라도, 도액 수용부 내에 있어서의 도액의 액압이 일정하게 되고, 도포된 도액의 두께에 얼룩 등이 생기지 않도록 하여, 피도포체의 표면에 도액을 균일한 두께가 되도록 도포할 수 있다.And, in the coating device according to the present invention, when gas is supplied at a constant pressure from the gas supply means into the coating liquid accommodating part so that the pressure in the coating liquid accommodating part becomes constant, as described above, is applied to the surface of the object through the slit-shaped discharge port, and even when the application width of the coating liquid is changed, the liquid pressure of the coating liquid in the coating liquid container becomes constant, and the thickness of the applied coating liquid remains constant. It is possible to apply the coating solution to a uniform thickness on the surface of the object to be coated by preventing unevenness or the like from occurring.

또한, 본 발명에 따른 도포 장치에 있어서, 도액 공급 장치로부터 도액 수용 부 내로 도액을 공급할 때, 상기의 도액 수용부 내의 기체를 배기시키는 배기 밸브를 설치하게 하면, 이 배기 밸브를 열어서 기체를 빼는 구멍을 만들 수 있고, 도액 공급 장치로부터 도액 수용부 내에 도액을 공급시키는 것을 원활하게 실시할 수 있게 된다.Further, in the coating device according to the present invention, when an exhaust valve for evacuating the gas in the coating liquid accommodating portion is provided when supplying the coating liquid from the coating liquid supply device into the coating liquid accommodating portion, the exhaust valve is opened to release the gas can be made, and it is possible to smoothly supply the coating liquid from the coating liquid supply device into the coating liquid accommodating part.

그리고, 본 발명에 따른 도포 장치에 있어서, 도액 수용부 내에 있어서의 도액을 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 도포하는 도액의 도포 폭을 조정하는 도포 폭 조정 수단으로는, 도액 수용부 내에 있어서의 도액이 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면으로 안내되는 폭을 조정하는 슬릿 폭 조정 부재를 설치하도록 할 수 있다.And, in the coating device according to the present invention, as the coating width adjusting means for adjusting the application width of the coating liquid for applying the coating liquid in the coating liquid container to the surface of the object to be coated through the slit-shaped discharge port, A slit width adjusting member may be provided for adjusting the width in which the coating liquid in the unit is guided to the surface of the object to be coated through the slit-shaped discharge port.

또한, 다른 도포 폭 조정 수단으로는, 도액 수용부 내에 있어서의 도액을 수용한 소정의 패턴 형상으로 된 도액 수용 오목부가 바깥 둘레면에 설치된 원주 형상의 도액 공급체를 상기 슬릿 형상의 토출구의 위에 위치하도록 하여 회전 가능하게 설치하고, 이 도액 공급체를 슬릿 형상의 토출구의 위에서 회전시켜, 도액 수용 오목부 내에 수용된 도액을, 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 도포용 노즐과 상대적으로 이동되는 피도포체의 표면에 공급하고, 상기의 피도포체의 표면에 도액 수용 오목부의 형상에 맞춰 도액을 도포하게 할 수 있다 .Further, as another application width adjusting means, a cylindrical coating liquid supply body provided on the outer peripheral surface of the coating liquid accommodating concave having a predetermined pattern shape for accommodating the coating liquid in the coating liquid accommodating portion is positioned above the slit-shaped discharge port. The coating liquid supply body is rotated on top of the slit-shaped discharge port so that the coating liquid accommodated in the coating liquid accommodating recess is transferred through the slit-shaped discharge port to the application nozzle and the object to be moved relatively. It can be supplied to the surface, and the coating liquid can be applied to the surface of the said to-be-coated object according to the shape of the coating-liquid accommodation recessed part.

본 발명의 도포 장치에 있어서는, 상기와 같이 피도포체와 도포용 노즐을 상대적으로 이동시켜, 도액 수용부 내에 있어서의 도액을, 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 도포하는데 있어서, 상기의 도액 공급 장치로부터 상기의 제어 수단에 의해 도포용 노즐에 있어서의 도액 수용부 내에 소정량의 도액을 공급하여, 도액 수용부로의 도액의 공급을 정지시키고, 이 상태에서, 상기의 기체 공급 수단으로부터 도액 수용부 내에 일정한 압력으로 기체를 공급하고, 도액 수용부 내에 저장한 도액을 토출시키는 동시에, 상기의 도포 폭 조정 수단에 따라, 도액 수용부 내에 저장한 도액을 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 도포하는 도액의 도포 폭을 조정하도록 했기 때문에, 도액의 토출에 도액 공급관이 관계가 없어져서, 종래와 같이, 도액 공급 장치로부터 도액 공급관을 통해 도액 수용부 내에 공급하는 도액의 압력을 조정하여 도액 수용부 내에 저장한 도액의 액압을 조정하는 경우와 같이, 도액 공급 장치로부터 도액 공급관을 통해 도액을 도액 수용부에 공급할 때 배관 압력 손실이 발생하는 일이 없어진다.In the coating device of the present invention, the coating liquid in the coating liquid container is applied to the surface of the object to be coated through the slit-shaped discharge port by relatively moving the object to be coated and the nozzle for application as described above. A predetermined amount of the coating liquid is supplied into the coating liquid accommodating part of the application nozzle by the control means from the coating liquid supply device, the supply of the coating liquid to the coating liquid container is stopped, and in this state, the gas supply means supplying gas at a constant pressure into the coating liquid accommodating part from the Since the application width of the coating liquid applied to the surface of the coating body is adjusted, the coating liquid supply pipe is not related to the coating liquid discharge, and as in the prior art, the pressure of the coating liquid supplied from the coating liquid supply device through the coating liquid supply tube into the coating liquid container is reduced. As in the case of adjusting the liquid pressure of the coating liquid stored in the coating liquid accommodating part by adjustment, piping pressure loss does not occur when supplying the coating liquid from the coating liquid supply device through the coating liquid supply pipe to the coating liquid container.

이 결과, 본 발명에 따른 도포 장치에 있어서, 상기와 같이 기체 공급 수단으로부터 도액 수용부 내에 일정한 압력으로 기체를 공급하는 것만으로, 도액 수용부 내에 있어서의 압력이 일정하게 되기 때문에, 도액 수용부 내에 있어서의 도액을 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 도액을 도포하게 하면서, 도포하는 도액의 도포 폭을 변경시킨 경우라 하더라도, 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 공급되는 도액의 양이, 각각 도포 폭이 변화하더라도 비례하게 되어, 피도포체의 표면에 도포하는 도액의 두께도 이것에 대응하여 일정하게 되고, 도포된 도액의 두께에 얼룩 등이 생기지 않도록 하여, 피도포체의 표면에 도액을 균일한 두께가 되도록 하여 도포하는 것이, 복잡한 기구나 제어를 사용하지 않더라도 가능하게 된다.As a result, in the coating device according to the present invention, as described above, only by supplying gas at a constant pressure from the gas supply means into the coating liquid accommodating part, the pressure in the coating liquid accommodating part becomes constant, so that the inside of the coating liquid accommodating part is Even when the application width of the coating liquid to be applied is changed while the coating liquid is applied to the surface of the object through the slit-shaped discharge port, it is supplied to the surface of the object through the slit-shaped discharge port. The amount of the coating solution becomes proportional even when the application width changes, so that the thickness of the coating solution applied to the surface of the object to be coated becomes constant correspondingly, so that unevenness or the like does not occur in the thickness of the applied coating solution. It becomes possible to apply the coating liquid to a uniform thickness on the surface of the body without using a complicated mechanism or control.

도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 도포 장치에 있어서, 도포용 노즐의 선단부에, 이 도포용 노즐의 내부에 있어서의 도액 수용부에 수용한 도액을 토출시키는 슬릿 형상의 토출구를 설치하는 동시에, 도포 폭 조정 수단으로서 이 슬릿 형상의 토출구의 개폐 상태를 조정하는 한 쌍의 폭 조정 부재를 설치하고, 도포용 노즐의 내부에 있어서의 도액 수용부 내에 도액 공급 장치로부터 도액을 공급하는 상태를 나타내며, (A)는 도포용 노즐의 슬릿 형상의 토출구의 폭 방향의 개략 단면 설명도, (B)는 도포용 노즐에 있어서의 슬릿 형상의 토출구의 폭 방향과 교차하는 방향의 개략 단면 설명도이다.
도 2는, 상기의 실시 형태에 따른 도포 장치에 있어서, 상기의 도포용 노즐의 내부에 있어서의 도액 수용부 내에 도액 공급 장치로부터 소정량의 도액을 공급하고, 도포용 노즐에 의한 도액의 도포를 개시하기 전의 상태를 나타내며, (A)는 도포용 노즐에 있어서의 슬릿 형상의 토출구의 폭 방향의 개략 단면 설명도, (B)는 도포용 노즐에 있어서의 슬릿 형상의 토출구의 폭 방향과 교차하는 방향의 개략 단면 설명도이다.
도 3은, 상기의 실시 형태에 따른 도포 장치에 있어서, 이 도포용 노즐을 피도포체의 위를 이동시키는 동시에, 도포용 노즐의 선단부에 있어서의 슬릿 형상의 토출구를 닫은 상태에 있는 상기 한 쌍의 폭 조정 부재를 이동시켜서, 상기의 도액 수용부에 수용된 도액을, 한 쌍의 폭 조정 부재의 사이에 있어서의 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 도포시키는 상태를 나타내며, (A)는 도포용 노즐에 의해 피도포체의 표면에 도액을 도포하는 최초의 상태를 나타낸 도포용 노즐의 길이 방향 및 길이 방향과 교차하는 방향의 개략 단면 설명도, (B)는 도포용 노즐에 의해 피도포체의 표면에 도액을 최대 폭으로 도포하는 상태를 나타낸 도포용 노즐의 길이 방향 및 길이 방향과 교차하는 방향의 개략 단면 설명도, (C)는 도포용 노즐에 의해 피도포체의 표면 전체에 도액을 도포시킨 경우에 있어서의 도포용 노즐의 길이 방향 및 길이 방향과 교차하는 방향의 개략 단면 설명도이다.
도 4는, 상기의 실시 형태에 따른 도포 장치에 있어서, 상기의 도 3에 나타낸 바와 같이, 도포용 노즐을 피도포체의 위를 이동시키는 동시에, 상기 한 쌍의 폭 조정 부재간의 폭을 변경하도록 이동시키고, 상기의 도액 수용부에 수용된 도액을, 한 쌍의 폭 조정 부재의 사이에 있어서의 상기 슬릿 형상의 토출구를 피도포체의 표면에 도포시킨 피도포체의 평면 상태를 나타내며, (A)는 도 3(A)의 상태를 나타낸 평면도, (B)는 도 3(B)의 상태를 나타낸 평면도, (C)는 도 3(C)의 상태를 나타낸 평면도이다.
도 5는, 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 도포 장치에 있어서, 도포 폭 조정 수단으로서, 도액이 공급되는 도포용 노즐에 있어서의 도액 수용부 내에 회전 가능하게 설치하는 도액 공급체의 바깥 둘레면에 대해 도액을 수용한 타원 형상으로 된 도액 수용 오목부를 설치한 것을 사용한 상태를 나타내며, (A)는 도액 수용 오목부를 설치한 도액 공급체의 개략 정면도, (B)는 도액 공급체의 바깥 둘레면에 설치한 도액 수용 오목부의 전개 평면도이다.
도 6은, 상기 다른 실시 형태에 따른 도포 장치에 있어서, 도포용 노즐에 있어서의 도액 수용부에 도액을 공급한 상태에서, 이 도포용 노즐을 피도포체의 위로 안내하여, 피도포체의 위를 이동시키는 동시에, 상기의 도액 공급체를 도액 도입 부 내에서 회전시켜, 도액 공급체에 있어서의 도액 수용 오목부 내에 수용된 도액을, 도포용 노즐의 선단부의 슬릿 형상의 토출구로부터 피도포체의 표면에 도포하는 경우를 나타내며, (A)는 도포용 노즐에 있어서의 도액 수용부에 도액을 공급한 상태에서, 이 도포용 노즐을 피도포체의 위로 안내한 상태를 나타낸 도포용 노즐의 길이 방향과 교차하는 방향의 개략 단면 설명도, (B)는 도포용 노즐에 의해 피도포체의 표면에 도액을 도포하는 최초의 상태를 나타낸 도포용 노즐의 길이 방향과 교차하는 방향의 개략 단면 설명도, (C)는 도포용 노즐에 의해 피도포체의 표면에 도액을 최대 폭으로 도포하는 상태를 나타낸 도포용 노즐의 길이 방향과 교차하는 방향의 개략 단면 설명도, (D)는 도포용 노즐에 의해 피도포체의 표면 전체에 도액을 도포한 경우에 있어서의 도포용 노즐의 길이 방향과 교차하는 방향의 개략 단면 설명도이다.1 is a slit-shaped discharge port for discharging a coating liquid accommodated in a coating liquid accommodating part inside the coating nozzle in the distal end of the coating nozzle in the coating device according to an embodiment of the present invention. At the same time, a pair of width adjusting members for adjusting the opening/closing state of the slit-shaped discharge port are provided as the application width adjusting means, and the state in which the coating liquid is supplied from the coating liquid supply device into the coating liquid accommodating part inside the application nozzle. (A) is a schematic cross-sectional explanatory view in the width direction of the slit-shaped discharge port of the application nozzle, (B) is a schematic cross-sectional explanatory view in the direction intersecting the width direction of the slit-shaped discharge port in the application nozzle. .
FIG. 2 is a diagram showing, in the coating device according to the embodiment, a predetermined amount of a coating liquid is supplied from the coating liquid supply device into a coating liquid accommodating part in the inside of the coating nozzle, and application of the coating liquid by the coating nozzle is performed. The state before starting is shown, (A) is a schematic cross-sectional explanatory view of the slit-shaped discharge port in the application nozzle in the width direction, (B) is a cross-sectional explanatory view of the slit-shaped discharge port in the application nozzle in the width direction It is a schematic cross-sectional explanatory drawing of a direction.
3 : in the coating apparatus which concerns on said embodiment WHEREIN: While moving this application|coating nozzle over a to-be-coated object, the said pair in the state in which the slit-shaped discharge port in the front-end|tip part of the application|coating nozzle is closed. represents a state in which the coating liquid accommodated in the coating liquid accommodating part is applied to the surface of the object to be coated through the slit-shaped discharge port between the pair of width adjustment members by moving the width adjustment member of (A ) is a schematic cross-sectional explanatory view of the longitudinal direction of the application nozzle and the direction intersecting the longitudinal direction showing the initial state of applying the coating liquid to the surface of the object by the application nozzle, (B) is the application nozzle A schematic cross-sectional explanatory view of the longitudinal direction and the direction intersecting the longitudinal direction of the application nozzle showing a state in which the coating liquid is applied to the surface of the object to be coated in the maximum width, (C) is the entire surface of the object to be coated by the nozzle for application It is a schematic cross-sectional explanatory drawing of the longitudinal direction of the nozzle for application|coating in the case where a coating liquid is apply|coated, and the direction which cross|intersects the longitudinal direction.
4 : in the coating apparatus which concerns on the said embodiment, as shown in said FIG. 3, while moving the application|coating nozzle over the to-be-coated object, while changing the width|variety between the said pair of width adjustment members, a planar state of the coated object in which the coating liquid accommodated in the coating liquid accommodating part is moved and the slit-shaped discharge port between the pair of width adjustment members is applied to the surface of the coated object, (A) is a plan view showing the state of Fig. 3 (A), (B) is a plan view showing the state of Fig. 3 (B), (C) is a plan view showing the state of Fig. 3 (C).
FIG. 5 is an outer circumferential surface of a coating liquid supply body rotatably installed in a coating liquid container in a coating nozzle to which a coating liquid is supplied, as an application width adjusting means in the coating apparatus according to another embodiment of the present invention. A state in which an oval-shaped coating-liquid accommodating recess is provided for accommodating the coating liquid, (A) is a schematic front view of the coating-liquid supply body provided with the coating-liquid accommodating recess, (B) is the outer peripheral surface of the coating liquid supply body It is an expanded plan view of the coating-liquid receiving recessed part installed in .
Fig. 6 shows the coating device according to the other embodiment, in a state in which the coating liquid is supplied to the coating liquid receiving part of the application nozzle, the application nozzle is guided over the object to be coated, and is placed on the top of the object. at the same time as the above-mentioned coating liquid supply body is rotated in the coating liquid introduction part, the coating liquid accommodated in the coating liquid receiving recess in the coating liquid supply body is discharged from the slit-shaped discharge port at the tip of the application nozzle to the surface of the object to be coated. shows the case of application to, (A) is the longitudinal direction of the application nozzle showing the state in which the coating liquid is supplied to the coating liquid receiving part of the application nozzle and the application nozzle is guided over the object to be coated; A schematic cross-sectional explanatory view in the intersecting direction, (B) is a schematic cross-sectional explanatory view in a direction intersecting with the longitudinal direction of the application nozzle showing the initial state of applying the coating liquid to the surface of the object by the application nozzle, ( C) is a schematic cross-sectional explanatory view of the direction intersecting the longitudinal direction of the application nozzle showing the state in which the coating liquid is applied to the surface of the object to be coated by the application nozzle to the maximum width, (D) is the coating liquid to be coated by the application nozzle It is a schematic cross-sectional explanatory drawing of the direction which cross|intersects the longitudinal direction of the nozzle for application|coating in the case where a coating liquid is apply|coated to the whole surface of a coating body.

이하, 본 발명의 실시 형태에 따른 도포 장치를 첨부 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다. 또한, 본 발명에 따른 도포 장치 및 도포 방법은, 하기의 실시 형태에 나타낸 것에 한정되지 않고, 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서, 적절하게 변경하여 실시할 수 있는 것이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the coating apparatus which concerns on embodiment of this invention is demonstrated concretely with reference to an accompanying drawing. In addition, the coating apparatus and coating method which concern on this invention are not limited to what was shown in the following embodiment, The range which does not change the summary of invention WHEREIN: It is a thing which can be changed suitably and can be implemented.

여기서, 본 발명의 실시 형태의 도포 장치에 있어서는, 도 1(A), (B) 등의 첨부 도면에 나타낸 바와 같이, 도포용 노즐(10)로서, 내부에 도액(P)을 수용한 도액 수용부(11)를 설치하는 동시에, 선단부에 상기의 도액 수용부(11) 내에 수용된 도액(P)을 토출시키는 슬릿 형상의 토출구(12)를 설치하고, 나아가 상기 슬릿 형상의 토출구(12)의 아래에, 도포 폭 조정 수단으로서, 한 쌍의 슬릿 폭 조정 부재(13, 13)를 이동 장치(미도시)에 의해 슬릿 형상의 토출구(12)의 길이 방향으로 슬라이딩하도록 설치하고, 이 한 쌍의 슬릿 폭 조정 부재(13, 13)를 슬릿 형상의 토출구(12)의 길이 방향으로 슬라이딩하게 해, 슬릿 형상의 토출구(12)를 개폐시키는 폭을 조정하게 하고 있다.Here, in the coating device of the embodiment of the present invention, as shown in the accompanying drawings such as Figs. 1 (A) and (B), as the nozzle 10 for application, the coating liquid containing the coating liquid P therein is accommodated. Simultaneously with the installation of the portion 11, a slit-shaped discharge port 12 for discharging the coating liquid P contained in the above-described coating liquid receiving portion 11 is provided at the tip end, and further below the slit-shaped discharge port 12 Then, as the application width adjusting means, a pair of slit width adjusting members 13 and 13 are installed so as to slide in the longitudinal direction of the slit-shaped discharge port 12 by a moving device (not shown), and the pair of slits The width adjusting members 13 and 13 are made to slide in the longitudinal direction of the slit-shaped discharge port 12 to adjust the width for opening and closing the slit-shaped discharge port 12 .

또한, 이 실시 형태의 도포 장치에 있어서는, 상기의 도포용 노즐(10)에 있어서의 도액 수용부(11)에 대해, 도액 공급 장치(20)로부터 도액(P)을 공급하는 도액 공급 파이프(21)에, 제어 수단으로서 도액 공급 밸브(22)를 설치하고, 이 도액 공급 밸브(22)를 개폐시켜, 도액 수용부(11)로의 도액(P)의 공급이나 정지를 실시하도록 하는 동시에, 도액 수용부(11) 내로의 기체의 공급·배기를 실시하는 공급·배기 파이프(31)를 설치하고, 이 공급·배기 파이프(31)에 있어서의 공급측 파이프(31a)에 설치한 공급 밸브(31b)를 통해 기체를 도액 수용부(11)에 공급하는 기체 공급 수단(30)을 설치하는 한편, 공급·배기 파이프(31)에 있어서의 배기측 파이프(32a)에 설치한 배기 밸브(32b)를 통해, 도액 수용부(11) 내에 있어서의 기체를 배기하게 하고 있다.In addition, in the coating apparatus of this embodiment, the coating liquid supply pipe 21 which supplies the coating liquid P from the coating liquid supply apparatus 20 to the coating liquid receiving part 11 in the said coating liquid receiving part 11 in the said nozzle 10 for application. ), a coating liquid supply valve 22 is provided as a control means, and the coating liquid supply valve 22 is opened and closed to supply or stop the coating liquid P to the coating liquid container 11, and to receive the coating liquid. A supply/exhaust pipe 31 for supplying and exhausting gas into the unit 11 is provided, and a supply valve 31b provided in the supply-side pipe 31a of the supply/exhaust pipe 31 is connected. A gas supply means 30 for supplying the gas to the coating liquid accommodating part 11 is provided through an exhaust valve 32b provided in the exhaust side pipe 32a of the supply/exhaust pipe 31, The gas in the coating liquid accommodating part 11 is exhausted.

또한, 도액 공급 파이프(21)는, 도액(P)을 도액 수용부(11)에 공급할 때 위에서 낙하시키면, 도액(P) 중에 기포가 발생하여 혼입해 버리기 때문에, 그렇게 되지 않도록, 도액 수용부(11)의 바닥부에 접속되어 있다. 또한, 도액 공급 장치(20)에서는, 밀폐 용기에 모은 도액(P)을, 기체 도입구(23)로부터 도입한 기체의 압력에 의해 도액 공급 파이프(21)를 통해 압송시키도록 하고 있다.In addition, the coating liquid supply pipe 21, when the coating liquid P is supplied to the coating liquid accommodating part 11, if it is dropped from above, bubbles are generated and mixed in the coating liquid P. In order not to do so, the coating liquid accommodating part ( 11) is connected to the bottom. In addition, in the coating liquid supply device 20 , the coating liquid P collected in the airtight container is pressurized through the coating liquid supply pipe 21 by the pressure of the gas introduced from the gas inlet 23 .

여기서, 이 실시 형태의 도포 장치에 있어서, 도포용 노즐(10)에 있어서의 도액 수용부(11) 내에 도액(P)을 공급하는 경우에는, 도 1(A), (B)에 나타낸 바와 같이, 도포용 노즐(10)의 선단부에 있어서의 슬릿 형상의 토출구(12)를 상기 한 쌍의 슬릿 폭 조정 부재(13, 13)에 의해 닫은 상태에서, 상기의 도액 공급 파이프(21)에 설치한 도액 공급 밸브(22)를 열고, 도액 공급 장치(20)로부터 도액(P)을 도액 수용부(11)에 공급하는 동시에, 상기의 배기측 파이프(32a)에 설치한 배기 밸브(32b)를 열고, 이 배기측 파이프(32a)를 통해 도액 수용부(11) 내에 있어서의 기체를 배기(기체 뺌)하는 한편, 상기의 공급측 파이프(31a)에 설치한 공급 밸브(31b)를 닫고, 기체 공급 수단(30)으로부터 기체를 도액 수용부(11)에 공급되지 않도록 한다. 또한, 도면에 나타낸 각 밸브(22, 31b, 32b)에 대해서는 열린 상태를 흰색으로, 닫은 상태를 검은 색으로 나타냈다.Here, in the coating device of this embodiment, when supplying the coating liquid P into the coating liquid accommodating part 11 in the nozzle 10 for application|coating, as shown to FIG.1(A), (B), , in a state in which the slit-shaped discharge port 12 at the tip of the application nozzle 10 is closed by the pair of slit width adjusting members 13 and 13, and installed in the coating liquid supply pipe 21 The coating liquid supply valve 22 is opened, the coating liquid P is supplied from the coating liquid supply device 20 to the coating liquid container 11, and the exhaust valve 32b provided in the exhaust side pipe 32a is opened. , the gas in the coating liquid accommodating part 11 is exhausted (gassed out) through the exhaust side pipe 32a, while the supply valve 31b provided in the supply side pipe 31a is closed, and gas supply means Make sure that the gas from (30) is not supplied to the coating liquid receiving part (11). In addition, about each valve 22, 31b, 32b shown in the figure, the open state was shown in white, and the closed state was shown in black.

또한, 상기와 같이 하여 도포용 노즐(10)에 있어서의 도액 수용부(11) 내에 소정량의 도액(P)을 공급하게 한 후, 도 2(A), (B)에 나타낸 바와 같이, 도포용 노즐(10)의 선단부에 있어서의 슬릿 형상의 토출구(12)를 상기 한 쌍의 슬릿 폭 조정 부재(13, 13)에 의해 닫은 상태에서, 도액 공급 파이프(21)에 설치한 상기의 도액 공급 밸브(22)를 닫고, 도액 공급 장치(20)로부터 도액(P)을 도액 수용부(11)에 공급되지 않도록 하는 동시에, 상기의 배기측 파이프(32a)에 설치한 배기 밸브(32b)를 닫고 도액 수용부(11) 내에 있어서의 기체를 배기하지 않도록 하는 한편, 상기의 공급측 파이프(31a)에 설치한 공급 밸브(31b)를 열고, 기체 공급 수단(30)으로부터 압력 조정 밸브(미도시)를 이용해 일정한 압력으로 기체를 도액 수용부(11)의 상부로부터 도액 수용부(11) 내에 공급하게 한다.In addition, after a predetermined amount of the coating liquid P is supplied into the coating liquid accommodating part 11 in the application nozzle 10 as described above, as shown in Figs. 2(A) and (B), the application The above-described coating liquid supply provided in the coating liquid supply pipe 21 in a state in which the slit-shaped discharge port 12 at the tip of the nozzle 10 is closed by the pair of slit width adjusting members 13 and 13. Close the valve 22 so that the coating liquid P is not supplied to the coating liquid container 11 from the coating liquid supply device 20, and at the same time close the exhaust valve 32b provided in the exhaust side pipe 32a. While preventing the gas in the coating liquid accommodating part 11 from being exhausted, the supply valve 31b provided in the supply-side pipe 31a is opened, and a pressure regulating valve (not shown) is connected from the gas supply means 30 . Using a constant pressure, the gas is supplied from the upper part of the coating liquid container 11 into the coating liquid container 11 .

그리고, 이 실시 형태의 도포 장치에 있어서, 상기의 도포용 노즐(10)로부터 피도포체(W)의 표면에 도액(P)을 도포하게 하는데 있어서는, 상기와 같이 도포용 노즐(10)의 선단부에 있어서의 슬릿 형상의 토출구(12)를 상기 한 쌍의 슬릿 폭 조정 부재(13, 13)에 의해 닫은 상태에서, 도포용 노즐(10)에 있어서의 도액 수용부(11) 내에 소정량의 도액(P)을 공급하는 동시에, 도액 수용부(11) 내가 소정의 압력이 되도록 기체 공급 수단(30)으로부터 일정한 압력으로 기체를 공급하게 하고, 이 도포용 노즐(10)을, 상기 슬릿 형상의 토출구(12)로부터 피도포체(W)의 표면에 도액(P)의 도포를 개시하게 하는 위치로 안내하게 한다.And, in the coating device of this embodiment, when applying the coating liquid P to the surface of the to-be-coated object W from the said nozzle 10 for application|coating, the front-end|tip part of the nozzle 10 for application|coating as mentioned above. In a state in which the slit-shaped discharge port 12 in the above is closed by the pair of slit width adjusting members 13 and 13, a predetermined amount of the coating liquid is contained in the coating liquid accommodating portion 11 of the application nozzle 10. At the same time as supplying (P), gas is supplied from the gas supply means 30 at a constant pressure so that the inside of the coating liquid accommodating part 11 becomes a predetermined pressure, and this application nozzle 10 is connected to the slit-shaped discharge port. It is guided from (12) to a position where the application of the coating liquid P on the surface of the object W is started.

그리고, 이 실시 형태에 있어서의 도포 장치를 사용하여, 도 3(A) ~ (C) 및 도 4(A) ~ (C)에 나타낸 바와 같이, 상기의 도포용 노즐(10)로부터 피도포체(W)의 표면에 도액(P)을 도포하게 하면서 도액(P)의 도포 폭을 달리 하여, 원 형상으로 된 피도포체(W)의 표면에 대해 도액(P)을 원 형상으로 도포하게 하는 경우에 대해서 설명한다.And using the coating apparatus in this embodiment, as shown to Fig.3 (A) - (C) and Fig.4 (A) - (C), it is a to-be-coated object from said nozzle 10 for application|coating. By varying the application width of the coating liquid (P) while applying the coating liquid (P) to the surface of (W), the coating liquid (P) is applied in a circular shape to the surface of the object (W) in a circular shape A case will be described.

여기서, 이 실시 형태의 도포 장치에 있어서는, 도액 수용부(11) 내가 소정의 압력이 되도록 기체 공급 수단(30)으로부터 기체를 일정한 압력으로 공급하게 하고, 도 3(A) ~ (C)에 나타낸 바와 같이, 상기의 도포용 노즐(10)을 피도포체(W)의 표면에 도액(P)을 도포하는 방향으로 이동시키는 동시에, 상기와 같이 슬릿 형상의 토출구(12)를 한 쌍의 슬릿 폭 조정 부재(13, 13)에 의해 닫은 상태로부터, 도 3(A)에 나타낸 바와 같이, 상기 한 쌍의 슬릿 폭 조정 부재(13, 13)를 떨어진 방향으로 이동시켜 슬릿 형상의 토출구(12)를 약간 열고, 이 슬릿 형상의 토출구(12)로부터 피도포체(W)의 표면에 도액(P)을 도포하게 한다.Here, in the coating apparatus of this embodiment, gas is supplied from the gas supply means 30 at a constant pressure so that the inside of the coating liquid container 11 becomes a predetermined pressure, and shown in Figs. 3(A) to 3(C). As described above, while moving the application nozzle 10 in the direction of applying the coating liquid P on the surface of the object W, the slit-shaped discharge port 12 is moved as described above with a pair of slit widths. From the state closed by the adjusting members 13 and 13, as shown in Fig. 3(A), the pair of slit width adjusting members 13 and 13 are moved in a direction away from each other to close the slit-shaped discharge port 12. It is slightly opened, and the coating liquid P is applied to the surface of the object W from this slit-shaped discharge port 12.

그리고, 이와 같이 도포용 노즐(10)을 이동하게 하면서, 한 쌍의 슬릿 폭 조정 부재(13, 13)를 떨어진 방향으로 서서히 이동시켜, 슬릿 형상의 토출구(12)를 더욱 크게 열어서, 도 3(B)에 나타낸 바와 같이, 원 형상으로 된 피도포체(W)의 표면의 직경 방향 전체에 도액(P)을 도포하게 한다. 그 후에는, 더욱 상기의 도포용 노즐(10)을 이동하게 하면서, 상기 한 쌍의 슬릿 폭 조정 부재(13, 13)를 가까운 방향으로 이동시켜, 개구된 슬릿 형상의 토출구(12)의 폭을 점차 감소하게 하면서, 상기의 도포용 노즐(10)을, 도액(P)을 도포하는 피도포체(W)의 단부까지 이동시킨 상태에서는, 도 3(C)에 나타낸 바와 같이, 상기와 같이 슬릿 형상의 토출구(12)를 한 쌍의 슬릿 폭 조정 부재(13, 13)에 의해 닫은 상태로써, 도액(P)이 슬릿 형상의 토출구(12)로부터 누출되지 않게 한다.Then, while moving the nozzle 10 for application in this way, the pair of slit width adjusting members 13 and 13 are gradually moved in the separated direction to further open the slit-shaped discharge port 12, as shown in Fig. 3 ( As shown in B), the coating liquid P is applied over the entire radial direction of the surface of the circularly coated object W. After that, while further moving the application nozzle 10, the pair of slit width adjusting members 13 and 13 are moved in a near direction to increase the width of the opened slit-shaped discharge port 12. While gradually decreasing, in the state in which the above-mentioned application nozzle 10 is moved to the end of the object W to which the coating liquid P is applied, as shown in Fig. 3(C), the slit as described above In a state in which the shaped discharge port 12 is closed by a pair of slit width adjusting members 13 and 13 , the coating liquid P is prevented from leaking from the slit shaped discharge port 12 .

여기서, 이 실시 형태의 도포 장치에 있어서는, 도포용 노즐(10)을 피도포체(W)의 위를 이동하게 하면서, 원 형상으로 된 피도포체(W)의 표면에 대해 도액(P)을 원 형상으로 도포하는데 있어서, 도액 수용부(11) 내가 항상 소정의 압력이 되도록 기체 공급 수단(30)으로부터 일정한 압력으로 기체를 공급하게 했기 때문에, 종래와 같이, 도액 공급 장치로부터 도액 공급관을 통해 도액을 도액 수용부에 공급할 때 배관 압력 손실이 발생하는 것에 대처하기 위해, 도액 공급 장치로부터 도액 공급관을 통해 도액 수용부 내에 공급하는 도액의 압력을 조정하여 도액 수용부 내에 저장한 도액의 액압을 조정할 필요가 없어진다.Here, in the coating apparatus of this embodiment, while moving the nozzle 10 for application on the top of the to-be-coated object W, the coating liquid P is applied with respect to the surface of the to-be-coated object W which became circular. When applying in a circular shape, since gas is supplied at a constant pressure from the gas supply means 30 so that the inside of the coating liquid accommodating part 11 is always at a predetermined pressure, as in the prior art, the coating liquid is supplied from the coating liquid supply device through the coating liquid supply pipe. In order to cope with the occurrence of pipe pressure loss when supplying to the coating liquid container, it is necessary to adjust the pressure of the coating liquid stored in the coating liquid container by adjusting the pressure of the coating liquid supplied from the coating liquid supply device into the coating liquid container through the coating liquid supply pipe. disappears

이 결과, 상기와 같이 상기 한 쌍의 슬릿 폭 조정 부재(13, 13)를 이동해, 슬릿 형상의 토출구(12)의 개구 폭을 변경시키고, 도포용 노즐(10)로부터 피도포체(W)의 표면에 도액(P)의 도포 폭을 변경시킨 경우에 있어서도, 액압이 일정하게 유지되므로, 슬릿 형상의 토출구(12)를 통해 피도포체(W)의 표면에 공급되는 도액(P)의 양이 도포 폭에 대응해 비례하게 되고, 도포된 도액(P)의 두께에 얼룩 등이 생기지 않도록 하여, 피도포체(W)의 표면에 도액(P)을 균일한 두께가 되도록 도포하는 것이, 복잡한 기구나 제어를 사용하지 않더라도 가능하게 되었다.As a result, as described above, the pair of slit width adjusting members 13 and 13 are moved to change the opening width of the slit-shaped discharge port 12, and from the application nozzle 10, the Even when the application width of the coating liquid P on the surface is changed, the hydraulic pressure is kept constant, so the amount of the coating liquid P supplied to the surface of the object W through the slit-shaped discharge port 12 is It is a complicated mechanism to apply the coating liquid P to the surface of the object W so that it becomes proportional to the application width, and to prevent unevenness or the like in the thickness of the applied coating liquid P, and to have a uniform thickness on the surface of the object W. It became possible even if I did not use the control.

또한, 상기의 기체 공급 수단(30)으로부터 도액 수용부(11) 내에 공급하는 기체의 압력을 변화시키면, 피도포체(W)의 표면에 도포하는 도액(P)의 두께를 변화시킬 수 있고, 그러면, 피도포체(W)의 표면에 도액(P)을 도포하게 하면서, 일부 도액(P)의 두께를 변경하거나 하는 것이 가능하게 된다.In addition, by changing the pressure of the gas supplied from the gas supply means 30 into the coating liquid accommodating part 11, the thickness of the coating liquid P applied to the surface of the object W can be changed, Then, it becomes possible to change the thickness of some coating liquid P, making it apply|coat the coating liquid P to the surface of the to-be-coated object W.

또한, 본 발명에 있어서의 도포 장치는, 상기의 실시 형태에 나타낸 바와 같은 도포 장치에 한정되지 않고, 도포용 노즐(10)로부터 피도포체(W)의 표면에 도액(P)의 도포 폭을 변경시키는 도포 폭 조정 수단으로는, 다양한 도포 폭 조정 수단의 것을 사용할 수 있다.In addition, the coating apparatus in this invention is not limited to the coating apparatus as shown in said embodiment, The application width of the coating liquid P on the surface of the to-be-coated object W from the nozzle 10 for application|coating. As the coating width adjusting means to be changed, various coating width adjusting means can be used.

예를 들면, 도 5(A), (B)에 나타낸 바와 같은, 도포 폭 조정 수단으로서, 원주 형상으로 된 도액 공급체(40)에 있어서의 바깥 둘레면에 타원 형상으로 된 도액 수용 오목부(41)를 오목하게 설치한 것을 이용하고, 도 4(A) ~ (C)에 나타낸 바와 같은, 원 형상으로 된 피도포체(W)의 표면에 대해 도액(P)을 원 형상으로 도포하게 하는 것도 가능하다.For example, as shown in Figs. 5(A) and (B), as an application width adjusting means, an oval-shaped coating-liquid receiving concave portion on the outer circumferential surface of the cylindrical coating-liquid supply body 40 ( 41) is provided in a concave shape, and the coating solution P is applied in a circular shape to the surface of the to-be-coated object W having a circular shape as shown in FIGS. 4(A) to (C). It is also possible

여기에서, 이와 같은 도액 공급체(40)를 이용한 실시 형태의 도포 장치에 있어서는, 도 6(A) ~ (D)에 나타낸 바와 같이, 상기의 원주 형상으로 된 도액 공급체(40)를 도포용 노즐(10)에 있어서의 도액 수용부(11) 내에 있어서, 상기 슬릿 형상의 토출구(12)의 위에 위치하도록 하고, 슬릿 형상의 토출구(12)를 따라 배치시키는 동시에, 이와 같이 배치시킨 도액 공급체(40)를 회전 장치(미도시)에 의해 회전할 수 있도록 하여, 도액 공급체(40)에 있어서의 바깥 둘레면에 오목하게 설치된 도액 수용 오목부(41)를 상기 슬릿 형상의 토출구(12)와 대향하도록 한다.Here, in the coating device of the embodiment using such a coating liquid supply body 40, as shown in Figs. 6(A) to 6 (D), the above-described cylindrical coating liquid supply body 40 is applied for application. In the coating liquid accommodating part 11 of the nozzle 10, it is made to be located above the said slit-shaped discharge port 12, and is arrange|positioned along the slit-shaped discharge port 12, and the coating liquid supply body arrange|positioned in this way (40) is rotatable by a rotating device (not shown), so that the coating liquid accommodating concave portion 41 concavely provided on the outer circumferential surface of the coating liquid supply body 40 is inserted into the slit-shaped discharge port 12 to face with

그리고, 이와 같은 도액 공급체(40)를 이용한 실시 형태의 도포 장치에 있어서는, 도 6(A)에 나타낸 바와 같이, 상기의 원주 형상으로 된 도액 공급체(40)에 있어서, 도액 수용 오목부(41)가 설치되어 있지 않은 도액 공급체(40)의 부분을 슬릿 형상의 토출구(12)의 위에 위치시키고, 슬릿 형상의 토출구(12)를 도액 공급체(40)에 의해 닫힌 상태에서, 상기 실시 형태의 경우와 마찬가지로, 도포용 노즐(10)에 있어서의 도액 수용부(11) 내에 소정량의 도액(P)을 공급하고, 도액 공급 파이프(21)에 설치한 상기의 도액 공급 밸브(22)를 닫고, 도액 공급 장치(20)로부터 도액(P)을 도액 수용부(11)에 공급하지 않도록 하는 동시에, 상기의 배기측 파이프(32a)에 설치한 배기 밸브(32b)를 닫고 도액 수용부(11) 내에 있어서의 기체를 배출하지 않도록 하는 한편, 상기의 공급측 파이프(31a)에 설치한 공급 밸브(31b)를 열어서, 기체 공급 수단(30)으로부터 일정한 압력으로 기체를 도액 수용부(11) 내에 공급시켜, 이 상태에서, 도포용 노즐(10)을 피도포체(W)의 위로 안내하게 한다.And in the coating device of the embodiment using such a coating liquid supply body 40, as shown in FIG. 6(A), in the coating liquid supply body 40 having the above-described cylindrical shape, a coating liquid receiving recess ( A portion of the coating liquid supply body 40 that is not provided with 41) is placed on the slit-shaped discharge port 12, and the slit-shaped discharge port 12 is closed by the coating liquid supply body 40. As in the case of the form, a predetermined amount of the coating liquid P is supplied into the coating liquid accommodating part 11 of the application nozzle 10, and the coating liquid supply valve 22 is provided in the coating liquid supply pipe 21. to prevent supply of the coating liquid P from the coating liquid supply device 20 to the coating liquid container 11, and at the same time close the exhaust valve 32b provided in the exhaust side pipe 32a described above to close the coating liquid container ( 11) While preventing the gas from being discharged, the supply valve 31b provided in the supply-side pipe 31a is opened and the gas is supplied from the gas supply means 30 at a constant pressure into the coating liquid accommodating part 11 . It is supplied and in this state, the nozzle 10 for application|coating is guided above the to-be-coated object W.

이어서, 상기의 도액 수용부(11) 내가 소정의 압력이 되도록 기체 공급 수단(30)으로부터 일정한 압력으로 기체를 공급하게 하여, 도 6(B) ~ (D)에 나타낸 바와 같이, 상기의 도포용 노즐(10)을 피도포체(W)의 표면에 도액(P)을 도포하는 방향으로 이동시키는 동시에, 상기와 같이 슬릿 형상의 토출구(12)를 닫은 상태에 있는 상기의 도액 공급체(40)를 회전시켜, 이 도액 공급체(40)의 바깥 둘레면에 오목하게 설치된 타원 형상으로 된 도액 수용 오목부(41)가 도포용 노즐(10)의 슬릿 형상의 토출구(12)와 겹친 부분으로부터, 슬릿 형상의 토출구(12)를 통해 상기의 타원 형상으로 된 도액 수용 오목부(41) 내에 수용된 도액(P)을, 슬릿 형상의 토출구(12)와 겹치는 폭에 대응시켜 피도포체(W)의 표면에 공급하도록 하고 있다. 또한, 이 도포 장치에 있어서는, 조업 중에는 슬릿 형상의 토출구(12) 전체에 도액(P)이 모인 상태이고, 도 6(B), (C)에 나타낸 바와 같이, 도액 공급체(40)의 바깥 둘레면에 오목하게 설치된 도액 수용 오목부(41)가 도포용 노즐(10)의 슬릿 형상의 토출구(12)와 겹친 경우에는, 겹친 부분으로부터만, 슬릿 형상의 토출구(11)를 통해 도액 수용 오목부(14a) 내에 수용된 도액(P)이 피도포체(W)의 표면에 공급되어 피도포체(W)의 표면에 공급되게 하는 한편, 도 6(A), (D)에 나타낸 바와 같이, 도액 공급체(40)의 바깥 둘레면에 오목하게 설치된 도액 수용 오목부(41)가 도포용 노즐(10)의 슬릿 형상의 토출구(12)와 겹치지 않은 상태에서는, 도액(P)이 슬릿 형상의 토출구(11)에 새롭게 공급되지 않고, 도액(P)이 슬릿 형상의 토출구(11)로부터 피도포체(W)의 표면에 공급되지 않게 된다.Next, gas is supplied from the gas supply means 30 at a constant pressure so that the inside of the coating liquid accommodating part 11 has a predetermined pressure, and as shown in FIGS. 6(B) to 6(D), the application While moving the nozzle 10 in the direction of applying the coating liquid P on the surface of the object W, the above-mentioned coating liquid supply body 40 in a state in which the slit-shaped discharge port 12 is closed as described above. from the portion where the coating liquid receiving concave portion 41 having an elliptical shape provided concavely on the outer circumferential surface of the coating liquid supply body 40 overlaps the slit-shaped discharge port 12 of the application nozzle 10 by rotating the Through the slit-shaped discharge port 12, the coating liquid P accommodated in the above-mentioned oval-shaped coating liquid receiving recess 41 corresponds to the overlapping width with the slit-shaped discharge port 12, so that the supplied to the surface. In addition, in this coating device, the coating liquid P is in a state in which the entire slit-shaped discharge port 12 is collected during operation, and as shown in FIGS. 6(B) and 6(C), the outside of the coating liquid supply body 40 When the coating liquid accommodating concave portion 41 concavely provided on the circumferential surface overlaps the slit-shaped discharge port 12 of the application nozzle 10, only from the overlapped portion, the coating liquid receiving concavity passes through the slit-shaped discharge port 11 While the coating liquid P contained in the portion 14a is supplied to the surface of the object W to be supplied to the surface of the object W, as shown in FIGS. 6(A) and (D), In a state where the coating liquid receiving recess 41 concavely provided on the outer circumferential surface of the coating liquid supply body 40 does not overlap the slit-shaped discharge port 12 of the application nozzle 10, the coating liquid P is slit-shaped It is not newly supplied to the discharge port 11, and the coating liquid P is not supplied to the surface of the to-be-coated object W from the discharge port 11 of a slit shape.

여기서, 이 실시 형태의 도포 장치에 있어서는, 상기와 같이 원주 형상으로 된 도액 공급체(40)의 바깥 둘레면에 도액 수용 오목부(41)를 축 방향의 길이가 길어진 타원 형상으로 된 도액 수용 오목부(41)가 오목하게 설치되어 있기 때문에, 상기와 같이 도액 공급체(40)의 바깥 둘레면에 오목하게 설치된 도액 수용 오목부(41)에 수용된 도액(P)을, 도포용 노즐(10)의 슬릿 형상의 토출구(12)로부터 원 형상으로 된 피도포체(W)의 표면에 원 형상으로 도포하는데 있어서는, 상기의 도액 공급체(40)를 회전시키는 주변 속도보다도 피도포체(W)의 위를 이동시키는 도포용 노즐(10)의 이동 속도를 빠르게 하고, 축 방향의 길이가 길어진 타원 모양으로 된 도액 수용 오목부(41)로부터 상기 슬릿 형상의 토출구(12)를 통해, 도 4(A) ~ (C)에 나타낸 바와 같이, 원 형상으로 된 피도포체(W)의 표면에 도액(P)을 원 형상으로 도포할 수 있게 하고 있다.Here, in the coating device of this embodiment, the coating liquid receiving recess 41 is formed on the outer circumferential surface of the coating liquid supply body 40 having a cylindrical shape as described above, and the coating liquid receiving recess 41 is formed in an elliptical shape with an elongated axial length. Since the portion 41 is provided concavely, the coating liquid P accommodated in the coating liquid receiving concave portion 41 concavely provided on the outer circumferential surface of the coating liquid supply body 40 as described above is applied to the application nozzle (10). When applying in a circular shape to the surface of the coated object W having a circular shape from the slit-shaped discharge port 12 of Increase the moving speed of the application nozzle 10 that moves upward, and through the slit-shaped discharge port 12 from the coating liquid accommodating recess 41 having an oval shape with an elongated length in the axial direction, FIG. 4(A) ) to (C), the coating liquid P can be applied in a circular shape to the surface of the circularly coated object W.

또한, 이 실시 형태의 도포 장치에 있어서도, 도포용 노즐(10)을 피도포체(W)의 위를 이동하게 하면서, 원 형상으로 된 피도포체(W)의 표면에 대해 도액(P)을 원 형상으로 도포하는데 있어서, 도액 수용부(11) 내가 소정의 압력이 되도록 기체 공급 수단(30)으로부터 일정한 압력으로 기체를 공급하게 했기 때문에, 상기와 같이 도액 공급체(40)의 바깥 둘레면에 오목하게 설치된 타원 형상으로 된 도액 수용 오목부(41)가 도포용 노즐(10)의 슬릿 형상의 토출구(12)와 겹친 부분으로부터, 슬릿 형상의 토출구(12)를 통해 상기의 타원 모양으로 된 도액 수용 오목부(41) 내에 수용된 도액(P)을, 슬릿 형상의 토출구(12)와 겹치는 폭에 대응시켜 피도포체(W)의 표면에 공급한 경우에 있어서도, 액압이 일정하게 유지되므로, 슬릿 형상의 토출구(12)를 통해 피도포체(W)의 표면에 공급되는 도액(P)의 양이 각각 도포 폭에 대응해 비례하게 되고, 도포된 도액(P)의 두께에 얼룩 등이 생기지 않도록하여, 피도포체(W)의 표면에 도액(P)을 균일한 두께가 되도록 도포하는 것이, 복잡한 기구나 제어를 사용하지 않더라도 가능하게 된다.Moreover, also in the coating apparatus of this embodiment, while moving the nozzle 10 for application|coating on the top of the to-be-coated object W, with respect to the surface of the to-be-coated object W which became circular, the coating liquid P is applied. When applying in a circular shape, since the gas is supplied at a constant pressure from the gas supply means 30 so that the inside of the coating liquid receiving part 11 becomes a predetermined pressure, it is applied to the outer peripheral surface of the coating liquid supply body 40 as described above. From the portion where the coating liquid receiving concave portion 41 having an oval shape provided concavely overlaps the slit-shaped discharge port 12 of the application nozzle 10, through the slit-shaped discharge port 12, the above-mentioned oval-shaped coating liquid Even when the coating liquid P accommodated in the accommodation recess 41 is supplied to the surface of the object W corresponding to the width overlapping the slit-shaped discharge port 12, the hydraulic pressure is kept constant, so the slit The amount of the coating solution P supplied to the surface of the object W through the shaped outlet 12 is proportional to the application width, respectively, so that the thickness of the coating solution P is not stained. Accordingly, it is possible to apply the coating liquid P to the surface of the object W to have a uniform thickness without using a complicated mechanism or control.

10 : 도포용 노즐
11 : 도액 수용부
12 : 슬릿 형상의 토출구
13 : 슬릿 폭 조정 부재 (도포 폭 조정 수단)
20 : 도액 공급 장치
21 : 도액 공급 파이프
22 : 도액 공급 밸브 (제어 수단)
23 : 기체 도입구
30 : 기체 공급 수단
31 : 배기 파이프
31a : 공급측 파이프
31b : 공급 밸브
32a : 배기측 파이프
32b : 배기 밸브
40 : 도액 공급체 (도포 폭 조정 수단)
41 : 도액 수용 오목부
P : 도액
W : 피도포체10: application nozzle
11: coating liquid receiving part
12: slit-shaped outlet
13: slit width adjustment member (application width adjustment means)
20: painting liquid supply device
21: paint supply pipe
22: coating liquid supply valve (control means)
23: gas inlet
30: gas supply means
31: exhaust pipe
31a: supply side pipe
31b: supply valve
32a: exhaust side pipe
32b: exhaust valve
40: coating liquid supply body (application width adjustment means)
41: coating liquid receiving recess
P: paint
W: target body

Claims (5)

도액 수용부 내에 있어서의 도액을 토출시키는 슬릿 형상의 토출구가 선단부에 설치된 도포용 노즐을 피도포체의 위에 배치하고, 이 도포용 노즐의 내부에 있어서의 도액 수용부 내에 도액 공급 장치로부터 도액을 공급하고, 상기의 피도포체와 도포용 노즐을 상대적으로 이동시켜, 도액 수용부 내에 있어서의 도액을, 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 도포하는 도포 장치에 있어서, 상기의 도액 공급 장치와 도포용 노즐과의 사이에 도액 수용부로의 도액의 공급과 정지를 제어하는 제어 수단과, 상기의 도액 수용부 내에 있어서의 도액을 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 도포하는 도액의 도포 폭을 조정하는 도포 폭 조정 수단과, 상기의 도액 수용부 내에 일정한 압력으로 기체를 공급하여 도액 수용부 내에 저장한 도액을 토출시키는 기체 공급 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 도포 장치.A coating nozzle with a slit-shaped discharge port for discharging the coating liquid in the coating liquid accommodating portion is disposed on the object to be coated, and the coating liquid is supplied from the coating liquid supply device into the coating liquid container inside the coating nozzle. In the coating device for applying the coating liquid in the coating liquid accommodating part to the surface of the object to be coated through the slit-shaped discharge port by relatively moving the object to be coated and the application nozzle, the coating liquid supply Control means for controlling the supply and stop of the coating liquid to the coating liquid accommodating part between the apparatus and the application nozzle, and coating the coating liquid in the coating liquid accommodating part through the slit-shaped discharge port to the surface of the object to be coated An application apparatus comprising: an application width adjusting means for adjusting the application width of the coating liquid; and a gas supply means for supplying a gas at a constant pressure into the coating liquid container and discharging the coating liquid stored in the coating liquid container. 청구항 1에 기재된 도포 장치에 있어서,
피도포체와 도포용 노즐을 상대적으로 이동시켜, 도액 수용부 내에 있어서의 도액을, 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 도포하는데 있어서, 상기의 도액 공급 장치로부터 상기의 제어 수단에 의해 도포용 노즐에 있어서의 도액 수용부 내에 도액을 공급해, 도액 수용부로의 도액의 공급을 정지시키고, 이 상태에서, 상기의 기체 공급 수단으로부터 도액 수용부 내에 일정한 압력으로 기체를 공급하여 도액 수용부 내에 저장한 도액을 토출시키는 동시에, 상기의 도포 폭 조정 수단에 따라, 도액 수용부 내에 저장한 도액을 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면에 도포하는 도액의 도포 폭을 조정하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.In the application device according to claim 1,
When the object to be coated and the nozzle for application are relatively moved to apply the coating liquid in the coating liquid container to the surface of the object through the slit-shaped discharge port, from the coating liquid supply device to the control means supplying the coating liquid into the coating liquid accommodating part of the application nozzle by means of a method, stopping the supply of the coating liquid to the coating liquid accommodating part, and in this state, supplying gas at a constant pressure from the gas supply means into the coating liquid accommodating part into the coating liquid accommodating part Discharging the coating liquid stored in the inside, and adjusting the application width of the coating liquid for applying the coating liquid stored in the coating liquid container to the surface of the object through the slit-shaped discharge port according to the application width adjusting means a dispensing device. 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 도포 장치에 있어서,
도액 공급 장치로부터 도액 수용부 내에 도액을 공급할 때, 상기의 도액 수용부 내의 기체를 배기시키는 배기 밸브를 설치한 것을 특징으로 하는 도포 장치.The application device according to claim 1 or 2,
An exhaust valve for evacuating the gas in the coating liquid accommodating portion when supplying the coating liquid from the coating liquid supply device into the coating liquid accommodating portion is provided. 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 도포 장치에 있어서,
상기의 도포 폭 조정 수단으로서, 도액 수용부 내에 있어서의 도액이 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 피도포체의 표면으로 안내되는 폭을 조정하는 슬릿 폭 조정 부재를 설치한 것을 특징으로 하는 도포 장치.The application device according to claim 1 or 2,
A slit width adjusting member for adjusting the width by which the coating liquid in the coating liquid accommodating part is guided to the surface of the object to be coated through the slit-shaped discharge port is provided as the application width adjusting means as described above. 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 도포 장치에 있어서,
상기의 도포 폭 조정 수단으로서, 상기의 도액 수용부 내에 있어서의 도액을 수용시키는 소정의 패턴 형상으로 된 도액 수용 오목부가 바깥 둘레면에 설치된 원주 형상의 도액 공급체를 상기 슬릿 형상의 토출구의 위에 위치하도록 하여 회전 가능하게 설치하고, 이 도액 공급체를 슬릿 형상의 토출구의 위에서 회전시켜, 도액 수용 오목부 내에 수용된 도액을, 상기 슬릿 형상의 토출구를 통해 도포용 노즐과 상대적으로 이동되는 피도포체의 표면에 공급하고, 상기 피도포체의 표면에 도액 수용 오목부의 형상에 맞춰 도액을 도포하게 하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.The application device according to claim 1 or 2,
As the application width adjusting means, a cylindrical coating liquid supply body provided on the outer peripheral surface of the coating liquid receiving recess having a predetermined pattern shape for accommodating the coating liquid in the coating liquid accommodating portion is positioned above the slit-shaped discharge port. The coating liquid supply body is rotated above the slit-shaped discharge port so that the coating liquid accommodated in the coating liquid receiving recess is transferred through the slit-shaped discharge port to the application nozzle and the object to be relatively moved. A coating device characterized in that the coating liquid is applied to the surface of the object to be coated in accordance with the shape of the coating liquid receiving concave portion.
KR1020200122416A 2020-01-14 2020-09-22 Coating device Active KR102413491B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020003532A JP6808304B1 (en) 2020-01-14 2020-01-14 Coating device
JPJP-P-2020-003532 2020-01-14

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210091648A true KR20210091648A (en) 2021-07-22
KR102413491B1 KR102413491B1 (en) 2022-06-24

Family

ID=73992936

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200122416A Active KR102413491B1 (en) 2020-01-14 2020-09-22 Coating device

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6808304B1 (en)
KR (1) KR102413491B1 (en)
CN (1) CN113117970B (en)
TW (1) TWI756842B (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6873586B1 (en) * 2020-09-07 2021-05-19 中外炉工業株式会社 Coating device
JP7266957B2 (en) * 2022-04-25 2023-05-01 中外炉工業株式会社 Coating device and coating method

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0584458A (en) * 1991-09-24 1993-04-06 Mitsubishi Kasei Corp Coating head
JPH10192762A (en) * 1997-01-14 1998-07-28 Kiroku Kobayashi Discharge nozzle device for viscous fluid coating
JP2001062368A (en) * 1999-08-27 2001-03-13 Dainippon Printing Co Ltd Coating device and coating method
JP4040144B2 (en) 1996-08-07 2008-01-30 松下電器産業株式会社 Coating device
JP2012120938A (en) 2010-12-06 2012-06-28 Heishin Engineering & Equipment Co Ltd Device having variable discharge width and application device
KR20140011282A (en) * 2012-07-18 2014-01-28 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 Coating apparatus and coating method
KR20150026869A (en) * 2013-08-30 2015-03-11 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 Coating film forming apparatus
JP2017109151A (en) * 2015-12-15 2017-06-22 株式会社スリーボンド Coating apparatus and coating method
JP2018069230A (en) 2016-10-20 2018-05-10 株式会社Sat Coating head and coating device

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19530516A1 (en) * 1995-08-19 1997-02-20 Hoechst Ag Device for applying a coating solution
WO2000071264A1 (en) * 1999-05-21 2000-11-30 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Viscous material applicator
JP5279594B2 (en) * 2009-04-21 2013-09-04 パナソニック株式会社 Coating device
JP5643690B2 (en) * 2011-03-18 2014-12-17 東レ株式会社 Coating apparatus and coating method
CN102527578A (en) * 2012-01-11 2012-07-04 深圳市信宇人科技有限公司 Novel slit type spray head and spray coating machine head
JP5775851B2 (en) * 2012-06-27 2015-09-09 東京エレクトロン株式会社 Coating apparatus and coating liquid filling method
JP2015060932A (en) * 2013-09-18 2015-03-30 株式会社東芝 Spiral coating applicator
JP6195806B2 (en) * 2013-11-13 2017-09-13 東京エレクトロン株式会社 Coating device
JP6804850B2 (en) * 2016-02-26 2020-12-23 東レ株式会社 Coating device and coating method

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0584458A (en) * 1991-09-24 1993-04-06 Mitsubishi Kasei Corp Coating head
JP4040144B2 (en) 1996-08-07 2008-01-30 松下電器産業株式会社 Coating device
JPH10192762A (en) * 1997-01-14 1998-07-28 Kiroku Kobayashi Discharge nozzle device for viscous fluid coating
JP2001062368A (en) * 1999-08-27 2001-03-13 Dainippon Printing Co Ltd Coating device and coating method
JP2012120938A (en) 2010-12-06 2012-06-28 Heishin Engineering & Equipment Co Ltd Device having variable discharge width and application device
KR20140011282A (en) * 2012-07-18 2014-01-28 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 Coating apparatus and coating method
JP2014022545A (en) 2012-07-18 2014-02-03 Tokyo Electron Ltd Coating applicator and coating method
KR20150026869A (en) * 2013-08-30 2015-03-11 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 Coating film forming apparatus
JP2017109151A (en) * 2015-12-15 2017-06-22 株式会社スリーボンド Coating apparatus and coating method
JP2018069230A (en) 2016-10-20 2018-05-10 株式会社Sat Coating head and coating device

Also Published As

Publication number Publication date
CN113117970B (en) 2023-01-31
CN113117970A (en) 2021-07-16
JP2021109156A (en) 2021-08-02
TWI756842B (en) 2022-03-01
JP6808304B1 (en) 2021-01-06
TW202126391A (en) 2021-07-16
KR102413491B1 (en) 2022-06-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102413491B1 (en) Coating device
US5536313A (en) Intermittent coating apparatus
KR101285999B1 (en) Coating Apparatus for Electrode Plate of Secondary Battery
KR20220032468A (en) Coating device
KR20220044402A (en) Coating device and coating method
KR102413490B1 (en) Coating device and coating method
JPH10192762A (en) Discharge nozzle device for viscous fluid coating
KR100442064B1 (en) Coated film forming method and apparatus therefor
JP7427347B2 (en) Coating device
JP7471757B2 (en) Coating Equipment
JP4624519B2 (en) Coating equipment
JP2002159902A (en) Coating applicator
JP2016131941A (en) Coating device and operation method of the same
JP7551269B1 (en) Coating Equipment
JP7266957B2 (en) Coating device and coating method
JP2001286807A (en) Coating device
JP2017154086A (en) Coating apparatus and coating method
JP7598429B1 (en) Slit die head and coating device equipped with said slit die head
JP7293284B2 (en) Coating method and coating device
WO2018230543A1 (en) Coating apparatus
KR200481209Y1 (en) Apparatus for measuring flowability of fluid
KR101484286B1 (en) Slot die coating apparatus
US7169230B2 (en) Coater apparatus
JP2017188502A (en) Coating device and coating method
JP2024129517A (en) Intermittent Coating Device

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20200922

PA0201 Request for examination
PG1501 Laying open of application
E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20211220

Patent event code: PE09021S01D

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20220617

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20220622

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20220622

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration