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KR20200011585A - 메탈 마스크 기재, 메탈 마스크, 및 메탈 마스크의 제조 방법 - Google Patents

메탈 마스크 기재, 메탈 마스크, 및 메탈 마스크의 제조 방법 Download PDF

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KR20200011585A
KR20200011585A KR1020207002230A KR20207002230A KR20200011585A KR 20200011585 A KR20200011585 A KR 20200011585A KR 1020207002230 A KR1020207002230 A KR 1020207002230A KR 20207002230 A KR20207002230 A KR 20207002230A KR 20200011585 A KR20200011585 A KR 20200011585A
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KR
South Korea
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metal mask
metal
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resist
dry film
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Application number
KR1020207002230A
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English (en)
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다이세이 후지토
기요아키 니시츠지
다케히로 니시
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도판 인사츠 가부시키가이샤
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Publication date
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Application filed by 도판 인사츠 가부시키가이샤 filed Critical 도판 인사츠 가부시키가이샤
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Abstract

메탈 마스크 기재는, 레지스트가 배치되도록 구성된 금속제의 표면을 구비하고, 표면의 삼차원 표면 조도 Sa 가 0.11 ㎛ 이하이고, 표면의 삼차원 표면 조도 Sz 가 3.17 ㎛ 이하이다.

Description

메탈 마스크 기재, 메탈 마스크, 및 메탈 마스크의 제조 방법 {METAL MASK BASE, METAL MASK AND METHOD FOR PRODUCING METAL MASK}
본 발명은, 레지스트가 배치되기 위한 금속제의 표면을 구비하는 메탈 마스크 기재로서, 예를 들어, 유기 EL 소자용 메탈 마스크를 형성하기 위한 메탈 마스크 기재, 메탈 마스크, 및 메탈 마스크의 제조 방법에 관한 것이다.
유기 EL 소자용의 메탈 마스크의 제조에는, 예를 들어 금속판인 메탈 마스크 기재가 사용된다. 메탈 마스크 기재가 갖는 도포면에는, 레지스트층의 형성 재료를 함유하는 도액이 도포되고, 그것에 의해 레지스트층이 형성된다. 그리고, 레지스트층에 대한 노광과 현상이 실시됨으로써, 소정의 패턴을 가진 레지스트층이 형성되고, 레지스트층을 개재하여 메탈 마스크 기재가 에칭됨으로써, 메탈 마스크가 제조된다.
상기 서술한 레지스트층의 형성에서는, 도포면에 도포되는 도액의 양이나, 도액의 건조되는 정도가 고르지 않은 것에 의해, 레지스트층의 두께가 고르지 않거나, 레지스트층의 면 내에 있어서 두께가 고르지 않거나 하는 경우가 있다. 그래서, 레지스트층에 있어서의 이러한 편차를 억제하기 위해, 레지스트층으로서 드라이 필름 레지스트를 사용하는 것이 제안되어 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).
일본 공개특허공보 2013-209710호
그런데, 도액을 사용하여 형성되는 레지스트층은, 메탈 마스크 기재에 대해 직접 도포된 도액이 도포면에서 경화된 층이기 때문에, 도포면에 추종한 형상을 형성하기 쉽고, 그 때문에 메탈 마스크 기재에 대해 밀착하기 쉽다. 한편으로, 드라이 필름 레지스트로 형성되는 레지스트층은, 메탈 마스크 기재와는 별체인 층이 메탈 마스크 기재의 1 개의 면에 첩부된 층이기 때문에, 도액에 의해 형성되는 레지스트층과 비교하여 도포면에 추종하기 어려운 형상을 갖고, 그 때문에 레지스트층의 일부가 메탈 마스크 기재로부터 벗겨지는 경우가 있다.
또한, 금속판으로 형성되는 메탈 마스크 기재에 한정되지 않고, 예를 들어, 수지층과 금속층의 적층체나, 수지층이 금속층에 의해 끼인 적층체와 같이, 레지스트층과 접하는 면이 금속제 혹은 합금제인 메탈 마스크 기재이면, 상기 서술한 사정은 공통되고 있다. 또, 레지스트층의 형성 재료를 함유하는 도액을 사용하여 형성되는 레지스트층이어도, 메탈 마스크 기재에 대한 밀착성이 낮은 레지스트층에 있어서는, 상기 서술한 사정은 공통되고 있다.
본 발명은, 레지스트와 표면의 계면에 있어서의 밀착성을 높일 수 있는 표면을 구비한 메탈 마스크 기재, 메탈 마스크, 및 메탈 마스크의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위한 메탈 마스크 기재는, 레지스트가 배치되도록 구성된 금속제의 표면을 구비하고, 상기 표면의 삼차원 표면 조도 Sa 가 0.11 ㎛ 이하이고, 상기 표면의 삼차원 표면 조도 Sz 가 3.17 ㎛ 이하이다.
상기 구성에 의하면, 삼차원 표면 조도 Sa 가 0.11 ㎛ 이하이고, 삼차원 표면 조도 Sz 가 3.17 ㎛ 이하이기 때문에, 금속제의 표면과 레지스트 사이의 밀착성이 높아진다.
상기 메탈 마스크 기재에 있어서, 상기 표면이 제 1 면이고, 상기 레지스트가 제 1 레지스트이고, 상기 제 1 면과는 반대측의 면으로서, 제 2 레지스트가 배치되도록 구성된 금속제의 제 2 면을 추가로 구비한다. 그리고, 상기 제 2 면의 삼차원 표면 조도 Sa 가 0.11 ㎛ 이하이고, 상기 제 2 면의 삼차원 표면 조도 Sz 가 3.17 ㎛ 이하여도 된다.
상기 구성에 의하면, 제 1 면과 제 1 레지스트의 밀착성, 및 제 2 면과 제 2 레지스트의 밀착성이 높아지기 때문에, 제 1 면 및 제 2 면에 대한 에칭에 있어서, 가공의 정밀도를 높이는 것이 가능하다.
상기 메탈 마스크 기재에 있어서, 상기 표면은 인바제여도 된다.
상기 구성에 의하면, 유리 기판의 선팽창계수와 인바의 선팽창계수가 동일한 정도이기 때문에, 메탈 마스크 기재로 형성되는 메탈 마스크를 유리 기판에 대한 성막에 적용하는 것, 즉 형상의 정밀도가 높아진 메탈 마스크를 유리 기판에 대한 성막에 적용하는 것이 가능하다.
상기 메탈 마스크 기재는, 인바로 형성된 금속층을 구비하고, 상기 표면이 상기 금속층의 표면이고, 상기 금속층에 있어서 상기 표면과는 반대측의 면과 대향하는 폴리이미드층을 추가로 구비해도 된다.
상기 메탈 마스크 기재에 의하면, 인바의 선팽창계수와 폴리이미드의 선팽창계수가 동일한 정도이기 때문에, 이들 서로 상이한 2 개의 재료를 메탈 마스크가 포함한다고 해도, 메탈 마스크의 온도의 변화에 의해 메탈 마스크에 휨이 발생하는 것이 억제된다. 그러므로, 형상의 정밀도 및 기계적 강도가 높아진 메탈 마스크를 제공하는 것도 가능해진다.
상기 메탈 마스크 기재에 있어서, 상기 레지스트는 드라이 필름 레지스트이고, 상기 표면은, 상기 드라이 필름 레지스트가 첩부되도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
상기 구성에 의하면, 드라이 필름 레지스트가 첩부되도록 구성된 금속제의 표면과 드라이 필름 레지스트 사이의 밀착성이 높아진다.
상기 과제를 해결하기 위한 메탈 마스크는, 금속제의 표면을 가진 메탈 마스크 기체를 구비하는 메탈 마스크이다. 상기 메탈 마스크 기체는, 상기 메탈 마스크 기체의 두께 방향을 따라 상기 메탈 마스크 기체를 관통함과 함께, 상기 표면에 개구를 가진 복수의 관통공을 구비한다. 상기 표면과 대향하는 평면에서 보았을 때의 상기 개구의 치수에 있어서의 평균값을 A 로 하고, 상기 치수의 표준 편차에 3 을 곱한 값을 B 로 할 때, (B/A) × 100 (％) 이 10 ％ 이하이다.
상기 과제를 해결하기 위한 메탈 마스크의 제조 방법은, 레지스트가 배치되도록 구성된 금속제의 표면을 구비하고, 상기 표면의 삼차원 표면 조도 Sa 가 0.11 ㎛ 이하이고, 상기 표면의 삼차원 표면 조도 Sz 가 3.17 ㎛ 이하인 메탈 마스크 기재를 준비하는 것과, 상기 표면에 레지스트를 배치하는 것과, 상기 메탈 마스크 기재에, 상기 메탈 마스크 기재의 두께 방향을 따라 패이고, 또한 상기 표면에 개구를 가진 복수의 오목부를 형성하기 위한 관통공을 상기 레지스트에 형성하는 것과, 상기 레지스트를 개재하여, 상기 메탈 마스크 기재에 복수의 상기 오목부를 형성하는 것을 구비한다. 상기 메탈 마스크 기재에 복수의 상기 오목부를 형성하는 것에서는, 상기 표면과 대향하는 평면에서 보았을 때의 상기 개구의 치수에 있어서의 평균값을 A 로 하고, 상기 치수의 표준 편차에 3 을 곱한 값을 B 로 할 때, (B/A) × 100 (％) 이 10 ％ 이하가 되도록 복수의 상기 메탈 마스크 기재에 상기 오목부를 형성한다.
상기 구성에 의하면, (B/A) × 100 (％) 이 10 ％ 이하이기 때문에, 개구에 있어서의 치수의 정밀도가 높다.
본 발명에 의하면, 레지스트와 표면의 계면에 있어서의 밀착성을 높일 수 있다.
도 1 은, 본 발명의 메탈 마스크 기재를 드라이 필름 레지스트용 메탈 마스크 기재로서 구체화한 하나의 실시형태에 있어서의 드라이 필름 레지스트용 메탈 마스크 기재의 일부 사시 구조를 나타내는 부분 사시도이다.
도 2 는, 드라이 필름 레지스트용 메탈 마스크 기재의 일례에 있어서의 일부 단면 구조를 나타내는 부분 단면도이다.
도 3 은, 드라이 필름 레지스트용 메탈 마스크 기재의 일례에 있어서의 일부 단면 구조를 나타내는 부분 단면도이다.
도 4 는, 드라이 필름 레지스트용 메탈 마스크 기재의 일례에 있어서의 일부 단면 구조를 나타내는 부분 단면도이다.
도 5 는, 드라이 필름 레지스트용 메탈 마스크 기재를 사용하여 제조한 메탈 마스크의 일부 사시 구조를 나타내는 부분 사시도이다.
도 6 은, 메탈 마스크의 일부 단면 구조를 나타내는 부분 단면도이다.
도 7 은, 드라이 필름 레지스트용 메탈 마스크 기재의 제조 방법을 설명하기 위한 공정도로서, 인바로 형성된 모재를 압연하는 공정을 나타내는 공정도이다.
도 8 은, 드라이 필름 레지스트용 메탈 마스크 기재의 제조 방법을 설명하기 위한 공정도로서, 압연재를 어닐하는 공정을 나타내는 공정도이다.
도 9 는, 메탈 마스크의 제조 방법을 설명하기 위한 공정도로서, 드라이 필름 레지스트를 첩부하는 공정을 나타내는 공정도이다.
도 10 은, 메탈 마스크의 제조 방법을 설명하기 위한 공정도로서, 드라이 필름 레지스트를 현상하는 공정을 나타내는 공정도이다.
도 11 은, 메탈 마스크의 제조 방법을 설명하기 위한 공정도로서, 금속층의 제 1 면을 에칭하는 공정을 나타내는 공정도이다.
도 12 는, 메탈 마스크의 제조 방법을 설명하기 위한 공정도로서, 제 1 보호층을 형성하는 공정을 나타내는 공정도이다.
도 13 은, 메탈 마스크의 제조 방법을 설명하기 위한 공정도로서, 금속층의 제 2 면을 에칭하는 공정을 나타내는 공정도이다.
도 14 는, 메탈 마스크의 제조 방법을 설명하기 위한 공정도로서, 드라이 필름 레지스트를 제거하는 공정을 나타내는 공정도이다.
도 15 는, 실시예 1 에 있어서의 복수의 제 1 오목부가 형성된 제 1 면의 촬상 결과를 나타내는 화상이다.
도 16 은, 비교예 1 에 있어서의 복수의 제 1 오목부가 형성된 표면의 촬상 결과를 나타내는 화상이다.
도 17 은, 실시예 1 에 있어서의 제 1 오목부의 직경의 분포를 2 ㎛ 마다 나타내는 히스토그램이다.
도 18 은, 실시예 1 에 있어서의 제 1 오목부의 직경의 분포를 1 ㎛ 마다 나타내는 히스토그램이다.
도 19 는, 비교예 1 에 있어서의 제 1 오목부의 직경의 분포를 2 ㎛ 마다 나타내는 히스토그램이다.
도 20 은, 비교예 1 에 있어서의 제 1 오목부의 직경의 분포를 1 ㎛ 마다 나타내는 히스토그램이다.
도 1 내지 도 20 을 참조하여, 메탈 마스크 기재를 드라이 필름 레지스트용 메탈 마스크 기재로서 구체화한 하나의 실시형태, 메탈 마스크, 및 메탈 마스크의 제조 방법의 하나의 실시형태를 설명한다. 본 실시형태에 있어서의 드라이 필름 레지스트용 메탈 마스크 기재를 사용하여 제조된 메탈 마스크는, 유기 EL 소자의 제조 공정에 있어서, 유리 기판에 대해 유기 EL 소자를 구성하는 유기 재료를 증착할 때에 사용되는 마스크이다. 이하에서는, 드라이 필름 레지스트용 메탈 마스크 기재의 구성, 메탈 마스크의 구성, 드라이 필름 레지스트용 메탈 마스크 기재의 제조 방법, 메탈 마스크의 제조 방법, 및 실시예를 차례대로 설명한다.
[드라이 필름 레지스트용 메탈 마스크 기재의 구성]
도 1 내지 도 4 를 참조하여 드라이 필름 레지스트용 메탈 마스크 기재의 구성을 설명한다.
도 1 이 나타내는 바와 같이, 메탈 마스크 기재 (11) 는, 드라이 필름 레지스트용 메탈 마스크 기재의 일례이며, 1 개의 면을 따라 펼쳐지는 금속층이다. 메탈 마스크 기재 (11) 는, 금속제의 제 1 면 (11a) 을 구비하고, 제 1 면 (11a) 은, 레지스트가 배치되도록 구성된 표면의 일례, 상세하게는 드라이 필름 레지스트가 첩부되도록 구성된 표면의 일례이다. 제 1 면 (11a) 에 있어서, 삼차원 표면 조도 Sa 는 0.11 ㎛ 이하이고, 삼차원 표면 조도 Sz 는 3.17 ㎛ 이하이다.
삼차원 표면 조도 Sa 및 삼차원 표면 조도 Sz 는, ISO 25178 에 준거하는 방법에 의해 측정된 값이다. 삼차원 표면 조도 Sa 는, 소정의 면적을 갖는 정의 영역 중의 산술 평균 높이 Sa 이고, 삼차원 표면 조도 Sz 는, 소정의 면적을 갖는 정의 영역 중의 최대 높이 Sz 이다.
상기 메탈 마스크 기재 (11) 에 의하면, 삼차원 표면 조도 Sa 가 0.11 ㎛ 이하이고, 또한 삼차원 표면 조도 Sz 가 3.17 ㎛ 이하이다. 그 때문에, 제 1 면 (11a) 과 제 1 면 (11a) 에 첩부되는 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 사이에 간극이 형성되기 어려워져, 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 와 메탈 마스크 기재 (11) 의 제 1 면 (11a) 의 계면에 있어서의 밀착성이 높아진다. 또한, 메탈 마스크 기재 (11) 의 제 1 면 (11a) 에 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 이 첩부된 적층체는, 메탈 마스크를 형성하기 위한 중간체인 메탈 마스크 형성용 중간체 (10) 이다.
금속층의 형성 재료는, 예를 들어 인바, 즉 철과 니켈을 주성분으로 하는 합금이며, 36 질량％ 의 니켈을 함유하는 합금인 것이 바람직하다. 인바의 선팽창계수는 1.2 × 10-6/℃ 정도이다. 금속층의 두께는, 예를 들어, 10 ㎛ 이상 50 ㎛ 이하인 것이 바람직하다.
금속층의 형성 재료가 인바이면, 유리 기판의 선팽창계수와 인바의 선팽창계수가 동일한 정도이기 때문에, 메탈 마스크 기재로 형성되는 메탈 마스크를 유리 기판에 대한 성막에 적용하는 것, 즉 형상의 정밀도가 높아진 메탈 마스크를 유리 기판에 대한 성막에 적용하는 것이 가능하다.
제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 는, 예를 들어, 감광성을 갖는 재료의 일례인 네거티브형 레지스트로 형성되어 있다. 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 의 형성 재료는, 예를 들어 광 중합에 의해 가교되는 아크릴계 수지이다. 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 의 두께는, 예를 들어, 5 ㎛ 이상 20 ㎛ 이하인 것이 바람직하다. 또한, 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 는, 포지티브형 레지스트로 형성되어도 되지만, 일반적으로는 네거티브형 레지스트가 사용되는 경우가 많다.
도 2 내지 도 4 를 참조하여, 메탈 마스크 기재 (11), 및 메탈 마스크 형성용 중간체 (10) 의 다른 형태를 설명한다. 또한, 도 2 는, 메탈 마스크 기재 (11) 가 1 개의 금속층으로 구성되는 예인 제 1 형태를 나타내고, 도 3 은, 메탈 마스크 기재 (11) 가 1 개의 금속층과 1 개의 수지층으로 구성되는 예인 제 2 형태를 나타낸다. 또, 도 4 는, 메탈 마스크 기재 (11) 가 2 개의 금속층과 1 개의 수지층으로 구성되는 예인 제 3 형태를 나타낸다.
[제 1 형태]
도 2 가 나타내는 바와 같이, 금속층 (21) 은, 제 1 면 (11a) 과는 반대측의 면인 제 2 면 (11b) 을 구비하고 있다. 제 1 면 (11a) 은, 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 가 첩부되도록 구성된 금속제의 표면이고, 제 2 면 (11b) 은, 레지스트가 배치되도록 구성된 표면의 일례, 상세하게는 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 가 첩부되도록 구성된 금속제의 표면이다. 메탈 마스크 형성용 중간체 (10) 는, 이들 금속층 (21), 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 및 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 로 구성되어 있다.
제 2 면 (11b) 에 있어서도, 제 1 면 (11a) 과 마찬가지로, 삼차원 표면 조도 Sa 는 0.11 ㎛ 이하이고, 삼차원 표면 조도 Sz 는 3.17 ㎛ 이하인 것이 바람직하다. 이 메탈 마스크 기재 (11) 에 의하면, 금속층 (21) 중, 제 1 면 (11a) 에 더하여, 제 2 면 (11b) 에 있어서도 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 와 금속층 (21) 의 밀착성을 높일 수 있다.
또한, 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 의 형성 재료는, 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 와 동일하게, 예를 들어 광 중합에 의해 가교되는 아크릴계 수지이다. 또, 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 의 두께는, 예를 들어, 5 ㎛ 이상 20 ㎛ 이하인 것이 바람직하다.
[제 2 형태]
도 3 이 나타내는 바와 같이, 메탈 마스크 기재 (11) 는, 금속층 (21) 과, 금속층 (21) 에 대해 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 와는 반대측에 위치하는 수지층 (22) 을 구비해도 된다. 수지층 (22) 의 선팽창계수와 금속층 (21) 의 선팽창계수는, 온도의 의존성으로서 서로 동일한 경향을 나타내고, 또한 선팽창계수의 값이 동일한 정도인 것이 바람직하다. 금속층 (21) 은, 예를 들어 인바로 형성된 인바층이고, 수지층 (22) 은, 예를 들어 폴리이미드로 형성된 폴리이미드층이다. 이 메탈 마스크 기재 (11) 에 의하면, 금속층 (21) 의 선팽창계수와 수지층 (22) 의 선팽창계수의 차에 의해, 메탈 마스크 기재 (11) 에 휨이 발생하는 것이 억제된다.
이 형태에 있어서의 메탈 마스크 형성용 중간체 (10) 는, 이들 금속층 (21), 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 및 수지층 (22) 으로 구성되어 있다. 또한, 수지층 (22) 은, 금속층 (21) 에 대한 도공에 의해 형성되어도 되고, 금속층 (21) 과는 별도로 필름상으로 형성되어, 금속층 (21) 에 첩부되어도 된다. 그리고, 수지층 (22) 이 금속층 (21) 에 첩부되는 경우에는, 수지층 (22) 은, 금속층 (21) 과의 접착성을 발현하는 접착층을 포함하고, 이 접착층이 금속층 (21) 에 첩부된 구성이어도 된다.
[제 3 형태]
도 4 가 나타내는 바와 같이, 메탈 마스크 기재 (11) 는, 금속층 (21) 과 수지층 (22) 에 더하여, 메탈 마스크 기재 (11) 의 두께 방향에 있어서, 수지층 (22) 에 대해 금속층 (21) 과는 반대측에 위치하는 다른 금속층 (23) 을 추가로 구비해도 된다. 이 메탈 마스크 기재 (11) 에서는, 메탈 마스크 기재 (11) 에 있어서의 제 1 면 (11a) 과는 반대측의 면으로서, 금속층 (23) 이 포함하는 면이 제 2 면 (11b) 이다.
다른 금속층 (23) 의 형성 재료는, 금속층 (21) 과 동일하게, 예를 들어 인바, 즉 철과 니켈을 주성분으로 하는 합금이며, 36 질량％ 의 니켈을 함유하는 합금인 것이 바람직하다. 금속층 (23) 의 두께는, 예를 들어, 10 ㎛ 이상 50 ㎛ 이하인 것이 바람직하다. 다른 금속층 (23) 의 두께는, 금속층 (21) 의 두께와 서로 동일해도 되고, 서로 상이해도 된다.
금속층 (21) 이 포함하는 제 1 면 (11a) 및 제 2 면 (11b) 과 마찬가지로, 다른 금속층 (23) 이 포함하는 제 2 면 (11b) 에 있어서, 삼차원 표면 조도 Sa 는 0.11 ㎛ 이하이고, 또한 삼차원 표면 조도 Sz 는 3.17 ㎛ 이하인 것이 바람직하다.
이로써, 다른 금속층 (23) 이 포함하는 제 2 면 (11b) 에 의하면, 금속층 (21) 이 포함하는 제 1 면 (11a) 및 제 2 면 (11b) 과 동등한 효과를 얻을 수 있다. 또한, 메탈 마스크 기재 (11) 는, 금속층 (21) 과 수지층 (22) 이 적층되고, 또 금속층 (23) 과 수지층 (22) 이 적층된 구조체이기 때문에, 도 3 을 참조하여 앞서 설명한 메탈 마스크 기재 (11) 와 동등한 효과를 얻을 수도 있다.
이 형태에 있어서의 메탈 마스크 형성용 중간체 (10) 는, 이들 금속층 (21, 23), 제 1 드라이 필름 레지스트 (12), 수지층 (22), 및 제 2 드라이 필름 레지스트 (14) 로 구성되어 있다. 또한, 수지층 (22) 은, 2 개의 금속층 중 어느 것에 대한 도공에 의해 형성되어도 되고, 금속층 (21, 23) 과는 별도로 필름상으로 형성되어, 금속층 (21, 23) 에 첩부되어도 된다. 그리고, 수지층 (22) 이 금속층 (21, 23) 에 첩부되는 경우에는, 수지층 (22) 은, 금속층 (21) 과의 접착성을 발현하는 접착층과, 금속층 (23) 과의 접착성을 발현하는 접착층을 포함하고, 이들 접착층이 2 개의 금속층 (21, 23) 에 각각 첩부된 구성이어도 된다.
[메탈 마스크의 구성]
도 5 및 도 6 을 참조하여 메탈 마스크의 구성을 설명한다. 또한, 이하에서는, 메탈 마스크를 제조하기 위한 메탈 마스크 기재 (11) 가 1 개의 금속층 (21) 으로 구성되는 예, 즉 도 2 를 사용하여 설명된 제 1 형태를 사용하여 설명한다.
도 5 가 나타내는 바와 같이, 메탈 마스크 (30) 는, 가공이 실시된 메탈 마스크 기재 (11) 로서, 메탈 마스크 기체의 일례인 마스크 기체 (11M) 를 구비하고 있다. 마스크 기체 (11M) 는, 메탈 마스크 기재 (11) 의 제 1 면 (11a) 에 대응하는 금속제의 표면으로서, 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 가 제거된 면인 제 1 마스크면 (11aM) 을 포함한다.
또한, 메탈 마스크 기재 (11) 의 제 1 면 (11a) 에는, 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 가 첩부되기 전에, 이하의 전제라면, 각종 처리, 예를 들어 세정 처리 등이 실시되어도 된다. 즉, 이 경우에는, 각종 처리는, 제 1 마스크면 (11aM) 에 있어서, 삼차원 표면 조도 Sa 및 삼차원 표면 조도 Sz 각각이, 처리 전의 면인 제 1 면 (11a) 에 있어서의 값으로 거의 유지할 수 있는 처리이다.
마스크 기체 (11M) 에는, 마스크 기체 (11M) 를 두께 방향을 따라 관통하는 복수의 관통공 (11c) 이 형성되고, 제 1 마스크면 (11aM) 에 복수의 관통공 (11c) 이 개구되어 있다. 복수의 관통공 (11c) 은, 예를 들어, 제 1 마스크면 (11aM) 와 대향하는 평면에서 보았을 때에 있어서, 제 1 마스크면 (11aM) 을 따르는 하나의 방향을 따라 규칙적으로 늘어서고, 또한 하나의 방향과 직교하는 방향을 따라 규칙적으로 늘어서 있다.
도 6 이 나타내는 바와 같이, 마스크 기체 (11M) 는, 메탈 마스크 기재 (11) 의 제 2 면 (11b) 에 대응하는 금속제의 면으로서, 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 가 제거된 면인 제 2 마스크면 (11bM) 을 포함한다.
또한, 메탈 마스크 기재 (11) 의 제 2 면 (11b) 에는, 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 가 첩부되기 전에, 이하의 전제라면, 각종 처리, 예를 들어 세정 처리 등이 실시되어도 된다. 즉, 이 경우에는, 각종 처리는, 제 2 마스크면 (11bM) 에 있어서, 삼차원 표면 조도 Sa 및 삼차원 표면 조도 Sz 각각이, 처리 전의 면인 제 2 면 (11b) 에 있어서의 값으로 거의 유지할 수 있는 처리이다.
각 관통공 (11c) 은, 제 1 마스크면 (11aM) 와 제 2 마스크면 (11bM) 사이를 관통하고, 각 관통공 (11c) 이 마스크 기체 (11M) 를 관통하는 방향과 직교하는 방향에 있어서의 단면적이, 제 1 마스크면 (11aM) 와 제 2 마스크면 (11bM) 사이에 있어서 가장 작다.
메탈 마스크 (30) 에 의하면, 메탈 마스크 (30) 가 제조될 때에, 제 2 면 (11b) 에 있어서도, 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 와 금속층 (21) 의 밀착성이 높아진다. 그 때문에, 관통공 (11c) 이, 제 1 면 (11a) 에 있어서의 에칭과 제 2 면 (11b) 에 있어서의 에칭에 의해 형성되는 구성이어도, 관통공 (11c) 에 있어서의 형상의 정밀도가 높아진다.
즉, 관통공 (11c) 은, 제 1 마스크면 (11aM) 에 개구되는 제 1 개구 (41), 제 2 마스크면 (11bM) 에 개구되는 제 2 개구 (42), 및 금속층 (21) 의 두께 방향에 있어서, 제 1 개구 (41) 와 제 2 개구 (42) 사이에 위치하는 잘록부 (43) 를 구비한다. 제 1 마스크면 (11aM) 와 대향하는 평면에서 보았을 때에 있어서, 제 1 개구 (41) 는 제 2 개구 (42) 보다 작다. 관통공 (11c) 은, 제 1 개구 (41) 로부터 잘록부 (43) 를 향하여 단면적이 작아지고, 또한 제 2 개구 (42) 로부터 잘록부 (43) 를 향하여 단면적이 작아지는 형상을 갖고 있다. 또한, 제 1 개구 (41) 와 잘록부 (43) 사이의 거리, 즉 제 1 마스크면 (11aM) 와 잘록부 (43) 사이의 거리는 작을수록 바람직하다.
또, 메탈 마스크 (30) 에 있어서, 제 1 마스크면 (11aM) 와 대향하는 평면에서 보았을 때의 제 1 개구 (41) 의 치수에 있어서의 평균값을 A 로 하고, 치수의 표준 편차에 3 을 곱한 값을 B 로 할 때, (B/A) × 100 (％) 이 10 ％ 이하인 것이 바람직하다. 또한, 메탈 마스크 (30) 에 있어서, 제 2 마스크면 (11bM) 과 대향하는 평면에서 보았을 때의 제 2 개구 (42) 의 치수에 있어서의 평균값을 A 로 하고, 치수의 표준 편차에 3 을 곱한 값을 B 로 할 때, (B/A) × 100 (％) 이 10 ％ 이하인 것이 바람직하다.
메탈 마스크 (30) 에 있어서, (B/A) × 100 (％) 이 10 ％ 이하이기 때문에, 메탈 마스크 (30) 가 갖는 관통공 (11c) 의 제 1 개구 (41) 에 있어서의 치수의 정밀도, 및 제 2 개구 (42) 에 있어서의 치수의 정밀도가 높다.
두께 방향을 따르는 단면에 있어서, 하나의 방향을 따라 복수의 관통공 (11c) 이 위치하는 간격은, 서로 이웃하는 관통공 (11c) 사이에 있어서, 제 2 개구 (42) 를 포함하는 오목부끼리가 연결될 정도로 작아도 된다. 이러한 구성에 의하면, 2 개의 제 2 개구 (42) 가 연결되는 부분에 있어서의 두께가, 메탈 마스크 (30) 중, 관통공 (11c) 이 형성되어 있지 않은 부분에 있어서의 두께보다 얇아진다.
또한, 메탈 마스크를 제조하기 위한 메탈 마스크 기재 (11) 가 상기 제 2 형태일 때, 마스크 기체 (11M) 는, 금속층과 수지층으로 구성된다. 이러한 마스크 기체 (11M) 는, 상기 제 1 마스크면 (11aM) 을 갖는 한편으로, 제 1 마스크면 (11aM) 와는 반대측의 면은, 금속제의 표면이 아니라 수지층에 포함된다. 이러한 구성에서는, 제 1 마스크면 (11aM) 에 제 2 개구 (42) 가 형성되고, 수지층에 포함되는 면에 제 1 개구 (41) 가 형성되는 것이 바람직하다.
또, 메탈 마스크를 제조하기 위한 메탈 마스크 기재 (11) 가 상기 제 3 형태일 때, 마스크 기체 (11M) 는, 수지층과, 이 수지층을 끼우는 2 개의 금속층으로 구성된다. 이러한 마스크 기체 (11M) 에 있어서는, 상기 제 1 마스크면 (11aM) 이 일방의 금속층에 포함되고, 상기 제 2 마스크면 (11bM) 이 타방의 금속층에 포함된다. 또, 관통공 (11c) 은, 이들 수지층과 2 개의 금속층을 관통한다.
[드라이 필름 레지스트용 메탈 마스크 기재의 제조 방법]
도 7 및 도 8 을 참조하여, 드라이 필름 레지스트용 메탈 마스크 기재의 제조 방법을 설명한다. 또한, 이하에서는, 메탈 마스크 기재 (11) 가 1 개의 금속층 (21) 으로 구성되는 예, 즉 도 2 를 사용하여 설명된 제 1 형태를 사용하여 설명한다.
도 7 이 나타내는 바와 같이, 드라이 필름 레지스트용 메탈 마스크 기재의 제조 방법에서는, 먼저, 인바로 형성된 모재 (21a) 로서, 하나의 방향인 연신 방향 (D1) 을 따라 연신되는 모재 (21a) 를 준비한다. 이어서, 모재 (21a) 의 연신 방향 (D1) 과, 모재 (21a) 를 반송하는 반송 방향 (D2) 이 평행이 되도록, 모재 (21a) 를 1 쌍의 압연 롤러 (51, 52) 를 구비하는 압연 장치 (50) 를 향하여 반송 방향 (D2) 을 따라 반송한다.
모재 (21a) 가 1 쌍의 압연 롤러 (51, 52) 사이에 도달하면, 모재 (21a) 가 1 쌍의 압연 롤러 (51, 52) 에 의해 압연된다. 이로써, 모재 (21a) 의 두께가 저감되고, 또한 모재 (21a) 가 반송 방향 (D2) 을 따라 연신됨으로써, 압연재 (21b) 를 얻을 수 있다. 압연재 (21b) 는 코어 (C) 에 권취되는데, 압연재 (21b) 는, 코어 (C) 에 권취되지 않고, 띠 형상으로 연신된 상태에서 취급되어도 된다. 압연재 (21b) 의 두께는, 예를 들어, 10 ㎛ 이상 50 ㎛ 이하이다.
도 8 이 나타내는 바와 같이, 모재 (21a) 의 압연에 의해 형성된 압연재 (21b) 의 내부에 축적된 잔류 응력을 제거하기 위해, 어닐 장치 (53) 를 사용하여 압연재 (21b) 를 어닐한다. 이로써, 메탈 마스크 기재로서의 금속층 (21) 이 얻어진다. 압연재 (21b) 의 어닐은, 압연재 (21b) 를 반송 방향 (D2) 을 따라 인장하면서 실시하기 때문에, 어닐 전의 압연재 (21b) 에 비해 잔류 응력이 저감 된 메탈 마스크 기재로서의 금속층 (21) 을 얻을 수 있다.
또한, 상기 서술한 압연 공정 및 어닐 공정 각각을, 이하와 같이 변경하여 실시해도 된다. 즉, 예를 들어, 압연 공정에서는, 복수 쌍의 압연 롤러를 구비하는 압연 장치를 사용해도 된다. 또, 압연 공정 및 어닐 공정을 복수 회 반복함으로써 금속층 (21) 을 제조해도 된다. 또, 어닐 공정은, 압연재 (21b) 를 반송 방향 (D2) 을 따라 인장하면서 압연재 (21b) 에 대해 어닐을 실시하는 것이 아니라, 코어 (C) 에 권취된 상태의 압연재 (21b) 에 대해 어닐을 실시해도 된다.
또한, 코어 (C) 에 권취된 상태의 압연재 (21b) 에 대해 어닐 공정을 실시하였을 때에는, 금속층 (21) 이 코어 (C) 에 권취된 것에 의해, 어닐 후의 금속층 (21) 에는, 금속층 (21) 의 직경에 따른 휨의 성질이 생겨 버리는 경우가 있다. 그 때문에, 금속층 (21) 이 코어 (C) 에 권취되었을 때의 직경의 크기나 모재 (21a) 를 형성하는 재료에 따라서는, 압연재 (21b) 를 반송 방향 (D2) 을 따라 인장하면서 압연재 (21b) 를 어닐하는 것이 바람직하다.
[메탈 마스크의 제조 방법]
도 9 내지 도 14 를 참조하여 메탈 마스크 (30) 의 제조 방법을 설명한다. 또한, 이하에서는, 메탈 마스크 (30) 를 제조하기 위해 사용되는 메탈 마스크 기재 (11) 가 1 개의 금속층 (21) 으로 구성되는 예, 즉 도 2 를 사용하여 설명된 제 1 형태를 사용하여 설명한다. 또, 도 9 내지 도 14 에서는, 도시의 편의상, 메탈 마스크 (30) 에 형성되는 복수의 관통공 (11c) 중, 1 개의 관통공 (11c) 만을 포함하는 부분에 대한 공정도가 나타나 있다.
메탈 마스크의 제조 방법은, 금속제의 표면을 구비하는 메탈 마스크 기재를 준비하는 것, 표면에 레지스트를 배치하는 것, 메탈 마스크 기재에, 메탈 마스크의 두께 방향을 따라 패이고, 또한 표면에 개구를 갖는 복수의 오목부를 형성하기 위한 관통공을 레지스트에 형성하는 것, 및 메탈 마스크 기재에 복수의 오목부를 형성하는 것을 구비하고 있다. 메탈 마스크 기재에 복수의 오목부를 형성하는 것에서는, 표면과 대향하는 평면에서 보았을 때의 개구의 치수에 있어서의 평균값을 A 로 하고, 치수의 표준 편차에 3 을 곱한 값을 B 로 할 때, (B/A) × 100 (％) 이 10 ％ 이하가 되도록 메탈 마스크 기재에 복수의 오목부를 형성하는 것이 바람직하다.
또한, 메탈 마스크 기재의 표면과 대향하는 평면에서 보았을 때에 있어서, 메탈 마스크 기재의 오목부가 원 형상을 가진 영역을 구획하는 구멍이면, 오목부의 개구에 있어서의 치수는, 개구의 직경이면 된다. 또, 메탈 마스크 기재의 표면과 대향하는 평면에서 보았을 때에 있어서, 메탈 마스크 기재의 오목부가 하나의 방향을 따라 연신되는 사각형상을 가진 영역을 구획하는 구멍이면, 오목부의 개구에 있어서의 치수는, 개구의 길이 방향을 따른 치수여도 되고, 개구의 폭 방향을 따른 치수여도 된다. 또 혹은, 메탈 마스크 기재의 표면과 대향하는 평면에서 보았을 때에 있어서, 메탈 마스크 기재의 오목부가 정방형상을 가진 영역을 구획하는 구멍이면, 오목부의 개구에 있어서의 치수는, 개구에 있어서의 한 변의 치수이면 된다.
또한, 오목부가 하나의 방향을 따라 연장되는 사각형상, 혹은 정방형상을 가진 영역을 구획하는 구멍일 때에는, 오목부에 의해 구획되는 영역의 모서리부가, 오목부에 의해 구획되는 영역의 내부에 곡률의 중심을 갖는 호상을 가져도 된다.
보다 상세하게는, 도 9 가 나타내는 바와 같이, 메탈 마스크 (30) 를 제조할 때에는, 먼저, 상기 서술한 제 1 면 (11a) 과 제 2 면 (11b) 을 포함하는 금속층 (21) 인 메탈 마스크 기재와, 제 1 면 (11a) 에 첩부되는 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 와, 제 2 면 (11b) 에 첩부되는 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 를 준비한다. 2 개의 드라이 필름 레지스트 (12, 13) 각각은, 금속층 (21) 과는 별도로 형성된 필름이다.
그리고, 제 1 면 (11a) 에 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 를 첩부하고, 또한 제 2 면 (11b) 에 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 를 첩부한다. 즉, 제 1 면 (11a) 에 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 를 적층하고, 제 2 면 (11b) 에 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 를 적층한다. 예를 들어, 금속층 (21) 의 두께 방향에 있어서, 금속층 (21) 이 2 개의 드라이 필름 레지스트에 끼인 상태에서, 3 개의 층에 소정의 열과 압력을 가함으로써, 금속층 (21) 의 제 1 면 (11a) 에 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 를 첩부하고, 또한 제 2 면 (11b) 에 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 를 첩부한다. 또한, 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 와 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 는, 금속층 (21) 에 대해 각각 첩부되어도 된다.
여기서, 2 개의 드라이 필름 레지스트 (12, 13) 와 금속층 (21) 의 밀착성을 높이는 관점에서는, 금속층 (21) 의 제 1 면 (11a) 및 제 2 면 (11b) 각각이, 평활한 면인 것이 바람직하다. 이 점에서, 제 1 면 (11a) 및 제 2 면 (11b) 각각에 있어서, 삼차원 표면 조도 Sa 가 0.11 ㎛ 이하이고, 삼차원 표면 조도 Sz 가 3.17 ㎛ 이하이기 때문에, 메탈 마스크를 제조하는 데에 있어서 바람직한 정도로, 드라이 필름 레지스트 (12, 13) 과 금속층 (21) 의 밀착성이 높아진다. 이렇게 하여 메탈 마스크 형성용 중간체가 제조된다.
도 10 이 나타내는 바와 같이, 드라이 필름 레지스트 (12, 13) 중, 관통공을 형성하는 부위 이외의 부분을 노광하고, 노광 후의 드라이 필름 레지스트를 현상한다. 이로써, 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 에 제 1 관통공 (12a) 을 형성하고, 또한 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 에 제 2 관통공 (13a) 을 형성한다. 즉, 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 와 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 를 패터닝한다.
제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 를 노광할 때에는, 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 에 있어서 금속층 (21) 에 접하는 면과는 반대측의 면에, 제 1 관통공 (12a) 을 형성하는 부분 이외의 부분에 광을 도달시키도록 구성된 원판을 얹는다. 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 를 노광할 때에는, 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 에 있어서 금속층 (21) 에 접하는 면과는 반대측의 면에, 제 2 관통공 (13a) 을 형성하는 부분 이외의 부분에 광을 도달시키도록 구성된 원판을 얹는다. 또, 노광 후의 드라이 필름 레지스트를 현상할 때에는, 현상액으로서 예를 들어 탄산나트륨 수용액을 사용한다.
또한, 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 가 포지티브형 레지스트로 형성될 때에는, 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 중, 제 1 관통공 (12a) 을 형성하는 부분을 노광하면 된다. 또, 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 가 포지티브형 레지스트로 형성될 때는, 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 중, 제 2 관통공 (13a) 을 형성하는 부분을 노광하면 된다.
도 11 이 나타내는 바와 같이, 예를 들어, 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 를 마스크로 하여, 즉 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 를 개재하여, 염화제2철액을 사용하여 금속층 (21) 의 제 1 면 (11a) 을 에칭한다. 이 때, 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 에는, 금속층 (21) 의 제 2 면 (11b) 이 제 1 면 (11a) 과 동시에 에칭되지 않도록, 제 2 보호층 (61) 을 형성한다. 제 2 보호층 (61) 의 형성 재료는, 염화제2철액에 의해 에칭되기 어려운 재료이면 된다. 이로써, 금속층 (21) 의 제 1 면 (11a) 에, 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 의 제 1 관통공 (12a) 을 개재하여, 제 2 면 (11b) 을 향하여 패이는 제 1 오목부 (11c1) 를 형성한다.
여기서, 상기 서술한 메탈 마스크 형성용 중간체에서는, 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 와 금속층 (21) 의 밀착성이 높아져 있다. 그 때문에, 금속층 (21) 이 염화제2철액에 노출되었을 때, 염화제2철액은, 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 에 형성된 제 1 관통공 (12a) 을 통하여 금속층 (21) 의 제 1 면 (11a) 에 접하는 한편으로, 염화제2철액이, 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 와 금속층 (21) 의 계면에 들어가는 것이 억제된다. 그러므로, 금속층 (21) 에는, 제 1 오목부 (11c1) 가 형상의 정밀도가 높아진 상태에서 형성된다.
또, 제 1 면 (11a) 과 대향하는 평면에서 보았을 때에 있어서, 제 1 오목부 (11c1) 가 갖는 개구의 치수에 있어서의 평균값을 A 로 하고, 치수의 표준 편차에 3 을 곱한 값을 B 로 할 때, (B/A) × 100 (％) 이 10 ％ 이하가 되도록 금속층 (21) 에 복수의 제 1 오목부 (11c1) 가 형성된다.
도 12 가 나타내는 바와 같이, 금속층 (21) 의 제 1 면 (11a) 에 형성한 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 와, 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 에 접하는 제 2 보호층 (61) 을 제거한다. 또, 금속층 (21) 의 제 1 면 (11a) 에, 제 1 면 (11a) 의 에칭을 방지하기 위한 제 1 보호층 (62) 을 형성한다. 제 1 보호층 (62) 의 형성 재료는, 염화제2철액에 의해 에칭되기 어려운 재료이면 된다.
도 13 이 나타내는 바와 같이, 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 를 마스크로 하여, 염화제2철액을 사용하여 금속층 (21) 의 제 2 면 (11b) 을 에칭한다. 이로써, 금속층 (21) 의 제 2 면 (11b) 에, 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 의 제 2 관통공 (13a) 을 통하여, 제 1 면 (11a) 을 향하여 패이는 제 2 오목부 (11c2) 를 형성한다.
여기서, 상기 서술한 메탈 마스크 형성용 중간체에서는, 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 와 금속층 (21) 의 밀착성도 높아져 있다. 그 때문에, 금속층 (21) 이 염화제2철액에 노출되었을 때, 염화제2철액은, 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 에 형성된 제 2 관통공 (13a) 을 통하여 금속층 (21) 의 제 2 면 (11b) 에 접하는 한편으로, 염화제2철액이, 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 와 금속층 (21) 의 계면에 들어가는 것이 억제된다. 그러므로, 금속층 (21) 에는, 제 2 오목부 (11c2) 가 형상의 정밀도가 높아진 상태에서 형성된다.
또, 제 2 면 (11b) 과 대향하는 평면에서 보았을 때에 있어서, 제 2 오목부 (11c2) 가 갖는 개구의 치수에 있어서의 평균값을 A 로 하고, 치수의 표준 편차에 3 을 곱한 값을 B 로 할 때, (B/A) × 100 (％) 이 10 ％ 이하가 되도록 금속층 (21) 에 복수의 제 2 오목부 (11c2) 가 형성된다.
도 14 가 나타내는 바와 같이, 제 1 보호층 (62) 과 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 를 금속층 (21) 으로부터 제거함으로써, 복수의 관통공 (11c) 이 형성된 메탈 마스크 (30) 가 얻어진다.
또한, 메탈 마스크를 제조하기 위해 사용되는 메탈 마스크 기재 (11) 가 상기 제 2 형태일 때, 메탈 마스크 형성용 중간체는, 금속층, 수지층, 및 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 로 구성된다. 이러한 메탈 마스크 형성용 중간체에 대해서는, 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 를 마스크로 한 에칭이 실시되는 한편으로, 수지층에 대해서는 레이저 가공 등에 의한 천공이 실시되어도 된다.
또, 메탈 마스크를 제조하기 위해 사용되는 메탈 마스크 기재 (11) 가 상기 제 3 형태일 때, 메탈 마스크 형성용 중간체는, 수지층과, 이 수지층을 끼우는 2 개의 금속층과, 2 개의 드라이 필름 레지스트 (12, 14) 로 구성된다. 이러한 메탈 마스크 형성용 중간체에 대해서는, 각 드라이 필름 레지스트 (12, 14) 를 마스크로 한 에칭 외에, 수지층에 대해서는 레이저 가공 등에 의한 천공이 실시되어도 된다.
실시예
도 15 내지 도 20 을 참조하여 실시예를 설명한다. 이하에서는, 메탈 마스크 기재가 1 개의 금속층으로 구성되는 예를 설명한다.
[표면 조도의 측정]
실시예 1 내지 실시예 3 의 메탈 마스크 기재 및 비교예 1 의 메탈 마스크 기재 각각에 대해, 삼차원 표면 조도 Sa 및 삼차원 표면 조도 Sz 를 이하의 방법으로 측정하였다. 또한, 이하에 있어서, 삼차원 표면 조도 Sa 및 삼차원 표면 조도 Sz 각각의 값에 있어서의 단위는 모두 ㎛ 이다.
실시예 1 내지 실시예 3 의 메탈 마스크 기재 및 비교예 1 의 메탈 마스크 기재는, 430 ㎜ 의 폭을 갖는 메탈 마스크 기재의 원단 (原反) 을 준비하고, 원단의 일부를 500 ㎜ 의 길이로 잘라냄으로써 얻었다. 또, 메탈 마스크 기재는, 20 ㎛ 의 두께를 갖는 것으로 하고, 형성 재료를 인바로 하였다.
50 배의 대물렌즈를 장착한 형상 해석 레이저 현미경 (VK-X210, (주) 키엔스 제조) 을 사용하여, 삼차원 표면 조도 Sa 및 삼차원 표면 조도 Sz 를 측정하였다. 삼차원 표면 조도 Sa 및 삼차원 표면 조도 Sz 로서, 하나의 방향에 있어서의 약 280 ㎛ 의 폭과, 하나의 방향과 직교하는 방향에 있어서의 약 220 ㎛ 의 폭을 갖는 면에 있어서의 삼차원 표면 조도 Sa 및 삼차원 표면 조도 Sz 를 측정하였다.
또한, 삼차원 표면 조도 Sa 및 삼차원 표면 조도 Sz 는, ISO 25178 에 준거하는 방향에 의해 측정하였다.
실시예 1 내지 실시예 3 및 비교예 1 의 메탈 마스크 기재 각각에 있어서, 서로 상이한 3 개 지점 각각에서 잘라낸 시험편에서의 표면 조도를 측정하였다. 각 시험편은, 메탈 마스크 기재의 길이 방향을 따르는 길이가 20 ㎜ 이고, 메탈 마스크 기재의 폭 방향을 따르는 길이가 30 ㎜ 인 사각형판 형상을 갖는 것으로 하였다.
메탈 마스크 기재의 길이 방향에 있어서의 2 개의 단부를 제 1 단부 및 제 2 단부로 하고, 폭 방향에 있어서의 2 개의 단부를 제 3 단부 및 제 4 단부로 할 때, 3 개의 시험편 각각을 메탈 마스크 기재에 있어서의 이하의 위치에서 잘라내었다.
즉, 시험편 1 을 제 1 단부로부터 100 ㎜ 만큼 떨어지고, 또한 제 3 단부로부터 200 ㎜ 만큼 떨어진 위치에서 잘라내었다. 또, 시험편 2 를 제 2 단부로부터 100 ㎜ 만큼 떨어지고, 또한 제 3 단부로부터 70 ㎜ 만큼 떨어진 위치에서 잘라내었다. 그리고, 시험편 3 을 제 2 단부로부터 100 ㎜ 만큼 떨어지고, 또한 제 4 단부로부터 70 ㎜ 만큼 떨어진 위치에서 잘라내었다.
또한, 각 시험편에 있어서, 5 개의 측정점에 있어서의 삼차원 표면 조도 Sa 와 삼차원 표면 조도 Sz 를 측정하였다. 5 개의 측정점은, 각 시험편에 있어서의 중앙의 1 점과, 중앙의 1 점을 둘러싸는 외주에 있어서의 4 점으로 하였다. 각 시험편에 있어서의 외주의 4 점은, 시험편의 대각선 상에 위치하는 점으로 하고, 또한 중앙의 1 점과 외주에 있어서의 각 점 사이의 거리는 10 ㎜ 로 하였다.
실시예 1 내지 실시예 3 에 있어서의 메탈 마스크 기재 각각에 있어서, 각 시험편에 있어서의 삼차원 표면 조도 Sa 의 최대값, 및 각 시험편에 있어서의 삼차원 표면 조도 Sz 의 최대값으로서 이하의 표 1 에 나타내는 값이 얻어졌다.
Figure pat00001
표 1 이 나타내는 바와 같이, 실시예 1 의 메탈 마스크 기재에서는, 시험편 1 에서의 삼차원 표면 조도 Sa 의 최대값이 0.09 이고, 삼차원 표면 조도 Sz 의 최대값이 2.83 인 것이 확인되었다. 또, 시험편 2 에서의 삼차원 표면 조도 Sa 의 최대값이 0.08 이고, 삼차원 표면 조도 Sz 의 최대값이 2.63 인 것이 확인되었다. 또, 시험편 3 에서의 삼차원 표면 조도 Sa 가 0.09 이고, 삼차원 표면 조도 Sz 의 최대값이 3.17 인 것이 확인되었다.
즉, 실시예 1 의 메탈 마스크 기재에 있어서, 삼차원 표면 조도 Sa 의 최대값이 0.09 이고, 삼차원 표면 조도 Sz 의 최대값이 3.17 인 것이 확인되었다.
실시예 2 의 메탈 마스크 기재에서는, 시험편 1 에서의 삼차원 표면 조도 Sa 의 최대값이 0.09 이고, 삼차원 표면 조도 Sz 의 최대값이 2.60 인 것이 확인되었다. 또, 시험편 2 에서의 삼차원 표면 조도 Sa 의 최대값이 0.10 이고, 삼차원 표면 조도 Sz 의 최대값이 2.88 인 것이 확인되었다. 또, 시험편 3 에서의 삼차원 표면 조도 Sa 의 최대값이 0.09 이고, 삼차원 표면 조도 Sz 의 최대값이 2.76 인 것이 확인되었다.
즉, 실시예 2 의 메탈 마스크 기재에 있어서, 삼차원 표면 조도 Sa 의 최대값이 0.10 이고, 삼차원 표면 조도 Sz 의 최대값이 2.88 인 것이 확인되었다.
실시예 3 의 메탈 마스크 기재에서는, 시험편 1 에서의 삼차원 표면 조도 Sa 의 최대값이 0.10 이고, 삼차원 표면 조도 Sz 의 최대값이 2.93 인 것이 확인되었다. 또, 시험편 2 에서의 삼차원 표면 조도 Sa 의 최대값이 0.11 이고, 삼차원 표면 조도 Sz 의 최대값이 2.84 인 것이 확인되었다. 또, 시험편 3 에서의 삼차원 표면 조도 Sa 의 최대값이 0.10 이고, 삼차원 표면 조도 Sz 의 최대값이 2.96 인 것이 확인되었다.
즉, 실시예 3 의 메탈 마스크 기재에 있어서, 삼차원 표면 조도 Sa 의 최대값이 0.11 이고, 삼차원 표면 조도 Sz 의 최대값이 2.96 인 것이 확인되었다.
또, 비교예 1 에 있어서, 각 시험편에 있어서의 삼차원 표면 조도 Sa 의 최대값, 및 각 시험편에 있어서의 삼차원 표면 조도 Sz 의 최대값으로서 이하의 표 2 에 나타내는 값이 얻어졌다.
Figure pat00002
표 2 가 나타내는 바와 같이, 비교예 1 의 메탈 마스크 기재에서는, 시험편 1 에서의 삼차원 표면 조도 Sa 의 최대값이 0.14 이고, 삼차원 표면 조도 Sz 의 최대값이 5.10 인 것이 확인되었다. 또, 시험편 2 에서의 삼차원 표면 조도 Sa 의 최대값이 0.13 이고, 삼차원 표면 조도 Sz 의 최대값이 5.78 인 것이 확인되었다. 또, 시험편 3 에서의 삼차원 표면 조도 Sa 의 최대값이 0.16 이고, 삼차원 표면 조도 Sz 의 최대값이 5.10 인 것이 확인되었다.
즉, 비교예 1 의 메탈 마스크 기재에 있어서, 삼차원 표면 조도 Sa 의 최대값이 0.16 이고, 삼차원 표면 조도 Sz 의 최대값이 5.78 인 것이 확인되었다.
도 15 는, 실시예 1 의 메탈 마스크 기재를 사용한 메탈 마스크의 제조 공정에 있어서, 제 1 면에 제 1 오목부를 형성한 후에, 제 1 면에 대해 조사광을 조사하여, 제 1 면에서 반사된 반사광을 촬상한 화상이다.
도 16 은, 비교예 1 의 메탈 마스크 기재를 사용한 메탈 마스크의 제조 공정에 있어서, 제 1 면에 제 1 오목부를 형성한 후에, 제 1 면에 대해 조사광을 조사하여, 제 1 면에서 반사된 반사광을 촬상한 화상이다.
도 15 가 나타내는 바와 같이, 실시예 1 의 메탈 마스크 기재 (11) 에 의하면, 메탈 마스크 기재 (11) 와 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 의 밀착성이 높아져 있다. 그 때문에, 제 1 면 (11a) 과 대향하는 평면에서 보았을 때에 있어서, 제 1 면 (11a) 에서의 각 제 1 오목부 (11c1) 에 있어서의 개구의 크기가, 다른 모든 제 1 오목부 (11c1) 에 있어서의 개구의 크기와 거의 동등한 것이 확인되었다.
한편으로, 도 16 이 나타내는 바와 같이, 비교예 1 의 메탈 마스크 기재에서는, 금속층의 표면 (71a) 과 대향하는 평면에서 보았을 때에 있어서, 복수의 제 1 오목부 (71c1) 에 있어서의 개구의 크기가 크게 고르지 않은 것이 확인되었다.
실시예 1 의 메탈 마스크 기재 및 비교예 1 의 메탈 마스크 기재 각각에 있어서, 24 개의 제 1 오목부의 직경을 측정하였다. 또한, 실시예 1 에서는, 도 15 에 나타나는 제 1 오목부 (11c1) 중, 이점 쇄선으로 둘러싸이는 영역에 포함되는 제 1 오목부 (11c1) 의 직경을 측정하고, 비교예 1 에서는, 도 16 에 나타내는 제 1 오목부 (71c1) 중, 이점 쇄선으로 둘러싸이는 영역에 포함되는 제 1 오목부 (71c1) 의 직경을 측정하였다.
또, 각 제 1 오목부에 대해, 지면의 상하 방향에서의 직경인 제 1 직경, 및 지면의 좌우 방향에서의 직경인 제 2 직경을 측정하고, 각 제 1 오목부에 대해, 제 1 직경과 제 2 직경의 평균값인 평균 직경을 산출하였다. 실시예 1 에 있어서의 제 1 직경, 제 2 직경, 및 평균 직경과, 비교예 1 에 있어서의 제 1 직경, 제 2 직경, 및 평균 직경은, 이하의 표 3 에 나타내는 바와 같았다.
Figure pat00003
표 3 이 나타내는 바와 같이, 실시예 1 의 제 1 오목부 (11c1) 에 있어서의 평균 직경은 47.0 ㎛ 이상 50.4 ㎛ 이하이고, 비교예 1 의 제 1 오목부 (71c1) 에 있어서의 평균 직경은 46.0 ㎛ 이상 64.9 ㎛ 이하인 것이 확인되었다.
실시예 1 에 있어서, 메탈 마스크 기재 (11) 의 표면과 대향하는 평면에서 보았을 때의 제 1 오목부 (11c1) 의 개구에 있어서의 직경의 평균값을 A 로 하고, 직경의 표준 편차에 3 을 곱한 값을 B 로 하여, (B/A) × 100 (％) 을 산출하였다. 제 1 직경에 있어서, (B/A) × 100 (％) 은 8.2 ％ 이고, 제 2 직경에 있어서, (B/A) × 100 (％) 은 6.6 ％ 이고, 평균 직경에 있어서, (B/A) × 100 (％) 은 5.9 ％ 인 것이 확인되었다.
비교예 1 에 있어서, 실시예 1 과 마찬가지로, 금속층의 표면 (71a) 과 대향하는 평면에서 보았을 때의 제 1 오목부 (71c1) 의 개구에 있어서의 직경의 평균값을 A 로 하고, 직경의 표준 편차에 3 을 곱한 값을 B 로 하여, (B/A) × 100 (％) 을 산출하였다. 제 1 직경에 있어서, (B/A) × 100 (％) 은 30.3 ％ 이고, 제 2 직경에 있어서, (B/A) × 100 (％) 은 26.1 ％ 이고, 평균 직경에 있어서, (B/A) × 100 (％) 은 26.7 ％ 인 것이 확인되었다.
실시예 1 에 있어서, (B/A) × 100 (％) 은 8.2 ％ 이하, 즉 10 ％ 이하이기 때문에, 메탈 마스크 기재 (11) 가 갖는 제 1 오목부 (11c1) 의 개구, 나아가서는 메탈 마스크가 갖는 관통공의 개구에 있어서의 직경에 있어서, 치수의 정밀도가 높은 것이 확인되었다. 이에 반해, 비교예 1 에 있어서, (B/A) × 100 (％) 은 30.3 ％ 이하로, 실시예 1 에 의하면, 비교예 1 에 비해, 메탈 마스크 기재 (11) 가 갖는 제 1 오목부 (11c1) 의 개구, 나아가서는 메탈 마스크가 갖는 관통공의 개구에 있어서의 직경에 있어서, 치수의 정밀도가 대폭 높아지는 것이 확인되었다.
또, 실시예 1 및 비교예 1 에 대해, 제 1 오목부의 평균 직경의 빈도를 2 ㎛ 마다 나타내는 히스토그램과, 1 ㎛ 마다 나타내는 히스토그램을 작성하였다.
도 17 및 도 18 이 나타내는 바와 같이, 실시예 1 에서는, 제 1 오목부의 평균 직경의 빈도가 50 ㎛ 에 있어서 가장 높은 것이 확인되었다. 또, 도 19 및 도 20 이 나타내는 바와 같이, 비교예 1 에서는 평균 직경의 각 값에 있어서의 빈도의 차가 실시예 1 보다 작은 것이 확인되었다.
이와 같이, 실시예 1 의 메탈 마스크 기재 (11) 에 의하면, 메탈 마스크 기재 (11) 와 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 의 밀착성이 높아져 있기 때문에, 복수의 제 1 오목부 (11c1) 각각이, 형상의 정밀도가 높은 상태에서 형성되는 것이 확인되었다. 한편으로, 비교예 1 의 메탈 마스크 기재에 의하면, 메탈 마스크 기재와 드라이 필름 레지스트의 밀착성이 낮기 때문에, 복수의 제 1 오목부 (71c1) 에 있어서, 형상의 정밀도가 낮아지는 것이 확인되었다.
또한, 실시예 2 및 실시예 3 각각에 있어서도, 도 15 에 나타내는 복수의 제 1 오목부의 형상과 동등한 형상이 얻어지는 것이 확인되었다.
즉, 메탈 마스크 기재 (11) 의 1 개의 면에 있어서, 삼차원 표면 조도 Sa 가 0.11 ㎛ 이하이고, 또한 삼차원 표면 조도 Sz 가 3.17 ㎛ 이하이면, 금속층 (21) 과 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 의 밀착성이 높아지는 것이 확인되었다.
또한, 메탈 마스크 기재 (11) 의 제 2 면 (11b) 에 제 2 오목부 (11c2) 를 형성할 때에 있어서도, 상기 서술한 표면 조도를 갖는 구성이면, 메탈 마스크 기재 (11) 의 제 1 면 (11a) 에 제 1 오목부 (11c1) 를 형성할 때와 마찬가지로, 메탈 마스크 기재 (11) 와 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 의 밀착성이 높아져 있는 것을 나타내는 경향이 확인되었다.
이상 설명한 바와 같이, 드라이 필름 레지스트용 메탈 마스크 기재, 메탈 마스크, 및 메탈 마스크 제조 방법의 하나의 실시형태에 의하면, 이하에 열거하는 효과를 얻을 수 있다.
(1) 삼차원 표면 조도 Sa 가 0.11 ㎛ 이하이고, 또한 삼차원 표면 조도 Sz 가 3.17 ㎛ 이하이기 때문에, 제 1 면 (11a) 과 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 사이에 간극이 형성되기 어려워지고, 결과적으로, 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 와 금속층 (21) 의 표면의 계면에 있어서의 밀착성이 높아진다.
(2) 제 2 면 (11b) 에 있어서, 삼차원 표면 조도 Sa 가 0.11 ㎛ 이하이고, 삼차원 표면 조도 Sz 가 3.17 ㎛ 이하이다. 그 때문에, 금속층 (21) 중, 제 2 면 (11b) 에 있어서도, 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 와 금속층 (21) 의 밀착성을 높일 수 있고, 제 1 면 (11a) 및 제 2 면 (11b) 에 대한 에칭에 있어서, 가공의 정밀도를 높일 수 있다.
(3) 메탈 마스크 기재 (11) 의 표면이 인바제이면, 유리 기판의 선팽창계수와 인바의 선팽창계수가 동일한 정도이다. 그 때문에, 메탈 마스크 기재로 형성되는 메탈 마스크를 유리 기판에 대한 성막에 적용하는 것, 즉 형상의 정밀도가 높아진 메탈 마스크를 유리 기판에 대한 성막에 적용하는 것이 가능하다.
(4) 메탈 마스크 기재가 폴리이미드로 형성된 수지층 (22) 을 구비하는 구성에서는, 인바의 선팽창계수와 폴리이미드의 선팽창계수가 동일한 정도이다. 그 때문에, 메탈 마스크 기재 (11) 가, 서로 상이한 2 개의 재료를 함유한다고 해도, 메탈 마스크 (30) 에 있어서의 온도의 변화에 의해, 메탈 마스크 (30) 가 휘기 어려워진다. 그러므로, 형상의 정밀도 및 기계적 강도가 높아진 메탈 마스크 (30) 를 제공하는 것도 가능해진다.
(5) 제 1 면 (11a) 에 더하여 제 2 면 (11b) 에 있어서도, 제 2 드라이 필름 레지스트 (13) 와 금속층 (21) 의 밀착성이 높아진다. 그 때문에, 관통공 (11c) 이, 제 1 면 (11a) 에 있어서의 에칭과 제 2 면 (11b) 에 있어서의 에칭에 의해 형성되는 구성이어도, 관통공 (11c) 에 있어서의 형상의 정밀도가 높아진다.
또한, 상기 서술한 실시형태는, 이하와 같이 적절히 변경하여 실시할 수도 있다.
·각 관통공 (11c) 의 단면적은, 금속층 (21) 의 두께 방향 전체에 걸쳐 거의 동일해도 된다. 혹은, 각 관통공 (11c) 의 단면적은, 금속층 (21) 의 두께 방향에 있어서, 제 1 면 (11a) 으로부터 제 2 면 (11b) 을 향하여 커져도 되고, 제 1 면 (11a) 으로부터 제 2 면 (11b) 을 향하여 작아져도 된다.
·금속층 (21) 의 형성 재료는, 순수한 금속 혹은 합금이면, 인바 이외의 재료여도 된다. 또, 금속층 (21) 의 형성 재료가 인바 이외의 재료일 때, 금속층 (21) 에 접하는 수지층으로서, 금속층 (21) 의 형성 재료와의 사이에 있어서의 선팽창계수의 차가, 금속층 (21) 의 형성 재료에 있어서의 선팽창계수와 폴리이미드에 있어서의 선팽창계수의 차보다 작은 수지가 사용되어도 된다.
·금속층 (21) 에 있어서, 제 2 면 (11b) 에서의 삼차원 표면 조도 Sa 는 0.11 ㎛ 보다 커도 되고, 삼차원 표면 조도 Sz 는 3.17 ㎛ 보다 커도 된다. 이러한 구성이어도, 적어도 제 1 면 (11a) 에 있어서는, 금속층 (21) 과 제 1 드라이 필름 레지스트 (12) 의 밀착성을 높일 수 있다.
·메탈 마스크 (30) 는, 유기 EL 소자의 형성 재료를 유리 기판에 대해 증착할 때에 사용되는 메탈 마스크에 한정하지 않고, 각종 금속 재료를 증착이나 스퍼터 등으로 성막할 때 등과 같이, 다른 용도의 메탈 마스크여도 된다. 이 경우에는, 복수의 관통공 (11c) 이, 제 1 면 (11a) 과 대향하는 평면에서 보았을 때에 있어서, 불규칙하게 늘어서 있어도 된다.
·메탈 마스크 기재의 에칭에 사용되는 레지스트는, 상기 서술한 드라이 필름 레지스트에 한정하지 않고, 레지스트를 형성하기 위한 도액이 메탈 마스크 기재에 도포됨으로써 형성되는 레지스트여도 된다. 즉, 레지스트는, 도포에 의해 메탈 마스크 기재의 표면에 배치되어도 되고, 첩부에 의해 메탈 마스크 기재의 표면에 배치되어도 된다. 이러한 레지스트여도, 상기 서술한 메탈 마스크 기재에 의하면, 메탈 마스크 기재의 표면에 대한 밀착성이 낮은 레지스트를 사용한 경우에, 드라이 필름 레지스트를 사용한 경우와 동일한 효과를 얻는 것은 가능하다.
10 : 메탈 마스크 형성용 중간체
11 : 메탈 마스크 기재
11a : 제 1 면
11aM : 제 1 마스크면
11b : 제 2 면
11bM : 제 2 마스크면
11c : 관통공
11c1, 71c1 : 제 1 오목부
11c2 : 제 2 오목부
11M : 마스크 기체
12 : 제 1 드라이 필름 레지스트
12a : 제 1 관통공
13, 14 : 제 2 드라이 필름 레지스트
13a : 제 2 관통공
21, 23 : 금속층
21a : 모재
21b : 압연재
22 : 수지층
30 : 메탈 마스크
41 : 제 1 개구
42 : 제 2 개구
43 : 잘록부
50 : 압연 장치
51, 52 : 압연 롤러
53 : 어닐 장치
61 : 제 2 보호층
62 : 제 1 보호층
71a : 표면
C : 코어

Claims (7)

  1. 레지스트가 배치되도록 구성된 금속제의 표면을 구비하고,
    상기 표면의 삼차원 표면 조도 Sa 가 0.11 ㎛ 이하이고,
    상기 표면의 삼차원 표면 조도 Sz 가 3.17 ㎛ 이하인, 메탈 마스크 기재.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 표면이 제 1 면이고,
    상기 레지스트가 제 1 레지스트이고,
    상기 제 1 면과는 반대측의 면으로서, 제 2 레지스트가 배치되도록 구성된 금속제의 제 2 면을 추가로 구비하고,
    상기 제 2 면의 삼차원 표면 조도 Sa 가 0.11 ㎛ 이하이고,
    상기 제 2 면의 삼차원 표면 조도 Sz 가 3.17 ㎛ 이하인, 메탈 마스크 기재.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 표면은 인바제인, 메탈 마스크 기재.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    인바로 형성된 금속층을 구비하고,
    상기 표면이 상기 금속층의 표면이고,
    상기 금속층에 있어서 상기 표면과는 반대측의 면과 대향하는 폴리이미드층을 추가로 구비하는, 메탈 마스크 기재.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 레지스트는 드라이 필름 레지스트이고,
    상기 표면은, 상기 드라이 필름 레지스트가 첩부되도록 구성되어 있는, 메탈 마스크 기재.
  6. 금속제의 표면을 가진 메탈 마스크 기체를 구비하는 메탈 마스크로서,
    상기 메탈 마스크 기체는, 상기 메탈 마스크 기체의 두께 방향을 따라 상기 메탈 마스크 기체를 관통함과 함께, 상기 표면에 개구를 가진 복수의 관통공을 구비하고,
    상기 표면과 대향하는 평면에서 보았을 때의 상기 개구의 치수에 있어서의 평균값을 A 로 하고, 상기 치수의 표준 편차에 3 을 곱한 값을 B 로 할 때, (B/A) × 100 (％) 이 10 ％ 이하인, 메탈 마스크.
  7. 레지스트가 배치되도록 구성된 금속제의 표면을 구비하고, 상기 표면의 삼차원 표면 조도 Sa 가 0.11 ㎛ 이하이고, 상기 표면의 삼차원 표면 조도 Sz 가 3.17 ㎛ 이하인 메탈 마스크 기재를 준비하는 것과,
    상기 표면에 레지스트를 배치하는 것과,
    상기 메탈 마스크 기재에, 상기 메탈 마스크 기재의 두께 방향을 따라 패이고, 또한 상기 표면에 개구를 가진 복수의 오목부를 형성하기 위한 관통공을 상기 레지스트에 형성하는 것과,
    상기 레지스트를 개재하여, 상기 메탈 마스크 기재에 복수의 상기 오목부를 형성하는 것을 구비하고,
    상기 메탈 마스크 기재에 복수의 상기 오목부를 형성하는 것에서는, 상기 표면과 대향하는 평면에서 보았을 때의 상기 개구의 치수에 있어서의 평균값을 A 로 하고, 상기 치수의 표준 편차에 3 을 곱한 값을 B 로 할 때, (B/A) × 100 (％) 이 10 ％ 이하가 되도록 상기 메탈 마스크 기재에 복수의 상기 오목부를 형성하는, 메탈 마스크의 제조 방법.
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