KR20190022447A - 술포늄염, 광산 발생제, 광 경화성 조성물, 및 그 경화체 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (14)
- 하기 일반식 (1), (2) 및 (3) 으로 나타내는 군에서 선택되는 술포늄 카티온과 식 (a) 로 나타내는 갈레이트 아니온으로 이루어지는 술포늄염.
[화학식 1]
〔식 (1) 중, R1 ∼ R4 는 서로 독립적으로, 알킬기, 하이드록시기, 알콕시기, 알킬카르보닐기, 아릴카르보닐기, 알콕시카르보닐기, 아릴옥시카르보닐기, 아릴티오카르보닐기, 아실옥시기, 아릴티오기, 알킬티오기, 아릴기, 복소 고리형 탄화수소기, 아릴옥시기, 알킬술피닐기, 아릴술피닐기, 알킬술포닐기, 아릴술포닐기, 하이드록시(폴리)알킬렌옥시기, 치환되어도 되는 실릴기 및 아미노기, 시아노기, 니트로기 또는 할로겐 원자를 나타내고, a, b, c, d 는 각각 R1 ∼ R4 의 개수를 나타내고, a 는 1 ∼ 5 의 정수, c 및 d 는 0 ∼ 5 의 정수, b 는 0 ∼ 4 의 정수이다.〕
[화학식 2]
〔식 (2) 중, R5 ∼ R8 은 서로 독립적으로, 알킬기, 하이드록시기, 알콕시기, 알킬카르보닐기, 아릴카르보닐기, 알콕시카르보닐기, 아릴옥시카르보닐기, 아릴티오카르보닐기, 아실옥시기, 아릴티오기, 알킬티오기, 아릴기, 복소 고리형 탄화수소기, 아릴옥시기, 알킬술피닐기, 아릴술피닐기, 알킬술포닐기, 아릴술포닐기, 하이드록시(폴리)알킬렌옥시기, 치환되어도 되는 실릴기 및 아미노기, 시아노기, 니트로기 또는 할로겐 원자를 나타내고, e, f, g, h 는 각각 R5 ∼ R8 의 개수를 나타내고, e, g 는 0 ∼ 4 의 정수, f 는 0 ∼ 3 의 정수, h 는 0 ∼ 5 의 정수이며, X 는 치환되어도 되는 페닐기, 또는 치환되어도 되는 티오크산토닐기이며, Y 는 -O-, -S-, -SO-, -SO2-, 또는 -CO- 이다.〕
[화학식 3]
〔식 (3) 중의 n 은 1 ∼ 3 의 정수이며, R9 및 R10 은 서로 독립적으로, 알킬기, 하이드록시기, 알콕시기, 알킬카르보닐기, 아릴카르보닐기, 알콕시카르보닐기, 아릴옥시카르보닐기, 아릴티오카르보닐기, 아실옥시기, 아릴티오기, 알킬티오기, 아릴기, 복소 고리형 탄화수소기, 아릴옥시기, 알킬술피닐기, 아릴술피닐기, 알킬술포닐기, 아릴술포닐기, 하이드록시(폴리)알킬렌옥시기, 치환되어도 되는 실릴기 및 아미노기, 시아노기, 니트로기 또는 할로겐 원자를 나타내고, i 및 j 는 각각 R9 및 R10 의 개수를 나타내고, i 및 j 는 0 ∼ 4 의 정수이며, Q 는 단결합, -O- 또는 -S- 이며, Ar 은 탄소수 6 ∼ 14 (이하의 치환기의 탄소수는 포함하지 않는다) 의 아릴기로서, 아릴기 중의 수소 원자의 일부가, 알킬기, 하이드록시기, 알콕시기, 알킬카르보닐기, 아릴카르보닐기, 알콕시카르보닐기, 아릴옥시카르보닐기, 아릴티오카르보닐기, 아실옥시기, 아릴티오기, 알킬티오기, 아릴기, 복소 고리형 탄화수소기, 아릴옥시기, 알킬술피닐기, 아릴술피닐기, 알킬술포닐기, 아릴술포닐기, 하이드록시(폴리)알킬렌옥시기, 치환되어도 되는 실릴기 및 아미노기, 시아노기, 니트로기 또는 할로겐 원자로 치환되어도 되고, Z 는 탄소수 2 ∼ 6 의 알킬렌기, 또는 하기 일반식 (4) 로 나타내는 기이며, 식 (4) 중, R11 및 R12 는 수소 원자, 탄소수 1 ∼ 18 의 알킬기, 탄소수 6 ∼ 14 의 아릴기이며, 서로 결합하여 고리 구조를 형성하고 있어도 된다.〕
[화학식 4]
[화학식 5]
〔R13 ∼ R16 은 서로 독립적으로, 퍼플루오로알킬기, 퍼플루오로알콕시기, 니트로기, 시아노기, 아실기 및 할로겐으로 이루어지는 군에서 선택되는 기로 치환되어도 되는 페닐기 또는 퍼플루오로알킬기를 나타낸다.〕 - 제 1 항에 있어서,
일반식 (1) 에 있어서, R1 이 알킬카르보닐기, 아릴기, 실릴기, 아릴카르보닐기 및 아릴옥시기에서 선택되는 기인, 술포늄염. - 제 1 항에 있어서,
일반식 (1) 에 있어서, R1 이 아릴기 및 알킬카르보닐기인, 술포늄염. - 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
일반식 (1) 에 있어서, a 가 1 인, 술포늄염. - 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
일반식 (1) 에 있어서, a 가 1, b ∼ d 가 0 인, 술포늄염. - 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
일반식 (1) 에 있어서, R1 및 R3 이 각각 독립적으로, 알킬카르보닐기, 아릴기, 실릴기, 아릴카르보닐기 및 아릴옥시기에서 선택되는 기이며, a 및 c 가 1 인, 술포늄염. - 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
일반식 (2) 에 있어서, X 가 치환되어도 되는 티오크산토닐기이며, Y 가 -S- 인, 술포늄염. - 제 7 항에 있어서,
일반식 (2) 에 있어서, e, f, g 및 h 가 0 인, 술포늄염. - 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
일반식 (3) 에 있어서, n 이 1 이며, Q 가 -S- 이며, i 및 j 가 0 이며, Ar 이 페닐기인, 술포늄염. - 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
식 (a) 에 있어서, R13 ∼ R16 이 퍼플루오로알킬기 및 불소 원자로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종으로 치환된 페닐기인, 술포늄염. - 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
식 (a) 에 있어서, [(R13)(R14)(R15)(R16)Ga]- 로 나타내는 갈레이트 아니온이 [Ga(C6F5)4]- 또는, [Ga((CF3)2C6H3)4]- 인, 술포늄염. - 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 기재된 술포늄염을 함유하는 것을 특징으로 하는 광산 발생제.
- 제 12 항에 기재된 광산 발생제와 카티온 중합성 화합물을 포함하여 이루어지는 에너지선 경화성 조성물.
- 제 13 항에 기재된 에너지선 경화성 조성물을 경화시켜 얻어지는 것을 특징으로 하는 경화체.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2016-128396 | 2016-06-29 | ||
JP2016128396 | 2016-06-29 | ||
PCT/JP2017/021601 WO2018003470A1 (ja) | 2016-06-29 | 2017-06-12 | スルホニウム塩、光酸発生剤、光硬化性組成物、及びその硬化体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20190022447A true KR20190022447A (ko) | 2019-03-06 |
KR102274350B1 KR102274350B1 (ko) | 2021-07-06 |
Family
ID=60786230
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020187026733A Active KR102274350B1 (ko) | 2016-06-29 | 2017-06-12 | 술포늄염, 광산 발생제, 광 경화성 조성물, 및 그 경화체 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10683266B2 (ko) |
EP (1) | EP3480205B1 (ko) |
JP (1) | JP6924754B2 (ko) |
KR (1) | KR102274350B1 (ko) |
CN (1) | CN108884110B (ko) |
WO (1) | WO2018003470A1 (ko) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2017
- 2017-06-12 WO PCT/JP2017/021601 patent/WO2018003470A1/ja active Application Filing
- 2017-06-12 CN CN201780020164.2A patent/CN108884110B/zh active Active
- 2017-06-12 KR KR1020187026733A patent/KR102274350B1/ko active Active
- 2017-06-12 JP JP2018525019A patent/JP6924754B2/ja active Active
- 2017-06-12 US US16/303,273 patent/US10683266B2/en active Active
- 2017-06-12 EP EP17819834.7A patent/EP3480205B1/en active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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WO2020003829A1 (ja) | 2018-06-26 | 2020-01-02 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | ガラスパネルユニットの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN108884110B (zh) | 2021-09-14 |
EP3480205A1 (en) | 2019-05-08 |
WO2018003470A1 (ja) | 2018-01-04 |
EP3480205A4 (en) | 2020-02-19 |
JP6924754B2 (ja) | 2021-08-25 |
EP3480205B1 (en) | 2022-04-13 |
CN108884110A (zh) | 2018-11-23 |
KR102274350B1 (ko) | 2021-07-06 |
US20190300476A1 (en) | 2019-10-03 |
JPWO2018003470A1 (ja) | 2019-04-25 |
US10683266B2 (en) | 2020-06-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PA0105 | International application |
Patent event date: 20180914 Patent event code: PA01051R01D Comment text: International Patent Application |
|
PG1501 | Laying open of application | ||
PA0201 | Request for examination |
Patent event code: PA02012R01D Patent event date: 20191205 Comment text: Request for Examination of Application |
|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20210204 Patent event code: PE09021S01D |
|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20210503 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20210701 Patent event code: PR07011E01D |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
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|
PG1601 | Publication of registration |