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KR20190143740A - 기판 반송 장치 및 방법 - Google Patents

기판 반송 장치 및 방법 Download PDF

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KR20190143740A
KR20190143740A KR1020180071638A KR20180071638A KR20190143740A KR 20190143740 A KR20190143740 A KR 20190143740A KR 1020180071638 A KR1020180071638 A KR 1020180071638A KR 20180071638 A KR20180071638 A KR 20180071638A KR 20190143740 A KR20190143740 A KR 20190143740A
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board
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김준호
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에이피시스템 주식회사
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Abstract

본 발명은, 로봇 암을 구비하는 반송 로봇, 로봇 암의 선단에 장착되고, 진공 척들이 구비되는 척부, 진공 척들에 연결되는 유틸리티 공급부, 유틸리티 공급부에 장착되는 압력 센서, 척부에 장착되는 거리 센서, 및 거리 센서 및 압력 센서의 측정 결과를 활용하여 기판의 휨 상태를 판단하고, 판단 결과에 따라 기판의 반송 여부 및 반송 진행 여부를 결정하는 제어부를 포함하는 기판 반송 장치와, 이에 적용되는 기판 반송 방법으로, 기판의 휨 상태를 서로 다른 시점에 서로 다른 방식으로 다양하게 측정할 수 있는 기판 반송 장치 및 방법이 제시된다.

Description

기판 반송 장치 및 방법{SUBSTRATE CARRIER APPARATUS AND METHOD}
본 발명은 기판 반송 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판의 휨 상태를 서로 다른 시점에 서로 다른 방식으로 다양하게 측정할 수 있는 기판 반송 장치 및 방법에 관한 것이다.
반도체 및 디스플레이 장치는 기판 상에 박막 적층, 이온 주입 및 열처리 등의 단위 공정을 반복 실시하여 기판 상에 원하는 회로의 동작 특성을 가지는 소자를 형성하는 방식으로 제조된다. 이때, 일반적으로 기판은 밀폐된 카세트에 수납되어 공정설비까지 운반되고, 반송 로봇에 의해 공정 설비에 반입된다. 이후, 처리가 완료된 기판은 반송 로봇에 의해 공정 설비에서 반출되어 카세트에 수납된 후, 다음 번 공정을 위한 공정 설비로 운반된다.
한편, 각종 단위 공정을 수행하는 중에 기판이 변형될 수 있다. 특히, 글래스 또는 에폭시 몰드, PCB기판, 수지 필름 재질의 기판의 경우, 기판에 휨(warpage)이 발생할 수 있는데, 이를 반송 로봇이 사전에 인지하지 못하고 무리하게 기판의 반송을 시도하면, 기판이 반송 로봇의 로봇 암에서 탈락할 수 있다. 이 경우, 해당 기판이 손상되는 것은 물론이고, 반송 로봇과 카세트 및 공정 설비까지 손상될 수 있고, 공정이 지연되는 문제가 생길 수 있다.
본 발명의 배경이 되는 기술은 하기의 특허문헌에 게재되어 있다.
KR 10-2009-0051521 A KR 10-0763260 B1
본 발명은 기판의 휨 상태를 서로 다른 시점에 서로 다른 방식으로 다양하게 측정할 수 있는 기판 반송 장치 및 방법을 제공한다.
본 발명은 기판이 반송 중 탈락되는 것을 방지할 수 있는 기판 반송 장치 및 방법을 제공한다.
본 발명의 실시 형태에 따른 기판 반송 장치는, 기판을 반송하는 기판 반송 장치로서, 로봇 암을 구비하는 반송 로봇; 상기 로봇 암의 선단에 장착되고, 하면에 진공 척들이 구비되는 척부; 상기 척부를 관통하고, 상기 진공 척들에 연결되는 유틸리티 공급부; 상기 유틸리티 공급부에 장착되고, 상기 진공 척들에 제공되는 진공압을 측정하는 압력 센서; 및 상기 압력 센서의 측정 결과를 활용하여 기판의 휨 상태를 판단하고, 그 결과에 따라 기판의 반송 진행 여부를 결정하는 제어부;를 포함한다.
상기 척부의 선단에 하측을 향하여 장착되는 거리 센서;를 포함하고, 상기 제어부는 상기 거리 센서로부터 측정되는 척부와 기판의 간격을 활용하여 기판의 휨 상태를 판단하고, 그 결과에 따라 상기 기판의 반송 여부를 결정할 수 있다.
상기 유틸리티 공급부는 일측이 분기되고, 상기 진공 척들은 상기 유틸리티 공급부의 분기관들에 그룹별로 연결되고, 상기 압력 센서는 상기 분기관들에 각각 장착될 수 있다.
상기 제어부는 기판의 반송 진행 여부 결정 이후 상기 분기관들 중 진공압이 기준 진공압보다 낮은 분기관의 제어 밸브를 차단할 수 있다.
상기 진공 척에 장착되는 체크 밸브;를 더 포함하고, 상기 체크 밸브는 바이패스 유로를 구비하고, 상기 바이패스 유로는 상기 체크 밸브가 상기 진공 척의 내부를 차단하는 중에도 상시 개방될 수 있다.
상기 체크 밸브는, 상기 진공 척의 내부를 가로질러 연장되고, 일단이 상기 진공 척의 내주면에 회전 가능하게 연결되는 밸브 판; 상기 밸브 판의 타단을 탄성 지지하는 탄성부재; 상기 밸브 판의 일단보다 높은 높이에서 상기 진공 척의 내주면에 설치되는 스토퍼;를 포함하고, 상기 바이패스 유로는 상기 밸브 판을 관통하여 형성될 수 있다.
상기 제어부는, 상기 압력 센서에서 측정되는 진공압이 기준 진공압 범위보다 낮으면, 상기 기판의 휨 상태를 위험 상태로 판단하고, 상기 기판의 반송 진행 불가를 결정하고, 상기 진공압이 기준 진공압 범위 내에 포함되면, 상기 기판의 휨 상태를 정상 또는 주의 상태로 측정하고, 상기 기판의 반송 진행 가능을 결정할 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 따른 기판 반송 방법은, 기판을 반송하는 기판 반송 방법으로서, 로봇 암을 기판의 상측으로 위치시키는 과정; 상기 로봇 암이 위치하는 동안 로봇 암과 기판의 간격을 측정하는 과정; 상기 간격을 활용하여 상기 기판의 휨 상태를 판단하고, 그 결과에 따라 상기 기판의 반송 여부를 결정하는 과정;을 포함한다.
상기 기판의 반송 불가를 결정하면, 상기 로봇 암을 다음 번 기판이 있는 위치로 이동시키고, 상기 다음 번 기판을 대상으로 상기 로봇 암을 위치시키는 과정부터 반송 여부 결정 과정까지를 반복할 수 있다.
상기 기판의 반송 가능을 결정하면, 상기 기판의 상면에 상기 로봇 암의 선단에 장착된 척부를 접촉시키는 과정; 상기 척부에 구비된 진공 척들을 이용하여 상기 기판을 진공 흡착하는 과정; 상기 진공 척들에 제공되는 진공압을 측정하는 과정; 상기 진공압을 활용하여 상기 기판의 휨 상태를 판단하고, 판단 결과에 따라 상기 기판의 반송 진행 여부를 결정하는 과정;을 포함할 수 있다.
상기 진공 척들은 유틸리티 공급부의 분기관들에 그룹별로 연결되고, 상기 진공압을 측정하는 과정은 상기 분기관들의 진공압을 측정할 수 있다.
상기 기판의 휨 상태를 정상 상태로 판단하면, 상기 로봇 암을 작동시켜 상기 기판의 반송을 개시하고, 상기 기판의 휨 상태를 주의 상태로 판단하면, 진공압이 기준 진공압보다 낮은 분기관을 차단하고, 상기 로봇 암을 작동시켜 상기 기판의 반송을 개시하고, 상기 기판의 휨 상태를 위험 상태로 판단하면, 상기 기판의 반송 진행 불가를 결정하고, 상기 기판의 반송을 종료할 수 있다.
상기 기판의 반송을 종료하면, 상기 로봇 암을 다음 번 기판이 있는 위치로 이동시키고, 상기 다음 번 기판을 대상으로 상기 로봇 암을 위치시키는 과정부터 상기 반송 여부 결정 과정까지를 반복할 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 따르면, 카세트에 수납된 기판을 공정 설비에 반송하거나 공정 설비에서 처리된 기판을 카세트에 반송하는 작업을 수행할 때 기판의 휨 상태를 서로 다른 시점에 서로 다른 방식으로 다양하게 측정할 수 있다.
예컨대 로봇 암이 기판의 상측에서 이동하면서 거리 센서를 이용하여 기판의 휨 상태를 비접촉 방식으로 직접 측정하고, 진공 척이 기판의 상면을 진공 흡착하는 중에 진공 척에 연결된 배관의 진공압을 측정하여 기판의 휨 상태를 접촉 방식으로 간접 측정할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 형태에 따르면, 카세트에 수납된 기판을 공정 설비에 반송하거나 공정 설비에서 처리된 기판을 카세트에 반송하는 작업을 수행하면서 기판이 반송 중 탈락되는 것을 방지할 수 있다.
예컨대 진공 척을 복수의 배관에 그룹별로 연결하고, 리크가 발생한 부분에 해당하는 그룹의 밸브를 차단하여 나머지 그룹에 영향이 끼치는 것을 방지할 수 있다. 이에, 일부의 진공 척이 기판에서 이격되더라도 나머지 진공 척이 안정적인 진공압으로 기판을 진공 흡착할 수 있어서 기판이 탈락되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 개별 진공 척에 압력 손실을 최소화할 수 있는 구조를 설치하고, 진공 척이 기판과 이격되어도, 기판과 이격된 진공 척을 통해 손실되는 진공압을 줄일 수 있다.
특히, 기판에서 이격된 진공 척의 내부를 완전히 차단하지 않고, 일부만 차단하여, 진공압의 손실을 최소화하면서 손실되는 진공압을 측정할 수 있기 때문에, 기판의 휨 상태를 접촉 방식으로 간접 측정할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치가 적용된 공정 설비의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치의 개략도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 척부의 측단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 척부의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 진공 척의 진공압 손실 최소화를 위한 바이패스 구조를 보여주는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치의 작동도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이다. 단지 본 발명의 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 도면은 과장될 수 있고, 도면상의 동일한 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 1의 (a) 및 (b)는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치가 적용된 공정 설비들의 개략도이다.
도 1의 (a)를 참조하여, 본 발명의 실시 예에 따른 공정 설비를 설명한다.
본 발명의 실시 예에 따른 공정 설비(1000)는, 프론트엔드 모듈(110), 공정 챔버(120)들, 기판 반송 장치 및 카세트 공급 장치(300)를 포함할 수 있다.
프론트엔드 모듈(110)은 예컨대 EFEM(Equipment Front End Module)이라고 지칭할 수 있다. 프론트엔드 모듈(110)은 내부가 진공 및 대기압 분위기로 제어될 수 있다. 프론트엔드 모듈(110)은 카세트 공급 장치(300)로부터 기판을 반입받을 수 있고, 공정 챔버(120)들에 기판을 반송할 수 있다. 프론트엔드 모듈(110)의 내부에 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치가 설치될 수 있다.
공정 챔버(120)들은 프론트엔드 모듈(110)에 접속될 수 있다. 공정 챔버(120)들은 기판을 처리하도록 형성될 수 있다. 공정 챔버(150)들은 기판을 열처리하거나, 기판에 막을 증착하거나, 기판에 형성된 막을 식각하는 등의 다양한 방식으로 기판을 처리할 수 있고, 이를 특별히 한정하지 않는다. 기판은 프론트엔드 모듈(110)에서 공정 챔버(120)들로 반송되고, 공정 챔버(150)들에서 처리된 후, 프론트엔드 모듈(110)로 반송될 수 있다.
카세트 공급 장치(300)는 내부에 하나 이상의 카세트 모듈(미도시)을 구비할 수 있다. 카세트 공급 장치(300)는 프론트엔드 모듈(110)에 접속될 수 있다. 카세트 모듈은 기판을 수납 및 불출할 수 있도록 형성될 수 있다.
기판은 반도체나 디스플레이 장치를 제조하는 공정 중의 전자 소자가 제조되는 공정이 진행 중이거나 종료된 각종 플레이트일 수 있다. 기판은 웨이퍼, 글라스 및 패널 등 다양할 수 있고, 기판의 재질은 글래스 또는 에폭시 몰드, PCB기판 및 수지 필름 재질을 포함할 수 있다.
기판은 카세트 모듈에 수납되고, 카세트 공급 장치(300)의 이동에 의하여 프론트엔드 모듈(110)로 운반될 수 있다. 기판은 반입 경로(1)를 따라 공정 챔버(120)들로 반입될 수 있고, 공정 챔버(120)들에서 처리된 기판은 반출 경로(2)를 따라 반출된 후 카세트 모듈에 수납되고, 다음 공정 설비로 운반될 수 있다. 공정 챔버(120)들과 카세트 모듈 간의 기판의 반입과 반출에 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치가 사용될 수 있다.
도 1의 (b)를 참조하여, 본 발명의 실시 예의 변형 예에 따른 공정 설비를 설명한다.
본 발명의 변형 예에 따른 공정 설비(1000)는, 프론트엔드 모듈(110), 공정 챔버(120)들, 트랜스퍼 모듈(130), 로드락 챔버(140), 기판 반송 장치 및 카세트 공급 장치(300)를 포함할 수 있다.
프론트엔드 모듈(110)은 예컨대 EFEM(Equipment Front End Module)이라고 지칭할 수 있다. 프론트엔드 모듈(110)은 내부가 진공 및 대기압 분위기로 제어될 수 있다. 프론트엔드 모듈(110)은 카세트 공급 장치(300)로부터 기판을 반입받을 수 있고, 로드락 챔버(140)에 기판을 반송할 수 있다. 프론트엔드 모듈(110)의 내부에 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치가 설치될 수 있다.
공정 챔버(120)들은 트랜스퍼 모듈(130)에 접속될 수 있다. 공정 챔버(120)들은 기판을 처리하도록 형성될 수 있다. 공정 챔버(150)들은 기판을 열처리하거나, 기판에 막을 증착하거나, 기판에 형성된 막을 식각하는 등의 다양한 방식으로 기판을 처리할 수 있고, 이를 특별히 한정하지 않는다. 기판은 트랜스퍼 모듈(130)에서 공정 챔버(120)들로 반송되고, 공정 챔버(150)들에서 처리된 후, 트랜스퍼 모듈(130)로 반송될 수 있다.
트랜스퍼 모듈(130)은 내부가 진공으로 제어될 수 있다. 트랜스퍼 모듈(130)은 내부에 로봇 암(미도시) 구비될 수 있다. 공정 챔버(120)들은 게이트들을 통하여 트랜스퍼 모듈(130)에 접속할 수 있다. 트랜스퍼 모듈(130)과 프론트엔드 모듈(110)은 로드락 챔버(140)를 통하여 연결될 수 있다. 트랜스퍼 모듈(130)은 로드락 챔버(140)를 통하여 프론트엔드 모듈(110)로부터 기판을 반송받고, 공정 챔버(150)들에서 처리된 기판을 로드락 챔버(140)를 통하여 프론트엔드 모듈(110)에 반송할 수 있다.
로드락 챔버(140)는 내부를 진공 및 대기압으로 전환할 수 있다. 로드락 챔버(110)는 일측이 프론트엔드 모듈(110)에 접속하고, 타측이 트랜스퍼 모듈(130)에 접속할 수 있다. 로드락 챔버(140)는 기판을 받입받아 트랜스퍼 모듈(130)에 반송할 수 있고, 트랜스퍼 모듈(130)에서 반송되는 프론트엔드 모듈(110)에 반송할 수 있다.
카세트 공급 장치(300)는 내부에 하나 이상의 카세트 모듈을 구비할 수 있다. 카세트 공급 장치(300)는 프론트엔드 모듈(110)에 접속될 수 있다. 카세트 모듈은 기판을 수납 및 불출할 수 있도록 형성될 수 있다.
기판은 카세트 모듈에 수납되고, 카세트 공급 장치(300)의 이동에 의하여 프론트엔드 모듈(110)로 운반될 수 있다. 기판은 반입 경로(1)를 따라 공정 챔버(120)들로 반입될 수 있고, 공정 챔버(120)들에서 처리된 기판은 반출 경로(2)를 따라 반출된 후 카세트 모듈에 수납되고, 다음 공정 설비로 운반될 수 있다. 공정 챔버(120)들과 카세트 모듈 간의 기판의 반입과 반출에 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치가 사용될 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치의 개략도이고, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 척부의 측단면도이며, 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 척부의 평면도이다. 도 5의 (a) 및 (b)는 본 발명의 실시 예에 따른 진공 척의 진공압 손실 최소화를 위한 바이패스 구조를 보여주는 단면도이고, 도 6의 (a) 및 (b)는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치의 작동도이다.
도 2 내지 도 6을 참조하여, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치를 설명한다.
본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치(200)는 기판(P)을 반송하는 기판 반송 장치(200)로서, 공정 챔버(120)들의 외측에 배치되고, 프론트엔드 모듈(110)의 내부에 설치되며, 로봇 암(212)을 구비하는 반송 로봇(210), 로봇 암(212)의 선단에 장착되고, 하면에 진공 척(223)들이 구비되는 척부(220), 척부(220)를 관통하고, 진공 척(223)들에 연결되는 유틸리티 공급부(230), 유틸리티 공급부(230)에 장착되고, 진공 척(223)들에 제공되는 진공압을 측정하는 압력 센서(241), 압력 센서(241)의 측정 결과를 활용하여 기판의 휨 상태를 판단하고, 그 결과에 따라 기판의 반송 진행 여부를 결정하는 제어부(250)를 포함한다.
본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치(200)는, 척부(220)의 선단에 하측을 향하여 장착되는 거리 센서(242)를 더 포함할 수 있다. 또한, 제어부(250)는 거리 센서(242)로부터 측정되는 척부(220)와 기판의 간격을 활용하여 기판의 휨 상태를 판단하고, 그 결과에 따라 기판의 반송 여부를 결정할 수 있다.
반송 로봇(210)은 로봇 본체(211) 및 로봇 암(212)을 구비할 수 있다. 반송 로봇(210)은 공정 챔버(120)들과 카세트 공급 장치(300) 사이에 마련되나, 이를 특별히 한정할 필요는 없다. 반송 로봇(210)은 대차(260)에 설치될 수 있다.
대차(260)는 대차 본체(261), 레일(262) 및 휠(263)을 구비할 수 있다. 대차 본체(261)는 반송 로봇(210)이 장착될 수 있는 크기로 형성되고, 레일(262)은 대차 본체(261)의 상면에 설치되어 좌우 방향(Y)으로 연장될 수 있다. 레일(262)에 로봇 본체(211)가 설치되고, 로봇 본체(211)은 레일(262)을 따라 좌우로 이동할 수 있다. 대차 본체(261)은 하부에 휠(263)들이 장착되고, 이에, 이동이 가능하다.
로봇 암(212)은 로봇 본체(211)의 상부에 장착되고, 복수개의 링크를 구비할 수 있다. 복수개의 링크는 서로 회전 가능하게 연결되고, 로봇 암(212)은 링크들을 회전시켜 척부(220)를 전후 방향(X)으로 이동시킬 수 있다.
한편, 로봇 본체(211) 또는 로봇 암(212)은 상하 방향(Z)으로 승강할 수 있고, 이에, 척부(220)를 기판(P)에 접속시킬 수 있고, 기판(P)으로부터 척부(220)를 이격시킬 수 있다.
척부(220)는 로봇 암(212)의 선단에 장착될 수 있다. 척부(220)는 예컨대 핸드 부(221), 핑거 부(222), 및 진공 척(223)을 구비할 수 있다. 핸드 부(221)는 로봇 암(212)의 선단에 장착되고, 좌우 방향(Y)으로 연장될 수 있다. 핑거 부(222)는 전후 방향(X)으로 연장되고, 좌우 방향(Y)으로 서로 이격되며, 핸드 부(221)의 선단에 예컨대 포크(fork) 형상으로 장착될 수 있다. 핑거 부(222)의 개수는 세 개를 예시하나, 이 개수는 다양할 수 있다. 진공 척(223)들은 핑거 부(222)의 하면에 구비되는데, 이때, 하나의 핑거 부(222)마다 복수개의 진공 척(223)이 구비될 수 있다. 이를 진공 척(223)의 라인 별 배치라고 한다.
한편, 핑거 부(222)는 좌우 방향(Y)으로 연장되고, 전후 방향(X)으로 이격될 수도 있다. 이때, 핸드 부(221)와 핑거 부(222)의 사이에 연결부(미도시)가 구비되어, 이들을 연결시킬 수 있다.
또한, 척부(220)는 복수개의 핑거 부(222)를 구비하는 구조 외에, 다양한 구조로 마련될 수 있다. 예컨대 척부(220)는 핸드 부(221)와 핸드 부(221)의 선단에 장착되는 격자 부(미도시)를 마련할 수 있고, 격자 부의 하면에 진공 척(223)이 구비될 수도 있다. 여기서, 격자 부는 전후 방향(X)으로 연장되는 가로 바들 및 좌우 방향(Y)으로 연장되는 세로 바들이 격자 형태로 배치되어 사각 틀을 이루는 형태일 수 있다. 이때, 진공 척(223)들은 격자형의 배치를 이룰 수 있다.
진공 척(223)들은 핑거 부(222)의 하면에 구비되되, 상부 몸체(223a)가 핑거 부(222)의 하면을 관통할 수 있고, 하부 몸체(223b)가 핑거 부(222)의 하측에 돌출될 수 있다. 진공 척(223)들은 핑거 부(222)가 연장된 방향으로 배열될 수 있다.
상부 몸체(223a)는 상하 방향(Z)으로 연장되고, 내부가 상하 방향(Z)으로 개방될 수 있다. 하부 몸체(223b)는 상부 몸체(223a)의 하단에서 하측으로 연장되고, 내부가 상하 방향(Z)으로 개방되고, 상부 몸체(223a)와 연통할 수 있고, 하단에 진공 홀이 형성될 수 있다. 상부 몸체(223a)는 유틸리티 공급부(230)에 연결되고, 하부 몸체(223b)는 진공 흡착용의 패드의 역할을 수행할 수 있다. 하부 몸체(223b)는 진공 홀 내의 진공을 이용하여 기판(P)을 진공 흡착할 수 있다.
진공 척(223)들의 상부 몸체(223a)들이 핑거 부(222)의 내부에 삽입됨에 따라 척부(220)의 전체 두께를 감소시킬 수 있고, 이에, 카세트 모둘(300)의 내부로 진입할 때, 안정적으로 진입하여 기판(P)과의 충돌을 방지할 수 있다. 한편, 진공 척(223)들의 하부 몸체(223b)들이 핑거 부(222)의 하측으로 돌출되기 때문에, 핑거 부(222)의 하면과 이격될 수 있고, 이에, 기판(P)에 다소의 휨(warpage)이 발생하는 경우, 상술한 이격 공간을 이용해서 기판(P)의 볼록한 부분을 일정 부분 수용할 수 있다. 즉, 기판(P)이 다소 휜 상태에서, 기판(P)의 볼록한 부분이 핑거 부(222)의 하면에 접촉되어도 기판(P)의 나머지 부분이 진공 척(223)들로부터 이격되는 것이 방지될 수 있다.
유틸리티 공급부(230)는 척부(220)를 관통하고, 진공 척(223)들에 연결될 수 있다. 유틸리티 공급부(230)는 진공 척(223)들에 진공압을 제공할 수 있다. 유틸리티 공급부(230)는, 진공 척(223)들에 연결되는 분기관(231)들, 분기관(231)들이 합류되는 유틸리티 본관(233) 및 분기관(231)들에 각각 장착되는 밸브(232)들을 구비할 수 있다. 밸브(232)들은 제어부(250)에 연결될 수 있다.
유틸리티 본관(233)은 공정 설비(1000)에 제공되는 유틸리티 라인(미도시)에 연결되고, 유틸리티 라인으로부터 진공압을 제공받을 수 있다. 유틸리티 라인은 유틸리티 본관(233)으로 공급되는 진공압의 크기를 조절할 수 있다. 유틸리티 본관(233)의 일측은 핸드 부(231)를 관통하여 장착될 수 있다.
분기관(231)들은 예컨대 핑거 부(222)의 개수만큼 구비될 수 있고, 유틸리티 본관(233)의 일측에서 분기되어 핸드 부(221) 및 핑거 부(222)의 내부에서 전후 방향(X)으로 연장될 수 있다. 분기관(231)들은 핑거 부(222)의 내부로 연장되어 진공 척(223)들에 각각 연결될 수 있다. 진공 척(233)들은 분기관(231)들에 그룹별로 연결될 수 있다. 이러한 진공 척(233)들과 분기관(231)들의 연결 구조를 일대다 연결 구조라고 한다. 이 연결 구조에 의해, 진공 척(233)들의 그룹 제어가 가능하다. 물론, 분기관(231)들은 진공 척(223)의 개수만큼 구비될 수 있고, 일대일 연결 구조로 각각 진공 척(233)에 연결될 수도 있다.
압력 센서(241)는 복수개 구비되고, 각각 분기관(231)들에 장착될 수 있다. 이에, 하나의 압력 센서(241)가 하나의 분기관(231)과 이에 연결된 한 그룹의 진공 척(233)들의 진공압을 측정할 수 있다. 즉, 압력 센서(241)와 진공 척(223)들은 일대다 방식으로 연결되고, 압력 센서(241)들은 진공 척(223)들에 제공되는 진공압을 그룹별로 측정할 수 있다. 즉, 압력 센서(241)는 기판(P)의 구간별로 진공 척(223)들의 진공압을 측정할 수 있다. 여기서, 구간은 기판(P)상에 전후 방향(X)으로 연장되고, 좌우 방향(Y)으로 이격된 복수의 영역선(미도시)들에 의해 기판(P)상에 형성된 직사각형 형태의 구간들일 수 있다. 예컨대 진공 척(223)들의 그룹 개수에 맞춰 기판(P)상에 세 개의 구간이 형성될 수 있다.
거리 센서(242)는 핑거 부(222)의 선단에 하측을 향하여 장착될 수 있다. 거리 센서(242)는 초음파 방식 또는 레이저 방식의 센서일 수 있다. 거리 센서(242)는 핑거 부(222)마다 하나씩 장착될 수 있고, 척부(220)가 기판(P)의 상측에서 전후 방향(X)으로 이동하는 동안 하측으로 초음파 또는 레이저 광을 방출하고, 그 반사파 또는 반사광을 수신하여, 이 때의 시간 차로부터 기판(P)과 척부(220)와의 이격 거리를 측정할 수 있다. 이때, 기판(P)상의 전체 면적에 대한 기판(P)과 척부(220)와의 이격 거리를 측정할 수 있다.
제어부(250)는, 거리 센서(242)로부터 측정되는 척부(220)와 기판(P)의 간격을 활용하여 기판(P)의 휨 상태를 판단하고, 그 결과에 따라 기판(P)의 반송 여부를 결정할 수 있다. 또한, 제어부(250)는, 압력 센서(241)의 측정 결과를 활용하여 기판(P)의 휨 상태를 판단하고, 그 결과에 따라 기판(P)의 반송 진행 여부를 결정할 수 있다.
즉, 제어부(250)는 두 차례에 걸쳐 서로 다른 방식으로 기판(P)의 휨을 측정하고, 각 측정 결과에 대응하여 다음 단계의 진행 여부를 결정할 수 있다.
우선, 제어부(250)는 척부(220)가 카세트 모듈의 내부로 진입하여 이송 대상인 기판(P)의 상측으로 진입하는 동안, 기판(P)의 전체면에 대하여, 거리 센서(242)가 기판(P)과 척부(220)의 거리를 측정한다.
기판(P)에 대한 척부(220)의 진입 높이는 로봇 암(212)의 작동을 설정할 때 정해지고, 정해진 진입 높이보다 기판(P)과 척부(220)의 간격이 커지거나 작아지면, 그 정도에 따라 기판(P)이 휜 것으로 판단한다.
즉, 측정된 거리가 기준 거리 범위를 벗어나면 기판(P)의 휨 상태를 위험 상태나 주의 상태로 판단하는데, 특히, 측정된 거리가 기준 거리 범위를 벗어하는 기판(P)의 영역이 기판(P)의 전체 면적 대비 수 % 또는 수십 % 이상이거나, 또는, 기준 거리 범위를 벗어하는 측정된 거리의 최대 또는 최소 값이 소정의 값보다 크면, 기판(P)의 휨 상태를 위험 상태로 판단할 수 있다. 반면, 기판(P)상의 복수 위치에서 측정된 거리가 기준 거리 범위를 벗어나지만 그 영역이 기판(P)의 전체 면적 대비 수 % 또는 수십 % 미만이고, 기준 거리 범위를 벗어나는 측정된 거리의 최대 또는 최소값이 소정의 값 이하면 기판(P)의 휨 상태를 주의 상태로 판단한다. 측정된 거리가 기준 거리 범위 내이면, 기판(P)의 휨 상태를 안정 상태로 판단한다. 상술한 판단 기준과 방식은 기판(P)의 크기, 무게, 재질 및 진공 척(223)에 제공될 수 있는 진공압의 크기 등에 따라 다양하게 정해질 수 있다.
제어부(250)는 기판(P)의 휨 상태가 안정 및 주의 상태일 때, 기판(P)의 반송 여부를 반송 가능으로 결정하고, 기판(P)의 휨 상태가 위험 상태일 때, 기판(P)의 반송 여부를 반송 불가로 결정한다.
제어부(250)가 기판(P)의 반송 여부를 반송 가능으로 결정하면, 척부(220)가 기판(P)을 향하여 하강하고, 진공 척(223)이 기판(P)에 접촉하고, 유틸리티 공급부(230)가 진공 척(223)들에 진공압을 제공하고, 진공 척(223)들이 기판(P)을 진공 흡착한다.
이후, 척부(220)가 기판(P)의 상면을 진공 흡착하는 동안, 압력 센서(241)가 분기관(231)들에 제공되는 진공압을 측정하고, 제어부(250)는 압력 센서(241)의 측정 결과를 활용하여 기판(P)의 휨 상태를 2차 판단하고, 그 결과에 따라 다음 단계인 기판(P)의 반송 진행 여부를 결정한다.
과반수의 압력 센서(241)에서 측정되는 진공압이 기준 진공압 범위보다 낮으면, 제어부(250)는 기판(P)의 휨 상태를 위험 상태로 판단하고, 기판(P)의 반송 진행 여부를 반송 진행 불가로 결정한다.
과반수 미만의 압력 센서(241)에서 측정되는 진공압이 기준 진공갑 범위보다 낮고, 과반수 이상의 압력 센서(241)에서 측정되는 진공?이 기준 진공압 범위 내이면, 제어부(250)는 기판(P)의 휨 상태를 주의 상태로 측정하고, 기판(P)의 반송 진행 여부를 반송 진행 가능으로 결정한다. 또한, 전체 압력 센서(241)에서 측정되는 진공압이 기준 진공압 범위 내에 포함되면, 제어부(250)는 기판(P)의 휨 상태를 정상 상태로 측정하고, 기판(P)의 반송 진행 가능을 결정한다.
제어부(250)는 기판(P)의 반송 진행 여부를 반송 진행 가능으로 결정한 다음 분기관(231)들 중 진공압이 기준 진공압보다 낮은 분기관의 제어 밸브를 차단하고, 척부(220)를 상승시켜 기판(P)을 카세트 모듈에서 반출하고, 공정 설비(1000)의 프론트엔드 모듈(110)에 반입한다.
한편, 제어부(250)가 기판(P)의 반송 여부를 반송 불가로 결정하면, 척부(220)가 해당 기판(P)에서 후퇴하고, 카세트 모듈에 적재된 다음 기판(P)의 상측으로 진입할 수 있다.
공정 설비(1000)의 프론트엔드 모듈(110)로부터 카세트 모듈로 기판을 반송할 때에도 상술한 방식으로 기판 반송 장치(200)가 작동할 수 있다.
제어부(250)는 밸브(232)들을 제어하여, 분기관(231)들의 진공압을 개별 제어할 수도 있다. 예컨대 과반수 미만의 분기관(231)이 차단되는 경우, 나머지 분기관(231)들의 진공압을 증가시켜, 기판(P)을 더욱 안정적으로 흡착 및 반송할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 일부 진공 척(223)이 기판(P)에서 분리 및 이격되는 경우에 해당 진공 척(223)이 속한 그룹 외에 다른 그룹의 진공 척(223)들은 진공압이 기준 진공압 범위 내에서 안정적으로 유지될 수 있는데, 이를 위하여, 기판 반송 장치(200)는 진공 척(223)들에 각각 장착되는 체크 밸브(271, 272, 273, 274, 275, 276)를 더 포함할 수 있다.
예컨대 일부의 진공 척(223)이 기판(P)에서 분리 및 이격되었을 때, 해당 진공 척(223)의 내부 유로를 바로 차단하면, 압력 센서(241)가 진공압의 변화를 측정할 수가 없다. 따라서, 일부의 진공 척(223)이 기판(P)에서 분리 및 이격되었을 때, 체크 밸브로 해당 진공 척(223)의 내부 유로를 완전히 차단하지 아니할 때, 압력 센서(241)를 이용하여 진공압의 변화를 측정하면서도, 일부 진공 척(223)이 속하는 해당 그룹 외의 다른 그룹의 진공 척(223)들의 진공압이 기준 진공압 범위 내에서 안정적으로 유지할 수 있다.
따라서, 체크 밸브는 바이패스 유로(276)를 구비하고, 바이패스 유로(276)는 체크 밸브가 진공 척(223)의 내부를 차단하는 중에도 상시 개방될 수 있다. 즉, 체크 밸브는 기판(P)의 휨에 의해 기판(P)과 진공 척(223)과의 흡착이 파괴되는 경우, 진공 척(223)의 내부 유로의 크기를 줄이도록 작동할 수 있고, 다른 진공 척(223)들의 진공이 함께 파괴되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 이에, 기판(P)이 다른 진공 척(223)들에서 탈락하는 것을 방지할 수 있으면서, 이때, 압력 센서(241)로 진공압이 측정되도록 할 수 있다.
체크 밸브는, 진공 척의 내부를 가로질러 연장되고, 일단이 힌지(272)를 통하여 진공 척(223)의 내주면 일측에 회전 가능하게 연결되는 밸브 판(271), 진공 척(223)의 내주면 타측에 돌출 형성된 돌기(274)에 지지되고, 밸브 판(271)의 타단을 탄성 지지하는 탄성부재(275), 밸브 판(271)의 일단보다 높은 높이에서 진공 척(223)의 내주면에 설치되는 스토퍼(273), 및 밸브 판(231)의 중심을 관통하는 바이패스 유로(276)를 구비할 수 있다.
기판(P)의 휨에 의해 기판(P)과 진공 척(223)과의 흡착이 파괴되면, 도 5의 (a)와 같이, 진공 척(223)의 내부로 외기의 흐름이 생기고, 밸브 판(271)이 일단을 중심으로 타단이 상승하여 스토퍼(273)에 접촉된다. 이때, 밸브 판(271)에 형성된 바이패스 유로(276)만큼 진공 척(223)의 내부 유로가 축소되므로 흡착 파괴에 의한 진공압의 변화를 압력 센서(241)가 측정할 수 있고, 다른 진공 척(223)들의 진공이 함께 파괴되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
기판(P)에 진공 척(223)에 기밀하게 접촉하고 있는 경우에는, 도 5의 (b)와 같이 밸프 판(271)이 탄성부재(275)에 의해 탄성 지지되면서, 진공 척(223)의 내부 유로 전체를 개방할 수 있다.
특히, 체크 밸브는, 기판(P)의 반송 중에, 진공 척(223)들의 일부가 기판(P)에서 이격될 때 신속하게 기판(P)과 이격된 진공 척(223)의 내부 유로의 크기를 줄여서, 나머지 진공 척(223)들에 제공되는 진공압을 적정 범위 내에 유지시킬 수 있고, 기판(P)이 탈락하는 것을 방지할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치(200)가 적용되는 기판 반송 방법을 상세하게 설명한다.
본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 방법은, 기판(P)을 반송하는 기판 반송 방법으로서, 로봇 암(212)을 기판(P)의 상측으로 위치시키는 과정, 로봇 암(212)이 위치하는 동안 로봇 암(212)과 기판(P)의 간격을 측정하는 과정, 측정된 간격을 활용하여 기판(P)의 휨 상태를 판단하고, 그 결과에 따라 기판(P)의 반송 여부를 결정하는 과정을 포함한다.
기판(P)은 카세트 모듈에 수평 방향으로 수납된 기판일 수 있다. 이때, 수평 방향은 전후 방향(X) 및 좌우 방향(Y)을 포함하는 방향이다. 기판(P)은 상하 방향(Z)으로 이격될 수 있고, 이 사이로 로봇 암(212)이 진입할 수 있다. 한편, 기판(P)은 제1 로드락 챔버(110)내에 반송된 기판(P)일 수도 있다.
우선, 로봇 암(212)을 기판(P)의 상측으로 위치시킨다. 즉, 로봇 본체(211)를 기판(P)이 있는 위치까지 이동시키고, 로봇 암(212)을 작동시켜 기판(P)의 상측으로 위치시킨다. 이때, 척부(220)가 기판(P)의 상측에서 전후 방향(X)으로 이동할 수 있다.
도 6의 (b)에 도시된 것처럼, 로봇 암(212)이 기판(P)의 상측에 위치하는 동안, 로봇 암(212)의 선단에 장착된 척부(220)와 기판(P)의 간격을 척부(220)의 선단에 구비된 거리 센서(242)를 이용하여 측정한다. 이때, 거리 센서(242)는 전방으로 이동하면서 기판(P)의 전체 면에 대한 척부(220)와 기판(P)의 간격을 측정할 수 있다.
이후, 제어부(250)가 거리 센서(242)에서 측정된 간격을 활용하여 기판(P)의 휨 상태를 판단하고, 그 결과에 따라 기판(P)의 반송 여부를 결정한다.
이때, 제어부(250)가 기판(P)의 반송 불가를 결정하면, 로봇 암(212)을 다음 번 기판이 있는 위치로 이동시키고, 다음 번 기판을 대상으로 진입 과정부터 상기 반송 여부 결정 과정까지를 반복한다.
반면, 제어부(250)가 기판(P)의 반송 가능을 결정하면, 기판(P)의 상면을 향하여 로봇 암(212)과 척부(220)를 하강시키고, 기판(P)의 상면에 척부(220)를 접촉시키는 방식으로, 기판(P)의 상면에 척부(220)를 접촉시킨다.
이후, 진공 척(223)들을 이용하여 기판(P)을 진공 흡착 한다. 예컨대 유틸리티 공급부(230)를 작동시켜 진공 척(223)들에 진공압을 제공하고, 진공압을 이용하여 기판(P)의 상면에 진공척(223)들을 부착시킨다.
이후, 압력 센서(241)들을 이용하여 진공 척(223)들에 제공되는 진공압을 일대다 방식으로 측정한다. 즉, 진공 척(223)들의 진공압을 그룹별로 측정한다.
예컨대 진공 척(223)들은 유틸리티 공급부의 분기관(231)들에 그룹별로 연결되고, 압력 센서(241)들은 각각이 설치된 분기관(231)들의 진공압을 측정한다.
이후, 제어부(250)를 이용하여, 측정된 진공압을 활용하여 기판(P)의 휨 상태를 판단하고, 판단 결과에 따라 기판(P)의 반송 진행 여부를 결정한다.
제어부(250)가 기판(P)의 휨 상태를 정상 상태로 판단하면, 로봇 암(212)을 작동시켜 기판의 반송을 개시한다. 또한, 제어부(250)가 기판(P)의 휨 상태를 주의 상태로 판단하면, 진공압이 기준 진공압보다 낮은 분기관을 차단하고, 로봇 암을 작동시켜 기판의 반송을 개시한다. 이때, 도 6의 (a)와 같이, 일부 영역(A)에서 기판(P)이 진공 척(223)들에서 분리되더라도, 나머지 진공 척(223)들에 안정적인 진공압이 제공될 수 있고, 기판(P)의 반송이 안정적으로 수행될 수 있다.
반면, 제어부(250)가 기판(P)의 휨 상태를 위험 상태로 판단하면, 기판(P)의 반송 진행 불가를 결정하고, 해당 기판의 반송을 종료한다.
이 경우, 제어부(250)가 기판(P)의 반송을 종료하면, 로봇 암(212)을 다음 번 기판이 있는 위치로 이동시키고, 다음 번 기판을 대상으로 로봇 암(212)을 위치시키는 과정부터 반송 여부 결정 과정까지를 반복한다.
상술한 바에 따르면, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송 장치 및 방법은, 진공 척(223)의 상부가 핑거 부(222)내에 삽입되기 때문에, 척부(220)의 전체 두께를 줄일 수 있고, 따라서, 기판(P) 상측으로 척부(220)가 진입할 때, 기판(P)에 충돌하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 기판(P)을 진공 흡착하기 전에 기판(P)의 휨 상태를 1차 측정하고, 기판(P)을 진공 흡착한 상태에서, 반송을 개시하기 전에 기판(P)의 휨 상태를 2차 측정할 수 있으므로, 반송이 가능한 기판(P)의 선별을 다각적으로 분명하게 할 수 있다. 예컨대, 거리 센서로 측정한 결과 기판의 휨 정도가 주의 상태더라도, 기판(P)을 진공 척(223)들에 진공 흡착을 했을 때, 기판(P)의 재질이나 무게 등에 따라 기판(P)이 진공 척(223)들에 원하는 만큼 안정적으로 흡착되지 않을 수 있다. 이 경우, 기판(P)의 반송이 불가하며, 이를 제어부(250)가 명확하게 판단할 수 있다.
또한, 휨이 발생한 기판(P) 중 반송이 가능한 기판(P)을 반송할 때, 체크 밸브를 이용하여 기판(P)에서 이격된 진공 척들의 내부 유로를 최소화 함으로써 진공압의 손실을 최소화할 수 있다. 따라서, 이동 중에 기판(P)이 낙하하는 것을 방지할 수 있다.
이처럼, 반송 중에 기판(P)의 낙하가 방지됨으로써, 기판(P)의 탈락으로 인하여 전체 공정이 중단되는 등의 문제가 원천 방지될 수 있다.
본 발명의 상기 실시 예는 본 발명의 설명을 위한 것이고, 본 발명의 제한을 위한 것이 아니다. 본 발명의 상기 실시 예에 개시된 구성과 방식은 서로 결합하거나 교차하여 다양한 형태로 변형될 것이고, 이 같은 변형 예들도 본 발명의 범주로 볼 수 있음을 주지해야 한다. 즉, 본 발명은 청구범위 및 이와 균등한 기술적 사상의 범위 내에서 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 본 발명이 해당하는 기술 분야에서의 업자는 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
1: 기판 반입 경로 2: 기판 반출 경로
100: 공정 설비 200: 기판 반송 장치
300: 카세트 모듈 210: 반송 로봇
220: 척부 230: 유틸리티 공급부
241: 압력 센서 242: 거리 센서
250: 제어부

Claims (13)

  1. 기판을 반송하는 기판 반송 장치로서,
    로봇 암을 구비하는 반송 로봇;
    상기 로봇 암의 선단에 장착되고, 하면에 진공 척들이 구비되는 척부;
    상기 척부를 관통하고, 상기 진공 척들에 연결되는 유틸리티 공급부;
    상기 유틸리티 공급부에 장착되고, 상기 진공 척들에 제공되는 진공압을 측정하는 압력 센서; 및
    상기 압력 센서의 측정 결과를 활용하여 기판의 휨 상태를 판단하고, 그 결과에 따라 기판의 반송 진행 여부를 결정하는 제어부;를 포함하는 기판 반송 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 척부의 선단에 하측을 향하여 장착되는 거리 센서;를 포함하고,
    상기 제어부는 상기 거리 센서로부터 측정되는 척부와 기판의 간격을 활용하여 기판의 휨 상태를 판단하고, 그 결과에 따라 상기 기판의 반송 여부를 결정하는 기판 반송 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 유틸리티 공급부는 일측이 분기되고,
    상기 진공 척들은 상기 유틸리티 공급부의 분기관들에 그룹별로 연결되고,
    상기 압력 센서는 상기 분기관들에 각각 장착되는 기판 반송 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 제어부는 기판의 반송 진행 여부 결정 이후 상기 분기관들 중 진공압이 기준 진공압보다 낮은 분기관의 제어 밸브를 차단하는 기판 반송 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 진공 척에 장착되는 체크 밸브;를 더 포함하고,
    상기 체크 밸브는 바이패스 유로를 구비하고, 상기 바이패스 유로는 상기 체크 밸브가 상기 진공 척의 내부를 차단하는 중에도 상시 개방되는 기판 반송 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 체크 밸브는,
    상기 진공 척의 내부를 가로질러 연장되고, 일단이 상기 진공 척의 내주면에 회전 가능하게 연결되는 밸브 판;
    상기 밸브 판의 타단을 탄성 지지하는 탄성부재;
    상기 밸브 판의 일단보다 높은 높이에서 상기 진공 척의 내주면에 설치되는 스토퍼;를 포함하고,
    상기 바이패스 유로는 상기 밸브 판을 관통하여 형성되는 기판 반송 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 압력 센서에서 측정되는 진공압이 기준 진공압 범위보다 낮으면, 상기 기판의 휨 상태를 위험 상태로 판단하고, 상기 기판의 반송 진행 불가를 결정하고,
    상기 진공압이 기준 진공압 범위 내에 포함되면, 상기 기판의 휨 상태를 정상 또는 주의 상태로 측정하고, 상기 기판의 반송 진행 가능을 결정하는 기판 반송 장치.
  8. 기판을 반송하는 기판 반송 방법으로서,
    로봇 암을 기판의 상측으로 위치시키는 과정;
    상기 로봇 암이 위치하는 동안 로봇 암과 기판의 간격을 측정하는 과정;
    상기 간격을 활용하여 상기 기판의 휨 상태를 판단하고, 그 결과에 따라 상기 기판의 반송 여부를 결정하는 과정;을 포함하는 기판 반송 방법.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 기판의 반송 불가를 결정하면, 상기 로봇 암을 다음 번 기판이 있는 위치로 이동시키고, 상기 다음 번 기판을 대상으로 상기 로봇 암을 위치시키는 과정부터 반송 여부 결정 과정까지를 반복하는 기판 반송 방법.
  10. 청구항 8에 있어서,
    상기 기판의 반송 가능을 결정하면, 상기 기판의 상면에 상기 로봇 암의 선단에 장착된 척부를 접촉시키는 과정;
    상기 척부에 구비된 진공 척들을 이용하여 상기 기판을 진공 흡착하는 과정;
    상기 진공 척들에 제공되는 진공압을 측정하는 과정;
    상기 진공압을 활용하여 상기 기판의 휨 상태를 판단하고, 판단 결과에 따라 상기 기판의 반송 진행 여부를 결정하는 과정;을 포함하는 기판 반송 방법.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 진공 척들은 유틸리티 공급부의 분기관들에 그룹별로 연결되고,
    상기 진공압을 측정하는 과정은 상기 분기관들의 진공압을 측정하는 기판 반송 방법.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 기판의 휨 상태를 정상 상태로 판단하면, 상기 로봇 암을 작동시켜 상기 기판의 반송을 개시하고,
    상기 기판의 휨 상태를 주의 상태로 판단하면, 진공압이 기준 진공압보다 낮은 분기관을 차단하고, 상기 로봇 암을 작동시켜 상기 기판의 반송을 개시하고,
    상기 기판의 휨 상태를 위험 상태로 판단하면, 상기 기판의 반송 진행 불가를 결정하고, 상기 기판의 반송을 종료하는 기판 반송 방법.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 기판의 반송을 종료하면, 상기 로봇 암을 다음 번 기판이 있는 위치로 이동시키고, 상기 다음 번 기판을 대상으로 상기 로봇 암을 위치시키는 과정부터 상기 반송 여부 결정 과정까지를 반복하는 기판 반송 방법.
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